CN101785113B - 用于太阳能电池中的烧透应用的厚膜膏 - Google Patents
用于太阳能电池中的烧透应用的厚膜膏 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101785113B CN101785113B CN2008801044033A CN200880104403A CN101785113B CN 101785113 B CN101785113 B CN 101785113B CN 2008801044033 A CN2008801044033 A CN 2008801044033A CN 200880104403 A CN200880104403 A CN 200880104403A CN 101785113 B CN101785113 B CN 101785113B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cream
- contact layer
- aluminium
- burning till
- approximately
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 93
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 88
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 87
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 81
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 81
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 52
- 239000006071 cream Substances 0.000 claims description 128
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 82
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 68
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 67
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 66
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 61
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 58
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 54
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 46
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims description 26
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 16
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 15
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 13
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- -1 terre verte Substances 0.000 claims description 13
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 12
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 11
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 10
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 7
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 7
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 7
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011591 potassium Substances 0.000 claims description 6
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 5
- 150000001398 aluminium Chemical class 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- KWLMIXQRALPRBC-UHFFFAOYSA-L hectorite Chemical compound [Li+].[OH-].[OH-].[Na+].[Mg+2].O1[Si]2([O-])O[Si]1([O-])O[Si]([O-])(O1)O[Si]1([O-])O2 KWLMIXQRALPRBC-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 229910000271 hectorite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000003378 silver Chemical class 0.000 claims description 3
- 239000005995 Aluminium silicate Substances 0.000 claims description 2
- 229910052656 albite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 235000012211 aluminium silicate Nutrition 0.000 claims description 2
- DLHONNLASJQAHX-UHFFFAOYSA-N aluminum;potassium;oxygen(2-);silicon(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Si+4].[Si+4].[Si+4].[K+] DLHONNLASJQAHX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052661 anorthite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229960000892 attapulgite Drugs 0.000 claims description 2
- 239000000440 bentonite Substances 0.000 claims description 2
- 229910000278 bentonite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N bentoquatam Chemical compound O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- GWWPLLOVYSCJIO-UHFFFAOYSA-N dialuminum;calcium;disilicate Chemical compound [Al+3].[Al+3].[Ca+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GWWPLLOVYSCJIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010433 feldspar Substances 0.000 claims description 2
- NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N kaolin Chemical compound O.O.O=[Al]O[Si](=O)O[Si](=O)O[Al]=O NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010445 mica Substances 0.000 claims description 2
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052652 orthoclase Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052625 palygorskite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000454 talc Substances 0.000 claims description 2
- 235000012222 talc Nutrition 0.000 claims description 2
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 claims 2
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 22
- 238000010304 firing Methods 0.000 abstract description 10
- 238000009472 formulation Methods 0.000 abstract description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 22
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 12
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 10
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 9
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 9
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 9
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical group [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000013461 design Methods 0.000 description 7
- HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N lead oxide Chemical compound [O-2].[Pb+2] HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N lead(II) oxide Inorganic materials [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 239000013008 thixotropic agent Substances 0.000 description 7
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 239000002585 base Substances 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 6
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 6
- JMXKSZRRTHPKDL-UHFFFAOYSA-N titanium ethoxide Chemical compound [Ti+4].CC[O-].CC[O-].CC[O-].CC[O-] JMXKSZRRTHPKDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 5
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 4
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 4
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 4
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 4
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 4
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 4
- 239000000075 oxide glass Substances 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- RBNWAMSGVWEHFP-UHFFFAOYSA-N trans-p-Menthane-1,8-diol Chemical compound CC(C)(O)C1CCC(C)(O)CC1 RBNWAMSGVWEHFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- AJSTXXYNEIHPMD-UHFFFAOYSA-N triethyl borate Chemical compound CCOB(OCC)OCC AJSTXXYNEIHPMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000080 wetting agent Substances 0.000 description 4
- DAFHKNAQFPVRKR-UHFFFAOYSA-N (3-hydroxy-2,2,4-trimethylpentyl) 2-methylpropanoate Chemical compound CC(C)C(O)C(C)(C)COC(=O)C(C)C DAFHKNAQFPVRKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KZVBBTZJMSWGTK-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(2-butoxyethoxy)ethoxy]butane Chemical compound CCCCOCCOCCOCCCC KZVBBTZJMSWGTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- KMWBBMXGHHLDKL-UHFFFAOYSA-N [AlH3].[Si] Chemical compound [AlH3].[Si] KMWBBMXGHHLDKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003760 tallow Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentane-2,4-diol Chemical compound CC(O)CC(C)(C)O SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 2
- 210000003298 dental enamel Anatomy 0.000 description 2
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960001484 edetic acid Drugs 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 2
- 239000013528 metallic particle Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000005360 phosphosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 2
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 2
- WUOACPNHFRMFPN-SECBINFHSA-N (S)-(-)-alpha-terpineol Chemical compound CC1=CC[C@@H](C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-SECBINFHSA-N 0.000 description 1
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXDLWJWIAHWIKI-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCO HXDLWJWIAHWIKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CRWNQZTZTZWPOF-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4-phenylpyridine Chemical compound C1=NC(C)=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1 CRWNQZTZTZWPOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPJOGDPLXNTKAZ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropanoic acid;2,2,4-trimethylpentane-1,3-diol Chemical compound CC(C)C(O)=O.CC(C)C(O)C(C)(C)CO VPJOGDPLXNTKAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018134 Al-Mg Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021364 Al-Si alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018137 Al-Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018182 Al—Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018467 Al—Mg Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018573 Al—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RGHNJXZEOKUKBD-SQOUGZDYSA-M D-gluconate Chemical compound OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O RGHNJXZEOKUKBD-SQOUGZDYSA-M 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- 229920000896 Ethulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001859 Ethyl hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018885 Pt—Au Inorganic materials 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- FUECIDVNGAUMGJ-UHFFFAOYSA-N acetic acid;2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical class CC(O)=O.CCCCOCCOCCO FUECIDVNGAUMGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OVKDFILSBMEKLT-UHFFFAOYSA-N alpha-Terpineol Natural products CC(=C)C1(O)CCC(C)=CC1 OVKDFILSBMEKLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940088601 alpha-terpineol Drugs 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000000498 ball milling Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- RUJPNZNXGCHGID-UHFFFAOYSA-N beta-terpineol Chemical compound CC(=C)C1CCC(C)(O)CC1 RUJPNZNXGCHGID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000011222 crystalline ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910002106 crystalline ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 235000019326 ethyl hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- 239000005308 flint glass Substances 0.000 description 1
- 150000004675 formic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229940050411 fumarate Drugs 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229940050410 gluconate Drugs 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940051250 hexylene glycol Drugs 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 229910003480 inorganic solid Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003350 kerosene Substances 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000012669 liquid formulation Substances 0.000 description 1
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- XZWYZXLIPXDOLR-UHFFFAOYSA-N metformin Chemical compound CN(C)C(=N)NC(N)=N XZWYZXLIPXDOLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 150000002903 organophosphorus compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N phosphinic chloride Chemical compound ClP=O RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZCGWAXQDLXLQM-UHFFFAOYSA-N phosphoryl trichloride Chemical compound ClP(Cl)(Cl)=O.ClP(Cl)(Cl)=O BZCGWAXQDLXLQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000006254 rheological additive Substances 0.000 description 1
- 239000010458 rotten stone Substances 0.000 description 1
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M salicylate Chemical compound OC1=CC=CC=C1C([O-])=O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229960001860 salicylate Drugs 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-L sulfite Chemical compound [O-]S([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 229940095064 tartrate Drugs 0.000 description 1
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 1
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L terephthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=C(C([O-])=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 150000003505 terpenes Chemical class 0.000 description 1
- 235000007586 terpenes Nutrition 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 238000001931 thermography Methods 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000699 topical effect Effects 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPRLSGONYQIRFK-MNYXATJNSA-N triton Chemical compound [3H+] GPRLSGONYQIRFK-MNYXATJNSA-N 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
- H01B1/14—Conductive material dispersed in non-conductive inorganic material
- H01B1/16—Conductive material dispersed in non-conductive inorganic material the conductive material comprising metals or alloys
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C8/00—Enamels; Glazes; Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions
- C03C8/24—Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions, i.e. for use as seals between dissimilar materials, e.g. glass and metal; Glass solders
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1804—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof comprising only elements of Group IV of the Periodic Table
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
Abstract
本发明公开了制备太阳能电池接触层以及由其制备的太阳能电池的配方和方法。本发明提供了包含前接触层、后接触层以及背接触层的太阳能电池。所述后接触层在烧成之前包含钝化层,在所述钝化层上施加包含铝和玻璃组分的膏,其中铝膏包含铝、另外任选的金属、玻璃组分和载体。后接触层在烧成之前包含钝化层,在所述钝化层上施加铝膏,其中所述铝膏包括铝、玻璃组分和载体。
Description
技术领域
本发明涉及由铝源、至少一种其它金属的源和分散在有机体系中的玻璃料制成的铝导体配方。该配方可以烧透钝化层,由此允许在基于硅片的光电池的后侧面上使用钝化层。该配方可以丝网印刷并且适合用于制造光伏元件,特别是太阳能电池的后侧接触层。
背景技术
太阳能电池通常由半导体材料例如硅(Si)制成,它将太阳光转化成有用的电能。太阳能电池接触层通常由薄的硅晶片制成,其中所必须的PN结通过将来源于合适磷源的磷(P)扩散到P型Si晶片中来形成。在太阳光入射的硅晶片侧面上通常覆盖有抗反射涂层(ARC),以防止太阳光的反射损失。这种ARC增加了太阳能电池的效率。被称为前接触层(front contact)的二维电极格栅图形连接到硅的N侧,而主要为铝(Al)构成的涂层连接到硅的P侧(后接触层(back contact))。进一步地,被称为银背面接触层(rear contact)的接触层(由银或者银-铝膏制成)被印刷且烧成在硅的p侧上,以能够使在太阳能电池组中的一个电池电连接到下一个电池的接触端能够焊接。这些接触层都是从PN结到外部负载的电出口。
硅晶片的后侧面通常包含Al膏,但是通常缺乏ARC。传统的后侧Al膏不能烧透典型的ARC材料例如SiNx、SiO2和TiO2。相反地,在硅的前侧上烧透良好的膏不会形成背面场(BSF)层,因此不适合用于太阳能电池后接触层。
因此,在现有技术中对既(1)可以烧透钝化层(SiNx或SiO2或TiO2)又(2)可以同时在硅的后侧面上实现BSF形成的后侧膏仍有改进的余地。
目前,典型的太阳能电池硅晶片的厚度为约200~300微米,并且发展趋势是更薄的硅晶片。因为硅晶片的成本为电池制造成本的约60%,所以该产业正寻求甚至更薄的晶片,接近150微米。当硅晶片厚度降低时,由于烧结应力所导致的电池弯曲的趋势增加,这是由Al热膨胀系数(TCE)(232×10-7/℃20~300℃)和Si热膨胀系数(TCE)(26×10-7/℃20~300℃)之间的巨大差异而产生的。
减少硅晶片弯曲的已知方法包括减少在丝网印刷过程中的铝含量,其导致不完全形成背表面场BSF层,并且为了达到相同的效果而需要更高的烧成温度。化学(酸)蚀刻已经被用于去除在烧成铝膏之后所形成的Al-Si合金,这只是在制造工艺中导致额外成本的另一个步骤。
另一种方法是采用添加剂以减少Al层和硅晶片之间的热膨胀失配。然而,缺点是背面钝化质量的降低以及伴随的太阳能电池性能的降低。通过将硅晶片的一部分背面用铝覆盖,这种部分覆盖被应用于星辰背表面场以抵消导致电池性能降低的弯曲。
最后,另一种减少或消除弯曲的传统方法是将制成的太阳能电池在烧成之后于几秒钟之内从室温降到-50℃。利用Al-Si膏基体的塑性变形,极大地消除弯曲,但这也意味着额外的工艺步骤,并且存在由于热应力而破损的高风险。
因此,光伏产业中需要一种太阳能电池接触层中形成足够BSF层的低弯曲、高性能的铝膏、制备所述接触层的方法以及也可以烧透钝化层的Al膏。
发明内容
本发明提供了一种包含硅晶片负载的后接触层的光电池,所述后接触层包含至少部分覆盖有烧成后的后侧膏的钝化层,所述后侧膏包含铝和玻璃组分。
本发明的进一步实施方式是一种光电池,其包含:
(a)前接触层,所述前接触层包含在其上施加银膏的钝化层,所述银膏在烧成之前包含银、玻璃组分和载体;以及
(b)后接触层,所述后接触层包含在其上施加铝膏的钝化层,所述铝膏在烧成之前包含铝、玻璃组分和载体。
本发明的另一实施方式包括制造光电池的方法,其包括:
(a)提供具有第一侧面和第二侧面的硅晶片;
(b)将磷源施加在所述硅晶片的第一侧面上;
(c)烧成所述晶片以在所述硅晶片的第一侧面上形成含磷玻璃层;
(d)从所述硅晶片的第一侧面上去除所述含磷玻璃层的至少一部分;
(e)磨光所述硅晶片的第二侧面;
(f)将钝化层施加在所述晶片的第一侧面和第二侧面上;
(g)将银膏施加在所述第一侧面上,该银膏在烧成之前包含银、玻璃组分和载体;
(h)将铝膏施加在所述第二侧面上,该铝膏在烧成之前包含铝、玻璃组分和载体,
其中(g)和(h)可以以任何顺序进行,以及
(i)将所述晶片烧成足以将银粘附在所述前侧面上以及将铝粘附在所述后侧面上的一段时间和温度,由此形成前接触层和后接触层。
本发明的另一实施方式提供一种厚膜膏组合物,其包含约40~约80wt%的铝以及约0.1~约50wt%的银。
最后,本发明的实施方式是一种包含后接触层的太阳能电池,其中所述后接触层在烧成之前包含厚膜膏组合物,该厚膜膏组合物包含约40~约80wt%的铝和约0.1~约50wt%的银。
本文所述的膏可以用于形成在除了太阳能电池以外的应用中,以及使用其它衬底例如玻璃、陶瓷、搪瓷、氧化铝和金属芯部衬底中的导体。例如,本发明的实施方式是包括含铝、玻璃组分和至少一种其它金属的电路的装置,所述至少一种其它金属选自以下金属所组成的组:钯、银、铂、金、硼、镓、铟、锌、锡、锑、镁、钾、钛、钒、镍、铜以及它们的组合,其中所述装置选自以下所组成的组:MCS加热器、LED照明设备、厚膜混合电路、燃料电池系统和汽车用电子设备。
本发明的组合物和方法通过如下方式克服现有技术的缺点,即通过使后接触层组分,通常是硅与铝之间的相互作用、结合和接触形成最优化,并且允许使用后接触层钝化层,这使太阳能电池的效率进一步改进。
本发明的前述和其他特征将在下文更全面地进行描述,并且在权利要求中特别指出,以下说明书详细阐述了本发明的一些示例性实施方式,但是,这些实施方式只是表示了本发明的原则可以被应用的几个不同的方式。
附图说明
图1A-1E提供了简要说明制造半导体器件的工艺流程图。图1A-1E所示的标号说明如下。
10:p-型硅衬底
20:n-型扩散层
30:前侧钝化层/抗反射涂层(例如SiNx、TiO2、SiO2膜)
35:后侧钝化层(例如SiNx、TiO2、SiO2膜)
40:P+层(背面场,BSF)
60:在后侧面上形成的铝-(16-金属)膏
61:显示烧透钝化层和BSF形成的烧成后铝-(16-金属)背电极
70:在后侧面上形成的银或银/铝膏
71:(通过烧成后侧面银膏所获得的)银或银/铝背电极
80:在银铝后侧膏或电极中的间隙
500:在前侧面上形成的银膏
501:在烧透ARC之后的银前电极
具体实施方式
本发明主要涉及包含铝和玻璃,或者铝、玻璃和至少一种其它金属的导电膏配方,其适用于包括硅半导体器件的各种应用例如光电池(PV),通常被称作为太阳能电池。特别是,它是关于用于形成太阳能电池的厚膜电极的导电组合物,即膏。本发明进一步涉及Al导电厚膜组合物以实现烧透硅太阳能电池中的后侧ARC。ARC可以包括SiNx、SiO2或TiO2中的任何一种或所有,并且还用作钝化层。术语“ARC”和“钝化层”将在本文中互换适用。该配方通常可以丝网印刷且适用于光电池,然而,可以使用其它工艺例如喷雾、热熔印刷、压印、喷墨印刷以及带层压技术(tape lamination technique),使用合适改性的有机物。本发明将能够使太阳能制造商使用新型太阳能电池设计,从而获得更高的效率,并且允许使用更薄的晶片,这导致在大规模生产中实质上节省成本。本发明还允许在某些电池设计中使用与传统的太阳能电池相比更少的后侧Al膏,这导致进一步节省成本。
本文的导体厚膜组合物允许通过所述Al膏很好地烧透后侧钝化层,以及允许在硅-铝界面上有效形成2~10微米的BSF层。一般认为在硅晶片的后侧面上使用钝化层例如SiNx意思是指缺少钝化层不再是薄、大面积晶片的太阳能电池效率的限制因素。或者,本发明的膏还可以用于某些要求受控的BSF区域的非烧透应用。一般认为在后接触层中使用铝有助于减少银迁移。
本发明的膏还可用于其中被施加在硅晶片的前侧面上的钝化层污染后侧(即后侧钝化是不希望的)的情况,其目的是烧透这种被污染的后侧钝化层。
为了在硅-铝界面上生产有效的BSF层,本发明提供一种导体厚膜膏,该厚膜膏在烧成之前包含铝颗粒;其它金属例如银、铜、镍的颗粒以及其它如硅掺杂剂;玻璃颗粒以及有机载体。所述膏通常被施加在p-型硅衬底的后表面(预先涂覆钝化层例如SiNx或TiO2或SiO2)上。
本发明提供一种光电池,其包含硅晶片负载的后接触层,所述后接触层包含至少部分覆盖有烧成后的后侧膏的钝化层,所述后侧膏包含铝和玻璃组分。
本发明的另一实施方式是光电池,其包含:
(c)前接触层,所述前接触层包含在其上施加银膏的钝化层,所述银膏在烧成之前包含银、玻璃组分和载体;以及
(d)后接触层,所述后接触层包含在其上施加铝膏的钝化层,所述铝膏在烧成之前包含铝、玻璃组分和载体。
本发明的另一实施方式包括制造光电池的方法,其包括:
(j)提供具有第一侧面和第二侧面的硅晶片;
(k)将磷源施加到所述硅晶片的第一侧面上;
(l)烧成所述晶片以在所述硅晶片的第一侧面上形成含磷玻璃层;
(m)从所述硅晶片的所述第一侧面上去除所述含磷玻璃层的至少一部分;
(n)磨光所述硅晶片的所述第二侧面;
(o)将钝化层施加在所述晶片的所述第一侧面和所述第二侧面上;
(p)将银膏施加在所述第一侧面上,该银膏在烧成之前包含银、玻璃组分和载体;
(q)将铝膏施加在所述第二侧面上,该铝膏在烧成之前包含铝、玻璃组分和载体,
其中(g)和(h)可以以任何顺序进行,以及
(r)将所述晶片烧成足以将银粘附在所述前侧面上以及将铝粘附在所述后侧面上的一段时间和温度,由此形成前接触层和后接触层。
本发明的实施方式提供一种厚膜膏组合物,其包含约40~约80wt%的铝和约0.1~约50wt%的银。
本发明的另一实施方式是包含后接触层的太阳能电池,其中,所述后接触层在烧成之前包括含约40wt%~约80wt%的铝和约0.1wt%~约50wt%的银的厚膜膏组合物。还可以包含选自由钯、铂、金、硼、镓、铟、锌、锡、锑、镁、钛、钾、钒、镍、铜以及它们的组合所组成的组中的其它金属代替铝,或者除了银以外包含所述其它金属。
本发明的膏还可以用于形成在除了太阳能电池以外的应用以及使用其它衬底例如玻璃、陶瓷、搪瓷、氧化铝和金属芯部衬底中形成导体。例如,本发明的实施方式是包括含有铝、玻璃组分和至少一种其它金属的电路的器件,所述至少一种其它金属选自由钯、银、铂、金、硼、镓、铟、锌、锡、锑、镁、钾、钛、钒、镍、铜以及它们的组合所组成的组,其中所述器件选自由MCS加热器、LED照明设备、厚膜混合电路、燃料电池系统以及汽车用电子设备所组成的组。
本发明的另一实施方式提供一种能够烧透所述钝化层的厚膜膏组合物,其包含约40~约80wt%的铝和约0.5~约10wt%的玻璃。
最后,本发明的实施方式是太阳能电池阵列或者太阳能电池组合板,其包括含有本文所公开的任何后侧铝膏的本文所公开的任何太阳能电池。
本发明的优选实施方式包括将金属分组为如下所示:钯、银、铂、金以及它们的组合(高导电性或高导电性改性剂);硼、镓、铟以及它们的组合(p型硅的三价掺杂剂);锌、锡、锑以及它们的组合(低熔点金属);以及镁、钛、钾、钒、镍、铜以及它们的组合(晶粒改性剂/精炼剂)。
广泛地,包含铝和玻璃料的厚膜膏被用于制备硅基太阳能电池的后接触层,以将通过曝光所产生的电流传到到外部负载。具有由丝网印刷的铝后接触层的太阳能电池被烧成至相对低的温度(550℃~850℃晶片温度;650~1000℃的炉设定温度),以在硼掺杂的硅晶片的p-侧面与铝基膏之间形成低的电阻接触层。用于制造太阳能电池的方法也是可以想到的。
由于大面积融化以及Al-掺杂(p+)外延生长的Si层的再固化,含有铝和玻璃的膏被用于在太阳能电池的后侧面上形成低电阻的欧姆接触,由于改进的BSF,这增加了太阳能电池性能。对于优化的性能,厚的p+再生长区域被认为是理想的。在烧成过程中,通过硅的液相外延生长,p+层由铝-硅(Al-Si)熔体形成在底层硅上。还认为将金属杂质排除在外延生产的p+层之外导致高的载体寿命。这两个因素被认为增加开路电压,更重要地,随着体电阻的增加,开路电压仅仅稍微下降。因此,由于在Al后接触层中形成基本上外延再生长的p+层,改善了太阳能电池性能。
铅玻璃通常被用于膏中,这是由于它们优异的低熔点特性与它们的优良润湿性能。由于环境原因,所希望的是使用无铅无镉的玻璃,或者至少基本上没有铅和镉的玻璃。高铋的无铅无镉玻璃允许在制备前接触层中低的烧成温度,这是由于它们在相对低的温度下的优异流动性能。碱金属-钛-硅酸盐玻璃是获得更低的烧成温度的另外路线。
本发明的膏可以通过将各个组分(即金属、玻璃料和有机载体)混合,或者通过将其为Al基的膏(主要组分)与银或其它金属或者获得所希望目的的金属的合金(次要组分)混和来制备。广泛理解地,本发明的膏包括含有至少铝、玻璃和载体的导电金属。每个组分详细描述如下。
金属组分。烧透的膏的主要金属组分是铝。使用铝是因为它形成p+/p表面,并且提供用于增强太阳能电池性能的BSF。本发明的后侧烧透膏包括约40~约80%的铝,优选约60~约80%的铝,更优选约65~约75%的铝。然而,Al自身并不能烧透所述钝化层,需要其它金属以渗透非导电的钝化层。
其它金属或合金为所述膏的约0.5wt%~约50%铝,以帮助实现铝烧透所述钝化层。在局部应用(其中金属膏覆盖即小于后接触层表面总面积的约10%)中,弯曲并不是关键的,并且可以使用球形粉末形态的银和铝。然而,当整个后接触层完全覆盖Al膏时,使收缩率最小的形态例如片式是优选的。Al颗粒通常为约2~约20微米,优选为约3~约10微米。其它金属颗粒为约2~约20微米,更优选为约2~约8微米。优选具有99+%纯度的Al以及其它金属/合金以使太阳能电池的电性能最优化。
金属的物理和化学形式。本发明的所有金属可以几种物理和化学形式的一种或多种形式来提供。广泛地,金属粉、片、盐、氧化物、玻璃、胶体以及有机金属是合适的。通常,金属粉尺寸为约0.1~约40微米,优选最高约10微米。更优选地,所述金属颗粒尺寸与在后接触层中所述的铝和银颗粒的尺寸相一致。此外,通常所述16种金属可以以离子盐的形式提供,例如所述金属的氯化物、碳酸盐、氢氧化物、磷酸盐、硝酸盐、硫酸盐和亚硫酸盐。还可以使用任何所述金属的有机金属化合物,包括但不限于醋酸盐、甲酸盐、羧酸盐、邻苯二甲酸盐、异酞酸盐、对苯二甲酸盐、富马酸盐、水杨酸盐、酒石酸盐、葡萄糖酸盐,或者螯合物例如与乙二胺(en)或乙二胺四乙酸(EDTA)的螯合物。对于本领域技术人员来说,将很容易想到包含所述16种金属中的至少一种的其它合适的粉末、盐、氧化物、玻璃、胶体和有机金属。通常,铝和所述16种金属以金属粉末或片的形式提供。
例如,所述膏可以包含约80~约99wt%的球形金属颗粒,或者可选择地包含约35~约75wt%的金属颗粒和约29~约55wt%的金属片。可选择地,所述膏可以包含约75~约90wt%的金属片和约5~约9wt%的胶体金属,或者约60~约95wt%的金属粉末或金属片以及约4~约20wt%的胶体金属。
上述金属的颗粒、片和胶体形式的上述组合并不打算限制于其中本领域技术人员将会了解到的,并且其他组合是可能的。铝颗粒的合适商业化实例可以是从美国铝业公司(Alcoa,Inc.,Pittsburgh,PA);美国Ampal公司(Ampal Inc.,Flemington,NJ);以及德国ECKA公司(ECKA Granulate Gmbh & Co.,Fürth,德国)获得的。
除了铝以外的导电金属的含量并没有特别限制,只要它的量可以获得本发明的目的。然而,优选地,本文的膏组合物包含约0.1~约50wt%的除铝以外的金属或合金,以获得所希望的性能例如银、铜、镍或镁。特别是,某些实施方式包含约0.1~约50wt%的银,1~约25wt%的银,更优选约1~约10wt%的银。另外的实施方式包含约3~约50wt%的铜,优选约3~约15wt%的铜,更优选约3~约10wt%的铜。另外的实施方式包含约1~约50wt%的镍,优选约5~约25wt%的镍,更优选约5~约15wt%的镍。在其它的实施方式中,所述膏包含约1~约50wt%的镁,优选约3~约25wt%的镁,更优选约5~约15wt%的镁。所述膏还可以包含约1~约50wt%的硼,优选约5~约25wt%的硼。本文可以想到包含上述金属的接触层和太阳能电池。
在本发明中银掺杂硅是一种优选的路线,然而,选自以下组的其它导电金属:例如(a)钯、银、铂、金以及它们的组合(高导电性或高导电性改性剂);(b)硼、镓、铟以及它们的组合(p型硅的三价掺杂剂);(c)锌、锡、锑以及它们的组合(低熔点金属);以及(d)镁、钛、钾、钒、镍、铜以及它们的组合(晶粒改性剂/精炼剂)。还可以使用另外的合金例如Al-Cu、Al-Mg、Al-Si、Al-Zn和Al-Ag,以及Ag-Pd、Pt-Au、Ag-Pt用于硅掺杂。还可以使用所述16种金属的混合物用于本文所述的膏、接触层和太阳能电池。
膏玻璃。所述膏包含约0.5~约10wt%,优选约0.5~约8wt%,更优选约0.5~约5wt%,甚至更优选约0.5~约2.5wt%的粉末玻璃组分。该玻璃组分在烧成之前包含一种或多种玻璃组合物。每种玻璃组合物包含氧化物玻璃料,在一种实施方式中包含Bi2O3、碱金属氧化物、B2O3和SiO2。在另外实施方式中,所述玻璃组合物包括碱金属氧化物、TiO2和SiO2。在另外实施方式中,所述玻璃组合物包含PbO。具体地,在本发明的不同实施方式中,用于后接触层的玻璃组合物可以表1-3中找到。表中的词条“20种三价氧化物”是指一种或多种以下元素的三价氧化物,所述元素选自由Al、Ga、In、Sc和Y以及原子序数为57~71的元素所组成的组。在配制所述膏中,所述玻璃料的典型粒径为约0.2~约10微米,尽管正如在本技术领域中所熟知的可以使用其他的粒径。优选用于所述膏配方中的玻璃粉末具有在300℃~700℃范围内,优选在400℃~550℃范围内的Tg。
参见表1-3,可以使用一种以上的玻璃组合物,还可以设想包含在相同表中的不同栏中的量的组合物。如果使用第二玻璃组合物,该玻璃组合物的比例可以变化,从而控制膏与硅相互作用的程度,并且由此控制所获得的太阳能电池性能,而且控制硅晶片的弯曲。举例来说,在玻璃料组分内,第一和第二玻璃组合物可以以约1∶20~20∶1的重量比,优选约1∶5~5∶1的重量比存在。该玻璃组分优选不含铅或铅的氧化物,也不合镉或镉的氧化物。然而,在某些实施方式中,PbO的特性是不可替代的,所述实施方式有利地包含PbO。表中例如“Li2O+Na2O+K2O”词条表示Li2O、Na2O、K2O和Rb2O的总量落在特定的范围内。在具有零下限的每种范围中,其优选实施方式是与具有0.1%下限的范围相同。
表1.以摩尔百分数计的用于铋基后接触层玻璃的氧化物玻璃料成分
玻璃组合物 | I | II | III |
成分 | |||
Bi2O3 | 5-85 | 10-75 | 12-50 |
B2O3+SiO2 | 5-75 | 15-75 | 34-71 |
ZnO | 0-55 | 0-20 | 0-12 |
Li2O+Na2O+K2O | 0-40 | 5-30 | 10-30 |
20种三价氧化物 | 0-25 | 0-20 | 3-10 |
Sb2O5+Nb2O5 | 0-40 | 0-30 | 0-20 |
TiO2+ZrO2 | 0-20 | 0-10 | 1-6 |
表2.以摩尔百分比计用于碱金属-钛-硅酸盐后接触层玻璃的氧化物玻璃料成分
玻璃组合物 | IV | V | VI |
成分 | |||
Li2O+Na2O+K2O | 5-55 | 15-50 | 30-40 |
TiO2 | 2-26 | 10-26 | 15-22 |
B2O3+SiO2 | 5-75 | 25-70 | 30-52 |
V2O5+Sb2O5+P2O5 | 0-30 | 0.25-25 | 5-25 |
MgO+CaO+BaO+SrO | 0-20 | 0-15 | 0-10 |
F | 0-20 | 0-15 | 5-13 |
表3.以摩尔百分数计的用于铅基后接触层玻璃的氧化物玻璃料成分
玻璃组合物 | IV | V | VI |
成分 | |||
PbO | 15-75 | 25-66 | 50-65 |
B2O3+SiO2 | 5-75 | 20-60 | 24-45 |
ZnO | 0-55 | 0.1-35 | 0.1-25 |
Li2O+Na2O+K2O | 0-40 | 0-30 | 0-10 |
TiO2+ZrO2 | 0-20 | 0-10 | 0.1-5 |
20种三价氧化物 | 0-25 | 0.1-20 | 1-10 |
在优选的实施方式中,所述玻璃组分包含:约12~约50摩尔%的Bi2O3;约25~约65摩尔%的SiO2;约5~约15摩尔%的B2O3;约4~约26摩尔%的K2O;TiO2,其中TiO2的含量不超过约10摩尔%;以及选自以下所组成的组中的元素的氧化物:Li、Na、K、Sb以及它们的组合,条件是所述氧化物的组合总量不超过所述组合物的约40摩尔%,优选至少为所述组合物的约1摩尔%。在含有碱金属氧化物的优选实施方式中,所述玻璃组分含有约1~约15摩尔%的Li2O;约8~约25摩尔%的Na2O;约3~约25摩尔%的K2O;约8~约22摩尔%的TiO2;约25~约50摩尔%的SiO2;约2~约18摩尔%的V2O5;约0.25~约5摩尔%的P2O5,可以进一步包含氟化物,其含量不超过约20摩尔%。
在另一优选的实施方式中,所述组合物包含一种或多种下列成分,只要下列氧化物的含量不超过所给出的量(以摩尔%计):Li2O(15%)、Na2O(25%)、K2O(25%)、TiO2(22%)、SiO2(60%)、V2O5(18%)、(Sb2O5+V2O5+P2O5)的总量(25%)以及F(15%)。
最优选的实施方式是上面所讨论的无铅无镉玻璃。然而,如果需要其他含铅玻璃都不能达到的特性,则所述玻璃组分可以包含一种或多种下列成分,只要下列氧化物的含量不超过所给出的量(以摩尔%计):PbO(75%)、SiO2(55%)、B2O3(55%)、ZnO(25%)以及选自Al、Ga、In、Sc、Y、La的三价氧化物(25%)以及(TiO2+ZrO2)(5%),条件是(B2O3+SiO2)的总量不超过45%。含铅的玻璃组分可以进一步包含约0.1~约10摩尔%的Al2O3。
载体。本文的膏包括载体(vehicle)或负载(carrier),其通常是树脂溶于溶剂中的溶液,经常是含有树脂和触变剂的溶剂溶液。所述膏的有机部分包含:(a)至少约80wt%的有机溶剂;(b)最高约15wt%的热塑性树脂;(c)最高约4wt%的触变剂;以及(d)最高约2wt%的润湿剂。还可以设想使用超过一种的溶剂、树脂、触变剂和/或润湿剂。
乙基纤维素是通常使用的树脂。然而,也可以使用诸如乙基羟乙基纤维素、木松香、乙基纤维素和酚醛树脂的混合物、低级醇的聚甲基丙烯酸酯和乙二醇单醋酸酯的单丁基醚的树脂。具有约130℃~约350℃沸点(1个大气压)的溶剂都是合适的。广泛使用的溶剂包括萜烯例如α-松油醇或β-松油醇,或者更高沸点的醇例如Dowanol(二甘醇单丁醚),或者它们与下列其他溶剂的混合物:例如丁基卡必醇(butyl Carbitol)(二甘醇单丁醚)、二丁基卡必醇(dibutylCarbitol)(二甘醇二丁醚)、丁基卡必醇乙酸酯(butyl Carbitolacetate)(二甘醇单丁醚乙酸酯)、己二醇、伊斯曼醇(Texanol)(2,2,4-三甲基-1.3-戊二醇单异丁酸酯)以及其他的醇酯、煤油和邻苯二甲酸二丁酯。所述载体可以包含有机金属化合物(例如基于铝或硼的那些)以改性接触层。N-Diffusol是一种稳定的液体配制品,其含有扩散系数与单质磷相似的n-型扩散剂。可以配制这些与其它溶剂的各种组合以获得每种应用所要求的理想粘度和挥发性。可以包括其他的分散剂、表面活性剂、流变改性剂,这些在厚膜膏配方中经常使用。这些产品的商业化例子包括以如下的商标销售的那些:Teanol(伊斯曼化学公司(Eastman Chemical Company,金斯波特,田纳西州));Dowanol和Carbitol(陶氏化学公司,Dow Chemicai Company,米德兰,密歇根州);Triton(美国陶氏化学公司联碳分公司,Union Carbide Division of Dow ChemicaiCompany,米德兰,密歇根州);海名斯触变剂(Thixatrol)(美国海名斯公司,海次镇,新泽西州);以及Diffusol(Transene Co.,Inc.,丹佛,马萨诸塞州)。
最常用的有机触变剂是氢化蓖麻油以及它们的衍生物。触变剂并不总是必须的,因为在这点上与任何悬浮液中所固有的剪切变稀相关的溶液可以单独适用的。进一步地,可以使用润湿剂如脂肪酸酯,例如,N-牛油脂-1,3-二氨基丙烷二油酸脂;N-牛油脂三亚甲基二胺二醋酸盐;N-椰油三亚甲基二胺;β-二胺;N-油烯基三亚甲基二胺;N-牛油脂三亚甲基二胺;N-牛油脂三亚甲基二胺二油酸脂以及它们的组合。
其它添加剂。其它无机添加剂可以添加到所述膏中,基于在烧成之前所述膏的重量,添加量为约1~约30wt%,优选约2~约25wt%,更优选约5~约20wt%。可以添加其他的添加剂,例如粘土、硅土或碳粉或它们的组合,以控制铝和硼与硅的反应。已经煅烧的普通粘土是合适的。可以添加低熔点金属添加剂的微粒(即,不同于金属氧化物的单质金属添加剂)例如Pb、Bi、In、Zn和Sb以及每种金属的合金,以在较低的烧成温度下提供接触层或者扩大烧成温度范围。
(a)玻璃的混合物、或(b)晶状添加剂与玻璃的混合物或者(c)一种或多种晶状添加剂的混合物可以被用来以所希望的组分范围配制玻璃组分。目的是减少弯曲和改进太阳能电池的电性能。例如,可以将第二相结晶陶瓷材料例如SiO2、ZnO、MgO、ZrO2、TiO2、Al2O3、PbO、Bi2O3、V2O5、MoO3、WO3、Sb2O3、SnO和In2O3以及其反应产物和其组合添加到玻璃组分中以调节接触层性能。然而,上面氧化物的总量必须落入此处公开的各种实施方式的特定范围内。陶瓷添加剂包括诸如锂蒙脱石、滑石、高岭土、绿坡缕石、膨润土、绿土、石英、云母、长石、钠长石、正长石、钙长石、硅石以及它们的组合。结晶二氧化硅和无定形二氧化硅都是合适的。
膏制备。根据本发明的膏可以在行星式混合器中制得。所使用的有机载体的种类和量主要由最终所希望的配方粘度、膏的研磨粒度以及所希望的湿印刷厚度决定。通常,湿膏包含约15~约40wt%,优选约20~约35wt%的有机载体。所述有机载体可以包括烷基酯醇、松油醇和二烷基乙二醇醚(如以下表4所示)和/或本文所公开的其它有机物。
在制备本发明的后侧厚膜膏组合物中,颗粒状无机固体物与载体混合,并且用合适的设备例如行星混合器分散以形成悬浮液,从而获得在9.6秒-1的剪切速率下粘度在约200~约4000泊范围内,优选在约500~约1500泊范围内,更优选在800~1200泊的组合物,其粘度值由布氏粘度计HBT,纺锤芯14号,在25℃下来测定的。通常,当后接触层仅仅部分覆盖膏时,其粘度应当更高。根据本发明的膏的通常组分范围如表4所示。
表4.Al烧透导体的广义膏配方
成分-wt% | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 |
铝 | 40-80 | 60-80 | 65-75 | 40-80 | 40-80 | 40-80 | 40-80 |
银 | 0.5-50 | 1-25 | 2-10 | ||||
镍 | 3-50 | ||||||
铜 | 3-50 | ||||||
AlMg合金 | 1-50 | ||||||
烷基酯醇 | 10-20 | 10-20 | 10-20 | 10-20 | 10-20 | 10-20 | 10-20 |
松油醇 | 5-15 | 5-15 | 5-15 | 5-15 | 5-15 | 5-15 | 5-15 |
二烷基乙二醇醚 | 0-5 | 0-5 | 0-5 | 0-5 | 0-5 | 0-5 | 0-5 |
玻璃内含物 | 0.5-10 | 0.5-10 | 0.5-10 | 0.5-10 | 0.5-10 | 0.5-10 | 0.5-10 |
金属乙醇盐 | 0-10 | 0-10 | 0-10 | 0-10 | 0-10 | 0-10 | 0-10 |
乙醇 | 0-0.5 | 0-0.5 | 0-0.5 | 0-0.5 | 0-0.5 | 0-0.5 | 0-0.5 |
二氧化硅 | 0-0.5 | 0-0.5 | 0-0.5 | 0-0.5 | 0-0.5 | 0-0.5 | 0-0.5 |
膏的印刷与烧。制备太阳能后接触层的本发明方法包括:(1)施加Ag或Ag/Al后接触层膏;(2)干燥所述膏;(3)将含Al的膏施加在硅晶片的P-侧面上,在该硅晶片上已经施加钝化层;(4)干燥所述膏;(5)施加所述前接触层银膏;(6)干燥所述膏;以及(7)共烧成所述膏以使其与硅接触。
Al-膏可以包含任意所述16种金属或者所有16种金属,或者可能没有所述16种金属,只要存在某些玻璃。特别是,Al可以单独使用,只要玻璃含铅。用银背面接触层Ag-膏、Al-后接触层膏和Ag-前接触层膏印刷的太阳能电池在合适的温度下烧成,例如约650~1000℃的炉设定温度下;或者约550~850℃的硅晶片温度。在烧成期间,ARC被玻璃和Al/Ag膏的组合攻击且被腐蚀;即“烧透”。此外在随着硅晶片温度上升到Al-Si低共熔温度577℃的烧成过程中,后接触层的Al和(16种金属)将Si从衬底中溶出,并且形成Al-Si和(16种金属)的液体层。
此外在晶片温度升高至超过Al与每种所述其它金属的各种共晶温度时的烧成过程中,后接触层Al和(16种金属)从衬底中将Si溶解,并且形成液体Al-(16种金属)-Si层。该Al-(16种金属)-Si液体在进一步加热至峰值温度过程中继续溶解衬底Si。在冷却期间,Si从Al-(16种金属)-Si熔体中沉淀析出。这种沉淀析出的Si以外延层形式生长在下面的Si衬底上,从而形成p+层。当冷却的熔体温度达到Al-Si-金属溶体的低共熔温度时,剩余的液体将以Al-Si-金属低共熔层的形式冷却下来。p+层被认为提供了背表面场(BSF),这反过来增加了太阳能电池的性能。在Al-(16种金属)后接触层中的玻璃最优与Al和Si相互作用,而没有过度地影响有效的BSF层的形成。
前接触层和后接触层的制备方法。参见附图1A-1E,通过将任何银基膏施加在太阳能级Si晶片上,通常可以制造根据本发明的太阳能前接触层。特别是,图1A简要显示了其中提供单晶硅或多晶硅的衬底的步骤,通常具有降低反光的织构表面。在太阳能电池的情况中,经常使用由提拉或者浇铸方法形成的锭片切割出来的晶片作为衬底。由工具例如用于切割的线锯引起的衬底表面损坏和由晶片切割步骤所引起的污染物一般通过使用碱水溶液例如KOH或NaOH或者使用HF和HNO3的混合物来腐蚀掉该衬底表面的约10~20微米来去除。所述衬底任选地可以用HCl和H2O2的混合物来洗涤以去除重金属例如可能粘附在该衬底表面的铁。有时此后使用例如碱水溶液例如氢氧化钾水溶液或者氢氧化钠水溶液,形成抗反射织构表面。这就生产得到衬底10(图示为夸大的厚度尺寸),因为通常的硅晶片的厚度为约200微米。
参见附图1B,简要显示了当使用p-型衬底时,形成n-型层20以产生p-n结。以任何各种合适的形式提供磷扩散层,包括磷酰氯(POCl3)有机磷化合物和此处公开的其它化合物。磷源可以选择性地仅施加在硅晶片的一侧。扩散层的深度可以通过控制扩散温度和时间来控制,通常为约0.3~0.5微米,并且具有约40~100欧姆/方块的片电阻值。所述磷源可以包括含磷液体涂层材料,例如通过例如旋涂的工艺将磷硅酸盐玻璃(PSG)仅涂覆在所述衬底的一个表面上,其中扩散是通过在合适条件下回火来实现。
接着,在图1C中,抗反射涂层(ARC)30(也经常用作钝化膜,可以是SiNx、TiO2或者SiO2)形成在上述n-型扩散层20上。将钝化膜35类似地施加在硅晶片10的后侧面。氮化硅有时候被表示为SiNx:H以强调通过氢进行钝化。ARC 30减少了太阳能电池对入射光的表面反射,因此增加了光吸收的量,由此增加了所产生的电流。钝化层30和35的厚度依赖于所施加的材料的折射率,尽管约的厚度是适合于约1.9~2.0的折射率。钝化层可以通过各种过程包括低压CVD、等离子体CVD或热CVD来形成。当热CVD被用于形成SiNx涂层时,原料经常是二氯硅烷(SiCl2H2)和氨气(NH3),并且在至少700℃的温度下形成膜。当使用热CVD时,在高温度下原料气的热解导致在氮化硅膜中基本上不存在氢,从而获得在硅与氮之间基本上为化学计量比-Si3N4。形成钝化层的其它方法是现有技术中已知的。
如图1D所示,然后将后侧银或铝膏70和Al-(16种金属)膏60选择性地丝网印刷且随后干燥在所述衬底的后侧面上。尽管没有分别标示,但是需要注意的是,图1D显示了施加在硅晶片10的后侧面上的六部分膏60。在所述部分膏60之间的间隙使得后侧钝化层35未被覆盖。Al-(16种金属)膏可以包括一种或者多种表1、2或3所示的玻璃料。接着将前电极的银膏500丝网印刷且干燥在ARC 30上。然后在约700~1000℃的温度范围内在红外带式炉中进行煅烧约1分钟到几分钟。
因此,如图1E中所示的,在烧成期间Al-(16种金属)膏中的Al熔融并且与硅衬底10反应,然后固化形成部分p+层,其包含高浓度的铝掺杂剂。该层通常被称作为背表面场(BSF)层,并且有利于改善太阳能电池的能量转化效率。图1E显示了六部分层40,相对应于图1D中所施加的六部分铝膏60。在烧成(图1E)之后,钝化层35在其中图1D中未被铝膏60覆盖的那些区域保持几乎没有变化。
Al-(16种金属)膏通过烧成从干燥状态60转化为铝后接触层61(包含所述16种金属中的至少一种金属)。后侧银或铝膏70同时烧成,成为银或铝后接触层71。在烧成期间,在后侧Al-(16种金属)和后侧银或铝之间的边界被认为是合金状态,并且还是电连接的。后接触层主要用Al-(16种金属)膏覆盖至约30~50微米的湿厚度,部分由于需要形成更厚的p+层40。在模块制造期间,后侧银膏区域被用于触端连接。此外,形成前电极的银膏500烧结,并且在烧成期间渗透(即烧透)氮化硅膜30,由此能够电连接n-型层20,正如图1E中的前电极501所示的。
通过将本文所公开的任何Al膏施加在预涂有银背面接触层膏的硅衬底的P侧上至所希望的湿厚度(例如约30~50微米),可以制备根据本发明的太阳能电池后接触层,所述Al膏是通过将铝粉与表1、2和3中的玻璃组合物进行混合来制备的。为了制备前接触层,将前接触层Ag膏印刷在前侧面上。
与前接触层的制备相同,后接触层和背面接触层的制备如下。可以利用200-325目筛网来使用自动丝网印刷技术。印刷后的图案然后在200℃或更低温度下干燥,优选在烧成之前于约120℃下干燥约5~15分钟。本发明的干燥印刷的Al-(16种金属)后接触层膏可以与银后接触层和前接触层银膏在峰值温度下在大气中的传送带炉中共烧成约1秒~约5分钟。
如果需要,可以使用氮气或者其他惰性气体,但这不是必须的。所述烧成通常按照下面的温度制度来进行,该温度制度允许有机物质在约300~约550℃下烧掉,炉设定温峰值为约650℃~约1000℃的一段时间,持续时间最短约1秒,但是如果在较低的温度下烧成,则较长的烧成时间例如1、3或5分钟也是可能的。例如,可以使用三区间烧成温度制度,其传送带的速度为每分钟约1~约4米(40~160英寸)。自然地,本发明还可设想具有超过3个区间的烧成设置,包括有4、5、6或7个区间或更多,每个区间长度为约5~约20英寸,其烧成温度为650~1000℃。
实施例
配制和测试的示例性膏组合物如表5所示。表6显示了在将印刷和烧成所述晶片之后的太阳能电池的性能(使用炉设定温度为780-830-930℃的三区烧成制度),所述晶片具有在所述晶片的钝化的后侧面上的后侧Al烧透膏,除了印刷的标准背接触层膏和前侧接触层膏。在如下实施例中使用的多晶硅晶片的面积为243cm2,厚度为180微米,并且具有60欧姆/方块的片电阻值。将后侧Al烧透膏印刷在所述晶片的后侧钝化的侧面上,在设定温度点为780、830和930℃的三区炉中干燥和烧成。使用BSF的Sun Voc测量检测电特性,以及通过横截面的SEM来检测。膏制备、印刷、干燥和烧成都描述在共同所有的美国专利申请公开US2006/0102228和US2006/0289055,其公开内容引入本文作为参考。
由所示的商购玻璃、商购的4~10微米铝粉和商购的2~5微米银粉或片来制备表5中的示例性铝基配方。另外的膏成分包括胶态氧化硅(Cabosil)、标准石英(Min-U-Sil)、硼酸三乙酯(boron ethoxide)和/或正钛酸四乙酯、毕克-加特纳助剂(Anti-Terra204)、有机载体和伊斯曼醇(Texanol)。粘土为Na0.3(Mg,Li)3Si4O10(OH)2,它需要灼烧以去除水分,然后利用传统的方式研碎(球磨),然后在40wt%的煅烧后粘土、59wt%的松油醇和1wt%的Anti-Terra204的比例下进行润湿。毕克-加特纳助剂(Anti-Terra204)是从德国BYK-Chemie Gmbh公司购买的润湿剂。胶态氧化硅(Cabosil)是煅烧的二氧化硅,可以从美国卡博特公司(Cabot公司,Billerica,马里兰州)购得。标准石英(Min-U-Sil)是从美国二氧化硅公司(U.S.Silica Company,BerkeleySprings,West Virginia)获得的晶体二氧化硅。硼酸三乙酯和正钛酸四乙酯都可以从美国Sigma-Aldrich公司(Sigma-Aldrich公司,达拉斯,得克萨斯州)购得。载体131、132、205、402、450和473以及所有涉及的玻璃组合物(以字母EG、GL、IP开始的)都是从俄亥俄州的克利夫兰市的费罗公司(FerroCorporation,Cleveland Ohio)获得。
表5.用于Al烧透应用的示例性膏配方
I | II | III | IV | V | VI | |
成分wt% | ||||||
铝 | 70.38 | 65.41 | 68.46 | 72.31 | 66.31 | 69.08 |
银 | 2.19 | 7.2 | 2.1 | |||
铜 | 3.98 | |||||
标准石英(Min-U-Sil) | 0.39 | 0.36 | 0.4 | |||
胶态氧化硅(Cabosil) | 0.34 | 0.33 | 0.38 | |||
锂蒙脱石 | 4.75 | |||||
硼酸三乙酯 | 1.52 | |||||
正钛酸四乙酯 | 1.43 | |||||
费罗玻璃EG2050 | 0.58 | 0.54 | 0.60 |
费罗玻璃IP510 | 0.97 | 0.90 | 1.0 | |||
费罗玻璃EG9014 | 0.23 | 0.23 | ||||
费罗玻璃GL4317 | 0.49 | |||||
费罗玻璃EG2761 | 0.89 | |||||
费罗玻璃EG2760 | 0.6 | |||||
费罗玻璃EG9063 | 0.15 | 0.22 | ||||
费罗玻璃EG9322 | 0.76 | |||||
费罗玻璃EG9152 | 0.76 | |||||
费罗玻璃EG9294 | 0.5 | |||||
载体205 | 6.11 | 5.67 | 9.45 | 6.27 | 9.22 | 5.8 |
载体450 | 4.85 | 4.5 | 5.1 | 4.98 | 4.99 | 5.7 |
载体131 | 0.37 | |||||
载体132 | 0.2 | 0.2 | ||||
载体402 | 1.69 | |||||
载体473 | 0.61 | 0.5 | ||||
松油醇 | 12.24 | 11.25 | 7.70 | 8.63 | 3.49 | 5.2 |
毕克-加特纳助剂(Anti-Terra) | 0.96 | 0.89 | 1.12 | 0.98 | 1.1 | 0.95 |
伊斯曼醇(Texanol) | 0.51 | 0.70 | 3.98 | 0.52 | 3.88 | 1.62 |
二甘醇单丁醚(Dowanol DB) | 0.02 | 0.02 | 0.06 | 0.3 | ||
海名斯触变剂(Thixatrol) | 0.30 | 0.29 |
表5中的示例性Al-膏被印刷在预涂有后侧银/铝膏CN33-51(从美国费罗公司,克里弗兰,俄亥俄州购买)的硅太阳能电池上。铝是Ampal ULT3510粉末。用200目丝网将约1.7克的各种膏印刷在硅晶片上。在干燥后接触层膏之后,利用280目丝网(指线的开口为100微米,并且线与线之间的间距为2.8毫米)将从美国费罗公司(Ferro Coporation,Cleveland,Ohio)获得的前接触膏CN33-455进行印刷。采用3区红外(IR)传送带炉将印刷后的硅晶片共烧成,其传送带的速度为每分钟约3米(120英寸),其温度分别设定在780℃、830℃和920℃。所述区间分别为7英寸、16英寸和7英寸长。
表6.由表5的示例性膏制备的太阳能电池的性能
膏 | I | II | III |
Sun Voc测量(V) | 0.589 | 0.585 | 0.552 |
弯曲(mm) | 0.928 | 1.245 | 0.305 |
烧成后的表面外观 | 非常光滑 | 非常光滑 | 非常光滑 |
BSF是否形成? | 是 | 是 | 是 |
用91193-1000型(Oriel仪器公司,Stratfor,CT)的太阳能电池测试仪测试这些太阳能电池的电性能,该测试在AM 1.5目光条件下依照ASTMG-173-03来进行测试的。表6中列出了所得到的太阳能电池的电性能,其显示出典型的太阳能电池的电性能和相同硅晶片的弯曲,以将现有技术的低弯曲Al膏和包含本发明的Al-Ag后接触层膏的本发明膏进行比较。Jsc意指电流密度;Isc意指短路电流;Voc意指在零输出电流下测量的开路电压;效率(Eff)和填充因子(FF)是现有技术中已知的。晶片弯曲以毫米来测量。所有四个实施例都形成良好的BSF。
对于本领域的技术人员来说,很容易发现其他的优点和改进。因此,更广范围方面的本发明并不限于本文所显示和描述的特定细节和实例。由此,在没有偏离所附权利要求以及其对等物所限定的本发明总构思的精神或范围的情况下,可以作出各种改进。
Claims (12)
1.一种光电池,其包含硅晶片负载的后接触层,所述后接触层包含至少部分覆盖有烧成后的后侧膏的钝化层,其中,在烧成之前所述膏包含:
a.40~80wt%的铝;
b.0.1~50wt%的银;
c.0.5~10wt%的玻璃;以及
d.15~40wt%的有机载体,
其中,不超过10%的所述后接触层的面积覆盖有烧成后的后侧膏。
2.根据权利要求1所述的光电池,其中,所述膏进一步包含选自由以下金属或非金属所组成的组中的至少一种金属或非金属:钯、铂、金、硼、镓、铟、锌、锡、锑、镁、钾、钛、钒、镍、铜以及它们的组合。
3.根据权利要求1所述的光电池,其中,所述后侧膏在烧成之前包含:
a.60~80wt%的铝;
b.0.5~8wt%的玻璃;
c.1~25wt%的银;以及
d.15~40wt%的有机载体。
4.根据权利要求1所述的光电池,其中,所述玻璃组分包含铅和镉中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的光电池,其中,所述玻璃组分基本上没有铅和镉。
6.根据权利要求1所述的光电池,其中,所述膏进一步包含选自以下陶瓷颗粒所组成的组中的陶瓷颗粒:SiO2、ZnO、MgO、ZrO2、TiO2、Al2O3、PbO、Bi2O3、V2O5、MoO3、WO3、Sb2O3、SnO、In2O3、锂蒙脱石、滑石、高岭土、绿坡缕石、膨润土、绿土、石英、云母、长石、钠长石、正长石、钙长石、硅石以及它们的组合。
7.根据权利要求1所述的光电池,其中,所述膏进一步包含1~50wt%的铜。
8.根据权利要求7所述的光电池,其中,所述后侧膏在烧成之前包含:
a.60~80wt%的铝;
b.0.5~8wt%的玻璃;
c.1~25wt%的银;以及
d.15~40wt%的有机载体。
9.一种光电池,其包含硅晶片负载的后接触层,所述后接触层包含至少部分覆盖有烧成后的后侧膏的钝化层,其中,在烧成之前所述膏包含:
a.40~80wt%的铝;
b.1~50wt%的镍;
c.1~50wt%的铜;
d.0.5~10wt%的玻璃;以及
d.15~40wt%的有机载体,
其中,不超过10%的所述后接触层的面积覆盖有烧成后的后侧膏。
10.一种光电池,其包含硅晶片负载的后接触层,所述后接触层包含至少部分覆盖有烧成后的后侧膏的钝化层,其中,在烧成之前所述膏包含:
a.40~80wt%的铝;
b.1~50wt%的镁;
c.0.5~10wt%的玻璃;以及
d.15~40wt%的有机载体,
其中,不超过10%的所述后接触层的面积覆盖有烧成后的后侧膏。
11.一种光电池,包括:
a.烧成后的前接触层,所述前接触层在烧成之前包含:
i.钝化层;
ii.在所述钝化层上施加的银膏,该银膏包含:
1.银;
2.玻璃组分;和
3.载体,以及
b.烧成后的后接触层,所述后接触层在烧成之前包含:
i.钝化层;
ii.在所述钝化层上施加的铝膏,该铝膏包含:
1.铝;
2.玻璃组分;和
3.载体,
其中,不超过10%的所述后接触层的面积覆盖有烧成后的铝膏。
12.一种太阳能电池,其包含后接触层,其中,所述后接触层包含烧成膏,所述烧成膏在烧成之前包含厚膜膏组合物,所述厚膜膏组合物包含40~80wt%的铝和0.1~50wt%的银,其中,不超过10%的所述后接触层的面积覆盖有烧成后的膏。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/846,552 | 2007-08-29 | ||
US11/846,552 US8309844B2 (en) | 2007-08-29 | 2007-08-29 | Thick film pastes for fire through applications in solar cells |
PCT/US2008/071512 WO2009032429A1 (en) | 2007-08-29 | 2008-07-30 | Thick film pastes for fire through applications in solar cells |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101785113A CN101785113A (zh) | 2010-07-21 |
CN101785113B true CN101785113B (zh) | 2013-06-19 |
Family
ID=40405545
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2008801044033A Expired - Fee Related CN101785113B (zh) | 2007-08-29 | 2008-07-30 | 用于太阳能电池中的烧透应用的厚膜膏 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8309844B2 (zh) |
EP (1) | EP2183783A4 (zh) |
JP (1) | JP5530928B2 (zh) |
KR (1) | KR101492432B1 (zh) |
CN (1) | CN101785113B (zh) |
CA (1) | CA2695568A1 (zh) |
TW (1) | TWI475699B (zh) |
WO (1) | WO2009032429A1 (zh) |
Families Citing this family (117)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009129600A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Toyo Aluminium Kk | ペースト組成物と太陽電池素子 |
JP2009146578A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Noritake Co Ltd | 太陽電池および太陽電池用アルミニウムペースト |
US20090223549A1 (en) * | 2008-03-10 | 2009-09-10 | Calisolar, Inc. | solar cell and fabrication method using crystalline silicon based on lower grade feedstock materials |
TWI493605B (zh) * | 2008-06-11 | 2015-07-21 | Ind Tech Res Inst | 背面電極層的製造方法 |
CN102037573A (zh) * | 2008-06-11 | 2011-04-27 | E.I.内穆尔杜邦公司 | 形成硅太阳能电池的方法 |
EP2302690A4 (en) * | 2008-06-26 | 2015-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | SOLAR BATTERY CELL AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME |
KR100984701B1 (ko) * | 2008-08-01 | 2010-10-01 | 엘지전자 주식회사 | 태양 전지의 제조 방법 |
CN102239565B (zh) * | 2008-12-02 | 2016-04-06 | 三菱电机株式会社 | 太阳能电池单元的制造方法 |
CN101820002B (zh) * | 2009-02-27 | 2013-05-29 | 比亚迪股份有限公司 | 太阳能电池用导电浆料及其制备方法 |
KR101135591B1 (ko) * | 2009-03-11 | 2012-04-19 | 엘지전자 주식회사 | 태양 전지 및 태양 전지 모듈 |
US20100243042A1 (en) * | 2009-03-24 | 2010-09-30 | JA Development Co., Ltd. | High-efficiency photovoltaic cells |
CN102369580A (zh) * | 2009-04-08 | 2012-03-07 | E.I.内穆尔杜邦公司 | 太阳能电池电极 |
WO2010119512A1 (ja) * | 2009-04-14 | 2010-10-21 | 三菱電機株式会社 | 光起電力装置とその製造方法 |
US20100269893A1 (en) * | 2009-04-23 | 2010-10-28 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Metal pastes and use thereof in the production of positive electrodes on p-type silicon surfaces |
US8017428B2 (en) * | 2009-06-10 | 2011-09-13 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process of forming a silicon solar cell |
US7989346B2 (en) * | 2009-07-27 | 2011-08-02 | Adam Letize | Surface treatment of silicon |
JP2011035024A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-02-17 | Toyo Aluminium Kk | ペースト組成物およびそれを用いた太陽電池素子 |
KR101611456B1 (ko) * | 2009-09-02 | 2016-04-11 | 엘지이노텍 주식회사 | 인계 분산제를 포함하는 전극 형성용 페이스트 조성물 |
KR101601272B1 (ko) * | 2009-09-03 | 2016-03-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 낮은 휨 특성을 나타내는 태양전지 후면전극 형성용 조성물 |
JP2011066353A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Noritake Co Ltd | 太陽電池用アルミニウムペースト |
WO2011033826A1 (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-24 | 信越化学工業株式会社 | 太陽電池、その製造方法及び太陽電池モジュール |
EP2325848B1 (en) * | 2009-11-11 | 2017-07-19 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Conductive paste and solar cell |
WO2011066294A1 (en) * | 2009-11-25 | 2011-06-03 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Aluminum pastes and use thereof in the production of passivated emitter and rear contact silicon solar cells |
KR20110061997A (ko) * | 2009-12-02 | 2011-06-10 | 삼성전자주식회사 | 태양 전지 및 이의 제조 방법 |
JP2011142281A (ja) * | 2010-01-09 | 2011-07-21 | Aica Kogyo Co Ltd | ペースト組成物 |
US8252624B2 (en) * | 2010-01-18 | 2012-08-28 | Applied Materials, Inc. | Method of manufacturing thin film solar cells having a high conversion efficiency |
TWI576861B (zh) * | 2010-02-12 | 2017-04-01 | 碩禾電子材料股份有限公司 | 導電鋁膠及其製造方法、太陽能電池及其模組 |
JP5497504B2 (ja) * | 2010-03-23 | 2014-05-21 | 株式会社日立製作所 | 電子部品 |
US20110240124A1 (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Metal pastes and use thereof in the production of silicon solar cells |
CN101866705B (zh) * | 2010-06-22 | 2011-10-05 | 彩虹集团公司 | 一种环保型硅基太阳能电池用背铝浆料及其制备方法 |
KR101741683B1 (ko) * | 2010-08-05 | 2017-05-31 | 삼성전자주식회사 | 도전성 페이스트, 상기 도전성 페이스트를 사용하여 형성된 전극을 포함하는 전자 소자 및 태양 전지 |
DE102010036893B4 (de) * | 2010-08-06 | 2017-01-19 | Hanwha Q.CELLS GmbH | Herstellungsverfahren einer Halbleitervorrichtung |
US8883552B2 (en) | 2010-08-11 | 2014-11-11 | Crystal Solar Inc. | MWT architecture for thin SI solar cells |
KR101309809B1 (ko) * | 2010-08-12 | 2013-09-23 | 제일모직주식회사 | 태양전지용 알루미늄 페이스트 및 이를 이용한 태양전지 |
US8987586B2 (en) | 2010-08-13 | 2015-03-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Conductive paste and electronic device and solar cell including an electrode formed using the conductive paste |
US8668847B2 (en) | 2010-08-13 | 2014-03-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Conductive paste and electronic device and solar cell including an electrode formed using the conductive paste |
SG188359A1 (en) * | 2010-09-01 | 2013-04-30 | Ferro Corp | Via fill material for solar applications |
WO2012033303A2 (en) * | 2010-09-08 | 2012-03-15 | Dongjin Semichem Co., Ltd. | Zno-based glass frit composition and aluminum paste composition for back contacts of solar cell using the same |
EP2448003A3 (en) | 2010-10-27 | 2012-08-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Conductive paste comprising a conductive powder and a metallic glass for forming a solar cell electrode |
US20120111399A1 (en) * | 2010-11-08 | 2012-05-10 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Solar cell electrode |
KR101130196B1 (ko) * | 2010-11-11 | 2012-03-30 | 엘지전자 주식회사 | 태양 전지 |
US20130247957A1 (en) * | 2010-12-06 | 2013-09-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Solar cell and solar-cell module |
US8858843B2 (en) * | 2010-12-14 | 2014-10-14 | Innovalight, Inc. | High fidelity doping paste and methods thereof |
US8709862B2 (en) * | 2011-01-06 | 2014-04-29 | Heraeus Precious Metals North America Conshohocken Llc | Vanadium, cobalt and strontium additives for use in aluminum back solar cell contacts |
US9680036B2 (en) * | 2011-01-06 | 2017-06-13 | Heraeus Precious Metals North America Conshohocken Llc | Organometallic and hydrocarbon additives for use with aluminum back solar cell contacts |
US8815636B2 (en) * | 2011-01-06 | 2014-08-26 | Heraeus Precious Metals North America Conshohocken Llc | Oxides and glasses for use with aluminum back solar cell contacts |
US9105370B2 (en) | 2011-01-12 | 2015-08-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Conductive paste, and electronic device and solar cell including an electrode formed using the same |
US8940195B2 (en) | 2011-01-13 | 2015-01-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Conductive paste, and electronic device and solar cell including an electrode formed using the same |
CN102157220B (zh) * | 2011-02-28 | 2013-09-18 | 张振中 | 晶体硅太阳能电池正面栅线电极专用Ag浆 |
US20130061918A1 (en) * | 2011-03-03 | 2013-03-14 | E. I. Dupont De Nemours And Company | Process for the formation of a silver back electrode of a passivated emitter and rear contact silicon solar cell |
CN102148291B (zh) * | 2011-03-18 | 2013-05-01 | 天威新能源(扬州)有限公司 | 低欧姆接触的背接触电池的制造方法 |
WO2012129184A1 (en) * | 2011-03-18 | 2012-09-27 | Crystal Solar, Inc. | Insitu epitaxial deposition of front and back junctions in single crystal silicon solar cells |
US8486746B2 (en) * | 2011-03-29 | 2013-07-16 | Sunpower Corporation | Thin silicon solar cell and method of manufacture |
JP5120477B2 (ja) * | 2011-04-07 | 2013-01-16 | 日立化成工業株式会社 | 電極用ペースト組成物及び太陽電池 |
CN103582916B (zh) * | 2011-04-07 | 2016-06-01 | Lg化学株式会社 | 用于形成电极的银浆料组合物及其制备方法 |
JP2013008759A (ja) * | 2011-06-23 | 2013-01-10 | Toyo Aluminium Kk | ペースト組成物、太陽電池素子の製造方法および太陽電池素子 |
CN102347094B (zh) * | 2011-07-18 | 2014-03-26 | 湖南威能新材料科技有限公司 | 一种制备晶硅太阳能电池铝背场的铝浆及其制造方法 |
US20150099352A1 (en) * | 2011-07-19 | 2015-04-09 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | COMPOSITION FOR FORMING n-TYPE DIFFUSION LAYER, METHOD OF PRODUCING n-TYPE DIFFUSION LAYER, AND METHOD OF PRODUCING PHOTOVOLTAIC CELL ELEMENT |
KR20140063716A (ko) * | 2011-08-26 | 2014-05-27 | 헤레우스 프레셔스 메탈즈 노스 아메리카 콘쇼호켄 엘엘씨 | SiNx 및 더 양호한 BSF 형성을 위한 파이어 스루 알루미늄 페이스트 |
TW201318995A (zh) * | 2011-08-31 | 2013-05-16 | Nihon Yamamura Glass Co Ltd | 導體形成用無鉛玻璃組成物 |
EP2754185A4 (en) * | 2011-09-09 | 2015-06-03 | Heraeus Precious Metals North America Conshohocken Llc | SOLAR CELL CONTACTS WITH SILVER PASTILLE |
RU2638070C2 (ru) * | 2011-09-13 | 2017-12-11 | Ферро Корпорейшн | Индукционная пайка неорганических подложек |
WO2013046903A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 太陽電池用無鉛導電性ペースト組成物 |
CN102496418B (zh) * | 2011-11-29 | 2013-08-28 | 苏州柏特瑞新材料有限公司 | 一种晶硅太阳能电池背电场合金铝浆及其制备方法 |
CN103177789B (zh) * | 2011-12-20 | 2016-11-02 | 比亚迪股份有限公司 | 一种晶体硅太阳电池导电浆料及其制备方法 |
US8894888B2 (en) * | 2011-12-21 | 2014-11-25 | E I Du Pont De Nemours And Company | Conductive paste composition with synthetic clay additive and its use in the manufacture of semiconductor devices |
EP2607327A1 (en) * | 2011-12-23 | 2013-06-26 | Heraeus Precious Metals GmbH & Co. KG | Thick-film composition containing antimony oxides and their use in the manufacture of semi-conductor devices |
TWI624958B (zh) * | 2012-01-06 | 2018-05-21 | 日商日立化成股份有限公司 | 帶有鈍化膜的半導體基板及其製造方法、以及太陽電池元件及其製造方法 |
CN104011882A (zh) * | 2012-01-12 | 2014-08-27 | 应用材料公司 | 制造太阳能电池装置的方法 |
WO2013109583A2 (en) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Ferro Corporation | Non fire-through aluminum conductor reflector paste for back surface passivated cells with laser fired contacts |
WO2013109466A1 (en) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Ferro Corporation | Aluminum conductor paste for back surface passivated cells with locally opened vias |
US20130183795A1 (en) * | 2012-01-16 | 2013-07-18 | E I Du Pont De Nemours And Company | Solar cell back side electrode |
WO2013115076A1 (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-08 | 東洋アルミニウム株式会社 | ペースト組成物 |
US9082901B2 (en) * | 2012-04-11 | 2015-07-14 | E I Du Pont De Nemours And Company | Solar cell and manufacturing method of the same |
CN104380391A (zh) | 2012-04-18 | 2015-02-25 | 赫劳斯贵金属北美康舍霍肯有限责任公司 | 具有镍金属间组合物的太阳能电池触点 |
CN102637467A (zh) * | 2012-04-27 | 2012-08-15 | 苏州晶讯科技股份有限公司 | 用于硅晶太阳能电池正面电极的导电浆料 |
US8652873B1 (en) * | 2012-08-03 | 2014-02-18 | E I Du Pont De Nemours And Company | Thick-film paste containing lead-vanadium-based oxide and its use in the manufacture of semiconductor devices |
TWI518709B (zh) * | 2012-09-13 | 2016-01-21 | 達泰科技股份有限公司 | 包含細化玻璃顆粒之銀漿及其用於製造光伏元件之用途 |
TWI525642B (zh) * | 2012-09-13 | 2016-03-11 | 達泰科技股份有限公司 | 導電漿料及其用於製造光伏元件之用途 |
TWI518708B (zh) * | 2012-09-13 | 2016-01-21 | 達泰科技股份有限公司 | 包含奈米銀顆粒之銀漿及其用於製造光伏元件之用途 |
US9263601B2 (en) * | 2012-12-21 | 2016-02-16 | Sunpower Corporation | Enhanced adhesion of seed layer for solar cell conductive contact |
KR20140092744A (ko) * | 2012-12-29 | 2014-07-24 | 제일모직주식회사 | 태양전지 전극 형성용 조성물 및 이로부터 제조된 전극 |
TWI506650B (zh) * | 2013-01-10 | 2015-11-01 | Darfon Materials Corp | 銀漿及其用於製造光伏元件之用途 |
CN103151096B (zh) * | 2013-02-06 | 2015-09-02 | 苏州达方电子有限公司 | 银浆及其用于制造光伏组件的用途 |
JP2014154656A (ja) * | 2013-02-07 | 2014-08-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 結晶シリコン型太陽電池、およびその製造方法 |
JP6188480B2 (ja) * | 2013-02-20 | 2017-08-30 | 東洋アルミニウム株式会社 | ペースト組成物、太陽電池素子の製造方法および太陽電池素子 |
US9899545B2 (en) * | 2013-03-27 | 2018-02-20 | Cheil Industries, Inc. | Composition for forming solar cell electrode and electrode produced from same |
EP2787510B1 (en) * | 2013-04-02 | 2018-05-30 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Particles comprising Al, Si and Mg in electro-conductive pastes and solar cell preparation |
US9637409B2 (en) | 2013-04-18 | 2017-05-02 | Ferro Corporation | Low melting glass compositions |
US10027278B2 (en) * | 2013-05-10 | 2018-07-17 | Sinton Consulting, Inc | Characterization of substrate doping and series resistance during solar cell efficiency measurement |
TW201511296A (zh) | 2013-06-20 | 2015-03-16 | Plant PV | 用於矽太陽能電池之核-殼型鎳粒子金屬化層 |
US20150007874A1 (en) * | 2013-07-02 | 2015-01-08 | E I Du Pont De Nemours And Company | Back-contact solar cell module |
US10553738B2 (en) | 2013-08-21 | 2020-02-04 | Sunpower Corporation | Interconnection of solar cells in a solar cell module |
JP2015050349A (ja) * | 2013-09-02 | 2015-03-16 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 太陽電池素子およびその製造方法並びにファイヤースルー用アルミニウムペースト |
TWI509826B (zh) * | 2013-10-09 | 2015-11-21 | Neo Solar Power Corp | 背接觸式太陽能電池及其製造方法 |
CN103730524A (zh) * | 2013-12-19 | 2014-04-16 | 锦州阳光能源有限公司 | 可提高太阳能电池功率的硅片 |
KR101614190B1 (ko) * | 2013-12-24 | 2016-04-20 | 엘지전자 주식회사 | 태양전지 및 이의 제조 방법 |
EP2913139B1 (en) | 2014-02-26 | 2019-04-03 | Heraeus Precious Metals North America Conshohocken LLC | A glass comprising molybdenum and lead in a solar cell paste |
EP2921533A1 (en) | 2014-03-20 | 2015-09-23 | Heraeus Precious Metals North America Conshohocken LLC | Inorganic oxide particles having organic coating |
WO2015178531A1 (ko) * | 2014-05-20 | 2015-11-26 | 주식회사 이건창호 | 촉매금속페이스트를 이용하는 염료감응태양전지의 상대전극 제조방법 및 이를 이용한 염료감응태양전지 |
EP3250532B1 (en) * | 2015-01-26 | 2019-12-18 | Ferro Corporation | Grain boundary healing glasses and their use in transparent enamels, transparent colored enamels and opaque enamels |
JP6495713B2 (ja) * | 2015-03-30 | 2019-04-03 | 京セラ株式会社 | 太陽電池素子およびその製造方法 |
WO2017035103A1 (en) | 2015-08-25 | 2017-03-02 | Plant Pv, Inc | Core-shell, oxidation-resistant particles for low temperature conductive applications |
US10418497B2 (en) | 2015-08-26 | 2019-09-17 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Silver-bismuth non-contact metallization pastes for silicon solar cells |
US10217876B2 (en) * | 2015-09-25 | 2019-02-26 | Heraeus Precious Metals North America Conshohocken Llc | Poly-siloxane containing organic vehicle for electroconductive pastes |
EP3381047A4 (en) * | 2015-11-24 | 2019-07-03 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | BURNED MULTILAYER STACKS IN INTEGRATED CIRCUITS AND SOLAR CELLS |
US10696851B2 (en) | 2015-11-24 | 2020-06-30 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Print-on pastes for modifying material properties of metal particle layers |
CN106297953A (zh) * | 2016-08-11 | 2017-01-04 | 通威太阳能(合肥)有限公司 | 一种用于电池片背场的抗黑点铝浆及其使用方法 |
CN106601330B (zh) * | 2016-08-30 | 2018-02-23 | 南通天盛新能源股份有限公司 | 高填充率perc电池局域接触背场铝浆及其制备方法与应用 |
US20190198707A1 (en) * | 2016-09-21 | 2019-06-27 | Korea University Research And Business Foundation | Method of forming an electrode structure and method of manufacturing a photovoltaic cell using the same |
US10115505B2 (en) * | 2017-02-23 | 2018-10-30 | E I Du Pont De Nemours And Company | Chip resistor |
JP6741626B2 (ja) * | 2017-06-26 | 2020-08-19 | 信越化学工業株式会社 | 高効率裏面電極型太陽電池及びその製造方法 |
NL2020545B1 (en) * | 2018-03-07 | 2019-09-13 | Rgs Dev B V | Thermoelectric conversion device |
JP2021530087A (ja) * | 2018-07-06 | 2021-11-04 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | 金属粒子層の材料特性を改質するための金属系添加剤を含む印刷可能なペースト |
CN111139987A (zh) * | 2018-11-02 | 2020-05-12 | 光之科技(北京)有限公司 | 一种面层材料、光伏建材及其制备方法 |
CN110491545B (zh) * | 2019-09-04 | 2021-05-18 | 南通天盛新能源股份有限公司 | 一种n型太阳能电池正面细栅浆料及其制备方法 |
CN115332364B (zh) * | 2022-08-10 | 2024-08-13 | 西南交通大学 | 太阳能电池钝化涂覆料、制备方法及钝化方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5431741A (en) * | 1992-12-11 | 1995-07-11 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Silicon solar cell |
Family Cites Families (59)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3615772A (en) | 1969-04-25 | 1971-10-26 | Owens Illinois Inc | Fluorine-containing borate glass compositions |
FR2388381A1 (fr) | 1976-12-27 | 1978-11-17 | Labo Electronique Physique | Composition dielectrique, pate serigraphiable comportant une telle composition et produits obtenus |
JPS5485399A (en) | 1977-12-21 | 1979-07-06 | Hitachi Ltd | Dielectric paste |
US4256513A (en) * | 1978-10-19 | 1981-03-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Photoelectric conversion device |
FR2451899A1 (fr) | 1979-03-23 | 1980-10-17 | Labo Electronique Physique | Composition dielectrique, encre serigraphiable comportant une telle composition, et produits obtenus |
US4347262A (en) * | 1980-11-26 | 1982-08-31 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Aluminum-magnesium alloys in low resistance contacts to silicon |
US4375007A (en) | 1980-11-26 | 1983-02-22 | E. I. Du Pont De Nemours & Co. | Silicon solar cells with aluminum-magnesium alloy low resistance contacts |
US4379319A (en) | 1982-02-18 | 1983-04-05 | Ferro Corporation | Monolithic ceramic capacitors and improved ternary ceramic compositions for producing same |
US4517155A (en) | 1982-05-18 | 1985-05-14 | Union Carbide Corporation | Copper base metal termination for multilayer ceramic capacitors |
JPH0680151B2 (ja) * | 1985-06-06 | 1994-10-12 | 東洋アルミニウム株式会社 | 導電性塗料 |
US4880567A (en) | 1987-08-20 | 1989-11-14 | General Electric Company | Thick film copper conductor inks |
US4906406A (en) | 1988-07-21 | 1990-03-06 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Thermistor composition |
JPH0764588B2 (ja) | 1989-04-28 | 1995-07-12 | 日本電気硝子株式会社 | 被覆用ガラス組成物 |
US5296426A (en) | 1990-06-15 | 1994-03-22 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Low-fire X7R compositions |
US5165986A (en) | 1991-06-05 | 1992-11-24 | Ferro Corporation | Copper conductive composition for use on aluminum nitride substrate |
JP2758749B2 (ja) * | 1991-10-17 | 1998-05-28 | シャープ株式会社 | 光電変換装置及びその製造方法 |
JP2989373B2 (ja) * | 1992-05-08 | 1999-12-13 | シャープ株式会社 | 光電変換装置の製造方法 |
US5378408A (en) | 1993-07-29 | 1995-01-03 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Lead-free thick film paste composition |
US5543333A (en) | 1993-09-30 | 1996-08-06 | Siemens Solar Gmbh | Method for manufacturing a solar cell having combined metallization |
US5439852A (en) | 1994-08-01 | 1995-08-08 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Cadmium-free and lead-free thick film conductor composition |
US5491118A (en) | 1994-12-20 | 1996-02-13 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Cadmium-free and lead-free thick film paste composition |
DE19508712C2 (de) | 1995-03-10 | 1997-08-07 | Siemens Solar Gmbh | Solarzelle mit Back-Surface-Field und Verfahren zur Herstellung |
JPH08273434A (ja) * | 1995-04-03 | 1996-10-18 | Okuno Chem Ind Co Ltd | 導電性アルミニウム合金ペースト組成物 |
BR9610739A (pt) | 1995-10-05 | 1999-07-13 | Ebara Sola Inc | Célula solar e processo para sua fabricação |
US5641362A (en) | 1995-11-22 | 1997-06-24 | Ebara Solar, Inc. | Structure and fabrication process for an aluminum alloy junction self-aligned back contact silicon solar cell |
US5948536A (en) | 1996-05-10 | 1999-09-07 | Tdk Corporation | Glass composition for substrates with a built-in lead base dielectric material, and multilayer substrate with a built-in capacitor |
US6225392B1 (en) | 1996-05-15 | 2001-05-01 | Asahi Glass Company Ltd. | Conductive paste |
DE19650111B4 (de) | 1996-12-03 | 2004-07-01 | Siemens Solar Gmbh | Solarzelle mit geringer Abschattung und Verfahren zur Herstellung |
US5753571A (en) | 1997-02-13 | 1998-05-19 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Lead and cadmium-free encapsulant composition |
US5792716A (en) | 1997-02-19 | 1998-08-11 | Ferro Corporation | Thick film having acid resistance |
JPH1197726A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-04-09 | Daido Hoxan Inc | 太陽電池の製法 |
US6171987B1 (en) | 1997-12-29 | 2001-01-09 | Ben-Gurion University Of The Negev | Cadmium-free and lead-free glass compositions, thick film formulations containing them and uses thereof |
DE19910816A1 (de) | 1999-03-11 | 2000-10-05 | Merck Patent Gmbh | Dotierpasten zur Erzeugung von p,p+ und n,n+ Bereichen in Halbleitern |
US6262359B1 (en) | 1999-03-17 | 2001-07-17 | Ebara Solar, Inc. | Aluminum alloy back junction solar cell and a process for fabrication thereof |
US6185087B1 (en) | 1999-04-08 | 2001-02-06 | Kemet Electronics Corp. | Multilayer ceramic chip capacitor with high reliability compatible with nickel electrodes |
JP2000323735A (ja) | 1999-05-10 | 2000-11-24 | Mitsubishi Electric Corp | 光起電力装置の製造方法及び光起電力装置 |
DE19945866A1 (de) * | 1999-09-24 | 2001-03-29 | Dmc2 Degussa Metals Catalysts | Verfahren zur Herstellung einer leitfähigen Beschichtung auf Glas oder emailliertem Stahl und hiernach beschichtete Substrate |
US6632730B1 (en) | 1999-11-23 | 2003-10-14 | Ebara Solar, Inc. | Method for self-doping contacts to a semiconductor |
DE10046170A1 (de) * | 2000-09-19 | 2002-04-04 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Herstellung eines Halbleiter-Metallkontaktes durch eine dielektrische Schicht |
US6673274B2 (en) | 2001-04-11 | 2004-01-06 | Cabot Corporation | Dielectric compositions and methods to form the same |
JP4726354B2 (ja) * | 2001-08-22 | 2011-07-20 | 東洋アルミニウム株式会社 | ペースト組成物およびそれを用いた太陽電池 |
JP3910072B2 (ja) | 2002-01-30 | 2007-04-25 | 東洋アルミニウム株式会社 | ペースト組成物およびそれを用いた太陽電池 |
JP2004006565A (ja) * | 2002-04-16 | 2004-01-08 | Sharp Corp | 太陽電池とその製造方法 |
AU2003272986A1 (en) * | 2002-10-15 | 2004-05-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | Solar cell and solar cell module using same |
US7170001B2 (en) * | 2003-06-26 | 2007-01-30 | Advent Solar, Inc. | Fabrication of back-contacted silicon solar cells using thermomigration to create conductive vias |
EP1687852A2 (en) | 2003-11-27 | 2006-08-09 | Kyocera Corporation | Solar cell module |
JP2005347628A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Sharp Corp | 電極形成方法、電極及び太陽電池 |
US7176152B2 (en) | 2004-06-09 | 2007-02-13 | Ferro Corporation | Lead-free and cadmium-free conductive copper thick film pastes |
US6982864B1 (en) | 2004-06-09 | 2006-01-03 | Ferro Corporation | Copper termination inks containing lead free and cadmium free glasses for capacitors |
US7339780B2 (en) | 2004-06-09 | 2008-03-04 | Ferro Corporation | Copper termination inks containing lead free and cadmium free glasses for capacitors |
US20060102228A1 (en) | 2004-11-12 | 2006-05-18 | Ferro Corporation | Method of making solar cell contacts |
US7494607B2 (en) * | 2005-04-14 | 2009-02-24 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Electroconductive thick film composition(s), electrode(s), and semiconductor device(s) formed therefrom |
US8093491B2 (en) | 2005-06-03 | 2012-01-10 | Ferro Corporation | Lead free solar cell contacts |
US7771623B2 (en) * | 2005-06-07 | 2010-08-10 | E.I. du Pont de Nemours and Company Dupont (UK) Limited | Aluminum thick film composition(s), electrode(s), semiconductor device(s) and methods of making thereof |
US7718092B2 (en) | 2005-10-11 | 2010-05-18 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Aluminum thick film composition(s), electrode(s), semiconductor device(s) and methods of making thereof |
JP2007194580A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-08-02 | E I Du Pont De Nemours & Co | 太陽電池電極用ペースト |
US8076570B2 (en) | 2006-03-20 | 2011-12-13 | Ferro Corporation | Aluminum-boron solar cell contacts |
NO20061668L (no) * | 2006-04-12 | 2007-10-15 | Renewable Energy Corp | Solcelle og fremgangsmate for fremstilling av samme |
JP4963866B2 (ja) * | 2006-04-28 | 2012-06-27 | シャープ株式会社 | 光電変換素子の製造方法 |
-
2007
- 2007-08-29 US US11/846,552 patent/US8309844B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-07-30 CA CA2695568A patent/CA2695568A1/en not_active Abandoned
- 2008-07-30 EP EP08796804.6A patent/EP2183783A4/en not_active Withdrawn
- 2008-07-30 KR KR1020107003846A patent/KR101492432B1/ko active IP Right Grant
- 2008-07-30 CN CN2008801044033A patent/CN101785113B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-07-30 JP JP2010523009A patent/JP5530928B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-07-30 WO PCT/US2008/071512 patent/WO2009032429A1/en active Application Filing
- 2008-07-31 TW TW097128988A patent/TWI475699B/zh not_active IP Right Cessation
-
2012
- 2012-09-13 US US13/615,271 patent/US8802970B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5431741A (en) * | 1992-12-11 | 1995-07-11 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Silicon solar cell |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2183783A4 (en) | 2017-06-21 |
US20130040422A1 (en) | 2013-02-14 |
CA2695568A1 (en) | 2009-03-12 |
WO2009032429A1 (en) | 2009-03-12 |
KR101492432B1 (ko) | 2015-02-12 |
US20090056798A1 (en) | 2009-03-05 |
EP2183783A1 (en) | 2010-05-12 |
US8309844B2 (en) | 2012-11-13 |
JP2010538466A (ja) | 2010-12-09 |
TWI475699B (zh) | 2015-03-01 |
US8802970B2 (en) | 2014-08-12 |
CN101785113A (zh) | 2010-07-21 |
TW200915581A (en) | 2009-04-01 |
KR20100051075A (ko) | 2010-05-14 |
JP5530928B2 (ja) | 2014-06-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101785113B (zh) | 用于太阳能电池中的烧透应用的厚膜膏 | |
CN102214704B (zh) | 铝-硼太阳能电池接触层 | |
CN101730941B (zh) | 含铝、和硼、钛、镍、锡、银、镓、锌、铟及铜中的至少一种的太阳能电池接触层 | |
JP6325980B2 (ja) | SINxおよび良好なBSF形成のためのファイアスルーアルミニウムペースト | |
KR101183943B1 (ko) | 무연 태양 전지 컨택트 | |
US20150007881A1 (en) | Aluminum conductor paste for back surface passivated cells with locally opened vias | |
US8815636B2 (en) | Oxides and glasses for use with aluminum back solar cell contacts | |
US20140352778A1 (en) | Solar cell pastes for low resistance contacts | |
WO2013109583A2 (en) | Non fire-through aluminum conductor reflector paste for back surface passivated cells with laser fired contacts |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: HERAEUS PRECIOUS METALS NORTH AMERICA CONSHOHOCKEN Free format text: FORMER OWNER: FERRO CORP. Effective date: 20140415 |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20140415 Address after: Delaware Patentee after: FERRO CORP. Address before: ohio Patentee before: Ferro Corp. |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130619 Termination date: 20200730 |