CN101965606B - 有源矩阵基板、显示装置、有源矩阵基板的检查方法和显示装置的检查方法 - Google Patents

有源矩阵基板、显示装置、有源矩阵基板的检查方法和显示装置的检查方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种有源矩阵基板、显示装置、有源矩阵基板的检查方法和显示装置的检查方法，该有源矩阵基板不在端子配置区域形成用于检查连接配线间的短路的检查配线，能够提高显示品质。扫描配线(40)包括：在一端侧具有扫描信号的输入端的第一扫描配线和在另一端侧具有扫描信号的输入端的第二扫描配线，并且在显示区域(4)中，第一扫描配线与第二扫描配线每一根交替地形成。有源矩阵基板(2)具备：与多个第一连接配线(61)的各个交叉的第一检查配线(70)和第二检查配线(72)；与多个第二连接配线(64)的各个交叉的第三检查配线(75)和第四检查配线(77)，第一检查配线至第四检查配线(70、72、75、77)形成在除端子配置区域(5)和显示区域(4)以外的边框配线区域(6)。

Description

有源矩阵基板、显示装置、有源矩阵基板的检查方法和显示装置的检查方法
技术领域
本发明涉及有源矩阵基板、显示装置、有源矩阵基板的检查方法和显示装置的检查方法，该有源矩阵基板具有显示区域，在该显示区域中，在一端侧具有扫描信号的输入端的多个第一扫描配线和在另一端侧具有扫描信号的输入端的多个第二扫描配线以每一根交替且相互平行的方式形成，多个数据配线以与多个第一扫描配线和多个第二扫描配线交叉且相互平行的方式形成。 
背景技术
近年来，在便携式电话、PDA、汽车导航系统、个人计算机、电视机、摄像机、数码相机等各种电子设备中，液晶面板被广泛使用。液晶面板具有薄且轻量、消耗电力少的优点。在这样的液晶面板中，作为安装驱动器的方式，已知有在夹持液晶材料相对的一对基板中的一个基板(例如有源矩阵基板)上直接安装驱动器的方式即所谓的COG(Chip On Glass；玻璃基芯片)方式(参考例如专利文献1～5)。通过使用这种COG方式，能够实现液晶面板的薄型化、小型化、轻量化、配线间和端子间的高精细化。特别是，在近年小型且高精细的液晶面板被期望，形成在显示区域外的配线的断线、短路发生的概率变高。即，在安装工序中，对不良的液晶面板上安装驱动器，成为部件成本或操作成本的损耗，因此在液晶面板的制造时等的检查工序中，有源矩阵基板上的配线的断线、短路的检查变得重要。 
图14是表示以往采用的COG方式的液晶面板100的概略结构的平面图(例如，参照专利文献6)。如图14所示，液晶面板100具有有源矩阵基板200和与有源矩阵基板200相对的相对基板300。另外，在有源矩阵基板200与相对基板300之间，夹持有未图示的液晶材料。 
有源矩阵基板200包括：显示区域201、端子配置区域202、在显示区域201的外侧且包围显示区域201的边框配线区域203。另外，以下，将液晶面板100的1边作为第一边S1(在图14上为下边)，将夹着该第一边S1的左右的边分别作为第二边S2、第三边S3，将与第一边S1相对的边作为第四边S4。
在显示区域201中，形成有多个扫描配线204、多个数据配线205、多个存储电容配线206。这里，在第四边S4一侧(图14上为上侧)的显示区域201形成的多个扫描配线(以下，称为“上侧扫描配线”)204，在一端侧分别具有扫描信号的输入端207。此外，在第一边S1一侧(在图14上为下侧)的显示区域201形成的多个扫描配线(以下，称为“下侧扫描配线”)204，在另一端侧分别具有扫描信号的输入端208。进一步，多个数据配线205在一端侧分别具有数据信号的输入端209。 
在端子配置区域202中，配置有多个扫描端子210和多个数据端子211。 
在边框配线区域203中，形成有：将上侧扫描配线204的扫描信号的输入端207与扫描端子210连接的多个第一连接配线212；将下侧扫描配线204的扫描信号的输入端208与扫描端子210连接的多个第二连接配线213；和将数据配线205的数据信号的输入端209与数据端子211连接的多个第三连接配线214。 
此外，在边框配线区域203中，形成有：用于检查上侧扫描配线204和第一连接配线212是否断线的上侧断线检查配线215；和与该上侧断线检查配线215连接的上侧断线检查焊盘(pad)216。由此，能够在液晶面板100上检测出上侧扫描配线204和第一连接配线212的断线。此外，在边框配线区域203中，形成有：用于检查下侧扫描配线204和第二连接配线213是否断线的下侧断线检查配线217；和与该下侧断线检查配线217连接的下侧断线检查焊盘218。由此，能够在液晶面板100上检测出下侧扫描配线204和第二连接配线213的断线。 
此外，在边框配线区域203中，形成有：多个第一开关元件219；能够向多个第一开关元件219输入接通/断开控制信号的第一开关元件控制配线220；用于检查第奇数个上侧扫描配线204和第奇数个第一连接配线212是否短路的第一上侧短路检查配线221；用于检查第偶数个上侧扫描配线204和第偶数个第一连接配线212是否短路的第二上侧 短路检查配线222。这里，在第一开关元件控制配线220上连接有控制焊盘223。此外，在第一上侧短路检查配线221上连接有第一上侧短路检查焊盘224。进而，在第二上侧短路检查配线222上连接有第二上侧短路检查焊盘225。由此，能够在液晶面板100上检测出上侧扫描配线204和第一连接配线212的短路。 
此外，在边框配线区域203中，形成有：多个第二开关元件226；能够向多个第二开关元件226输入接通/断开控制信号的第二开关元件控制配线227；用于检查第奇数个下侧扫描配线204和第奇数个第二连接配线213是否短路的第一下侧短路检查配线228；用于检查第偶数个下侧扫描配线204和第偶数个第二连接配线213是否短路的第二下侧短路检查配线229。这里，在第二开关元件控制配线227上连接有控制焊盘230。此外，在第一下侧短路检查配线228上连接有第一下侧短路检查焊盘231。进而，在第二下侧短路检查配线229上连接有第二下侧短路检查焊盘232。由此，能够在液晶面板100上检测出下侧扫描配线204和第二连接配线213的短路。 
进一步，在边框配线区域203中，形成有：多个第三开关元件233；能够向多个第三开关元件233输入接通/断开控制信号的第三开关元件控制配线234；用于检查R(红)用的数据配线205是否断线、短路的第一数据检查配线235；用于检查G(绿)用的数据配线205是否断线、短路的第二数据检查配线236；和用于检查B(蓝)用的数据配线205是否断线、短路的第三数据检查配线237。这里，在第三开关元件控制配线234上，连接有控制焊盘238。此外，在第一数据检查配线235上连接有第一数据检查焊盘239。此外，在第二数据检查配线236上连接有第二数据检查焊盘240。进而，在第三数据检查配线237上连接有第三数据检查焊盘241。由此，能够在液晶面板100上检测出数据配线205的断线、短路。 
如上所述，在液晶面板100的制造时等的检查工序中，能够进行有源矩阵基板200中的配线的断线、短路的检查。 
但是，近年来，使用于便携式电话、PDA、PHS等小型的电子设备用的液晶面板，从显示画面的纵横的像素数为160×120个的QQVGA(Quarter Quarter Video Graphics Array)、显示画面的纵横的像 素数为176×144个的QCIF(Quarter Common Intermediate Format)，向显示画面的纵横的像素数为320×240个的QVGA(Quarter VideoGraphics Array)、进而向显示面板的纵横的像素数为640×480个的VGA(Video Graphics Array)转变。与此相伴，应该配置在上述液晶面板100的端子配置区域202的扫描端子210和数据端子211的数量增加。但是，为了应对液晶面板100的薄型化、小型化、轻量化、低成本化的要求，需要不扩张现有的端子配置区域202而增加应配置在端子配置区域202的扫描端子210和数据端子211的数量。其结果，应配置在端子配置区域202的端子间的间隔近年来越发变窄。 
这里，在上述液晶面板100上，为了检测下侧扫描配线204和第二连接配线213的短路，在图14的E的部分，需要在端子配置区域202中形成第二开关元件控制配线227、第一下侧短路检查配线228、第二下侧短路检查配线229。即，需要在端子配置区域202形成用于检查下侧扫描配线204和第二连接配线213的短路的至少3根配线227～229。但是，在应配置在端子配置区域202的端子间的间隔变窄的近年来，在端子配置区域202形成3根配线227～229变得困难。于是，为了不将3根配线227～229形成在端子配置区域202，可以考虑图15所示的液晶面板100a、或图16所示的液晶面板100b。 
在图15所示的液晶显示面板100a中，与图14所示的液晶面板100相比较，在比第一连接配线212更靠外侧(第三边S3侧)的边框配线区域203形成3根配线227～229。由此，能够不在端子配置区域202形成3根配线227～229。此外，在图16所示的液晶面板100b中，与图14所示的液晶面板100相比较，代替直接向第一边S1侧引出3根配线227～229，一度向第四边S4一侧引出3根配线227～229，然后向第一边S1一侧引回。由此，与图15所示的液晶面板100a同样地，能够不在端子配置区域202形成3根配线227～229。 
但是，在图15所示的液晶面板100a中，在比第一连接配线212更靠外侧的边框配线区域203中形成3根配线227～229，因此，从下侧扫描配线204的一端侧向第三边S3一侧引出的引出配线242重新形成在边框配线区域203中。因此，如图15所示，第一连接配线212和引出配线242在交叉部分A交叉。由于第一连接配线212与引出配线 242在交叉部分A交叉，因此在该交叉部分A产生静电电容。此时，在着眼于第一连接配线212中的一根时，与和下侧扫描配线204连接的所有引出配线242交叉，分别形成静电电容。相反，着眼于与下侧扫描线204连接的引出配线242中的一根时，与所有第一连接配线212交叉，分别形成静电电容。由此，无论在上侧扫描线204中还是在下侧扫描线204中，负载均变大，因此扫描信号在扫描期间中没有到达希望的电位，或到达希望的电位的期间变短。因此，在像素中不能够将数据信号充分地充电，因此显示品质下降。 
进一步，在上侧扫描线204的根数与下侧扫描线204的根数不同时，加在上侧扫描线204上的负载与加在下侧扫描线204上的负载不同。因此，上侧扫描配线204的到达电位与下侧扫描线204的到达电位不同。因此，与上侧扫描配线204对应的像素的充电率和与下侧扫描配线204对应的像素的充电率不同。即，与根数少的一侧的扫描配线204对应的像素和与根数多的一侧的扫描配线204对应的像素相比较，来自数据配线205的数据信号难以被充电。其结果，在图15所示的液晶面板100a组装在电子设备中时，在该电子设备的显示画面中，在该显示画面的上下显示亮度不同的图像。即，液晶面板100a的显示品质下降。 
此外，在图16所示的液晶面板100b中，以一度向第四边S4一侧引出3根配线227～229，然后向第一边S1一侧引回的方式在边框配线区域203形成3根配线227～229。因此，如图16所示，第一连接配线212和3根配线227～229在交叉部分B交叉。与此相对，第二连接配线213不与任一配线交叉。因此，上侧扫描配线204的到达电位与下侧扫描配线204的到达电位不同。其结果，与图15所示的液晶面板100a相同，图16所示的液晶面板100b组装在电子设备中时，在该电子设备的显示画面中，在该显示画面的上下显示亮度不同的图像。即，与上述液晶面板100a相同，液晶面板100b的显示品质下降。 
专利文献1：日本特开2003-172944号公报 
专利文献2：日本特开2005-301308号公报 
专利文献3：日本特开2003-241217号公报 
专利文献4：日本特开2004-325956号公报 
专利文献5：日本特开2005-241988号公报 
专利文献6：国际公开第2008/015808号手册 
发明内容
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供一种不在端子配置区域形成用于检查连接配线间的短路的检查配线，并且能够提高显示品质的有源矩阵基板、显示装置、有源矩阵基板的检查方法、和显示装置的检查方法。 
为了达到上述目的，本发明的有源矩阵基板，其包括：在显示区域相互平行地形成的多个扫描配线；在上述显示区域中与上述多个扫描配线交叉且相互平行地形成的多个数据配线；和在端子配置区域配置的多个扫描端子和多个数据端子，该有源矩阵基板的特征在于：在上述多个扫描配线中包括：在一端侧具有扫描信号的输入端的多个第一扫描配线；和在另一端侧具有扫描信号的输入端的多个第二扫描配线，并且，在上述显示区域中，上述第一扫描配线与上述第二扫描配线每一根交替地形成，上述有源矩阵基板具备：将上述第一扫描配线的扫描信号的输入端与上述扫描端子连接的多个第一连接配线；将上述第二扫描配线的扫描信号的输入端与上述扫描端子连接的多个第二连接配线；将上述数据配线的数据信号的输入端与上述数据端子连接的多个第三连接配线；与上述多个第一连接配线的各个连接的多个第一开关元件；与上述多个第一连接配线的各个交叉、并能够向上述多个第一开关元件中相互不相邻的第一开关元件输入检查信号的第一检查配线；与上述多个第一连接配线的各个交叉、并能够向上述多个第一开关元件中不与上述第一检查配线连接并且相互不相邻的第一开关元件输入检查信号的第二检查配线；与上述多个第二连接配线的各个连接的多个第二开关元件；与上述多个第二连接配线的各个交叉、并能够向上述多个第二开关元件中相互不相邻的第二开关元件输入检查信号的第三检查配线；和与上述多个第二连接配线的各个交叉、并能够向上述多个第二开关元件中不与上述第三检查配线连接并且相互不相邻的第二开关元件输入检查信号的第四检查配线，上述第一检查配线、上述第二检查配线、上述第三检查配线和上述第四检查配线形成 在除上述端子配置区域和上述显示区域以外的边框配线区域。 
根据本发明的有源矩阵基板，由于具有多个第一开关元件、第一检查配线和第二检查配线，因此能够向相邻的第一连接配线的各个输入相互不同的检查信号。由此，在制造时等的检查工序中，能够检测出相邻的第一连接配线用的短路。即，上述第一检查配线和第二检查配线是用于检查第一连接配线间的短路的检查配线。此外，根据本发明的有源矩阵基板，具有多个第二开关元件、第三检查配线和第四检查配线，因此能够向相邻的第二连接配线的各个输入相互不同的检查信号。由此，在制造时等的检查工序中，能够检测出相邻的第二连接配间的短路。即，第三检查配线和第四检查配线是用于检查第二连接配线间的短路的检查配线。 
此外，第一检查配线和第二检查配线与多个第一连接配线的各个交叉。此外，第三检查配线和第四检查配线与多个第二连接配线的各个交叉。像这样，相同根数的检查配线与多个第一连接配线和多个第二连接配线交叉，因此赋予第一连接配线的负载与赋予第二连接配线的负载相等。因此，与第一连接配线连接的第一扫描配线的到达电位和与第二连接配线连接的第二扫描配线的到达电位相同。因此，在本发明的有源矩阵基板组装在显示装置中时，在该显示装置的显示画面上显示亮度均匀的图像。此外，第一检查配线至第四检查配线形成在除端子配置区域和显示区域以外的边框配线区域。其结果，能够实现不在端子配置区域形成用于检查连接配线间的短路的检查配线，并且能够提高显示品质的有源矩阵基板。 
如以上那样，上述的有源矩阵基板、显示装置、和有源矩阵基板的检查方法，实现如下效果：不在端子配置区域形成用于检查连接配线间的短路的检查配线，并且能够提高显示品质。 
附图说明
图1是表示本实施方式的液晶面板的概略结构的平面图。 
图2是表示本实施方式的另一个液晶面板的概略结构的平面图。 
图3A是表示栅极层配线与源极层配线连接的状态的图。 
图3B是沿着图3A中所示的切断线a-a′切断的剖面图。 
图4A是表示栅极层配线与源极层配线连接的状态的图。 
图4B是沿着图4A中所示的切断线b-b′切断的剖面图。 
图5A是表示栅极层配线与源极层配线连接的状态的图。 
图5B是沿着图5A中所示的切断线c-c′切断的剖面图。 
图6是用于说明第二连接配线用第一检查配线、第二连接配线用第二检查配线、第二开关元件的配置关系的图。 
图7是用于说明第二连接配线用第一检查配线、第二连接配线用第二检查配线、第二开关元件的配置关系的图。 
图8是用于说明第二连接配线用第一检查配线、第二连接配线用第二检查配线、第二开关元件的配置关系的图。 
图9是用于说明第二连接配线用第一检查配线、第二连接配线用第二检查配线、第二开关元件的配置关系的图。 
图10是用于说明第二连接配线用第一检查配线、第二连接配线用第二检查配线、第二开关元件的配置关系的图。 
图11是用于说明第二连接配线用第一检查配线、第二连接配线用第二检查配线、第二开关元件的配置关系的图。 
图12是用于说明第二连接配线用第一检查配线、第二连接配线用第二检查配线、第二开关元件的配置关系的图。 
图13是用于说明第二连接配线用第一检查配线、第二连接配线用第二检查配线、第二开关元件的配置关系的图。 
图14是表示现有的液晶面板的概略结构的平面图。 
图15是表示现有的另一个液晶面板的概略结构的平面图。 
图16是表示现有的另一个液晶面板的概略结构的平面图。 
具体实施方式
本发明的一个实施方式的有源矩阵基板，其包括：在显示区域相互平行地形成的多个扫描配线；在上述显示区域中与上述多个扫描配线交叉且相互平行地形成的多个数据配线；和在端子配置区域配置的多个扫描端子和多个数据端子。上述多个扫描配线包括：在一端侧具有扫描信号的输入端的多个第一扫描配线；和在另一端侧具有扫描信号的输入端的多个第二扫描配线。在上述显示区域中，上述第一扫描配线与上述第二扫描配线每一根交替地形成。上述有源矩阵基板具备：将上述第一扫描配线的扫描信号的输入端与上述扫描端子连接的多个第一连接配线；将上述第二扫描配线的扫描信号的输入端与上述扫描端子连接的多个第二连接配线；将上述数据配线的数据信号的输入端与上述数据端子连接的多个第三连接配线；和与上述多个第一连接配线的各个连接的多个第一开关元件。上述有源矩阵基板还具备：与上述多个第一连接配线分别交叉、并能够向上述多个第一开关元件中相互不相邻的第一开关元件输入检查信号的第一检查配线；与上述多个第一连接配线的各个交叉、并能够向上述多个第一开关元件中不与上述第一检查配线连接并且相互不相邻的第一开关元件输入检查信号的第二检查配线；与上述多个第二连接配线的各个连接的多个第二开关元件；与上述多个第二连接配线的各个交叉、并能够向上述多个第二开关元件中相互不相邻的第二开关元件输入检查信号的第三检查配线；和与上述多个第二连接配线的各个交叉、并能够向上述多个第二开关元件中不与上述第三检查配线连接并且相互不相邻的第二开关元件输入检查信号的第四检查配线。上述第一检查配线、上述第二检查配线、上述第三检查配线和上述第四检查配线，形成在除上述端子配置区域和上述显示区域以外的边框配线区域。
在上述实施方式的有源矩阵基板中，优选：上述多个第一开关元件形成在上述第一扫描配线的扫描信号的输入端的附近的边框配线区域，上述多个第二开关元件形成在上述第二扫描配线的扫描信号的输入端的附近的边框配线区域。 
这里，考虑以下情况：假设与上述相反，第一开关元件形成在第一扫描配线的扫描信号的终端侧(即，第一扫描配线的另一端侧)的附近的边框配线区域，并且，第二开关元件形成在第二扫描配线的扫描信号的终端侧(即，第二扫描配线的一端侧)的附近的边框配线区域。在此情况下，需要在边框配线区域重新形成用于连接第一开关元件和扫描信号的终端侧连接的第一引出配线。此外，需要在边框配线区域重新形成用于连接第二开关元件和扫描信号的终端侧的第二引出配线。即，第一引出配线在边框配线区域中重新形成，因此在第一引出配线与第二连接配线之间容易产生短路。此外，第二引出配线在边 框配线区域重新形成，因此在第二引出配线与第一连接配线之间容易产生短路。进一步，由于第一引出配线和第二引出配线在边框配线区域重新形成，因此用于在边框配线区域形成其他配线的空间变窄。此外，存储电容主干配线如果形成在边框配线区域，则存储电容主干配线与第一引出配线、以及存储电容主干配线与第二引出配线交叉。存储电容主干配线与第一引出配线交叉，因此对第一扫描配线赋予较大负载。此外，存储电容主干配线与第二引出配线交叉，因此对第二扫描配线赋予较大负载。即，由于对扫描配线赋予较大负载，因此输入到扫描配线的扫描信号延迟。扫描信号延迟，因此来自数据配线的数据信号难以充电到存储电容。其结果，在这样的有源矩阵基板组装在显示装置中的情况下，在该显示装置的显示画面中，显示例如不能得到希望的亮度的图像。 
与此相对，在本实施方式的有源矩阵基板中，多个第一开关元件形成在第一扫描配线的扫描信号的输入端的附近的边框配线区域中，并且，多个第二开关元件形成在第二扫描配线的扫描信号的输入端的附近的边框配线区域中，因此也可以不在边框配线区域形成上述第一引出配线和第二引出配线。因此，在本实施方式的有源矩阵基板中，没有产生上述这样的问题。其结果，能够实现显示品质提高，并且成品率提高的有源矩阵基板。 
在上述本实施方式的有源矩阵基板中，优选：上述第一检查配线和上述第二检查配线相互相邻，上述第三检查配线与上述第四检查配线相互相邻，上述多个第一开关元件中的至少1个配置在上述第一检查配线与上述第二检查配线之间，上述多个第二开关元件中的至少1个配置在上述第三检查配线与上述第四检查配线之间。特别优选：上述多个第一开关元件全部配置在上述第一检查配线与上述第二检查配线之间，上述多个第二开关元件全部配置在上述第三检查配线与上述第四检查配线之间。由此，能够抑制制造上的不良发生率，能够实现有源矩阵基板的小型化。 
在上述本实施方式的有源矩阵基板中，优选：在上述第一检查配线与上述第二检查配线之间，形成有能够输入对上述第一开关元件的接通/断开进行控制的控制信号的控制配线，上述第一开关元件夹着上 述控制配线配置在其两侧，在上述第三检查配线与上述第四检查配线之间，形成有能够输入对上述第二开关元件的接通/断开进行控制的控制信号的控制配线，上述第二开关元件夹着上述控制配线配置在其两侧。特别优选：上述第一开关元件夹着上述控制配线左右交替地配置，上述第二开关元件夹着上述控制配线左右交替地配置。由此能够抑制制造上的不良情况的发生率，能够实现有源矩阵基板的小型化。 
在上述本实施方式的有源矩阵基板中，优选还具备：从上述多个第一连接配线分别连接的多个扫描端子分别延长的多个第一延长配线；与上述多个第一延长配线的各个连接、并能够输入检查信号的第五检查配线；从上述多个第二连接配线分别连接的多个扫描端子分别延长的多个第二延长配线；和与上述多个第二延长配线的各个连接、并能够数据检查信号的第六检查配线。 
根据上述结构，能够从第五检查配线经由第一延长配线和扫描端子向第一连接配线和第一扫描配线输入检查信号。此外，能够从第六检查配线经由第二延长配线和扫描端子向第二连接配线和第二扫描配线输入检查信号。但是，当在有源矩阵基板的配线上带静电时，有可能发生伴随短路或断线的放电。与此相对，在本实施方式的有源矩阵基板中，在第五检查配线上分别连接有从多个扫描端子分别延长的第一延长配线，并且，在第六检查配线上分别连接有从多个扫描端子分别延长的第二延长配线。因此，能够从第五检查配线和第六检查配线除去或分散在有源矩阵基板上产生的静电。因此，能够抑制由静电引起的有源矩阵基板的不良情况的发生。其结果，能够实现成品率提高的有源矩阵基板。 
在上述本实施方式的有源矩阵基板中，优选：上述数据配线在一端侧具有数据信号的输入端，上述有源矩阵基板还具备：与上述数据配线的另一端侧连接的多个第三开关元件；能够向上述多个第三开关元件中相互不相邻的第三开关元件输入检查信号的第七检查配线；和能够向上述多个第三开关元件中不与上述第七检查配线连接并且相互不相邻的第三开关元件输入检查信号的第八检查配线。 
根据上述结构，具有多个第三开关元件、第七检查配线、和第八检查配线，因此能够向相邻的数据配线和相邻的第三连接配线分别输 入相互不同的检查信号。由此，在制造时等的检查工序中，能够检测出相邻的数据配线间和相邻的第三连接配线间的短路。 
此外，具有上述的任一结构的有源矩阵基板的显示装置也是本发明的一个实施方式。该显示装置例如能够作为液晶显示装置实施。 
此外，为了达成上述目的，本发明的一个实施方式的有源矩阵基板或显示装置的检查方法，包括：通过使上述第一开关元件为接通状态，并且向上述第一检查配线和上述第二检查配线输入相互独立的检查信号，进行上述第一连接配线的检查的工序；和通过使上述第二开关元件为接通状态，并且向上述第三检查配线和上述第四检查配线输入相互独立的检查信号，进行上述第二连接配线的检查的工序。 
根据上述的检查方法，通过使上述第一开关元件为接通状态，并且向第一检查配线和第二检查配线输入相互独立的检查信号，由此至少能够检测出第一连接配线的短路。此外，通过使第二开关元件为接通状态，并且向上述第三检查配线和第四检查配线输入相互独立的检查信号，由此至少能够检测出第二连接配线的短路。另外，既可以在进行第二连接配线的检查的工序之前也可以在其之后进行第一连接配线的检查的工序。 
进一步，上述的检查方法，包括：通过从上述第五检查配线输入检查信号，进行上述第一扫描信号的检查的工序；通过从上述第六检查配线输入检查信号，进行上述第二扫描配线的检查的工序；通过使上述第三开关元件为接通状态，并且向上述第七检查配线和上述第八检查配线输入相互独立的检查信号，进行上述数据配线的检查的工序；将上述多个第一延长配线和上述多个第二延长配线切断的工序；通过使上述第一开关元件为接通状态，并且向上述第一检查配线和上述第二检查配线输入相互独立的检查信号，进行上述第一连接配线的检查的工序；和通过将上述第二开关元件接通，并且向上述第三检查配线和上述第四检查配线输入相互独立的检查信号，进行上述第二连接配线的检查的工序。 
根据该检查方法，通过从第五检查配线输入检查信号，至少能够检测出第一扫描配线的断线。此外，通过从第六检查配线输入检查信号，至少能够检测出第二扫描配线的断线。此外，使第三开关元件为 接通的状态，并向第七检查配线和第八检查配线输入相互独立的检查信号，由此能够检测出数据配线的短路、断线。并且，在切断的工序中，通过切断多个第一延长配线和多个第二延长配线，由第五检查配线和第六检查配线电连接的扫描端子被电切离。并且，通过使第一开关元件为接通状态，并且向第一检查配线和第二检查配线输入相互独立的检查信号，至少能够检测出第一连接配线的短路。此外，通过使第二开关元件为接通状态，并且向第三检查配线和第四检查配线输入相互独立的检查信号，至少能够检测出第二连接配线的短路。 
以下，参照附图对本发明的更加具体的实施方式进行说明。其中，以下参照的各图，为了便于说明，本发明的一个实施方式的构成部件中，仅将说明本发明所需要的主要部件简略化表示。因此，本发明的有源矩阵基板能够具有在本说明书参照的各图中没有表示的任意构成部件。此外，各图中的部件的尺寸不是忠实地表示实际的构成部件的尺寸和各部件的尺寸比率等的尺寸。 
图1是表示本实施方式的液晶面板1的概略结构的平面图。如图1所示，液晶面板1具有有源矩阵基板2和与有源矩阵基板2相对的相对基板3。在有源矩阵基板2与相对基板3之间夹持有未图示的液晶材料。另外，在本实施方式的相对基板3上形成有包括R(红)、G(绿)、B(蓝)的彩色滤光片和防止这些彩色滤光片间的光泄漏的黑矩阵的彩色滤光片层。此外，在彩色滤光片层上形成有共用电极。 
这里，本实施方式的液晶面板1使用于例如便携式电话、PDA(Personal Digital Assistant：个人数码助理)、PHS(Personal Handy-phone System：个人手持式电话系统)、HHT(Hand Held Terminal：手持终端)等便携式终端用的电子设备。此外，本实施方式的液晶面板1除便携式终端用的电子设备以外，也使用于游戏机终端、汽车导航系统、个人计算机、电视机、摄像机、数码相机等电子设备中。这里，具有液晶面板1的电子设备成为本发明的液晶显示装置的一个实施方式。另外，也可以将本实施方式的有源矩阵基板2设置在场致发射显示器、等离子体显示器、有机EL显示器等的液晶面板1以外的面板(显示装置)中。 
有源矩阵基板2包括：显示区域4、端子配置区域5和在显示区域 4的外侧且包围显示区域4的边框配线区域6。另外，以下，将液晶面板100的1边作为第一边S1(在图1中为下边)，将夹着该第一边S1的左右的边分别作为第二边S2、第三边S3，将与第一边S1相对的边作为第四边S4。 
这里，如图1所示，有源矩阵基板2的第二边S2(第三边S3)的长度H比相对基板3的第二边S2(第三边S3)的长度L长。因此，在有源矩阵基板2与相对基板3隔着未图示的液晶材料相互贴合的情况下，有源矩阵基板2的端子配置区域5位于比相对基板3更靠第一边S1一侧。 
在显示区域4中，形成有：多个第一扫描配线401、403、405、……40m；多个第二扫描配线402、404、406、……40n；多个数据配线411、412、413、……41i；和多个存储电容配线421、422、423、……42k。这里，在第一扫描配线401、403、405、……40m上，在一端侧分别具有扫描信号的输入端431、433、435、……43m。另外，在第二扫描配线402、404、406、……40n上，在另一端侧分别具有扫描信号的输入端432、434、436、……43n。进一步，在数据配线411、412、413、……41i上，在一端侧分别具有数据信号的输入端441、442、443、……44i。另外，在图1中，将数据配线411、412、413、……41i简单表示为41，并且将数据信号的输入端441、442、443、……44i简单表示为44。 
另外，以下，仅在需要区别各个配线、开关元件的情况下，例如，如数据配线411那样，标注用于区别各个的小数字来说明，在不需要区别的情况下或者总称的情况下，例如如数据配线41那样，没有标注小数字进行说明。 
这里，在本实施方式中，第一扫描配线401、403、405、……40m和第二扫描配线402、404、406、……40n每1根交替且相互平行地形成在显示区域4中。此外，存储电容配线421、422、423、……42k以与扫描配线40平行的方式形成于显示区域4。即，在显示区域4中，从第四边S4一侧朝向第一边S1一侧以成为第一扫描配线401、存储电容配线421、第二扫描配线402、存储电容配线422、第一扫描配线403、存储电容配线423、第二扫描配线404、……的方式形成有扫描配线40和存储电容配线42。此外，数据配线411、412、413、……41i以与扫描配线40和存储电容配线42交叉且相互平行的方式形成于显示区域4。在本实施方式中，数据配线41按照各个R(红)、G(绿)、B(蓝)形成于显示区域4。但是，在黑白(monochrome)用的液晶面板1的情况下并不限定于此。
另外，在扫描配线40与数据配线41的交叉部分，形成有：未图示的TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)、MIM(Metal Insulator Metal：金属-绝缘体-金属)等开关元件；和与该开关元件连接的未图示的像素电极(R、G或B)等。进一步，存储电容配线42将与开关元件连接的电极作为存储电容相对电极，形成未图示的存储电容。 
端子配置区域5是在有源矩阵基板2中配置有多个扫描端子51和多个数据端子52的区域。驱动器或设置有驱动器的挠性(flexible)配线基板，在端子配置区域5中与扫描端子51和数据端子52电连接。因此，扫描端子51成为能够从驱动器输入扫描信号的端子。此外，数据端子52成为能够从驱动器输入数据信号的端子。另外，驱动器通过COG(Chip On Glass：玻璃基芯片)方式能够与端子配置区域5连接。此外，设置有驱动器的挠性配线基板，通过TCP(Tape Carrier Package：薄膜封装)方式能够与端子配置区域5连接。另外，关于连接的方式，在此并不特别限定。 
另外，在图1中，表示了在端子配置区域5能够配置1个驱动器的例子，但并不限定于此。例如，也可以为，通过在有源矩阵基板2上设置多个端子配置区域5，能够在多个端子配置区域5的各个中分别配置多个驱动器。 
在边框配线区域6中，形成有用于将第一扫描配线401、403、405、……40m的一端侧所具有的扫描信号的输入端431、433、435、……43m与扫描端子51连接的多个第一连接配线611、613、615、……61m。即，第一连接配线61从扫描信号的输入端431、433、435、……43m引出到第三边S3一侧，沿着第三边S3形成于边框配线区域6，并且与多个扫描端子51连接。另外，在图1中将第一连接配线611、613、615、……61m简单表示为61。 
这里，在连接有第一连接配线61的多个扫描端子51上连接有多个第一延长配线53，该多个第一延长配线从该多个扫描端子51的各个 向第一边S1一侧延长。此外，在多个第一延长配线53上，连接有第一扫描配线用检查配线(第五检查配线)62。即，第一扫描配线用检查配线62与多个第一延长配线53的各个连接。此外，在第一扫描配线用检查配线62上，还连接有第一扫描配线用检查焊盘63。第一扫描配线用检查焊盘63是能够输入扫描检查信号的焊盘。另外，扫描检查信号是作为扫描信号发挥功能的检查信号。 
在本实施方式中，第一扫描配线用检查配线62，与多个第一延长配线53的各个连接，因此在第一扫描配线401、403、405、……40m能够从第一扫描配线用检查焊盘63将扫描检查信号一并输入。此外，第一扫描配线用检查配线62分别与多个第一延长配线53的各个连接，因此能够将在有源矩阵基板2中产生的静电从第一扫描配线用检查配线62和第一扫描配线用检查焊盘63除去或分散。由于能够将在有源矩阵基板2中产生的静电除去或分散，因此能够抑制由该静电引起的配线的短路或断线、TFT或MIM的特性的变化等。 
此外，在边框配线区域6中，形成有用于将第二扫描配线402、404、406、……40n的另一端侧所具有的扫描信号的输入端432、434、436、……43n与扫描端子51连接的多个第二连接配线642、644、646、……64n。即，第二连接配线64从扫描信号的输入端432、434、436、……43n引出到第二边S2一侧，沿着第二边S2形成于边框配线区域6，并且与多个扫描端子51连接。另外，在图1中将第一连接配线622、624、626、……62n简单表示为64。 
这里，在连接有第二连接配线64的多个扫描端子51上连接有从该多个扫描端子51的各个向第一边S1一侧延长的多个第二延长配线54。此外，在多个第二延长配线54上，连接有第二扫描配线用检查配线(第六检查配线)65。即，第二检查配线用检查配线65与多个第二延长配线54的各个连接。此外，在第二扫描配线用检查配线65上还连接有第二扫描配线用检查焊盘66。第二扫描配线用检查焊盘66是能够输入扫描检查信号的焊盘。 
在本实施方式中，第二扫描配线用检查配线65与多个第二延长配线54的各个连接，因此第二扫描配线402、404、406、……40n能够从第二扫描配线用检查焊盘66将扫描检查信号一并输入。此外，由于第 二扫描配线用检查配线65与多个第二延长配线54的各个连接，因此能够将在有源矩阵基板2中产生的静电从第二扫描配线用检查配线65和第二扫描配线用检查焊盘66除去或分散。 
此外，在边框配线区域6，在比第一连接配线61和第二连接配线64更靠显示区域4一侧形成有存储电容主干配线67。存储电容主干配线67以从左右夹着显示区域4的方式沿着第二边S2和第三边S3形成于边框配线区域6。即，存储电容配线42的一端侧和另一端侧均与存储电容主干配线67连接。此外，在存储电容主干配线67上通过端子配置区域5还连接有存储电容配线用检查焊盘68。存储电容配线用检查焊盘68是能够输入存储电容检查信号的焊盘。由此，能够从存储电容配线用检查焊盘68向存储电容配线42输入存储电容检查信号。另外，存储电容检查信号是用于检测存储电容配线42的断线的检查信号。 
另外，考虑如下情况：在液晶面板1的状态下，通过向扫描配线40和数据配线41输入各自的检查信号，根据像素的显示状态来检查各像素的缺陷和各配线的导通状态。在此情况下，特别是在扫描检查信号是将使开关元件接通的电位和使开关元件断开的电位周期性地反复的信号的情况下，优选以使显示不会不稳定的方式，向各像素的存储电容的一个电极供给作为基准的电位。此外，存储电容主干配线67也能够使用于扫描配线40和存储电容配线42的短路的检查。例如，在液晶面板1的状态下，向数据配线41输入数据检查信号而不向扫描配线40输入信号，从存储电容配线用检查焊盘68向存储电容配线42输入扫描检查信号。此时，在存储电容配线42与扫描配线40短路的情况下，从短路部分将扫描检查信号输入到扫描配线40中，因此仅是与存储电容配线42短路的扫描配线40进行异常显示。用同样的方法，也能够使用于数据配线41和存储电容配线42的短路的检查。 
此外，在边框配线区域6中，形成有与第一连接配线611、613、615、……61m的各个连接的多个第一开关元件691、693、695、……69m。即，第一开关元件69形成于扫描信号的输入端431、433、435、……43m附近的边框配线区域6。 
这里，多个第一开关元件69中的第一开关元件691、695、699、……69m-1上还连接有第一连接配线用第一检查配线(第一检查配线)70。 即，第一连接配线用第一检查配线70是能够向多个第一开关元件69中的相互不相邻的第一开关元件输入扫描检查信号的检查配线。另外，第一连接配线用第一检查配线70，与多个第一连接配线61交叉地形成于边框配线区域6。此外，在第一连接配线用第一连接配线70上还连接有第一连接配线用第一检查焊盘71。第一连接配线用第一检查焊盘71是能够输入扫描检查信号的焊盘。由此，能够从第一连接配线用第一检查焊盘71向第一连接配线611、615、619、……61m-1输入扫描检查信号。 
此外，多个第一开关元件69中的第一开关元件693、697、6911、……69m上还连接有第一连接配线用第二检查配线(第二检查配线)72。即，第一连接配线用第二检查配线72是能够向多个第一开关元件69中的不与第一连接配线用第一检查配线70连接并且相互不相邻的第一开关元件输入扫描检查信号的检查配线。另外，第一连接配线用第二检查配线72与多个第一连接配线61交叉地形成于边框配线区域6。此外，在第一连接配线用第二检查配线72上还连接有第一连接配线用第二检查焊盘73。第一连接配线用第二检查焊盘73是能够输入扫描检查信号的焊盘。由此，能够从第一连接配线用第二检查焊盘73向第一连接配线613、617、6111、……61m输入扫描检查信号。 
即，在边框配线区域6中，如上所述，形成有第一连接配线用第一检查配线70、第一连接配线用第一检查焊盘71、第一连接配线用第二检查配线72、和第一连接配线用第二检查焊盘73，因此能够向相邻的第一连接配线61的各个输入不同的扫描检查信号。由此，能够检测出第一连接配线61的短路(漏电)。此外，在边框配线区域6中，如上所述，以与多个第一连接配线61的各个交叉的方式，形成有第一连接配线用第一检查配线70和第一连接配线用第二检查配线72。 
此外，在边框配线区域6中，形成有与第二连接配线642、644、646、……64n的各个连接的第二开关元件742、744、746、……74n。即，第二开关元件74形成于扫描信号的输入端432、434、436、……43n的附近的边框配线区域6。 
这里，在多个第二开关元件74中的第二开关元件742、746、7410、……74n-1上还连接有第二连接配线用第一检查配线(第三检查配 线)75。即，第二连接配线用第一检查配线75是能够向多个第二开关元件74中的相互不相邻的第二开关元件输入扫描检查信号的检查配线。另外，第二连接配线用第一检查配线75与第二连接配线64交叉地形成于边框配线区域6。此外，在第二连接配线用第一检查配线75上还连接有第二连接配线用第一检查焊盘76。第二连接配线用第一检查焊盘76是能够输入扫描检查信号的焊盘。由此，对第二连接配线6402、646、6410、……64n-1能够从第二连接配线用第一检查焊盘76输入扫描检查信号。 
此外，在多个第二开关元件74中的第二开关元件744、748、7412、……74n上还连接有第二连接配线用第二检查配线(第四检查配线)77。即，第二连接配线用第二检查配线77是能够向第二开关元件74中的不与第二连接配线用第一检查配线75连接并且相互不相邻的第二开关元件输入扫描检查信号的检查配线。另外，第二连接配线用第二检查配线77与第二连接配线64交叉地形成在边框配线区域6。此外，在第二连接配线用第二检查配线77上还连接有第二连接配线用第二检查焊盘78。第二连接配线用第二检查焊盘78是能够输入扫描检查信号的焊盘。由此，能够从第二连接配线用第二检查焊盘78向第二连接配线644、648、6412、……64n输入扫描检查信号。 
即，如上所述，在边框配线区域6中，形成有：第二连接配线用第一检查配线75；第二连接配线用第一检查焊盘76；第二连接配线用第二检查配线77；和第二连接配线用第二检查焊盘78，因此能够向相邻的第二连接配线64的各个输入不同的扫描检查信号。由此，能够检测出第二连接配线64的短路(漏电)。此外，在边框配线区域6中，如上所述，以与多个第二连接配线64的各个交叉的方式，形成有第二连接配线用第一检查配线75和第二连接配线用第二检查配线77。 
但是，在本实施方式中，如上所述，第一开关元件69形成在扫描信号的输入端431、433、435、……43m的附近的边框配线区域6，并且第二开关元件74形成在扫描信号的输入端432、434、436、……43n的附近的边框配线区域6。这里，假设考虑以下情况：与上述相反，第一开关元件69形成在扫描信号的终端侧(即，第一扫描配线的401、403、405、……40m的另一端侧)的边框配线区域6，并且，第二开关元件 74形成在扫描信号的终端侧(即，第二扫描配线402、404、406、……40n的一端侧)的边框配线区域6。 
图2是表示第一开关元件69和第二开关元件74形成于扫描信号的终端侧的边框配线区域6的情况的液晶面板1a的概略结构的平面图。另外，在图2中，为了简化说明，仅对主要部件标注附图号码。如图2所示，第一开关元件69形成于扫描信号的终端侧的边框配线区域6中，因此从第一扫描配线401、403、405、……40m的另一端侧向第二边S2一侧引出的第一引出配线40a重新形成在边框配线区域6中。即，第一引出配线40a将第一扫描配线401、403、405、……40m的另一端侧与第一开关元件69连接。此外，第二开关元件74形成在扫描信号的终端侧的边框配线区域6中，因此从第二扫描配线402、404、406、……40n的另一端侧向第三边S3一侧引出的第二引出配线40b重新形成在边框配线区域6中。即，第二引出配线40b将第二扫描配线402、404、406、……40n的另一端侧与第二开关元件74连接。 
即，在图2所示的D1部分中，存储电容主干配线67与第一引出配线40a交叉。存储电容主干配线67与第一引出配线40a交叉，因此对第一扫描配线401、403、405、……40m赋予较大负载。此外，在图2所示的D2部分中，存储电容主干配线67与第二引出配线40b交叉。由于存储电容主干配线67与第二引出配线40b交叉，因此对第二扫描配线402、404、406、……40n赋予较大负载。即，对扫描配线40赋予较大负载，因此输入到扫描配线40的扫描信号延迟。扫描信号延迟，因此来自数据配线41的数据信号难以充电到存储电容。其结果，图2所示的液晶面板1a组装在电子设备中的情况下，在该电子设备的显示画面中例如显示没有得到希望的亮度的图像。即，液晶面板1a的显示品质下降。 
与此相对，如图1所示，在本实施方式的液晶面板1中，第一开关元件69和第二开关元件74形成于扫描信号的输入端的附近的边框配线区域6中，因此也可以不在边框区域6中形成上述的第一引出配线40a和第二引出配线40b。因此，存储电容主干配线67与第一引出配线40a以及存储电容主干配线67与第二引出配线40b不会交叉。其结果，在本实施方式的液晶面板1中，不产生上述的问题。 
此外，在图2所示的液晶面板1a中，在边框配线区域6中重新形成有第一引出配线40a，因此在第一引出配线40a与第二连接配线64之间容易产生短路。此外，由于第二引出配线40b重新形成在边框配线区域6中，因此在第二引出配线40b与第一连接配线61之间容易产生短路。进一步，由于第一引出配线40a和第二引出配线40b在边框配线区域6重新形成，因此用于在边框配线区域6形成另一个配线或开关元件的空间变窄。因此，配线或开关元件的短路不良情况增加。 
与此相对，如图1所示，在本实施方式的液晶面板1中，第一开关元件69和第二开关元件74形成在扫描信号的输入端43的附近的边框配线区域6中，因此也可以不在边框配线区域6形成上述第一引出配线40a和第二引出配线40b。其结果，在本实施方式的液晶面板1中，不会产生上述的问题。 
如上所述，与在扫描信号的终端侧的边框配线区域6形成第一开关元件69和第二开关元件74的方式(参照图2)相比，优选在扫描信号的输入端43的附近的边框配线区域6中形成第一开关元件69和第二开关元件74(参照图1)的方式。即，图1所示的液晶面板1，与图2所示的液晶面板1a相比较，显示品质提高，并且成品率也提高。 
回到图1，在边框配线区域6中，形成有将在数据配线411、412、413、……41i的一端侧具有的数据信号的输入端441、442、443、……44i与数据端子52连接的多个第三连接配线791、792、793、……79i。即，第三连接配线79从数据信号的输入端441、442、443、……44i向第一边S1一侧引出，并与多个数据端子52连接。另外，在图1中，将第三连接配线791、792、793、……79i简单表示为79。 
此外，在边框配线区域6中，形成有与数据配线411、412、413、……41i的另一端侧连接的第三开关元件801、802、803、……80i。 
在此，在多个第三开关元件80中的第三开关元件801、804、807、……80i-2上还连接有数据配线用第一检查配线(第七检查配线)81。即，数据配线用第一检查配线81是能够向多个第三元件80中的相互不相邻的第三开关元件输入数据检查信号的检查配线。另外，数据配线用第一检查配线81形成于第四边S4一侧和第二边一侧S2的边框配线区域6中。此外，在数据配线用第一检查配线81上还连接有数据配线用 第一检查焊盘82。数据配线用第一检查焊盘82是能够输入数据检查信号的焊盘。另外，数据检查信号是作为数据信号发挥功能的检查信号。由此，对数据配线411、414、417、……41i-2能够从数据配线用第一检测焊盘82输入数据检查信号。 
此外，在多个第三开关元件80中的第三开关元件802、805、808、……80i-1上，还连接有数据配线用第二检查配线(第八检查配线)83。即，数据配线用第二检查配线83是向多个第三开关元件80中的不与数据配线用第一检查配线81连接并且相互不相邻的第三开关元件输入数据检查信号的检查配线。另外，数据配线用第二检查配线83与数据配线用第一检查配线81相同，形成于第四边S4一侧和第二边S2一侧的边框配线区域6中。此外，在数据配线用第二检查配线83上还连接有数据配线用第二检查焊盘84。数据配线用第二检查焊盘84是能够输入数据检查信号的焊盘。由此，对数据配线412、415、418、……41i-1能够从数据配线用第二检查焊盘84输入数据检查信号。 
进一步，在多个第三开关元件80中的第三开关元件803、806、809、……80i上还连接有数据配线用第三检查配线(第八检查配线)85。即，数据配线用第三检查配线85是能够向多个第三开关元件80中的不与数据配线用第一检查配线81和数据配线用第二检查配线83连接并且相互不相邻的第三开关元件输入数据检查信号的检查配线。另外，数据配线用第三检查配线85，与数据配线用第一检查配线81和数据配线用第二检查配线83相同，形成于第四边S4一侧和第二边S2一侧的边框配线区域6中。在数据配线用第三检查配线85上还连接有数据配线用第三检查焊盘86。数据配线用第三检查焊盘86是能够输入数据检查信号的焊盘。由此，能够从数据配线用第三检查焊盘86向数据配线413、416、419、……41i输入数据检查信号。 
即，如上所述，在边框配线区域6中，形成有：数据配线用第一检查配线81；数据配线用第一检查焊盘82；数据配线用第二检查配线83；数据配线用第二检查焊盘84；数据配线用第三检查配线85；和数据配线用第三检查焊盘86，因此能够向相邻的数据配线41和相邻的第三连接配线79的各个输入不同的数据检查信号。由此，能够检测出数据配线41和第三连接配线79的短路。 
此外，在边框配线区域6中，形成有与第一开关元件69、与第二开关元件74和第三开关元件80连接的开关元件控制配线87。开关元件控制配线87形成在比数据配线用第一检查配线81、数据配线用第二检查配线83和数据配线用第三检查配线85更靠显示区域4一侧的位置。在开关元件控制配线87上连接有控制焊盘88。控制焊盘88是能够输入用于将开关元件接通/断开的控制信号的焊盘。由此，能够从控制焊盘88向第一开关元件69、第二开关元件74和第三开关元件80输入控制信号。 
进一步，在第二边S2一侧的边框配线区域6中形成有共用检查配线89。在共用检查配线89上连接有共用电极焊盘90。此外，在共用检查配线89上还连接有转接焊盘(transfer pad)91a。转接焊盘91a与形成在相对基板3的未图示的共用电极连接。由此，能够从共用电极焊盘90向形成在相对基板3上的共用电极施加共用电压。 
另外，在以下，详细地对于第二连接配线用第一检查配线75、第二连接配线用第二检查配线77、开关元件控制配线87和第二开关元件74的优选配置关系进行说明。另外，对于第一连接配线用第一检查配线70、第一连接配线用第二检查配线72、开关元件控制配线87、第一开关元件69的优选配置关系，也与此同样地在此省略其详细的说明。 
即，扫描配线40和第二开关元件74的栅极电极，在第一层，例如使用Al、Ta、Ti、Cr、Mo等金属或其合金，以单层或层叠地形成(以下，将形成在第一层的配线称为栅极层配线)。并且，数据配线41和第二开关元件74的源极电极、漏极电极，在第二层，例如使用Al、Ta、Ti、Cr、Cu、Mo等金属或其合金，以单层或层叠形成(以下，将形成在第二层的配线称为源极层配线)。在此，栅极层配线和源极层配线隔着绝缘膜相互分离。此外，扫描配线40是栅极层配线，因此第二连接配线用第一检查配线75、第二连接配线用第二检查配线77和开关元件控制配线87需要形成在与栅极层配线不同的配线层。即，第二连接配线用第一检查配线75、第二连接配线用第二检查配线77、和开关元件控制配线87为了避免工序(process)的增加，优选使用已经存在的配线层，为了配线的低电阻化，优选不是用于形成像素电极的配线层，而是作为源极层配线形成。 
在这样的配线结构中，需要将第二开关元件74的栅极电极与作为源极层配线的开关元件控制配线87连接，需要将第二开关元件74的漏极电极与作为栅极层配线的扫描配线40连接，因此要将栅极层配线和源极层配线连接的连接部分的数量增加。 
作为连接构造的一个例子，首先，可以考虑如下结构：如图3A和图3B所示，在栅极层配线(第二开关元件74的栅极电极74a)与源极层配线(开关元件控制配线87)之间的绝缘膜91设置开口部H，使栅极层配线与源极层配线直接连接。这里，在图3中，92表示保护膜，J表示连接部分。另外，图3A是表示栅极层配线与源极层配线连接的状态的图。图3B是表示沿着图3A中所示的切断线a-a′切断的剖面图。 
此外，作为连接构造的另一个例子，如图4A和图4B所示，在覆盖栅极层配线(第二开关元件74的栅极电极74a)的保护膜92和绝缘膜91上设置使栅极层配线露出的第一开口部H1，在覆盖源极层配线(开关元件控制配线87)的保护膜92上设置使源极层配线露出的第二开口部H2。并且，可以考虑使栅极层配线与源极层配线通过在保护膜92上形成的电极图案93接触的结构。这里，在电极图案93中例如使用与像素电极相同的材料。另外，图4A是表示栅极层配线与源极层配线连接的状态的图。图4B是沿着图4A中所示的切断线b-b′切断的剖面图。 
进一步，作为连接构造的另一个例子，如图5所示，栅极层配线(第二开关元件74的栅极电极74a)、源极层配线(开关元件控制配线87)在俯视时重叠的部分中，以栅极层配线的一部分露出的方式，在源极层配线设置第一开口部H1，在绝缘层91上设置第一开口部H1，进一步以源极层配线的一部分露出的方式在保护膜92设置第二开口部H2。并且，能够考虑以源极层配线与栅极层配线电连接的方式形成电极图案93的结构。这里，对电极图案93使用例如与像素电极相同的材料。另外，图5A是表示栅极层配线与源极层配线连接的状态的图。图5B是沿着图5A中所示的切断线c-c′切断的剖面图。 
在任一连接构造中，由于光(photo)工序的不良等，没有形成绝缘膜91或保护膜92的开口部、或电极图案93，或者此外在大小不适当的情况下，配线不导通，或电阻变得极大，因此不能够正常进行适合的扫描配线40的检查。进一步，需要形成连接构造的空间，变得容易与相邻的配线漏电。或者，为了确保用于形成连接构造的区域，需要将液晶面板的外形形成得较大。因此，连接部分J的数量优选能够尽可能地少。 
以下，用于减少要将栅极层配线与源极层配线连接的连接部分J的数量的结构进行说明。 
图6和图7表示在第二连接配线用第一检查配线75和第二连接配线用第二检查配线77相互相邻的结构中，第二开关元件74不在第二连接配线用第一检查配线75与第二连接配线用第二检查配线77之间配置的结构。在该结构中，至少一个第二开关元件74的源极电极跨过作为源极层配线的开关元件控制配线87、第二连接配线用第二检查配线77(或第二连接配线用第一检查配线75)，需要与第二连接配线用第一检查配线75或第二连接配线用第二检查配线77连接。因此，第二开关元件74的源极电极需要一度切换到源极层配线，因此连接部分J的数量增加。 
例如，如图6和图7所示，在将第二连接配线用第一检查配线75用的第二开关元件74配置1个，将第二连接配线用第二检查配线77用的第二开关元件74配置1个的情况下，连接部分J的数量在图6所示的结构中为6个，在图7所示的结构中为8个。 
图8表示在第二连接配线用第一检查配线75和第二连接配线用第二检查配线77相互相邻的结构中，在第二连接配线用第一检查配线75与第二连接配线用第二检查配线77之间配置第二开关元件74的结构。在该结构中，不需要将第二开关元件74的源极电极切换到栅极层配线。因此，如图8所示，例如，将第二连接配线用第一检查配线75用的第二开关元件74配置1个，将第二连接配线用第二检查配线77用的第二开关元件74配置1个的情况下，连接部分J的数量为4个，与图6和图7的结构相比较，能够减少2个连接部分J的数量。即，与图6和图7的结构相比较，能够期待成品率的提高，能够贡献于液晶面板的小型化。特别地，在图8的结构中，能够将第二连接配线用第一检查配线75、第二连接配线用第二检查配线77、第二开关元件74效率良好地形成在边框配线区域6中，因此能够实现液晶面板的小型化。 
此外，图9表示在第二连接配线用第一检查配线75和第二连接配线用第二检查配线77相互相邻的结构中，在第二连接配线用第一检查配线75与第二连接配线用第二检查配线77之间，配置第二连接配线用第一检查配线75用的第二开关元件74和第二连接配线用第二检查配线77用的第二开关元件74的任一者的结构。在此情况下，与图8的结构相同地，连接部分J的数量成为4个，同样地能够期待成品率的提高，能够贡献于液晶面板的小型化。 
像这样，优选使第二连接配线用第一检查配线75和第二连接配线用第二检查配线77相邻，在第二连接配线用第一检查配线75与第二连接配线用第二检查配线77之间配置第二连接配线用第一检查配线75用的第二开关元件74和第二连接配线用第二检查配线77用的第二开关元件74中的至少任一方。由此，能够抑制制造上的不良情况发生率，能够贡献于液晶面板的小型化。 
图10和图11表示在第二连接配线用第一检查配线75与第二连接配线用第二检查配线77之间形成开关元件控制配线87的结构中，对于开关元件控制配线87，仅在第二连接配线用第一检查配线75一侧或第二连接配线用第二检查配线77一侧的任一方的一侧配置第二开关元件74的结构。在该结构中，至少一方的第二开关元件74的源极电极，需要跨过作为源极层配线的开关元件控制配线87，与第二连接配线用第一检查配线75或第二连接配线用第二检查配线77连接。因此，第二开关元件74的源极电极需要一度切换到栅极层配线，因此连接部分J的数量增加。例如，如图10和图11所示，在将第二连接配线用第一检查配线75用的第二开关元件74配置1个，并将第二连接配线用配线用第二检查配线77用第二开关元件74配置1个的情况下，连接部分J的数量成为6个。 
另一方面，图12和图13表示如下结构：在第二连接配线用第一检查配线75与第二连接配线用第二检查配线77之间配置有开关元件控制配线87的结构中，对于开关元件控制配线87，在第二连接配线用第一检查配线75一侧和第二连接配线用第二检查配线77一侧的两侧，左右交替地配置有第二开关元件74。在该结构中，不需要将第二开关元件74的源极电极切换到栅极层配线。因此，例如，如图12和图13 所示，在将第二连接配线用第一检查配线75用的第二开关元件74配置1个，将第二连接配线用第二检查配线77用的第二开关元件74配置1个的情况下，连接部分J的数量为4个，与图10和图11的结构相比较，能够将连接部分J的数量减少2个。即，图12和图13的结构，与图10和图11的结构相比较，能够期待成品率的提高，能够贡献于液晶面板的小型化。 
像这样，优选在第二连接配线用第一检查配线75与第二连接配线用第二检查配线77之间配置开关元件控制配线87，对于开关元件控制配线87，在第二连接配线用第一检查配线75一侧和第二连接配线用第二检查配线77一侧的两侧，左右交替地配置第二开关元件74。由此，能够抑制制造上的不良情况发生率，能够贡献于液晶面板的小型化。 
接着，对本实施方式的液晶面板1的制造方法进行说明。另外，以下，特别地关于对液晶面板1的电连接状态进行检查的检查工序进行详细地说明。 
即，制造在透明的玻璃基板上层叠导电膜、绝缘膜、保护膜、取向膜等薄膜，并形成多个应作为有源矩阵基板2切出的有源矩阵基板区域的有源矩阵基板用的基底基板。此外，制造在透明的玻璃基板上层叠黑矩阵、彩色滤光片、导电膜、取向膜等薄膜，并形成多个应作为相对基板3切出的相对基板区域的相对基板用的基底基板。在两基底基板中的一个基底基板上涂敷密封剂。并且，涂敷密封剂后，贴合两基底基板。贴合后的两基底基板作为形成有规定块数的具有有源矩阵基板2和相对基板3的液晶面板1的母基板被切断。在作为母基板被切断后的各个液晶面板1上，经由形成于有源矩阵基板2与相对基板3之间的注入口，例如通过使用真空注入方式注入液晶材料。另外，代替真空注入方式也可以通过使用滴下注入方式注入液晶材料。在此情况下，不需要上述注入口，也不需要密封注入口部分的工序。此外，图1所示的液晶面板1表示作为将液晶材料注入后的母基板被切断后的液晶面板的1个。因此，虽然图示省略，但图1的液晶面板1的例如上下左右存在其他的液晶面板。 
然后，在端子配置区域5中安装驱动器之前，进行检查液晶面板1的电连接状态的检查工序。即，检查工序检查液晶面板1的有源矩阵 基板2的配线的断线、短路或像素的缺陷。此外，作为检查工序，详细在后面叙述，分为第一检查工序与第二检查工序进行。 
作为检查方法，在第一检查工序中，在第一扫描配线用检查焊盘63、第二扫描配线用检查焊盘66、存储电容配线用检查焊盘68、数据配线用第一检查焊盘82、数据配线用第二检查焊盘84、数据配线用第三检查焊盘86、控制焊盘88和共用电极焊盘90上，例如使检查用探针(probe)接触，并施加电压。此外，在第二检查工序中，在存储电容配线用检查焊盘68、第一连接配线用第一检查焊盘71、第一连接配线用第二检查焊盘73、第二连接配线用第一检查焊盘76、第二连接配线用第二检查焊盘78、数据配线用第一检查焊盘82、数据配线用第二检查焊盘84、数据配线用第三检查焊盘86、控制焊盘88和共用电极焊盘90上，例如使检查用探针接触，并施加电压。另外，使检查用探针接触各焊盘的顺序没有特别限定。 
由此，向扫描配线40输入作为扫描信号发挥功能的扫描检查信号。这里，扫描检查信号是例如使各像素所具有的开关元件在至少一定期间内接通这样的信号。此外，向数据配线41输入作为数据信号发挥功能的数据检查信号。这里，数据检查信号是例如使各像素区域的像素取向到规定的方向的信号。因此，各像素的开关元件成为接通状态，通过向各像素电极施加数据信号，能够控制液晶的分子排列方向，例如从液晶面板1的背面用背光源这样的照射单元进行照射时，在与有源矩阵基板2的显示区域4对应的液晶面板1的显示画面(以下，称为“液晶面板1的显示画面”)显示图像。因此，在液晶面板1的显示画面上，例如通过检查员的目视检查能够检查液晶面板1的有源矩阵基板2的配线的断线、短路。另外，取代检查员的目视检查或者在检查员的目视检查之外，也可以使用图像识别处理装置，还可以使用对配线的断线、短路进行电检测的检测装置等来检查。 
这里，对于第一检查工序进行详细说明。 
以下，首先对于扫描配线40、第一连接配线61和第二连接配线64的断线的检测方法进行说明。 
即，向数据配线41输入数据检查信号，并且从第一扫描配线用检查焊盘63和第二扫描配线用检查焊盘66向扫描配线40、第一连接配 线61和第二连接配线64输入扫描检查信号。因此，在扫描配线40断线的情况下，在液晶面板1的显示画面中，与断线的部位以后的扫描配线40对应的线的像素变得不显示。因此，检查员能够检测出扫描配线40断线。 
此外，在第一连接配线61断线的情况下，在液晶面板1的显示画面中，与断线的第一连接配线61连接的第一扫描配线401、403、405、……40m对应的1条线全部变得不显示。因此，检查员能够检测出第一连接配线61断线。进一步，在第二连接配线64断线的情况下，在液晶面板1的显示画面中，与断线的第二连接配线64连接的第二扫描配线402、404、406、……40n对应的1条线全部没有显示。因此，检查员能够检测出第二连接配线64断线。 
接着，对于扫描配线40和存储电容配线42的短路的检测方法进行说明。 
即，没有对扫描配线40输入信号，从存储电容配线用检查焊盘68向存储电容配线42输入扫描检查信号。此时，在存储电容配线42与扫描配线40短路的情况下，从短路部分向扫描配线40输入扫描检查信号，因此仅存储电容配线42和已短路的扫描配线40进行异常显示。因此，检查员能够检测出扫描配线40与存储电容配线42短路。 
但是，如上所述，从第一连接配线用检查焊盘63向第一连接配线61一并输入扫描检查信号。即，向相邻的第一连接配线61的各个输入同一扫描检查信号。即，相邻的第一连接配线61的各个成为同电位。此外，从第二扫描配线用检查焊盘66向第二连接配线64一并输入扫描检查信号。即，向相邻的第二连接配线64的各个输入同一扫描检查信号。即，相邻的第二连接配线64的各个成为同电位。 
因此，从第一扫描配线用检查焊盘63向第一连接配线61一并输入扫描检查信号，并且从第二扫描配线用检查焊盘66向第二连接配线64一并输入扫描检查信号，因此在上述第一检查工序中，不能够检测出第一连接配线61彼此的短路和第二连接配线64彼此的短路。因此，在第二检查工序中，对有无第一连接配线61和第二连接配线64的短路进行检查。另外，对于第二检查工序将在后面叙述。 
接着，对数据配线41的断线的检测方法进行说明。 
即，向扫描配线40输入扫描检查信号，从数据配线用第一检查焊盘82、数据配线用第二检查焊盘84和数据配线用第三检查焊盘86向数据配线41输入数据检查信号。因此，数据配线41断线的情况下，在液晶面板1的显示画面中，与断线的部位以后的数据配线41对应的线的像素进行与正常的线的像素不同的显示。因此，检查员能够检测出数据配线41断线。 
接着，对于数据配线41和第三连接配线的短路的检测方法进行说明。 
即，从控制焊盘88向第三开关元件80输入将该第三开关元件80接通的控制信号。由此，第三开关元件80接通。这里，例如向多个数据配线41中的数据配线411、414、417、……41i-2输入数据检查信号，不向该数据配线411、414、417、……41i-2以外的数据配线412、413、415、……40i-1、41i输入数据检查信号。例如，使检查用探针仅接触数据配线用第一检查焊盘82，不使检查用探针接触数据配线用第二检查焊盘84和数据配线用第三检查焊盘86。 
这样一来，在数据配线411、414、417、……41i-2短路的情况下，不仅显示与该数据配线401、404、407、……40i-2对应的线，也显示与短路的数据配线402、403、405、……40i-1、41i对应的线。因此，检查员能够检测出411、414、417、……41i-2短路。此外，在第三连接配线791、794、797、……79i-2短路的情况下，不仅显示与和该第三连接配线791、794、797、……79i-2连接的数据配线411、414、417、……41i-2对应的线，也显示与和短路的该第三连接配线792、793、795、……79i-1、79i连接的数据配线412、413、415、……41i-1、41i对应的线。因此，检查员能够检测出第三连接配线791、794、797、……79i-2短路。 
与此相同，当使检查用探针仅与数据配线用第二检查焊盘84接触，而不使检查用探针与数据配线用第一检查焊盘82和数据配线用第三检查焊盘86接触时，检查员能够检测出数据配线412、415、418、……41i-1和第三连接配线792、795、798、……79i-1的短路。此外，当使检查用探针仅与数据配线用第三检查焊盘86接触而不使检查用探针与数据配线用第一检查焊盘82和数据配线用第二检查焊盘84接触时，检查员能够检测出数据配线413、416、419、……41i和第三连接配线793、796、 799、……79i的短路。 
如上所述，在第一检查工序中，不能检测出第一连接配线61和第二连接配线64的短路。因此，为了对有无第一连接配线61和第二连接配线64的短路进行检查，接着进行第二检查工序。 
这里，在第二检查工序之前，进行将第一延长配线53和第二延长配线54切断的切断工序。具体而言，将第一延长配线53和第二延长配线54例如沿着图1所示的切线C切断。作为切断方法，例如使用激光进行切断。由此，连接第一连接配线61的扫描端子51间被电切断。此外，连接第二连接配线64的扫描端子51间被电切断。另外，如果多个扫描端子51间被电切断，则也可以代替切线C沿着其他线切断。 
接着，对于第二检查工序进行详细叙述。 
以下，对于第一连接配线61和第二连接配线64的短路的检测方法进行说明。另外，对于扫描配线40和存储电容配线42的短路的检测方法、数据配线41的断线的检测方法、数据配线41和第三连接配线的短路的检测方法与第一检查工序中说明的相同，因此在这里省略其详细的说明。此外，扫描配线40的断线的检测方法通过代替第一检查工序中的第一扫描配线用检查焊盘63和第二扫描配线用检查焊盘66，使用第一连接配线用第一检查焊盘71、第一连接配线用第二检查焊盘73、第二连接配线用第一检查焊盘76和第二连接配线用第二检查焊盘78，能够与第一检查工序同样地实施。 
即，从控制焊盘88向第一开关元件69输入将该第一开关元件69接通的控制信号。由此，第一开关元件69接通。这里，仅向多个第一连接配线61中的第一连接配线611、615、619、……61m-1输入扫描检查信号，而不向该第一连接配线611、615、619、……61m-1以外的第一连接配线613、617、6111、……61m输入扫描检查信号。例如，使检查用探针仅与第一连接配线用第一检查焊盘71接触，而使检查用探针不与第一连接配线用第二检查焊盘73接触。 
这样一来，在第一连接配线611、615、619、……61m-1短路的情况下，不仅显示与该第一连接配线611、615、619、……61m-1连接的第一扫描配线401、405、409、……40m-1对应的线，也显示与和短路的第一连接配线613、617、6111、……61m连接的第一扫描配线403、407、4011、…… 40m对应的线。因此，检查员能够检测出第一连接配线611、615、619、……61m-1短路。 
与此相同，例如当使检查用探针仅与第一连接配线用第二检查焊盘73接触，而不使检查用探针与第一连接配线用第一检查焊盘71接触时，检查员能够检测出第一连接配线613、617、6111、……61m的短路。 
此外，从控制焊盘88向第二开关元件74输入将该第二开关元件74接通的控制信号。由此，第二开关元件74接通。在此，仅向多个第二连接配线64中的第二连接配线642、646、6410、……64n-1输入扫描检查信号，不向该第二连接配线642、646、6410、……64n-1以外的第二连接配线642、648、6412、……64n输入扫描检查信号。例如，使检查用探针仅与第二连接配线用第一检查焊盘76接触，而使检查用探针不与第二连接配线用第二检查焊盘78接触。 
这样一来，在第二连接配线642、646、6410、……64n-1短路的情况下，不仅显示与和该第二连接配线642、646、6410、……64n-1连接的第二扫描配线402、406、4010、……40n-1对应的线，也显示与和短路的第二连接配线644、648、6412、……64n连接的第二扫描配线404、408、4012、……40n对应的线。因此，检查员能够检测出第二连接配线642、646、6410、……64n-1短路。 
与此相同，例如当使检查用探针仅与第二连接配线用第二检查焊盘78接触，而不使检查用探针与第二连接配线用第一检查焊盘76接触时，检查员能够检测出第二连接配线644、648、6412、……64n的短路。 
但是，在上述的切断工序中，在将第一延长配线53和第二延长配线54切断之际，存在该延长配线53、54的一部分未被除去而残留的情况。此外，有时因切断屑飞散到端子配置区域5上而使扫描端子51和延长配线53、54短路。因此，优选进行连接有第一连接配线61和第二连接配线64的扫描端子51间是否被电切断的检查。即，从第一扫描配线用检查焊盘63和第二扫描配线用检查焊盘66向第一连接配线61和第二连接配线64输入扫描检查信号。因此，第一延长配线53和第二延长配线54的一部分未被除去而残留，或者扫描端子51和延 长配线53、54短路时，则在液晶面板1的显示画面显示有图像。因此，能够检测出在上述的切断工序中产生的不良情况。 
而且，在上述第一检查工序或第二检查工序中，当检测配线的断线、短路时，将检测出配线的断线、短路的液晶面板1作为不良产品除去。由此，不需要对液晶面板1的不良产品安装驱动器，因此能够提高驱动器安装工序的成品率，能够实现成本减低。另外，也可以代替将检测出配线的断线、短路的液晶面板1除去，而通过向产生配线的断线、短路的部位照射激光等修复断线、短路。 
接着，在上述的检查工序(第一检查工序、第二检查工序)后，进行安装工序。实施工序是在例如有源矩阵基板2的端子配置区域5中安装对扫描配线40和数据配线41进行驱动控制的驱动器的工序。然后，从母基板切出各个液晶面板1。然后，在已切出的液晶面板1上贴附偏光板等光学膜。由此，制造出液晶面板1。另外，制造液晶面板1的方法并不限定于上述方法。例如，在黑白(monochrome)用的液晶面板中，也可以不在相对基板上层叠彩色滤光片。此外，在切出各个液晶面板后也可以进行检查工序、安装工序。 
如上所述，根据本实施方式的有源矩阵基板2，第一连接配线用第一检查配线70和第一连接配线用第二检查配线72与多个第一连接配线61的各个交叉。此外，第二连接配线用第一检查配线75和第二连接配线用第二检查配线77与多个第二连接配线64的各个交叉。像这样，与多个第一连接配线61和多个第二连接配线64一起，相同根数的检查配线交叉，因此赋予第一连接配线61的负载与赋予第二连接配线64的负载相等。因此，与第一连接配线61连接的第一扫描配线401、403、405、……40m的到达电位和与第二连接配线64连接的第二扫描配线402、404、406、……40n的到达电位相同。因此，在本实施方式的有源矩阵基板2组装在显示装置中的情况下，在该显示装置的显示画面上显示亮度均匀的图像。此外，上述的检查配线70、72、75、77形成于除端子配置区域5和显示区域4以外的边框配线区域6。其结果，能够实现并不在端子配置区域形成用于检查连接配线间的短路的检查配线，并且能够提高显示品质的有源矩阵基板2。 
另外，在本实施方式中，对在相对基板形成共用电极，并向相对 基板的共用电极施加共用电压的例子进行了说明，但并不限定于此。例如，当然也能够将本发明适用于在有源矩阵基板上形成有共用电极的IPS(In Plane Switching：面内开关)模式的液晶面板。这里，在IPS模式的液晶面板的有源矩阵基板上也可以不形成转接焊盘。此外，当然也能够将本发明适用于MVA(Multi-Domain Vertical Aligned：多畴垂直取向)模式的液晶面板、OCB(Optically Compensated bend：光学补偿弯曲)模式的液晶面板等。 
此外，在本实施方式中，对在显示区域形成独立的存储电容配线，利用该存储电容配线形成存储电容的Cson Common型的液晶面板的例子进行了说明，但并不限定于此。即，当然也能够将本发明适用于利用相邻的扫描配线形成存储电容的CsonGate型的液晶面板中。在此，在CsonGate型的液晶面板中，不需要在显示区域形成独立的存储电容配线。因此，CsonGate型的液晶面板能够实现高开口率。 
此外，在本实施方式中，对在边框配线区域中，形成有第一开关元件、第二开关元件和第三开关元件分别共用的开关元件控制配线的例子进行说明，但并不限定于此。例如，在边框配线区域中，也可以形成对第一开关元件、第二开关元件和第三开关元件分别独立的开关元件控制配线。 
此外，在本实施方式中，对形成于有源矩阵基板上的各检查焊盘不与其他在有源矩阵基板上形成的各检查焊盘连接的例子进行了说明，但并不限定于此。即，在有源矩阵基板上形成的各检查焊盘也可以与其他在有源矩阵基板上形成的各检查焊盘连接。特别地，如果第一扫描配线用检查焊盘和第二扫描配线用检查焊盘与其他在有源矩阵基板上形成的检查焊盘连接，则在有源矩阵基板上产生的静电的除去和分散效果变大。 
进一步，在本实施方式中，对于在有源矩阵基板上形成有各检查焊盘的例子进行了说明，但并不限定于此。例如，也可以在与有源矩阵基板不同的基板上形成各检查焊盘，在该有源矩阵基板上仅形成能够输入从各检查焊盘供给的检查信号的检查配线。 
即，本发明并不限定于上述的本实施方式，在权利要求中所示的范围内能够进行各种变更。即，将在权利要求所示的范围内适当地变 更后的技术的手段组合而得的实施方式也包含在本发明的技术范围内。 
工业上的可利用性 
如上所述，本发明作为不在端子配置区域形成用于检查连接配线间的短路的检查配线，并且能够提高显示品质的有源矩阵基板、显示装置、有源矩阵基板的检查方法和显示装置的检查方法是有用的。 

Claims (11)

1.一种有源矩阵基板，其具备：在显示区域相互平行地形成的多个扫描配线；在所述显示区域中与所述多个扫描配线交叉且相互平行地形成的多个数据配线；和在端子配置区域配置的多个扫描端子和多个数据端子，所述有源矩阵基板的特征在于：
在所述多个扫描配线中包括：在一端侧具有扫描信号的输入端的多个第一扫描配线；和在另一端侧具有扫描信号的输入端的多个第二扫描配线，并且，在所述显示区域中，所述第一扫描配线与所述第二扫描配线每一根交替地形成，
所述有源矩阵基板具备：
将所述第一扫描配线的扫描信号的输入端与所述扫描端子连接的多个第一连接配线；
将所述第二扫描配线的扫描信号的输入端与所述扫描端子连接的多个第二连接配线；
将所述数据配线的数据信号的输入端与所述数据端子连接的多个第三连接配线；
与所述多个第一连接配线的各个连接的多个第一开关元件；
与所述多个第一连接配线的各个交叉、并能够向所述多个第一开关元件中相互不相邻的第一开关元件输入检查信号的第一检查配线；
与所述多个第一连接配线的各个交叉、并能够向所述多个第一开关元件中不与所述第一检查配线连接并且相互不相邻的第一开关元件输入检查信号的第二检查配线；
与所述多个第二连接配线的各个连接的多个第二开关元件；
与所述多个第二连接配线的各个交叉、并能够向所述多个第二开关元件中相互不相邻的第二开关元件输入检查信号的第三检查配线；和
与所述多个第二连接配线的各个交叉、并能够向所述多个第二开关元件中不与所述第三检查配线连接并且相互不相邻的第二开关元件输入检查信号的第四检查配线，
所述第一检查配线、所述第二检查配线、所述第三检查配线和所述第四检查配线形成在除所述端子配置区域和所述显示区域以外的边框配线区域，
所述第一检查配线与所述第二检查配线相互相邻，
所述第三检查配线与所述第四检查配线相互相邻，
所述多个第一开关元件中的至少1个配置在所述第一检查配线与所述第二检查配线之间，
所述多个第二开关元件中的至少1个配置在所述第三检查配线与所述第四检查配线之间。
2.如权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于：
所述多个第一开关元件形成在所述第一扫描配线的扫描信号的输入端的附近的边框配线区域，
所述多个第二开关元件形成在所述第二扫描配线的扫描信号的输入端的附近的边框配线区域。
3.如权利要求1或2所述的有源矩阵基板，其特征在于：
所述多个第一开关元件全部配置在所述第一检查配线与所述第二检查配线之间，
所述多个第二开关元件全部配置在所述第三检查配线与所述第四检查配线之间。
4.如权利要求1或2所述的有源矩阵基板，其特征在于：
在所述第一检查配线与所述第二检查配线之间，形成有能够输入对所述第一开关元件的接通/断开进行控制的控制信号的控制配线，
所述第一开关元件夹着所述控制配线配置在其两侧，
在所述第三检查配线与所述第四检查配线之间，形成有能够输入对所述第二开关元件的接通/断开进行控制的控制信号的控制配线，
所述第二开关元件夹着所述控制配线配置在其两侧。
5.如权利要求4所述的有源矩阵基板，其特征在于：
所述第一开关元件夹着所述控制配线左右交替地配置，
所述第二开关元件夹着所述控制配线左右交替地配置。
6.如权利要求1或2所述的有源矩阵基板，其特征在于，还具备：
从所述多个第一连接配线分别连接的多个扫描端子分别延长的多个第一延长配线；
与所述多个第一延长配线的各个连接、并能够输入检查信号的第五检查配线；
从所述多个第二连接配线分别连接的多个扫描端子分别延长的多个第二延长配线；和
与所述多个第二延长配线的各个连接、并能够输入检查信号的第六检查配线。
7.如权利要求1或2所述的有源矩阵基板，其特征在于：
所述数据配线在一端侧具有数据信号的输入端，
所述有源矩阵基板还具备：
与所述数据配线的另一端侧连接的多个第三开关元件；
能够向所述多个第三开关元件中相互不相邻的第三开关元件输入检查信号的第七检查配线；和
能够向所述多个第三开关元件中不与所述第七检查配线连接并且相互不相邻的第三开关元件输入检查信号的第八检查配线。
8.一种显示装置，其特征在于：
其具备权利要求1或2所述的有源矩阵基板。
9.如权利要求8所述的显示装置，其特征在于：
所述显示装置是液晶显示装置。
10.一种有源矩阵基板或显示装置的检查方法，其为权利要求1或2所述的有源矩阵基板、或具备权利要求1或2所述的有源矩阵基板的显示装置的检查方法，其特征在于，包括：
通过使所述第一开关元件为接通状态，并且向所述第一检查配线和所述第二检查配线输入相互独立的检查信号，进行所述第一连接配线的检查的工序；和
通过使所述第二开关元件为接通状态，并且向所述第三检查配线和所述第四检查配线输入相互独立的检查信号，进行所述第二连接配线的检查的工序。
11.一种有源矩阵基板或显示装置的检查方法，其为权利要求7所述的有源矩阵基板、或具备权利要求7所述的有源矩阵基板的显示装置的检查方法，其特征在于，包括：
通过从第五检查配线输入检查信号，进行所述第一扫描配线的检查的工序，该第五检查配线与从所述多个第一连接配线分别连接的多个扫描端子分别延长的多个第一延长配线的各个连接，并能够输入检查信号；
通过从第六检查配线输入检查信号，进行所述第二扫描配线的检查的工序，该第六检查配线与从所述多个第二连接配线分别连接的多个扫描端子分别延长的多个第二延长配线的各个连接，并能够输入检查信号；
通过使所述第三开关元件为接通状态，并且向所述第七检查配线和所述第八检查配线输入相互独立的检查信号，进行所述数据配线的检查的工序；
将所述多个第一延长配线和所述多个第二延长配线切断的工序；
通过使所述第一开关元件为接通状态，并且向所述第一检查配线和所述第二检查配线输入相互独立的检查信号，进行所述第一连接配线的检查的工序；和
通过使所述第二开关元件为接通状态，并且向所述第三检查配线和所述第四检查配线输入相互独立的检查信号，进行所述第二连接配线的检查的工序。
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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BRPI0912347A2 (pt) 2008-05-16 2015-10-13 Sharp Kk substrato de matriz ativa, dispositivo de exibição, método para inspecionar substrato de matriz ativa, e método para inspecionar dispositivo de exibição
JP5443144B2 (ja) * 2009-12-09 2014-03-19 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
JP5585102B2 (ja) * 2010-02-01 2014-09-10 カシオ計算機株式会社 アクティブマトリクス型表示パネル用基板とこれを用いた液晶表示パネル
US9614001B2 (en) 2010-06-28 2017-04-04 Sharp Kabushiki Kaisha Active matrix substrate including signal terminals additional signal terminals and switching elements for testing the active matrix substrate
US9276019B2 (en) * 2011-07-19 2016-03-01 Sharp Kabushiki Kaisha Method of manufacturing element substrate
WO2013084852A1 (ja) * 2011-12-06 2013-06-13 シャープ株式会社 アクティブマトリクス型表示装置
CN103186000A (zh) * 2011-12-31 2013-07-03 上海中航光电子有限公司 一种液晶显示装置及其测试方法
CN104246860B (zh) * 2012-04-25 2016-08-17 夏普株式会社 矩阵基板和显示装置
KR101535825B1 (ko) * 2012-09-25 2015-07-10 엘지디스플레이 주식회사 표시장치 및 이의 라인결함 검출방법
TWI517135B (zh) * 2014-05-08 2016-01-11 友達光電股份有限公司 主動元件陣列基板及其修補方法
US9869913B2 (en) 2014-05-22 2018-01-16 Sharp Kabushiki Kaisha Active matrix substrate and display device
CN105575301B (zh) * 2015-12-18 2019-05-24 上海天马微电子有限公司 阵列基板的信号线检测方法
ES2778453T3 (es) * 2016-01-21 2020-08-10 Signify Holding Bv Un excitador y un método para excitar al menos dos conjuntos de elementos de iluminación de estado sólido
JP6152464B1 (ja) 2016-11-05 2017-06-21 株式会社セレブレクス 狭額縁ディスプレイモジュール及びデータ出力装置
CN107843806B (zh) * 2017-10-30 2020-08-28 阳光电源股份有限公司 一种接线检测方法、装置和光伏发电系统
CN110580869A (zh) * 2018-06-11 2019-12-17 深超光电（深圳）有限公司 线路检测系统
CN112086424B (zh) * 2019-06-14 2023-06-23 群创光电股份有限公司 接合垫结构
CN110687731A (zh) * 2019-10-12 2020-01-14 上海天马微电子有限公司 一种显示面板、驱动方法以及显示装置
KR20230103739A (ko) 2021-12-31 2023-07-07 엘지디스플레이 주식회사 발광 표시 장치 이의 수리 방법

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3247799B2 (ja) * 1994-06-09 2002-01-21 シャープ株式会社 液晶表示パネルおよびその検査方法
JPH08262485A (ja) * 1995-03-20 1996-10-11 Nec Corp 液晶表示装置
JPH09329796A (ja) 1996-06-10 1997-12-22 Hitachi Ltd 液晶表示基板
JP2002098992A (ja) * 2000-09-22 2002-04-05 Toshiba Corp 液晶表示装置
JP4006012B2 (ja) 2001-09-28 2007-11-14 株式会社日立製作所 表示装置および液晶表示装置
JP3909572B2 (ja) 2001-09-28 2007-04-25 株式会社日立製作所 表示装置
JP2003241217A (ja) 2002-02-15 2003-08-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネル及びそれを用いた液晶表示装置
JP2004226931A (ja) 2003-01-27 2004-08-12 Kyocera Corp 液晶表示装置
JP2004325956A (ja) 2003-04-25 2004-11-18 Sharp Corp 表示装置及びその製造方法
JP2005241988A (ja) 2004-02-26 2005-09-08 Alps Electric Co Ltd 表示装置
JP2005266529A (ja) * 2004-03-19 2005-09-29 Sharp Corp 表示装置の製造方法及び表示装置
JP5194382B2 (ja) * 2005-08-18 2013-05-08 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及び電子機器
CN101443700B (zh) * 2006-07-31 2011-05-04 夏普株式会社 有源矩阵基板、显示装置、和有源矩阵基板的检查方法
WO2008026344A1 (fr) * 2006-08-31 2008-03-06 Sharp Kabushiki Kaisha Panneau d'affichage et dispositif d'affichage comportant ledit panneau

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP特开2004-226931A 2004.08.12
JP特开平8-262485A 1996.10.11
JP特开平9-329796A 1997.12.22

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