CN101597137A - 一种主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N体系氧氮微晶玻璃的制备 - Google Patents
一种主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N体系氧氮微晶玻璃的制备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101597137A CN101597137A CNA2009100437718A CN200910043771A CN101597137A CN 101597137 A CN101597137 A CN 101597137A CN A2009100437718 A CNA2009100437718 A CN A2009100437718A CN 200910043771 A CN200910043771 A CN 200910043771A CN 101597137 A CN101597137 A CN 101597137A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- glass
- preparation
- crucible
- devitrified
- devitrified glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
本发明涉及一种主晶相为Y3Al5O12(YAG)的Y-Si-Al-O-N体系氧氮微晶玻璃的制备方法,其基础玻璃中各组成元素的原子百分比范围为:Y:11~13at.%,Si:10~14at.%,Al:13~16at.%,O:53~60at.%,N:2~10at.%。其制备方法是:(1)玻璃配合料的制备;(2)基础玻璃的熔制;(3)基础玻璃的热处理。以本发明得到的Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃的转变温度为930~980℃,微晶玻璃的析晶度高达73.1%~92.7%,微晶玻璃的维氏硬度为12.13~13.45GPa,微晶玻璃的主晶相为YAG,YAG晶粒呈树枝状。
Description
技术领域:
本发明属于材料科学领域,涉及一种主晶相为YAG的Y-Si-Al-O-N体系氧氮微晶玻璃的制备方法。
背景技术
β-SiAlONs(Si6-zAlzOzN8-z)或β-sialon具有优异的高温性能,是一种重要的高温工程陶瓷材料。Y2O3常用作烧结助剂,促进β-sialon陶瓷的烧结。Y2O3在促进烧结的同时,在陶瓷的晶界处往往生成Y-Si-Al-O-N系统的氧氮玻璃。将烧结好的β-sialon陶瓷再经过一个后烧结处理过程,使得晶界处的Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃部分或全部转变成耐高温的单一晶相或多晶混合物,可大大提高材料的高温性能。在这些晶相混合物中,Y3Al5O12(钇铝石榴石,YAG)是提高β-SiAlON材料高温性能的一种最理想的晶相组成,最终制备的材料为YAG/β-SiAlON材料。同时,主晶相为YAG的Y-Si-Al-O-N氧氮微晶玻璃也是一种非常有应用前景的非氧化物陶瓷材料。
国内外对Y-Si-Al-O-N体系氧氮玻璃的析晶已进行了广泛的研究。研究表明,Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃的析晶非常复杂,且析出相常为多相混合物。YAG能否从Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃中析出,析出量的多少严重依赖于玻璃的组成和热处理制度。就基础玻璃组成而言,基础玻璃中SiO2含量小于25wt%时才能析出YAG相。就热处理温度而言,尽管YAG能在较宽的热处理温度范围内从Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃中析出,但其作为主晶相析出通常需要1200℃以上的高温,且常伴随有Y5Si3O12N相、β-,γ-和δ-Y2Si2O7相、中间相和O’-sialon等相的析出。其中,Y2Si2O7相在一定条件下可转变为主晶相。Y2Si2O7相含有α、β、γ、δ等多种形态,Y2Si2O7和/或中间相的相转变能产生热效应和体积效应,从而在一定程度上影响主晶相为YAG的Y-Si-Al-O-N氧氮微晶玻璃或YAG/β-SiAlON材料性能的稳定。到目前为止,YAG在很宽的热处理温度范围内作为唯一晶相或主晶相从Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃中析出仍是一个技术难点。Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃的熔制通常需要1700℃以上的高温,在此高温下原料中的Si3N4容易氧化和分解,使制备的玻璃呈黑色或灰黑色。因此要制备均匀的Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃,有必要降低玻璃的熔制温度。
发明内容
本发明的目的是提供一种制备高YAG微晶含量的Y-Si-Al-O-N氧氮微晶玻璃的方法。解决现有Y-Si-Al-O-N氧氮微晶玻璃中YAG的析晶度不高,微晶玻璃中往往含有YAG以外的晶相,以及制备这种微晶玻璃的热处理温度范围较窄等问题。
本发明的目的是通过以下方式实现的。
一种主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N体系氧氮微晶玻璃的制备包括如下步骤:
1)玻璃的混合料的制备:按组成元素的原子质量百分比:Y:11~13%,Si:10~14%,Al:13~16%,O:53~60%,N:2~10%先配制Y2O3-SiO2-Al2O3混合溶胶;再加入Si3N4粉末,搅拌不少于5h得到均匀的悬浊液;将悬浊液在95~110℃加热不少于8h,之后将其升温至400~500℃保温3~6h,得到Si3N4-Y2O3-SiO2-Al2O3前驱体粉体,将其研细后过筛得到熔制Y-Si-Al-O-N玻璃的混合料。
2)玻璃的熔制:将1)步中得到的玻璃混合料置于一个加盖的小坩埚中,再将此坩埚置于一个大的加盖的坩埚中,两个坩埚的夹层填充满石墨条,以确保玻璃混合料在还原气氛下熔制;将此坩埚装置置于高温炉中,在1550℃~1600℃下保温熔制2~5h,将熔体浇注固化成型或直接将坩埚装置取出置于退火炉中,在玻璃的转变温度附近保温1~2h,随炉冷却后得到Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃。
3)微晶玻璃的制备:将2)步中得到的Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃切割后置于加盖的小坩埚中,小坩埚内充满Al2O3或Si3N4粉末,再将此坩埚置于另一个大的加盖坩埚中,两坩埚中间填充满高纯石墨条;再将此坩埚装置置于电阻炉中于空气气氛下,以5~10℃/min的升温速率升温至1100~1400℃,保温6~16h,得到主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N氧氮微晶玻璃;或以5~10℃/min的升温速率先升温至920~1050℃保温6~15h小时进行核化,再以5~10℃/min的升温速率升温至1100~1400℃保温2~8h进行晶化,试样随炉冷却而得到主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N氧氮微晶玻璃。
将Si3N4-Y2O3-SiO2-Al2O3前驱体粉体研细后过200目筛得到熔制Y-Si-Al-O-N玻璃的混合料。
2)步和3)步中所述的坩埚均为石英或刚玉坩埚。
本发明的具体技术方案如下:
1、本发明所述的氧氮微晶玻璃,其基础玻璃的化学组成(重量百分比,wt.%)为:Y2O3:44~51wt.%,SiO2:20~25wt.%,Al2O3:18~28wt.%,Si3N4:2~10wt.%,各组成元素的原子百分比表述为:Y:11~13at.%,Si:10~14at..%,Al:13~16at.%,O:53~60at.%,N:2~10at.%。本发明所述氧氮微晶玻璃组成中N也可由AlN引入。
2、制备上述氧氮微晶玻璃的方法包括如下步骤:
1)Y-Si-Al-O-N玻璃混合料的制备:根据玻璃的化学组成,将SiO2原料的质量换算成正硅酸乙酯的质量,再将计算所得的正硅酸乙酯在适量无水乙醇或其它有机溶剂中醇解得到SiO2溶胶。将Al2O3原料的质量换算成异丙醇铝的质量,再将计算所得的异丙醇铝在适量水中水解制得Al2O3溶胶,或将计算所得的异丙醇铝在适量异丙醇或其它有机溶剂中醇解而得Al2O3溶胶。将制备所得的SiO2溶胶和Al2O3溶胶混合搅拌3~5h得到SiO2-Al2O3混合溶胶。将Y2O3溶于适量的硝酸中得到Y(NO3)3溶液,之后将其加入SiO2-Al2O3混合溶胶中搅拌3~5h得到Y2O3-SiO2-Al2O3混合溶胶。或将Y2O3原料的质量换算成含钇醇盐的质量,再将含钇醇盐在有机溶剂中醇解得到Y2O3溶胶,将Y2O3溶胶加入SiO2-Al2O3混合溶胶中搅拌3~5h得到Y2O3-SiO2-Al2O3混合溶胶。氮化硅粉末加入Y2O3-SiO2-Al2O3混合溶胶中混合搅拌不少于5h得到混合均匀的悬浮液,将所制备的悬浊液在95~110℃保温不少于8h除去绝大部分的水和有机溶剂,再将其缓慢升温至400~500℃保温3~6h除去多余的硝酸。将所得的前驱体研磨过筛即得到玻璃混合料。
2)Y-Si-Al-O-N玻璃的熔制:将上述玻璃混合料置于一个加盖的小石英或刚玉坩埚中,再将此小坩埚置于另一个加盖的较大石英或刚玉坩埚中,两坩埚夹层填满了高纯石墨条。在1550℃~1600℃保温下熔制2~5h,将熔体浇注固化成型后在玻璃的转变温度附近保温1~2h,随炉冷却后得到Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃。或1550℃~1600℃保温2~5h后直接将坩埚装置取出置于退火炉中,在玻璃转变温度附近保温1~2h,随炉冷却后得到Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃。
3)微晶玻璃的制备:将2)步中得到的块状Y-Si-Al-O-N块体玻璃置于加盖的小石英或刚玉坩埚中,玻璃块体填埋于Al2O3粉末或Si3N4粉末之下,再将此坩埚置于另一个较大的加盖石英或刚玉坩埚中,两坩埚中间填充满高纯石墨条。再将此坩埚装置置于电阻炉中于空气气氛下进行热处理。采用一步法热处理制度,以5~10℃/min的升温速率升温至1100~1400℃,保温6~16h,得到Y-Si-Al-O-N氧氮微晶玻璃。或采用两步法热处理制度,以5~10℃/min的升温速率先升温至920~1050℃保温6~15h小时进行核化,再以5~10℃/min的升温速率升温至1100~1400℃保温2~8h进行晶化,之后关掉电源,试样随炉冷却而得到主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N氧氮微晶玻璃。
本发明采用新的基础玻璃的配方、新的玻璃制备工艺和微晶玻璃制备工艺,在很宽的温度范围内进行热处理,可使基础玻璃的熔制温度由传统方法的1700℃以上降低至1550℃;本发明采用的坩埚装置使得玻璃熔制和玻璃热处理过程摆脱了氧氮微晶玻璃制备必须使用高温气压炉的限制,制备的基础玻璃均匀,呈浅灰色;采用本发明所述的热处理方法获得的微晶玻璃中YAG微晶体含量高,次晶相种类少,含量低,在一定温度下对基础玻璃进行热处理,可制得析晶度高且只含YAG晶相的Y-Si-Al-O-N体系氧氮微晶玻璃。
附图说明
图1是实施例1对应基础玻璃的DSC曲线图;
图2是实施例1和2的XRD图;
a对应于实施例1,b对应实施例2
图3是实施例3和4的XRD图;
c对应于实施例3,d对应实施例4
图4是实施例1所制备微晶玻璃的SEM图谱;
图5是实施例2所制备微晶玻璃的SEM图谱;
图6是实施例3所制备微晶玻璃的SEM图谱;
图7是实施例4所制备微晶玻璃的SEM图谱。
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本发明作进一步说明,但不应以此限制本发明的保护范围。
表1列出了本发明8个具体实施例的玻璃配方。
实施例1,2,3和4的玻璃化学组成相同,玻璃的熔制工艺也相同,但玻璃的热处理制度不同。从玻璃混合料的制备、玻璃的熔制到热处理微晶化的具体过程为:
1)Y-Si-Al-O-N玻璃混合料的制备:根据玻璃的化学组成,将118ml正硅酸乙酯在198ml无水乙醇中醇解得到SiO2溶胶。将111.2g异丙醇铝在适量水中水解制得Al2O3溶胶,将SiO2溶胶和Al2O3溶胶混合搅拌3h,得到SiO2-Al2O3混合溶胶。将71.9g Y2O3溶于适量的硝酸中得到Y(NO3)3溶液,之后将其加入SiO2-Al2O3混合溶胶中搅拌5h得到Y2O3-SiO2-Al2O3混合溶胶。将13.44g氮化硅粉末加入上述混合溶胶中得到悬浮液,将所制备的悬浊液在100℃保温10h以上除去绝大部分水和无水乙醇,再将其缓慢升温至450℃保温5h,除去硝酸根。将所得的前驱体粉体研磨、过200目筛即得到玻璃混合料。
2)玻璃的熔制:将上述制备的玻璃混合料置于一个加盖的小石英坩埚中,玻璃块体填埋于Al2O3粉末或Si3N4粉末之下,再将此小坩埚置于另一个加盖的较大石英坩埚中,两石英坩埚夹层填充高纯石墨条。将此坩埚装置于硅钼棒电炉中,在1580℃保温下熔制3h,将熔体浇注固化成型后在玻璃的转变温度附近保温1h,随炉冷却后得到Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃。或1580℃保温3h后直接将坩埚装置取出置于退火炉中,在玻璃转变温度附近保温1h,随炉冷却后得到Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃。
3)微晶玻璃的制备:将制得的基础玻璃切割成块状,置于加盖的小石英坩埚中,再将此坩埚置于另一个较大的加盖石英坩埚中,两坩埚中间填充满高纯石墨条。再将此坩埚装置置于电阻炉中于空气气氛下进行热处理。采用一步法热处理制度,以5℃/min的升温速率升温至1100~1400℃,保温6~16h,得到Y-Si-Al-O-N氧氮微晶玻璃。或采用两步法热处理制度,以5℃/min的升温速率先升温至920~1050℃保温6~15h小时进行核化,再以5℃/min的升温速率升温至1100~1400℃保温2~8h进行晶化,之后关掉电源,试样随炉冷却而得到主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N氧氮微晶玻璃。
具体实施过程中,对于实施例1,其成核温度为1050℃,核化时间为14h,晶化温度为1150℃,晶化时间为4h;对于实施例2,其成核温度为1050℃,核化时间为10h,晶化温度为1200℃,晶化时间为4h;对于实施例3,其核化温度为1050℃,核化时间为10h,晶化温度为1300℃,晶化时间为4h;对于实施例4,只进行一步热处理,不经核化,直接在1300℃温度下保温10h。
实施例5和6具体制备过程如下:
1)按照表1中所示的实施例5和6的玻璃组分进行配料。实施例5和6玻璃混合料的制备过程与实施例1,2,3,4相同。所不同的是,具体合成过程中,对于实施例5,用于制备Al2O3溶胶的异丙醇铝的质量为105.2g,用于制备SiO2溶胶的正硅酸乙酯为80.5ml,用于制备硝酸钇溶液的Y2O3质量为46.1g,Si3N4的质量为6g;对于实施例6,用于制备Al2O3溶胶的异丙醇铝的质量为108.8g,用于制备SiO2溶胶的正硅酸乙酯为83.1ml,用于制备硝酸钇溶液的Y2O3质量为47.5g,Si3N4的质量为3g。
2)熔制实施例5和6的Y-Si-Al-O-N玻璃的制备工艺过程与实施例1,2,3和4的玻璃熔制过程相同。
3)实施例5和6氧氮微晶玻璃的制备工艺与实施例1,2,3和4的基本相同,具体热处理过程中,对于实施例5,直接在1200℃保温14h晶化;对于实施例6,直接在1250℃保温8h晶化。
实施例7和8具体制备过程如下:
1)实施例7的玻璃配方与实施例5相同,玻璃的混合料制备过程也相同,实施例8的玻璃配方与实施例6相同,玻璃的混合料制备过程也相同。按照表1中所示的实施例5和6的玻璃组分分别对实施例7和8进行配料,之后按照玻璃混合料的配制工艺得到玻璃混合料。
2)熔制实施例7和8的Y-Si-Al-O-N玻璃的制备工艺过程与实施例1,2,3和4的玻璃熔制过程相同,所不同的是对于实施例7和8,玻璃的熔制温度均为1550℃,熔制时间为5h。
3)实施例7和8氧氮微晶玻璃的制备工艺与实施例1,2,3和4的基本相同。具体热处理过程中,对于实施例7,其成核温度为940℃,核化时间为8h,晶化温度为1100℃,晶化时间为6h;对于实施例8,其核化温度为930℃,核化时间为8h,晶化温度为1350℃,晶化时间为4h。
将按上述实施例制备的8个微晶玻璃进行XRD,SEM和维氏硬度测试,发现其主晶相均为YAG相,在1200℃或1200℃以下温度对基础玻璃进行热处理得到的微晶玻璃中只含YAG晶相。在1200℃以上对基础玻璃进行热处理得到的微晶玻璃中主要包含YAG相,还有少量的O’-sialon相。微晶玻璃的析晶度最高达90.7%,维氏硬度最高达13.39GPa。对基础玻璃在1200℃及其以下温度下进行热处理,如延长基础玻璃的核化时间或晶化时间,微晶玻璃的析晶度和硬度有望进一步提高。微晶玻璃的SEM图表明,YAG晶粒为树枝状,经过两步热处理制备的氧氮微晶玻璃树枝晶的枝干长度在20μm以内(如实施例1,2和3),经一步热处理制备的氧氮微晶玻璃树枝晶的晶粒尺寸明显增大,其枝干长度长达100μm(如实施例4)。
表1:具体8个实施例的玻璃配方,热处理制度以及性能
Claims (3)
1、一种主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N体系氧氮微晶玻璃的制备,其特征在于,所述的制备包括如下步骤:
1)玻璃的混合料的制备:按组成元素的原子质量百分比:Y:11~13%,Si:10~14%,Al:13~16%,O:53~60%,N:2~10%先配制Y2O3-SiO2-Al2O3混合溶胶;再加入Si3N4粉末,搅拌不少于5h得到均匀的悬浊液;将悬浊液在95~110℃加热不少于8h,之后将其升温至400~500℃保温3~6h,得到Si3N4-Y2O3-SiO2-Al2O3前驱体粉体,将其研细后过筛得到熔制Y-Si-Al-O-N玻璃的混合料。
2)玻璃的熔制:将1)步中得到的玻璃混合料置于一个加盖的小坩埚中,再将此坩埚置于一个大的加盖的坩埚中,两个坩埚的夹层填充满石墨条,以确保玻璃混合料在还原气氛下熔制;将此坩埚装置置于高温炉中,在1550℃~1600℃下保温熔制2~5h,将熔体浇注固化成型或直接将坩埚装置取出置于退火炉中,在玻璃的转变温度附近保温1~2h,随炉冷却后得到Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃。
3)微晶玻璃的制备:将2)步中得到的Y-Si-Al-O-N氧氮玻璃切割后置于加盖的小坩埚中,小坩埚内充满Al2O3或Si3N4粉末,再将此坩埚置于另一个大的加盖坩埚中,两坩埚中间填充满高纯石墨条;再将此坩埚装置置于电阻炉中于空气气氛下,以5~10℃/min的升温速率升温至1100~1400℃,保温6~16h,得到主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N氧氮微晶玻璃;或以5~10℃/min的升温速率先升温至920~1050℃保温6~15h小时进行核化,再以5~10℃/min的升温速率升温至1100~1400℃保温2~8h进行晶化,试样随炉冷却而得到主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N氧氮微晶玻璃。
2、根据权利要求1所述的微晶玻璃的制备,其特征在于,将Si3N4-Y2O3-SiO2-Al2O3前驱体粉体研细后过200目筛得到熔制Y-Si-Al-O-N玻璃的混合料。
3、根据权利要求1所述的微晶玻璃的制备,其特征在于,2)步和3)步中所述的坩埚均为石英或刚玉坩埚。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009100437718A CN101597137B (zh) | 2009-06-26 | 2009-06-26 | 一种主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N体系氧氮微晶玻璃的制备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009100437718A CN101597137B (zh) | 2009-06-26 | 2009-06-26 | 一种主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N体系氧氮微晶玻璃的制备 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101597137A true CN101597137A (zh) | 2009-12-09 |
CN101597137B CN101597137B (zh) | 2011-07-20 |
Family
ID=41418765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2009100437718A Active CN101597137B (zh) | 2009-06-26 | 2009-06-26 | 一种主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N体系氧氮微晶玻璃的制备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101597137B (zh) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102060441A (zh) * | 2010-11-12 | 2011-05-18 | 中国科学院理化技术研究所 | Y3Al5O12荧光玻璃陶瓷及其制备方法 |
CN102849954A (zh) * | 2012-09-26 | 2013-01-02 | 中南大学 | 主晶相为Y2Si2O7的Y-Al-Si-O-N-F氧氮微晶玻璃及制备方法 |
CN103319092A (zh) * | 2013-06-05 | 2013-09-25 | 杭州久光光电科技有限公司 | 一种贵金属增强的Ce-YAG微晶玻璃及其制备方法 |
CN109231818A (zh) * | 2018-10-10 | 2019-01-18 | 内蒙古科技大学 | 氧氮玻璃和氧氮玻璃的生产方法 |
CN112979294A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-06-18 | 中南大学 | 一种废旧匣钵修复涂料及其使用方法 |
CN115745401A (zh) * | 2022-11-10 | 2023-03-07 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种氮化硅陶瓷包封用氧氮玻璃及其制备方法和应用 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101234852B (zh) * | 2008-01-16 | 2011-05-11 | 中南大学 | 0.3~5μm波段红外透过耐高温玻璃陶瓷材料及制备方法 |
-
2009
- 2009-06-26 CN CN2009100437718A patent/CN101597137B/zh active Active
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102060441A (zh) * | 2010-11-12 | 2011-05-18 | 中国科学院理化技术研究所 | Y3Al5O12荧光玻璃陶瓷及其制备方法 |
CN102849954A (zh) * | 2012-09-26 | 2013-01-02 | 中南大学 | 主晶相为Y2Si2O7的Y-Al-Si-O-N-F氧氮微晶玻璃及制备方法 |
CN102849954B (zh) * | 2012-09-26 | 2014-12-03 | 中南大学 | 主晶相为Y2Si2O7的Y-Al-Si-O-N-F氧氮微晶玻璃及制备方法 |
CN103319092A (zh) * | 2013-06-05 | 2013-09-25 | 杭州久光光电科技有限公司 | 一种贵金属增强的Ce-YAG微晶玻璃及其制备方法 |
CN109231818A (zh) * | 2018-10-10 | 2019-01-18 | 内蒙古科技大学 | 氧氮玻璃和氧氮玻璃的生产方法 |
CN112979294A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-06-18 | 中南大学 | 一种废旧匣钵修复涂料及其使用方法 |
CN115745401A (zh) * | 2022-11-10 | 2023-03-07 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种氮化硅陶瓷包封用氧氮玻璃及其制备方法和应用 |
CN115745401B (zh) * | 2022-11-10 | 2024-07-09 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种氮化硅陶瓷包封用氧氮玻璃及其制备方法和应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101597137B (zh) | 2011-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101597137B (zh) | 一种主晶相为Y3Al5O12的Y-Si-Al-O-N体系氧氮微晶玻璃的制备 | |
CN107434410B (zh) | 一种堇青石陶瓷粉体的制备方法 | |
CN109502589A (zh) | 一种制备高纯碳化硅粉料的方法 | |
CA1201453A (en) | Ceramic product and method of forming a ceramic product | |
CN101302011A (zh) | 用于半导体单晶生长的高纯碳化硅粉的人工合成方法 | |
CN108947253B (zh) | 含Y4.67(SiO4)3O磷灰石晶相的钇铝硅酸盐玻璃陶瓷及其制备方法 | |
CN110067024B (zh) | 光电功能晶体m3re(po4)3及其制备方法 | |
WO2012000428A1 (en) | Method for preparing high purity silicon | |
CN110156333A (zh) | 晶体有序生长的微晶玻璃的制备方法 | |
CN103172390A (zh) | 一种抗水化高纯氧化钙坩埚的制备方法 | |
CN105036167A (zh) | 一种六铝酸钙及其制备方法 | |
CN110759733B (zh) | 一种Y0.5Dy0.5Ta0.5Nb0.5O4钽系陶瓷材料及其制备方法 | |
CN110451810B (zh) | 一种CuO掺杂Bi2SiO5多晶玻璃的制备方法 | |
CN109811415B (zh) | 一种从高岭土低温制备莫来石晶须的方法 | |
CN113788480B (zh) | 一种高纯碳化硅制备方法及对应的高纯碳化硅 | |
CN101157545A (zh) | 向多晶氧化铝陶瓷中掺杂的方法 | |
CN101891225B (zh) | 用工业湿氢氧化铝生产低钠高温氧化铝的方法 | |
CN114409283A (zh) | 一种阿利特-叶利米特水泥及其制备方法 | |
CN102951924B (zh) | 一种利用热致相分离技术制备多孔陶瓷的方法 | |
CN109320258A (zh) | 一种多晶硅铸锭用氮化硅窑具材料及其制备方法 | |
CN115259163B (zh) | 一种硅化铈的合成方法 | |
CN102180679B (zh) | 一种添加La2O3的复相α-β-Sialon陶瓷材料的制备方法 | |
CN108164276A (zh) | 一种隔热耐火材料及其制备方法 | |
CN1724458A (zh) | 高抗热震性高纯二氧化硅结构陶瓷的制备方法 | |
CN102211935B (zh) | 一种以废旧耐火材料为原料生产高纯铝硅碳粉体的方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |