CN101937927A - 深沟槽超级pn结结构及其形成方法 - Google Patents

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龚大卫
马清杰
邵凯
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Abstract

本发明的实施例提出一种深沟槽超级PN结结构，包括：沉积在衬底上的单一厚外延层；形成在单一厚外延层中的深沟槽，深沟槽的特征尺寸为0.4微米-6微米，深度为10微米-80微米，角度为80度-90度；形成在深沟槽中的沿深沟槽方向的超级PN结，超级PN结为重掺杂的多晶硅；填充在深沟槽中的氧化层。根据本发明的实施例，该结构不但可以有效地提高功率MOS管的击穿电压，大幅降低功率MOS管的导通电阻，并且工艺简单，工艺可控性好。该结构避免了传统Super Junction工艺中的多次光刻，离子注入，推进以及外延生长，有效降低了制造成本，并且克服了传统Super Junction接合面不均匀的缺点。

Description

深沟槽超级PN结结构及其形成方法
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，跟具体地说，涉及一种深沟槽超级PN结构及其形成方法。
背景技术
功率MOSFET是最好的功率开关器件，以其输入阻抗高，低损耗、开关速度快、无二次击穿、安全工作区宽、动态性能好，易与前极耦合实现大电流化、转换效率高等特性用于处理电能，包含频率变换、功率变换和控制、DC/DC转换等。虽然功率MOS器件在功率处理能力上已经得到了惊人的提高，但在高压领域中由于导通电阻Ron的原因，使得MOS器件的导通损耗随耐压的提高而急速上升。为了提高耐压、降低导通损耗，一系列的新结构、新技术应运而生。而其中用来提高功率MOS性能的超级PN结(Super Junction)技术在高压领域的作用非常显著，吸引了大批器件供应商投入资金研发，目前已经成功开发出平面Cool MOS并且已经投入商业应用。但是传统Super Junction制备中要经过多次光刻，离子注入，推进以及外延生长，并且传统Super Junction有接合面不均匀的缺点。
图1为传统Super Junction的结构示意图。以700V功率MOS为例，N+或P+衬底硅片101背面作为功率MOS的漏极，第一外延层102、第二外延层103、第三外延层104、第四外延层105、第五外延层106、第六次外延层107依次沉积形成。每一次外延生长后通过光刻、离子注入、推进形成的P+或N+结109互相连接形成超级PN结(Super Junction)，用于功率MOS器件的有源区108。使用传统Super Junction的工艺形成的结构如图1所示，有数个依次沉积形成的外延层堆叠形成较厚的外延层，每一个外延层中有一个P+或者N+的结，上述这些结互相连接形成超级PN结(Super Junction)。但是不可避免的，由于每一个结109是单独形成，在结与结的交界面处存在弯曲起伏，不利于电荷平衡。
发明内容
为了克服传统Super Junction工艺中流程复杂以及结构上的缺点，本专利提出了一种新的深沟槽型超级PN结(Super Junction)结构及其形成方法。
根据本发明的实施例，提出一种深沟槽超级PN结结构，包括：
沉积在衬底上的单一厚外延层；
形成在单一厚外延层中的深沟槽，深沟槽的特征尺寸为0.4微米-6微米，深度为10微米-80微米，角度为80度-90度；
形成在深沟槽中的沿深沟槽方向的超级PN结，超级PN结为重掺杂的多晶硅；
填充在深沟槽中的氧化层。
在一个实施例中，超级PN结的结深为0.2微米-8微米。
在一个实施例中，衬底为N+或P+衬底；重掺杂的多晶硅为重掺杂的P型或N型多晶硅，沉积的厚度为
Figure B2009100542606D0000021
微米，且在1000℃-1200℃的温度下进行推进。
根据本发明的实施例，还提出一种深沟槽超级PN结的形成方法，包括：
在衬底上沉积单一厚外延层；
在单一厚外延层中形成的深沟槽，深沟槽的特征尺寸为0.4微米-6微米，深度为10微米-80微米，角度为80度-90度；
在深沟槽中沿深沟槽方向推进重掺杂的多晶硅形成超级PN结；
在深沟槽中填充氧化层。
在一个实施例中，超级PN结的结深为0.2微米-8微米。
在一个实施例中，在衬底上沉积单一厚外延层包括在N+或P+衬底上沉积单一厚外延层；
在一个实施例中，在单一厚外延层中形成的深沟槽包括生长
Figure B2009100542606D0000022
热氧化层；沉积
Figure B2009100542606D0000023
氮化硅；沉积
Figure B2009100542606D0000024
等离子体增强氧化层；光刻、刻蚀以上三层至衬底；去胶，并以以上三层作为硬掩模刻蚀深沟槽，并湿法腐蚀掉氮化硅表面剩余的等离子体增强氧化层。
在一个实施例中，在深沟槽中沿深沟槽方向推进重掺杂的多晶硅形成超级PN结包括在深沟槽中沉积
Figure B2009100542606D0000031
的重掺杂的P型或N型多晶硅；在1150℃下推进200分钟，形成沿着深沟槽方向结深；将
Figure B2009100542606D0000032
的重掺杂的P型或N型多晶硅完全氧化。
在一个实施例中，在深沟槽中填充氧化层包括：在深沟槽中填充氧化层并致密化；通过化学机械研磨，以氮化硅为化学机械研磨的终止层，研磨掉氮化硅上面的氧化层；通过热磷酸将氮化硅全剥；用氢氟酸将硅表面的热氧化层去掉。
根据本发明的实施例，该结构不但可以有效地提高功率MOS管的击穿电压，大幅降低功率MOS管的导通电阻，并且工艺简单，工艺可控性好。该结构避免了传统Super Junction工艺中的多次光刻，离子注入，推进以及外延生长，有效降低了制造成本，并且克服了传统Super Junction接合面不均匀的缺点。
附图说明
本发明的上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图和实施例的描述而变得更加明显，在附图中，相同的附图标记始终表示相同的特征，其中：
图1揭示了根据传统Super Junction工艺得到的Super Junction结构的示意图；
图2揭示了根据本发明的深沟槽超级PN结的形成方法的流程图；
图3-图6揭示了根据本发明的方案形成深沟槽超级PN结的一个实施例的工艺过程。
具体实施方式
本发明揭示了一种新型的深沟槽型超级PN结(Super Junction)以及其形成方法。
该深沟槽超级PN结结构包括：
沉积在衬底上的单一厚外延层；
形成在单一厚外延层中的深沟槽，深沟槽的特征尺寸为0.4微米-6微米，深度为10微米-80微米，角度为80度-90度；
形成在深沟槽中的沿深沟槽方向的超级PN结，超级PN结为重掺杂的多晶硅；
填充在深沟槽中的氧化层。
该超级PN结的结深为0.2微米-8微米，衬底为N+或P+衬底，重掺杂的多晶硅为重掺杂的P型或N型多晶硅，沉积的厚度为微米，且在1000℃-1200℃的温度下进行推进。
参考图2所示，本发明提出的深沟槽超级PN结的形成方法包括：
S101.在衬底上沉积单一厚外延层。例如，在N+或P+衬底上沉积单一厚外延层。
S102.在单一厚外延层中形成的深沟槽，深沟槽的特征尺寸为0.4微米-6微米，深度为10微米-80微米，角度为80度-90度。该步骤具体可以包括：生长
Figure B2009100542606D0000042
热氧化层；沉积
Figure B2009100542606D0000043
氮化硅；沉积
Figure B2009100542606D0000044
等离子体增强氧化层；光刻、刻蚀以上三层至衬底；去胶，并以以上三层作为硬掩模刻蚀深沟槽，并湿法腐蚀掉氮化硅表面剩余的等离子体增强氧化层。
S103.在深沟槽中沿深沟槽方向推进重掺杂的多晶硅形成超级PN结。该超级PN结的结深为0.2微米-8微米。该步骤具体包括：在深沟槽中沉积的重掺杂的P型或N型多晶硅；在1150℃下推进200分钟，形成沿着深沟槽方向结深；将
Figure B2009100542606D0000046
的重掺杂的P型或N型多晶硅完全氧化。
S104.在深沟槽中填充氧化层。该步骤具体包括：在深沟槽中填充氧化层并致密化；通过化学机械研磨，以氮化硅为化学机械研磨的终止层，研磨掉氮化硅上面的氧化层；通过热磷酸将氮化硅全剥；用氢氟酸将硅表面的热氧化层去掉。
参考图3-图6，图3-图6揭示了根据本发明的方案形成深沟槽超级PN结的一个实施例的工艺过程。
图3为根据本发明的一实施例的沟槽型超级PN结(Super Junction)的结构示意图。以N+或P+衬底硅片201背面作为功率MOS的漏极。在N+或P+衬底硅片201上沉积单一的厚外延层202。在该单一的厚外延层202中形成深沟槽206。在该深沟槽206中形成P+或N+的超级PN结(Super Junction)203。在深沟槽中填充氧化层204，用于功率MOS器件的有源区205。超级PN结203由于是一次成形，而非多个单独的结结合而成，因此平面非常均匀平滑，有利于电荷平衡，从而可以提升器件性能。本发明的结构的实现方法简单，工艺可控性好。该结构避免了传统超级PN结(Super Junction)制备工艺中的多次光刻，离子注入，推进以及外延生长，有效降低了制造成本，并且克服了传统Super Junction接合面不均匀的缺点。
本发明沟槽型超级PN结(Super Junction)结构的一个具体实施例的实现方法如下(以700V super junction为例)：
首先在衬底上沉积单一厚外延层。例如，在N+或P+衬底上沉积单一厚外延层。之后在该单一的厚外延层上形成深沟槽。参考图4所示，以形成深度为40微米的深沟槽为例：先生长
Figure B2009100542606D0000051
热氧化层，然后沉积
Figure B2009100542606D0000052
氮化硅，最后再沉积
Figure B2009100542606D0000053
等离子体增强氧化层；光刻、刻蚀以上三种膜至硅衬底；然后去胶，并以以上三种膜作为硬掩模刻蚀40um的深沟槽，然后湿法腐蚀掉氮化硅表面剩余的等离子体增强氧化层，形成如图4所示的结构。
之后在深沟槽，比如上述的40um的深沟槽中沉积
Figure B2009100542606D0000054
的浓掺杂的P型多晶硅，然后在1150℃推进200分钟，形成沿着深沟槽方向2～3um的P型结深；而后将的浓掺杂的P型多晶硅完全氧化，形成如图5所示的结构。如要说明的是，在其他的应用中，形成超级PN结所用的重掺杂的多晶硅可以为重掺杂的P型或N型多晶硅，沉积的厚度为
Figure B2009100542606D0000056
微米，并且可在1000℃-1200℃的温度下进行推进。
之后在深沟槽中(位于深沟槽中的超级PN结中)填充氧化层，并致密化，形成如图5所示的结构。接着，通过化学机械研磨，以氮化硅为化学机械研磨的终止层，研磨掉氮化硅上面的氧化层，而后通过热磷酸将氮化硅全剥，最后用氢氟酸将硅表面的热氧化层去掉。
经过上述的工艺，最终形成如图3所示的结构。
归纳而言，本发明沟槽型超级PN结具有下述的结构特征：
1)深沟槽的特征尺寸在0.4微米～6微米，深度在10微米～80微米，角度在80度～90度。
2)超级PN结的结深在0.2微米～8微米，为P+或者N+型结，沿着沟槽深度方向延伸。
3)具有填充于深沟槽内部的氧化层；
4)P+或N+结的实施工艺如下：在保留有部分硬掩模的深沟槽中沉积
Figure B2009100542606D0000061
微米厚的P或N型重掺杂的多晶硅，然后在1000℃-1200℃下推进，形成沿着深沟槽方向均匀的超级PN结(Super Junction)，然后将余下的多晶硅完全氧化。
上述工艺步骤中具体的数据可以根据不同的器件而有所不同。
根据本发明的实施例，该结构不但可以有效地提高功率MOS管的击穿电压，大幅降低功率MOS管的导通电阻，并且工艺简单，工艺可控性好。该结构避免了传统Super Junction工艺中的多次光刻，离子注入，推进以及外延生长，有效降低了制造成本，并且克服了传统Super Junction接合面不均匀的缺点。
上述实施例是提供给熟悉本领域内的人员来实现或使用本发明的，熟悉本领域的人员可在不脱离本发明的发明思想的情况下，对上述实施例做出种种修改或变化，因而本发明的保护范围并不被上述实施例所限，而应该是符合权利要求书提到的创新性特征的最大范围。

Claims (9)

1.一种深沟槽超级PN结结构，其特征在于，包括：
沉积在衬底上的单一厚外延层；
形成在所述单一厚外延层中的深沟槽，所述深沟槽的特征尺寸为0.4微米-6微米，深度为10微米-80微米，角度为80度-90度；
形成在所述深沟槽中的沿深沟槽方向的超级PN结，所述超级PN结为重掺杂的多晶硅；
填充在所述深沟槽中的氧化层。
2.如权利要求1所述的深沟槽超级PN结结构，其特征在于，
所述超级PN结的结深为0.2微米-8微米。
3.如权利要求2所述的深沟槽超级PN结结构，其特征在于，
所述衬底为N+或P+衬底；
所述重掺杂的多晶硅为重掺杂的P型或N型多晶硅，沉积的厚度为
Figure F2009100542606C0000011
微米，且在1000℃-1200℃的温度下进行推进。
4.一种深沟槽超级PN结的形成方法，其特征在于，包括：
在衬底上沉积单一厚外延层；
在所述单一厚外延层中形成的深沟槽，所述深沟槽的特征尺寸为0.4微米-6微米，深度为10微米-80微米，角度为80度-90度；
在所述深沟槽中沿深沟槽方向推进重掺杂的多晶硅形成超级PN结；
在所述深沟槽中填充氧化层。
5.如权利要求4所述的深沟槽超级PN结的形成方法，其特征在于，
所述超级PN结的结深为0.2微米-8微米。
6.如权利要求4所述的深沟槽超级PN结的形成方法，其特征在于，在衬底上沉积单一厚外延层包括：
在N+或P+衬底上沉积单一厚外延层；
7.如权利要求4所述的深沟槽超级PN结的形成方法，其特征在于，在所述单一厚外延层中形成的深沟槽包括：
生长
Figure F2009100542606C0000021
热氧化层；
沉积
Figure F2009100542606C0000022
氮化硅；
沉积
Figure F2009100542606C0000023
等离子体增强氧化层；
光刻、刻蚀以上三层至所述衬底；
去胶，并以以上三层作为硬掩模刻蚀深沟槽，并湿法腐蚀掉氮化硅表面剩余的等离子体增强氧化层。
8.如权利要求4所述的深沟槽超级PN结的形成方法，其特征在于，在所述深沟槽中沿深沟槽方向推进重掺杂的多晶硅形成超级PN结包括：
在所述深沟槽中沉积的重掺杂的P型或N型多晶硅；
在1150℃下推进200分钟，形成沿着深沟槽方向结深；
将
Figure F2009100542606C0000025
的重掺杂的P型或N型多晶硅完全氧化。
9.如权利要求4所述的深沟槽超级PN结的形成方法，其特征在于，在所述深沟槽中填充氧化层包括：
在深沟槽中填充氧化层并致密化；
通过化学机械研磨，以氮化硅为化学机械研磨的终止层，研磨掉氮化硅上面的氧化层；
通过热磷酸将氮化硅全剥；
用氢氟酸将硅表面的热氧化层去掉。
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