CN101866673A - 磁头悬挂装置 - Google Patents

Abstract

磁头悬挂装置具有底板11a、载荷梁13a和布置在所述底板和所述载荷梁之间并且响应于施加的电力变形来精确地将所述载荷梁的前端相对于所述底板向前移动的压电元件40。该磁头悬挂装置包括形成在所述底板中并且构造用于接纳所述压电元件的孔20，和与所述底板结合、部分突出到所述孔内并且构造用于支撑所述压电元件的电极71的支架构件19。所述支架构件19具有一体的用于支撑电极底端的底端支架19a1、用于支撑所述电极前端的前端支架19a2和用于将所述底端支架和前端支架在所述压电元件外部彼此连接的支架连接部19a3。该结构减少用于支撑所述压电元件的部件数量。

Description

磁头悬挂装置

技术领域

本发明涉及用于结合在例如个人电脑的信息处理设备中的磁盘驱动器的磁头悬挂装置。

背景技术

小尺寸、精密信息装置正在快速发展，并且为了与这样的装置一起使用，对能够进行非常小距离的定位控制的微致动器的需求正在增加。这样的微致动器对于例如矫正聚焦和入射角的光学系统、用于控制喷墨头的喷墨打印机和用于控制磁头的磁盘驱动器尤其需要。

为了满足该需要，本发明的申请已经在日本未经审查的专利申请公开No.2002-50140中提出了用于磁盘驱动器的磁头悬挂装置，其包括底板、具有比底板更薄的铰链的连接板、设置有挠曲件的载荷梁和包括一对压电元件的压电致动器。

该相关技术领域采用双致动器系统，其为了精确定位，包括音圈马达和压电致动器，该压电致动器具有两个由例如PZT(锆钛酸铅)制成的压电元件。双致动器系统中的压电致动器沿磁头悬挂装置宽度方向(摇摆方向)微小地移动载荷梁的前端。

与仅采用音圈马达的单致动器系统相比较，采用音圈马达和压电致动器的双致动器系统能够更精确地定位连接到磁头悬挂装置前端的磁头。

在双致动器系统的磁头悬挂装置中，压电致动器布置在形成在压电元件连接部件中的孔内，该压电元件连接部件制备在例如底板上。该类型的布置方式公开在日本未经审查的专利申请公开No.2001-307442中。

本发明的申请已经在日本未经审查的专利申请公开No.2002-50140中提出通过支架支撑压电元件电极的技术，所述支架形成在形成于磁头悬挂装置的底板中的孔处。本发明的申请还在日本未经审查的专利申请公开No.2002-184140中提出通过支架支撑一对压电元件的技术，所述支架具有底端、前端和沿磁头悬挂装置的中心线延伸来将底端和前端彼此连接的桥。支架的底端和前端支承布置在支架的桥的每一侧的压电元件的前端和后端。

这些相关技术涉及很多部件，使用于支撑压电元件的结构复杂化。结果，根据相关技术领域的磁头悬挂装置使制造工艺复杂化，并且使其很难确保装配精度。

发明内容

本发明的目的是提供一种磁头悬挂装置，包括数量较少的用于支撑压电元件的部件，并且能够简化制造工艺和提高装配精度。

为了实现该目的，本发明的一方面提供一种磁头悬挂装置，其具有底部、载荷梁和布置在所述底部和载荷梁之间并且响应于施加的电力将所述载荷梁的前端相对于所述底部精确移动的压电元件。所述磁头悬挂装置包括形成在所述底部中并且构造用于接纳所述压电元件的孔，和与所述底部结合、部分突出到所述孔内并且构造用于支撑所述压电元件的电极的支架构件。所述支架构件具有一体的用于支撑所述电极底端的底端支架、用于支撑所述电极前端的前端支架和用于将所述底端支架和前端支架在所述压电元件外部彼此连接的一对支架连接部。

本发明的该方面减少用于支撑所述压电元件的部件的数量，由此简化制造工艺，并且提高所述磁头悬挂装置的装配精度。

附图说明

图1A和1B是根据本发明的实施例1的磁头悬挂装置的仰视图，其中图1A示出磁头悬挂装置的主要部件，图1B示出磁头悬挂装置；

图2是示出图1B的围绕磁头悬挂装置压电元件的部分的放大俯视图；

图3是沿图2的III-III线的剖视图；

图4A和4B是根据本发明实施例2的磁头悬挂装置的俯视图，其中图4A示出磁头悬挂装置的主要部件，图4B示出磁头悬挂装置；

图5是示出图4B的围绕磁头悬挂装置压电元件的部分的放大俯视图；

图6A和6B是根据本发明实施例3的磁头悬挂装置的俯视图，其中图6A示出磁头悬挂装置的主要部件，图6B示出磁头悬挂装置；

图7是示出图6B的围绕磁头悬挂装置压电元件的部分的放大俯视图；

图8A和8B是根据本发明实施例4的磁头悬挂装置的仰视图，其中图8A示出磁头悬挂装置的主要部件，图8B示出磁头悬挂装置；

图9是示出图8B的围绕磁头悬挂装置压电元件的部分的放大俯视图；和

图10是示出连接到根据实施例1到4中任一个的磁头悬挂装置的压电元件的剖视图。

具体实施方式

将参照附图详细说明根据本发明实施例的磁头悬挂装置。每一个磁头悬挂装置采用包括音圈马达和压电致动器的双致动器系统。

首先，将参照图1A到3说明根据实施例1的磁头悬挂装置，其中图1A示出磁头悬挂装置的主要部件，图1B示出磁头悬挂装置，图2是示出围绕磁头悬挂装置压电元件的部分的放大俯视图，图3是沿图2的III-III线的剖视图。

在下面的说明中，磁头悬挂装置的底板侧称为底端或后端，其载荷梁侧称为前端或前侧。磁头悬挂装置的表面侧是与其中布置磁盘的侧相对的侧，磁头悬挂装置的后侧或底侧为其中布置磁盘的侧。

根据实施例1的磁头悬挂装置10A具有底板11a、载荷梁13a、支架构件19a和压电致动器12。

压电致动器12包括压电陶瓷元件(后文称为“压电元件”)40，其响应于施加的电力变形，以将载荷梁13a的前端沿磁头悬挂装置10A的摇摆方向，即宽度方向略微移动。

底板11a弹性地支撑载荷梁13a，并且由厚度范围在例如150到200μm范围内的薄弹性不锈钢板制成。

底板11a具有孔20和圆形凸台21。底板11a对应于权利要求中限定的“底部”。底板11a具有一体的底端部分11a1、前端部分11a2和用于将低端部分11a和前端部分11a2在孔20外部，即在孔20的每一侧彼此连接的一对底部连接部11a3。

孔20容纳矩形压电元件40，如图2和3中所示。压电元件40由例如PZT(锆钛酸铅)制成，其响应于施加到其的电力变形。

底板11a的底端部分11a1固定到由音圈马达(未示出)驱动的致动器臂(未示出)的前端。每一个底部连接部11a3具有从孔20向外突出的U型形状。通过底部连接部11a3，前端部分11a2沿摇摆方向X(图1B)相对于底端部分11a1弯曲。

挠曲件15通过例如激光点焊固定到载荷梁13a的底部，如图1B中所示。挠曲件15的前端设置有磁头滑块16。载荷梁13a由厚度在例如30到150μm范围内的薄弹性不锈钢板制成，并且用于将载荷施加到滑块16上。

挠曲件15由比载荷梁13a更薄并且更精密的薄不锈钢板制成。如图3中所示，挠曲件15由从支架构件19a侧一个放置在另一个上的导电底层15a、电绝缘层15b和导体层15c构成。挠曲件15在适当位置通过例如激光点焊固定到支架构件19a。

导电底层15a由薄金属板，例如不锈钢薄板制成。绝缘层15b由电绝缘材料，例如聚酰亚胺树脂制成。导体层15c由导电材料，例如铜和镍制成。导体层15c用于将电力供到压电元件40的电极70和71，并且将写/读信号传送到磁头滑块16或从磁头滑块16传送写/读信号。

支架构件19a由厚度范围在例如20到50μm的薄弹性不锈钢板制成。

支撑部件19a具有一体的底端支架19a1、前端支架19a2和用于将底端支架19a1和前端支架19a2在压电元件40的每一个外侧彼此连接的一对支架连接部19a3。支架构件19a包括孔22，其对应于并且小于底板11a的孔20。

支架构件19a的底端支架19a1对应于底板11a的放置其上并且通过例如激光点焊固定到其的底端部分11a1的一部分。

支架构件19a的前端支架19a2对应于底板11a的放置其上并且通过例如激光电焊固定到其的前端部分11a2。前端部分11a2通过例如激光点焊固定到载荷梁13a的底端。

支架构件19a的每一个支架连接部19a3具有在压电元件40的每一侧向外延伸的U型形状。通过支架连接部19a3，前端支架19a2相对于底端支架19a1沿摇摆方向X(图1B)弯曲。

支架连接部19a3略微在底板11a的底部连接部11a3的内部，如图1B所示。即，实施例1将支架连接部19a3布置成不与底部连接部11a3重叠。

在压电致动器12中，压电元件40的顶部和底部表面分别设置有电极70和71。压电致动器12的厚度在例如0.07到0.20mm的范围内。

压电元件40具有在其顶部和底部表面上的电极形成面50和51、后和前端面52和53以及右和左侧面54和55。

压电元件40嵌入底板11a的孔20中。即，如图3中所示，压电元件40布置在孔20中，以使压电元件40的顶部表面上的电极70与底板11a的表面11d平齐或低于底板11a的表面11d。

在孔20中，压电元件40的端面52和53面向孔20的后和前侧壁60和61，在其之间具有预定间隙。而且，压电元件40的侧面54和55面向底板11a的底端部分和前端部分11a1和11a2的侧壁62和63，在其间具有预定间隙。

压电元件40的顶部和底部电极形成面50和51全部由电极70和71覆盖，电极70和71由例如金(Au)的导电材料制成，如图3中所示。电极70和71可通过气相沉积、溅射或电镀形成。

电极70通过例如银浆72的导电粘结剂接地到底板11a。电极71通过导线73结合到形成在挠曲件15的导体层15c上的接线端74。

压电元件40具有面向底端支架19a1的底端部分40a和面向前端支架19a2的前端部分40b。

底端支架19a1和前端支架19a2从孔20的后和前侧壁60和61突出，以支撑压电元件40的电极71。

压电元件40的底端部分40a通过非导电粘结剂80固定到底端支架19a1。压电元件40的前端部分40b通过非导电粘结剂80固定到前端支架19a2。

非导电粘结剂80可以是已知的非导电粘结剂、含有例如二氧化硅和玻璃等绝缘材料填料微粒的已知导电粘结剂。

非导电粘结剂80在压电元件40的电极71和底端支架19a1与前端支架19a2之间形成适当厚度的层。压电元件40的电极71对应于权利要求中限定的“电极”。

优选非导电粘结剂层80的厚度等于或大于10μ。具有这样的厚度的绝缘层确保电极71和低端支架19a1和前端支架19a2之间的电绝缘。

在压电元件40的端面52，53，54和55与孔20的侧壁60、61、62和63之间的间隙中，非导电粘结剂80形成具有适当厚度的层。孔20的侧壁60，61，62和63与权利要求中限定的“孔的侧壁”对应。

为了接纳填充在压电元件40的端面54和55与孔20的侧壁62和63之间的间隙中的非导电粘结剂80，支架构件19a在对应于压电元件40的端面54和55的位置处具有粘结剂接受部23和24。该粘结剂接受部23和24沿压电元件40的端面54和55突出并且彼此面对，其间具有微小间隙。

压电元件40的端面52，53，54和55与孔20的侧壁60，61，62和63之间的非导电粘结剂80确定地将压电元件40的变形(位移)传递给载荷梁13a，并且确保压电元件40的电极70和71与孔20的侧壁60，61，62和63之间电绝缘。

加电压时，压电元件40的一侧沿前后方向收缩，并且其相对侧沿该方向延伸。结果压电元件40作为整体变形为梯形。

根据压电元件40的变形方向和大小，载荷梁13a的前端相对于底板11a沿摇摆方向X(图1B)移动。

为了使载荷梁13a的前端平稳地沿摇摆方向X移动非常小的距离，底板11a采用U型底部连接部11a3，以提供给底端部分11a1和前端部分11a2水平挠性和垂直刚性。

类似地，支架构件19a采用U型支架连接部19a3，以提供给底端支架19a1和前端支架19a2水平挠性和垂直刚性。

这样，根据本发明第一实施例的磁头悬挂装置10A采用了支架构件19a，其具有一体的底端支架19a1、前端支架19a2、以及将底端支架19a1和前端支架19a2在压电元件40的每一侧上相互连接的支架连接部19a3。该结构减少用于支撑压电元件40的部件数量。

因此，根据实施例1的磁头悬挂装置10A简化了制造工艺，并且提高了装配精度。

支架连接部19a3每一个具有U型形状，以将底端支架19a1和前端支架19a2彼此连接。该结构避免在将具有压电元件40的压电致动器12连接到磁头悬挂装置10A时支架构件19a和压电元件40之间干涉。这防止出现灰尘或短路。

底部连接部11a3和支架连接部19a3布置成彼此不重叠。这防止底板连接部11a3和支架连接部19a3之间在压电致动器12摇摆操作过程中干涉，由此防止出现灰尘或噪声。

支架构件19a可由薄金属板，例如薄不锈钢板通过将该板蚀刻成所需形状制成。该技术精确地形成支架构件19a的支架连接部19a3，以使支架构件19a沿摇摆方向具有精确的弹簧常数。

底端支架19a1、前端支架19a2和粘结剂接受部23和24配合来接纳涂敷到压电元件40周围端面的非导电粘结剂80。该结构确保压电元件40的电极70和71与孔20之间的电绝缘，防止压电元件40的周围端面产生灰尘。

粘结剂接受部23和24、压电元件40的电极71和周围端面、面向电极71的底端支架19a1和前端支架19a2和面向压电元件40周围端面的孔20的侧壁形成粘结剂填充空间。压电元件40布置在孔20中，非导电粘结剂80填充在粘结剂填充空间中。该结构确定地将压电元件40的变形(位移)传递到载荷梁13a，并且确保压电元件40的电极70和71与孔20的侧壁60，61，62和63之间的电绝缘。非导电粘结剂80覆盖压电元件的易碎外周，以有效地保护压电元件40。

粘结剂接受部23和24在压电元件40每一侧彼此间隔开，以使底端支架19a1和前端支架19a2相对于彼此可移动而与粘结剂接受部23和24无关。这确保底端支架19a1和前端支架19a2的水平挠性。

根据实施例1的磁头悬挂装置10A因此平稳地并且精确地沿摇摆方向X将压电致动器12移动非常小的距离。

根据实施例2的磁头悬挂装置将参照图4A，4B和5详细说明，其中图4A示出磁头悬挂装置的主要部件，图4B示出磁头悬挂装置，图5是示出围绕磁头悬挂装置的压电元件的一个部件的放大俯视图。

实施例2的磁头悬挂装置10B基本上与实施例的磁头悬挂装置10A相同，不同之处在于支架构件的结构，因此两个实施例共用的部件以相同的附图标记图示，以省略重复说明。

在实施例1中，例如与底板11a相关的部分使用“11a”加数字图示。与此相似，在实施例2中，例如与底板11b相关的部分使用“11b”加数字图示。该说明形式用于简单地将不同实施例彼此区别开。

具有相似附图标记的部分，例如实施例1的底端部分“11a1”和实施例2的底端部分“11b1”基本上为相同部分，因此这样的部分将不再说明。下面主要说明实施例1和2之间的区别。

根据实施例1，磁头悬挂装置10A具有载荷梁13a和支架构件19a，其为不同的部件，如图1A中所示。

根据实施例2，磁头悬挂装置10B具有载荷梁13b和支架构件25，其彼此一体形成，如图4A中所示。

更准确地，根据实施例2的载荷梁13b具有与支架构件25一体的底端。支架构件25包括底端支架13b1、前端支架13b2和在压电元件40每一侧连接底端支架13b1和前端支架13b2的一对支架连接部13b3。支架构件25还具有孔22，其对应于并且小于底板11b的孔20。

与实施例1的载荷梁13a相似，载荷梁13b由厚度范围例如在从30到150μm范围内的薄弹性不锈钢板制成。实施例2的载荷梁13b可由厚度范围在例如20到50μm范围内的比实施例1的更薄的薄弹性不锈钢板制成。

支架构件25的底端支架13b1对应于底板11b的底端部件11b1，并且放置其上，通过例如电焊固定到其。

支架构件25的前端支架13b2对应于底板11b的前端部11b2，并且放置其上，通过例如电焊固定到其。

支架构件25的支架连接部13b3每一个以U形形状在压电元件40的每一侧向外突出。通过支架连接部13b3，前端支架13b2相对于底端支架13b1沿摇摆方向X(图4B)弯曲。

支架连接部13b3略微布置在底板11b的底部连接部11b3的内部，以使支架连接部13b3不与底部连接部11b3重叠。

除了实施例1的效果，由于载荷梁13b和支架构件25一体，实施例2的磁头悬挂装置10B还提供减少部件数量、简化制造工艺和提高装配精度的效果。

根据实施例3的磁头悬挂装置将参照图6A，6B和7详细说明，其中，图6A示出磁头悬挂装置的主要部件，图6B示出磁头悬挂装置，图7是示出围绕磁头悬挂装置的压电元件的一个部件的放大俯视图。

实施例3的磁头悬挂装置10C与实施例2的磁头悬挂装置10B基本上相同，不同之处在于支架构件的结构，因此两个实施例的共用部件以相同的附图标记图示，以省略重复说明。下面主要说明实施例2和3之间的区别。

根据实施例2，支架构件25的底端支架13b1和前端支架13b2彼此通过压电元件40外部的支架连接部13b3连接。

根据实施例3，磁头悬挂装置10C的支架构件27具有底端支架13c1、前端支架13c2和在压电元件40外侧将底端支架13c1和前端支架13c2彼此连接的一对支架连接部13c3。该支架连接部13c3为挠性部件。

更准确地，根据实施例3的支架构件27的支架连接部13c3分别为卷簧。

支架连接部13c3可用作粘结剂接受部，用于接纳填充在压电元件40的端面54和55与形成在磁头悬挂装置10C的底板11c中的孔20的侧壁62和63之间的非导电粘结剂80。

除了实施例1和2的效果，由于挠性支架连接部13c3，即卷簧，根据实施例3的磁头悬挂装置10C提供沿摇摆方向的增加的挠性和平稳的摇摆操作的效果。

与实施例3相似，为了沿摇摆方向提供挠性，实施例2可减小支架连接部13b3的宽度。但是如果这样实现，则实施例2使载荷梁13b沿厚度方向的刚性变差，并且在制造过程中阻碍载荷梁13b的操作。

另一方面，实施例3将卷簧应用于每一个支架连接部13c3，以确保载荷梁13c沿厚度方向的刚性和制造过程中载荷梁13c的操作。

根据本发明的实施例4的头部悬挂装置将参照图8A，8B和9详细说明，其中，图8A示出磁头悬挂装置的主要部件，图8B示出磁头悬挂装置，图9是示出围绕磁头悬挂装置的压电元件的一个部件的放大俯视图。

实施例4的磁头悬挂装置10D与实施例2的磁头悬挂装置10B基本上相同，不同之处在于支架构件的结构，因此两个实施例的共用部件以相同的附图标记图示，以省略重复说明。下面主要说明实施例2和4之间的区别。

根据实施例2，底端连杆11b3和支架连杆13b3布置成彼此不重叠。

根据实施例4，底端连杆11d3和支架连杆13d3布置成彼此重叠，并且通过激光点焊彼此固定。

根据实施例4，磁头悬挂装置10D具有底板11d，其对应于权利要求中限定的“底部”。底板11d具有底端部分11d1、前端部分11d2和将该底端部分11d1和前端部分11d2在孔20每一侧彼此连接的底部连接部11d3。

每一个底部连接部11d3具有从孔20向外突出的U型形状。通过底部连接部11d3，前端部分11d2能够相对于底端部分11d1沿摇摆方向X弯曲，如图8B中所示。

根据实施例4的载荷梁13d的底端与支架构件29一体。支架构件29具有底端支架13d1、前端支架13d2和将该底端支架13d1和前端支架13d2在压电元件40每一侧彼此连接的支架连接部13d3。支架构件29具有孔22，其对应于并且小于底板11d的孔20。

支架构件29的底端支架13d1对应于底板11d的底端部分11d1的一部分，并且放置其上，通过激光点焊固定到其。

支架构件29的前端支架13d2对应于底板11d的前端部分11d2，并且放置其上，通过例如激光点焊固定到其。

支架构件29的每一个支架连接部13d3在压电元件40每一侧具有向外突出的U型形状。通过支架连接部13d3，前端支架13d2能够相对于底端支架13d1沿摇摆方向X(图8B)弯曲。

支架连接部13d3对应于底部连接部11d3，并且比底板连接部11d3更窄。

根据实施例4的支架连接部13d3和底部连接部11d3布置成彼此重叠，并且通过例如激光点焊固定在一起。

除了实施例1到3的效果外，由于支架连接部13d3和底部连接部11d3彼此重叠并且通过激光点焊固定在一起，根据实施例4的磁头悬挂装置10D提供防止连接部13d3和11d3在压电致动器12的摇摆操作过程中彼此干涉的效果，和不产生灰尘和噪声的效果。另外，重叠的并且固定的连接部11d3和13d3提高连接部的刚性。

根据实施例4的磁头悬挂装置10D因此可精确地将载荷梁13d的前端沿摇摆方向X响应于压电致动器12的变形移动非常短的距离，同时抑制磁头悬挂装置10D自身振动。

实施例1到4能够优化压电元件40在磁头悬挂装置上的连接状态。

这将参照图10说明。根据实施例1(2，3，4)，支架构件19(25，27，29)与底板11a(11b，11c，11d)分离。因此易于沿由底板11a(11b，11c，11d)和支架构件19(25，27，29)形成的结构的厚度方向将刚度中心轴C与嵌入孔20中的压电元件40的厚度方向的中心轴C对准。中心轴C彼此对准导致抑制磁头悬挂装置的扭转振动。

因此，实施例1(2，3，4)的磁头悬挂装置10A(10B，10C，10D)可根据压电致动器12的位移精确地将载荷梁的前端移动非常短的距离，同时抑制磁头悬挂装置自身的扭转振动。

本发明不限于上述实施例。所述实施例可修改而不偏离权利要求和说明书中公开的本发明的主旨和技术思想。基于这样的修改形式的磁头悬挂装置也落入本发明的范围内。

例如，本发明不仅可用于具有嵌入在磁头悬挂装置的孔中的单个压电元件的磁头悬挂装置，而且可用于具有多个布置在磁头悬挂装置的孔中的压电元件的磁头悬挂装置。

Claims (10)

1.一种磁头悬挂装置，具有底部、载荷梁和压电元件，所述压电元件布置在所述底部和载荷梁之间并且响应于施加的电力而变形，以相对于所述底部精确地移动所述载荷梁的前端，所述磁头悬挂装置包括：

孔，形成在所述底部中，并且构造用于接纳所述压电元件；和

支架构件，与所述底部结合，部分突出到所述孔内，并且构造用于支撑所述压电元件的电极，

所述支架构件一体地具有用于支撑所述电极的底端的底端支架、用于支撑所述电极的前端的前端支架和用于将所述底端支架和前端支架在所述压电元件外部彼此连接的一对支架连接部。

2.根据权利要求1所述的磁头悬挂装置，其中：

所述底部一体地具有与所述底端支架结合的底端部分、与所述前端支架结合的前端部分和用于将所述底端部分和前端部分在所述孔外部彼此连接的一对底部连接部。

3.根据权利要求2所述的磁头悬挂装置，其中：

所述底部连接部在所述孔的每一侧向外突出；

所述支架连接部在所述压电元件每一侧向外突出；并且

所述底部连接部和所述支架连接部布置成彼此不重叠。

4.根据权利要求2所述的磁头悬挂装置，其中：

所述底部连接部在所述孔每一侧向外突出；

所述支架连接部在所述压电元件每一侧向外突出；并且

所述底部连接部和支架连接部布置成彼此重叠。

5.根据权利要求1所述的磁头悬挂装置，其中：

所述支架构件与所述载荷梁为一体。

6.根据权利要求1所述的磁头悬挂装置，其中：

所述支架连接部为挠性部件。

7.根据权利要求1所述的磁头悬挂装置，其中：

所述挠性部件为卷簧。

8.根据权利要求1所述的磁头悬挂装置，还包括：

粘结剂接受部，构造用于接纳用于覆盖所述压电元件周围端面的非导电粘结剂。

9.根据权利要求8所述的磁头悬挂装置，其中：

所述粘结剂接受部为粘结剂填充空间，所述粘结剂填充空间由所述压电元件的电极和周围端面、所述底端支架和前端支架的电极面向部分、以及面向所述压电元件的周围端面的所述孔的侧壁形成；并且

所述压电元件布置在所述孔中，非导电粘结剂填充在所述粘结剂填充空间中。

10.根据权利要求8所述的磁头悬挂装置，其中：

所述粘结剂接受部在压电元件每一侧上在其所述底端侧和前端侧之间具有间隙。

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