CN101802455A - 带有防尘机构的直线运动促动器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种带有防尘机构的直线运动促动器，能够在行程范围的这个区域发挥可靠的防尘功能。带有防尘机构的直线运动促动器(100)包括：螺栓；移动工作台(4)，具有卡合在螺栓上的螺母，随着螺栓的旋转运动，在该螺栓的轴向上往返直线运动自如；壳体部件(2)，至少覆盖螺栓地设置；开口部(27、28)，沿着移动工作台(4)的移动轨迹形成在壳体部件(2)上；以及防尘带(29、30)，用于封闭开口部(27、28)，配置在壳体部件(2)的内侧。而且，这种带有防尘机构的直线运动促动器(100)由于具备覆盖壳体部件(2)的端部一侧的端板盖(105a、105b)而具有高的防尘性能。

Description

带有防尘机构的直线运动促动器
技术领域
本发明涉及一种带有防尘机构的直线运动促动器，例如适于用作在净化室内使用的驱动机构的带有防尘机构的直线运动促动器。
背景技术
到目前为止，本申请人或相关法人提出了下述专利文献1、2等所公开的具备防尘机构的各种促动器(包括引导移动对象运动的运动引导装置)的方案。例如，在下述专利文献1中提出的带有防尘机构的直线运动促动器具备能够可靠地防止粉尘从促动器壳体的开口部漏出的功能，为了避免促动器壳体的开口部处的防尘带与移动工作台的突出部的干涉，设置了防尘带相对于移动工作台的迂回机构。
采用图10对下述专利文献1所公开的带有防尘机构的直线运动促动器进行说明。另外，图10是用于说明现有技术所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器的结构的附图，图10(a)表示带有防尘机构的直线运动促动器的上表面，图10(b)表示带有防尘机构的直线运动促动器的正面，图10(c)表示带有防尘机构的直线运动促动器的横截面。
如图10所示，现有技术所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器具有：细长箱形的壳体部件2，以旋转自如的状态支撑在该壳体部件2中的螺栓螺栓3，根据该螺栓螺栓3的旋转运动而进行往返直线运动的移动工作台4，以及用于使螺栓螺栓3旋转的驱动马达5。
壳体部件2具备：水平基板21，从该水平基板21的上表面垂直地立起并与螺栓3平行地延伸的左右一对的垂直侧板22、23，以及安装在这些垂直侧板22、23的前端和后端的端块24、25。螺栓3的一端通过一侧的端块24以旋转自如的状态得到支撑。而且，螺栓3的另一端侧的部分通过另一侧的端块25以旋转自如的状态得到支撑，并且穿过该端块25连结在驱动马达5一侧。
左右的垂直侧板22、23的上端部分朝向内侧折曲成直角，成为左右的水平上板部分22a、23a。在这些左右的水平上板部分22a、23a的中间配置有中央分隔板26，该中央分隔板26的前后端分别安装并固定在端块24、25上。其结果，在水平上板部分22a和中央分隔板26之间形成有在螺栓3的轴线方向、即移动工作台4的移动方向上延伸的左侧开口部27。同样地，在水平上板部分23a和中央分隔板26之间形成有右侧开口部28。
各开口部27、28被宽度大于这些开口部的防尘带29、30封闭。这些防尘带29、30分别沿着水平上板部分22a、23a以及中央分隔板26的下表面一侧架设在端块24、25之间。
这样一来，壳体部件2成为由水平基板21，垂直侧板22、23(水平上板部分22a、23a)，中央分隔板26，端块24、25，以及封闭开口部27、28的防尘带29、30分隔成箱形的区分室，通过覆盖螺栓3起到将从促动器产生的粉尘留在该区分室内的作用。
移动工作台4具备：形成有旋合在螺栓3上的螺母的螺母块41，固定在该螺母块41的上表面的下板42，固定在该下板42的上表面的中板43，以及固定在该中板43的上表面的上板44。螺母块41的两侧面由安装在壳体部件2的内部的线性导轨31支撑，朝向螺栓3的轴线方向滑动自如。
移动工作台4构成为上板44位于壳体部件2的外侧，中板43、下班44、以及螺母块41位于壳体部件2的内部。即，上板44从各开口部27、28向外部突出地构成，通过与引导对象物连接而能够向引导对象物赋予移动力。
而且，在移动工作台4上位于壳体部件2的内侧的左右侧面上，作为用于使防尘带29、30迂回的迂回机构，以旋转自如的状态设置有分别水平伸出的辊61～66。关于这些辊61～66的配置位置，配置成中央部的辊63、64位于比轴向两端侧的辊61、62、65、66低一级的位置(另外，附图标记为65的辊设置在与辊66对向的位置上，但图10中未示出。因此，在以下的说明中以置于括号内的方式表示)。
为了使从各开口部27、28向外部突出的上板44，防尘带29、30不会产生干涉，各防尘带29、30架设在各辊61～66上。即，防尘带29、30以从上板44的突出部的下方迂回的方式相对于各辊61～66架设，具体地说，左侧(图10(a)中的纸面上侧)的防尘带29穿过前侧的辊61的上侧架设在中央的辊63的下侧，进而再穿过后侧的辊(65)的上侧。而且，右侧(图10(a)中的纸面下侧)的防尘带30也同样地穿过前侧的辊62的上侧架设在中央的辊63的下侧，进而再穿过后侧的辊66的上侧。
现有技术所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器1由于具备上述的结构，所以能够始终维持沿着移动工作台4的移动轨迹形成的开口部27、28被防尘带29、30封闭的状态。因此，从螺栓3与螺母块41所具有的螺母的滑动部分或螺母块41与线性导轨31的滑动部分等产生的粉尘不会经由壳体部件2所具有的开口部27、28漏出到外部。
而且，在现有技术所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器1中，由于防尘带29、30配置在壳体部件2的内侧，各防尘带29、30能够相对于沿着开口部27、28移动的移动工作台4向移动工作台4的下方迂回，所以即使在移动工作台4移动时，也能够始终维持防尘带29、30封闭开口部27、28的状态。
另外，在现有技术所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器1中，除了上述的结构之外，还具备从壳体部件2内吸引空气的吸气口。即，如图10所示，在左右一对的垂直侧板22、23上形成有壳体吸气口22b、23b，能够经由这些壳体吸气口22b、23b吸引壳体部件2内的空气。
而且，在形成于垂直侧板22、23的上端的水平上板部分22a、23a上安装有吸气用通道7、8，在各吸气用通道7、8和水平上板部分22a、23a之间开设有沿着开口部27、28延伸的窄幅的通道用吸气口7b、8b。因此，在壳体内产生的粉尘从形成于左右的垂直侧板22、23上的壳体吸气口22b、23b被吸引到外部的集尘机等(未图示)，并从该壳体部件2内除去。
另外，在净化室等中通常形成有下流状态的空气流。因此，当经由配置在开口部27、28的邻接位置的通道用吸气口7b、8b进行吸气动作时，从开口部27、28漏出的粉尘与下流的空气流一起被吸引到该通道用吸气口7b、8b。因此，粉尘不会向周围飞散而能够可靠地除去。
专利文献1：特开2000-266151号公报
专利文献2：特开2005-188600号公报
但是，上述专利文献1所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器虽然在一般的条件下使用的情况下能够发挥适当的防尘功能，但在要求高速化的情况下，具有防尘功能降低的问题。
即，在实现直线运动促动器进行的引导运动的高速化的情况下，由于移动工作台的高速移动，促动器壳体的内压急剧上升，产生了在促动器壳体的两端侧粉尘尤其容易泄漏的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述问题的存在而提出的，其目的在于提供一种带有防尘机构的直线运动促动器，即使是高速化的促动器，与能够在行程范围的整个区域发挥可靠的防尘功能。
本发明所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器包括：螺栓；移动工作台，具有卡合在上述螺栓上的螺母，随着上述螺栓的旋转运动，在该螺栓的轴向上往返直线运动自如；壳体部件，至少覆盖上述螺栓地设置；开口部，沿着上述移动工作台的移动轨迹形成在上述壳体部件上；以及防尘带，用于封闭上述开口部，配置在上述壳体部件的内侧；为了一边维持上述防尘带封闭上述开口部一边实现上述移动工作台沿着上述开口部的移动，在上述移动工作台上设置有迂回机构，该迂回机构用于使作为与上述移动工作台重叠的位置的上述防尘带迂回，其中，具备覆盖上述壳体部件的端部一侧的端板盖。
在本发明所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器中，上述端板盖在与上述壳体部件相接触的部位具备弹性部件。
在本发明所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器中，上述端板盖构成为比其它区域更大地覆盖上述壳体部件上的上述防尘带的配置部位的附近区域的形状。
在本发明所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器中，上述端板盖是具有凸缘部的结构，该凸缘部配置在上述壳体部件上与上述防尘带的配置部位对置的位置上。
另外，本发明所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器包括：螺栓；移动工作台，具有卡合在上述螺栓上的螺母，随着上述螺栓的旋转运动，在该螺栓的轴向上往返直线运动自如；壳体部件，至少覆盖上述螺栓地设置；开口部，沿着上述移动工作台的移动轨迹形成在上述壳体部件上；以及防尘带，用于封闭上述开口部，配置在上述壳体部件的内侧；为了一边维持上述防尘带封闭上述开口部一边实现上述移动工作台沿着上述开口部的移动，在上述移动工作台上设置有迂回机构，该迂回机构用于使作为与上述移动工作台重叠的位置的上述防尘带迂回，其中，在上述壳体部件的端部一侧具备密封上述壳体部件内部的粉尘的集尘机构。
在本发明所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器中，上述集尘机构具备：集尘室，气密地形成在上述壳体部件的端部；连通口，连通上述集尘室的内部和上述壳体部件的内部；以及吸引口，排出上述集尘室内部的粉尘。
在本发明所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器中，在上述连通口上形成有排气机构。
在本发明所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器中，上述排气机构是风扇。
在本发明所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器中，上述防尘带具有用于实现与上述壳体部件的固定的安装孔，该安装孔至少在上述防尘带的两端部一侧各形成两个、共计四个部位，并且上述安装孔的每一个靠近上述防尘带的端部位置形成。
在本发明所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器中，设置在上述移动工作台上的上述迂回机构具有以旋转自如的状态设置、并且架设上述防尘带的多个辊，上述多个辊是至少辊表面是由树脂材料构成的。
根据本发明，能够提供一种带有防尘机构的直线运动促动器，即使是例如高速化的促动器，也能够在行程范围的整个区域上发挥可靠的防尘功能。
附图说明
图1是第一实施方式所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器的外观立体图。
图2是用于说明第一实施方式所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器的外观结构的附图，图2(a)表示上表面，图2(b)表示正面，图2(c)表示马达一侧的侧面，图2(d)表示马达相反一侧的侧面。
图3是用于说明第一实施方式所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器的内部结构的立体图，图3(a)表示俯视图，图3(b)表示主视图，图3(c)表示马达一侧的侧视图，图3(d)表示马达相反一侧的侧视图。
图4是表示设置在马达相反一侧的端板盖的附图，图4(a)表示上表面，图4(b)表示正面，图4(c)表示侧面。
图5是表示设置在马达一侧的端板盖的附图，图5(a)表示上表面，图5(b)表示正面，图5(c)表示侧面。
图6是用于说明第一实施方式所涉及的端板盖的作用的附图。
图7是用于说明第二实施方式所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器的结构和作用的附图。
图8是表示现有技术所涉及的防尘带的结构的附图，图8(a)是用于说明设置在防尘带上的安装孔的位置的附图，图8(b)是表示防尘带的安装状态的剖视图。
图9是表示本实施方式的改良方式所涉及的防尘带的结构的附图，图9(a)是用于说明设置在防尘带上的安装孔的位置的附图，图9(b)是表示防尘带的安装状态的剖视图。
图10用于说明现有技术所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器的结构的附图，图10(a)表示带有防尘机构的直线运动促动器的上表面，图10(b)表示带有防尘机构的直线运动促动器的正面，图10(c)表示带有防尘机构的直线运动促动器的横截面。
附图标记说明：
1：现有技术所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器，2：壳体部件，3：螺栓，4：移动工作台，5：驱动马达，7、8：吸气用通道，7b、8b：通道用吸气口，21：水平基板，22、23：垂直侧板，22a、23a：水平上板部分，22b、23b：壳体吸气口，24、25：端块，26：中央分隔板，27、28：开口部，29、30：防尘带，31：线性导轨，41：螺母块，42：下板，43：中板，44：上板，50：集尘室，51：连通口，52：吸气口，53：风扇(排气机构)，61、62、63、64、(65)、66：辊，100：第一实施方式所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器，105a、105b：端板盖，106a、106b：端部侧板，107a、107b：上面侧板，108a、108b、109a、109b：侧面侧板，110a、110b：下垂板，111a、111b：弹性部件，120：(现有技术所涉及的)安装孔，121：(本发明所涉及的)安装孔，200：第二实施方式所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器。
具体实施方式
以下，采用附图对用于实施本发明的优选实施方式进行说明。另外，以下的实施方式并不是对各权利要求所涉及的技术方案进行限定，而且，也不限定实施方式中所说明的特征的所有组合是发明的解决手段所必须的。另外，在以下进行的实施方式的说明中，对于与在背景技术中所说明的部件相同或者相类似的部件赋予相同的附图标记而省略其说明。
第一实施方式：
采用图1至图6，对第一实施方式所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器100进行说明。在此，图1是第一实施方式所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器100的外观立体图。图2是用于说明第一实施方式所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器100的外观结构的附图，图2(a)表示上表面，图2(b)表示正面，图2(c)表示马达一侧的侧面，图2(d)表示马达相反一侧的侧面。图3是用于说明第一实施方式所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器100的内部结构的立体图，图3(a)表示俯视图，图3(b)表示主视图，图3(c)表示马达一侧的侧视图，图3(d)表示马达相反一侧的侧视图。图4是表示设置在马达相反一侧的端板盖105a的附图。图5是表示设置在马达一侧的端板盖105b的附图。另外，在图4和图5中，(a)均表示上表面，(b)均表示正面，(c)均表示侧面。图6是用于说明第一实施方式所涉及的端板盖105a、105b的作用的附图。
第一实施方式所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器100虽然具有上述现有技术所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器1基本相同的结构，但为了进一步提高防尘功能，如图1至图3所示，具备能够覆盖壳体部件2的两端部一侧的端板盖105a、105b。
若参照图4和图5对这些端板盖105a、105b进行更为详细的说明，则端板盖105a、105b是分别跨在壳体部件2的端部一侧的上表面一侧以及侧面一侧各自的一部分上而形成的部件，构成为覆盖壳体部件2的端部上方侧附近。即，端板盖105a、105b是具有在壳体部件2的端部一侧比其它区域更大地覆盖防尘带29、30的配置部位的附近区域的特征的部件。
若以设置在马达相反一侧的端板盖105a为例对其形状进行更具体的说明。则如图4所示，端板盖105a由覆盖壳体部件2的端部一侧的大致长方形的端部侧板106a，覆盖壳体部件2的上表面一侧的大致长方形的上面侧板107a，以及与端部侧板106a和上面侧板107a连接并覆盖壳体部件2的侧面一侧的大致直角三角形的一对侧面侧板108a、109a构成。侧面侧板108a、109a以形成大致直角三角形的直角的两个边与端部侧板106a和上面侧板107a连接的方式形成，采用与直角的角对置的斜边配置成朝向壳体部件2的中央侧下方向的结构。也就是说，采用在端板盖105a上具有由上面侧板107a和一对侧面侧板108a、109a形成的凸缘部的结构。
另外，在上面侧板107a的前端部分、即与和端部侧板106a连接的一侧相反一侧的部分上形成有向下方延伸的下垂板110a。该下垂板110a是为了提高壳体部件2中由于外轮廓形状复杂而难以提高密封性的上表面一侧的防尘性能而设置的部件。由于该下垂板110a的存在，在壳体部件2的上表面一侧和端板盖105a的上面侧板107a之间、即端板盖105a的凸缘部的位置上形成间隙。
该间隙是作为由壳体部件2的上表面一侧，端板盖105a的上面侧板107a，端部侧板106a，一对侧面侧板108a、109a，以及下垂板110a而包围了全方位的空间而构成的。而且，由于形成间隙的位置、即凸缘部的设置位置是与防尘带29、30的配置部位对置的位置，所以在移动工作台4高速移动时，壳体部件2的内部压力高，与粉尘最容易泄漏的位置重合。但是，即使假设粉尘从壳体部件2的内部漏出，粉尘也滞留在该间隙中，防止了粉尘直接漏出到外部，所以不会使外部的粉尘环境立刻恶化。而且，根据本发明者们的调查和研究的结果，已经确认滞留在该间隙中的粉尘大多原封不动地留在该间隙中或者被再次吸引到壳体部件2的内部，可知间隙的存在非常有助于防尘性的提高(参照图6)。
另外，在端板盖105a上于壳体部件2相接触的部位设置有弹性部件111a，实现了壳体部件2与端板盖105a的密封性的提高。图4所示的本实施方式所涉及的弹性部件111a采用了被称为麦芽程度的特殊聚氨酯泡沫体，但只要是具有弹性力的材料，也可以采用橡胶或者海绵等公知的各种弹性材料。通过在端板盖105a上设置弹性部件111a，实现了带有防尘机构的直线运动促动器100的防尘性能的进一步提高。
另外，关于图5所示的设置在马达一侧的端板盖105b，具有与上述设置在马达相反一侧的端板盖105a基本上相同的结构，但由于避开马达5而设置的必要性，在端部侧板106b的形状为在大致长方形的板上实施了切口的倒U字型的形状这一点上是不同的。
第二实施方式：
在上述第一实施方式中，对具备不使粉尘向周围飞散地覆盖壳体部件的端部一侧的端板盖的带有防尘机构的直线运动促动器100进行了说明。在以下所说明的第二实施方式中，对采用了进一步提高防尘性能的结构的带有防尘机构的直线运动促动器进行说明。
图7是用于说明第二实施方式所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器的结构和作用的附图。如图7所示，第二实施方式所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器200具有在壳体部件2的端部气密地形成有集尘室50，集尘室50的内部和壳体部件2的内部经由排气机构53通过连通口51连通的特征。而且，还具有在集尘室50上形成有吸气口52，能够将集尘室50内部的粉尘排出到外部的特征。
集尘室50由箱状的部件形成，并气密地安装在壳体部件2的端部。安装成集尘室50的内部和壳体部件2的内部通过连通口51连通，壳体部件2内部的粉尘不会从集尘室50的安装面泄漏。
排气机构53由风扇构成，能够始终将壳体部件2内部的粉尘与壳体部件2内部的空气一起导入集尘室50并进行密封。而且，排气机构53也可以采用根据壳体部件2的内压变化而进行开闭动作的单向阀等。
在集尘室50上形成有从集尘室50内吸引空气的吸气口52。因此，收集到集尘室50内的粉尘能够与空气一起从吸气口52向净化室外排出，不会使粉尘向周围飞散。
如上所述，在实现直线运动促动器的引导运动的高速化的情况下，促动器壳体的内压因移动工作台的高速移动而急剧上升，特别是在促动器壳体的两端侧粉尘容易泄漏。因此，在第二实施方式中，将集尘室50形成在粉尘容易泄漏的促动器壳体的端部。而且，由于从吸气口52吸引的空气的量始终为一定，所以只要是在壳体部件2的内压急剧上升的情况下，将空气暂时密封在集尘室50内进行收集，吸引集尘室50内部的空气的结构，则能够在将吸引的空气量保持一定的状态下，防止残留在壳体部件2内部的粉尘从促动器壳体的任何间隙向外部漏出。
以上，对本发明的优选实施方式进行了说明，但本发明的技术范围并不仅限于上述各实施方式所记载的范围。也能够在上述各实施方式中进行多种变更或改进。
防尘带的改进：
例如，现有技术所涉及的防尘带29、30如图8(a)所示，具有用于实现与壳体部件2的固定的安装孔120，但关于该安装孔120，根据安装和加工的容易性考虑，形成在了靠近防尘带29、30的中央一侧的位置上。
但是，在将安装孔120形成在图8(a)所示的位置上的情况下，如图8(b)所示，在防尘带29、30的宽度方向处产生松弛，具有壳体部件2和防尘带29、30之间的密封性降低的危险。
因此，如图9所示，本发明者们实施了将每一个安装孔121靠近防尘带29、30的端部位置地形成的改进。特别是，由于安装孔121多在防尘带29、30的两端部一侧各形成一对、合计形成四处，所以如本改进那样将安装孔121靠近防尘带29、30的端部位置地形成的结构由于是安装孔121以拉伸防尘带29、30的四角的方式固定因而是非常优选的方式。通过采用这种结构，与现有技术相比，能够大幅度提高壳体部件2和防尘带29、30之间的密封性能。
辊的改进：
而且，在现有技术所涉及的带有防尘机构的直线运动促动器1中，作为设置在移动工作台4上的防尘带29、30的迂回机构，采用了从移动工作台4水平伸出的旋转自如的辊61～66。而且，在现有技术的情况下，该辊61～66采用了仅由金属材料形成的金属辊。
但是，在由树脂材料构成的防尘带29、30和由金属材料构成的辊61～66以特别的高速重复进行重复滑动时，显然工作台的上升和速度上升将联合导致污垢附着在防尘带29、30上。
根据这种现象，本发明者们根据特别是在高速驱动带有防尘机构的直线运动促动器1时将产生污垢的观点，发现树脂制的防尘带29、30和金属制的辊61～66的基因巧合差。因此，本发明者们进行锐意研究的结果，发现通过由树脂材料形成辊61～66的辊表面，使树脂彼此进行滑动动作，能够抑制污垢的产生。
以上，关于作为迂回机构设置在移动工作台4上的辊61～66，至少辊表面由树脂材料构成是合适的。作为具体的实现手段，既可以通过将树脂盖相对于由金属材料构成的辊压入，由树脂材料构成辊表面，也可以由树脂材料构成辊自身。通过采用这种结构，由于能够抑制附着在防尘带29、30和辊61～66上的污垢，所以能够获得抑制了粉尘的发生的带有防尘机构的直线运动促动器。
根据本发明权利要求书的记载可知，进行了以上的变更或者改进的方式也包含在本发明的技术范围内。

Claims (10)

1.一种带有防尘机构的直线运动促动器，包括：螺栓；移动工作台，具有卡合在上述螺栓上的螺母，随着上述螺栓的旋转运动，在该螺栓的轴向上往返直线运动自如；壳体部件，至少覆盖上述螺栓地设置；开口部，沿着上述移动工作台的移动轨迹形成在上述壳体部件上；以及防尘带，用于封闭上述开口部，配置在上述壳体部件的内侧；为了一边维持上述防尘带封闭上述开口部一边实现上述移动工作台沿着上述开口部的移动，在上述移动工作台上设置有迂回机构，该迂回机构用于使作为与上述移动工作台重叠的位置的上述防尘带迂回，其特征在于，
具备覆盖上述壳体部件的端部一侧的端板盖。
2.如权利要求1所述的带有防尘机构的直线运动促动器，其特征在于，上述端板盖在与上述壳体部件相接触的部位具备弹性部件。
3.如权利要求1或2所述的带有防尘机构的直线运动促动器，其特征在于，上述端板盖构成为比其它区域更大地覆盖上述壳体部件上的上述防尘带的配置部位的附近区域的形状。
4.如权利要求3所述的带有防尘机构的直线运动促动器，其特征在于，上述端板盖是具有凸缘部的结构，该凸缘部配置在上述壳体部件上与上述防尘带的配置部位对置的位置上。
5.一种带有防尘机构的直线运动促动器，包括：螺栓；移动工作台，具有卡合在上述螺栓上的螺母，随着上述螺栓的旋转运动，在该螺栓的轴向上往返直线运动自如；壳体部件，至少覆盖上述螺栓地设置；开口部，沿着上述移动工作台的移动轨迹形成在上述壳体部件上；以及防尘带，用于封闭上述开口部，配置在上述壳体部件的内侧；为了一边维持上述防尘带封闭上述开口部一边实现上述移动工作台沿着上述开口部的移动，在上述移动工作台上设置有迂回机构，该迂回机构用于使作为与上述移动工作台重叠的位置的上述防尘带迂回，其特征在于，
在上述壳体部件的端部一侧具备密封上述壳体部件内部的粉尘的集尘机构。
6.如权利要求5所述的带有防尘机构的直线运动促动器，其特征在于，上述集尘机构具备：集尘室，气密地形成在上述壳体部件的端部；连通口，连通上述集尘室的内部和上述壳体部件的内部；以及吸引口，排出上述集尘室内部的粉尘。
7.如权利要求6所述的带有防尘机构的直线运动促动器，其特征在于，在上述连通口上形成有排气机构。
8.如权利要求7所述的带有防尘机构的直线运动促动器，其特征在于，上述排气机构是风扇。
9.如权利要求1～8中任一项所述的带有防尘机构的直线运动促动器，其特征在于，上述防尘带具有用于实现与上述壳体部件的固定的安装孔，该安装孔至少在上述防尘带的两端部一侧各形成两个、共计四个部位，并且上述安装孔的每一个靠近上述防尘带的端部位置形成。
10.如权利要求1～9中任一项所述的带有防尘机构的直线运动促动器，其特征在于，设置在上述移动工作台上的上述迂回机构具有以旋转自如的状态设置、并且架设上述防尘带的多个辊，上述多个辊是至少辊表面是由树脂材料构成的。
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