CN101437985B - 供电方法、网状物的连续电解电镀装置及带有镀膜的塑料膜的制造方法 - Google Patents

Abstract

包括以仅压接着被赋予导电性的网状物的端部的方式夹着网状物相向的至少两个旋转体，其构成为，该旋转体之中的至少一个是供电电极，这些旋转体可以与网状物的输送速度大致相同的速度旋转。

Description

供电方法、网状物的连续电解电镀装置及带有镀膜的塑料膜的制造方法

技术领域

本发明涉及供电方法、网状物的连续电解电镀装置及带有镀膜的塑料膜的制造方法。

背景技术

作为一边输送塑料膜等网状物(web)、一边在网状物上连续地形成电镀覆膜的方法，过去已知有使网状物的导电面或金属网状物与供电辊接触，并在其前或之后配置投入了阳极的电镀浴(plating bath)，在电镀浴形成电镀覆膜的方法。如果使用这一类的方法在网状物上连续地形成电镀覆膜，只要重复穿过配置有阴极-阳极的单元，就可以容易地在网状物上形成厚膜化的预期厚度的电镀覆膜。(参照专利文献1)

近年来，作为逐渐在电子器具、电子部件和半导体封装等之中得到应用的挠性电路用基板，由聚酰亚胺薄膜或聚酯膜与铜箔组合的方式的布线基板形态正受到瞩目。这种基板中有经由粘结剂将铜箔粘贴到网状物上而形成的、统称为“三层型”的基板，和在网状物上不经由粘结剂而以电镀等形成金属覆膜的、统称为“两层型”的挠性电路用基板。随着电路布线间距的微细化的发展，这其中的后者，即两层型更加受到瞩目。

这些挠性电路用基板的现状如下所述。三层型印刷电路用基板由于在粘结剂中使用了环氧类树脂或者丙烯酸类树脂，所以有其中所含的杂质离子会导致电气特性变差的问题；另外，由于粘结剂的耐热温度至多为100℃～150℃，所以即便使用聚酰亚胺作为基底膜材质，其高耐热性(300℃以上)也不会得到充分利用，因此，在需要高温安装的向IC芯片的引线接合(wire bonding)等中，加热温度的规格不得不下降。另外，在三层型印刷电路用基板中，由于铜箔的一般的薄膜厚度为18μm或者35μm，对于进行间距在80μm(铜布线40μm、间隙40μm)以下的构图，存在铜的厚度过大，蚀刻率显著降低，铜箔在表面一侧的电路宽度与在粘结剂一侧的电路宽度差异显著，或者因蚀刻而整体显著变细，难以得到期望的电路图案的缺点。

近年来，为了解决上述的三层型中的问题点，提出了这样一种方案，即，在网状物上不使用粘结剂，而是利用各种蒸镀法，例如真空蒸镀法、溅射法或者各种离子电镀法等的PVD法、使包含金属的药品气化后进行蒸镀的所谓的CVD法等，首先在网状物表面上蒸镀各种金属之后，或者，利用无电解电镀法形成各种金属镀层，然后进行电解镀铜，从而得到统称为“两层型”的基板。这种两层型基板的特征在于，通过电解镀铜能够自由地改变铜薄膜厚度，例如，如果铜薄膜厚度是8μm，就能够容易地制作出间距为40μm的电路图案，而且各种网状物的耐热温度能够原样反映。

由于以上所述的状况，带有电镀覆膜的薄膜的需求不断高涨。但是，在现有的方法中，如上所述，由于使网状物的导电面接触着供电辊进行输送，所以有时候会在非常精细的网状物导电面上造成擦伤或与此相伴的颗粒状突起等。另外，供电辊也存在着以下问题，即，为了接触到整个网状物幅宽，如果网状物宽度增大，供电辊的全长也要相应地增加，而为了保持其强度不得不增大辊径，导致供电装置本身的体积增大。

近年来，电路图案的微细化正在进展，伴随与此要求电镀覆膜所具有的表面品质也随之而变得更为严格。为此，正在锐意开发不会产生微小擦伤或突起的工艺。

专利文献2中提出了一种被称为夹子方式的电镀工艺，其使用供电夹子夹持网状物的端部，保持该状态穿过电镀液，在网状物上实施电镀；使用该方法时，由于其仅把持不会成为最终成品的网状物端部，因此不会在制品上产生微小擦伤，可以获得良好的表面品质。但是，为了搬运供电夹子，需要庞大的输送系统，和用于除去沉积在供电夹子上的电镀覆膜所执行的解镀工序等需要庞大的附带设备。另外，浮游在电镀液中的异物会导致被称为糙粒的电镀缺陷，因而电镀液中要求高洁净度，但由于这些电镀液的上部配置着各种可动部件，因而电镀液处于容易被摩擦粉末等异物污染的状况。进而，被供电夹子把持的部分不会被电镀，只有这部分的导电膜的薄膜厚度变薄，因而电阻值增大，当投入了大电流时，会发生因焦耳热量而导致其周围变色、变质等问题。

专利文献3中提出了一种将片簧状的供电电极按压在网状物端部进行供电、对网状物实施电镀的方法，使用这种方法也同样能够得到最终成品部位擦伤等较少的良好的表面品质。但是，由于供电电极总是处于擦过状态，在电极发生摩擦的同时，摩擦粉尘会污染电镀液或周围的器具。另外，由于总是处于被电极刹住的状态，在网状物的宽度方向上会产生张力分布，从稳定搬运的观点来看可能会成为较大障碍。

专利文献4中举例表示了使用辊状供电电极的普通的纵型电镀装置，作为供电辊的形状种类之一，提出了一种以仅有两端部位与网状物相接的方式缩小中央部位的辊外径，即所谓的哑铃形状的供电电极。利用这一方法，可以制造出在不接触辊的网状物中央部位擦伤等表面缺陷较少的产品。但是，因为辊的角速度在两端部位分别相同，因此，接触网状物的两端部位的外径只要稍有不同，就会在两端部位产生圆周速度差，因而要求极高的加工精度。另外，万一失速，某一方一边滑动一边接触，导致电极摩擦损耗或在宽度方向上产生张力分布等问题。

专利文献5中提出了一种供电方法，其为了在不损失无纺织布的蓬松性(bulkiness)等特性的条件下进行电镀，不接触网状物中央部位，仅使网状物上端部从电镀浴中露出来，在该露出部位紧密地附着带状电极，由此进行供电。使用这种方法也可以同样地得到中央部位没有擦伤或划痕的高品质的镀膜。但是，当使用这种方法时，网状物上端部总是不被电镀，因此，其薄膜厚度非常薄、电阻很大，当投入了大电流时，会因焦耳热量而导致膜的变色、变质。另外，对于在厚度方向上缺乏弹性的塑料膜等网状物来说，即便使用导向辊夹持网状物和带状电极、要利用钳夹力使两者紧密附着在一起，由于仅在导向辊部位产生紧密附着力，所以在钳夹位置以外的电极与网状物的接触电阻会增大。因此，当投入大电流时，会因发热而出问题。

专利文献6中提出了一种将宽度小的旋转体按压在输送辊上的搬运方法，旋转体可以兼作供电电极。使用该方法，通过将旋转体设置在网状物端部作为供电电极，在与抱着输送辊的面相反的面中就可以制造出擦伤少的产品。但是，根据本发明人的见解，在这种方式中，由于当输送辊采用柔软的材质时就会在处于电极边缘的网状物上发生褶皱，因此需要使用硬材质的辊，所以，贴着输送辊的面有时候难以消除划伤问题。

【专利文献1】日本专利申请公开平7-22473号公报

【专利文献2】日本专利申请公开2005-507463号公报

【专利文献3】日本专利申请公开2005-248269号公报

【专利文献4】日本专利申请公开2003-321796号公报

【专利文献5】日本专利申请公开平8-209383号公报

【专利文献6】日本专利申请公开2004-263215号公报

发明内容

本发明试图解决的课题

本发明的目的在于解决上述课题，提供一种不使微小缺陷在电镀覆膜表面上发生的电解电镀装置。

解决课题的办法

为了实现上述目的，本发明的电解电镀装置包括以下结构。

即，本发明提供一种供电方法，这是一种一边连续地输送至少在一个表面上具有导电面的网状物，一边在电镀处理槽内实施电解电镀的电解电镀方法，其特征在于，在所述网状物的宽度方向的单侧端部或两侧端部上，以面对所述网状物的方式利用至少两个旋转体夹持所述网状物，将所述旋转体之中的至少一个作为供电电极使用，对所述网状物实施供电，仅在所述网状物的宽度方向上从端部起0.5mm以上20mm以下的区域内以每1mm宽度方向上的接触宽度0.5N以上100N以下的接触压压接所述电极，使所述旋转体以与所述网状物的输送速度大致相同的速度旋转。

另外，根据本发明的优选形态，提供一种供电方法，这是一种一边连续地输送对表面赋予了导电性的网状物，一边在电镀处理槽内实施电解电镀的电解电镀方法，其特征在于，在所述网状物的宽度方向的单侧端部或两侧端部上，以所述网状物的方式利用至少两个旋转体夹持所述网状物，将所述旋转体之中的至少一个作为供电电极使用，对所述网状物实施供电，仅在所述网状物的宽度方向上从端部起0.5mm以上20mm以下的区域内以每1mm宽度方向上的接触宽度2N以上100N以下的接触压压接所述电极，使所述旋转体以与所述网状物的输送速度大致相同的速度旋转。

另外，根据本发明的优选形态提供一种供电方法，作为所述电极仅使用配设在所述电镀处理槽之外的电极，仅在所述电镀处理槽的输送方向的上游和/或下游，在所述网状物的电镀对象部位进行供电。

另外，根据本发明的优选形态提供一种供电方法，所述网状物的宽度方向朝向为沿着垂直方向，在长度方向上输送。

另外，根据本发明的优选形态提供一种供电方法，作为与所述供电电极一起夹持网状物的承受侧旋转体，使用在该承受侧旋转体的表层部具有弹性体的旋转体。

另外，根据本发明的优选形态提供一种供电方法，使用在表层部具备导电层、在该导电层的内侧具有弹性体层的旋转体作为所述供电电极。

另外，根据本发明的优选形态提供一种供电方法，所述承受侧旋转体与网状物的在宽度方向上的接触宽度比所述供电电极与网状物的在宽度方向上的接触宽度宽1mm以上15mm以下。

另外，根据本发明的优选形态提供一种供电方法，所述承受侧旋转体与网状物的在宽度方向上的接触宽度比所述供电电极与网状物的在宽度方向上的接触宽度窄。

另外，根据本发明的优选形态提供一种供电方法，以所述供电电极与所述导电面相接触的接触面积满足下述算式的方式赋予接触压，

[算式1]

$\frac{I^2\·R}{Q\·t}\≤A\≤1000$                               (式1)

A：供电电极与所述导电面的接触面积[mm²]

I：向供电电极投入的电流值[A]

R：供电电极与所述导电面的接触电阻值[Ω]

t：在供电电极与所述导电面的接触部位的所述导电面的导电层厚度[mm]

Q：极限热量系数[W/mm³]＝5.5×10³。

另外，根据本发明的另一个形态提供一种网状物的连续电解电镀装置，其一边连续地输送至少一个表面上具有导电面的网状物，一边在电镀处理槽内实施电解电镀，该网状物的电解电镀装置其特征在于，具有以能够压接所述导电面的宽度方向上的单侧端部的方式夹着网状物相向配设的至少两个旋转体，所述旋转体之中的至少一个构成了供电电极，所述旋转体能够以与所述网状物的输送速度大致相同的速度旋转。

另外，根据本发明的优选形态提供一种网状物的连续电解电镀装置，所述电极仅配设在所述电镀处理槽外。

另外，根据本发明的优选形态提供一种网状物的连续电解电镀装置，其具有网状物的宽度方向朝向为沿垂直方向、在长度方向上进行输送的输送单元，所述供电电极以仅压接所述网状物的上端部的方式配设。

另外，根据本发明的优选形态提供一种网状物的连续电解电镀装置，其一边连续地输送至少一个表面上具有导电面的网状物，一边在电镀处理槽内实施电解电镀，该网状物的电解电镀装置其特征在于，具有以能够压接所述网状物的导电面的宽度方向上的两侧端部的方式夹着网状物相向配设的至少两个旋转体，所述旋转体之中的至少一个构成了供电电极，所述旋转体能够以与所述网状物的输送速度大致相同的速度旋转。

另外，根据本发明的优选形态提供一种网状物的连续电解电镀装置，与所述供电电极一起夹持网状物的承受侧旋转体在该承受侧旋转体的最表层具有弹性体。

另外，根据本发明的优选形态提供一种网状物的连续电解电镀装置，所述供电电极在表层部具备导电层，在该导电层的内侧具有弹性体层。

另外，根据本发明的优选形态提供一种网状物的连续电解电镀装置，所述承受侧旋转体与网状物的在宽度方向上的接触宽度比所述供电电极与网状物的在宽度方向上的接触宽度宽1mm以上15mm以下。

另外，根据本发明的优选形态提供一种网状物的连续电解电镀装置，所述承受侧旋转体与网状物的在宽度方向上的接触宽度比所述供电电极与网状物的在宽度方向上的接触宽度窄。

另外，根据本发明的优选形态提供一种多级连续电解电镀装置，其特征在于，配置多个所述电镀处理槽，在所述各电镀处理槽的输送方向的上游和/或下游的所述电镀处理槽外配置所述供电电极，将网状物连续地投入其中，从而得到所期望的电镀膜厚，所述各电镀处理槽以满足下述算式的方式构成，

[算式2]

$\frac{B}{2}<X\&le;\frac{500\&CenterDot;N\&CenterDot;W}{{(I\&CenterDot;W\&CenterDot;L)}^2\&CenterDot;\mathrm{\&rho;}\&CenterDot;\log \left(\frac{t+W}{t}\right)}$                   (式2)

X：所述供电电极的与所述网状物接触的旋转体的旋转中心在网状物输送方向上到最近的电镀处理槽出入口的距离[mm]

B：供电部在输送方向上的长度[mm]

I：电流密度[A/dm²]

W：所述导电面的宽度[mm]

L：电镀处理槽在输送方向上的长度[mm]

ρ：所投入的带导电膜的薄膜的导电膜表面电阻率[Ω/□]

t：供电电极与所述导电面相接触的在宽度方向上的接触宽度[mm]

N：供电电极系数(在两端配设的情况下是2，仅在单侧配设的情况下是1)。

另外，根据本发明的另一个形态提供一种带有电镀膜的塑料膜的制造方法，使用塑料膜作为所述网状物，在制造工序的至少一部分中使用所述供电方法或所述连续电解电镀装置。

在本发明中，关于“导电性”，只要表面电阻率在100Ω/□以下，就认为“具有导电性”。

“导电面“指的是网状物的表面之中具有导电性的面。既可以只有单面是导电面，也可以两面都是导电面。

“输送单元”至少包括用来赋予使网状物行进的力的机构和用来引导网状物的机构。例如，输送辊组和传送带相当于“输送单元”。

“旋转体以与网状物的输送速度大致相同的速度旋转”指的是，以旋转体的圆周速度与网状物的输送速度的速度差为±10％以下选择。另外，速度差越小越好，优选是±5％以下。进一步优选是，在速度差是±1％以下旋转。旋转体既可以从动于网状物而以大致相同的速度旋转，也可以主动地驱动旋转体，与网状物输送速度同步。

“电镀对象部位”指的是在电镀处理槽中进行电镀的部位。

“表面电阻率”指的是每单位面积的电阻值。测定方法依据JIS K7194-1994，以4探针法进行，通过忽略厚度项来求取表面电阻率。单位是“Ω”，这里为了与电阻值“Ω”明确地区别开，采用通常所使用的“Ω/□”(欧姆每平方米)作为表面电阻率的单位。

此外，在本发明中，当承受侧旋转体与网状物的接触宽度方向宽度比供电电极与网状物的接触宽度方向宽度宽1mm以上15mm以下时，优选能够使供电电极与薄膜导电面的接触电阻降低。此外，当承受侧旋转体的表层部是弹性体时，由于变形等有时候会成为供电电极陷入承受侧旋转体之中的形状，网状物上出现褶皱，但这部分最终要被切下扔掉，不会用于最终产品，因此不构成问题。

另外，在本发明中，当承受侧旋转体与网状物的接触宽度方向宽度比供电电极与网状物的接触宽度方向宽度窄时，即使赋予强按压而导致承受侧旋转体的变形增大，在接触宽度方向上的延展也不会超过供电电极接触宽度，因而不会使褶皱等在网状物上产生，所以优选。承受侧旋转体与网状物的接触宽度方向宽度优选是比供电电极与网状物的接触宽度方向宽度窄0.5mm以上5mm以下。

发明的效果

根据本发明，不使成为供电电极的金属体接触网状物的产品面就能够向网状物导电面上实施电镀处理，可以抑制擦伤或与此相伴的颗粒状突起的发生，形成表面缺陷少的高品质的电镀膜。此外，如果以0.5N/mm以上的线压进行夹持，供电电极与网状物导电面的接触电阻就被抑制为较小值，因而可以抑制在供电电极附近因发热而产生的膜的变色或变质。进而，由于供电电极是旋转体，所以妨碍网状物行进的力的发生受到抑制，可以实现稳定输送，另外也能够抑制摩擦粉尘等污染物的发生。

另外，由于能够减小供电电极自身的大小，可以使供电装置本身的大小变得紧凑。这样一来，即使在相同的装置整体长度的条件下，处理槽也可以做得更长，有助于提高生产率并降低装置成本。

另外，根据本发明的优选形态，通过仅在电镀处理槽外配设供电电极，从而抑制了电镀金属向供电电极自身的沉积，因此供电性能变得稳定，同时也可以省略解镀工序等附带工序，有助于降低装置成本。另外，在供电电极所接触的区域内也实施电镀处理，从而也能够抑制供电电极接触部位的膜电阻引起的发热。

另外，在过去，即使以相同电流密度进行电镀处理，在网状物导电膜的膜电阻大的情况下需要高电压，但在本发明的优选形态中，通过最优化从供电电极的旋转中心到电镀处理槽入口的距离，可以以更低的电压进行电镀处理，可以抑制电力消耗。

另外，由于本发明可以稳定地输送作为柔软的网状物的塑料膜，因此，适宜于带有镀膜的塑料膜的制造。进而，尤其适宜于以比较柔软、容易产生损伤的铜进行电镀的情况情况，在要求高表面品质的挠性电路用基板的制造中，能够充分发挥本发明的表面缺陷抑制效果以及网状物输送稳定性效果。

附图说明

图1A是本实施方式的网状物连续电解电镀装置的一个例子的概略平面图。

图1B是将供电部的一个例子的电极附近放大后的概略立体图。

图1C是表示供电电极的一个例子的构造的概略截面图。

图1D是表示供电电极的一个例子的构造的概略截面图。

图2是表示按压力与接触电阻的关系的一个例子的图表。

图3是表示供电电极与薄膜导电面的接触电阻测定方法的概念图。

图4是表示按压力与接触电阻的关系的图表。

图5是表示对在改变了通电长度时的电阻值进行测定的测定方法的概念图。

图6是表示通电长度与电阻值的关系的图表。

图7是表示比较例中使用的辊状电极与薄膜导电面的接触电阻测定方法的概念图。

图8是表示对在改变了比较例中使用的辊状电极的通电长度时的电阻值进行测定的测定方法的概念图。

图9是表示按压力与接触电阻的关系的图表。

符号的说明

11      带导电膜的薄膜

111     塑料膜

112     导电膜

12      开卷部

13      预处理清洗部

14      供电部

141     供电电极

142     承受侧旋转体

143     按压力赋予单元

144     供电端子

145     弹性体

146     导电性薄壁圆筒导电层

147     电极

1401    轴承箱

1402    支架

1403    导轨

1404    轴承

15      电镀处理槽

151     阳极

152     密封单元

16      电镀处理部

17      后处理部

18      卷绕部

31      直流电源

32      电压计

具体实施方式

下面，以将本发明的实施方式的一个例子应用于挠性电路基板用单面带铜镀膜的塑料膜的制造时的情况为例，参照附图进行说明。

图1A是本实施方式的网状物连续电解电镀装置的一个例子的概略平面图。这是一种将长薄膜开卷后实施电镀处理，然后作为产品卷而卷绕的多级连续电解电镀装置。主要工序由以下部分完成：

开卷部12，用于从卷绕的卷状体上开卷释放出单面带导电膜的薄膜11，该单面带导电膜的薄膜11是在塑料膜111的一个面上事先利用溅射法等形成由极薄的铜合金构成的导电膜112而成；预处理清洗部13，用于对开卷释放出来的带导电膜的薄膜11的导电膜112实施脱脂和清洗等；电镀处理部16，其具备与导电膜112相接触并进行供电的供电部14和电镀处理槽15；后处理部17，用于进行防锈、清洗、干燥处理，以防止电镀覆膜的氧化；以及卷绕部18，用于卷绕完成加工后的薄膜。此外，如果电镀前的导电膜112处于清洁状态，则可以省略预处理清洗部13，也可以根据需要省略后处理部17。

在电镀处理部16中，通过在供电部14与导电膜112相接触的供电电极141和与塑料膜111相接触的承受侧旋转体142夹持住带导电膜的薄膜11，通过从供电电极141向导电膜112供电，在电镀处理槽15浸入在电镀浴中的导电膜112成为阴极，其与阳极151之间形成了电气电镀电路，进行电镀处理。在电镀处理槽15的出入口设置有用于使薄膜通过的狭缝，并设置了密封单元152，用于抑制电镀液从该狭缝泄漏出去，将电镀液保持在电镀处理槽15中。密封单元152优选使用以两个例如橡胶辊之类的弹性辊夹着薄膜进行密封的单元，或者使用通过控制2片板的间隙从而控制液体泄漏量的单元。

所投入的带导电膜的薄膜11的塑料膜111的厚度优选是5μm～80μm。材质适宜使用聚酯树脂或聚酰亚胺树脂，特别是用于半导体封装等要求具有耐热性的产品，优选是使用聚酰亚胺薄膜。作为形成导电膜112的方法可以使用以粘结剂将导电膜粘附到薄膜上的方法，或以溅射法或蒸镀法等方法在薄膜上直接成膜的方法等各种方法，但在使用粘结剂进行粘贴的方法中，粘结剂的耐热温度大多比薄膜的耐热温度低，从耐热性的观点出发，优选是采用直接在薄膜上生成导电膜的方法，而从制造成本的观点出发，则优选是采用溅射法成膜。导电膜112的薄膜厚度优选采用0.02μm～0.5μm，由于膜的电阻大，为了抑制所发生的损耗，优选是0.08μm以上，而从生产率的观点出发，优选是0.25μm以下。

图1B表示将供电部14的一个例子的电极附近放大后的概略图。以夹着带导电膜的薄膜11相向的方式，配置被可旋转地支持的供电电极141和承受侧旋转体142，在按压力赋予单元143施加按压力，从供电端子144向供电电极141投入电流。按压力赋予单元143例如可以使用弹簧或气筒。此外，电极既可以设置在薄膜两端部位，也可以仅设置在单侧端部。图2表示按压力和接触导致的电阻的关系的一个例子。当接触电阻大时，由于在电极与导电面的接触部上会产生焦耳热，会出现导电膜因热而变色或变质的问题，因此，对于电极与导电面的接触宽度t，优选是对每1mm施加2N以上的按压力，进而，为了使其稳定地接触，更优选是每1mm接触宽度施加5N以上、进一步优选是每1mm接触宽度施加8N以上的按压力。另外，即使对每1mm接触宽度施加超过100N的大的按压力，接触电阻值也不会大幅减少，而为了承受大的按压力，其结构变得复杂化或大型化，缺点反而大，因此按压力上限优选是100N以下。在例如利用弹簧赋予按压力的情况下，按压力通过弹簧常数与位移量的乘积求得，而在利用气筒赋予按压力的情况下，则根据气筒受压面积与空气压力求取。另外，为了确保没有擦伤等的区域面积尽可能大，从薄膜端部到供电电极内侧边缘的距离H优选是设定为20mm以下，而为了在确保供电电极与薄膜导电面的接触区域的同时尽可能地增大不接触的区域，更优选是设定为5mm～12mm。

供电电极141及承受侧旋转体142被可旋转地支持，可以随着薄膜的输送而从动旋转，但也可以对某一个旋转体或两个旋转体积极地提供扭矩进行驱动。当在薄膜的两端部位设置电极时，各个电极独立旋转较好。如专利文献4中公开的哑铃形状的电极那样，当两端被机械式结合起来旋转时，就有容易产生微妙的速度差的倾向。

供电电极141的材质优选是采用铜或钛等导电性好的金属材料，因为薄膜有时候会把电镀处理槽的电镀液带出来，所以更优选是使用既有良好的导电性、又具有耐蚀性的材料。图1C和图1D中以概略截面图表示供电电极141的结构的一个例子。如图1C所示，既可以使用某种材质的单层电极，也可以在电极表面上实施例如白金电镀等表面处理来使用。电极大小优选要尽量小，这样能够制造出小型的装置。如图1D所示，在例如橡胶等那样的弹性体145的表层部镶套例如将镍或钛等金属做成厚度为0.02以上1mm以下的圆筒状的导电性薄壁圆筒导电层146，使电极147与其接触进行供电，采用这种结构，弹性体145因按压力而变形，导电性薄壁圆筒导电层146也随之变形，与薄膜导电面的接触面积增大，因此更为理想。

另外，在承受侧旋转体的最表层设置弹性体也能够获得同样的效果，因此是适宜的。为了获得和将金属制旋转体双方以每1mm接触宽度2N的按压力夹持时同等的接触电阻，在旋转体使用弹性体的情况下，只要赋予每1mm接触宽度0.5N以上的按压力就足够了。这是因为，使用了弹性体的旋转体以较小的受力即可产生大的变形，因而能够形成大的接触面积。而即使以强力夹持金属制旋转体双方，接触面积也基本不再增加。在这种情况下，接触面积变得非常小，而全部电流都试图通过该小接触面，因而，接触部的每单位面积的焦耳热变得非常大。例如，在投入相同电流值时面的接触电阻值相同的情况下，则只要接触面积变为2倍则每单位面积的焦耳热变为1/2，从而抑制了相应量的温度上升。由此可知，由于利用弹性体的弯曲来增大接触面积有助于防止热故障，所以尤其适宜于投入大电流的电镀。根据发明人通过实验获得的见解，要是赋予夹持压力以使得接触面积处于算式3的范围内的话，就能够在不出现使基材烧毁的程度的发热的状况下进行供电，因此是比较理想的，而更优选是，要是赋予夹持压力以使得接触面积处于算式4的范围内的话，就可以不使热收缩褶皱或干燥不均等发生而进行供电。此外，算式3和算式4中的Q：极限热量系数是根据发明人实施的实验求得的系数，其算法是，在设置有某一薄膜厚度的导电膜的基材上连接某一接触面积的电极后投入电流，求取发生热收缩皱褶或烧毁等热的问题时的电极接触部位的每单位面积的焦耳热所的发热量，将其除以导电膜厚度后，再将得到的数值乘以安全率。

[算式3]

$\frac{I^2\&CenterDot;R}{Q_1\&CenterDot;t}\&le;A\&le;1000$                        (式3)

A：供电电极与网状物导电面的接触面积[mm²]

I：向供电电极投入的电流值[A]

R：供电电极与网状物导电面的接触电阻值[Ω]

t：供电电极与网状物导电面的接触部分的导电膜厚度[mm]

Q₁：极限热量系数[W/mm³]＝5.5×10³

[算式4]

$\frac{I^2\&CenterDot;R}{Q_2\&CenterDot;t}\&le;A\&le;1000$                             (式4)

A：供电电极与网状物导电面的接触面积[mm²]

I：向供电电极投入的电流值[A]

R：供电电极与网状物导电面的接触电阻值[Ω]

t：供电电极与网状物导电面的接触部分的导电膜厚度[mm]

Q₂：极限热量系数[W/mm³]＝0.7×10³

弹性体的材质优选是使用丁腈橡胶或氟橡胶等橡胶或者聚酯等树脂，特别优选是使用耐化学药品性优异的氟橡胶。弹性体的橡胶硬度优选是JIS-A硬度的40°以上90°以下。弹性体层厚度任意，但为了防止因硬度过低而弯曲，优选是采用比接触宽度小的厚度。

供电端子144需要可旋转地电连接，优选使金属电极与供电端子相接触的构造，或者是滑环(collector ring)或旋转连接器(rotary connector)等连接端子。

承受侧旋转体142的材质可以是不锈钢等任意材质，但由于其可能接触到薄膜带出来的电镀液，所以优选是采用具有耐蚀性的材料。构造既可以是单层也可以是多层，由于在表面上具备橡胶等弹性体的多层结构能够获得薄膜导电面与供电电极的大接触面积，因此是比较理想的。

供电电极与薄膜导电面相接触的面的表面粗糙度优选是采用JISB0601-2001中规定的算术平均粗糙度Ra＝0.1μm～50μm。凹凸大的表面、即算术平均粗糙度大的表面，因为其表面面积会变大，因此有助于增大接触面积，但当过大时，薄膜导电面无法与接触面的凹凸紧密接合，实际接触面积反而变小。为了确保在适度的按压力状态下的接触面积，更优选是采用Ra＝0.8～6.3μm。

返回图1A。在图1A中，供电部14仅设置在电镀处理槽15之前，但也可以仅设置在电镀处理槽15之后，或者也可以前后都设置，或者也可以设置在电镀处理槽15内部，但在设置在电镀处理槽15的内部的情况下，由于供电电极141自身上面也会沉积电镀金属，因而需要解镀单元，从而装置变得复杂，所以优选是设置在电镀处理槽外。

在所投入的带导电膜的薄膜11的导电膜112的表面电阻率是0.1Ω/□以上的情况下，由于从供电电极到电镀处理槽入口的距离X越大，为产生规定电流所需要的电压就变得越大，所以电力损耗会变大。因此，从供电电极到电镀处理槽入口的距离X优选是设定为满足算式5。

[算式5]

$\frac{B}{2}<X\&le;\frac{500\&CenterDot;N\&CenterDot;W}{{(I\&CenterDot;W\&CenterDot;L)}^2\&CenterDot;\mathrm{\&rho;}\&CenterDot;\log \left(\frac{t+W}{t}\right)}$                   (式5)

X：在网状物输送方向上所述供电电极的与所述网状物接触的旋转体的旋转中心到最近的电镀处理槽出入口的距离[mm]

B：供电电极在输送方向上的长度[mm]

I：电流密度[A/dm²]

W：网状物导电面的宽度[mm]

L：电镀处理槽长度[mm]

ρ：所投入的带导电膜的薄膜的导电膜表面电阻率[Ω/□]

t：供电电极与网状物导电面相接触的宽度方向接触宽度[mm]

N：供电电极系数(在两端配设的情况下是2，仅在单侧配设的情况下是1)

算式5是基于发明人进行锐意研究后的结果得出的见解而推导出来的。左项表示X的下限，其是为了使设置在电镀处理槽外的供电部14与电镀液不至于发生物理接触所需的距离。右项表示X的上限。首先，物体中通电时会产生焦耳热，通过实验求得不会对通电造成影响的热量范围，接着，根据从供电电极到电镀处理槽入口的膜电阻和投入电流计算出发热量，以成为在先前通过实验求得的不会对通电造成影响的热量以下的方式推导出X值。投入电流密度I和导电膜表面电阻率ρ成反比。其中，500是通过实验求得的系数，其中也考虑了安全率等。

到此为止所说明的连续电解电镀装置能够制造出表面品质高的产品，因此，能够适合地应用于带镀膜的塑料膜的制造。其适宜于用于电子布线用途、特别是挠性电路用基板用途的制造，其中尤其适宜于半导体封装用途等布线间距小、需要微细加工、因而要求非常高的表面品质的用途中所使用的带镀膜的塑料膜的制造。

实施例

下面通过具体的实施例详细说明本发明。此外，本发明并不限于这些具体实施例。

(实施例1)

供电部的装置结构如图1B所示。轴承箱1401、导轨1403、支架1402、以及按压力赋予弹簧143是使用不锈钢制成的。使用按压力赋予弹簧143的弹簧常数为14.7N/mm的弹簧。供电电极采用图1C所示的结构，使用钛制成。成为与薄膜的接触部的圆形板状构件外径为60mm、厚度为10mm，实施两肩C1倒棱后，与薄膜的接触宽度为8mm。接触面的算术平均粗糙度依据JIS B0601-2001规定的算术平均粗糙度，使用英国泰勒-霍普森有限公司(Taylor Hobson Limited)生产的表面粗糙度测定器“Surtronic 25”测定时，大小为4.7μm。此外，轴端部安装了美国Mercotac公司生产的“旋转连接器MODEL 1250-SC”，可以边旋转边供电。承受侧旋转体使用不锈钢，外径为100mm、厚度为12mm，实施两肩C1倒棱后，与薄膜的接触宽度为10mm。

图3是表示供电电极与薄膜导电面的接触电阻测定方法的概念图。将供电电极及承受侧旋转体的厚度方向的中心照准在从15mm宽度的薄膜的宽度方向端部起5mm的位置，夹住在厚度为38μm的聚酰亚胺薄膜的一个面上镀以8.5μm的铜的薄膜，将电源的一侧连接到供电端子，另一侧在从薄膜宽度方向端部起12mm位置处连接到电极接触部附近，构成图3所示的回路，测定电阻值。由直流电源31投入0.5A的恒定电流，在电压计32测定电压，根据欧姆定律计算出电阻值。使按压力变化，测定电阻值的变化，结果如图4所示。依据JIS K7194-1994，使用三菱化学公司制造的表面电阻率测定器“LORESTA-GP”MCP-T600测定的结果为1.92×10^-3Ω/□。

使用在厚度为38μm的聚酰亚胺薄膜的一个面上以溅射法成膜0.1μm的铜合金的薄膜进行相同测定。结果如图9所示。再有，使用溅射法成膜的导电膜的表面电阻率为3.5×10^-1Ω/□。

图5是表示对在改变了通电长度时的电阻值进行测定的测定方法的概念图。使用宽度为520mm的薄膜，将供电电极及承受侧旋转体的厚度方向的中心照准在从薄膜端部起5mm的位置上，夹住在厚度为38μm的聚酰亚胺薄膜的一个面上镀以8.5μm的铜之后形成的薄膜，将电源的一侧连接到供电端子，另一侧连接到在输送方向上从电极接触位置起离开500mm的地方，构成图5所示的回路，测定电阻值。由直流电源31投入0.5A的恒定电流，使用电压计32测定电压，根据欧姆定律计算出电阻值。在薄膜输送方向上从供电电极与薄膜的接触点到测定位置的距离设定为500mm，改变在薄膜宽度方向上从供电电极到测定位置的距离，测定电阻值，结果如图6所示。

使用厚度为38μm、宽度为520mm的长条聚酰亚胺薄膜，将供电电极及承受侧旋转体的厚度方向的中心照准在从薄膜一个端部起5mm的位置上，在一个地方设置供电部，赋予每1mm接触宽度10N/mm和20N/mm的接触压，使薄膜以2m/min的速度进行输送。结果，无论接触压是哪一个，都能够利用薄膜张力旋转，不会发生蜿蜒或褶皱，而在接触部以外也没有发现擦伤。

根据以上结果可知，当在使用了上述供电部的连续电解电镀装置中制造用于柔性电路基板的带镀铜膜的聚酰亚胺薄膜时，由于供电电极等不会接触主要用作最终产品的薄膜宽度方向中央部位，因而能够获得擦伤等表面缺陷少的产品。

(实施例2)

使用与实施例1相同的供电部结构，承受侧旋转体的外径设定为90mm、接触宽度方向宽度设定为6.5mm，其表层部卷绕着5mm厚的橡胶。橡胶使用JIS-A硬度为80°(以板厚5mm的样本板进行测定)的丁腈橡胶。

使用该供电部进行与实施例1相同的各种测试，分别得到如图4、图6、图9所示的结果。

使用厚度为38μm、宽度为520mm的长条聚酰亚胺薄膜，将供电电极及承受侧旋转体的厚度方向的中心照准在从薄膜一个端部起5mm的位置上，在一个地方设置供电部，赋予每1mm接触宽度10N/mm和20N/mm的接触压，使薄膜以2m/min的速度进行输送。结果，无论接触压是哪一个，都不会发生蜿蜒或褶皱，而在接触部以外也没有发现擦伤。虽然在接触压是20N/mm下可以从动旋转，由于旋转所需的扭矩很大，因此辅助性地使供电电极旋转，可以更稳定地输送。

根据以上结果可知，当在使用了上述供电部的连续电解电镀装置中制造用于柔性电路基板的带镀铜膜的聚酰亚胺薄膜时，由于供电电极等不会接触主要用作最终产品的薄膜宽度方向中央部位，所以能够获得擦伤等表面缺陷少的产品。

(实施例3)

使用与实施例1相同的供电部结构，承受侧旋转体的外径设定为90mm、接触宽度方向宽度设定为12mm，其表层部卷绕着5mm厚的橡胶。橡胶使用板厚为5mm的样本板在JIS-A硬度为80°的丁腈橡胶。

使用该供电部进行与实施例1相同的各种测试，分别得到如图4、图6所示的结果。

使用厚度为38μm、宽度为520mm的长条聚酰亚胺薄膜，将供电电极及承受侧旋转体的厚度方向的中心照准在从薄膜一个端部起5mm的位置上，在一个地方设置供电部，赋予每1mm接触宽度10N/mm和20N/mm的接触压，使薄膜以2m/min的速度进行输送。结果，无论接触压是哪一个，虽然在位于供电电极的边缘部位的薄膜上产生了褶皱，但作为最终产品的中央部位没有发现擦伤等。当接触压是20N/mm时，虽然可以从动旋转，但由于旋转所需的扭矩很大，因此辅助性地使供电电极旋转驱动，可以更稳定地输送。

根据以上结果可知，当在使用了上述供电部的连续电解电镀装置中制造用于柔性电路基板的带镀铜膜的聚酰亚胺薄膜时，由于供电电极等不会接触主要用作最终产品的薄膜宽度方向中央部位，所以能够获得擦伤等表面缺陷少的产品。

(实施例4)

使用与实施例1相同的供电部结构，承受侧旋转体的外径设定为90mm、宽度方向接触宽度设定为7mm，其表层部卷绕着5mm厚的橡胶。橡胶使用板厚为5mm的样本板在JIS-A硬度为40°的乙丙橡胶。将该供电部用作图1A所示的电镀装置的供电部14，将电流值设定为170A，进行连续电镀实验。在38μm的聚酰亚胺薄膜“Kapton EN”(DuPont-Toray公司制造)的单侧表面上成膜7μm的铜作为导电膜，使用这种薄膜作为基材，将夹持压力设定为5N/mm。这时的接触面积为200mm²。此外，当将接触电阻值30mΩ代入算式3进行计算时，则接触面积范围为22mm²≤A≤1000mm²，处在规定范围内。

其结果是，不会发生基材烧毁等发热问题，可以实现良好的电镀。

(比较例1)

针对现有的辊状电极，进行与实施例1相同的测定。辊状电极的结构为，辊外径80mm、辊身长度580mm，是在黄铜制成的轴上安装铜制辊而构成的，其设置为，薄膜宽度方向中心与辊身长度的中央照准。

图7表示供电电极与薄膜导电面的接触电阻测定方法。以宽度为520mm的薄膜的导电面接触辊表面的方式90°抱紧，将电源的一侧连接到供电端子，另一侧连接到从供电端子一侧的薄膜宽度方向端部起2mm、而在输送方向上从辊与薄膜刚开始分离的地方起3mm的位置上，通过在下垂的薄膜的中央附近安装坠子M，使薄膜张力设定为40N～400N，进行测定，但无论在哪一种张力条件下，对于8.5μm的镀铜膜稳定在120mΩ，0.1μm的铜合金溅射膜稳定在200mΩ大小。由此确认，与本比较例相比实施例1～3的任意一个都表现出低电阻。

另外，构成图8所示的电路，在50N的薄膜张力条件下测定了通电长度与电阻值的关系。结果如图6所示。其中，图6的横轴的“宽度方向位置”对应于图8中的“宽度方向位置”。

当在使用了上述辊状电极的连续电解电镀装置中制造挠性电路基材用途的带镀铜膜的聚酰亚胺薄膜时，则100％会发生擦伤，其中约10％是导致整个产品被判定为不合格品的程度的严重擦伤。

【图4、图6、图9的总结】

·图4、图9：按压力与电阻值的关系

(a)在比较例1的供电方法中，相对于8.5μm的电镀膜，电阻值为120mΩ。相对于此，在实施例1～3中，结果如图4所示。为了获得与比较例1(现有技术)同样的供电能力，要将电阻值设定为比较例1的电阻值(120mΩ)以下，可知，在实施例1～3的任意一个中，只要赋予2N/mm以上的按压力即可。

(b)在比较例1的供电方法中，相对于0.1μm的溅射膜，电阻值为200mΩ。相对于此，在实施例1～3中，结果如图9所示。为了获得与比较例1(现有技术)同样的供电能力，要将电阻值设定为比较例1的电阻值(200mΩ)以下，可知，在实施例1～3的任意一个中，只要赋予2N/mm以上的按压力即可。

(c)关于相对于按压力的增加而电阻值降低的倾向，比起实施例1，实施例2、3更为显著。可以认为，这是因为承受侧旋转体中使用了橡胶，受到按压变形后，向供电电极的薄膜导电面的接触面积显著增大所造成的。

(d)实施例2与3的不同之处在于，就承受侧旋转体的接触宽度而言，实施例3比实施例2更大，可以认为，由于实施例3的接触面积更大，因此电阻值降低。虽然在处于供电电极的边缘部位的薄膜上有时候会产生褶皱，但这部分最终要被切下扔掉，不会用于最终产品，因此大多不构成问题。不过，出现褶皱可能会导致输送故障，另外，如果最终被切下扔掉，舍弃量会增大，产品的宽度变窄，因此，为了避免这个问题，只要不存在电阻值问题，则优选使用实施例2的方式。此外，在不容易产生褶皱、或者即使产生了皱褶也不会导致输送故障的情况下，则优选使用实施例3的方式。

·图6：薄膜宽度方向位置与电阻值的关系

(a)在比较例中，电极接触着宽度方向的整个面进行供电，而在实施例1～3中则仅接触着端部进行供电，因此，有发生宽度方向供电不均的担忧，所以进行了验证。

(b)在比较例中，如图6所示那样，得到了60mΩ～120mΩ范围内的电阻值，对最大值和最小值进行比较后发现，其差别几乎成倍。关于偏差很大这一点，可能是受到了薄膜导电面的面内电阻不均的影响。另一方面，实施例1～3的电阻值分别如下所示。即，实施例1的电阻值在60～90mΩ的范围内，实施例2的电阻值在25～40mΩ的范围内，实施例3的电阻值在10～20mΩ的范围内，与比较例相比，电阻值的偏差基本相同，宽度方向供电不均可以说确保在不逊色于现有技术的水平。

工业适用性

本发明并不限于带镀铜覆膜的薄膜的制造，也可以应用于其他金属的电解电镀装置、使用树脂膜以外的基材的电解电镀装置等，其应用范围并不限于这些。

Claims (16)

1.一种供电方法，

是一种一边连续地输送至少在一个表面上具有导电面的网状物，一边在电镀处理槽内实施电解电镀的电解电镀方法，该导电面是具有表面电阻率为100Ω/□以下的导电性的面，其特征在于，

在所述网状物的宽度方向的单侧端部或两侧端部上，以面对所述网状物的方式利用至少两个旋转体夹持所述网状物，将所述旋转体之中的至少一个作为在表层部具有导电层的供电电极使用，并且，在所述供电电极的所述导电层的内侧具有弹性体层或者在与所述供电电极一起夹持所述网状物的承受侧旋转体的表层部具有弹性体，对所述网状物实施供电，仅在所述网状物的宽度方向上从所述网状物的单侧端部或者两侧端部起0.5mm以上20mm以下的区域内以每1mm宽度方向上的接触宽度0.5N以上100N以下的接触压压接所述电极，以所述旋转体的圆周速度与所述网状物的输送速度的速度差为±10％以下的方式使所述旋转体旋转，并且，以所述供电电极与所述导电面接触的接触面积满足下述算式的方式赋予接触压，

(I²·R)/(Q·t)≤A≤1000    (式1)

A：供电电极与所述导电面的接触面积[mm²]

I：向供电电极投入的电流值[A]

R：供电电极与所述导电面的接触电阻值[Ω]

t：在供电电极与所述导电面的接触部分的所述导电面的导电层厚度[mm]

Q：极限热量系数[W/mm³]＝5.5×10³。

2.一种供电方法，

是一种一边连续地输送对表面赋予了表面电阻率为100Ω/□以下的导电性的网状物，一边在电镀处理槽内实施电解电镀的电解电镀方法，其特征在于，

在所述网状物的宽度方向的单侧端部或两侧端部上，以面对所述网状物的方式利用至少两个旋转体夹持所述网状物，将所述旋转体之中的至少一个作为在表层部具有导电层的供电电极使用，并且，在所述供电电极的所述导电层的内侧具有弹性体层或者在与所述供电电极一起夹持所述网状物的承受侧旋转体的表层部具有弹性体，对所述网状物实施供电，仅在所述网状物的宽度方向上从所述网状物的单侧端部或者两侧端部起0.5mm以上20mm以下的区域内以每1mm宽度方向上的接触宽度0.5N以上100N以下的接触压压接所述电极，以所述旋转体的圆周速度与所述网状物的输送速度的速度差为±10％以下的方式使所述旋转体旋转，并且，以所述供电电极与所述导电面接触的接触面积满足下述算式的方式赋予接触压，

(I²·R)/(Q·t)≤A≤1000    (式1)

A：供电电极与所述导电面的接触面积[mm²]

I：向供电电极投入的电流值[A]

R：供电电极与所述导电面的接触电阻值[Ω]

t：在供电电极与所述导电面的接触部分的所述导电面的导电层厚度[mm]

Q：极限热量系数[W/mm³]＝5.5×10³。

3.根据权利要求1或2所述的供电方法，其特征在于，

作为所述电极仅使用配设在所述电镀处理槽之外的电极，仅在所述电镀处理槽的输送方向的上游和/或下游，在所述网状物的在电镀处理槽中进行电镀的部位即电镀对象部位进行供电。

4.根据权利要求1或2所述的供电方法，其特征在于，

所述网状物的宽度方向朝向为沿着垂直方向，在长度方向上输送。

5.根据权利要求1或2所述的供电方法，其特征在于，

所述承受侧旋转体与网状物的在宽度方向上的接触宽度比所述供电电极与网状物的在宽度方向上的接触宽度宽1mm以上15mm以下。

6.根据权利要求1或2所述的供电方法，其特征在于，

所述承受侧旋转体与网状物的在宽度方向上的接触宽度比所述供电电极与网状物的在宽度方向上的接触宽度窄。

7.一种网状物的连续电解电镀装置，

其一边连续地输送至少一个表面上具有导电面的网状物，一边在电镀处理槽内实施电解电镀，该导电面是具有表面电阻率为100Ω/□以下的导电性的面，该网状物的电解电镀装置其特征在于，

具有以能够压接所述导电面的宽度方向上的单侧端部的方式夹着网状物相向配设的至少两个旋转体，所述旋转体之中的至少一个构成供电电极，能够使所述旋转体的圆周速度与所述网状物的输送速度的速度差为±10％以下进行旋转。

8.根据权利要求7所述的网状物的连续电解电镀装置，其特征在于，

所述电极仅配设在所述电镀处理槽外。

9.根据权利要求7或8所述的网状物的连续电解电镀装置，其特征在于，

具有网状物的宽度方向朝向为沿着垂直方向、在长度方向上进行输送的输送单元，所述供电电极以仅压接所述网状物的上端部的方式配设。

10.一种网状物的连续电解电镀装置，

一边连续地输送至少一个表面上具有导电面的网状物，一边在电镀处理槽内实施电解电镀，该导电面是具有表面电阻率为100Ω/□以下的导电性的面，该网状物的电解电镀装置其特征在于，

具有以能够压接所述导电面的宽度方向上的两侧端部的方式夹着网状物相向配设的至少两个旋转体，所述旋转体之中的至少一个构成了供电电极，能够使所述旋转体的圆周速度与所述网状物的输送速度的速度差为±10％以下进行旋转。

11.根据权利要求7、8、10中的任意一项所述的网状物的连续电解电镀装置，其特征在于，

与所述供电电极一起夹持网状物的承受侧旋转体在该承受侧旋转体的最表层具有弹性体。

12.根据权利要求7、8、10中的任意一项所述的网状物的连续电解电镀装置，其特征在于，

所述供电电极在表层部具备导电层，在该导电层的内侧具有弹性体层。

13.根据权利要求11所述的网状物的连续电解电镀装置，其特征在于，

所述承受侧旋转体与网状物的在宽度方向上的接触宽度比所述供电电极与网状物的在宽度方向上的接触宽度宽1mm以上15mm以下。

14.根据权利要求11所述的网状物的连续电解电镀装置，其特征在于，

所述承受侧旋转体与网状物的在宽度方向上的接触宽度比所述供电电极与网状物的在宽度方向上的接触宽度窄。

15.一种多级连续电解电镀装置，

其中配置多个权利要求7所述的电镀处理槽，在所述各电镀处理槽的输送方向的上游和/或下游的所述电镀处理槽外配置所述供电电极，将网状物连续地投入其中，从而得到所期望的电镀膜厚，该多级连续电解电镀装置其特征在于，所述各电镀处理槽以满足下述算式的方式构成，

[算式2]

$\frac{B}{2}<X\&le;\frac{500\&CenterDot;N\&CenterDot;W}{{(I\&CenterDot;W\&CenterDot;L)}^2\&CenterDot;\mathrm{\&rho;}\&CenterDot;\log \left(\frac{t+W}{t}\right)}$

X：在网状物输送方向上所述供电电极的与所述网状物接触的旋转体的旋转中心到最近的电镀处理槽出入口的距离[mm]

B：供电部在输送方向上的长度[mm]

I：电流密度[A/dm²]

W：所述导电面的宽度[mm]

L：电镀处理槽在输送方向上的长度[mm]

ρ：所投入的带导电膜的薄膜的导电膜表面电阻率[Ω/□]

t：供电电极与所述导电面相接触的在宽度方向上的接触宽度[mm]

N：供电电极系数，在两端配设的情况下是2，仅在单侧配设的情况下是1。

16.一种带镀膜的塑料膜的制造方法，其特征在于，

使用塑料膜作为所述网状物，在制造工序的至少一部分中使用权利要求1～6中的任意一项所述的供电方法或权利要求7～15中的任意一项所述的连续电解电镀装置。