RU2010111847A - Токовод вакуумного насоса - Google Patents

Токовод вакуумного насоса Download PDF

Info

Publication number
RU2010111847A
RU2010111847A RU2010111847/06A RU2010111847A RU2010111847A RU 2010111847 A RU2010111847 A RU 2010111847A RU 2010111847/06 A RU2010111847/06 A RU 2010111847/06A RU 2010111847 A RU2010111847 A RU 2010111847A RU 2010111847 A RU2010111847 A RU 2010111847A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
vacuum
vacuum pump
pump according
circuit board
printed circuit
Prior art date
Application number
RU2010111847/06A
Other languages
English (en)
Inventor
Генрих ЭНГЛЭНДЕР (DE)
Генрих ЭНГЛЭНДЕР
Original Assignee
Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De)
Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De), Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх filed Critical Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De)
Publication of RU2010111847A publication Critical patent/RU2010111847A/ru

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08Centrifugal pumps
    • F04D17/16Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168Pumps specially adapted to produce a vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042Turbomolecular vacuum pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D25/00Pumping installations or systems
    • F04D25/02Units comprising pumps and their driving means
    • F04D25/06Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
    • F04D25/0693Details or arrangements of the wiring
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/08Sealings
    • F04D29/083Sealings especially adapted for elastic fluid pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

1. Вакуумный насос с вакуум-плотным корпусом (10), который содержит двигатель и ротор насоса и имеет впускное отверстие (11) насоса, а также выпускное отверстие (12) насоса, и с тоководом, при этом токовод имеет печатную плату (16), которая своей внутренней стороной (18) с промежуточным включением первого уплотнения (15) прилегает к торцевой поверхности (14) стенки корпуса, а своей наружной стороной (19) с промежуточным включением второго уплотнения (21) прилегает к вакуумной крышке (20) корпуса, ! отличающийся тем, что первое и второе уплотнение (15, 21) расположены со смещением сбоку по отношению друг к другу, так что на участок (22) печатной платы (16) с наружной стороны воздействует атмосферное давление, а с внутренней стороны - созданный вакуум. ! 2. Вакуумный насос по п.1, отличающийся тем, что внешние от участка (22) электрические проводники (27) соединены с токопроводящими дорожками печатной платы (16). ! 3. Вакуумный насос по п.2, отличающийся тем, что внешние проводники (27) соединены с закрепленным на корпусе (10) штепсельным устройством (28). ! 4. Вакуумный насос по п.1, отличающийся тем, что вакуумная крышка (20) расположена в защитной крышке (23) и выполнена с возможностью перемещения относительно нее. ! 5. Вакуумный насос по п.4, отличающийся тем, что защитная крышка (23) имеет позиционирующее приспособление (25) для установки вакуумной крышки (20) в заданное положение. ! 6. Вакуумный насос по п.1, отличающийся тем, что печатная плата (16) имеет отверстие (17) для выравнивания давления. ! 7. Вакуумный насос по п.1, отличающийся тем, что на печатной плате (16) на ее внутренней стороне (18) и/или ее наружной стороне (19) расположены электрические компоненты (30). ! 8. Вакуу�

Claims (10)

1. Вакуумный насос с вакуум-плотным корпусом (10), который содержит двигатель и ротор насоса и имеет впускное отверстие (11) насоса, а также выпускное отверстие (12) насоса, и с тоководом, при этом токовод имеет печатную плату (16), которая своей внутренней стороной (18) с промежуточным включением первого уплотнения (15) прилегает к торцевой поверхности (14) стенки корпуса, а своей наружной стороной (19) с промежуточным включением второго уплотнения (21) прилегает к вакуумной крышке (20) корпуса,
отличающийся тем, что первое и второе уплотнение (15, 21) расположены со смещением сбоку по отношению друг к другу, так что на участок (22) печатной платы (16) с наружной стороны воздействует атмосферное давление, а с внутренней стороны - созданный вакуум.
2. Вакуумный насос по п.1, отличающийся тем, что внешние от участка (22) электрические проводники (27) соединены с токопроводящими дорожками печатной платы (16).
3. Вакуумный насос по п.2, отличающийся тем, что внешние проводники (27) соединены с закрепленным на корпусе (10) штепсельным устройством (28).
4. Вакуумный насос по п.1, отличающийся тем, что вакуумная крышка (20) расположена в защитной крышке (23) и выполнена с возможностью перемещения относительно нее.
5. Вакуумный насос по п.4, отличающийся тем, что защитная крышка (23) имеет позиционирующее приспособление (25) для установки вакуумной крышки (20) в заданное положение.
6. Вакуумный насос по п.1, отличающийся тем, что печатная плата (16) имеет отверстие (17) для выравнивания давления.
7. Вакуумный насос по п.1, отличающийся тем, что на печатной плате (16) на ее внутренней стороне (18) и/или ее наружной стороне (19) расположены электрические компоненты (30).
8. Вакуумный насос по п.1, отличающийся тем, что на печатной плате (16) расположена электроника обнаружения насоса.
9. Вакуумный насос по одному из пп.1-8, отличающийся тем, что первое и второе уплотнения (15, 21) являются кольцевыми уплотнениями с различными диаметрами отверстий.
10. Вакуумный насос по п.3, отличающийся тем, что штепсельное устройство (28) смонтировано на защитной крышке (23) корпуса (10).
RU2010111847/06A 2007-08-30 2008-08-28 Токовод вакуумного насоса RU2010111847A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE202007012070.2 2007-08-30
DE202007012070U DE202007012070U1 (de) 2007-08-30 2007-08-30 Stromdurchführung einer Vakuumpumpe

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2010111847A true RU2010111847A (ru) 2011-10-10

Family

ID=40091786

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010111847/06A RU2010111847A (ru) 2007-08-30 2008-08-28 Токовод вакуумного насоса

Country Status (10)

Country Link
US (1) US20100303650A1 (ru)
EP (1) EP2183486A1 (ru)
JP (1) JP5456674B2 (ru)
KR (1) KR101497901B1 (ru)
CN (1) CN101796302B (ru)
CA (1) CA2695506A1 (ru)
DE (1) DE202007012070U1 (ru)
RU (1) RU2010111847A (ru)
TW (1) TW200909688A (ru)
WO (1) WO2009027485A1 (ru)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009031983A1 (de) * 2009-07-06 2011-01-13 Lti Drives Gmbh An eine Vakuumpumpe anschließbare elektrische Verbindungseinheit
JP5785494B2 (ja) * 2009-08-28 2015-09-30 エドワーズ株式会社 真空ポンプ及び真空ポンプに使用される部材
JP5353838B2 (ja) * 2010-07-07 2013-11-27 株式会社島津製作所 真空ポンプ
FR2962602B1 (fr) * 2010-07-08 2013-08-30 Mecanique Magnetique Sa Procede et dispositif de liaison electrique a traversee etanche entre deux milieux differents
US9534506B2 (en) * 2010-10-19 2017-01-03 Edwards Japan Limited Reducing the influence of thermal expansion of connector pins on a substrate in a vacuum pump
WO2012053270A1 (ja) * 2010-10-19 2012-04-26 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
DE202013009657U1 (de) * 2013-10-31 2015-02-03 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
JP6753759B2 (ja) * 2016-10-21 2020-09-09 エドワーズ株式会社 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用される防水構造、制御装置
JP6912196B2 (ja) * 2016-12-28 2021-08-04 エドワーズ株式会社 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用されるコネクタ、制御装置
DE102017105248A1 (de) 2017-03-13 2018-09-13 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe mit Platine als Vakuumdurchführung
IT201700040835A1 (it) * 2017-04-12 2017-07-12 Agilent Tech Inc A Delaware Corporation Pompa da vuoto provvista di un passante elettrico da vuoto migliorato
EP3431769B1 (de) * 2017-07-21 2022-05-04 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
CN107887721B (zh) 2017-11-03 2019-12-13 珠海格力电器股份有限公司 磁悬浮轴承的接线结构及压缩机及空调
EP3626971B1 (de) * 2019-08-30 2022-05-11 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8830057D0 (en) * 1988-12-23 1989-02-22 Lucas Ind Plc An electrical connection arrangement and a method of providing an electrical connection
DE4038394A1 (de) * 1990-12-01 1992-06-04 Bosch Gmbh Robert Anordnung zur dichten durchfuehrung eines leiters durch die wand eines gehaeuses
IT1288737B1 (it) * 1996-10-08 1998-09-24 Varian Spa Dispositivo di pompaggio da vuoto.
US6793466B2 (en) * 2000-10-03 2004-09-21 Ebara Corporation Vacuum pump
JP2003269367A (ja) * 2002-03-13 2003-09-25 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプ
FR2861142B1 (fr) * 2003-10-16 2006-02-03 Mecanique Magnetique Sa Pompe a vide turbo moleculaire
JP4661278B2 (ja) * 2005-03-10 2011-03-30 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
ATE483114T1 (de) * 2005-08-24 2010-10-15 Mecos Traxler Ag Magnetlagereinrichtung mit verbesserter gehäusedurchführung bei vakuum
US7588444B2 (en) * 2006-02-01 2009-09-15 Nidec Corporation Busbar unit, electric motor and electrohydraulic power steering system furnished with the busbar unit, and method of manufacturing the busbar unit
DE102006016405B4 (de) * 2006-04-07 2024-08-01 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe mit Antriebsgerät
DE102006036493A1 (de) * 2006-08-04 2008-02-21 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe

Also Published As

Publication number Publication date
JP5456674B2 (ja) 2014-04-02
US20100303650A1 (en) 2010-12-02
KR101497901B1 (ko) 2015-03-03
KR20100058524A (ko) 2010-06-03
TW200909688A (en) 2009-03-01
DE202007012070U1 (de) 2009-01-08
CN101796302B (zh) 2012-06-27
CN101796302A (zh) 2010-08-04
WO2009027485A1 (de) 2009-03-05
CA2695506A1 (en) 2009-03-05
JP2010537122A (ja) 2010-12-02
EP2183486A1 (de) 2010-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2010111847A (ru) Токовод вакуумного насоса
JP5303114B2 (ja) 駆動装置を有する真空ポンプ
DE602005023866D1 (de) Magnetlagereinrichtung mit verbesserter Gehäusedurchführung bei Vakuum
JP4661278B2 (ja) ターボ分子ポンプ
WO2012062636A3 (de) Pumpenaggregat
RU2012154567A (ru) Жгут электропроводов
EP1768475A3 (en) Electronic control unit
SG151214A1 (en) Electric motor
WO2009001694A1 (ja) 防水型コネクタ、防水型コネクタの実装構造、および防水型コネクタの実装方法
JP5204773B2 (ja) 真空ポンプ
EP1921405A3 (en) Refrigerator
MX2011006092A (es) Aparato electrico.
RU2013140729A (ru) Электродвигатель постоянного тока во взрывозащищенном конструктивном исполнении
ATE518277T1 (de) Anschlussvorrichtung für mehrleiterkabel
MX2017003742A (es) Motor de bomba centrifuga.
JP2017518731A (ja) 整流子機のためのブラシ保持装置
JP2014011120A (ja) 電気フィードスルー、真空ポンプおよびプリント基板
DE502004001261D1 (de) Isoliertes Erderschaltgerät für gasisolierte Schaltanlagen
JP2017519480A (ja) 整流子機のためのブラシ保持装置
RU2009126564A (ru) Защитный корпус электромеханической микросистемы, содержащий промежуточный транслятор проводки
CN204203400U (zh) 一种发电机外壳漏电检测装置
JP3172822U (ja) 真空ポンプ
ATE454731T1 (de) Elektrischer steckverbinder mit eds-schutz
JP3138105U (ja) ターボ分子ポンプ
WO2021023340A3 (de) Elektromotor