KR100523674B1 - 급속 열처리장치의 웨이퍼 회전장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 지지대를 회전시키는 급속 열처리장치의 웨이퍼 회전장치는:모터와;상기 모터의 회전축과 연결되며 일면에 자석이 위치된 외측 다극착자 마그네트휠과;자신과 상기 외측 다극착자 마그네트휠 사이에 인력이 작용하도록 상기 외측 다극착자 마그네트휠과 평행하게 설치되는 내측 다극착자 마그네트휠과;상기 외측 다극착자 마그네트휠과 상기 내측 다극착자 마그네트휠 사이에 위치되는 투자성 벽과;상기 내측 다극착자 마그네트휠이 자신의 내측링에 설치되는 제1 베어링과;상기 내측 다극착자 마그네트휠과 평행하게 설치되되, 상기 내측 다극착자 마그네트휠과 더불어 회전하도록 샤프트를 통하여 상기 내측 다극착자 마그네트휠과 연결되며 측면에 자석이 위치된 제1 다극착자 마그네트링과;상기 제1 다극착자 마그네트링보다 크고, 측면에 자석이 위치되며 자력에 의하여 상기 제1 다극착자 마그네트링과 더불어 회전하도록 설치되는 제2 다극착자 마그네트링과;상기 제2 다극착자 마그네트링이 자신의 내측링에 설치되는 제2 베어링과;상기 제2 다극착자 마그네트링과 상기 웨이퍼 지지대를 연결하는 연결부재와;상기 투자성 벽과, 상기 제1 및 제2 베어링의 외측링이 고정되며 상기 챔버와 연결되는 하우징을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 급속 열처리장치의 웨이퍼 회전장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 외측 다극착자 마그네트휠, 내측 다극착자 마그네트휠, 제1 다극착자 마그네트링 또는 제2 다극착자 마그네트링은 비투자성재질의 휠 또는 링에 파우더 형태의 영구자석 재질을 소결한 다음 착자를 실시하여 마련되는 것을 특징으로 하는 급속 열처리장치의 웨이퍼 회전장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 외측 다극착자 마그네트휠, 내측 다극착자 마그네트휠, 제1 다극착자 마그네트링 또는 제2 다극착자 마그네트링에 있어서 자석 표면에는 니켈도금막이 형성되는 것을 특징으로 하는 급속 열처리장치의 웨이퍼 회전장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 제1 다극착자 마그네트링에 있어서 상기 내측 다극착자 마그네트휠과 대향하는 일면에는 비투과성막이 형성되는 것을 특징으로 하는 급속 열처리장치의 웨이퍼 회전장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 연결부재는, 자신의 상면은 상기 웨이퍼 지지대에 접촉되고 자신의 하면은 상기 제2 다극착자 마그네트링에 접촉되도록 상기 웨이퍼 지지대 및 상기 제2 다극착자 마그네트링에 각각 고정되는 알루미나링인 것을 특징으로 하는 급속 열처리장치의 웨이퍼 회전장치.
- 제 5항에 있어서, 상기 알루미나링에 있어서 하면을 포함한 소정영역과 상기 제2 다극착자 마그네트링의 소정영역에는 각각 홈이 형성되고 상기 홈들에 열팽창하는 스프링핀을 삽입함으로써 상기 알루미나링이 제2 다극착자 마그네트링에 고정되는 것을 특징으로 하는 급속 열처리장치의 웨이퍼 회전장치.
- 제 6항에 있어서, 상기 스프링핀은 상기 알루미나링과 선접촉되도록 상기 스프링핀에 있어서 상기 알루미나링에 삽입된 부분의 횡단면적이 균일하지 않은 것을 특징으로 하는 급속 열처리장치의 웨이퍼 회전장치.
- 제 6항 또는 제 7항에 있어서, 상기 스프링핀에는 복수 개의 홈과 복수 개의 구멍이 형성되는 것을 특징으로 하는 급속 열처리장치의 웨이퍼 회전장치.
- 제 6항 또는 제 7항에 있어서, 상기 스프링핀의 재질은 알루미나인 것을 특징으로 하는 급속 열처리장치의 웨이퍼 회전장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 제2 다극착자 마그네트링 또는 상기 연결부재를 냉각시키는 냉각수 통로가 상기 챔버 내벽 또는 상기 하우징의 내벽에 형성되는 것을 특징으로 하는 급속 열처리장치의 웨이퍼 회전장치.
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WO2009066923A3 (en) * | 2007-11-22 | 2009-08-06 | Kornic Systems Corp | Substrate rotating and oscillating apparatus for rapid thermal process |
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2004
- 2004-07-15 KR KR1020040055202A patent/KR100523674B1/ko not_active IP Right Cessation
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