CN102037551B - 真空处理系统、真空处理系统上使用的缓冲模块及真空处理系统的托盘传送方法 - Google Patents

真空处理系统、真空处理系统上使用的缓冲模块及真空处理系统的托盘传送方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及真空处理系统，更详细地，涉及在真空状态下对基板表面进行蚀刻、蒸汽沉积等基板真空处理的真空处理系统。一种真空处理系统，其特征在于，上述真空处理系统包括：装载/卸载模块，在托盘上对多个基板进行装载或者卸载；一个以上的工序模块，上述工序模块设置于上述装载/卸载模块一侧，并且形成有封闭的处理空间，以接收装载有多个基板的托盘并进行工序；缓冲模块，其具备一个以上用于临时存储托盘的缓冲部，在从上述装载/卸载模块接收托盘，并向上述工序模块传送之前，在上述缓冲部中向托盘的上侧覆盖形成有若干个槽的遮盖部件，在从上述工序模块接收覆盖了遮盖部件的托盘，并向上述装载/卸载模块传送之前，去除托盘上的遮盖部件；及传送部，在上述装载/卸载模块及上述工序模块之间传送托盘，及在上述工序模块及缓冲模块之间传送托盘。

Description

真空处理系统、真空处理系统上使用的缓冲模块及真空处理系统的托盘传送方法
技术领域
本发明涉及真空处理系统，更详细地，涉及在真空状态下对基板表面进行蚀刻、蒸汽沉积等基板真空处理的真空处理系统。
背景技术
真空处理系统是指包含用于在封闭的处理空间中进行真空处理的工序模块等的系统，在该工序模块中，对放置于基板支承台上的基板的表面进行蒸汽沉积、蚀刻等真空处理工序。
真空处理系统根据处理对象基板的种类、真空处理的种类，可各种各样地构成，包括装载/卸载模块、工序模块以及传送机器人，其中，装载/卸载模块用于装载或者卸载基板，工序模块用于从装载/卸载模块接收基板并进行真空处理等设定的工序，传送机器人用于在装载/卸载模块与工序模块之间传送基板。
这时，一般情况下，每次会传送一张真空处理对象即基板，然而在真空处理对象为普通的太阳能电池用基板之类的小型基板的情况下，考虑到工序效率，可以利用托盘来一次传送多个基板。
并且，为了提高真空处理的效率，上述真空处理装置可以在装载了多个基板的托盘的上侧覆盖形成了若干个槽的遮盖部件后进行真空处理。
另一方面，在如上所述的真空处理系统中，决定真空处理系统的性能的重要因素之一为TACT(Turn Around Cycle Time，回转周期时间)，该TACT被定义成对基板的装载、对基板的真空处理、对完成工序的基板的卸载所需的时间。
尤其是，在执行真空处理工序的工序模块内，执行对托盘上的遮盖部件进行覆盖或者除去的情况下，由于用于真空处理工序的工序模块的结构变得复杂而存在其制造费用增加的问题。
并且，现有的真空处理系统由于托盘上基板的装载/卸载，遮盖部件的覆盖及去除操作效率不高，因而存在TACT变长的问题。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明的目的在于解决上述问题，提供一种真空处理系统及真空处理系统的托盘的传送方法，可以迅速并有效地进行托盘上基板的装载/卸载以及遮盖部件的覆盖及去除操作。
本发明的另一目的在于解决上述问题，提供一种真空处理系统、真空处理系统上使用的缓冲模块及真空处理系统的托盘的传送方法，可以将托盘上的基板装载/卸载过程及覆盖托盘上侧形成了若干个槽的遮盖部件的覆盖过程在不同的空间中来进行，从而可以显著地缩短装载基板、对基板进行真空处理、直到对完成工序的基板进行卸载为止所需要的时间。
本发明的又一目的在于提供一种真空处理系统、真空处理系统上使用的缓冲模块及真空处理系统的托盘的传送方法，可以配置包括两个以上用于临时存储托盘的缓冲部的缓冲模块，可以显著地提高真空处理的速度。
(二)技术方案
作为为实现上述目而提出的本发明，提供了一种真空处理系统，上述真空处理系统包括：
装载/卸载模块，在托盘上对多个基板进行装载或者卸载；及
一个以上的工序模块，上述工序模块设置于上述装载/卸载模块一侧，并且形成有封闭的处理空间，以接收装载有多个基板的托盘并进行工序，
缓冲模块，其具备一个以上用于临时存储托盘的缓冲部，在从上述装载/卸载模块接收托盘，并向上述工序模块传送之前，在上述缓冲部中向托盘的上侧覆盖形成有若干个槽的遮盖部件，在从上述工序模块接收覆盖了遮盖部件的托盘，并向上述装载/卸载模块传送之前，去除托盘上的遮盖部件；及
传送部，在上述装载/卸载模块及上述工序模块之间传送托盘，及在上述工序模块及缓冲模块之间传送托盘；
上述工序模块为在真空状态下执行的模块，上述装载/卸载模块及上述缓冲模块为在大气压状态下执行的模块。
上述缓冲模块可包括：
模块本体；
托盘支承部，设置于上述模块本体上，用于支承托盘；及
遮盖支承部，与上述托盘支承部一起形成用于临时存储托盘的缓冲部，并且向上述托盘支承部的上侧与其隔开间隔地设在上述模块本体上，以在托盘向上侧移动时被遮盖部件覆盖，在上述托盘向下侧移动时对上述遮盖部件进行支承，以能够从上述托盘去除上述遮盖部件。
上述缓冲部可为两个以上。
上述缓冲部可为上下设置。此时，上述缓冲模块可构成为能够使上述上下设置的缓冲部上下移动。并且，上述传送部可构成为能够使托盘向着上述上下设置的缓冲部上下移动。
另一方面，上述缓冲部可为水平设置。此时，上述缓冲模块可构成为能够使上述水平设置的缓冲部水平移动。并且，上述传送部构成为能够使托盘向着上述水平设置的缓冲部移动。
上述托盘支承部可形成为比遮盖支承部更为突出。
上述缓冲模块及一个以上的工序模块可沿着设置于上述装载/卸载模块一侧的导轨来配置；上述传送部可包括传送机器人，上述传送机器人沿着上述导轨来移动，以在上述装载/卸载模块及上述缓冲模块之间传送托盘，以及在上述工序模块及上述缓冲模块之间传送托盘。
上述缓冲模块设置于上述装载/卸载模块的一侧，上述一个以上的工序模块沿着设置在上述缓冲模块的一侧的导轨配置；上述传送部可包括第一传送机器人以及第二传送机器人；上述第一传送机器人在上述装载/卸载模块及上述缓冲模块之间传送托盘；上述第二传送机器人沿着上述导轨移动，以在上述工序模块及上述缓冲模块之间传送托盘。
上述工序模块可用于在真空状态下对基板的表面进行蚀刻或蒸汽沉积工序。
本发明还提供一种如上所述的真空处理系统中使用的缓冲模块。
本发明还提供一种真空处理系统的托盘传送方法，所述方法包括：
基板装载步骤，在托盘上装载多个基板；
第一托盘装载步骤，将装载有基板的托盘向用于临时存储该托盘的缓冲部进行传送；
遮盖覆盖步骤，在上述第一托盘传送步骤中存储于缓冲部中的托盘上覆盖形成有若干个槽的遮盖部件；及
第二托盘装载步骤，将遮盖覆盖步骤中覆盖了形成有若干个槽的遮盖部件的托盘从缓冲部向工序模块传送；
上述工序模块为在真空状态下执行的模块。
所述方法还可包括：
第一托盘卸载步骤，将覆盖了遮盖部件的托盘从工序模块向缓冲部进行存储；
遮盖去除步骤，去除上述第一托盘卸载步骤中存储于缓冲部中的托盘上的遮盖部件；
第二托盘卸载步骤，将遮盖去除步骤中去除了遮盖部件的托盘从缓冲部引出；及
基板卸载步骤，在上述第二托盘卸载步骤之后从托盘上卸载基板。
另一方面，上述真空处理系统可包括两个以上的缓冲部，可在一个缓冲部中进行上述第一托盘装载步骤之后，在另外的缓冲部中进行上述第二托盘卸载步骤，可在一个缓冲部中进行上述第二托盘卸载步骤之后，在另外的缓冲部中进行上述第一托盘装载步骤。
另一方面，上述第一托盘装载步骤及上述第二托盘卸载步骤可通过第一传送机器人来进行，上述第二托盘装载步骤及上述第一托盘卸载步骤可通过第二传送机器人来进行，或者上述第一托盘装载步骤、上述第二托盘卸载步骤、上述第二托盘装载步骤及上述第一托盘卸载步骤可通过一个传送机器人来进行。
上述传送机器人使托盘上下移动来存储于上述缓冲部中，或者从上述缓冲部中引出；并在通过上述传送机器人将托盘存储于上述缓冲部中或从上述缓冲部中引出时，上述缓冲部可以沿上下方向移动。
本发明还提供一种真空处理系统的托盘传送方法，所述方法包括：
基板装载步骤，在托盘上装载多个基板；
遮盖覆盖步骤，在上述托盘上覆盖形成有若干个槽的遮盖部件；及
托盘装载步骤，将在上述遮盖覆盖步骤中覆盖了上述遮盖部件的托盘向工序模块传送；
上述工序模块为在真空状态下执行的模块。
(三)有益效果
本发明所提供的真空处理系统，在工序模块的外部进行对托盘覆盖及去除遮盖部件的操作，因而使得真空处理工序可以迅速有效地进行。
并且，由于现有技术在工序模块内对托盘进行遮盖部件的覆盖或者除去操作，使得工序模块的结构复杂化而导致增加其制造费用，因而与现有技术相比较，由于是在工序模块的外部，尤其是追加设置了用于覆盖或除去遮盖部件的缓冲模块，因而使得真空处理工序不仅可以迅速有效地进行，而且还可以降低工序模块的制造费用。
本发明所提供的真空处理系统，将托盘上的基板装载/卸载过程及托盘上遮盖部件的覆盖及去除过程相互分离开，在不同的模块中来进行，因而减少了传送机器人或者工序模块的待机时间，进而可以显著地缩短了真空处理系统的TACT时间。
并且，本发明通过将托盘上的基板装载/卸载过程及托盘上遮盖部件的覆盖及去除过程相互分离开，在不同的模块中来进行，因而在遮盖的覆盖过程中，可以防止基板在托盘上的装载状态散乱。
并且，本发明提供两个以上的缓冲部，可以使装载基板的托盘的传送有效化，进而整体上可以显著提高真空处理的速度。
附图说明
图1为表示本发明所涉及的真空处理系统的概念图；
图2及图3为表示图1的真空处理系统的缓冲模块的结构及动作的剖视图；
图4为表示图1的真空处理系统的缓冲模块的另一例子的俯视图；
图5为表示本发明所涉及的真空处理系统的变形例的结构图。
具体实施方式
以下，结合附图，对本发明所涉及的真空处理系统、真空处理系统上使用的缓冲模块及真空处理系统的托盘传送方法进行如下所述的详细说明。
图1为表示本发明所涉及的真空处理系统的概念图；图2及图3为表示图1的真空处理系统的缓冲模块的结构及动作的剖视图；图4为表示图1的真空处理系统的缓冲模块的另一例子的俯视图；图5为表示本发明所涉及的真空处理系统的变形例的结构图。
如图1所示，本发明所涉及的真空处理系统100包括装载/卸载模块110、工序模块130、传送部以及缓冲模块200。
上述装载/卸载模块110用于将多个用于工序处理的基板1装载到托盘2上，或者从托盘2上卸载完成了工序处理的基板1，其可以具备多种结构。
上述托盘2作为支承基板1的矩形的板状部件，在装载了基板1的状态下向各个模块进行传送。并且，在上述托盘2上，基板1可以配置为若干列等合适的形态。
而且，上述托盘2为了由传送部来传送及向各模块内移动，还可以形成具有衬底等的多种结构，考虑到真空处理是根据等离子体来进行的情况，可以采用具备抗等离子体性能的材质来制造。
上述装载/卸载模块110上设置有X-Y机器人之类的装载/卸载机器人(未图示)，上述装载/卸载机器人用于从外部装载有多个基板1的盒子(未图示)引出基板1，并向托盘2上的各个位置装载基板1，或者从托盘2上的各个位置卸载基板1。
上述工序模块130构成为对基板进行蚀刻、蒸汽沉积等设定的工序，根据工序的种类可以具备多种结构。
比如，上述工序模块130包含腔室本体(未图示)、顶端引导部(未图示)、喷头(未图示)以及基板支承台(未图示)等，并形成等离子体而能对基板1进行真空处理，其中，上述腔室本体、顶端引导部、喷头以及基板支承台为相互可拆卸地结合的。此时，除了需要规定的真空压的工序模块130之外，其余的装载/卸载模块110以及缓冲模块200可以在大气压中运行。
并且，上述真空处理系统100可仅设置一个工序模块，或者可以设置进行相同工序的多个工序模块130，或者可以设置进行不同工序的多个工序模块130。
上述缓冲模块200为临时存储托盘2的结构，可具备多种结构，其配置有一个以上的缓冲部S，该缓冲部S用于在从装载/卸载模块110接收托盘2然后向工序模块130传送之前，或者在从工序模块130接收托盘2然后向装载/卸载模块110传送之前，临时存储托盘2。
另一方面，在太阳能电池用基板的情况下，按照工序有必要将装载了多个基板1的托盘2的上部用遮盖部件3来进行覆盖。此时，上述遮盖部件3的覆盖过程在装载/卸载模块130中进行的情况下，存在真空处理系统的TACT增加的问题。
更具体地，基板的装载/卸载操作以及遮盖部件3的覆盖及除去操作均在一个装载/卸载模块内进行的情况下，由于在装载/卸载模块中所需的时间变长，从而存在TACT时间变长的问题。
并且，装载/卸载模块110中进行的基板1的装载/卸载操作以及遮盖部件3的覆盖及除去操作所需要的时间，要长于在别的模块中进行的时间，因而存在别的模块需要等待直到基板1的装载/卸载操作以及遮盖部件3的覆盖及除去操作完成为止的问题。
此处，上述遮盖部件3根据其应用目的可以具备多种结构，图如2及图3所示，可以包括遮盖部3a以及支承部3c；上述遮盖部3a形成有若干个槽(未图示)；上述支承部3c由遮盖部3a的边缘部位延长形成，以使遮盖部3a与托盘2上装载的基板1隔开规定的间距。此时的上述遮盖部件3是为了实现如下的预定的目的而例示出的，即，将通过槽流入的等离子体进行贮存并在基板1的表面形成凹凸等。
因此，上述缓冲模块200可以构成为，从装载/卸载模块110接收托盘2并向工序模块130传送之前，在托盘2的上侧覆盖遮盖部件3，并在从工序模块130接收覆盖了遮盖部件3的托盘2而向装载/卸载模块110传送之前，将遮盖部件3从托盘2上移除。此时，上述装载/卸载模块110只在托盘2上执行对基板1的装载/卸载。
上述缓冲模块200为用于对遮盖部件3进行覆盖及去除的结构，根据驱动原理而可以具备多种结构，如图2及图3所示，可以包括模块本体230、托盘支承部210及遮盖支承部220。此时，作为用于临时存储上述托盘2的结构，上述缓冲部S可以由包含托盘支承部210及遮盖支承部220的空间来构成。
为了设置托盘支承部210及遮盖支承部220，上述模块本体230可以构成为形成了缓冲模块200的本体的多种结构。
并且，上述缓冲模块200可以包括缓冲部S以及驱动部240，上述缓冲部S用于覆盖及去除遮盖部件3、以及存储及引出托盘2，上述驱动部240用于使模块本体230在上下方向上移动。当然，在静止的状态下，上述模块本体230可以构成为在上下方向上使托盘支承部210及遮盖支承部220中至少一个移动的、用于覆盖及去除遮盖部件3的任何结构。
上述托盘支承部210设置于模块本体230上，用于支承托盘2的两端，可以构成为从模块本体230的内侧面突出等多种结构。
上述遮盖支承部220是朝向托盘支承部210的上侧隔开间隔地设在模块本体230上，从而，如图2b及图2c所示，托盘2向上侧移动时被遮盖部件3覆盖，并如图3a及图3b所示，托盘2向下侧移动时，对遮盖部件3的两端进行支承以去除遮盖部件3。
上述遮盖支承部220可以构成为与托盘支承部210一样，从模块本体230的内侧面突出形成等多种结构。
此处，优选地，上述遮盖支承部220为了仅对遮盖部件3进行支承，而形成为支承遮盖部件3的末端，但不挂住托盘2的末端。
因此，上述托盘2可以形成为短于遮盖部件3的两端，为了可以支承这样的托盘2的两端，托盘支承部210可以形成为比遮盖支承部220更为突出。
另一方面，上述缓冲模块200包括两个以上的缓冲部S，向空着的缓冲部S存储托盘2，从另一个缓冲部S引出托盘2，这样构成较为有效。
因此，如图2及图3所示，上述缓冲模块200可以上下配置有两个以上的缓冲部S。此时，可以将这些缓冲部2设置成能够沿上下移动，以便于进行后述的托盘2的引入及引出。
此时，可以将用于引入及引出托盘2的传送部，即传送机器人，设置成能够与缓冲部S的上下移动同时或者单独上下移动。当然，上述传送部在由多个传送机器人构成的情况下，可以只使至少一个传送机器人进行上下移动。
并且，如图4所示，上述缓冲模块200可以将两个以上的缓冲部S沿水平方向配置。此时，这些托盘2能够沿水平方向移动地被设置，以便于进行后述的托盘2的引入及引出。当然，上述缓冲部S也可以构成为能沿垂直方向移动。
此时，用于托盘2的引入及引出的传送部可以设置成，在缓冲部S的水平移动的同时或者单独进行水平移动。当然，在上述传送部由多个传送机器人构成的情况下，可以构成为只使至少一个传送机器人进行水平移动。并且，显然地，上述传送部及缓冲部S中至少一个可以设置为既可以水平移动也可以沿垂直方向移动。
上述传送部为在装载/卸载模块110及缓冲模块200之间、工序模块130及缓冲模块200之间传送托盘2的结构，根据其传送方式可以具备多种结构。尤其是，根据真空处理系统100的设置，传送部可以由一个或者两个以上的传送机器人R1及R2来构成。
在上述真空处理系统100中，缓冲模块200可以像图1及图4那样设置在装载/卸载模块110及工序模块130之间，也可以像图5那样沿着设置在装载/卸载模块110的一侧的导轨330与工序模块130一起设置。
此时，上述传送部设置于装载/卸载模块110及工序模块130之间的情况下，如图1及图4所示，包括第一传送机器人R1以及第二传送机器人R2；上述第一传送机器人R1用于在装载/卸载模块110及缓冲模块200之间传送托盘2，上述第二传送机器人R2用于在缓冲模块200与工序模块130之间传送覆盖了遮盖部件3的托盘2。
由于上述第一传送机器人R1在装载/卸载模块110及缓冲模块200之间传送托盘2，所以只要能进行线性移动，则可以为任意的结构，并且可以设置在装载/卸载模块110上。此处，上述第一传送机器人R1可被设置成能沿上下方向移动。
上述第二传送机器人R2可构成为，根据具体要求，可以使覆盖了遮盖部件3的托盘2在缓冲模块200与工序模块130之间做线性移动、回转移动及上下移动中的至少部分组合的移动。
并且，考虑到设置有多个模块的情况，上述第二传送机器人R2可被设置成，能够沿着设置在缓冲模块200的一侧而对机器人的移动进行引导的导轨330移动。
另一方面，如图5所示，上述传送部，在沿着设置于装载/卸载模块110一侧的导轨330而一起设置缓冲模块200及工序模块300的情况下，可包括导轨330及传送机器人R2；其中，上述导轨330设置于装载/卸载模块110一侧，上述传送机器人R2沿着上述导轨330移动，以在缓冲模块200与工序模块110之间传送托盘2。此时，上述传送机器人R2具备与图1及图4所示的第二传送机器人R2类似的结构。
具备如上所述结构的真空处理系统中，托盘2的传送过程的详细说明如下所述。此时，举例说明，上述真空处理系统100具备两个以上的缓冲部S及两个传送机器人R1、R2，并且遮盖部件3覆盖在缓冲模块200的缓冲部S上。
如上所述的真空处理系统100传送托盘2的方法包括：基板装载步骤，在托盘2上装载多个基板1；第一托盘装载步骤，在基板装载步骤之后，将装载有基板1的托盘2向用于临时装载该托盘2的缓冲部S进行传送；遮盖覆盖步骤，将在第一托盘装载步骤中存储于缓冲部S中的托盘2用遮盖部件3进行覆盖；以及第二托盘装载步骤，将在遮盖覆盖步骤中覆盖了遮盖部件3的托盘2向工序模块130传送，通过这些步骤传送托盘2。
另一方面，在上述第二托盘装载步骤之后执行下述的步骤，即，工序执行步骤，在工序模块130中执行工序；第一托盘卸载步骤，在工序执行步骤之后将托盘2从工序模块110向缓冲部S存储；遮盖去除步骤，去除第一托盘卸载步骤中装载于缓冲部S中的托盘2上的遮盖部件3；第二托盘卸载步骤，将遮盖去除步骤中去除了遮盖部件3的托盘2从缓冲部S引出；以及基板卸载步骤，在第二托盘卸载步骤之后对托盘2上装载的基板1进行卸载。
在上述基板装载步骤中，作为在装载/卸载模块110中进行的过程，如上所述，根据装载/卸载机器人从装有多个基板1的盒子(未图示)引出基板1，并在托盘2上的各个位置上装载基板1。
上述第一托盘装载步骤，在托盘2上全部装载好基板1之后进行，通过传送部将托盘2从装载/卸载模块110向缓冲模块200的缓冲部S中的空着的缓冲部S进行传送。
在如图1及4所示的情况下，上述托盘2可以用第一传送机器人R1来移动，在如图5所示的情况下，上述托盘2可以用第二传送机器人R2来移动。
另一方面，作为传送上述托盘2的传送部的第一传送机器人R1可以在传送托盘2的第一托盘装载步骤之后执行作为第一托盘装载步骤的反向过程的第二托盘卸载步骤，以从另外的缓冲部S中引出所装载的托盘2并向装载/卸载模块110传送。
并且，在上述第一托盘卸载步骤之后，作为传送部的第二传送机器人可以执行第二托盘装载步骤。
如上所述的托盘传送方法，关于托盘2的引入及引出过程的更详细的说明如下所述。
如图2a所示，装载有多个基板1的托盘2从装载/卸载模块110向缓冲模块S引入的过程是由传送机器人R1将托盘2向托盘支承部220传送而进行的。
并且，上述第一传送机器人R1在将托盘2向托盘支承部220装载之后倒退，之后如图2b所示，第二传送机器人R2进入托盘2的下侧。
第二传送机器人R2完成进入时，缓冲模块200向下侧移动，托盘2被第二传送机器人R2支承而相对地向上侧移动。此处，第二传送机器人R2可以向上侧移动，以替代上述缓冲模块200向上侧的移动。
并且，如图2c所示，上述托盘2移动至被遮盖支承部210支承的遮盖部件3的位置时，缓冲模块200停止该移动，第二传送机器人R2将覆盖了遮盖部件3的托盘2从缓冲部S引出，并向工序模块130传送。
另一方面，工序模块130中工序结束时，如图3a所示，第二传送机器人R1从工序模块130引出托盘2并向空着的缓冲部S传送托盘2。此时，上述托盘2的引入位置与遮盖支承部210的设置位置对应。
通过上述第二传送机器人R1完成托盘2的进入时，缓冲模块200向上侧移动，被第二传送机器人R1支承的托盘2相对地向下侧移动。此时，由于上述遮盖部件3受到遮盖支承部210的支承，所以只有托盘2向下侧移动。
上述托盘2向下侧移动至托盘支承部220时，缓冲模块200停止该移动，第二传送机器人R2后退，如图3c所示，第一传送机器人R1为了引出托盘2而进入缓冲部S，并引出托盘2。
另一方面，本发明针对在装载多个基板1的托盘2上需要进行遮盖部件3的覆盖的工序，将遮盖部件3的覆盖及去除在工序模块130的外部进行而不是在130的内部，尤其是在缓冲模块200中进行，从而使得整体的真空处理工序迅速有效地进行。
即，本发明所涉及的真空处理系统的托盘传送方法通过基板装载步骤、遮盖覆盖步骤以及托盘装载步骤来进行；其中，上述基板装载步骤中在托盘2上装载多个基板1；上述遮盖覆盖步骤中在托盘2上覆盖形成有若干个槽的遮盖部件3；上述托盘装载步骤中向工序模块130传送上述遮盖覆盖步骤中覆盖了遮盖部件3的托盘2。
以上只是对通过本发明能够实现的优选实施例的一部分进行了说明，众所周知，本发明的保护范围不能被解释为仅限于上述实施例，上述本发明的技术思想及以其为根本的技术思想均包括在本发明的保护范围内。

Claims (22)

1.一种真空处理系统，其特征在于，所述真空处理系统包括：
装载/卸载模块，在托盘上对多个基板进行装载或者卸载；
一个以上的工序模块，所述工序模块设置于所述装载/卸载模块一侧，并且形成有封闭的处理空间，以接收装载有多个基板的托盘并进行工序；
缓冲模块，其具备一个以上用于临时存储托盘的缓冲部，在从所述装载/卸载模块接收托盘，并向所述工序模块传送之前，在所述缓冲部中向托盘的上侧覆盖形成有若干个槽的遮盖部件，在从所述工序模块接收覆盖了遮盖部件的托盘，并向所述装载/卸载模块传送之前，去除托盘上的遮盖部件；及
传送部，在所述装载/卸载模块及所述工序模块之间传送托盘，及在所述工序模块及缓冲模块之间传送托盘；
所述工序模块为在真空状态下执行的模块，所述装载/卸载模块及缓冲模块为在大气压状态下执行的模块。
2.如权利要求1所述的真空处理系统，其特征在于，
所述缓冲模块包括：
模块本体；
托盘支承部，设置于所述模块本体上，用于支承托盘；及
遮盖支承部，与所述托盘支承部一起形成用于临时存储托盘的缓冲部，并且向所述托盘支承部的上侧与其隔开间隔地设在所述模块本体上，以在托盘向上侧移动时被遮盖部件覆盖，在所述托盘向下侧移动时对所述遮盖部件进行支承，以能够从所述托盘去除所述遮盖部件。
3.如权利要求2所述的真空处理系统，其特征在于，
所述缓冲部为两个以上。
4.如权利要求3所述的真空处理系统，其特征在于，
所述缓冲部为上下设置。
5.如权利要求4所述的真空处理系统，其特征在于，
所述缓冲模块构成为能够使所述上下设置的缓冲部上下移动。
6.如权利要求4所述的真空处理系统，其特征在于，
所述传送部构成为能够使托盘向着所述上下设置的缓冲部上下移动。
7.如权利要求2所述的真空处理系统，其特征在于，
所述缓冲部为水平设置。
8.如权利要求7所述的真空处理系统，其特征在于，
所述缓冲模块构成为能够使所述水平设置的缓冲部水平移动。
9.如权利要求7所述的真空处理系统，其特征在于，
所述传送部构成为能够使托盘向着所述水平设置的缓冲部移动。
10.如权利要求2所述的真空处理系统，其特征在于，
所述托盘支承部形成为比遮盖支承部更为突出。
11.如权利要求1至10中任一项所述的真空处理系统，其特征在于，所述缓冲模块及所述一个以上的工序模块沿着设置于所述装载/卸载模块一侧的导轨配置；
所述传送部包括传送机器人，所述传送机器人沿着所述导轨移动，以在所述装载/卸载模块及所述缓冲模块之间传送托盘，以及在所述工序模块及所述缓冲模块之间传送托盘。
12.如权利要求1至10中任一项所述的真空处理系统，其特征在于，所述缓冲模块设置于所述装载/卸载模块的一侧，所述一个以上的工序模块沿着设置在所述缓冲模块的一侧的导轨配置；
所述传送部包括第一传送机器人以及第二传送机器人；所述第一传送机器人在所述装载/卸载模块及所述缓冲模块之间传送托盘；所述第二传送机器人沿着所述导轨移动，以在所述工序模块及所述缓冲模块之间传送托盘。
13.如权利要求1至10中任一项所述的真空处理系统，其特征在于，所述工序模块用于在真空状态下对基板的表面进行蚀刻或蒸汽沉积工序。
14.一种缓冲模块，其特征在于，使用在权利要求1至10中任一项所述的真空处理系统中。
15.一种真空处理系统的托盘传送方法，其特征在于，所述方法包括：
基板装载步骤，在托盘上装载多个基板；
第一托盘装载步骤，将装载有基板的托盘向用于临时存储该托盘的缓冲部进行传送；
遮盖覆盖步骤，在所述第一托盘传送步骤中存储于缓冲部中的托盘上覆盖形成有若干个槽的遮盖部件；及
第二托盘装载步骤，将遮盖覆盖步骤中覆盖了形成有若干个槽的遮盖部件的托盘从缓冲部向工序模块传送；
所述工序模块为在真空状态下执行的模块。
16.如权利要求15所述的真空处理系统的托盘传送方法，其特征在于，所述方法还包括：
第一托盘卸载步骤，将所述覆盖了遮盖部件的托盘从工序模块向缓冲部进行存储；
遮盖去除步骤，去除所述第一托盘卸载步骤中存储于缓冲部中的托盘上的遮盖部件；
第二托盘卸载步骤，将在所述遮盖去除步骤中去除了遮盖部件的托盘从缓冲部引出；及
基板卸载步骤，在所述第二托盘卸载步骤之后从托盘上卸载基板。
17.如权利要求16所述的真空处理系统的托盘传送方法，其特征在于，
所述真空处理系统包括两个以上的缓冲部，
在一个缓冲部中进行所述第一托盘装载步骤之后，在另外的缓冲部中进行所述第二托盘卸载步骤，
在一个缓冲部中进行所述第二托盘卸载步骤之后，在另外的缓冲部中进行所述第一托盘装载步骤。
18.如权利要求16所述的真空处理系统的托盘传送方法，其特征在于，所述第一托盘装载步骤及所述第二托盘卸载步骤通过第一传送机器人来进行，
所述第二托盘装载步骤及所述第一托盘卸载步骤通过第二传送机器人来进行。
19.如权利要求16所述的真空处理系统的托盘传送方法，其特征在于，所述第一托盘装载步骤、所述第二托盘卸载步骤、所述第二托盘装载步骤及所述第一托盘卸载步骤通过一个传送机器人来进行。
20.如权利要求18或19所述的真空处理系统的托盘传送方法，其特征在于，所述传送机器人使托盘上下移动来存储于所述缓冲部中，或者从所述缓冲部中引出。
21.如权利要求18或19所述的真空处理系统的托盘传送方法，其特征在于，在通过所述传送机器人将托盘存储于所述缓冲部中或从所述缓冲部中引出时，所述缓冲部沿上下方向移动。
22.一种真空处理系统的托盘传送方法，其特征在于，所述方法包括：
基板装载步骤，在托盘上装载多个基板；
遮盖覆盖步骤，在所述托盘上覆盖形成有若干个槽的遮盖部件；及
托盘装载步骤，将在所述遮盖覆盖步骤中覆盖了所述遮盖部件的托盘向工序模块传送；
所述工序模块为在真空状态下执行的模块。
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