CN101657480A - 可碱性显影树脂、其制备方法和包含该可碱性显影树脂的感光组合物 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种新型可碱性显影树脂、制备该可碱性显影树脂的方法、包含该可碱性显影树脂的感光组合物和通过使用该感光组合物制备的器件。在使用所述可碱性显影树脂作为感光组合物的成分的情况下,改善了图形的感光性、显影性和膜保持率。
Description
技术领域
[1]本发明涉及一种新型可碱性显影树脂、制备该可碱性显影树脂的方法、包含该可碱性显影树脂的感光组合物和应用该感光组合物的器件。更具体而言,本发明涉及一种能够改善感光性、可显影性和膜保持率(filmremaining rate)的新型可碱性显影树脂和包含该可碱性显影树脂的感光组合物。
[2]本申请要求享有于2007年2月8日在KIPO提交的韩国专利申请第10-2007-0013145号的优先权,其公开的内容全部以参考的方式引入本文。
背景技术
[3]感光组合物已经用于多种用途,例如用于制备滤色片的光敏剂、保护膜光敏剂和柱形衬垫材料(column spacer)等。通常,感光组合物包含可碱性显影树脂、具有烯键式不饱和键的可聚合化合物、光聚合引发剂、溶剂等。将感光组合物涂敷到基板上形成膜,借助于光掩膜等通过使用放射线的辐射将膜的预定部分进行曝光,并将未曝光部分进行显影处理以将其除去,从而形成图案。
[4]然而,当使用感光组合物时,为了改进方法的每单位时间的产率,要缩短曝光时间和显影时间。因此,需用改善感光组合物的感光性和可显影性。
[5]改善感光组合物的感光性的代表性方法包括使用具有高感光性的光引发剂或提高所使用的光引发剂的用量。然而,存在的问题是,具有高的感光性的光引发剂相当昂贵。另外,在提高所用光引发剂的用量的情况下,由于在坚膜过程中产生大量可升华的异质材料,所以可能污染烘箱或者可能污染元件(例如LCD面板中的液晶)。
[6]近来,为了向用在感光组合物中的可碱性显影树脂的侧链上添加可光聚合的官能团,已经开发了可碱性显影树脂和烯键式不饱和化合物的光致交联法。
[7]例如,韩国专利申请公开第2000-0012118号公开了一种方法,该方法使可碱性显影树脂链上的羧基或醇基与(甲基)丙烯酰基氧基烷基异氰酸酯进行缩合反应,以便将(甲基)丙烯酰基引入可碱性显影树脂的链中。另外,韩国专利申请公开第2001-0018075号公开了一种方法,该方法使可碱性显影树脂链上的羧基与(甲基)丙烯酸缩水甘油酯进行缩合反应,以便将(甲基)丙烯酰基引入到可碱性显影树脂的链中。关于这点,感光性与引入到可碱性显影树脂中的光聚合反应基团的比例直接成比例。但是,由于上述光聚合反应基团被引入到可碱性显影树脂的酸性基团上,如果提高可碱性显影树脂的光聚合反应基团的比例,则剩余的酸性基团的比例相对减少,从而降低可显影性。
[8]因此,为了同时满足感光性和可显影性,在引入光聚合官能团之前制备可碱性显影树脂时,需要加入过量的酸性基团单元以提高可碱性显影树脂中的酸性基团单元的比例,从而在引入大量的光聚合官能团之后保持所需的酸值。
[9]但是,由于具有高酸值的可碱性显影树脂相对于用于引入光聚合官能团的溶剂来说具有低的溶解性,所以存在的问题是,在聚合过程中产生沉淀,从而不能确保得到所需的分子量。为了提高具有高酸值的可碱性显影树脂对于溶剂的溶解性,在聚合过程中可以使用具有高极性的溶剂。然而,具有高极性的溶剂可能阻碍滤色片颜料的分散稳定性。另外,当制备可碱性显影树脂时,如果提高酸性基团单元的比例,则向膜提供其它膜性能的单元的比例相对降低。从而,不可能得到所需的其它的膜性能。
[10]韩国专利申请公开第2005-0094163号公开了一种方法,该方法在向包含酸性基团的聚合物中引入光聚合反应基团之后另外引入酸性基团,以制备可碱性显影树脂。在该聚合方法中,当引入光聚合反应基团时,由于在光聚合反应基团中包含相当少数量的酸性基团,所以聚合物在具有低极性的溶剂中具有优异的溶解性。但是,该可碱性显影树脂的缺点在于,虽然可碱性显影树脂能够充分提供反应基团和酸性基团,但是在坚膜处理过程中,图案的膜保持率被降低。
发明内容
技术问题
[11]本发明的目的是提供一种能够改善感光性、可显影性和膜保持率的可碱性显影树脂、制备该可碱性显影树脂的方法、包含该可碱性显影树脂的感光组合物和应用该感光组合物的器件。
技术方案
[12]本发明提供了一种可碱性显影树脂,该可碱性显影树脂包含由以下通式1表示的单元、由通式2表示的单元、由通式3表示的单元、由通式4表示的单元和由通式5表示的单元。优选地,本发明提供了由以下通式6表示的可碱性显影树脂。
[通式1]
[通式2]
[通式3]
[通式4]
[通式5]
[通式6]
[25]其中,R1为氢或与X一起形成例如琥珀酰亚胺或琥珀酸酐的5元环形羧酸酸酐或二酰亚胺结构的基团;
[26]R2各自独立地为氢或甲基;
[27]R3为源于选自下列化合物中的化合物的基团:(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、烯丙基缩水甘油醚、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯、5-降冰片烯-2-甲基-2-甲酸缩水甘油酯(内型和外型(endo and exo)混合物)、1,2-环氧-5-己烯和1,2-环氧-9-癸烯;
[28]R4各自独立地为C1~C4烷氧基;
[29]X为选自以下基团中的任意一种:C1~C12烷基酯、用1~2个羟基取代的C2~C6烷基酯、用C1~C3烷氧基取代的C2~C6烷基酯、用卤素基团取代的C1~C6烷基酯、C1~C3烷氧基聚(n=2~30)亚烷基(C2~C3)二醇酯、用苯基取代的C1~C6烷基酯、用C1~C6烷基取代的苯基、用C1~C6烷氧基取代的苯基、用卤素基团取代的苯基、C1~C6烷氧基甲基、环氧丙氧基甲基和与R1一起形成例如马来酰亚胺或马来酸酐的5元环形羧酸酸酐或二酰亚胺结构的基团;
[30]a、b、c、d和e各自为摩尔比,a在10~90的范围内,b在5~30的范围内,c在1~40的范围内,以及d和e各自独立地在1~40的范围内;
[31]Y为通过使用由以下通式7表示的化合物和由上述通式2表示的单元的醇基的开环聚合反应而生成的基团,
[通式7]
[34]其中,A为选自氢、C1~C6烷氧基、苯氧基、未取代或用卤素取代的C1~C10烷基、包含1~3个不饱和基团的C2~C10链烯基和苯基中的任意一种,以及
[35]B为选自C1~C6烷氧基、苯氧基、未取代或用卤素取代的C1~C10亚烷基、包含1~3个不饱和基团的C2~C10亚链烯基和亚苯基中的任意一种,并且A和B可以彼此连接以形成五元环或六元环。
[36]另外,本发明提供一种制备可碱性显影树脂的方法,该方法包括a)聚合用于形成由以上通式1表示的单元的单体和用于形成由以上通式2表示的单元的单体以制备聚合物;b)将由以上通式7表示的化合物加入到上述步骤a)的聚合物中并进行聚合反应以制备聚合物;和c)将包含环氧基团的化合物加入到上述步骤b)的聚合物中以进行聚合反应。
[37]此外,本发明提供了一种包含所述可碱性显影树脂的感光组合物,以及通过使用该感光组合物制备的滤色片、保护膜和柱形衬垫材料。
有益效果
[38]由于根据本发明的可碱性显影树脂包含足够的能够参加光聚合反应的光聚合反应基团,所以所述可碱性显影树脂具有优异的感光性,并且由于所述可碱性显影树脂包含足够的酸性基团,所以所述可碱性显影树脂具有优异的可显影性。另外,由于在将酸性基团提供给包含醇基的聚合物之后,将光聚合反应基团加入到其中以制备可碱性显影树脂,所以在聚合反应过程中不包含酸性基团。因此,由于具有优异的溶解性的聚合物可以用在具有低极性的溶剂中,所以在聚合过程中可将关于沉淀的问题降至最小。因此,在将上述可碱性显影树脂用在感光组合物中的情况下,可以明显改善感光性、可显影性和图案的膜保持率,而没有上述现有技术中存在的问题。
附图说明
[39]图1为在本发明合成实施例1中制备的可碱性显影树脂的NMR图谱;和
[40]图2为在本发明合成实施例2中制备的可碱性显影树脂的NMR图谱。
具体实施方式
[41]在下文中,将详细描述本发明。
[42]根据本发明的可碱性显影树脂包含由通式1表示的单元、由通式2表示的单元、由通式3表示的单元、由通式4表示的单元和由通式5表示的单元。
[43]在上述通式4~6中,R3优选为-CH2-C(OH)H-CH2-O-C(O)-C(CH2)H或-CH2-C(OH)H-CH2-O-C(O)-C(CH2)-CH3,但不限于此。
[44]在上述通式3~6中,Y可由以下结构式表示,但不限于此。
[46]在上述结构式中,A和B和上述通式7中的限定一样。
[47]下面将详细描述包含由通式1表示的单元、由通式2表示的单元、由通式3表示的单元、由通式4表示的单元和由通式5表示的单元的可碱性显影树脂。
[48]由上述通式1表示的单元可提供给通过涂敷包含根据本发明的可碱性显影树脂的感光组合物形成的膜以膜性能,并且根据作为取代基的R1、R2和X的类型可控制显影抗性或耐化学性。
[49]另外,在常规的用在已知感光组合物中的可碱性显影树脂中包含由上述通式1表示的单元,并且膜的膜性能根据单元的构型而改变是公知的。例如,在由上述通式1表示的单元中的X为具有长链的烷基酯(例如为乙基己基酯)的情况下,与具有短链的烷基酯(例如甲基酯)的情况相比,聚合物的玻璃化转变温度较低并且形成的膜相对较软。因此,改善了可显影性或涂敷性能。另外,在当X具有非活动移动的结构的情况下,例如,在当X为苯基的情况下,与X不是苯基的化合物的情况相比,聚合物的玻璃化转变温度较高并且形成的膜具有相对较高的硬度。因此,改善了耐化学性。然而,关于根据玻璃化转变温度的聚合物的性能,由于优点经常重叠,所以可根据感光组合物的目的决定单元的类型和单元的混合比。
[50]由上述通式2表示的单元的醇基用于改善对玻璃基底的粘合强度,并且由上述通式2表示的单元的部分提供了醇基以形成上述通式3表示的单元。
[51]由上述通式3表示的单元源于由上述通式2表示的单元,也就是说,由上述通式3表示的单元具有其中将羧酸基团引入到由上述通式2表示的单元的醇基上的结构。所述羧酸基团可通过使用由上述通式2表示的单元的醇基与所加入的由通式7表示的化合物的开环缩合反应来生成。上述的羧酸基团可提供酸基团以形成由通式4或5表示的单元并改善可显影性。
[52]由上述通式7表示的化合物的具体实例可包括由以下结构式8~15表示的化合物。在它们中间,最优选由以下结构式9表示的化合物,但并不限定于此。
[结构式8]
[结构式9]
[结构式10]
[结构式11]
[结构式12]
[结构式13]
[结构式14]
[结构式15]
[69]由上述通式4表示的单元和由上述通式5表示的单元源于由上述通式3表示的单元,也就是说,由上述通式4表示的单元和由上述通式5表示的单元具有如下一种结构,在该结构中,作为光聚合反应基团的(甲基)丙烯酰基氧基被另外地引入到由上述通式3表示的单元中的羧酸基团上。所述丙烯酰基氧基可通过使用由上述通式3表示的单元中的羧基与所添加的具有环氧基的化合物(例如(甲基)丙烯酸缩水甘油酯)的开环缩合反应而生成。在曝光过程中,上述(甲基)丙烯酰基氧基的乙烯不饱和基团与感光组合物的烯键式不饱和化合物一起聚合,这有助于提高膜的光聚合密度。另外,由上述通式4表示的单元和由通式5表示的单元包括所有的(甲基)丙烯酰基氧基和羧酸基团,这有助于改善感光性和可显影性。此外,在引入由通式4表示的单元和由通式5表示的单元(它们为光聚合反应基团)的情况下,由于和已知的可碱性显影反应基团的情况相比可以引入大量的(甲基)丙烯酰基氧基,所以可以显著改善感光性。
[70]优选根据本发明的可碱性显影树脂的酸值在30~300KOH mg/g的范围内,且重均分子量在1,000~200,000的范围内。
[71]下面将详细描述一种制备可碱性显影树脂的方法,所述可碱性显影树脂包含由上述通式1表示的单元、由通式2表示的单元、由通式3表示的单元、由通式4表示的单元和由通式5表示的单元。
[72]首先,通过使用本领域中已知的多种聚合方法中的任意一种可以制备包含由上述通式1表示的单元和由上述通式2表示的单元的聚合物,所述聚合方法包括自由基聚合、阳离子聚合、阴离子聚合、缩聚等。考虑到制备的容易性或经济效率,更优选采用自由基聚合。
[73]例如,包含由上述通式1表示的单元和由上述通式2表示的单元的聚合物可以通过以下步骤制备:将用于形成由通式1表示的单元的单体和用于形成由上述通式2表示的单元的单体与聚合溶剂混合;在预定温度下加热混合物;和用氮气吹扫以除去氧气。另外,优选地,如果必要可以添加自由基聚合反应引发剂和链转移剂并且可保持聚合反应温度。在上述方法中,可以根据所用聚合引发剂的温度的半衰期来确定聚合反应温度和聚合反应时间。例如,由于2,2′-偶氮二异丁腈(AIBN)在70℃的半衰期为4.8小时,所以当采用2,2′-偶氮二异丁腈时,优选聚合反应时间为6小时以上。通常,优选聚合反应温度在50~150℃的范围内且聚合反应时间在30分钟~48小时的范围内。
[74]用于形成由上述通式1表示的单元的单体的实例可包括,但不限于选自以下化合物中的一种或多种化合物:不饱和羧酸酯,例如(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯、(甲基)丙烯酸羟乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-氯丙酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸乙酰辛氧基-2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸甘油酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸3-甲氧基丁酯、(甲基)丙烯酸乙氧基二乙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三乙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三丙二醇酯、聚(乙二醇)甲醚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基二乙二醇酯、对-壬基苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、对-壬基苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸四氟丙酯、(甲基)丙烯酸1,1,1,3,3,3-六氟异丙酯、(甲基)丙烯酸八氟戊酯、(甲基)丙烯酸十七氟癸酯和(甲基)丙烯酸三溴苯酯;芳香族乙烯基化合物,例如苯乙烯、α-甲基苯乙烯、(邻、间、对)-乙烯基甲苯、(邻、间、对)-甲氧基苯乙烯和(邻、间、对)-氯苯乙烯;不饱和醚化合物,例如乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚和烯丙基缩水甘油醚;N-乙烯基叔胺化合物,例如N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基咔唑和N-乙烯基吗啉;不饱和二酰亚胺化合物,例如N-苯基马来酰亚胺、N-(4-氯苯基)马来酰亚胺、N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺和N-环己基马来酰亚胺;和马来酸酐化合物,例如马来酸酐和甲基马来酸酐。
[75]用于形成由上述通式2表示的单元的单体可为包含醇基和烯键式不饱和基团的化合物。所述单体的更具体的实例包括,但不限于选自α-羟甲基丙烯酸甲酯、α-羟甲基丙烯酸乙酯、α-羟甲基丙烯酸丙酯、α-羟甲基丙烯酸丁酯等中的一种或多种化合物。
[76]上述自由基聚合反应引发剂可为本领域已知的引发剂,且自由基聚合反应引发剂的具体实例包括2,2′-偶氮二异丁腈(AIBN)、2,2′-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2,2′-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、过氧化苯甲酰、过氧化月桂酰、过氧化新戊酸叔丁酯、1,1′-二-(二叔丁基过氧化)环己烷等。
[77]上述链转移剂用于控制重均分子量,且链转移剂的具体实例可包括,但不限于正己硫醇、正辛硫醇、正十二烷硫醇、叔十二烷硫醇、巯基乙酸、3-巯基丙酸、α-甲基苯乙烯二聚物等。
[78]由上述通式7表示的化合物可被添加到如上述制备的包含由上述通式1表示的单元和由通式2表示的单元的聚合物中,以形成由上述通式3表示的单元。这可通过使用由通式2表示的单元中的羟基与由通式7表示的化合物中的无水二羧酸的开环缩合反应来形成。另外,在添加少量催化剂的情况下,上述缩合反应可以更容易地发生。能被用在本发明中的催化剂可为本领域中已知的作为缩合反应催化剂的常规催化剂。所述催化剂的实例可包括为碱性催化剂的烷基铵盐、三苯基膦、三苯基锑、二甲氨基吡啶。优选上述缩合反应的反应温度在90~120℃的范围内且反应时间在1~24小时的范围内。
[79]可将含有环氧基团的化合物引入包含所制备的由通式1、2和3表示的单元的聚合物中,以形成由上述通式4表示的单元和由通式5表示的单元。含有环氧基团的化合物的实例可包括(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、烯丙基缩水甘油醚、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯、5-降冰片烯-2-甲基-2-甲酸缩水甘油酯(内型和外型混合物)、1,2-环氧-5-己烯和1,2-环氧-9-癸烯等。更优选采用(甲基)丙烯酸缩水甘油酯。但是,含有环氧基团的化合物并不限于此。
[80]通过使用由通式3表示的单元中的酸基团和含有环氧基团的化合物(例如(甲基)丙烯酸缩水甘油酯)中的环氧基团的开环缩合反应,可形成由上述通式4表示的单元和由通式5表示的单元。上述缩合反应可通过采用本领域中已知的方法进行。在上述反应中,当引入由上述通式3表示的单元时所用的上述催化剂可以继续用作催化剂。因此,在引入了由上述通式3表示的单元的反应之后,可加入含有环氧基团的化合物(例如(甲基)丙烯酸缩水甘油酯),以形成由通式4表示的单元和由通式5表示的单元。关于这点,包含在由上述通式3表示的单元中的羧酸用作亲核试剂来通过使用上述催化剂除去一个氢离子并以阴离子形式存在,其攻击含有环氧基团的化合物(例如(甲基)丙烯酸缩水甘油酯)中的环氧基团,从而进行反应。
[81]优选上述缩合反应的反应温度在100~150℃的范围内且反应时间在1~24小时的范围内。在上述温度范围内,由于含有环氧基团的化合物(例如(甲基)丙烯酸缩水甘油酯)中的乙烯基可通过热聚合发生凝胶化,所以可以使用对上述聚合反应有用的热聚合抑制剂。所述热聚合抑制剂的代表性实例包括4-甲氧基苯酚(MEHQ)。
[82]另外,本发明提供了一种感光组合物,其包含A)可碱性显影树脂;B)具有烯键式不饱和键的可聚合化合物;C)光聚合引发剂;和D)溶剂。
[83]根据本发明的感光组合物可包括作为上述可碱性显影树脂A)的选自包含由上述通式1表示的单元、由通式2表示的单元、由通式3表示的单元、由通式4表示的单元和由通式5表示的单元的可碱性显影树脂中的一种或多种。
[84]基于100重量份的上述感光组合物,该感光组合物优选包含A)1~30重量份的可碱性显影树脂;B)0.5~20重量份的具有烯键式不饱和键的可聚合化合物;C)0.1~15重量份的光聚合引发剂;和D)35~95重量份的溶剂。另外,在添加添加剂的情况下,基于100重量份的感光组合物,所述添加剂优选包含0.5~20重量份的着色剂和0.01~20重量份的其它添加剂。
[85]具有烯键式不饱和键的可聚合化合物B)的实例可包括选自如下化合物中的一种或多种:通过用α,β-不饱和羧酸酯化多元醇得到的化合物,例如二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、包含2~14个亚乙基的聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、包含2~14个亚丙基的聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、五(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯和六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯;通过将(甲基)丙烯酸加入到包含缩水甘油基的化合物中得到的化合物,例如三羟甲基丙烷三缩水甘油醚丙烯酸加合物和双酚A二缩水甘油醚丙烯酸加合物;由具有羟基或烯键式不饱和键的化合物与多元羧酸得到的酯化合物,以及具有羟基或烯键式不饱和键的化合物与多异氰酸酯的加合物,例如(甲基)丙烯酸β-羟乙酯的邻苯二甲酸的二酯和(甲基)丙烯酸β-羟乙酯与甲苯二异氰酸酯的加合物;以及(甲基)丙烯酸烷基酯,例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯和(甲基)丙烯酸2-乙基己酯。但是,可聚合化合物并不限于此,且本领域中已知的材料可用作可聚合化合物。
[86]所述光聚合引发剂C)的实例可包括选自如下化合物中的一种或多种化合物:基于三嗪的化合物,例如2,4-三氯甲基-(4′-甲氧基苯基)-6-三嗪、2,4-三氯甲基-(4′-甲氧基苯乙烯基)-6-三嗪、2,4-三氯甲基-(pyflonyl)-6-三嗪、2,4-三氯甲基-(3′,4′-二甲氧基苯基)-6-三嗪和3-{4-[2,4-双(三氯甲基)-均-三嗪-6-基]苯基硫基}丙酸;基于联咪唑的化合物,例如2,2′-双(2-氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基联咪唑和2,2′-双(2,3-二氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基联咪唑;基于苯乙酮的化合物,例如2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基-1-丙酮、4-(2-羟基乙氧基)-苯基(2-羟基)丙基酮、1-羟基环己基苯基酮、苯甲酰基甲基醚、苯甲酰基乙基醚、苯甲酰基异丁基醚、苯甲酰基丁基醚、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2-甲基-(4-甲基硫基苯基)-2-吗啉基-1-丙酮和2-苯甲基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮;基于二苯甲酮的化合物,例如二苯甲酮、4,4′-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4′-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基氨基二苯甲酮、甲基-邻-苯甲酰苯甲酸酯、3,3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮和3,3′,4,4′-四(叔丁基过氧基羰基)二苯甲酮;基于芴酮的化合物,例如9-芴酮、2-氯-9-芴酮和2-甲基-9-芴酮;基于噻吨酮的化合物,例如噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、异丙基噻吨酮和二异丙基噻吨酮;基于呫吨酮的化合物,例如呫吨酮和2-甲基呫吨酮;基于蒽醌的化合物,例如蒽醌、2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、叔丁基蒽醌和2,6-二氯-9,10-蒽醌;基于吖啶的化合物,例如9-苯基吖啶、1,7-双(9-吖啶基)庚烷、1,5-双(9-吖啶基)戊烷和1,3-双(9-吖啶基)丙烷;基于二羰基的化合物,例如苯甲基、1,7,7-三甲基-双氯[2,2,1]庚烷-2,3-二酮和9,10-菲醌;基于氧化膦的化合物,例如2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-2,4,4-三甲基戊基氧化膦和双(2,6-二氯苯甲酰基)丙基氧化膦;基于胺的化合物,例如4-(二甲基氨基)苯甲酸甲酯、乙基-4-(二甲基氨基)苯甲酸酯、4-(二甲基氨基)苯甲酸2-正丁氧基乙酯、2,5-双(4-二乙基氨基苯亚甲基)环戊酮、2,6-双(4-二乙基氨基苯亚甲基)环己酮和2,6-双(4-二乙基氨基苯亚甲基)-4-甲基-环己酮;基于香豆素的化合物,例如3,3′-羰基乙烯基-7-(二乙基氨基)香豆素、3-(2-苯并噻唑基)-7-(二乙基氨基)香豆素、3-苯甲酰基-7-(二乙基氨基)香豆素、3-苯甲酰基-7-甲氧基-香豆素和10,10-羰基双[1,1,7,7-四甲基-2,3,6,7-四氢-1H,5H,1H-C1]-苯并吡喃邻[6,7,8-ij]-喹嗪-11-酮;基于查耳酮的化合物,例如4-二乙基氨基查耳酮和4-叠氮苯亚甲基苯乙酮;2-苯甲酰基亚甲基和3-甲基-萘并噻唑啉。但是,所述光聚合引发剂并不限定于此,且可以使用本领域中已知的材料作为光聚合引发剂。
[87]所述溶剂D)的优选实例包括选自如下化合物中的一种或多种化合物:丙酮、甲乙酮、甲基异丁基酮、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、四氢呋喃、1,4-二噁烷、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲基乙基醚、氯仿、二氯甲烷、1,2-二氯乙烷、1,1,1-三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烯(1,1,2-trichloroethene)、己烷、庚烷、辛烷、环己烷、苯、甲苯、二甲苯、甲醇、乙醇、异丙醇、丙醇、丁醇、叔丁醇、2-乙氧基丙醇、2-甲氧基丙醇、3-甲氧基丁醇、环己酮、环戊酮、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纤剂乙酸酯、甲基溶纤剂乙酸酯、乙酸丁酯和二丙二醇单甲醚。但是所述溶剂并不限于此,且可以使用本领域中已知的材料作为溶剂。
[88]如果必要,根据本发明的感光组合物可进一步包含选自光敏剂、着色剂、固化促进剂、热聚合抑制剂、增塑剂、粘合促进剂、填料和表面活性剂中的一种或多种添加剂。
[89]除了上述光聚合引发剂之外,根据本发明的感光组合物可进一步包含光敏剂,并且上述示例的光聚合引发剂的物质可用作光敏剂。
[90]一种或多种颜料、染料或其混合物可用作着色剂。可使用的黑色颜料的具体实例包括炭黑、石墨、金属氧化物等。炭黑的实例包括SEAST5HIISAF-HS、SEAST KH、SEAST 3HHAF-HS、SEAST NH、SEAST 3M、SEAST 300HAF-LS、SEAST 116HMMAF-HS、SEAST 116MAF、SEASTFMFEF-HS、SEAST SOFEF、SEAST VGPF、SEAST SVHSRF-HS和SEASTSSRF(Tokai Carbon Co.,Ltd.(东海碳素株式会社));DIAGRAM BLACKII、DIAGRAM BLACK N339、DIAGRAM BLACK SH、DIAGRAM BLACK H、DIAGRAM LH、DIAGRAM HA、DIAGRAM SF、DIAGRAM N550M、DIAGRAM M、DIAGRAM E、DIAGRAM G、DIAGRAM R、DIAGRAMN760M、DIAGRAM LR、#2700、#2600、#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#900、MCF88、#52、#50、#47、#45、#45L、#25、#CF9、#95、#3030、#3050、MA7、MA77、MA8、MA11、MA100、MA40、OIL7B、OIL9B、OIL11B、OIL30B和OIL31B(Mitsubishi Chemical Co.Ltd.(三菱化学株式会社));PRINTEX-U、PRINTEX-V、PRINTEX-140U、PRINTEX-140V、PRINTEX-95、PRINTEX-85、PRINTEX-75、PRINTEX-55、PRINTEX-45、PRINTEX-300、PRINTEX-35,PRINTEX-25,PRINTEX-200,PRINTEX-40,PRINTEX-30,PRINTEX-3、PRINTEX-A、SPECIALBLACK-550、SPECIAL BLACK-350、SPECIAL BLACK-250、SPECIALBLACK-100和LAMP BLACK-101(Degussa Co.,Ltd.(德固赛有限公司));和RAVEN-1100ULTRA、RAVEN-1080ULTRA、RAVEN-1060ULTRA、RAVEN-1040、RAVEN-1035、RAVEN-1020、RAVEN-1000、RAVEN-890H、RAVEN-890、RAVEN-880ULTRA、RAVEN-860ULTRA、RAVEN-850、RAVEN-820、RAVEN-790ULTRA、RAVEN-780ULTRA、RAVEN-760ULTRA、RAVEN-520、RAVEN-500、RAVEN-460、RAVEN-450、RAVEN-430ULTRA、RAVEN-420、RAVEN-410、RAVEN-2500ULTRA、RAVEN-2000、RAVEN-1500、RAVEN-1255、RAVEN-1250、RAVEN-1200、RAVEN-1190ULTRA和RAVEN-1170(Colombia Carbon Co.,Ltd.(哥伦比亚碳黑有限公司))。
[91]另外,用于提供颜色的着色剂的实例包括洋红6B(CI.12490);酞青绿(CI.74260);酞青蓝(CI.74160);苝黑(BASF K0084.K0086);花青黑;雷傲诺尔(LIONOL)黄(CI.21090);雷傲诺尔黄GRO(CI.21090);联苯胺黄4T-564D;维多利亚纯蓝(CI.42595);C.I.颜料红3、23、97、108、122、139、140、141、142、143、144、149、166、168、175、177、180、185、189、190、192、202、214、215、220、221、224、230、235、242、254、255、260、262、264和272;C.I.颜料绿7和36;C.I.颜料蓝15:1、15:3、15:4、15:6、16、22、28、36、60和64;C.I.颜料黄13、14、35、53、83、93、95、110、120、138、139、150、151、154、175、180、181、185、194和213;和C.I.颜料紫15、19、23、29、32和37。此外,可以使用白色颜料、荧光颜料等作为着色剂。
[92]上述固化促进剂的实例可包括选自如下化合物中的一种或多种化合物:2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2,5-二巯基-1,3,4-噻二唑、2-巯基-4,6-二甲基氨基吡啶、四(3-巯基丙酸)季戊四醇酯、三(3-巯基丙酸)季戊四醇酯、四(2-巯基乙酸)季戊四醇酯、三(2-巯基乙酸)季戊四醇酯、三羟甲基丙烷三(2-巯基乙酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基丙酸酯)、三羟甲基乙烷三(2-巯基乙酸酯)和三羟甲基乙烷三(3-巯基丙酸酯)。但是,所述固化促进剂并不限于此,且可以使用本领域中已知的材料作为固化促进剂。
[93]上述热聚合抑制剂的实例可包括选自对苯甲醚、对苯二酚、邻苯二酚、叔丁基邻苯二酚、N-亚硝基苯胲铵盐、N-亚硝基苯胲铝盐和吩噻嗪中的一种或多种化合物。但是,所述热聚合抑制剂并不限于此,且可以使用本领域中已知的材料作为热聚合抑制剂。
[94]在相关领域中可包含在感光组合物中的所有化合物也可以用作增塑剂、粘合促进剂、填料和表面活性剂。
[95]根据本发明的感光组合物用于辊涂机、帘涂机、旋涂机、狭缝式模具涂敷机(slot die coater)、各种印刷法和沉积法进行涂敷,并且可以涂敷在例如金属基底、纸基底、玻璃基底和塑料基底的支撑体上。另外,在将感光组合物涂敷到例如膜的支撑体上之后,可将感光组合物转移到另外的其它支撑体上。可选择地,在将感光组合物涂敷到第一支撑体上之后,可将感光组合物转移到其它的支撑体上。对涂敷感光组合物的方法不作特别限定。
[96]例如,可以使用发射波长为250~450nm的光线的汞蒸气弧光灯、炭弧光灯、Xe弧光灯等作为光源,用来固化根据本发明的感光组合物。
[97]另外,本发明提供了通过使用上述感光组合物制备的滤色片、保护膜和柱形衬垫材料。
实施例
[98]在下文中,根据实施例和实验实施例将详细描述本发明。但是,本发明可以多种不同形式实施,而不应解释为被此处阐明的实施例和实验实施例限定。更确切地说,提供这些实施例和实验实施例是为了使该公开全面且完全,并且将充分向所属领域技术人员传达本发明的概念。
[99]<合成实施例1>可碱性显影树脂的制备
[100](1)包含由通式1表示的单元和由通式2表示的单元的聚合物的合成
[101]通过使用机械搅拌器在氮气氛下将140g甲基丙烯酸苄酯、100gα-羟甲基丙烯酸乙酯、3g为链转移剂的3-巯基丙酸和700g为溶剂的丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)彼此混合30分钟。在氮气氛下将反应器的温度升至70℃。当混合物的温度接近70℃时,将6.0g为热聚合引发剂的AIBN加入到混合物中,然后搅拌8小时。当进行聚合反应时,不形成聚合物的沉淀,且聚合产率为97%以上,这说明产率较高。
[102](2)引入由通式3表示的单元
[103]将聚合(1)的包含由通式1表示的单元和由通式2表示的单元的聚合物的反应器的温度升高到80℃,加入2g四丁基溴化铵和0.25g为热聚合抑制剂的MEHQ,并搅拌30分钟。接着,向其中加入160g 1,2,4-苯三酸酐,将反应器的温度升至100℃,搅拌20小时。
[104](3)引入由通式4表示的单元和由通式5表示的单元
[105]将115g甲基丙烯酸缩水甘油酯加入到含有(2)的包含由通式1表示的单元、由通式2表示的单元和由通式3表示的单元的聚合物的溶液中,并且另外在115℃下搅拌12小时以完成所需树脂的合成。所需树脂的NMR图谱在图1中示出(Mw=18,000和AV(酸值)=55)。
[106]<合成实施例2>可碱性显影树脂的制备
[107](1)包含由通式1表示的单元和由通式2表示的单元的聚合物的合成
[108]通过使用机械搅拌器在氮气氛下将120g甲基丙烯酸苄酯、130gα-羟甲基丙烯酸乙酯、3g为链转移剂的3-巯基丙酸和700g为溶剂的丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)彼此混合30分钟。在氮气氛下将反应器的温度升至70℃。当混合物的温度接近70℃时,将6.0g为热聚合引发剂的AIBN加入到混合物中,然后搅拌8小时。当进行聚合反应时,不形成聚合物的沉淀,且聚合产率为97%以上,这说明产率较高。
[109](2)引入由通式3表示的单元
[110]将聚合(1)的包含由通式1表示的单元和由通式2表示的单元的聚合物的反应器的温度升高到80℃,加入2g四丁基溴化铵和0.25g为热聚合抑制剂的MEHQ,并搅拌30分钟。接着,向其中加入190g 1,2,4-苯三酸酐,将反应器的温度升至100℃,搅拌20小时。
[111](3)引入由通式4表示的单元和由通式5表示的单元
[112]将60g甲基丙烯酸缩水甘油酯加入到含有(2)的包含由通式1表示的单元、由通式2表示的单元和由通式3表示的单元的聚合物的溶液中,并且另外在115℃下搅拌12小时以完成所需树脂的合成。所需树脂的NMR图谱在图2中示出(Mw=17,000和AV=95)。
[113]<比较合成实施例1>
[114]通过使用机械搅拌器在氮气氛下将43.2g甲基丙烯酸苄酯、16.8g甲基丙烯酸、0.5g为链转移剂的3-巯基丙酸和280g为溶剂的3-乙氧基丙酸乙酯彼此混合30分钟。在氮气氛下将反应器的温度升至60℃。当混合物的温度接近60℃时,将2.6g为热聚合引发剂的AIBN加入到混合物中,然后搅拌12小时(Mw=18,000和AV=90)。
[115]<比较合成实施例2>
[116](1)线型粘合剂聚合(linear binder polymerization)
[117]通过使用机械搅拌器在氮气氛下将45.8g甲基丙烯酸苄酯、22.5g甲基丙烯酸、0.5g为链转移剂的3-巯基丙酸和300g为溶剂的3-乙氧基丙酸乙酯彼此混合30分钟。在氮气氛下将反应器的温度升至60℃。当混合物的温度接近60℃时,将2.6g为热聚合引发剂的AIBN加入到混合物中,然后搅拌12小时。当进行聚合反应时,不形成聚合物的沉淀,且聚合产率为98%以上,这说明产率较高。
[118](2)引入光反应基团
[119]将聚合线型粘合剂的反应器的温度升高到90℃,向反应器中加入0.2g三苯基膦。加入0.07g为热聚合抑制剂的MEHQ,并搅拌30分钟。接着,向反应器中加入20g甲基丙烯酸缩水甘油酯,在维持空气气氛的同时将反应器的温度升至110℃,并搅拌12小时。
[120](3)引入酸基团
[121]将20.4g 1,2,4-苯三酸酐加入到聚合物溶液中,并且另外在110℃下搅拌6小时以完成所需树脂的合成(Mw=20,000和AV=90)。
[122]<实施例1>
[123]将50g用作颜料的C.I.颜料红254分散溶液、5g在上述合成实施例1中合成的可碱性显影树脂、3g为可聚合化合物的六丙烯酸二季戊四醇酯、2g光聚合引发剂I-369和40g为有机溶剂的PGMEA(丙二醇甲醚乙酸酯)彼此混合3小时,以制备感光组合物。
[124]通过采用旋涂法将所述感光组合物溶液涂敷在玻璃上,并在大约100℃下进行预烘焙处理过程2分钟以形成膜。
[125]在高压汞灯下通过使用光掩膜在不同类型的能级(100、150、200、250和300mJ/cm2)下将膜曝光,并且每小时通过使用pH在11.3~11.7范围内的KOH碱水溶液将图案显影并用去离子水洗涤。在将得到的膜于220℃下进行坚膜处理过程30分钟之后,通过使用光学显微镜和电子显微镜观察玻璃的表面和图案。
[126]<实施例2>
[127]除了在感光组合物的组分中,使用5g在上述合成实施例2中合成的碱显影树脂作为可碱性显影树脂之外,重复上述实施例1的步骤。接着,观察玻璃的表面和图案。
[128]<比较实施例1>
[129]除了在感光组合物的组分中,使用5g在上述比较合成实施例1中的BzMA/MAA共聚物(重量比=86/14,Mw=18,000和AV=90)作为可碱性显影树脂之外,重复上述实施例1的步骤。接着,观察玻璃的表面和图案。
[130]<比较实施例2>
[131]除了在感光组合物的组分中,使用5g在上述比较合成实施例2中的可碱性显影树脂作为可碱性显影树脂之外,重复上述实施例1的步骤。接着,观察玻璃的表面和图案。
[132]<实验实施例1>可显影性评价结果
[133]上述实施例1~2和比较实施例1~2的结果描述在下表1~3中。对于本实验可显影性的评价,基于150mJ/cm2的标准曝光剂量进行测量。
[134]表1
显影时间 | 20秒 | 30秒 | 50秒 |
实施例1 | 显影不足 | 良好 | 良好 |
实施例2 | 良好 | 良好 | 良好 |
比较实施例1 | 显影不足 | 显影不足 | 良好 |
比较实施例2 | 显影不足 | 良好 | 良好 |
[135]显影不足:显影不足表示需要额外显影时间的状态。
[136]如上述表1中所述,包含根据本发明的可碱性显影树脂的实施例1~2的各感光组合物的可显影性比包含常规可碱性显影树脂的比较实施例1~2的各感光组合物的可显影性好。
[137]<实验实施例2>感光性评价结果
[138]对于根据本实验的感光性的评价,基于50秒的标准显影时间进行测量。下表2的测量值为当使用线宽/间隔掩膜(line & space mask)进行曝光时显影之后保持的像素的最小尺寸。
[139]表2
曝光剂量 | 100mJ/cm2 | 150mJ/cm2 | 250mJ/cm2 |
实施例1 | <10μm | <10μm | <10μm |
实施例2 | <10μm | <10μm | <10μm |
比较实施例1 | 28μm | 25μm | 14μm |
比较实施例2 | 14μm | <10μm | <10μm |
[140]如上述表2中所述,包含根据本发明的可碱性显影树脂的实施例1~2的各感光组合物的感光性比包含常规可碱性显影树脂的比较实施例1~2的各感光组合物的感光性好。
[141]<试验实施例3>膜保持率评价结果
[142]对于根据本实验的膜保持率的评价,基于50秒的标准显影时间和100mJ/cm2的曝光剂量进行测量。
[143]表3
实施例1 | 实施例2 | 比较实施例1 | 比较实施例2 | |
膜保持率 | 91% | 90% | 88% | 85% |
[144]膜保持率(%)=(坚膜处理后的膜厚度)/(坚膜处理前的膜厚度)×100
[145]如上述表3中所述,包含根据本发明的可碱性显影树脂的实施例1~2的各感光组合物的膜保持率比包含常规可碱性显影树脂的比较实施例1~2的各感光组合物的膜保持率好。
Claims (31)
1、一种可碱性显影树脂,其包含:
由以下通式1表示的单元;
由以下通式2表示的单元;
由以下通式3表示的单元;
由以下通式4表示的单元;和
由以下通式5表示的单元:
[通式1]
[通式2]
[通式3]
[通式4]
[通式5]
其中,R1为氢或与X一起形成5元环形羧酸酸酐或二酰亚胺结构的基团;
R2各自独立地为氢或甲基;
R3为源于选自下列化合物中的化合物的基团:(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、烯丙基缩水甘油醚、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯、5-降冰片烯-2-甲基-2-甲酸缩水甘油酯(内型和外型混合物)、1,2-环氧-5-己烯和1,2-环氧-9-癸烯;
R4各自独立地为C1~C4烷氧基;
X为选自以下基团中的任意一种:C1~C12烷基酯、用1~2个羟基取代的C2~C6烷基酯、用C1~C3烷氧基取代的C2~C6烷基酯、用卤素基团取代的C1~C6烷基酯、C1~C3烷氧基聚(n=2~30)亚烷基(C2~C3)二醇酯、用苯基取代的C1~C6烷基酯、用C1~C6烷基取代的苯基、用C1~C6烷氧基取代的苯基、用卤素基团取代的苯基、C1~C6烷氧基甲基、环氧丙氧基甲基、和与R1一起形成5元环形羧酸酸酐或二酰亚胺结构的基团;
a、b、c、d和e各自为摩尔比,
a在10~90的范围内,b在5~30的范围内,c在1~40的范围内,以及d和e各自独立地在1~40的范围内;
Y为通过使用由以下通式7表示的化合物和由上述通式2表示的单元的醇基的开环聚合反应而生成的基团,
[通式7]
其中,A为选自氢、C1~C6烷氧基、苯氧基、未取代或用卤素取代的C1~C10烷基、包含1~3个不饱和基团的C2~C10链烯基和苯基中的任意一种,以及
B为选自C1~C6烷氧基、苯氧基、未取代或用卤素取代的C1~C10亚烷基、包含1~3个不饱和基团的C2~C10亚链烯基、和亚苯基中的任意一种,并且A和B可以彼此连接以形成五元环或六元环。
2、根据权利要求1所述的可碱性显影树脂,其中,所述可碱性显影树脂的酸值在30~300KOH mg/g的范围内。
3、根据权利要求1所述的可碱性显影树脂,其中,所述可碱性显影树脂的重均分子量在1,000~200,000的范围内。
4、根据权利要求1所述的可碱性显影树脂,其中,用于形成由通式1表示的单元的单体包括选自不饱和羧酸酯化合物;芳香族乙烯基化合物;不饱和醚化合物;N-乙烯基叔胺化合物;不饱和二酰亚胺化合物;和马来酸酐化合物中的一种或多种化合物。
5、根据权利要求1所述的可碱性显影树脂,其中,用于形成由通式2表示的单元的单体包括选自α-羟甲基丙烯酸甲酯、α-羟甲基丙烯酸乙酯、α-羟甲基丙烯酸丙酯和α-羟甲基丙烯酸丁酯中的一种或多种化合物。
7、一种制备可碱性显影树脂的方法,该方法包括以下步骤:
a)聚合用于形成由以下通式1表示的单元的单体和用于形成由以下通式2表示的单元的单体以制备聚合物;
b)将由以下通式7表示的化合物加入到上述步骤a)的聚合物中并进行聚合反应以制备聚合物;和
c)将含有环氧基团的化合物加入到上述步骤b)的聚合物中以进行聚合反应:
[通式1]
[通式2]
其中,R1为氢或与X一起形成5元环形羧酸酸酐或二酰亚胺结构的基团;
R2为氢或甲基;
R4为C1~C4烷氧基;
X为选自以下基团中的任意一种:C1~C12烷基酯、用1~2个羟基取代的C2~C6烷基酯、用C1~C3烷氧基取代的C2~C6烷基酯、用卤素基团取代的C1~C6烷基酯、C1~C3烷氧基聚(n=2~30)亚烷基(C2~C3)二醇酯、用苯基取代的C1~C6烷基酯、用C1~C6烷基取代的苯基、用C1~C6烷氧基取代的苯基、用卤素基团取代的苯基、C1~C6烷氧基甲基、环氧丙氧基甲基、和与R1一起形成5元环形羧酸酸酐或二酰亚胺结构的基团;
a和b各自为摩尔比,
a在10~90的范围内,且b在5~30的范围内,
[通式7]
其中,A为选自氢、C1~C6烷氧基、苯氧基、未取代或用卤素取代的C1~C10烷基、包含1~3个不饱和基团的C2~C10链烯基和苯基中的任意一种,以及
B为选自C1~C6烷氧基、苯氧基、未取代或用卤素取代的C1~C10亚烷基、包含1~3个不饱和基团的C2~C10亚链烯基、和亚苯基中的任意一种,并且A和B可以彼此连接以形成五元环或六元环。
8、根据权利要求7所述的制备可碱性显影树脂的方法,其中,在上述步骤a)中用于形成由通式1表示的单元的单体包括选自不饱和羧酸酯化合物;芳香族乙烯基化合物;不饱和醚化合物;N-乙烯基叔胺化合物;不饱和二酰亚胺化合物;和马来酸酐化合物中的一种或多种化合物。
9、根据权利要求7所述的制备可碱性显影树脂的方法,其中,在上述步骤a)中用于形成由通式2表示的单元的单体包括选自α-羟甲基丙烯酸甲酯、α-羟甲基丙烯酸乙酯、α-羟甲基丙烯酸丙酯和α-羟甲基丙烯酸丁酯中的一种或多种化合物。
10、根据权利要求7所述的制备可碱性显影树脂的方法,其中,所述步骤a)进一步包括添加自由基聚合反应引发剂或链转移剂。
11、根据权利要求10所述的制备可碱性显影树脂的方法,其中,所述自由基聚合反应引发剂包括选自2,2′-偶氮二异丁腈(AIBN)、2,2′-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2,2′-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、过氧化苯甲酰、过氧化月桂酰、过氧化新戊酸叔丁酯和1,1′-二-(二叔丁基过氧化)环己烷中的一种或多种化合物。
12、根据权利要求10所述的制备可碱性显影树脂的方法,其中,所述链转移剂包括选自正己硫醇、正辛硫醇、正十二烷硫醇、叔十二烷硫醇、巯基乙酸、3-巯基丙酸和α-甲基苯乙烯二聚物中的一种或多种化合物。
14、根据权利要求7所述的制备可碱性显影树脂的方法,其中,所述步骤b)在90~120℃范围的温度下进行。
15、根据权利要求7所述的制备可碱性显影树脂的方法,其中,在上述步骤c)中所述含有环氧基团的化合物选自(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、烯丙基缩水甘油醚、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯、5-降冰片烯-2-甲基-2-甲酸缩水甘油酯(内型和外型混合物)、1,2-环氧-5-己烯和1,2-环氧-9-癸烯中。
16、根据权利要求7所述的制备可碱性显影树脂的方法,其中,所述步骤c)进一步包括添加热聚合抑制剂。
17、根据权利要求16所述的制备可碱性显影树脂的方法,其中,所述热聚合抑制剂包括4-甲氧基苯酚。
18、根据权利要求7所述的制备可碱性显影树脂的方法,其中,所述步骤c)在100~150℃范围的温度下进行。
19、一种感光组合物,其包含:
A)可碱性显影树脂,其包含由通式1表示的单元、由通式2表示的单元、由通式3表示的单元、由通式4表示的单元和由通式5表示的单元;
B)具有烯键式不饱和键的可聚合化合物;
C)光聚合引发剂;和
D)溶剂:
[通式1]
[通式2]
[通式3]
[通式4]
[通式5]
其中,R1为氢或与X一起形成5元环形羧酸酸酐或二酰亚胺结构的基团;
R2各自独立地为氢或甲基;
R3为源于选自下列化合物中的化合物的基团:(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、烯丙基缩水甘油醚、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯、5-降冰片烯-2-甲基-2-甲酸缩水甘油酯(内型和外型混合物)、1,2-环氧-5-己烯和1,2-环氧-9-癸烯;
R4各自独立地为C1~C4烷氧基;
X为选自以下基团中的任意一种:C1~C12烷基酯、用1~2个羟基取代的C2~C6烷基酯、用C1~C3烷氧基取代的C2~C6烷基酯、用卤素基团取代的C1~C6烷基酯、C1~C3烷氧基聚(n=2~30)亚烷基(C2~C3)二醇酯、用苯基取代的C1~C6烷基酯、用C1~C6烷基取代的苯基、用C1~C6烷氧基取代的苯基、用卤素基团取代的苯基、C1~C6烷氧基甲基、环氧丙氧基甲基、和与R1一起形成5元环形羧酸酸酐或二酰亚胺结构的基团;
a、b、c、d和e各自为摩尔比,
a在10~90的范围内,b在5~30的范围内,c在1~40的范围内,以及d和e各自独立地在1~40的范围内;
Y为通过使用由以下通式7表示的化合物和由上述通式2表示的单元的醇基的开环聚合反应而生成的基团,
[通式7]
其中,A为选自氢、C1~C6烷氧基、苯氧基、未取代或用卤素取代的C1~C10烷基、包含1~3个不饱和基团的C2~C10链烯基和苯基中的任意一种,以及
B为选自C1~C6烷氧基、苯氧基、未取代或用卤素取代的C1~C10亚烷基、包含1~3个不饱和基团的C2~C10亚链烯基和亚苯基中的任意一种,并且A和B可以彼此连接以形成五元环或六元环。
20、根据权利要求19所述的感光组合物,其中,基于100重量份的所述感光组合物,该感光组合物包含A)1~30重量份的可碱性显影树脂;B)0.5~20重量份的具有烯键式不饱和键的可聚合化合物;C)0.1~15重量份的光聚合引发剂;和D)35~95重量份的溶剂。
21、根据权利要求19所述的感光组合物,其中,所述具有烯键式不饱和键的可聚合化合物B)包括选自如下化合物中的一种或多种化合物:通过用α,β-不饱和羧酸酯化多元醇得到的化合物;通过将(甲基)丙烯酸加入到包含缩水甘油基的化合物中得到的化合物;由具有羟基或烯键式不饱和键的化合物与多元羧酸得到的酯化合物,以及具有羟基或烯键式不饱和键的化合物与多异氰酸酯的加合物;和(甲基)丙烯酸烷基酯。
22、根据权利要求19所述的感光组合物,其中,所述光聚合引发剂C)包括选自如下化合物中的一种或多种化合物:基于三嗪的化合物;基于联咪唑的化合物;基于苯乙酮的化合物;基于二苯甲酮的化合物;基于芴酮的化合物;基于噻吨酮的化合物;基于呫吨酮的化合物;基于蒽醌的化合物;基于吖啶的化合物;基于二羰基的化合物;基于氧化膦的化合物;基于胺的化合物;基于香豆素的化合物;基于查耳酮的化合物;2-苯甲酰基亚甲基和3-甲基-萘并噻唑啉。
23、根据权利要求19所述的感光组合物,其中,所述溶剂D)包括选自如下化合物中的一种或多种化合物:丙酮、甲乙酮、甲基异丁基酮、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、四氢呋喃、1,4-二噁烷、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲基乙基醚、氯仿、二氯甲烷、1,2-二氯乙烷、1,1,1-三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烯、己烷、庚烷、辛烷、环己烷、苯、甲苯、二甲苯、甲醇、乙醇、异丙醇、丙醇、丁醇、叔丁醇、2-乙氧基丙醇、2-甲氧基丙醇、3-甲氧基丁醇、环己酮、环戊酮、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纤剂乙酸酯、甲基溶纤剂乙酸酯、乙酸丁酯和二丙二醇单甲醚。
24、根据权利要求19所述的感光组合物,其中,所述感光组合物进一步包含选自光敏剂、着色剂、固化促进剂、热聚合抑制剂、增塑剂、粘合促进剂、填料和表面活性剂中的一种或多种添加剂。
25、根据权利要求24所述的感光组合物,其中,基于100重量份的所述感光组合物,该感光组合物包含0.5~20重量份的着色剂和0.01~20重量份的选自光敏剂、固化促进剂、热聚合抑制剂、增塑剂、粘合促进剂、填料和表面活性剂中的一种或多种化合物。
26、根据权利要求24所述的感光组合物,其中,所述着色剂包括颜料、染料或其混合物。
27、根据权利要求24所述的感光组合物,其中,所述固化促进剂包括选自如下化合物中的一种或多种:2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2,5-二巯基-1,3,4-噻二唑、2-巯基-4,6-二甲基氨基吡啶、四(3-巯基丙酸)季戊四醇酯、三(3-巯基丙酸)季戊四醇酯、四(2-巯基乙酸)季戊四醇酯、三(2-巯基乙酸)季戊四醇酯、三羟甲基丙烷三(2-巯基乙酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基丙酸酯)、三羟甲基乙烷三(2-巯基乙酸酯)和三羟甲基乙烷三(3-巯基丙酸酯)。
28、根据权利要求24所述的感光组合物,其中,所述热聚合抑制剂包括选自对苯甲醚、对苯二酚、邻苯二酚、叔丁基邻苯二酚、N-亚硝基苯胲铵盐、N-亚硝基苯胲铝盐和吩噻嗪中的一种或多种化合物。
29、一种滤色片,该滤色片是通过使用根据权利要求19~28中任意一项所述的感光组合物制备的。
30、一种保护膜,该保护膜是通过使用根据权利要求19~28中任意一项所述的感光组合物制备的。
31、一种柱形衬垫材料,该柱形衬垫材料是通过使用根据权利要求19~28中任意一项所述的感光组合物制备的。
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