JP2003531301A

JP2003531301A - 弾性接触要素

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Publication number: JP2003531301A
Application number: JP2001578723A
Authority: JP
Inventors: エーゴンヒューベル
Original assignee: アトーテヒドイッチュラントゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
Priority date: 2000-04-20
Filing date: 2001-04-11
Publication date: 2003-10-21
Anticipated expiration: 2021-04-11
Also published as: EP1309740A2; HK1056753A1; US7033468B2; DE10019713C2; KR100740816B1; CN1309878C; KR20030011297A; DE50104027D1; EP1309740B1; US20030051999A1; WO2001081657A3; TW548348B; CN1429284A; JP4681789B2; BR0110114A; CA2402805A1; ATE278823T1; AU2001273849A1; MXPA02010309A; WO2001081657A2

Abstract

(57)【要約】基板や箔を損ねることなく回路構造の僅かな層厚変動を有したプリント回路基板や導体箔（７）を製造するために、回転要素（９，１０）、とりわけ接触コロがプリント回路基板やプリント回路フィルムの電気的接触化のために用いられ、プリント回路基板やプリント回路フィルム上で展開する走行面に少なくとも部分的に弾性的で導電性の材料（２，５，６）が施されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】

本発明は、連続的な処理加工設備において電気分解プロセスを実行する際の、
好ましくは導体プレート（例えばプリント回路基板）や導体箔（例えばプリント
回路フィルム）を処理加工するために、平坦な工作物を電気接触させることに関
する。本発明は更に明確には、電気分解的に加工処理されるべき工作物を電気接
触させるための回転要素、工作物を電気接触させるための少なくとも二つの回転
要素の配列並びに工作物を電気接触させる方法に関するものである。本発明は電
気めっき及び電解エッチングの両方に関している。

【０００２】

【従来の技術】

電気分解方法がプリント回路基板を製造するのに用いられる。金属、おおかた
は銅が、より明確には細導線（strip conductors）やソルダリングや接合個所を
形成するために析出される。一般的には開始材料はいずれかの側（面）に銅層（
皮膜）で被覆された誘電板や誘電箔からなっている。材料を通してスルーボアが
形成された後、例えば３０μｍ厚の銅の層が表面全体にわたって施与され、同様
に孔の壁にも銅層が析出する。上記方法のバリエーションにおいて細導線素描や
他の金属構造を可能とするために、構造付与されたマスクが先ず誘電板や誘電箔
それぞれの表面に施与され、構造を形成されるべき表面領域は露出されたままで
ある。この目的のために、伝導パターンが負にプリントされる。これはスクリー
ン印刷（シルクスクリーン）によって、微細線印刷回路を用いて、再生技術（ホ
トレジスト）によってなされる。ホトレジストの層は通常、２５μｍから４０μ
ｍの厚みを有し、高品質の電気絶縁体を構成する。パターン形成の間、レジスト
上に金属は析出されない。次いで、露出されたままだったカバーマスクの領域に
金属が析出し、いったんマスクが取り去られると、カバーマスクによって覆われ
た金属は最後にはエッチングによって除去される。

【０００３】電気分解プロセスにおいて、電気分解的に処理されるべき伝導表面は、この目
的のために要する電源と電気的に接続されなければならない。電気めっきに関し
て、この表面に接触すべきは負極であり、エッチングに関しては正極である。そ
れぞれ逆の極は、表面を処理加工する処理流体と接触する対抗電極（対電極）に
電気的に接続される。プリント回路基板技術の連続処理設備において、とりわけ
コロと接触がなされる。加工物、プリント回路基板は例えば水平方向に、上下の
駆動コロ乃至ホイールを用いて様々な湿式化学処理・すすぎステーションを介し
て搬送される。コロは通常用いられる電解質に侵されない材料、例えばＰＰ（ポ
リプロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）又はＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）から作ら
れている。その孔が開いているか閉じているかのいずれかであるスポンジコーテ
ィングを備えたコロが、流体を搾り出し且つ同時に搬送するために用いられる。

【０００４】電気分解処理設備においてプリント回路基板の表面を電気接触とするために、
対をなす金属製接触コロ、即ち、上下のコロが使用される。浴の電源から電流が
例えば摺動接触を介して前記コロに伝えられる。各コロの金属製表面が処理加工
されるべき基板の表面上に広がっている。これらコロは加工物を搬送し、同時に
その表面にパワーを伝えるのに供される。

【０００５】

【特許文献１】ＤＥ３６０３８５６Ａ１そのようなプリント回路基板を電気めっきするための装置はＤＥ３６０３８５
６Ａ１に記載されている。電気メッキ設備の内部で、カソードとして供される一
対の回転コロはプリント回路基板をつかみ搬送する。当該コロはステンレス特殊
鋼又はチタンからなっている。

【０００６】

【特許文献２】ＥＰ０９５９１５３Ａ２同様の装置がＥＰ０９５９１５３Ａ２に記載されている：金属コロが水平搬送
面の片側に配置されている。処理加工されるべきプリント回路基板がこれらコロ
を介して電気接触させられる。この目的のために、電気接続が外部電源と金属コ
ロの間で回転する電流伝達装置を介してなされる。

【０００７】

【特許文献３】特開昭６３-２９７５８８号公報文献Patent Abstracts of JapanのＪＰ-Ａ-６３２９７５８８（特開昭６３-２
９７５８８号）は、プリント回路基板での電気的に絶縁された回路構造を処理加
工する電解法を開示する。電気めっきのために、時に非常に小さい絶縁領域が回
転する金属ブラシによって電気接触させられる。

【０００８】公知の装置や方法は、プリント回路基板を損ねることなく、均一厚みの金属層
を析出するのを可能としない。つまり、特に大きなサイズの基板が電気分解的に
処理される際にコーティングの厚みに変動が生じること、及び基板が加工処理の
過程において損傷すらするかもしれないことが見出された。パターンめっきプロ
セスの間に導路パターンを電気めっきする際に広い範囲で個々の細導路のコーテ
ィング厚みも変わり得ることも見出された。公知の文献は、なぜこれら問題が生
じ、どのようにこれらを除くかを議論していない。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】

それ故、本発明の基礎をなす課題は、公知の方法の欠点を回避し、よりはっき
りと限定すればコーティング厚に殆ど変動なく且つパターンプロセス中に導体プ
レート（プリント回路基板）や導体箔（プリント回路フィルム）の表面を損ねる
ことなくプレート上や箔上に導体構造（回路構造）を生み出すことを可能とする
やり方を見出すことにある。特に大きなサイズのプレート並びに最も微細な導路
（回路線）が問題なく、とりわけ誤りのない導体構造で生み出すことが可能であ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

この課題は、請求項1に係る回転要素、請求項１６や１７に係る少なくとも二
つの回転要素の配置及び請求項１８に係る方法により解決される。本発明の好ま
しい実施形態は従属請求項に示されている。

【００１１】

【発明の実施の形態】

本発明に係る回転要素や方法は、連続処理設備において電気分解的に処理され
るべきプレート形状被処理物を電気接触させるのに供される。そのような設備は
しばしば導体プレートや導体箔を処理するのに用いられる。本発明によれば、回
転要素は被処理物上で展開されているその走行面で少なくとも部分的に、弾性的
な導電性材料を備えられている。これにより、被処理物は上記弾性的な導電性材
料を介して少なくとも部分的に電気接触させられる。

【００１２】回転要素は好ましくは接触コロとして構成される。しかしながら、接触ホイー
ルや接触スパイラルとして構成されてもよい。後者の場合、接触スパイラルは、
その端部で駆動装置と接続され且つ好ましくは金属からなり特に支持されていな
いスパイラルである。

【００１３】接触コロが用いられるならば、被処理物の表面で巻きがほぐされる接触コロの
表面範囲は、第一の実施態様では、少なくとも主に、好ましくは完全に、即ち、
一部若しくは全部、弾性的な導電性材料で覆われている。

【００１４】この材料は、電流を非常に良好に流す導電性充填剤料の含有によって成立する
。その結果として、そのような接触コロは驚くべきことに、電解処理に必要とさ
れる高い電流を伝えるのに良く適している。同時に従来技術に係る金属製接触コ
ロに比べて、導体プレートの通常は敏感な表面が非常に穏やかに接触させられる
。

【００１５】電気分解的に処理するためにブラシは原則的に誘電（不伝導性）材料上の電気
絶縁された導体構造に接触させるのに適するけれども、電気めっきの際にブラシ
上に金属が好適に析出し、それ故にブラシ毛を固めることが見出された。これに
よって被処理物が損傷する。これが、ＪＰ-Ａ-６３-２９７５８８（特許文献３
）において記載された装置がなぜ導体プレートや導体箔を生じるのにあまり良く
適さないかの理由である。

【００１６】既述の従来技術に係る接触ブラシは更に、ブラシのブラシ毛が非常に細く軟ら
かくなければならないので、低電流のみに適する。より高い電流を伝えるために
より大きな断片のブラシ毛が選択されるならば、表面品質は引っ掻きによる損傷
を被る。更に浴はばらばらになったブラシ毛によって汚される。ブラシのこれら
粒子はまた水平連続処理設備においてプリント回路基板など導体プレートの上側
に電気めっきされる。全くの欠陥品が結果として起こる。

【００１７】既述の問題は本発明に係る回転要素を用いることによって回避される。用いら
れる電流密度に関しては特に制限がない。接触化要素は付加的に磨耗に対し十分
に耐性があり、処理流体はそれによって殆ど汚されない。

【００１８】接触化要素自体の金属化（めっき）を回避するために、ＤＥ３６０３８５６
Ａ１（特許文献１）やＥＰ０９５９１５３Ａ２（特許文献２）において、そこ
に記載された接触コロの実施例は特別な遮蔽措置を備えている。

【００１９】しかしながら、ＤＥ３６０３８５６Ａ１やＥＰ０９５９１５３Ａ２から公
知の金属製接触コロは確かに非常な精密に製造されなければならず、特に非処理
物が薄い場合に連続処理設備においても精密に位置を定められなければならない
。細線プリント回路技術において、処理されるべき箔（フィルム）はますます薄
くなってきている。製造が正確でない場合、即ち、コロの軸線が整列されていな
い場合、上下のコロの一部のみが箔上に所定の当接圧で当接する。コロの他の表
面線は電流を伝達するのに寄与しない。他方、例えば多層（マルチレイヤー）の
ような厚めの導体プレートは決して完全に平坦ではない。例えば国際基準ＰＥＲ
ＦＡＧ２ＤやＩＰＣ-ＴＭ-６５０番号２.４.２２によれば、１．０％の最大丸
みが１．５ｍｍから３．２ｍｍまでの範囲にある板厚で容認される。したがって
プレートが例えば４００ｍｍの縁長さを有して延びる場合、なお容認可能な丸み
は４ｍｍになる。その結果、接触コロは厚く常に非常に堅いプレートの場合です
ら全表面線に当接しない。導体プレートの損傷にまで至り得る電流伝達での問題
が結果として起こる。

【００２０】これら問題はまた本発明に係る回転要素で回避される。特に接触要素がめっき
されるべき表面上に均一に当接することが達成され得る。堅いコロでなされるコロ接触は、パターンめっきプロセスにしたがって導体プ
レートや導体箔に伝導性パターンを電気めっきするのに全く不適当である。絶縁
ラッカーの厚みのために、窪みに位置し多くの場合に銅からなる電気めっきされ
るべき金属層に堅い接触コロが達しない。その結果として、ホトレジストによっ
て形成された窪みに位置した銅は電気的に接触化し得ない。したがって、これら
接触コロでそのような導体プレートの電解パターン形成をなすことはできない。
ＪＰ-Ａ-６３-２９７５８８に記載された接触ブラシはまた、上記した欠点のた
めに電気接触化にまったく適しない。ここで更に、傷つき易いラッカーがブラシ
によって引っ掻き傷をつけられ、ラッカー縁を破損する。

【００２１】ＤＩＮ５３５０５に従い回転要素に用いられるべき弾性材料のショア硬さは
その適用に依存する：ホトレジストマスクにおける窪みに位置するそれら導体構造（回路構造）のみ
がめっきされる電解パターン形成がなされる場合（パターンめっき法）よりも導
体プレートや導体箔が全面的に電気分解的に処理される場合には、弾性材料はよ
り硬く調整され得る。弾力性は先ず、導体プレートの反り（アーチ状の湾曲）や
被処理物の様々な厚みの範囲を補償するために、コロ軸受の機械的許容差を補償
するために並びに引っ掻き、圧痕、電流焼け跡のような損傷に対して表面を保護
するために必要である。

【００２２】パターン形成に際し、とりわけ細線導体技術において、コロの接触される表面
線のできるだけ大きな割合が、処理の始めにホトレジストの厚みだけ深くにある
金属表面に達すること、即ち電気的に接触することになっている。このために、
接触される材料は窪みに対し高さの違いを調整するために、より大きな弾力性を
有することを要する。しかしながら、表面線全てが常時接触すること、即ち、連
続処理設備通過する伝導性パターンにおいて接触することは必要ない。生じるべ
き各素材片（パネル）に、例えば後に切断される縁のような大き目の接触面があ
る。これらは導体プレートの上側にも下側にも認められる。両側は縁で及び多く
の接触スルーホールを介して互いに電気的に伝導して相互連結している。

【００２３】更に、パターン形成の際に電気めっきされるべき面（範囲）は常に全面処理の
場合よりも小さい。したがって、接触コロを介して伝達されるべき電流は、同じ
局所電流密度を用いても、小さい。

【００２４】電気めっき時間が過ぎるにつれて、回路線のような導体路がホトレジストの壁
の間の窪みにおいて満たされる。結果として、これら表面もまた、その表面が弾
性の劣る接触コロによって達せられる。その代わりに、同じ弾力性で、より狭い
導体路の表面が達せられ得、即ち、接触され得る。これはまた、連続処理設備内
で搬送方向で見て相前後して配置され且つそれら表面で様々な弾力性である多く
の回転要素の使用を可能にする。設備内で、その硬さが送り方向で増加する接触
コロが搬送方向において使用され得る。そのような配置は、硬めのコロが幾らか
耐磨耗性が高くて、全体的な摩滅が減少するので、有利である。硬さの基準値は
ＤＩＮ５３５０５に従う２〜６０ショアＡの範囲の値である。

【００２５】弾性的な接触材料として、金属／プラスチック複合材料、特に高い割合で導電
性充填剤を有する弾性プラスチックからなる複合材料が考慮の対象となる。これ
らは生ゴム、シリコーン又は電気化学的に安定な他の弾性プラスチックのような
エラストマーからなっている。これに、エレクトロニクス製造工業において用い
られるような十分には硬化でない回路接着剤も属する。製造中に、導電性充填剤
がそのような材料への混合によって加えられる。それによって、金属とプラスチ
ックからなる複合材料が生まれる。

【００２６】内包成分（貯蔵成分）とも称される充填剤は好ましくは、この利用のためにパ
ウダー、繊維、針、柱体、球体、薄片、フェルトなどの形状をした金属からなっ
ている。これら充填剤の寸法は、ナノメートルからほぼ１００マイクロメートル
までの範囲である。繊維長さは数ナノメートルから数ミリメートルまでの範囲の
径と長さを有している。全体として接触材料における充填剤の割合は９０重量％
までになる。充填剤の割合が増すにつれて、金属／プラスチック複合材の弾力性
が減少し、導電性が増加する。両方の大きさはそれぞれの利用に合わせられる。
同時に導電性でもある電気化学的に安定な全ての充填剤は充填剤として供される
のに適する。通常の充填剤は例えばチタン、ニオブ、プラチナ、金、銀、特殊鋼
及び電極炭素(Elektrokohle)である。チタン、銅、アルミニウム又はガラスのボ
ールのようなプラチナめっき若しくは金めっきされた粒子もまた用いることがで
きる。

【００２７】金属／プラスチック複合材の製造の際に、ガラス、アルミニウム、チタンのよ
うな軽い材料が有利である。比較的軽い粒子の必要な導電性は例えばプラチナ、
金又は銀で電解コーティングすることによって生み出される。チタン又はアルミ
ニウムの粒子が被覆されないならば、金属酸化が非常に良好な導電性を損ねるこ
とになろう。金属製の中空ボールがとりわけ有利である。これらは良好な導電性
を有し、軽い。０．２ｍｍ以下の径でボールを製造可能である。壁厚は選択可能
である。それは例えば１０マイクロメートル台の範囲にある。ここで、ボールの
寸法、とりわけそれらの壁厚を選択することによって弾性材料の比重に正確に合
わせられた比重を有する充填剤料が問題になる。結果として、金属／プラスチッ
ク複合材の製造の際に分離が生じない。当該複合材は完全に均質である。

【００２８】金属／プラスチック複合材を製造する際、軽い充填剤料は硬化中にも分離する
傾向にない。当該複合材は非常に均質なままで、導電性は常に十分に高い。非常
に小さな寸法の充填剤料の粒子、所謂ナノ構造複合材がちょうど良い結果を生じ
る。弾性的な導電性材料を製作するにあたり、金属繊維や金属薄片の使用はごく
僅かな分離のみをもたらすが、均質な金属／プラスチック複合材を生じるといえ
る。均質性によって、これら弾性的な導電体の耐久性が改善される。同じ電流密
度が当該導電体の断面全体にかかる。局所的な過熱は生じない。

【００２９】これら充填剤料で達成され得る弾性的な接触材料の導電性は１０^−３Ωｃｍに
、特別な場合には１０^−４Ωｃｍにすらなる。これは、電解プロセスに用いられ
得るチタンのような金属の伝導性に比べてほぼ十分の一程度の小さな伝導性を示
す。

【００３０】弾性的な接触材料の導電性が一般的に使われている金属のものよりもほぼ十分
の一程度と小さいので、この材料において付加的な出力損失が生じる。それ故、
接触コロの被覆の厚みは、特に全面的な電解プロセスのために被処理物の電気接
触のための回転要素が用いられる場合に、小さいままである。例えば３ｍｍの接
触材料の被覆はパターン形成のために接触させるのに十分である。

【００３１】回転要素は接触コロとして構成可能である。この場合、接触コロは導電性コア
を備えていてもよく、その表面は例えば金属からなり、例えば特殊鋼又はチタン
からなっていてもよい。このために必要な安定性と導電性を有した金属／プラス
チック複合材も適する。

【００３２】接触コロの回転は冷却のために有利である。これによって一回の回転の間に電
解液中で熱せられた接触範囲を元通りに冷却することが可能である。他の利点は
、従来技術の硬質金属コロでの場合のようにコロの正確な表面線によって形成さ
れるだけでないことである。接触点で、弾性的な接触材料は面範囲を形成する。
これは接触力が増し弾性が高くなるにつれて大きくなる。局所的な有効電流密度
がそれによって相当に減る。それぞれの接触点でのこの増加した横断面によって
、電気抵抗が減少し、それで出力損失、即ち、加熱も減る。

【００３３】水平な連続処理設備において、接触力は例えばバネ力によって及び／又は上接
触コロのそれ自体の重量によって形成される。下に位置したコロは反対力を吸収
する。したがって、回転要素、例えば接触コロが連続処理設備において搬送面の
両側に配置されるような本発明に係る回転要素の少なくとも二つの配置が有利で
ある。このために、上側コロは下側コロと間隔をおいて自由に動くように支承さ
れる。したがってプレートの厚みに及び接触表面線での沈み程度に自動的に適応
する。通常、下側接触コロは堅く高さ調整される。

【００３４】接触コロの特に簡単で高価でない実施態様は、基礎体、即ち、その導電性コア
が表面範囲で弾性的且つ導電性のリング乃至バンドを単に備える場合に、得られ
る。これらリング乃至バンド（接触細片）はコロの溝／刻み目に、好ましくは環
状配置で形状拘束的に（確動的に）挿入され、その結果、それらはそこにロック
されるけれども簡単に交換可能で、それらが果たすべきそれぞれの機能に調整可
能である。接触細片は好ましくは接触コロのコアの表面範囲を越えて延在する。

【００３５】弾性的で導電性の接触材料が単に部分的にのみ回転要素に（例えば螺旋状溝で
）施されるならば、少なくとも処理流体にさらす（漬ける）限りにおいて弾性接
触材料で被覆されていないそれら導電性範囲を絶縁して、それら個所に電流が流
れることを回避することが有利である。それ故、電解金属析出又は除去がこれら
個所で生じないことが保証される。電気めっき支持枠を絶縁するためも使用され
る非導電性コーティング、特に例えばHALAR（登録商標）のような化学的に安定
な材料からなるプラスチックコーティングがこのために適する。同じことが、少
なくとも処理流体にさらす限りにおいて電流を伝えるのに供されない接触要素の
端面に当てはまる。

【００３６】接触細片のための材料として、再び金属／プラスチック複合材が考慮の対象と
なる。しかしながら、代替的な実施態様においては、リングにつなぎ合わせられ
ている傾き巻きの金属製コイルバネも適切である。リングの代わりに、弾性材料
がコロに螺旋状に巻かれて接触コロの端部に固定されてもよい。全ての場合にお
いて、これらリング、バンド及びバネはコロコアの表面範囲における刻み目に延
在し、これを越えて突き出ている。単にこれらが被処理物で巻きをほぐされる。

【００３７】固定浴電源から、したがって連続処理設備の固定部分から電流が、コロの摺動
路に当接する公知の摺動接触によって回転要素、例えば接触コロに伝わる。回転要素に給電するために、他の可能性は回転する接触部（回転接触）を用い
ることにある。それは、回転範囲とこれからギャップによって分離した固定範囲
を有するきっちりと閉じられたハウジングからなる。上記ギャップは自由に流れ
る電流伝達剤、例えば良好な導電性流体、懸濁物質又は金属パウダーで満たされ
ている。懸濁物質は、充填材料に際して記載されるような浮遊した金属パウダー
からなる。この回転する接触部は耐磨性でメンテナンスフリーである。

【００３８】本発明に係る回転要素は原則的にもっぱら被処理物の電気接触化のために用い
られ得る。しかしながら、回転要素が被処理物を搬送するのに供され、このため
に駆動装置を備えている場合も有利である。

【００３９】更なる処理に先だって導体プレートでの孔が既に電気化学的に施された銅層と
接触していた場合、導体プレート技術において更に方法を実施するために、これ
ら条件下で片側接触で足りるので、接触コロを例えば片側にのみ取り付けて、非
伝導性支持コロを半体側に配すれば十分である。

【００４０】搬送面の片側のコロが例えば接触コロとして構成される一方、他方のコロはプ
リント回路基板のような導体プレートを搬送するために供されるのみである。被
処理物が水平面で搬送される場合、例えば下側ローラが接触コロとして構成され
得る一方、上側コロが導体プレートが導体プレートの搬送にのみ供され、あるい
はそれらが逆の関係になることもある。このために例えば本発明に係る接触コロ
の、（例えばプラスチック材料からなる）標準的な搬送コロとの、あるいは従来
技術に係る標準的な搬送ホイールとの組み合わせが選択可能である。弾性的で導
電性の材料で覆われた片面の接触コロの非常に均質な電流誘導によって、電流は
また反対側を電解処理するためにも誘導され得る。導体プレートの両面が孔での
伝導層を介して及び縁を介して十分に互いに電気的に接続される。電気めっき中
に層厚が増えれば増えるほど、この電気接続の導電性が徐々に増大する。伝導性
接触コロの代わりに例えば上側でプラスチックコロを使用することはコストを相
当に節約する。とりわけ、これら条件下で電流を、付加的に垂直に可動な回転す
る接触コロに伝えることは必要ない。

【００４１】それ故、本発明に係る回転要素は連続処理設備において搬送面の両側で使用で
きるだけでなく、それぞれ搬送面の上側のみ若しくは下側のみで又は搬送面の上
下に交互で使用することができる。接触コロが有利には一方の面にのみ取り付け
られるが搬送方向で交互に上下に取り付けられる場合、最も短い導体プレートす
らも、接触手段を介して浴電源と少なくとも一時的に電気的に接続される。

【００４２】搬送方向における或る接触コロから他の接触コロまでの間隔は、搬送方向で最
短の導体プレートが常に浴電源に電気接続したままであるように選択される。こ
れはまた、処理されるべき最短の導体プレートの後端がなお後方にある接触コロ
と電気接触する一方で、後続の接触コロが既に同じ導体プレートの前端に接触す
ることを意味する。搬送方向での二つの接触コロの間に、連続処理設備の上下ア
ノードが位置している。

【００４３】連続処理設備において、伝導性接触コロが電解金属化（めっき）されることを
回避するために、接触コロはまた液浴の外側で電解部分槽の前後又は二つ以上の
電解部分槽の間及び付加的にこれら部分槽の最初と最後の前後に配置されていて
もよい。これが可能でないならば、極を変えることによって時々接触コロから金
属を除去しなければならない。

【００４４】

【実施例】

図１ａ〜１ｃにおいて、電解液用容器を備えた電解槽、ポンプ、搬送コロ、適
切な溶解性若しくは不溶性アノード、電流発生・給電装置、電解液供給ノズル、
並びに被処理物の出入口での滞留（絞り）コロが示されていない。

【００４５】図１ａにおいて、例えば金属（チタン、特殊鋼）のような電気化学的に安定で
良好な導電性の材料からなるコロ芯１からなる下側接触コロ９と上側接触コロ１
０が示されている。表面範囲全体にわたって、導電性で弾性な接触材料２が延在
する。これは伝導性加硫、貼り付け又はネジ、リベット若しくはクランプのよう
な機械固定具によって芯１に固定されている。機械的に固定した場合、固定位置
でコーティングの弾性が実質的に変わらないことに注意されなければならない。
接触コロ９，１０の両端に、軸受３を備えた軸受ジャーナル８が取り付けられて
いる。接触コロ９，１０の少なくとも一端に、例えば滑りリング若しくは滑り接
触４の形状又は電流伝達のための導電性自由流れ詰め物を備え気密に閉じられた
回転接触の形状をした電流供給部がある。

【００４６】図１ｂには、下側接触コロ９が示されている。そのコロ芯１は、環状接触材料
５が形状拘束的（確動的、嵌め合い的）に挿入された刻み目（細溝）を備えてい
る。リング５を配する場合、挿入状態での機械的張力は、被処理物７をスリップ
なしに搬送できるために十分にリング５の摩擦接合が高くあるように高くなけれ
ばならない。この場合も、接触コロ９の軸受ジャーナル８、軸受３並びに電流供
給部４が示されている。

【００４７】図１ｃに同様に下側接触コロ９が示されている。ここで、コロ芯１は螺旋状の
溝を有し、そこに弾性的な導電性接触材料６が形状拘束的に挿入されている。こ
の実施例において、不図示の固定要素が、芯１の前側で例えばしっかり挟持する
ことによって接触材料６を固定するために接触コロ９の両端に必要とされる。

【００４８】接触コロ９，１０が電気めっきのための電解液の内部で用いられるならば、図
１ａ〜１ｃに示されない適切なシールド、例えば遮蔽カバーが、金属が弾性接触
材料２，５，６に析出することを避けるために又は少なくともそのような金属析
出を低く維持するために、必要とされる。

【図面の簡単な説明】

【図１ａ】弾性的で導電性のコーティングを全面に施した本発明に係る接触コロの側面図
である。

【図１ｂ】環状接触細片（突条）を備えた本発明に係る接触コロの側面図である。

【図１ｃ】螺旋状接触細片を備えた本発明に係る接触コロの側面図である。

【符号の説明】

１コロ芯２弾性的で伝導性の接触材料３コロ軸受４電流伝達のための接触部５環状接触材料６螺旋状接触材料７被処理物８軸受ジャーナル９下側接触コロ１０上側接触コロ

【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書

【提出日】平成１４年２月２０日（２００２．２．２０）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ，ＴＲ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＢＺ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＯ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ【要約の続き】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】連続処理設備にて電解的に処理されるべきプレート状の被処
理物を電気的に接触化するための回転要素において、回転要素（９，１０）が被
処理物（７）上で展開されるその走行面で少なくとも部分的に弾性的で導電性の
材料（２，５，６）を備えていることを特徴とする回転要素。
【請求項２】上記回転要素（９，１０）が接触コロとして構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の電気的接触化のための回転要素。
【請求項３】上記回転要素（９，１０）が接触車として構成されているこ
とを特徴とする請求項１に記載の電気的接触化のための回転要素。
【請求項４】上記回転要素（９，１０）が接触螺旋として構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の電気的接触化のための回転要素。
【請求項５】上記回転要素（９，１０）がプレート状の被処理物（７）を
搬送するために駆動装置を備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか
一項に記載の電気的接触化のための回転要素。
【請求項６】接触コロとして構成された回転要素（９，１０）が導電性芯
（１）を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の電気的接
触化のための回転要素。
【請求項７】導電性芯（１）が金属製表面を有することを特徴とする請求
項６の記載の電気的接触化のための回転要素。
【請求項８】導電性芯（１）が弾性的な導電性材料（２）で少なくともだ
いたいコーティングされていることを特徴とする請求項６又は７に記載の電気的
接触化のための回転要素。
【請求項９】少なくとも表面が処理流体と接触する限り、弾性的な不導電
性材料（５，６）を備えていない芯表面上に不導電性コーティングを施与するこ
とを特徴とする請求項６〜８のいずれか一項に記載の電気的接触化のための回転
要素。
【請求項１０】導電性芯（１）が表面範囲で、芯（１）の表面範囲を越え
て延在する弾性的で導電性の接触細片（５，６）がその各々に形状拘束的に挿入
される少なくとも一つの刻み目を備えることを特徴とする請求項６〜９のいずれ
か一項に記載の電気的接触化のための回転要素。
【請求項１１】少なくとも一本の接触細片（５）が表面範囲でリング形状
に配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の電気的接触化のための回
転要素。
【請求項１２】少なくとも一本の接触細片（６）が表面範囲で螺旋状に配
置されていることを特徴とする請求項１０に記載の電気的接触化のための回転要
素。
【請求項１３】接触細片（６）が接触コロ（９，１０）の端部に固定され
ていることを特徴とする請求項１２に記載の電気的接触化のための回転要素。
【請求項１４】少なくとも一つの滑り接触（４）が回転要素（９，１０）
の給電のために備えられていることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項
に記載の電気的接触化のための回転要素。
【請求項１５】自由流れの電流伝達剤を含有する少なくとも一つの回転接
触（４）が回転要素（９，１０）の給電のために備えられていることを特徴とす
る請求項１〜１３のいずれか一項に記載の電気的接触化のための回転要素。
【請求項１６】連続処理設備にて電解的に処理されるべきプレート状の被
処理物を電気的に接触化するための少なくとも二つの回転要素の配列において、
回転要素（９，１０）が被処理物（７）上で展開されるその走行面で少なくとも
部分的に弾性的で導電性の材料（２，５，６）を備えており、回転要素（９，１
０）が連続処理設備内で進行方向で見て相前後して配置されていて、個々の回転
要素（９，１０）での弾性的で導電性の材料（２，５，６）の硬さが進行方向で
増加することを特徴とする回転要素配列。
【請求項１７】連続処理設備にて電解的に処理されるべきプレート状の被
処理物を電気的に接触化するための少なくとも二つの回転要素の配列において、
回転要素（９，１０）が被処理物（７）上で展開されるその走行面で少なくとも
部分的に弾性的で導電性の材料（２，５，６）を備えており、回転要素（９，１
０）が被処理物（７）のための搬送面を備えた連続処理設備内で当該搬送面の両
側に配置されていることを特徴とする回転要素配列。
【請求項１８】連続処理設備にて電解的に処理されるべきプレート状の被
処理物を電気的に接触化するための方法にして、上記被処理物が連続処理設備を
通って搬送され、それで少なくとも一つの回転要素によって電気的に接触化され
る方法において、被処理物（７）が少なくとも部分的に、少なくとも一つの回転
要素（９，１０）の被処理物（７）上で展開される走行面に施された弾性的で導
電性の材料（２，５，６）を介して電気的に接触化されることを特徴とする方法
。
【請求項１９】被処理物（７）が、少なくとも一つの回転コロとして形成
された回転要素（９，１０）の表面範囲に施された弾性的で導電性の材料（２，
５，６）を介して電気的に接触化されることを特徴とする請求項１８に記載の方
法。
【請求項２０】被処理物（７）が、少なくとも一つの回転車として形成さ
れた回転要素（９，１０）の走行面に施された弾性的で導電性の材料（２，５，
６）を介して電気的に接触化されることを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２１】被処理物（７）が、少なくとも一つの接触螺旋として形成
された回転要素（９，１０）の走行面に施された弾性的で導電性の材料（２，５
，６）を介して電気的に接触化されることを特徴とする請求項１８に記載の方法
。
【請求項２２】被処理物（７）が少なくとも一つの回転要素（９，１０）
によって搬送されることを特徴とする請求項１８〜２１のいずれか一項に記載の
方法。
【請求項２３】被処理物（７）のための水平搬送面を有した連続処理設備
にてそれぞれ搬送面の上下に配置された回転要素（９，１０）が電気的接触化の
ために備えられ、当該回転要素が被処理物（７）の両側で設備技術的許容差と製
品に関する高さ差を電気的接触の際に補償することを特徴とする請求項１８〜２
２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２４】被処理物（７）のための水平搬送面を有した連続処理設備
にてそれぞれ搬送面の上のみ又は下のみに配置された回転要素（９，１０）が電
気的接触化のために備えられ、当該回転要素が被処理物（７）の両側で設備技術
的許容差と製品に関する高さ差を電気的接触の際に補償することを特徴とする請
求項１８〜２２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２５】被処理物（７）のための水平搬送面を有した連続処理設備
にて搬送面で見て多数の回転要素（９，１０）が電気的接触化のために交互に搬
送面の上下に配置され、当該回転要素が被処理物（７）の両側で設備技術的許容
差と製品に関する高さ差を電気的接触の際に補償することを特徴とする請求項１
８〜２２のいずれか一項に記載の方法。