CN101874297A - 用于快速热处理的基板转动和振动装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种用于快速热处理(RTP)的基板转动和振动装置，所述装置利用通过升降单元移动的振动电机来使振动板进行振动。振动电机的转动轴包括安装在所述电机的中心轴上的下部和上部中心转动轴，以及偏离所述中心轴地安装在所述下部和上部中心转动轴之间的偏心轴。振动凸轮被安装到所述偏心凸轮上。振动板具有振动孔，所述振动凸轮插入所述振动孔中。轴承被安装在所述振动凸轮和所述偏心轴之间，从而使得所述振动凸轮独立于所述偏心轴而转动。振动板支撑整个多极磁化磁体电机或磁悬浮电机。因此，通过转动和在各个方向上振动基板，可以均匀地加热所述基板。

Description

用于快速热处理的基板转动和振动装置
技术领域
本发明涉及一种用于快速热处理(RTP)的基板转动和振动装置，更具体地，涉及一种用于RTP的基板转动和振动装置，其能够在各个方向水平地振动基板并且转动所述基板。
背景技术
一般而言，在快速热处理(RTP)设备中，最重要的要素是用于将基板加热到所需温度的速度。此外，需要均匀地加热基板。然而，随着基板尺寸的增大，难以实现均匀加热。为了克服这种问题，引入了一种在RTP期间水平地转动基板的装置。
为了抑制噪声、震动和碎料的产生，基板转动装置已采用磁悬浮电机或多极磁化的磁体。然而，尽管尝试了各种基板转动方法，如图1所示，仍然不可避免重叠部分15a发生不均匀加热。更具体地，由于从加热灯10发射的光是重叠的，因此随着基板20水平地转动，热量重叠区域15a形成为环形形状。当用这种RTP设备在基板20上生长氧化层时，如图1C所示，氧化层17a的厚度沿着环形热量重叠区域15a增加。结果导致氧化层17a的各个部分生长得厚度不均匀。
因此，仅是基板的水平转动不足以避免基板的不均匀加热。
发明内容
技术问题
因此，考虑到上述问题而提出本发明，并且本发明的一个目的是提供一种用于快速热处理的基板转动和振动装置，其能够通过增加基板运动的自由度并由此在各个方向水平地振动基板并且水平地转动基板来解决基板加热不均匀的问题。
技术方案
根据本发明的一个方面，通过提供一种用于快速热处理的基板转动和振动装置可实现上述和其它目的，所述用于快速热处理的基板转动和振动装置包括：基板转动单元，所述基板转动单元与支撑基板的基板支撑件连接，从而通过转动所述基板支撑件来转动基板；振动板，所述振动板支撑基板转动单元；以及基板振动单元，所述基板振动单元通过水平地振动所述振动板来振动所述基板。
这里，基板转动单元包括：振动电机，所述振动电机的转动轴包括下部中心转动轴、偏心轴和上部中心转动轴，所述下部和上部中心转动轴被安装在电机的中心轴上，所述偏心轴被安装在下部和上部中心转动轴之间以偏离中心轴；升降单元，所述升降单元使所述振动电机上下移动；振动凸轮，所述振动凸轮被安装到偏心凸轮上；以及振动板，所述振动板具有振动孔，所述振动凸轮插入所述振动孔中。
基板转动单元可包括：转动电机；下部多极磁化磁轮(magnetic wheel)，所述下部多极磁化磁轮与转动电机的转动轴连接并且在其上表面上安装有磁体；上部多极磁化磁轮，所述上部多极磁化磁轮被放置在下部多极磁化磁轮的上面并且通过下部多极磁化磁轮的磁力随下部多极磁化磁轮转动；多极磁化磁鼓，所述多极磁化磁鼓具有盘片形状，所述多极磁化磁鼓与上部多极磁化磁轮的转动轴连接并且在其侧壁上安装有磁体；以及多极磁化磁环，与基板支撑件连接的所述多极磁化磁环被安装为其外表面与多极磁化磁鼓相邻，并且所述多极磁化磁环的外表面上装配有磁体，从而通过多极磁化磁鼓的磁力随着多极磁化磁鼓转动。这里，振动板可具有包括向上弯曲部分的环形形状，所述向上弯曲部分通过向上弯曲振动板的内边缘而形成，并且轴承被安装在多极磁化磁环的内表面和向上弯曲部分之间。转动电机可被放置在RTP腔室的外部，并且波纹管可被安装来密封在转动电机和RTP腔室之间的间隙。
基板转动单元可包括：定子，所述定子具有由线圈缠绕的环形形状；以及转子，所述转子被安装在定子内部并且通过线圈产生的磁场力来转动，所述转子与基板支撑件连接。在这种情况下，定子和转子都被放置在RTP腔室内。
振动板可装配有X轴位移传感器、Y轴位移传感器和Z轴位移传感器。
升降单元和振动电机可被安装在RTP腔室的外部，而振动凸轮被安装在RTP腔室中。这里振动电机和RTP腔室之间的间隙可通过波纹管来密封。
轴承可被安装在振动凸轮和偏心轴之间，从而使得振动凸轮可以独立于偏心轴转动。
振动凸轮可具有向上变窄的截锥形状，同时振动孔也具有截锥形状，从而相应地插入振动凸轮。
上部中心转动轴可被安装有中心凸轮，振动板可形成有从振动孔向上延伸的中心孔，从而可将中心凸轮插入所述中心孔。中心凸轮具有倒立的向下变窄的截锥形状，并且中心孔也具有倒立的截锥形状，以相应地在其中插入振动凸轮。轴承可被安装在中心凸轮和上部中心转动轴之间，从而使得中心凸轮可以独立于上部中心转动轴而转动。
振动凸轮和中心凸轮可被构造为，当振动凸轮向上移动并插入振动孔中时，使得中心凸轮从中心孔中向上脱离出，并且当中心凸轮向下移动并插入中心孔中时，使得振动凸轮从振动孔中向下脱离出。
当振动板被放置在水平自由直线运动(LM)块上并由所述水平自由直线运动块导引时，所述振动板可水平地振动。在这种情况下，水平自由LM块可包括：下部LM导引部，所述下部LM导引部由位于下部LM轨道的上表面上的下部LM块构成；上部LM导引部，所述上部LM导引部由位于上部LM轨道的下表面上的上部LM块构成，所述上部LM导引部在与下部LM导引部的运动方向垂直的方向上导引所述振动板的直线运动；以及连接器，所述连接器连接下部LM导引部的下部LM块和上部LM导引部的上部LM块，从而使得下部LM块和上部LM块一起移动。
有益效果
如同可以从上述说明中理解的，根据本发明的实施例，由于基板在快速热处理(RTP)期间可以水平地转动并且在各个方向振动，因此可以均匀地加热基板。
附图说明
通过下述结合附图的详细说明可以更清楚地理解本发明的上述和其它目的、特征和其它优点，在附图中：
图1是图示根据常规技术的基板转动型快速热处理(RTP)设备的示意图；
图2是说明通过在各个方向水平地振动基板且水平地转动基板从而均匀地加热基板的原理的概念图；
图3比较性地示出了在对基板仅进行水平转动情况下的热量重叠区域和对基板进行水平转动和各个方向的水平振动情况下的热量重叠区域。
图4是图示根据本发明第一实施例的用于RTP的基板振动装置的示意图；
图5是说明图4所示的下部多极磁化磁轮511的结构的示意图；
图6是说明图4所示的多极磁化磁鼓521的结构的示意图；
图7是说明图4所示的多极磁化磁环522的结构的示意图；
图8是图示多极磁化磁鼓521和多极磁化磁环522的能量传输过程的示意图；
图9至图12图示了图4所示的基板振动装置的操作过程；
图13和图14是图示图4所示的振动板140的移动轨迹的示意图；
图15是图4所示的4-向水平自由直线运动块(4-direction horizontal freeLM block)130的示意图；以及
图16是图示根据本发明第二实施例的用于RTP的基板转动和振动装置的结构的示意图；
具体实施方式
在下文中，将参照附图详细描述本发明的示例性实施例。应该注意，所给出的下述实施例仅作为用于更好地理解本发明的实例。因此，本领域技术人员应该理解本发明不限于所述实施例，而是在不脱离本发明的范围和精神的情况下可以对本发明进行各种改进、增补和替换。
图2是说明通过在各个方向水平地振动基板且水平地转动基板从而均匀地加热基板的原理的概念图。当基板20仅在如图2a所示的水平位置转动时，产生环形形状的热量重叠区域15a。另一方面，当基板20在各个方向上水平地振动同时也水平地转动时，热量重叠区域是均匀的，因此可以获得相对均匀的热量重叠区域15b。
图3比较性地示出了在基板仅水平地转动情况下的热量重叠区域和基板水平地转动且在各个方向水平地振动情况下的热量重叠区域。当基板仅水平地转动时，产生环形热量重叠区域15a，并因此获得厚度不均匀的氧化层17a。在另一方面，当基板转动并且在水平位置自由地振动时，产生均匀的热量重叠区域15b并因此获得厚度均匀的氧化层17b。
实施例1：在多极磁化磁体系统中的水平转动和水平振动
图4示出了根据本发明第一实施例的用于RTP的基板转动和振动装置。本发明的特征在于，通过水平地振动多极磁体型基板转动装置，基板既水平地转动也水平地振动，作为本申请人提交的韩国专利No.523674(2005年10月18日)的所述多极磁体型基板转动装置已获得专利权。
基板转动装置
图4所示的多极磁化磁体型基板转动装置已由本申请人提交并且专利登记为韩国专利No.523674(2005年10月18日)。因此，本文将简要说明所述基板转动装置。
当转动电机510转动时，与转动电机510的转动轴连接的下部多极磁化磁轮511水平地转动。如俯视所见，如图5所示，沿着圆弧以交替地排列N极和S极的方式构造下部多极磁化磁轮511。上部多极磁化磁轮512被安装在下部多极磁化磁轮511的上部，平行地面对着下部多极磁化磁轮511。以与构造下部多极磁化磁轮511相同的方式构造上部多极磁化磁轮512，并且磁轮511和512以相反的磁极彼此面对，从而使得磁引力作用在其间。因此，当下部多极磁化磁轮511水平地转动时，上部多极磁化磁轮512也通过磁力转动。另外，磁渗透壁(permeant wall)(未示出)被安装在下部多极磁化磁轮511和上部多极磁化磁轮512之间。
多极磁化磁鼓521具有盘片形状，其中心与上部多极磁化磁轮512的转动轴512a连接，并因此多极磁化磁鼓521随着上部多极磁化磁轮512的转动而水平地转动。如图6所示，磁体521a以其N极朝外的方式被安装在多极磁化磁鼓521的侧壁上。
多极磁化磁环522以其外表面与多极磁化磁鼓521的侧壁相邻的方式被安装。此外，如图7所示，磁体522a以其N极朝外的方式进一步被安装在多极磁化磁环522的侧壁上。因此，如图8所示，随着多极磁化磁鼓521的转动，多极磁化磁环522也相应地转动，如同多极磁化磁环522与多极磁化磁鼓521齿轮连接。
多极磁化磁环522通过连接件22与基板支撑件21连接。在上述结构的基板转动单元中，能量依次通过转动电机510、下部多极磁化磁轮511、上部多极磁化磁轮512、多极磁化磁鼓521、多极磁化磁环522、连接件22和基板支撑件21传输，并因此，基板20关于轴R3水平地转动。石英窗15被设置在加热灯(未示出)和基板20之间。
环形形状的振动板140支撑整个基板转动单元。使振动板140的内边缘向上弯曲，由此形成向上弯曲部分140a。轴承530被安装在向上弯曲部分140a和多极磁化磁环522的内表面之间，从而可以在转动时稳定地支撑多极磁化磁环522。
外壳420密封腔室510的下部。基板转动单元被安装在外壳420中。如果转动电机510被放置在外壳420中，则会引起震动，这背离了采用这种非接触磁体结构的目的。因此，尽管转动电机510被放置在外壳420的外面，但仍然安装波纹管421来密封转动电机510和外壳420之间的间隙。
基板振动装置
参照图4，通过振动整个基板转动装置来进行基板20的水平振动。这种整个基板转动装置的振动可通过振动环形振动板140来实现。
4-向水平自由直线运动块130被安装到外壳420的下表面上。环形振动板140被置于4-向水平自由直线运动块130上。
振动电机102的转动轴包括：下部中心转动轴103a、偏心轴103b和上部中心转动轴103c。偏心轴103b被安装在下部中心转动轴103a和上部中心转动轴103c之间。下部中心转动轴103a和上部中心转动轴103c被安装在振动电机102的中心轴R1上，偏心轴103b被安装在稍微偏离中心轴R1的偏心线R2上。
振动凸轮105被安装到偏心轴103b上，中心凸轮106被安装到上部中心转动轴103c上。轴承105a被安装在振动凸轮105和偏心轴103b之间，从而使得振动凸轮105可以独立于偏心轴103b转动。此外，另一轴承106a被安装在中心凸轮106和上部中心转动轴103c之间，从而使得中心凸轮106可以独立于上部中心转动轴103c转动。
振动凸轮105具有向上变窄的截锥形状。振动孔305也具有截锥形状，从而相应地插入振动凸轮105。在另一方面，中心凸轮106具有倒立的向下变窄的截锥形状。中心孔306也具有倒立的截锥形状，以相应地在其中插入中心凸轮106。
振动凸轮105和中心凸轮106被构造为，当振动凸轮105向上移动并插入振动孔305中时，使得中心凸轮106从中心孔306中向上脱离开。并且当中心凸轮106向下移动并插入中心孔306中时，使得振动凸轮105从振动孔305中向下脱离开。
由于振动电机102可通过升降单元101而整体地上下移动，因此可以实现振动凸轮105的垂直运动。如果振动电机102被安装在外壳420中，则会产生震动，从而减弱非接触磁体结构的作用。因此，优选地，升降单元101和振动电机102也被安装在外壳420的外面。考虑到振动电机102的垂直运动和腔室410的密封，波纹管422被连接在振动电机102和外壳420之间。
图9至图12是图示图4所示的基板振动装置的操作过程的示意图。
首先，如图9的A部分所示，中心凸轮106在中心孔306中，因此振动凸轮105从振动孔305向下脱离开。在此期间，转动电机510和振动电机102处于工作状态。
因为振动凸轮105在振动孔305之外，所以振动凸轮105不会影响振动板140的操作。由于中心凸轮106因安装在上部中心转动轴103c和中心凸轮106之间的轴承106a而独立于上部中心转动轴103c转动，因此，尽管振动电机102在转动，插在中心孔306中的中心凸轮106也不会影响振动板140的操作。因此，在图9的状态中，基板通过转动电机510只是水平地转动。
接着，振动电机102通过升降单元101上下移动。因此，如图10的B部分所示，振动凸轮105插入振动孔305，而中心凸轮106从中心孔306向上脱离开。
由于振动凸轮105和振动孔305都具有这种向上变窄的截锥形状，因此通过振动孔305的上部最终限制振动凸轮105的向上移动。当升降单元101过度地向上移动时，过度的推力会被施加在振动凸轮105和振动板140之间。考虑到这点，由弹性材料形成的缓冲件(未示出)可进一步被安装到升降单元101上，以被放置在升降单元101和振动电机102之间。
在图9的状态中，中心凸轮106插在中心孔306中，因此，振动板140与所述电机的中心轴R1对齐。如图10所示，由于中心凸轮106脱离中心孔306，而振动凸轮105插在振动孔305中，因此振动板140与偏心线R2对齐。因此，振动板140通过振动半径T1水平地振动。这里，振动半径T1可相当于中心轴R1和偏心线R2之间的间隔。
由于安装在偏心线103b和振动凸轮105之间的轴承105a，振动凸轮105绕偏心轴103b空转。因此，振动电机102的转动不会使振动板140水平地转动，而只是使振动板140水平地移动和振动半径T1一样的距离。
当振动电机102在这种状态下保持转动时，如图10的B部分所示的位于右侧的偏心轴103b被移动到如图11的C部分所示的左侧。据此，振动板140被移动到左侧。
参照图10和图11，尽管看起来振动板140只可以在横向上移动，但是，鉴于振动板140和偏心轴103b之间的连续的相对运动，振动板140实际上在各个方向水平地振动。
在完成热处理(RTP)之后，如图12所示，升降单元101向下移动。因此，中心凸轮106插入中心孔306中，而振动凸轮105从振动孔305向下脱离开。在这种状态中，由于偏心轴103b不会影响振动板140的水平振动，因此基板完成振动操作并且返回图9的状态。换言之，由于中心凸轮106插入中心孔306中，因此偏离所述电机的中心轴R1的振动板140再次与中心轴R1相对应。
此时，因为RTP完成，所以转动电机510不转动。由于中心凸轮106和中心孔306都具有倒立的截锥形状，因此中心孔306的下部可以限制中心凸轮106的过度下移。
图13示出了俯视的振动板140，以解释振动板140根据振动电机102的转动而水平振动过程。图14是示出振动板140的移动轨迹的示意图。
图13a与图9相对应，图13b与图10以及图14的状态S1相对应。图13d与图11以及图14的状态S3相对应，图13c与图14的状态S2相对应，即，图13c处于图10和图11的状态之间。因此，在振动电机102逆时针转动一次期间，振动板140顺序地沿轨迹S1、S2、S3、和S4振动。
振动板140的振动半径T1可大于图2a所示的各个环形热量重叠区域15a之间的间隔，从而有效地覆盖如图2b所示的在热量重叠区域15a之间的热量空隙(thermal void)。
振动电机102的转动只影响基板的水平振动，而不影响基板的水平转动。在振动期间，安装在振动凸轮105和偏心轴103b之间的轴承105a有助于振动凸轮105和振动板140之间的平滑滑动。
图15是解释4-向水平自由LM块130的示意图。更具体地，图15a是剖面图，图15b是平面图，图15c是解释4-向水平自由LM块130的移动轨迹的示意图。
4-向水平自由LM块130包括一对LM导引部131和133，所述LM导引部131和133共同安装有插置在其间的连接器132，以彼此垂直地移动。
下LM导引部131被构造为使得下LM块131b被置于下LM轨道131a的上部。上LM导引部133被构造为使得上LM块133b被置于上LM轨道133a的下部。连接器132被安装在下LM导引部的下LM块131b和上LM导引部133的上LM块133b之间，以使LM块131b和133b彼此固定地连接，从而使得LM块131b和133b可以一起移动。因此，当下LM导引部131的下LM块131b在X轴方向上水平地移动，并且上LM导引部133的上LM轨道133a在Y轴方向上水平地移动时，在X轴和Y轴方向上产生二维水平运动。
当振动板140通过4-向水平自由LM块130沿轨迹135a水平地移动时，振动板140大致沿假想的圆形轨迹135b进行圆周运动。因此，如图15c的箭头135c所示，振动板140在沿假想的圆形轨迹135b移动的同时水平地振动。因此，振动板140同时振动和转动，从而可以更加均匀地进行RTP。
实施例2：利用磁悬浮电机的水平转动和水平振动
图16是图示根据本发明第二实施例的用于RTP的基板转动和振动装置的结构的示意图。
磁悬浮电机完全通过磁力来转动，而不需要图4所示的转动电机510。磁悬浮电机被构造为使得磁体的转子622被安装在环形形状的定子621的中空空间中。由于线圈缠绕在定子621上，因此转子622在通过线圈所产生的磁场力而悬浮时在水平位置转动。这种磁悬浮电机的原理在本领域是公知的。这里，转子622通过连接件22与基板支撑件21连接。
磁悬浮电机完全由环形振动板140来支撑，并且振动板140通过与前述实施例所描述的相同的振动结构来振动。振动板140装配有X轴位移传感器141、Y轴位移传感器142和Z轴位移传感器143。外壳420密封腔室410的下部。磁悬浮电机被安装在外壳420内。在本实施例中，用于前述实施例的转动电机510不是必要的，构成基板转动单元的转子622和定子621都被放置在外壳420中。
通过如上所述地将多极磁化磁体或磁悬浮电机应用于基板转动单元，可以有效地抑制震动、噪声和碎料的产生，由此提高制造过程可靠性。此外，在本发明的实施例中公开的基板振动装置还可以应用在利用其它常规工具，诸如常规电机、步进电机和空气电机等来转动基板时。
尽管本发明的优选实施例是为了说明的目的而公开的，但是本领域技术人员应该理解，在不脱离如在所附的权利要求中所公开的本发明的范围和精神的情况下，可以对本发明进行各种改进、增补和替换。

Claims (17)

1.一种用于快速热处理(RTP)的基板转动和振动装置，包括：
基板转动单元，所述基板转动单元与支撑基板的基板支撑件连接，从而通过转动所述基板支撑件来转动所述基板；
振动板，所述振动板支撑所述基板转动单元；以及
基板振动单元，所述基板振动单元通过水平地振动所述振动板来振动所述基板，
其中，所述基板转动单元包括：
振动电机，所述振动电机的转动轴包括下部中心转动轴、偏心轴和上部中心转动轴，所述下部中心转动轴和上部中心转动轴被安装在所述电机的中心轴上，所述偏心轴被安装在所述下部中心转动轴和上部中心转动轴之间以偏离所述中心轴；
升降单元，所述升降单元使所述振动电机上下移动；
振动凸轮，所述振动凸轮被安装到所述偏心凸轮上；以及
振动板，所述振动板具有振动孔，所述振动凸轮插入所述振动孔中。
2.根据权利要求1所述的基板振动装置，其中，基板转动单元包括：
转动电机；
下部多极磁化磁轮，所述下部多极磁化磁轮与所述转动电机的转动轴连接，并且在所述下部多极磁化磁轮的上表面上安装有磁体；
上部多极磁化磁轮，所述上部多极磁化磁轮被放置在所述下部多极磁化磁轮的上方，并且通过所述下部多极磁化磁轮的磁力随所述下部多极磁化磁轮转动；
多极磁化磁鼓，所述多极磁化磁鼓具有盘片形状，所述多极磁化磁鼓与所述上部多极磁化磁轮的转动轴连接，并且在所述多极磁化磁鼓的侧壁上安装有磁体；以及
多极磁化磁环，与所述基板支撑件连接的所述多极磁化磁环被安装为所述多极磁化磁环的外表面与所述多极磁化磁鼓相邻，并且所述多极磁化磁环的外表面上装配有磁体，从而通过所述多极磁化磁鼓的磁力随着所述多极磁化磁鼓转动。
3.根据权利要求2所述的基板振动装置，其中，所述振动板具有包括向上弯曲部分的环形形状，所述向上弯曲部分通过向上弯曲所述振动板的内边缘而形成，并且轴承被安装在所述多极磁化磁环的内表面和所述向上弯曲部分之间。
4.根据权利要求2所述的基板振动装置，其中，所述转动电机被放置在快速热处理腔室的外部，并且波纹管被安装来密封所述转动电机和所述快速热处理腔室之间的间隙。
5.根据权利要求1所述的基板振动装置，其中，所述基板转动单元包括：
定子，所述定子具有由线圈缠绕的环形形状；以及
转子，所述转子被安装在所述定子内部并且通过所述线圈产生的磁场力来转动，并且所述转子与所述基板支撑件连接。
6.根据权利要求5所述的基板振动装置，其中，所述定子和所述转子都被放置在所述快速热处理腔室内。
7.根据权利要求1所述的基板振动装置，其中，所述振动板装配有X轴位移传感器、Y轴位移传感器和Z轴位移传感器。
8.根据权利要求1所述的基板振动装置，其中，所述升降单元和所述振动电机被安装在所述快速热处理腔室的外部，而所述振动凸轮被安装在所述快速热处理腔室中。
9.根据权利要求8所述的基板振动装置，其中，所述振动电机和所述快速热处理腔室之间的间隙通过波纹管来密封。
10.根据权利要求1所述的基板振动装置，其中，轴承被安装在所述振动凸轮和所述偏心轴之间，从而使得所述振动凸轮独立于所述偏心轴转动。
11.根据权利要求1所述的基板振动装置，其中，所述振动凸轮具有向上变窄的截锥形状，并且所述振动孔也具有所述截锥形状，从而相应地插入所述振动凸轮。
12.根据权利要求1所述的基板振动装置，其中，所述上部中心转动轴安装有中心凸轮，所述振动板形成有从所述振动孔向上延伸的中心孔，从而将所述中心凸轮插入所述中心孔中。
13.根据权利要求12所述的基板振动装置，其中，所述中心凸轮具有倒立的向下变窄的截锥形状，并且所述中心孔也具有所述倒立的截锥形状，以相应地在所述中心孔中插入所述振动凸轮。
14.根据权利要求12所述的基板振动装置，其中，轴承被安装在所述中心凸轮和所述上部中心转动轴之间，从而使得所述中心凸轮独立于所述上部中心转动轴转动。
15.根据权利要求12所述的基板振动装置，其中，所述振动凸轮和所述中心凸轮被构造为，当所述振动凸轮向上移动并插入所述振动孔中时，使得所述中心凸轮从所述中心孔中向上脱离开，并且当所述中心凸轮向下移动并插入所述中心孔中时，使得所述振动凸轮从所述振动孔中向下脱离开。
16.根据权利要求1所述的基板振动装置，其中，当所述振动板被放置在水平自由直线运动(LM)块上并由所述水平自由直线运动块导引时，所述振动板水平地振动。
17.根据权利要求16所述的基板振动装置，其中，所述水平自由直线运动块包括：
下部直线运动导引部，所述下部直线运动导引部由位于下部直线运动轨道的上表面上的下部直线运动块构成；
上部直线运动导引部，所述上部直线运动导引部由位于上部直线运动轨道的下表面上的上部直线运动块构成，所述上部直线运动导引部在与所述下部直线运动导引部的运动方向垂直的方向上导引所述振动板的直线运动；以及
连接器，所述连接器连接所述下部直线运动导引部的所述下部直线运动块和所述上部直线运动导引部的所述上部直线运动块，从而使得所述下部直线运动块和所述上部直线运动块一起移动。
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PB01 Publication
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SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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