CN102148291B - 低欧姆接触的背接触电池的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种低欧姆接触的背接触电池的制造方法,依次包括步骤:硅片测试检验、硅片预清洗、去除损伤层、单面沉积SiN层、单面制作小绒面、在SiN膜侧丝网印刷掩蔽膜、在SiN膜侧刻蚀N+层窗口、正面背面同时扩散N+层并形成磷硅玻璃阻挡层、去除SiN层、P+层扩散并形成钝化SiO2层薄膜、丝网印刷引线孔掩蔽膜、刻蚀引线孔同时去除正面的磷硅玻璃和SiO2层、蒸镀钛薄膜、正面沉积SiN层、丝网印刷正负电极、正负电极烘干烧结、测试分选、入库。采用该方法制造的被接触电池,蒸镀一层钛薄膜降低了被接触电池的接触电阻,提高了电池的转换效率,各个步骤采用常规工艺,便于实施,生产成本低,有利于背接触电池的推广应用。
Description
技术领域
本发明涉及一种光伏电池,尤其涉及低欧姆接触的背接触电池的制造方法。
背景技术
目前,光伏发电成本和火电成本相比,成本过高是制约光伏发电大规模应用的主要障碍。开发新一代高率低成本太阳电池,使其发电成本接近或等于火电成本,对于解决目前能源短缺与环境污染的问题,实现国民经济和社会可持续发展具有重大的现实和长远意义。
目前硅片质量逐渐提高,常规电池的效率为17.5~18.2%,在大多工厂中可以实现。SE电池比较容易得到广大技术人员重视的一种工艺,与常规电池工艺相比较,转换效率只能提高0.5%,与常规工艺相比工艺较复杂,生产成本较高,推广应用比较困难。背接触电池,目前规模化生产的最高效率为22.3%,是最有前途,能够推广应用的一种生产技术。但是背接触电池的接触电阻比较高,影响了转换效率。
发明内容
发明目的:本发明的目的在于提供一种低欧姆接触的背接触电池的制造方法,采用该方法制造出的背接触电池,接触电阻低提高了电池的转换效率,且生产工艺简单、成本低,便于推广使用。
技术方案:为了实现上述发明目的,本发明采用的技术解决方案为:
一种低欧姆接触的背接触电池的制造方法,依次包括步骤:硅片测试检验、硅片预清洗、去除损伤层、单面沉积SiN层、单面制作小绒面、在SiN膜侧丝网印刷掩蔽膜、在SiN膜侧刻蚀N+层窗口、正面背面同时扩散N+层并形成磷硅玻璃阻挡层、去除SiN层、P+层扩散并形成钝化SiO2层薄膜、丝网印刷引线孔掩蔽膜、刻蚀引线孔同时去除正面的磷硅玻璃和SiO2层、蒸镀钛薄膜、正面沉积SiN层、丝网印刷正负电极、正负电极烘干烧结、测试分选、入库。
在SiN膜侧丝网印刷掩蔽膜、正面背面同时扩散N+层并形成磷硅玻璃阻挡层、P+层扩散并形成钝化SiO2层薄膜、丝网印刷引线孔掩蔽膜、丝网印刷正负电极,这些步骤都需要光学对准,在硅片的对角线上,靠近硅片的边缘位置,都制作同样的尺寸,同样间距的光学对准图形。
蒸镀钛薄膜的工艺条件为:真空蒸镀为5×10-5 Torr,钛薄膜厚度为0.5~1um,掩蔽膜板与电池片的光学对准图形误差为±20um,蒸镀时间为10~20SEC。
烘干烧结温度为500~800℃。
背接触电池的正负极都采用丝网印刷工艺,丝网印刷工艺效率高,在形成正负电极的工艺中成本低。每一种浆料都有自己的一个最佳烧结工艺,而且工艺规范要求比较严格。正面浆料通常是由银粉,溶剂和玻璃料三部分组成,在烧结过程中,溶剂首先先挥发,然后玻璃粉融化,并穿透SiN,硅与金属氧化物发生反应PbO+Si→Pb+SiO2;Ag2O+Si→Ag+SiO2,Ag和被融化的Si同时融入玻璃料中,在烧结过程中,通过氧化还原反应,被还原出Pb是液态,当液态Pb与Ag相遇,根据Pb-Ag熔体,腐蚀硅的[100]晶面,在Ag-Si相图中,形成合金的最低温度为830℃,其比例为Ag:Si=14.5:85.5,则Ag和Si形成混合相,可以在830℃形成固态合金,玻璃料的作用是形成一种Ag和Pb的混合态,以使其合金含量下降,使得银在低于830℃的温度下,产生溶解,在冷却时,玻璃料中多余的Si,外延生长在硅衬底上,Ag的晶粒则在Si的表面随机生长,正面浆料经过正确的烧结工艺,形成的导电机理大体上有三个通路:第一个通路,Ag颗粒和栅线直接接触;第二个通路,通过玻璃层的隧道效应;第三个通路,通过沉积在玻璃层中的金属颗粒的多重隧道效应。因此,具有较低软化的玻璃料,软化后溶解的银多,形成的玻璃层较厚,造成接触电阻高,具有较高软化的玻璃料,溶解的Ag较少,但Ag与Si之间形成的玻璃层较薄,形成的欧姆接触电阻低。玻璃料是一种绝缘体,玻璃层太厚,其接触电阻急剧增加,银硅接触时,其接触电阻与硅表面的参杂浓度密切相关,硅的参杂浓度越高,接触电阻越低,为了提高电池的短波响应,总是要降低硅表面的掺杂浓度,随之接触电阻增大,填充因子降低,电池的输出功率下降,经验数据表明,当硅表面的掺杂浓度为35~55Ω/□时,银浆料通过合理的烧结工艺,其接触电阻范围为3~10mΩ.cm2,如果掺杂浓度为100Ω/□时,在硅的表面蒸镀一层钛薄膜,经过合理的烧结温度处理,电极与硅的接触电阻范围为0.1~0.2 mΩ.cm2,两者接触电阻相差30到100倍。
蒸镀钛薄膜:325目的丝网,丝直径为23um,目前最细栅线设计约90um,已经是普通采用的工艺水平。背接触电极的引线孔为Ф300um,印刷后最小尺寸能够保证Ф250um,在电性能方面是可以保证的。
有益效果:本发明与现有技术相比,其有益效果是:
1、蒸镀一层钛薄膜降低了被接触电池的接触电阻,提高了电池的转换效率;
2、钛膜太薄可焊性和导电性都较差,其后再印刷正负电极,保证在大电流条件下工作,且可焊性能良好;
3、各个步骤采用常规工艺,便于实施,生产成本低,有利于背接触电池的推广应用。
具体实施方式
通过实施例,对本发明的技术方案进行详细说明,但是本发明的保护范围不局限于所述实施例。
一种低欧姆接触的背接触电池的制造方法,依次包括步骤:硅片测试检验、硅片预清洗、去除损伤层、单面沉积SiN层、单面制作小绒面、在SiN膜侧丝网印刷掩蔽膜、在SiN膜侧刻蚀N+层窗口、正面背面同时扩散N+层并形成磷硅玻璃阻挡层、去除SiN层、P+层扩散并形成钝化SiO2层薄膜、丝网印刷引线孔掩蔽膜、刻蚀引线孔同时去除正面的磷硅玻璃和SiO2层、蒸镀钛薄膜、正面沉积SiN层、丝网印刷正负电极、正负电极烘干烧结、测试分选、入库。
在SiN膜侧丝网印刷掩蔽膜、正面背面同时扩散N+层并形成磷硅玻璃阻挡层、P+层扩散并形成钝化SiO2层薄膜、丝网印刷引线孔掩蔽膜、丝网印刷正负电极,这些步骤都需要光学对准,在硅片的对角线上,靠近硅片的边缘位置,都制作同样的尺寸,同样间距的光学对准图形。
蒸镀钛薄膜的工艺条件为:真空蒸镀为5×10-5 Torr,钛薄膜厚度为0.5~1um,掩蔽膜板与电池片的光学对准图形误差为±20um,蒸镀时间为10~20SEC。
烘干烧结的烧结温度为500~800℃。
Claims (4)
1.一种低欧姆接触的背接触电池的制造方法,其特征在于依次包括步骤:硅片测试检验、硅片预清洗、去除损伤层、单面沉积SiN层、单面制作小绒面、在SiN膜侧丝网印刷掩蔽膜、在SiN膜侧刻蚀N+层窗口、正面背面同时扩散N+层并形成磷硅玻璃阻挡层、去除SiN层、P+层扩散并形成钝化SiO2层薄膜、丝网印刷引线孔掩蔽膜、刻蚀引线孔同时去除正面的磷硅玻璃和SiO2层、蒸镀钛薄膜、正面沉积SiN层、丝网印刷正负电极、正负电极烘干烧结、测试分选、入库。
2.根据权利要求1所述的低欧姆接触的背接触电池的制造方法,其特征在于:在SiN膜侧丝网印刷掩蔽膜、正面背面同时扩散N+层并形成磷硅玻璃阻挡层、P+层扩散并形成钝化SiO2层薄膜、丝网印刷引线孔掩蔽膜、丝网印刷正负电极,这些步骤都需要光学对准,在硅片的对角线上,靠近硅片的边缘位置,都制作同样的尺寸,同样间距的光学对准图形。
3.根据权利2所述的低欧姆接触的背接触电池的制造方法,其特征在于:蒸镀钛薄膜的工艺条件为:真空蒸镀为5×10-5 Torr,钛薄膜厚度为0.5~1um,掩蔽膜板与电池片的光学对准图形误差为±20um,蒸镀时间为10~20SEC。
4.根据权利1所述的低欧姆接触的背接触电池的制造方法,其特征在于:正负电极烘干烧结的烧结温度为500~800℃。
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