CN203875733U - 超精密双面抛光机系统设备 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种超精密双面抛光机系统设备，包括由控制装置、控制系统和抛光盘构成的机体，控制装置通过控制系统与抛光盘连接，抛光盘包括上抛光盘和下抛光盘，机体设置有气缸、横梁、立柱、内齿圈、轴承、垫铁、小轴、中轴、大轴、工件、行星轮、连接杆、球头轴承、活塞、减速机构和变频电机，气缸安装在横梁上，气缸上的活塞通过球头轴承与连接杆相连，上抛光盘与连接杆固定，立柱与横梁连接，立柱安装在机体上，垫铁安装在机体下端，工件安装在上抛光盘与下抛光盘之间，且工件在行星轮内部，行星轮安装在中轴上，内齿圈通过轴承安装在床身上，下抛光盘安装在大轴上，小轴与上抛光盘连接；本实用新型是一种设计合理，结构科学超，且有效提高工作效率和精确控制周密性的精密双面抛光机系统设备。

Description

超精密双面抛光机系统设备
技术领域
本实用新型涉及一种超精密双面抛光机系统设备。
背景技术
传统的研磨抛光机常采用普通电机拖动，通过齿轮传动系统实现上下抛光盘以及内外齿圈的传动，从而实现对工件的研磨抛光，其上下抛光盘与行星轮只有两种速度比，限制了双面抛光机加工运动轨迹的变化，缺乏对速度的精确控制。
当今大规模双面抛光机需求急剧增长，大幅面，高性能、高精度、智能化的抛光设备和新型电控元件通过大规模电气控制系统连接在一起，形成了精密双面抛光机电气控制/软件系统。由于大规模双面抛光机的机械特性和电气控制系统相互制约，相互影响，其系统表现异常复杂。另一方面，大规模精密双面抛光机在系统构架上是分层、分区、独立控制又相辅相成运行，大规模精密双面抛光机市场的出现对抛光机又提出了许多非技术性要求。其中，技术层面、管理层面、市场层面的问题交织在一起，使得主要依赖传统控制的电气控制系统很难实现现代精密抛光机的智能化控制。因此，需要提供一种新的技术方案来解决上述问题。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
为解决上述问题，本实用新型提出了一种设计合理，结构科学超，且有效提高工作效率和精确控制周密性的精密双面抛光机系统设备。
(二)技术方案
本实用新型的超精密双面抛光机系统设备，包括由控制装置、控制系统和抛光盘构成的机体，控制装置通过控制系统与抛光盘连接，抛光盘包括上抛光盘和下抛光盘，机体设置有气缸、横梁、立柱、内齿圈、轴承、垫铁、小轴、中轴、大轴、工件、行星轮、连接杆、球头轴承、活塞、减速机构和变频电机，气缸安装在横梁上，气缸上的活塞通过球头轴承与连接杆相连，上抛光盘与连接杆固定，立柱与横梁连接，立柱安装在机体上，垫铁安装在机体下端，工件安装在上抛光盘与下抛光盘之间，且工件在行星轮内部，行星轮安装在中轴上，内齿圈通过轴承安装在床身上，下抛光盘安装在大轴上，小轴与上抛光盘连接。
进一步地，所述控制系统包括D/A转换装置、A/D转换装置、数字阀传感器、变频器、数字阀装置、压力与位置检测装置、抛光液喷嘴、速度检测器、液压阀装置、阀门控制装置、液压泵装置、压力检测器和减速器。
进一步地，所述小轴、中轴、大轴、和内齿圈分别都是通过变频电机与减速器驱动。
进一步地，所述控制装置设置有人机交互界面和智能专家诊断系统。
进一步地，所述工控机具有智能专家诊断系统。
(三)有益效果
本实用新型与现有技术相比较，其具有以下有益效果：
本实用新型的超精密双面抛光机系统设备：通过控制装置、控制系统和抛光盘构成的机体；使本实用新型具有一种设计合理，结构科学超，且有效提高工作效率和精确控制周密性的精密双面抛光机系统设备。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的控制系统示意图。
1-控制装置；2-控制系统；3-抛光盘；4-机体；5-上抛光盘；6-下抛光盘；7-气缸；8-横梁；9-立柱；10-内齿圈；11-轴承；12-垫铁；13-小轴；14-中轴；15-大轴；16-工件；17-行星轮；18-连接杆；19-球头轴承；20-活塞；21-减速机构；22-变频电机。
具体实施方式
如图1和图2所示的一种超精密双面抛光机系统设备，包括由控制装置1、控制系统2和抛光盘3构成的机体4，控制装置1通过控制系统2与抛光盘3连接，抛光盘3包括上抛光盘5和下抛光盘6，机体4设置有气缸7、横梁8、立柱9、内齿圈10、轴承11、垫铁12、小轴13、中轴14、大轴15、工件16、行星轮17、连接杆18、球头轴承19、活塞20、减速机构21和变频电机22，气缸7安装在横梁8上，气缸7上的活塞20通过球头轴承19与连接杆18相连，上抛光盘5与连接杆18固定，立柱9与横梁8连接，立柱9安装在机体4上，垫铁12安装在机体4下端，工件16安装在上抛光盘5与下抛光盘6之间，且工件16在行星轮17内部，行星轮17安装在中轴14上，内齿圈10通过轴承11安装在机体4上，下抛光盘6安装在大轴15上，小轴13与上抛光盘5连接。
其中，所述控制系统2包括D/A转换装置、A/D转换装置、数字阀传感器、变频器、数字阀装置、压力与位置检测装置、抛光液喷嘴、速度检测器、液压阀装置、阀门控制装置、液压泵装置、压力检测器和减速器；所述小轴13、中轴14、大轴15、和内齿圈10分别都是通过变频电机22与减速器驱动；所述控制装置1设置有人机交互界面和智能专家诊断系统。
本实用新型的超精密双面抛光机系统设备，其优点在于：通过控制装置、控制系统和抛光盘构成的机体；使本实用新型具有一种设计合理，结构科学超，且有效提高工作效率和精确控制周密性的精密双面抛光机系统设备。
上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本实用新型的保护范围，本实用新型请求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。

Claims (4)

1.一种超精密双面抛光机系统设备，其特征在于：包括由控制装置(1)、控制系统(2)和抛光盘(3)构成的机体(4)，控制装置(1)通过控制系统(2)与抛光盘(3)连接，抛光盘(3)包括上抛光盘(5)和下抛光盘(6)，机体(4)设置有气缸(7)、横梁(8)、立柱(9)、内齿圈(10)、轴承(11)、垫铁(12)、小轴(13)、中轴(14)、大轴(15)、工件(16)、行星轮(17)、连接杆(18)、球头轴承(19)、活塞(20)、减速机构(21)和变频电机(22)，气缸(7)安装在横梁(8)上，气缸(7)上的活塞(20)通过球头轴承(19)与连接杆(18)相连，上抛光盘(5)与连接杆(18)固定，立柱(9)与横梁(8)连接，立柱(9)安装在机体(4)上，垫铁(12)安装在机体(4)下端，工件(16)安装在上抛光盘(5)与下抛光盘(6)之间，且工件(16)在行星轮(17)内部，行星轮(17)安装在中轴(14)上，内齿圈(10)通过轴承(11)安装在机体(4)上，下抛光盘(6)安装在大轴(15)上，小轴(13)与上抛光盘(5)连接。
2.根据权利要求1所述的超精密双面抛光机系统设备，其特征在于：所述控制系统(2)包括D/A转换装置、A/D转换装置、数字阀传感器、变频器、数字阀装置、压力与位置检测装置、抛光液喷嘴、速度检测器、液压阀装置、阀门控制装置、液压泵装置、压力检测器和减速器。
3.根据权利要求1所述的超精密双面抛光机系统设备，其特征在于：所述小轴(13)、中轴(14)、大轴(15)、和内齿圈(10)分别都是通过变频电机(22)与减速器驱动。
4.根据权利要求1所述的超精密双面抛光机系统设备，其特征在于：所述控制装置(1)设置有人机交互界面和智能专家诊断系统。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105058229A (zh) * 2015-08-18 2015-11-18 浙江工业大学 一种改进的平面滚压方法及装置
CN105127879A (zh) * 2015-09-18 2015-12-09 哈尔滨理工大学 龙门式蓝宝石晶片双面研磨/抛光机及研磨抛光的方法

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