CN101699253B - 靶材金相组织的显示方法 - Google Patents

靶材金相组织的显示方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101699253B
CN101699253B CN 200910208835 CN200910208835A CN101699253B CN 101699253 B CN101699253 B CN 101699253B CN 200910208835 CN200910208835 CN 200910208835 CN 200910208835 A CN200910208835 A CN 200910208835A CN 101699253 B CN101699253 B CN 101699253B
Authority
CN
China
Prior art keywords
described sample
metallographic structure
target
sample
etching solution
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN 200910208835
Other languages
English (en)
Other versions
CN101699253A (zh
Inventor
姚力军
潘杰
王学泽
陈勇军
刘庆
Original Assignee
Ningbo Jiangfeng Electronic Material Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ningbo Jiangfeng Electronic Material Co Ltd filed Critical Ningbo Jiangfeng Electronic Material Co Ltd
Priority to CN 200910208835 priority Critical patent/CN101699253B/zh
Publication of CN101699253A publication Critical patent/CN101699253A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101699253B publication Critical patent/CN101699253B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigating And Analyzing Materials By Characteristic Methods (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

本发明提供一种靶材金相组织的显示方法，包括：提供靶材，所述靶材为钽或钽合金；从所述靶材中切取一部分作为试样；对所述试样进行表面处理，形成至少一抛光面；使用第一浸蚀液对所述试样进行第一腐蚀处理；使用第二浸蚀液对所述试样进行第二腐蚀处理；利用金相显微镜对所述试样进行观察。与现有技术相比，本发明具有如下优点：使得所述试样的金相组织具有良好的显示效果，便于观察和分析。

Description

靶材金相组织的显示方法
技术领域
本发明涉及靶材金相组织的显示方法。
背景技术
金属材料的内部组织结构与硬度、强度、延展性等材料性能有着直接和密切的联系，而金相观察则是研究金属材料内部组织结构最为直接有效的方法，采用定量金相学原理，由二维金相试样磨面或薄膜的金相显微组织的测量和计算来确定试样的金相组织的三维空间形貌，从而建立组成成分、组织和性能间的定量关系。
以用作靶材的钽或钽合金的金相观察为例，在现有技术中，一般的方法为：从钽靶材中切取一部分作为试样；对所述试样作表面化处理，去除表面的氧化物；将所述试样置于由硝酸、硫酸和氢氟酸构成的浸蚀液中进行腐蚀处理；取出所述试样，清洗并烘干，利用金相显微镜对所述试样的金相组织进行观察。另外，有关金属或其合金金相组织的显示方法，可以参阅申请号为200610154461.X的中国专利申请文件的相关技术内容。
上述常规方法带来的问题表现为：在对所述钽或钽合金的试样进行腐蚀处理时采用的是含硝酸、硫酸和氢氟酸的一种浸蚀液，化学腐蚀的浸蚀剂对组织腐蚀速度不易控制，腐蚀后的表面易产生氧化膜，影响组织细节的观察，有时会产生组织的假象。所述浸蚀液在处理较低纯度的钽或钽合金的金相组织时效果较明显，但对于高纯度的钽或钽合金，例如纯度为3N5(99.95％)或以上，的金相组织的晶界显示效果却差强人意。
因此，对于显示高纯度或超高纯度的靶材的金相组织，如何选择合适的浸蚀剂，使得靶材的金相组织的晶界显示效果良好，就显得十分必要。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：在现有高纯度或超高纯度靶材金相组织的显示方法中仅使用单一浸蚀液对试样进行腐蚀作业很难获得清晰的金相组织的晶界形貌，影响观察效果，进行而导致金相组织分析失误的问题。
为解决上述问题，本发明提供一种靶材金相组织的显示方法，其包括：提供靶材，所述靶材为钽或钽合金；从所述靶材中切取一部分作为试样；对所述试样进行表面处理，形成至少一抛光面；使用第一浸蚀液对所述试样进行第一腐蚀处理；使用第二浸蚀液对所述试样进行第二腐蚀处理；利用金相显微镜对所述试样进行观察。
可选地，所述靶材的纯度至少大于等于99.95％。
可选地，所述试样的尺寸小于200mm2，厚度为15mm至20mm。
可选地，所述表面处理包括打磨处理和抛光处理。
可选地，所述打磨处理包括：以水为作为润湿剂，依次采用粒度递减的砂纸进行至少一次带水磨光；每次换砂纸后将所述试样转动90度，直到把上一道工序的划痕磨掉，且每次换砂纸前须用水将所述试样清洗干净。
可选地，所述砂纸分别为400#、800#和1500#的碳化硅或金刚砂砂纸。
可选地，所述抛光处理包括：以酒精作为润湿剂，利用研磨抛光机，将所述试样在蘸有金刚石研磨膏的绒布或绸布上进行机械抛光，抛光结束后用清水冲洗并冷却所述试样。
可选地，所述研磨抛光机的转速为350转/分钟至450转/分钟，处理时间为2分钟至3分钟。
可选地，所述第一腐蚀处理具体包括：提供第一浸蚀液，所述第一浸蚀液是由硫酸、硝酸和氢氟酸以5∶2∶2混合而成；至少将所述试样的抛光面浸润至第一浸蚀液中进行腐蚀，所述腐蚀的时间为100秒至200秒。
可选地，所述第二腐蚀处理具体包括：提供第二浸蚀液，所述第二浸蚀液是由硫酸、硝酸和氢氟酸以2∶2∶5混合而成；至少将所述试样的抛光面浸润至第二浸蚀液中进行腐蚀，所述腐蚀的时间为150秒至250秒。
可选地，在利用金相显微镜对所述试样进行观察之前还包括清洗所述试样的步骤。
可选地，所述清洗试样的步骤具体包括：在所述试样进行腐蚀处理后，将所述试样自所述第二浸蚀液中取出，单独用水和酒精中的任一种或者先用水再用酒精清洗所述试样，然后烘干。
与现有技术相比，本发明所提供的靶材金相组织的显示方法，采用两种浸蚀液对靶材试样依序进行腐蚀，使得所述试样的金相组织具有良好的显示效果，便于观察和分析。
附图说明
图1为本发明靶材金相组织的显示方法在一实施例中的流程图；
图2为本发明靶材金相组织的显示方法在一实施例中从靶材中切取试样的示意图；
图3为本发明靶材金相组织的显示方法在一实施例中通过两种浸蚀液对试样进行腐蚀的状态示意图。
具体实施方式
本发明的发明人发现，在显示高纯度或超高纯度靶材金相组织时使用的是单一浸蚀液进行腐蚀作业往往很难获得清晰的金相组织的晶界形貌，影响观察效果。有鉴于此，本发明的发明人设想在对试样进行腐蚀作业时采用多种不同的浸蚀液执行多步骤的腐蚀处理，这样，就可以使得所述试样的金相组织具有良好的显示效果，便于观察和分析。
本发明提供一种靶材金相组织的显示方法，所述方法包括：提供靶材，所述靶材为钽或钽合金；从所述靶材中切取一部分作为试样；对所述试样进行表面处理，形成至少一抛光面；使用第一浸蚀液对所述试样进行第一腐蚀处理；使用第二浸蚀液对所述试样进行第二腐蚀处理；利用金相显微镜对所述试样进行观察。
下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。
参考图1，本发明实施方式提供一种靶材金相组织的显示方法，包括如下步骤：
步骤S1，提供靶材，所述靶材为钽或钽合金；
步骤S2，从所述靶材中切取一部分作为试样；
步骤S3，对所述试样进行打磨处理；
步骤S4，对所述试样进行抛光处理，形成至少一抛光面；
步骤S5，使用第一浸蚀液对所述试样进行第一腐蚀处理；
步骤S6，使用第二浸蚀液对所述试样进行第二腐蚀处理；
步骤S7，清洗所述试样；
步骤S8，利用金相显微镜对所述试样进行观察。
下面结合附图对于上述实例过程进行详细说明。
执行步骤S1，提供靶材，所述靶材为钽或钽合金。所述靶材的形状可以根据应用环境、溅射设备的实际要求，例如为矩形、圆形、环形、圆锥形或其他类似形状(包括规则形状和不规则形状)中的任一种。另外，在本实施例中，采用的是高纯度或超高纯度的靶材，其纯度至少大于等于99.95(3N5)。
接着执行步骤S2，从所述靶材中切取一部分作为试样。如图2所示，在本实施例中，可以采用例如手锯、锯床或切割机床等方式从靶材20中切取一部分作为试样200。所述试样200的尺寸以面积小于200.mm2，厚度15mm至20mm为宜，例如可以呈16mm*12mm的矩形状。另外，无论采用何种切取方法，均应注意所述试样的温度条件，必要时用水冷却，以避免所述试样因过热而改变其组织。
接着执行步骤S3，对所述试样进行打磨处理。所述打磨处理具体包括：以水作为润湿剂，依次采用400#、800#和1500#的碳化硅或金刚砂砂纸对所述试样进行一次带水磨光，每次换砂纸后将所述试样转动90度，直到把上一道工序的划痕磨掉，新的划痕方向一致，且每次换砂纸前须用水将所述试样清洗干净，以除去砂粒。所述打磨处理时间为5分钟至10分钟。
接着执行步骤S4，对所述试样进行抛光处理。所述抛光处理具体包括：提供研磨抛光机，在所述研磨抛光机上配置有绒布或绸布；在实际操作时，运转所述研磨抛光机并带动所述绒布或绸布，以酒精作为润湿剂，将所述试样在蘸有金刚石研磨膏的绒布或绸布上进行机械抛光，所述研磨抛光机的转速为350转/分钟至450转/分钟，处理时间为2分钟至3分钟；待机械抛光结束后，用清水冲洗并冷却所述试样。
通过上述步骤S3和S4的表面处理，去除所述试样表面的氧化物，形成至少一抛光面。
接着执行步骤S5，使用第一浸蚀液对所述试样进行第一腐蚀处理。同时参阅图3，所述第一腐蚀处理具体包括：提供第一浸蚀液30，所述第一浸蚀液30是由硫酸∶硝酸∶氢氟酸＝5∶2∶2混合而成；至少将所述试样200的抛光面浸润至第一浸蚀液30中进行腐蚀，所述腐蚀的时间为100秒至200秒。
接着执行步骤S6，使用第二浸蚀液对所述试样进行第二腐蚀处理。同时参阅图3，所述第二腐蚀处理具体包括：提供第二浸蚀液40，所述第二浸蚀液40是由硫酸∶硝酸∶氢氟酸＝2∶2∶5混合而成；至少将所述试样200的抛光面浸润至第二浸蚀液40中进行腐蚀，所述腐蚀的时间为150秒至250秒。
需说明的是，在本实施例中，使用第一浸蚀液对所述试样进行第一腐蚀处理之后并将所述试样自第一浸蚀液取出后就可直接将所述试浸润至第二浸蚀液中进行第二腐蚀处理，但并不以此为限，在其他实施例中，也可以包括在第一腐蚀处理之后、在进行第二腐蚀处理之前用清水清洗所述试样的步骤。
另外，在本实施例中，是先执行步骤S5的第一腐蚀处理后执行步骤S6的第二腐蚀处理，但并不以此为限，在其他实施例中，我们也可以先执行步骤S6后执行步骤S5。实验证明：无论是采用先执行步骤S5后执行步骤S6还是先执行步骤S6后执行步骤S5所得到的所述试样的腐蚀效果，都要比现有技术中采用单一浸蚀液的腐蚀处理后的所述试样的腐蚀效果来得好。
再有，步骤S5中的第一浸蚀液或步骤S6中的第二浸蚀液中各成分的配比仅为较佳实施例，并非用于限制本发明。本发明的创新点主要在于：相比于现有技术采用单一浸蚀液进行腐蚀处理，本发明使用了两种不同的浸蚀液进行二道次的腐蚀工艺。因此，步骤S5中的第一浸蚀液或步骤S6中的第二浸蚀液中各成分及其配比在不违背本发明的精神下仍可作其他的变更或调整。
接着执行步骤S7，清洗所述试样。在本实施例中，所述清洗具体包括：首先用清水清洗所述试样；再用高纯度的酒精(浓度为75％至100％)清洗所述试样；烘干所述试样。
最后执行步骤S8，利用金相显微镜对所述试样进行观察。由于通过上述各步骤，特别是步骤S5的第一腐蚀处理和步骤S6的第二腐蚀处理可以使得所述试样的金相组织具有良好的显示效果，再利用金相显微镜就能很好地进行观察，有利于对所述试样的金相结构作出正确的分析。
虽然本发明已以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (12)

1.一种靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述方法包括：
提供靶材，所述靶材为钽或钽合金；
从所述靶材中切取一部分作为试样；
对所述试样进行表面处理，形成至少一抛光面；
使用第一浸蚀液对所述试样进行第一腐蚀处理，所述第一浸蚀液是由硫酸、硝酸和氢氟酸以5∶2∶2混合而成；
使用第二浸蚀液对所述试样进行第二腐蚀处理，所述第二浸蚀液是由硫酸、硝酸和氢氟酸以2∶2∶5混合而成；
利用金相显微镜对所述试样进行观察。
2.根据权利要求1所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述靶材的纯度至少大于等于99.95％。
3.根据权利要求1所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述试样的尺寸小于200mm2，厚度为15mm至20mm。
4.根据权利要求1所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述表面处理包括打磨处理和抛光处理。
5.根据权利要求4所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述打磨处理包括：以水为作为润湿剂，依次采用粒度递减的砂纸进行至少一次带水磨光；每次换砂纸后将所述试样转动90度，直到把上一道工序的划痕磨掉，且每次换砂纸前须用水将所述试样清洗干净。
6.根据权利要求5所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述砂纸分别为400#、800#和1500#的碳化硅或金刚砂砂纸。
7.根据权利要求4所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述抛光处理包括：以酒精作为润湿剂，利用研磨抛光机，将所述试样在蘸有金刚石研磨膏的绒布或绸布上进行机械抛光，抛光结束后用清水冲洗并冷却所述试样。
8.根据权利要求7所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述研磨抛光机的转速为350转/分钟至450转/分钟，处理时间为2分钟至3分钟。
9.根据权利要求1所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述第一腐蚀处理具体包括：提供第一浸蚀液；至少将所述试样的抛光面浸润至第一浸蚀液中进行腐蚀，所述腐蚀的时间为100秒至200秒。
10.根据权利要求1所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述第二腐蚀处理具体包括：提供第二浸蚀液；至少将所述试样的抛光面浸润至第二浸蚀液中进行腐蚀，所述腐蚀的时间为150秒至250秒。
11.根据权利要求1所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，在利用金相显微镜对所述试样进行观察之前还包括清洗所述试样的步骤。
12.根据权利要求11所述的靶材金相组织的显示方法，其特征在于，所述清洗试样的步骤具体包括：在所述试样进行腐蚀处理后，将所述试样自所述第二浸蚀液中取出，单独用水和酒精中的任一种或者先用水再用酒精清洗所述试样，然后烘干。
CN 200910208835 2009-10-29 2009-10-29 靶材金相组织的显示方法 Active CN101699253B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200910208835 CN101699253B (zh) 2009-10-29 2009-10-29 靶材金相组织的显示方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200910208835 CN101699253B (zh) 2009-10-29 2009-10-29 靶材金相组织的显示方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101699253A CN101699253A (zh) 2010-04-28
CN101699253B true CN101699253B (zh) 2011-07-27

Family

ID=42147716

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200910208835 Active CN101699253B (zh) 2009-10-29 2009-10-29 靶材金相组织的显示方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101699253B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102928266A (zh) * 2011-08-08 2013-02-13 上海万泰韬略检测技术有限公司 一种无砂纸、无绒布的新型现场金相快速制样方法

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102486460B (zh) * 2010-12-01 2013-11-27 中国科学院金属研究所 一种高Nb铁镍基高温合金中Laves相和碳化物相的区别方法
CN102519776A (zh) * 2011-12-02 2012-06-27 宁波江丰电子材料有限公司 金相腐蚀剂、钨的腐蚀方法及其金相组织显示方法
CN103454115A (zh) * 2012-05-29 2013-12-18 宁波江丰电子材料有限公司 圆形靶材的取样方法和检测方法
CN103913416A (zh) * 2012-12-31 2014-07-09 宁波江丰电子材料有限公司 靶材检测方法
CN103472265B (zh) * 2013-09-02 2018-02-27 复旦大学 观测tsv铜晶粒的方法
CN103866325A (zh) * 2014-03-18 2014-06-18 重庆市科学技术研究院 双相WC-Ni硬质合金微观组织暴露剂及微观组织观察方法
CN104764647B (zh) * 2015-03-25 2018-02-02 上海交通大学 一种大型铸锻件宏观偏析简易三维重构方法
CN106346344A (zh) * 2015-07-15 2017-01-25 宁波江丰电子材料股份有限公司 铜靶材表面的处理方法
CN109507188A (zh) * 2018-12-26 2019-03-22 艾普零件制造（苏州）股份有限公司 一种等温淬火球墨铸铁金相组织的定性鉴别方法
CN109738444A (zh) * 2019-03-01 2019-05-10 株洲硬质合金集团有限公司 一种快速检测钽、铌及其合金金相组织的方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1048362A1 (ru) * 1982-02-05 1983-10-15 Камский Кабельный Завод Им.50-Летия Ссср Реактив дл вы влени макроструктуры свинца и его сплавов
CN101738340A (zh) * 2008-11-06 2010-06-16 北京有色金属研究总院 一种制备显示钽钨合金金相组织样品的方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1048362A1 (ru) * 1982-02-05 1983-10-15 Камский Кабельный Завод Им.50-Летия Ссср Реактив дл вы влени макроструктуры свинца и его сплавов
CN101738340A (zh) * 2008-11-06 2010-06-16 北京有色金属研究总院 一种制备显示钽钨合金金相组织样品的方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102928266A (zh) * 2011-08-08 2013-02-13 上海万泰韬略检测技术有限公司 一种无砂纸、无绒布的新型现场金相快速制样方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN101699253A (zh) 2010-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101699253B (zh) 靶材金相组织的显示方法
CN101738340B (zh) 一种制备显示钽钨合金金相组织样品的方法
CN101701886B (zh) 金相腐蚀剂、铜的腐蚀方法及其金相组织的显示方法
CN104878389B (zh) 一种纯镍金相腐蚀液及其腐蚀方法
CN104513985A (zh) 一种镍铬合金金相腐蚀液及腐蚀方法
CN104236993B (zh) 一种同时显示轴承钢奥氏体晶界和晶内马氏体的方法
CN1967197A (zh) 一种制备铝硅铜系合金金相样品及显示组织的方法
CN109211645A (zh) 铬钽钛合金的金相浸蚀剂及其金相组织的显示方法
CN101603894B (zh) 一种硬质合金刀具表面碳氮化钛涂层浸蚀剂及其使用方法
CN102721593A (zh) 一种显示马氏体耐热钢原始奥氏体晶界的方法
CN109187152A (zh) 一种用于显示耐热钢原始奥氏体晶界的腐蚀剂及显示方法
CN105839111A (zh) 一种制备ebsd样品的机械抛光液、制备方法及机械抛光方法
CN103575585B (zh) 一种低铍铜合金金相腐蚀剂及低铍铜合金金相组织的显示方法
CN104562012A (zh) 一种铁基高温合金试样金相腐蚀液及腐蚀方法
CN103226074A (zh) 一种用于EBSD测试的Cu-Ni合金电解抛光方法
CN102443840B (zh) 金相组织电解液、钴的腐蚀方法及其金相组织显示方法
CN103512791A (zh) 一种高铌β钛合金的晶界腐蚀方法
CN102519776A (zh) 金相腐蚀剂、钨的腐蚀方法及其金相组织显示方法
CN102443841A (zh) 金相组织电解液、钼的腐蚀方法及其金相组织显示方法
CN108663257A (zh) 一种镍钛合金的金相腐蚀剂及金相组织显示方法
CN101532928B (zh) 一种制备电铸镍金相样品及显示组织的方法
CN102661883A (zh) 快速制备as7g03/as8u3铝合金金相试样的方法
CN102419275A (zh) 一种钼铌合金金相组织的观测方法
CN109632436A (zh) 一种高氮不锈钢的ebsd测试试样表面处理方法
CN101603886B (zh) 方形靶材的取样方法和检测方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Method for displaying metallographic structure of target

Effective date of registration: 20121113

Granted publication date: 20110727

Pledgee: Export Import Bank of China

Pledgor: Ningbo Jiangfeng Electronic Materials Co., Ltd.

Registration number: 2012990000688

PLDC Enforcement, change and cancellation of contracts on pledge of patent right or utility model
PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Date of cancellation: 20131206

Granted publication date: 20110727

Pledgee: Export Import Bank of China

Pledgor: Ningbo Jiangfeng Electronic Materials Co., Ltd.

Registration number: 2012990000688

PLDC Enforcement, change and cancellation of contracts on pledge of patent right or utility model
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Method for displaying metallographic structure of target

Effective date of registration: 20131220

Granted publication date: 20110727

Pledgee: Export Import Bank of China

Pledgor: Ningbo Jiangfeng Electronic Materials Co., Ltd.

Registration number: 2013990001013

PLDC Enforcement, change and cancellation of contracts on pledge of patent right or utility model
C56 Change in the name or address of the patentee
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: 315400, Zhejiang Yuyao Economic Development Zone, state science and Technology Industrial Park, Ann Road

Patentee after: NINGBO JIANGFENG ELECTRONIC MATERIAL CO., LTD.

Address before: 315400, Zhejiang Yuyao Economic Development Zone, state science and Technology Industrial Park, Ann Road

Patentee before: Ningbo Jiangfeng Electronic Materials Co., Ltd.

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Date of cancellation: 20170505

Granted publication date: 20110727

Pledgee: Export Import Bank of China

Pledgor: Ningbo Jiangfeng Electronic Materials Co., Ltd.

Registration number: 2013990001013

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Method for displaying metallographic structure of target

Effective date of registration: 20170510

Granted publication date: 20110727

Pledgee: Bank of China Limited by Share Ltd Yuyao branch

Pledgor: NINGBO JIANGFENG ELECTRONIC MATERIAL CO., LTD.

Registration number: 2017330000038

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Date of cancellation: 20180316

Granted publication date: 20110727

Pledgee: Bank of China Limited by Share Ltd Yuyao branch

Pledgor: NINGBO JIANGFENG ELECTRONIC MATERIAL CO., LTD.

Registration number: 2017330000038

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Method for displaying metallographic structure of target

Effective date of registration: 20180320

Granted publication date: 20110727

Pledgee: Bank of China Limited by Share Ltd Yuyao branch

Pledgor: NINGBO JIANGFENG ELECTRONIC MATERIAL CO., LTD.

Registration number: 2018330000064

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Date of cancellation: 20200825

Granted publication date: 20110727

Pledgee: Bank of China Limited by Share Ltd. Yuyao branch

Pledgor: KONFOONG MATERIALS INTERNATIONAL Co.,Ltd.

Registration number: 2018330000064

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Display method of metallographic structure of target

Effective date of registration: 20200908

Granted publication date: 20110727

Pledgee: Bank of China Limited by Share Ltd. Yuyao branch

Pledgor: KONFOONG MATERIALS INTERNATIONAL Co.,Ltd.

Registration number: Y2020330000675