CN101796302B - 真空泵的电流引入装置 - Google Patents

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Abstract

真空泵具有通过真空盖(20)封闭的外壳(10)。作为电流引入装置的电路板(16)位于所述外壳(10)的端壁(14)和所述真空盖(20)之间。所述电路板通过具有不同直径的两个密封件(15、21)密封，使得环形的分区(22)在外部暴露于大气压力并且在内部暴露于真空。应当避免，所述电路板(16)从侧面向外伸出所述外壳(10)的轮廓。

Description

真空泵的电流引入装置
技术领域
本发明涉及一种带有真空密封的外壳和电流引入装置的真空泵，其中所述外壳包括马达和泵转子，并且所述电流引入装置具有电路板。
背景技术
涡轮分子泵形式的真空泵包括转子，该转子以很高的转速旋转并且由此产生高度真空。转子和驱动其的马达通常支撑在磁性轴承中。在外壳中具有真空，在通常情况下低于10mbar。用于马达和磁性轴承的电流引入装置以真空密封的方式设在外壳上。
EP 1 757 825 A1描述了一种真空泵，在该真空泵中在外壳中的电流引入装置具有电路板。电路板的内侧在插入密封件的情况下紧挨着外壳并且外侧在插入另一个密封件的情况下紧挨着外部的真空盖，该真空盖以真空密封的方式将外壳封闭。电路板的印制导线穿过两个密封件之间的间隙。电路板在外壳之外具有伸出部，连接器设在该伸出部上。另一个连接器与外壳内部中的印制导线相接触。
发明内容
本发明的目的是提供一种真空泵，在该真空泵中电流引入装置没有伸出外壳的电路板部分，使得避免了损害电路板和暴露的插接装置。
本发明提供一种真空泵。该真空泵具有带有第一和第二密封件的电路板，其中所述第一和第二密封件设置为彼此相对侧向偏移，使得电路板的分区在外侧受到大气压力作用并且在内测受到产生的真空作用。
一个优点在于，承受压力差且在在侧向没有伸出外壳壁的分区能够用于将电导体与电路板连接。通过密封件设置为彼此相对侧向偏移，在壁轮廓内具有用于连接外部导线的位置。因此，电路板不需要伸出外壳的外部轮廓。在电路板的压力差在其中起作用的壁区域中，电路板自身形成泵的壁。在该分区中能够防止弯曲，因为电路板紧靠着外壳壁的端侧的末端被支撑。
根据本发明的优选实施形式，形成外壳的真空闭合件的真空盖设置在护盖中并且相对于护盖能够移动。垂直于盖平面的移动可能性使得能够压紧密封件。真空盖通过作用于其上的压力差被固定并且通过护盖仅以松动的方式被定位。护盖用于避免损坏真空盖和电路板。此外，护盖能够作为用于插接装置的载体并用于连接通向电路板的外部的电导体。护盖包括用于定位真空盖的定位装置，然而允许真空盖对存在的压力差产生反应。或者也可以与护盖一体化构成真空盖。
附图说明
接下来参照附图详述本发明的实施例。
其示出：
图1是通过真空泵的外壳的局部纵剖面图，其示出电流引入装置的第一实施形式，以及
图2示出电流引入装置的第二实施形式，其中电路板此外装有电子部件。
具体实施方式
图1中示出涡轮分子泵的外壳10。外壳10包括马达和泵转子。该外壳10在末端具有泵入口11并且在其圆周上具有泵出口12。在泵入口11处产生真空。泵出口12能够通向大气中或者通向预真空泵。
外壳的环形壁13在后面的端部具有平的端面14。端面14在凹槽中包括环形的第一密封件15，该第一密封件为O形环。紧靠着端面14设置电路板16，该电路板16由绝缘材料体组成，该绝缘材料体的一面或者两面设有印制导线(未示出)。这种电路板也称为“印制的电路”电路板16以密封的方式紧挨着密封件15。电路板16在由端面14环绕的中央区域内包括用于压力平衡的开口17。电路板16具有朝向泵的内部空间的内侧18和背向内侧的外侧19。内侧18紧挨着第一密封件15。
真空盖20紧靠着电路板的外侧19放置。真空盖包括带有第二密封件21的环形槽。在该密封件中同样为形状为O形环的环形密封件。第二密封件21具有小于第一密封件15的开口直径。因此，在两个密封件15、21之间出现环形的分区22，该环形的分区22承受存在的压力差，因为在其外侧受到大气压力作用并且在其内侧受到真空作用。在由第二密封件21围绕的区域内，存在由于开口17的压力平衡，也就是说，外壳内部中的真空在该区域作用在真空盖20上。因此大气压力将真空盖20朝壁13的方向压紧。
外壳10在其端侧的末端上通过护盖23封闭，该护盖没有密封功能。护盖23包括用于容纳真空盖20的空腔24和阶梯状的用于定位真空盖20的定位装置25。护盖23保护真空盖以及电路板和在其上连接的部件。电导线26从电路板16的内侧18延伸进入里面的外壳中。该导线可以是电流引入导线或者也可以是控制导线或信号导线。所述导线被焊接于或者被插入于电路板的印制导线。
外部的电导体27被焊接于或者被插入于电路板16的外侧19。导体27经过内部空间24通向为多头电插头形式的插接装置28。插接装置28用于连接外部的电缆。插接装置28设置在护盖23的侧面上，然而还能够设置在背面上。
电路板16没有向外伸出侧壁13。密封件15和21之间的分区22用作用于电导体27的连接区域。
图2的实施例与图1的实施例的不同之处仅在于，电路板16此外装有电子部件30，如电阻、电容、处理器或者存储器。部件30不仅可以是有源部件还可以是无源部件。
与在第一实施例中一样，真空盖20包括由伸出密封件21的边缘围绕的凹处。所述凹处31在图2中用于容纳固定于电路板的外侧19的部件30。

Claims (10)

1.真空泵，带有真空密封的外壳(10)和电流引入装置，所述外壳(10)包括马达和泵转子并且具有泵入口(11)以及泵出口(12)，所述电流引入装置具有电路板(16)，所述电路板(16)的内侧(18)在插入第一密封件(15)的情况下紧挨着外壳壁的端面(14)，并且所述电路板(16)的外侧(19)在插入第二密封件(21)的情况下紧挨着所述外壳的真空盖(20)，
其特征在于，
所述第一和第二密封件(15、21)设置为彼此相对侧向偏移，使得所述电路板(16)的分区(22)在外侧受到大气压力作用并且在内侧受到产生的真空作用。
2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，从所述分区(22)伸出的外部的电导体(27)与所述电路板(16)的印制导线相连接。
3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述外部的电导体(27)与固定在所述外壳(10)上的插接装置(28)相连接。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，所述真空盖(20)设置在护盖(23)中并且相对于所述护盖(23)能够移动。
5.根据权利要求4所述的真空泵，其特征在于，所述护盖(23)具有用于定位所述真空盖(20)的定位装置(25)。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，所述电路板(16)具有用于压力平衡的开口(17)。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，所述电路板(16)在其内侧(18)和/或其外侧(19)载有电子部件(30)。
8.根据权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，所述电路板(16)载有识别泵电子装置。
9.根据权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，所述第一和第二密封件(15、21)为具有不同开口直径的环形密封件。
10.根据权利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述插接装置(28)安装在所述外壳(10)的护盖(23)上。
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