CN101466778B - 塑料透镜的制造方法 - Google Patents

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Abstract

为了得到具有260℃回流耐热性的塑料透镜，使用一种塑料透镜的制造方法，其特征在于，将包含树脂和光聚合引发剂的感光性树脂组合物成型为透镜形状，其中所述树脂是如下得到的，即，将a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)2-Si(CH3)-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a)化合物为50～150摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到。

Description

塑料透镜的制造方法
技术领域
本发明涉及主要以光用途为目的的塑料透镜的制造方法。更具体来说，涉及以光通信用微塑料透镜、CMOS图像传感器为代表的固体摄像元件用的塑料透镜的制造方法。另外，当塑料透镜的尺寸小时，称为微塑料透镜或迷你透镜。
背景技术
塑料透镜和玻璃相比容易成形并且廉价，因此广泛用于各种光学制品。作为其材料，使用热塑性塑料，例如聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯，以及热固化性塑料，例如聚二乙二醇双烯丙基碳酸酯等各种透明材料。
但是，在以往的材料中，如专利文献1和2所示，即使改良耐热性，大部分仅有200℃以下的耐热性，因此无法保证260℃回流焊耐热。
具有Si-O结构的硅氧烷树脂通常耐热性高。在专利文献3和4中，介绍了作为耐磨耗性硬涂层材料的UV固化型硅氧烷树脂。然而，其都限定于薄膜的被覆材料。一般说来，硅氧烷树脂耐热性优异，但是耐裂解性差，因此有难以成为厚膜结构材料的问题。
在专利文献5中，公开了以Ba(OH)2(氢氧化钡)作为催化剂，使具有可聚合基团的有机硅烷和具有水解反应点的有机硅烷缩聚得到的、作为ORMOCER ONE(德国Fraunhofer ISC公司制)的材料。该材料可以在150℃的低温下固化，并且具有300℃以上的耐热性。其问题是，该材料和不同种类材料的基底(金属、玻璃、硅)的附着力差。
在专利文献6、7和8中公开了液晶投影仪用的微透镜阵列的形成方法。通过金属模具和透明玻璃基板挤压紫外线固化型透明树脂，并从玻璃基板侧照射紫外线，使该透明树脂固化，进行透镜成型。然而，当该树脂的附着力差时，在光固化后的脱模工序中，无法在玻璃基板上形成树脂图案，并且树脂容易残留在模具上，成为了该方法的重大问题。
作为透明树脂的附着力改良方法，在专利文献9中公开了预先将树脂薄薄地涂布在玻璃基板面上，进行一次全面紫外线照射，形成固化膜的方法。然而，作为附着力的改善，是不足的。
另一方面，作为不使用模具的塑料透镜形成方法，在专利文献10中，公开了通过使用掩模的光曝光方式和热熔融方式，在固体摄像元件上形成耐热性的微透镜的方法。但是，作为树脂材料，只公开了正型材料，并且存在该正型材料的耐热温度在200℃以下的问题。作为使用掩模的光曝光方式的其它例子，在专利文献11中，公开了使用一种形成透镜形状的光强度分布的半透明掩模的方法。作为树脂材料，只公开了正型感光性树脂，并且形成的透镜图案的耐热性为200℃以下，而且为了提高耐热性，必须通过干式蚀刻对作为基底的玻璃材料进行加工。因此，具有透镜成形过程复杂，并且需要昂贵的加工设备的问题。
专利文献1：日本特开平09-31136号公报
专利文献2：日本特开2004-245867号公报
专利文献3：日本特开平03-281616号公报
专利文献4：国际公开第2002/102907号小册子
专利文献5：加拿大专利第238756号公报
专利文献6：日本特开平10-253801号公报
专利文献7：日本特开2001-194508号公报
专利文献8：日本特开平01-257901号公报
专利文献9：日本特开平05-249302号公报
专利文献10：日本特开平06-138306号公报
专利文献11：日本特开2001-158022号公报
发明内容
发明要解决的问题
本发明目的在于提供一种具有260℃回流耐热性的塑料透镜及其制造方法。
用于解决问题的方法
本发明人为了解决前述问题，在研究含有硅氧烷的感光性树脂时、将特定的感光性树脂组合物成型为透镜形状，由此完成本发明。即，本发明如下所述。
(1)一种塑料透镜的制造方法，其特征在于，将包含树脂和光聚合引发剂的感光性树脂组合物成型为透镜形状，其中所述树脂是如下得到的，即，将a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)2-Si(CH3)-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a)化合物为50～150摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到。
(2)一种塑料透镜的制造方法，其特征在于，依次进行如下步骤：
第1步骤，其包括在具有开口部的塑料透镜模具中装满包含树脂和光聚合引发剂的感光性树脂组合物的过程以及将装满该感光性树脂组合物的该模具的开口部按压到基板上的过程，其中所述树脂是如下得到的，即，将a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)2-Si(CH3)-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a)化合物为50～150摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到；
第2步骤，将该感光性树脂组合物曝光；
第3步骤，从该基板上剥离将该模具；和
第4步骤，将曝光的感光性树脂组合物在150℃～250℃的温度下加热0.5小时～2小时。
(3)根据(2)所述的塑料透镜的制造方法，其特征在于，上述第1步骤包括如下过程：
将硅烷化合物或含有硅烷化合物的组合物涂布在基板上，得到附着硅烷化合物的基板的过程；
在具有开口部的塑料透镜模具中装满包含树脂和光聚合引发剂的感光性树脂组合物的过程，其中所述树脂是如下得到的，即，将a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)2-Si(CH3)-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a)化合物为50～150摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到；以及
将装满该感光性树脂组合物的模具的开口部按压到该附着硅烷化合物的基板的该硅烷化合物表面上的过程。
(4)根据(3)所述的塑料透镜的制造方法，其特征在于，含有上述硅烷化合物的组合物是和上述组合物相同的感光性树脂组合物。
(5)根据(3)或(4)所述的塑料透镜的制造方法，其特征在于，感光性树脂组合物包含树脂和光聚合引发剂，其中所述树脂是如下得到的，即，将a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以a)和b)的比为60摩尔％/40摩尔％～40摩尔％/60摩尔％的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到。
(6)根据(3)或(4)所述的塑料透镜的制造方法，其特征在于，感光性树脂组合物包含树脂和光聚合引发剂，其中所述树脂是如下得到的，即，将a-1)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)3-Si-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物，a-2)选自(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)2-Si(CH3)-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a-1)化合物为10～60摩尔的比例、a-2)化合物为40～90摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到。
(7)一种塑料透镜的制造方法，其特征在于，依次进行如下步骤：
将包含树脂和光聚合引发剂的感光性树脂组合物涂布在基板上，在50～150℃下加热1分钟～30分钟，得到附着感光性树脂组合物的基板的步骤，其中所述树脂是如下得到的，即，将a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)3-Si-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a)化合物为50～150摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到；
通过对各掩模各进行一次如下操作而多重曝光的步骤：将重叠时形成同心圆图案的多片掩模中的一片与该基板重叠，并以显影削减后的残膜饱和最低曝光量÷掩模片数的一定光量进行曝光，然后除去该掩模；
显影步骤；和
在150℃～250℃的温度下加热0.5小时～2小时的步骤。
(8)一种塑料透镜形成用感光性树脂组合物，其包含树脂和光聚合引发剂，其中所述树脂是如下得到的，即，将a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)2-Si(CH3)-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a)化合物为50～150摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到。
(9)一种塑料透镜，其通过将包含树脂和光聚合引发剂的感光性树脂组合物光固化而得到，其中所述树脂是如下得到的，即，将a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-C O-C(CH3)＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)2-Si(CH3)-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a)化合物为50～150摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到。
发明效果
根据本发明，可以制造一种具有260℃回流焊耐性的塑料透镜。
附图说明
图1是本发明的使用模具的塑料透镜的制造方法的示意图。
(a)在具有开口部的塑料透镜的模具(1)中装满上述感光性树脂组合物(2)的过程。
(b)将装满感光性树脂组合物的该模具的开口部按压到基板(3)上的过程。
(c)曝光感光性树脂组合物的步骤。
(d)从基板上剥离塑料透镜的模具的步骤。
图2是本发明的使用掩模的塑料透镜的制造方法的示意图。
(a)得到附着感光性树脂组合物的基板的步骤。
(b-1)曝光步骤的一个例子。
(b-2)曝光步骤的一个例子。
(b-3)曝光步骤的一个例子。
(b-4)从上方观察用于形成一个透镜的掩模的图。
(c)显影后的基板。
图3是用于求出显影削减后的残膜饱和最低曝光量的图。
符号说明
1   塑料透镜的模具
2   感光性树脂组合物
3   基板
4   感光性树脂组合物
5   基板
6   掩模
具体实施方式
(1)感光性树脂组合物
本发明的感光性树脂组合物是包含树脂和光聚合引发剂的感光性树脂组合物，其中所述树脂是如下得到的，即，将a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)2-Si(CH3)-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a)化合物为50～150摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到。
a)化合物是选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)2-Si(CH3)-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物。其中，优选为下述通式(I)所示的3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(以下，也表示为MEMO)以及下述通式(II)所表示的3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷(以下，也表示为MEDMO)。
[化学式1]
Figure G200780022272XD00091
[化学式2]
Figure G200780022272XD00092
b)化合物是(C6H5)2-Si-(OH)2，即，二苯基硅二醇(以下，也称作DPD)。
相对于100摩尔b)化合物，a)化合物的比例更优选为82～122摩尔的比例。从热分解耐热性的观点考虑，上述a)化合物优选为a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)3-Si-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物。
这时，a)和b)化合物的混合比例，优选为60摩尔％/40摩尔％～40摩尔％/60摩尔％，更优选为55摩尔％/45摩尔％～45摩尔％/55摩尔％，进一步优选为52摩尔％/48摩尔％～48摩尔％/52摩尔％，最优选为50摩尔％/50摩尔％。
此外，从耐温度冲击性的观点考虑，感光性树脂组合物优选为包含树脂和光聚合引发剂的感光性树脂组合物，其中所述树脂是如下得到的，即，将a-1)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)3-Si-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物，a-2)选自(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2、(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)2-Si(CH3)-(CH2)X-CH＝CH2(此处，X＝1或2)所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a-1)化合物为10～60摩尔的比例，a-2)化合物40～90摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到。其中，作为a-1)化合物，优选为MEMO，作为a-2)化合物，优选为MEDMO。b)化合物为DPD。
通过上述缩聚而得到树脂的过程的温度为40～150℃，更优选为50～90℃，进一步优选为70～90℃。从缩聚的反应性的观点考虑，为40℃以上，从保护官能团的观点考虑，为150℃以下。时间为0.1～10小时，更优选为0.5～5小时，进一步优选为0.5～3小时。从缩聚反应性的观点考虑，为0.1小时以上，从保护官能团的观点考虑，为10小时以下。
在通过上述缩聚而得到树脂的过程中，使用催化剂，并且无需积极加水。作为催化剂，可以使用3价或4价的金属醇盐。具体来说，可以列举三甲氧基铝、三乙氧基铝、三正丙氧基铝、三异丙氧基铝、三正丁氧基铝、三异丁氧基铝、三仲丁氧基铝、三叔丁氧基铝、三甲氧基硼、三乙氧基硼、三正丙氧基硼、三异丙氧基硼、三正丁氧基硼、三异丁氧基硼、三仲丁氧基硼、三叔丁氧基硼、四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四正丙氧基硅烷、四异丙氧基硅烷、四正丁氧基硅烷、四异丁氧基硅烷、四仲丁氧基硅烷、四叔丁氧基硅烷、四甲氧基锗、四乙氧基锗、四正丙氧基锗、四异丙氧基锗、四正丁氧基锗、四异丁氧基锗、四仲丁氧基锗、四叔丁氧基锗、四甲氧基钛、四乙氧基钛、四正丙氧基钛、四异丙氧基钛、四正丁氧基钛、四异丁氧基钛、四仲丁氧基钛、四叔丁氧基钛、四甲氧基锆、四乙氧基锆、四正丙氧基锆、四异丙氧基锆、四正丁氧基锆、四异丁氧基锆、四仲丁氧基锆、四叔丁氧基锆。此外，也可以使用氢氧化钡、氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化锶、氢氧化钙和氢氧化镁作为催化剂。其中，优选为氢氧化钡、四叔丁氧基钛和四叔丙氧基钛。为了迅速并且均匀地进行聚合反应，优选其在反应温度范围内为液态。相对于100摩尔b)化合物，催化剂添加量优选为0.01～5摩尔，更优选为0.1～3摩尔。
作为感光性树脂组合物中所含的光聚合引发剂，优选使用在365nm具有吸收的公知的光聚合引发剂，例如，2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉苯基)丁酮(IRGACURE369)。作为公知的引发剂，除此之外，可以列举，例如二苯甲酮、4，4’-二乙基氨基二苯甲酮、二乙基噻吨酮、乙基-对(N，N-二甲基氨基苯甲酸酯)、9-苯基吖啶。相对于100质量份上述缩聚所得的树脂，光聚合引发剂的添加量优选为0.01～5重量份，更优选为0.3～3重量份，特别优选为0.5～2重量份。
此外，在感光性树脂组合物中添加光聚合引发剂时，也可以进一步添加选自在主链中含有双酚A的聚环氧烷二(甲基)丙烯酸酯、以及聚环氧烷二(甲基)丙烯酸酯所组成的组中的一种以上化合物的化合物。此处，所谓(甲基)丙烯酸酯，表示丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。以下相同。
通过添加选自在主链中含有双酚A的聚环氧烷二(甲基)丙烯酸酯、以及聚环氧烷二(甲基)丙烯酸酯所组成的组中的一种以上化合物，起到了耐温度冲击性优异这样的更进一步的效果。
作为上述在主链中含有双酚A的聚环氧烷二(甲基)丙烯酸酯的聚环氧烷部位，可以列举聚环氧乙烷、聚环氧丙烷、聚四亚甲基氧化物。其中，优选在主链中含有双酚A的聚环氧乙烷二甲基丙烯酸酯，具体来说，可以列举下式所表示的日本油脂(株)制造的耐热性BLEMMER PDBE-200、250、450、1300。
[化学式3]
Figure G200780022272XD00131
作为上述聚环氧烷二(甲基)丙烯酸酯的聚环氧烷部位，可以列举聚环氧乙烷、聚环氧丙烷、聚四亚甲基氧化物。其中，优选为聚四亚甲基氧化物二甲基丙烯酸酯(四亚甲基氧化物的重复单元为5～10)。具体来说，可以列举下式所表示的日本油脂(株)制造的BLEMMER PDT650作为例子。
[化学式4]
Figure G200780022272XD00132
含有上述选自在主链中含有双酚A的聚环氧烷二(甲基)丙烯酸酯、以及聚环氧烷二(甲基)丙烯酸酯所组成的组中的一种以上化合物时的添加量，相对于100重量份使a)化合物和b)化合物缩聚所得的树脂，为1～30重量份。添加量优选为5～20重量份，进一步优选为7～14重量份。如果为30重量份以下，则树脂液的稳定性高，质量偏差小，因此优选。
本发明是一种塑料透镜的制造方法，其特征在于，将上述感光性树脂组合物成型为透镜形状。作为成型为透镜形状的制造方法，可以列举以下所示的“(2)利用模具的微塑料透镜的制造方法”、以及“(3)使用掩模的微塑料透镜制造方法”。对于这些制造方法，进行详细说明。
(2)利用模具的微塑料透镜的制造方法
可以通过依次进行以下所述的步骤，制造塑料透镜。使用图1说明各步骤。
第1步骤)包括在具有开口部的塑料透镜的模具(1)中装满上述感光性树脂组合物(2)的过程(图1的(a))，以及将装满该感光性树脂组合物的该模具的开口部按压到基板(3)上的过程(图1的(b))的步骤：首先，准备具有开口部的塑料透镜的模具。模具的材质，可以使用例如橡胶、玻璃、塑料、金属。在为金属模具时，优选为镍制。
在第1步骤中，包含使用例如玻璃吸管或分配器在该模具中装满上述感光性树脂组合物的过程、和将装满该感光性树脂组合物的模具的开口部按压到基板上的过程。从在后述的曝光步骤中使曝光光通过的观点考虑，基板优选为玻璃基板。但是，当模具的材质为石英时，为了可以透过模具使曝光光通过，基板也可以是硅基板。
第2步骤)曝光上述感光性树脂组合物的步骤(图1的(c))：在用基板和该模具夹住感光性树脂组合物的状态下，照射紫外线。在使用玻璃基板作为基板时，从玻璃基板侧进行曝光。从作为光固化型树脂的图案分辨率和操作性观点考虑，曝光光源波长优选为i线，作为装置，优选为接近式曝光类型的投影对准曝光器。
第3步骤)从基板上剥离塑料透镜的模具的步骤(图1的(d))：紫外线固化后，从基板上剥离模具。
第4步骤)将曝光的感光性树脂组合物在150℃～250℃的温度下加热0.5小时～2小时的步骤：通过在150℃～250℃的温度下加热0.5小时～2小时，可以使残留的甲基丙烯基结合，得到耐热性优异的塑料透镜。加热可以通过加热板、烘箱、可设定温度程序的升温式烘箱进行。作为进行加热转换时的气氛气体，可以使用空气，也可以使用惰性气体，例如氮气、氩气。
上述第1步骤)包含将硅烷化合物或含有硅烷化合物的组合物涂布在基板上，得到附着硅烷化合物的基板的过程，并且，将装满该感光性树脂组合物的该模具的开口部按压到基板上的过程，从塑料透镜对基板的附着力观点考虑，优选是将装满该感光性树脂组合物的模具的开口部按压到该附着硅烷化合物的基板的该硅烷化合物表面上的过程。
硅烷化合物或含有硅烷化合物的组合物在基板上的涂布，通过使用溶剂例如γ-丁内酯、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、四氢呋喃(THF)、碳数为1～6左右的醇类稀释硅烷化合物或含有硅烷化合物的组合物，并通过例如旋涂机、棒涂机、刮涂机、帘涂机、丝网印刷机进行涂布，或使用喷涂机进行喷雾涂布的方法进行。由此，通过硅烷化合物或含有硅烷化合物的组合物形成薄膜。该薄膜的厚度优选为0.1～10μm，更优选为0.5～5μm，进一步优选为1～3μm。
并且，从提高附着力的观点考虑，优选在涂布硅烷化合物或含有硅烷化合物的组合物后，连同基板一起加热。使基板的附着硅烷化合物表面向上进行加热。作为所用的装置，只要是烘箱、远红外线炉、加热板等能够加热的装置，则可以使用公知装置，并且从提高基板和硅烷化合物或含有硅烷化合物的组合物的附着力的观点考虑，尤其优选加热板。在50℃～150℃、优选100℃～140℃的范围下进行1分钟～30分钟、优选5分钟～10分钟加热。
作为所用的硅烷化合物，例如，可以列举3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-缩水甘油基氧基丙基三甲氧基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、对苯乙烯基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、3-缩水甘油基氧基丙基三乙氧基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基三乙氧基硅烷、对苯乙烯基三乙氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-缩水甘油基氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-缩水甘油基氧基丙基甲基二乙氧基硅烷。作为含有硅烷化合物的组合物，可以列举上述感光性树脂组合物。
作为硅烷化合物或含有硅烷化合物的组合物，其中，从提高附着力和操作性的观点考虑，优选为3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷。此外，从进一步提高附着力的观点考虑，优选为上述感光性树脂组合物。
(3)使用掩模的微塑料透镜制造方法
通过依次进行下述步骤，可以制造塑料透镜。
使用图2说明各步骤。
将上述感光性树脂组合物(4)涂布在基板(5)上，在50～150℃下加热1分钟～30分钟，得到附着感光性树脂组合物基板的步骤(图2的(a))通过使用溶剂例如NMP稀释上述感光性树脂组合物，并通过例如旋涂机、棒涂机、刮涂机、帘涂机、丝网印刷机进行涂布，或使用喷涂机进行喷雾涂布的方法将其涂布在基板上，形成感光性树脂组合物的薄膜。该薄膜的厚度优选为1～30μm，更优选为2～10μm，进一步优选为3～6μm。
作为基板，可以使用玻璃基板、硅基板。
使涂布过的基板的感光性树脂组合物的薄膜形成面向上进行加热。作为所用的装置，只要是烘箱、远红外线炉、加热板等能够加热的装置，则可以使用公知装置，并且从提高基板和感光性树脂组合物的附着力的观点考虑，尤其优选加热板。在50℃～150℃、优选100℃～140℃的范围下进行1分钟～30分钟、优选5分钟～10分钟加热。
通过对各掩模各进行一次如下操作而多重曝光步骤：将重叠时形成同心圆图案的多片掩模(6)中的一片与该基板重叠，并以显影削减后的残膜饱和最低曝光量÷掩模片数的一定光量进行曝光，然后除去该掩模(图2的(b-1)～(b-4))例如使用3片掩模曝光上述感光性树脂组合物，形成塑料透镜形状的方法。首先，准备3片重叠时形成同心圆图案的掩模。将其中一片掩模与通过前述步骤所得的附着感光性树脂组合物的基板重叠，并使用对准标记以显影削减后的残膜饱和最低曝光量÷掩模片数(例如，90mJ/cm2÷3＝30mJ/cm2的曝光量)的曝光量进行曝光。然后，除去使用的掩模，并且对各掩模各进行一次所述过程。(图2的(b-1)～(b-3))。在曝光中，可以从任一个掩模进行曝光。也就是说，例如，(b-1)～(b-3)，以任一顺序进行都可以。此外，从上方观察用于形成一个透镜的掩模的图如(b-4)所示。由于使用了对准标记，因此圆的中心一致。
此外，上述所谓显影削减后的残膜饱和最低曝光量，表示以下内容。
对于将上述感光性树脂组合物涂布在基板上所得的感光性树脂组合物的涂布膜进行曝光时，显影后的固化后的残膜率根据曝光量而不同。
显影削减后的残膜饱和最低曝光量的确定方法，例如，根据图3的图表进行。
以曝光装置中的曝光量为横轴，以这时的显影后的残膜厚度为纵轴，制作图表，由此可知在残膜厚度为2.5μm附近饱和。
所谓饱和，表示每增加20mJ/cm2曝光量(光强度)时，膜厚变化(Δ厚度)为0.1μm以下的点。
这时的最低曝光量由表1的图表可知为100mJ/cm2。
这种最低曝光量(例如，“100mJ/cm2”)称为显影削减后的残膜饱和最低曝光量。
显影步骤)显影可以从以往已知的光致抗蚀剂的显影方法，例如旋转喷雾法、浸置法(Puddle method)、伴随超声波处理的浸渍法等中选择任意方法进行。显影后的基板如图2的(c)所示。
作为使用的显影液，优选为对于上述感光性树脂组合物为良溶剂和不良溶剂的组合。作为该良溶剂，例如，可以使用N-甲基吡咯烷酮、N-乙酰基-2-吡咯烷酮、N，N′-二甲基乙酰胺、环戊酮、环己酮、γ-丁内酯、α-乙酰基-γ-丁内酯、甲基异丁酮，此外，作为不良溶剂，例如，可以使用甲苯、二甲苯、甲醇、乙醇、异丙醇和水。不良溶剂相对于良溶剂的比例，根据上述感光性树脂组合物的溶解性进行调整。可以将各种溶剂组合使用。
显影后在150℃～250℃的温度下加热0.5小时～2小时的步骤)通过在150℃～250℃的温度下加热0.5小时～2小时，可以使残留的甲基丙烯基结合，得到耐热性优异的塑料透镜和液晶偏振片用光学元件。加热可以通过加热板、烘箱、可设定温度程序的升温式烘箱进行。作为进行加热转换时的气氛气体，可以使用空气，也可以使用惰性气体，例如氮气、氩气。
实施例
接着，通过实施例进一步详细说明本发明，本申请发明的范围并不限定于此。
[感光性树脂组合物1的制造]
在500ml的茄型烧瓶中，装入0.1摩尔(24.83g)MEMO作为a)化合物、0.1摩尔(21.63g)DPD作为b)化合物、相对于0.1摩尔DPD为22毫摩尔(0.625g)的四异丙氧基钛作为催化剂，在其中安装冷却器，并通过油浴从室温缓缓升温至85℃。确认在85℃下产生的甲醇而开始回流后，在该温度下继续进行1小时回流。然后，除去冷却器，并在相同温度下通过减压蒸馏除去甲醇。在不引起暴沸的情况下缓缓提高真空度至3torr，并一边在80℃下进行搅拌，一边继续抽真空2小时，最后返回至常压，结束除去甲醇。将所得的缩聚物冷却至室温后，相对于100重量份所得的缩聚物，添加1重量份IRGACURE369(Nihon Ciba-Geigy K.K.制)作为光聚合引发剂，并使用0.2μm网眼的过滤器进行过滤，形成感光性树脂组合物1。
[感光性树脂组合物2的制造]
在100质量份感光性树脂组合物1中，再添加10质量份聚环氧乙烷双酚A二甲基丙烯酸酯(日本油脂(株)制、BLEMMERPDBE450)，形成感光性树脂组合物2。
[感光性树脂组合物3的制造]
在500ml的茄型烧瓶中所装的原料为：0.02摩尔(4.97g)MEMO作为a-1)化合物、0.08摩尔(18.59g)MEDMO作为a-2)化合物、0.1摩尔(21.62g)DPD作为b)化合物、22毫摩尔(0.625g)四异丙氧基钛作为催化剂，除此以外，和感光性树脂组合物1的制造方法同样进行。相对于100质量份所得的感光性树脂组合物，再添加10质量份聚环氧乙烷双酚A二甲基丙烯酸酯(日本油脂(株)制、BLEMMER PDBE450)，形成感光性树脂组合物3。
[实施例1]利用模具的微透镜1的制造方法
依次进行以下步骤，制造微透镜。
第1步骤)使用玻璃吸管，在最大深度为30μm、直径为100μm、几百个镍制的具有开口部的塑料透镜模具中，滴入5滴上述感光性树脂组合物1，使感光性树脂组合物1装满该模具。使用Corning制无碱玻璃基板(10cm正方形，厚度为0.7mm)作为基板，并将该模具的开口部按压到基板上。
第2步骤)在用基板和该模具夹住感光性树脂组合物的状态下，使用CANON制接近式曝光装置镜像投影对准曝光器，从玻璃基板侧，整面无掩模地照射紫外线。在i射线波长(365nm)下的照射量为400mJ/cm2。
第3步骤)从基板上剥离模具。
第4步骤)使用固化烘箱，在氮气气氛下，在200℃的温度下加热2小时，得到附着微透镜1的基板。
[实施例2]利用模具的微透镜2的制造方法
除了第1步骤为以下步骤以外，和实施例1同样进行。
第1步骤)使用Corning制无碱玻璃基板(10cm正方形，厚度为0.7mm)作为基板，使用MEMO作为硅烷化合物，并使用NMP溶剂稀释至MEMO为5重量％后，在1000rpm 20秒的条件下使用旋涂机进行涂布。使涂布的玻璃基板的附着硅烷化合物表面向上，在加热板上在120℃下加热5分钟，然后冷却。所得的附着硅烷化合物的基板的硅烷化合物层的厚度为0.01μm以下。使用玻璃吸管，在镍制具有开口部的塑料透镜的模具中，滴入5 滴上述感光性树脂组合物1，使感光性树脂组合物1装满该模具。接着，将该模具的开口部按压到附着硅烷化合物的基板的附着硅烷化合物表面上。
[实施例3]利用模具的微透镜3的制造方法
除了使用感光性树脂组合物2代替感光性树脂组合物1以外，和实施例2同样进行。
[实施例4]利用模具的微透镜4的制造方法
除了第1步骤为以下步骤以外，和实施例1同样进行。
第1步骤)使用Corning制无碱玻璃基板(10cm正方形，厚度为0.7mm)作为基板，使用上述感光性树脂组合物3作为含有硅烷化合物的组合物，并使用NMP溶剂稀释至感光性树脂组合物3为10重量％后，在2500rpm 30秒的条件下使用旋涂机进行涂布。使涂布的玻璃基板的附着感光性树脂组合物3面向上，在加热板上在120℃下加热5分钟，然后冷却。所得的附着感光性树脂组合物3的基板的感光性树脂组合物3层的厚度为3μm。使用玻璃吸管，在镍制具有开口部的塑料透镜模具中，滴入5滴上述感光性树脂组合物3，使感光性树脂组合物3装满该模具。接着，将该模具的开口部按压到附着感光性树脂组合物3的基板的附着感光性树脂组合物3面上。
在实施例1～4中，可以制作塑料透镜。为了评价实施例1～4中制作出的塑料透镜的附着力，制作以下的树脂膜1～4，进行测定。
对于实施例1，在基板上，在700rpm 30秒的条件下，将感光性树脂组合物1旋涂在玻璃基板上。使用厚度为0.3mm的PET薄膜覆盖所得的感光性树脂组合物1的旋涂膜，并经过第2步骤和第4步骤，形成树脂膜1。
对于实施例2，使用MEMO作为硅烷化合物，并使用NMP溶剂稀释至MEMO为5重量％后，在1000rpm 20秒的条件下使用旋涂机将其涂布在玻璃基板上。使基板的附着硅烷化合物表面向上，在加热板上在120℃下加热5分钟，然后冷却。然后，在700rpm 30秒的条件下将感光性树脂组合物1旋涂在基板的附着硅烷化合物表面上。使用厚度为0.3mm的PET薄膜覆盖所得的感光性树脂组合物1的旋涂膜，并经过第2步骤和第4步骤，形成树脂膜1。
对于实施例3，使用MEMO作为硅烷化合物，并使用NMP溶剂稀释至MEMO为5重量％后，在1000rpm 20秒的条件下使用旋涂机将其涂布在玻璃基板上。使基板的附着硅烷化合物表面向上，在加热板上在120℃下加热5分钟，然后冷却。然后，在700rpm 30秒的条件下将感光性树脂组合物2旋涂在基板的附着硅烷化合物表面上。使用厚度为0.3mm的PET薄膜覆盖所得的感光性树脂组合物1的旋涂膜，并经过第2步骤和第4步骤，形成树脂膜1。
对于实施例4，使用上述感光性树脂组合物3作为含有硅烷化合物的组合物，并使用NMP溶剂稀释至感光性树脂组合物3为10重量％后，在2500rpm 30秒的条件下使用旋涂机进行涂布。使基板的附着感光性树脂组合物3面向上，在加热板上在120℃下加热5分钟，然后冷却。然后，在700rpm 30秒的条件下将感光性树脂组合物3旋涂在基板的附着硅烷化合物表面上。使用厚度为0.3mm的PET薄膜覆盖所得的感光性树脂组合物1的旋涂膜，并经过第2步骤和第4步骤，形成树脂膜1。
<260℃回流耐性试验>
将实施例1～4中所得的附着塑料透镜的基板放入已设定温度为260℃的烘箱(YAMATO CO.，LTD.制造Fine Oven DH-42)中，在空气气氛下烘焙5分钟。通过目视检查烘焙前后透镜的裂纹、剥离，进行评价。
评价结果如下所示。
○(合格)：未产生裂纹和剥离。
×(不合格)：产生了裂纹或剥离。
<附着力试验>
如上所述形成对应于上述实施例1～4的树脂膜1～4后，基于棋盘格带剥离试验(JIS K 5400)，使用cross-cutguide 1.0，并通过切刀进行切割，以形成100个1mm边长的正方形。从上方粘贴玻璃纸胶带后，将膜剥离。数出未附着于玻璃纸胶带而残留在基板上的正方形数目，评价附着力。
评价结果如下所示。
◎(优异)：100个正方形全部残留在基板上。
○(合格)：60～99个正方形残留在基板上。
×(不合格)：残留在基板上的正方形为59个以下。
<耐温度冲击性试验>
将实施例1～4中所得的附着塑料透镜的基板，放入温度冲击装置(TABAI制型式TSE-10)中，每30分钟将温度设定改变为-40℃和100℃，将该试验进行500次循环。评价100、300、500次循环后有无裂纹。
评价结果如下所示。
◎(优异)：即使500次循环后，也没有产生裂纹。
○(合格)：在300次循环后，产生裂纹。
×(不合格)：在100次循环后，产生裂纹。
结果示于表1。
[表1]
实施例1 实施例2 实施例3 实施例4
260℃回流耐性试验 ○ ○ ○ ○
附着力试验 ○70个 ◎100个 ◎100个 ◎100个
耐温度冲击性试验 ○ ○ ◎ ◎
[实施例5]使用掩模的微透镜5的制造方法
添加混合40重量％NMP使上述感光性树脂组合物1稀释，并将其滴至硅基板上，使用旋涂机(2500rpm 30秒)进行涂布。使附着感光性树脂组合物1的硅基板的感光性树脂组合物面向上，在加热板上在120℃下加热5分钟。干燥除去NMP后的感光性树脂组合物层的厚度为6μm。
预先准备由塑料透镜的同心圆图案所形成的3片掩模。即，是具有分别为2μm、4μm、6μm的圆形图案(纵横5个，总计25个)的掩模。这时的显影削减后的残膜饱和最低曝光量为90mJ/cm2，因此，将具有直径为2μm的圆形图案的掩模重叠在上述感光性树脂组合物层上，并以90÷3＝30mJ/cm2的光量进行紫外线曝光(Nikon制NSR 1755i7B)，除去掩模。接着，使用对准标记，并将具有直径为4μm的圆形图案的掩模重叠在上述感光性树脂组合物层上，同样地进行曝光，除去掩模。接着，使用对准标记，并将具有直径为6μm的圆形图案的掩模重叠在上述感光性树脂组合物层上，同样地进行曝光，除去掩模。
使用环己酮作为显影液，并通过旋转喷雾法对所得的基板显影20秒钟。然后，使用异丙醇作为清洗液，清洗10秒钟。
显影后，在150℃～250℃的温度下加热0.5小时～2小时的步骤)，使用固化烘箱，在N2中，在200℃的温度下加热2小时。
由此，可以得到未从硅基板上剥离的、高度为3μm的良好透镜塑料。
工业实用性
通过本发明的制造方法所得的塑料透镜，可以用作需要260℃回流焊工序的固体摄像元件或电子部件一体成型制品的透镜。此外，本发明的塑料透镜的制造方法，可用作紫外线固化压印技术。例如，不但可用于塑料透镜的制造方法，而且还可用于液晶偏振片用光学元件的制造方法。微透镜的制造方法和液晶偏振片用光学元件的制造方法，仅仅是模具的尺寸、种类不同，但制造方法是相同的。

Claims (7)

1.一种塑料透镜的制造方法，其特征在于，依次进行如下步骤：
第1步骤，其包括在具有开口部的塑料透镜模具中装满包含树脂和光聚合引发剂的感光性树脂组合物的过程以及将装满该感光性树脂组合物的该模具的开口部按压到基板上的过程，其中所述树脂是如下得到的，即，将a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2；(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2；(CH3O)3-Si-(CH2)x-CH＝CH2，其中，X＝1或2；(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2；(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)2-Si(CH3)-(CH2)x-CH＝CH2，其中，X＝1或2所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a)化合物为50～150摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到；
第2步骤，将该感光性树脂组合物曝光；
第3步骤，从该基板上剥离该模具；和
第4步骤，将曝光的感光性树脂组合物在150℃～250℃的温度下加热0.5小时～2小时。
2.根据权利要求1所述的塑料透镜的制造方法，其特征在于，上述第1步骤包括如下过程：
将硅烷化合物或含有硅烷化合物的组合物涂布在基板上，得到附着硅烷化合物的基板的过程；
在具有开口部的塑料透镜模具中装满包含树脂和光聚合引发剂的感光性树脂组合物的过程，其中所述树脂是如下得到的，即，将a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2；(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2；(CH3O)3-Si-(CH2)x-CH＝CH2，其中，X＝1或2；(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2；(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)2-Si(CH3)-(CH2)x-CH＝CH2，其中，X＝1或2所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a)化合物为50～150摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到；以及
将装满该感光性树脂组合物的模具的开口部按压到该附着硅烷化合物的基板的该硅烷化合物表面上的过程。
3.根据权利要求2所述的塑料透镜的制造方法，其特征在于，所述含有硅烷化合物的组合物是和所述感光性树脂组合物相同的感光性树脂组合物。
4.根据权利要求2或3所述的塑料透镜的制造方法，其特征在于，感光性树脂组合物包含树脂和光聚合引发剂，其中所述树脂是如下得到的，即，将a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2；(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2；(CH3O)3-Si-(CH2)x-CH＝CH2，其中，X＝1或2所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以a)和b)的比为60摩尔％/40摩尔％～40摩尔％/60摩尔％的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到。
5.根据权利要求2或3所述的塑料透镜的制造方法，其特征在于，感光性树脂组合物包含树脂和光聚合引发剂，其中所述树脂是如下得到的，即，将a-1)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2；(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)3-Si-(CH2)x-CH＝CH2，其中，X＝1或2所组成的组中的一种以上化合物，a-2)选自(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2；(CH3O)2-Si(CH3)(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)2-Si(CH3)-(CH2)x-CH＝CH2，其中，X＝1或2所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a-1)化合物为10～60摩尔的比例、a-2)化合物为40～90摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到。
6.一种塑料透镜的制造方法，其特征在于，依次进行如下步骤：
将包含树脂和光聚合引发剂的感光性树脂组合物涂布在基板上，在50～150℃下加热1分钟～30分钟，得到附着感光性树脂组合物的基板的步骤，其中所述树脂是如下得到的，即，将a)选自(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-C(CH3)＝CH2；(CH3O)3-Si-(CH2)3-O-CO-CH＝CH2和(CH3O)3-Si-(CH2)x-CH＝CH2，其中，X＝1或2所组成的组中的一种以上化合物和b)由(C6H5)2-Si-(OH)2所表示的化合物，以相对于100摩尔b)化合物，a)化合物为50～150摩尔的比例混合，并在催化剂存在下，在40℃～150℃的温度下缩聚0.1～10小时而得到；
通过对各掩模各进行一次如下操作而多重曝光的步骤：将重叠时形成同心圆图案的多片掩模中的一片与该基板重叠，并以显影削减后的残膜饱和最低曝光量÷掩模片数的一定光量进行曝光，然后除去该掩模；
显影步骤；和
在150℃～250℃的温度下加热0.5小时～2小时的步骤。
7.一种塑料透镜，其通过权利要求1或2、3以及6中的任一项所述的方法制造。
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