CN101982301A - 紧凑型灵敏气缸 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及双面抛光/研磨机领域,尤其涉及双面抛光/研磨机上盘系统的控制压力用气缸的结构。一种紧凑型灵敏气缸,包括有气缸后盖(1)、气缸前盖(9)分别与缸筒(13)连接,缸筒(13)上设有上通气口(15)活塞杆(8)上设有活塞(5),其主要特点是包括有在气缸后盖(1)上设有与主气缸连接用螺纹孔(2)。本发明的优点是有效的缩小了轴向安装尺寸,大大缩短了上盘系统的安装尺寸。前缸盖的焊接结构,后缸盖采用沉头螺钉连接,一方面头大大的增强了气缸使用安全性,另一方面气缸外观整齐,光滑美观。特殊的活塞密封件,不仅能够起到有效的密封作用,还实现了运动的低摩擦性,是实现上盘系统压力精确控制的有力保证。
Description
技术领域:
本发明涉及双面抛光/研磨机领域,尤其涉及双面抛光/研磨机上盘系统的控制压力用气缸的结构。
背景技术:
电子专用加工设备双面抛光机的压力控制通常采用气动控制,气缸通常作为执行元件。传统的抛光设备的加压气缸通常采用普通气缸或低摩擦气缸,均为标准气缸。由于双面抛光/研磨设备的使用环境对洁净度要求较高,设备通常在洁净厂房内使用,因此对设备的高度有所限制,对作用压力要求精确平稳。在实际生产中,如果采用市场上可采购到的标准气缸,压力精度、结构尺寸、洁净要求均不能满足工艺使用的要求。
发明内容:
本发明的目的在于避免现有技术的不足,提供一种紧凑型灵敏气缸。以解决因采用标准气缸导致设备高度过高及不易清洁的问题,同时实现对上盘系统压力的精确控制。
为实现上述目的,本发明采取的技术方案为:一种紧凑型灵敏气缸,包括有气缸后盖(1)、气缸前盖(9)分别与缸筒(13)连接,缸筒(13)上设有上通气口(15)活塞杆(8)上设有活塞(5),其主要特点是包括有在气缸后盖(1)上设有与主气缸连接用螺纹孔(2)。
所述的紧凑型灵敏气缸,所述的活塞杆(8)的杆端设有与拉力传感器连接的杆端螺纹。
所述的紧凑型灵敏气缸,在所述的气缸后盖(1)与活塞(5)之间设有上缓冲垫(14);在气缸前盖(9)与活塞(5)之间设有下缓冲垫(7)。
所述的紧凑型灵敏气缸,在所述的活塞(5)上设有活塞密封圈(6)。
所述的紧凑型灵敏气缸,在所述的活塞密封圈(6)上涂有低摩擦润滑脂。所述的活塞密封圈(6)为特殊橡胶。
在所述的缸筒内壁采用珩磨加工,光洁度小于0.4μm。从而使气缸动作灵敏,启动压力0.005Mpa,而普通气缸为0.05MPa。
本发明的有益效果:
本发明上盘系统的升降和加压分别由两个串联的气缸完成,主气缸负责上盘系统的快速升降,加压缸负责上盘系统的压力控制。采用传统的标准气缸时,主气缸和加压气缸之间由过渡连接法兰连接,无形中增大了轴向尺寸。在本发明中,将加压气缸的后端盖加厚,并在后端盖中间位置做有与主气缸缸杆杆端螺纹一致的螺纹孔,这样主气缸可直接与加压气缸相连,省去了中间的过渡连接法兰。加压缸的缸杆前端外螺纹做成与拉力传感器的螺纹一致,加压缸与拉力传感器可直接相连,同样可省去中间的过渡零件。采用以上结构,有效的缩小了轴向安装尺寸,大大缩短了上盘系统的安装尺寸。前缸盖的焊接结构,后缸盖采用沉头螺钉连接,一方面头大大的增强了气缸使用安全性,另一方面气缸外观整齐,光滑美观。特殊的活塞密封件,不仅能够起到有效的密封作用,还实现了运动的低摩擦性,是实现上盘系统压力精确控制的有力保证。
本发明紧凑型灵敏气缸,主要应用于电子专用加工设备双面抛光/研磨机上盘系统的压力控制及缓升缓降用,也可用于其他需要精确压力控制及低速平稳动作控制的场合。
附图说明:
图1是本发明的结构示意图;
图2升降和加压两个气缸串联的结构示意图。
图中:1、气缸后盖;2、与主气缸连接用螺纹孔;3密封圈;4、螺钉连接孔;5、活塞;6、密封圈;7、缓冲垫;8、活塞杆;9、前盖;10、与拉力传感连接的杆端螺纹;11、密封圈;12、通气口;13、缸筒;14缓冲垫;15、通气口;16、主气缸杠杆;17、螺母。
具体实施方式:
以下对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
实施例1:一种紧凑型灵敏气缸,包括有气缸后盖1、气缸前盖9分别与缸筒13连接,缸筒13上设有上通气口15活塞杆8上设有活塞5,包括有在气缸后盖1上设有与主气缸连接用螺纹孔2。所述的活塞杆8的杆端设有与拉力传感器连接的杆端螺纹。在所述的气缸后盖1与活塞5之间设有上缓冲垫14;在气缸前盖9与活塞5之间设有下缓冲垫7。在所述的活塞5上设有活塞密封圈6。在所述的活塞密封圈6上涂有低摩擦润滑脂。加压缸前缸盖与缸筒间采用焊接结构,后缸盖和缸筒采用沉头螺钉连接,后缸盖中间位置做有与主气缸缸杆杆端螺纹一致的螺纹孔,加压缸的缸杆杆端螺纹分为两段,其中前端外螺纹与拉力传感器的螺纹一致,气缸行程两端采用弹性缓冲,活塞采用整体式低摩擦型,在保证密封可靠的前提下,实现运动的低摩擦性。气缸侧面留有两个通气口,气缸内添加低摩擦润滑脂。
实施例2:如图2,所述的紧凑型灵敏气缸通过与主气缸连接用螺纹孔2与主气缸相连接。
本气缸用于双面抛光/研磨机工作时上盘的缓升缓降及加工压力精确控制,主气缸杠杆(或其他动作机构)旋入其后盖螺纹孔即可进行大行程快升快降动作。
上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种紧凑型灵敏气缸,包括有气缸后盖(1)、气缸前盖(9)分别与缸筒(13)连接,缸筒(13)上设有上通气口(15),活塞杆(8)上设有活塞(5),其特征是,还包括有在气缸后盖(1)上设有与主气缸连接用螺纹孔(2)。
2.如权利要求1所述的紧凑型灵敏气缸,其特征是,所述的活塞杆(8)的杆端设有与拉力传感器连接的杆端螺纹。
3.如权利要求1或2所述的紧凑型灵敏气缸,其特征是,在所述的气缸后盖(1)与活塞(5)之间设有上缓冲垫(14);在气缸前盖(9)与活塞(5)之间设有下缓冲垫(7)。
4.如权利要求1所述的紧凑型灵敏气缸,其特征是,在所述的活塞(5)上设有活塞密封圈(6)。
5.如权利要求1所述的紧凑型灵敏气缸,其特征是,在所述的活塞密封圈(6)上涂有低摩擦润滑脂。
6.如权利要求1所述的紧凑型灵敏气缸,其特征是,在所述的缸筒内壁采用珩磨加工,光洁度小于0.4μm。
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