CN101428496A - 液状体的涂敷方法、有机el元件的制造方法 - Google Patents

液状体的涂敷方法、有机el元件的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供液状体的涂敷方法和有机EL元件的制造方法。液状体的涂敷方法从多个喷嘴对涂敷区域喷出至少由1个以上液滴构成的多个液滴群(Gr1、Gr2)，对于各液滴群，提供以修正间隔Δq1作为基准而规格化的多个修正水准，把修正间隔Δq2设定为修正间隔Δq1的3倍的值。向涂敷区域涂敷的液状体的涂敷量，能实现对根据成为基准的驱动信号喷出液滴，构成各液滴群(Gr1、Gr2)时的水准“0”施加以Δq1、2Δq1、3Δq1、4Δq1、5Δq1、6Δq1、7Δq1、8Δq1的等间隔划分的8个水准修正的9个水准的涂敷量。因此，多个驱动信号把修正间隔Δq1作为基准，最多生成5种对基准的驱动信号加以修正的修正驱动信号。

Description

液状体的涂敷方法、有机EL元件的制造方法
技术领域
本发明涉及液状体的涂敷方法、有机EL元件的制造方法。
背景技术
作为液状体的涂敷方法，公知有一种通过从液滴喷出头的多个喷嘴把液状体作为液滴喷出，形成在电极间形成的多层功能层中的至少1层，并使液滴喷出头扫描，对于与1个所述电极对应的区域，涂敷从不同的喷嘴喷出的液滴的显示装置的制造方法(专利文献1)。
根据上述显示装置的制造方法，通过使用不同的喷嘴喷出液滴，可抵消喷嘴之间的喷出量的偏差，能减小各电极间的组成物量的偏差。
此外，作为其他液的状体的涂敷方法，公知有一种喷出装置的控制方法，该喷出装置具备设置有喷出液状粘性物的多个喷嘴、和与该喷嘴分别对应的多个压力发生元件的头，所述控制方法包含：对压力发生元件分别作用成为基准的驱动脉冲，从各喷嘴喷出液状粘性物的第一步骤；和根据喷出的液状粘性物的喷出重量的测定结果，划分多个喷嘴，对各划分中包含的喷嘴所对应的压力发生元件作用具有与划分对应的波形的驱动脉冲，喷出液状粘性物的第二步骤(专利文献2)。
[专利文献1]特开2003-249355号公报
[专利文献2]特开2005-193104号公报
根据上述显示装置的制造方法，与对一个区域从同一喷嘴涂敷液滴的情形相比，具有使不同的喷嘴与所述区域对应的液滴喷出头的扫描次数增加，难以提高液滴涂敷的生产性的课题。
而且，根据上述喷出装置的控制方法，如果多个喷嘴的数量增加，则与喷出重量对应的驱动脉冲的种类也增加，具有生成驱动脉冲并对压力发生元件施加该脉冲的驱动电路变得更复杂的课题。
发明内容
本发明是为了解决上述课题的至少一部分而提出的，能作为以下的方式或应用例来实现。
[应用例1]
本应用例的液状体的涂敷方法从多个喷嘴将液状体作为液滴喷出，按设置在基板上的多个涂敷区域涂敷所述液状体，其特征在于，包括：喷嘴信息取得步骤，取得至少包含按所述喷嘴喷出的所述液滴的喷出量信息的喷嘴信息；配置信息生成步骤，根据使所述多个喷嘴和所述基板相对移动的扫描，生成将所述液状体作为由至少一个所述液滴构成的多个液滴群，按所述涂敷区域相关联地配置的配置信息；运算步骤，根据所述喷嘴信息和所述配置信息，运算按所述涂敷区域涂敷的所述液状体的涂敷量；把所述涂敷量的偏差划分为多个区间的划分步骤；求出所述区间的代表值和规定涂敷量的差，决定对所述各区间的所述规定涂敷量的修正量的修正量设定步骤；在需要修正的所述区间中，按所述液滴群使所述修正量不同，进行分配的修正量分配步骤；驱动信号设定步骤，按照可由多个驱动信号的组合，取得反映了被分配的所述修正量的涂敷量的方式，设定与所述各液滴群对应的所述驱动信号；进行根据所述配置信息的所述扫描，使用根据所述组合而选择的所述驱动信号，驱动所使用的喷嘴，对所述各涂敷区域喷出所述液状体的喷出步骤。
如果使用在喷出的液滴的喷出量中具有偏差的多个喷嘴，按各涂敷区域，把液状体作为液滴涂敷，则该涂敷量也同样具有偏差。为了抑制该涂敷量的偏差，可考虑按各喷嘴修正驱动喷嘴的驱动信号的方法，但是，生成与脉冲数对应的驱动信号，或者施加与所使用的喷嘴对应的驱动信号的驱动电路的结构变得复杂。
根据该方法，由多个液滴群构成向涂敷区域涂敷的液状体，在运算步骤中，根据喷嘴信息和配置信息，运算各涂敷区域的涂敷量。因此，能取得涂敷量的偏差信息。
在划分步骤中，把由多个液滴群的总和构成的涂敷量的偏差划分为多个区间。
在修正量设定步骤中，决定对各区间的规定涂敷量的修正量，在修正量分配步骤中，按各液滴群使该修正量不同，进行分配。
反映了按各液滴群分配的修正量的涂敷量在驱动信号设定步骤中由多个驱动信号的组合赋予。因此，与通过按各喷嘴修正的驱动信号驱动的情形相比，能抑制多个驱动信号的数量地进行液状体的涂敷。
此外，把涂敷量的偏差划分为多个区间，按各区间根据其代表值和规定涂敷量的差，赋予各涂敷区域的修正量。因此，实际的涂敷量被修正为接近规定涂敷量，能够使多个涂敷区域的涂敷量的偏差比例，比各喷嘴喷出的液滴的喷出量的偏差比例小。
[应用例2]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，以所述多个驱动信号中的一个作为基准驱动信号，将所述规定涂敷量设定为对与所述基准驱动信号对应的所述液滴的基准喷出量乘以所述多个液滴群的喷出总数而取得的值，所述喷嘴信息取得步骤应用所述基准驱动信号，驱动所述多个喷嘴，取得被喷出的所述液滴的喷出量的信息。
根据该方法，根据以基准驱动信号驱动多个喷嘴时的液滴的基准喷出量，设定规定涂敷量。因此，能一边反映各喷嘴喷出的液滴的喷出量偏差，一边抑制涂敷量的偏差。
[应用例3]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，所述配置信息生成步骤按照在不同的扫描中配置各自的所述液滴群的方式，生成所述配置信息。
根据该方法，由于在喷出步骤中根据配置信息，进行液滴的喷出，所以能通过不同的扫描，喷出各自的液滴群。因此，在同一扫描内，由于驱动所使用的喷嘴的多个驱动信号的组合的选择相同，所以在各扫描中，能以稳定的驱动条件驱动喷嘴。即，能进一步抑制涂敷量的偏差。
[应用例4]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，所述配置信息生成步骤按照在所述扫描中，使用同一喷嘴配置所述多个液滴群的方式，生成所述配置信息。
根据该方法，由于在喷出步骤中，使用同一喷嘴喷出各涂敷区域的多个液滴群，所以不需要改变所使用的喷嘴那样的多个喷嘴和基板的复杂扫描，能高效涂敷液状体。此外，通过使用喷出特性一定的同一喷嘴，能实现稳定的喷出。
[应用例5]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，所述配置信息生成步骤按照在所述扫描中，按各所述液滴群或所述液滴改变喷嘴，配置所述多个液滴群的方式，生成所述配置信息。
根据该方法，能够在使各喷嘴的液滴的喷出量的偏差按各涂敷区域分散的状态下，构成多个液滴群。即，能进一步减小液状体的涂敷量的偏差。
[应用例6]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，所述配置信息生成步骤按照当对由所述多个喷嘴构成的多个喷嘴列和所述基板进行扫描时，在所述扫描中，使用同一喷嘴列配置所述多个液滴群的方式，生成所述配置信息。
根据该方法，在喷出步骤中，使用了同一喷嘴列，喷出各涂敷区域的多个液滴群。因此，由于用喷出特性同等的喷嘴列中的喷嘴修正多个涂敷区域的同一液滴群，所以跨多个涂敷区域具有一贯性，能进行精度高的修正。即，能进一步减小液状体的涂敷量的偏差。
[应用例7]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，所述配置信息生成步骤按照当对具有多个喷嘴的多个喷出头和所述基板进行扫描时，在所述扫描中，使用同一所述喷出头配置所述多个液滴群的方式，生成所述配置信息。
根据该方法，在喷出步骤中，使用同一喷出头喷出各涂敷区域的多个液滴群。因此，由于用喷出特性同等的喷出头中的喷嘴修正多个涂敷区域的同一液滴群，所以跨多个涂敷区域具有一贯性，能进行精度高的修正。即，能进一步减小液状体的涂敷量的偏差。
[应用例8]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，所述划分步骤把所述多个区间划分为等间隔。
根据该方法，由于将多个涂敷区域的涂敷量的偏差划分为等间隔的多个区间，所以，不会因区间而产生偏差，能够进行均匀的涂敷量的修正。
[应用例9]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，所述划分步骤按照使所述涂敷量的偏差范围和所述多个区间的范围一致的方式，设定所述多个区间。
所述涂敷量的偏差因多个喷嘴的喷出量的偏差而引起，根据该方法，能对各液滴群提供可使实际的涂敷量的偏差比例可靠地成为喷嘴的喷出量的偏差比例以下的修正量。
[应用例10]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，所述划分步骤按照在所述涂敷量的偏差中，最大值和最小值分别成为所述区间的代表值的方式，设定所述多个区间。
由于修正量由区间的代表值和规定涂敷量之差赋予，所以根据该方法，相对于涂敷量的偏差的最大值和最小值，能对各液滴群提供更适合的修正量。
[应用例11]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，所述修正量设定步骤将所述涂敷量的偏差的中央值作为所述规定涂敷量，把包含所述中央值的区间选择为修正目标，决定各所述区间的修正量。
根据该方法，将包含中央值的区间作为中心，组合涂敷量增加的正的修正和涂敷量减少的负的修正，能进行正负对称的修正。由此，能把液状体的涂敷量收敛在与包含中央值的区间的宽度相当的偏差范围。
[应用例12]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，所述修正量分配步骤按所述各液滴群，分配基于所述多个驱动信号的组合的多个修正水准，所述多个修正水准的间隔按所述各液滴群为等间隔。
根据该方法，由于被分配的多个修正水准的间隔按各液滴群为等间隔，所以能对各液滴群进行均等的修正。
[应用例13]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，决定所述多个液滴群中成为修正的基准的液滴群，相对于该液滴群的所述修正水准的间隔，使另一方的液滴群的所述修正水准的间隔为2倍以上。
根据该方法，在由多个修正水准的组合而取得的多个液滴群的涂敷量的水准中，能可靠地减少同等的组合。因此，能提供更多液状体的涂敷量的水准，进行修正。
[应用例14]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，决定所述多个液滴群中成为修正的基准的液滴群，该液滴群的所述修正水准的间隔乘以该液滴群的所述修正水准的数量的值，是其他液滴群的所述修正水准的间隔。
根据该方法，其它液滴群的修正水准的间隔相对于成为基准的液滴群，成为等比数。因此，能使多个液滴群彼此关联，进行具有一贯性的涂敷量的修正。
[应用例15]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，将所述多个液滴群中液滴数最少的液滴群作为所述修正的基准。
根据该方法，以液滴数作为基准，在多个液滴群之间，能把修正量的比率水准化。即，能进行误差小的高精度的修正。
[应用例16]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，将所述多个液滴群中液滴量最少的液滴群作为所述修正的基准。
根据该方法，以液滴量作为基准，在多个液滴群之间，能把修正量的比率水准化。即，能进行误差小的高精度的修正。
[应用例17]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，成为所述基准的液滴群的修正水准的数量和其他液滴群的修正水准的数量相同。
根据该方法，对各液滴群提供相等的修正水准的数量，对它们进行组合的涂敷量具有更多的修正水准，能进行更致密的修正。
[应用例18]在上述应用例的液状体的涂敷方法中，所述各液滴群的所述修正水准的数量和所述多个驱动信号的数量相同。
由于修正水准的数量由多个驱动信号提供，所以根据该方法，对各液滴群能有效利用多个驱动信号，对多个液滴群能进行具有一贯性的涂敷量的修正。
[应用例19]本应用例的有机EL元件的制造方法，在基板上划分形成的多个发光层形成区域中至少具有发光层，其特征在于，包括：使用上述应用例的液状体的涂敷方法，按所述各发光层形成区域，把包含发光层形成材料的液状体作为所述多个液滴群进行涂敷的涂敷步骤；和使涂敷的所述液状体固化，形成所述发光层的发光层形成步骤。
根据该方法，在涂敷步骤中，能相对于规定涂敷量抑制偏差地，按各发光层形成区域涂敷包含发光层形成材料的液状体。因此，在发光层形成步骤中，能形成膜厚偏差少的发光层。由此，能制造因膜厚差移引起的发光不均匀或亮度不均匀减少，具有稳定的发光特性的有机EL元件。
[应用例20]在上述应用例的有机EL元件的制造方法中，所述涂敷步骤在所希望的所述发光层形成区域分别涂敷能够获得不同的发光色的多种所述液状体，所述发光层形成步骤使被涂敷的多种所述液状体固化，至少形成红、绿、蓝3色的所述发光层。
根据该方法，由于至少形成红、绿、蓝3色的发光层，所以能制造可稳定获得全彩色发光的有机EL元件。
附图说明
图1是表示基本的液状体的涂敷方法的表。
图2是表示实施例1的液状体的涂敷方法的表。
图3是表示实施例2的液状体的涂敷方法的表。
图4是表示实施例3的液状体的涂敷方法的表。
图5是表示实施例4的液状体的涂敷方法的表。
图6是表示比较例的液状体的涂敷方法的表。
图7是表示液滴喷出装置的结构的概略立体图。
图8(a)是表示喷出头的构造的概略分解立体图，(b)是表示喷嘴部的构造的剖面图。
图9是表示头单元的喷出头的配置的概略俯视图。
图10是表示液滴喷出装置的控制系统的框图。
图11是表示喷出头的电气控制的框图。
图12是驱动信号和控制信号的定时(timing)图。
图13是表示液状体的涂敷方法的流程图。
图14是表示涂敷量的喷出量的偏差的度数分布的曲线图。
图15是表示各区间的涂敷量的范围和修正量的表。
图16是表示与区间对应的液滴群的修正量的表。
图17是表示有机EL装置的构造的概略剖面图。
图18(a)是表示基板上的发光层形成区域的概略俯视图，(b)是以(a)的H-H’线进行切割的概略剖面图。
图19是表示发光元件部的制造方法的流程图。
图20是表示发光元件部的制造方法的概略剖面图。
图21是表示液状体的涂敷方法的概略俯视图。
符号说明：10—液滴喷出装置；50—喷出头；52—喷嘴；52A、52B—喷嘴列；59—作为驱动部件的振动件；100R、100G、100B—包含发光层形成材料的液状体；601—作为基板的元件基板；617R、617G、617B—发光层；A—作为涂敷区域的发光层形成区域；D、D1、D2、D3—液滴；Gr1、Gr2—液滴群；Q—液状体的涂敷量；W—作为工件的基板。
具体实施方式
以下，按照附图，说明把本发明具体化的实施方式。
(实施方式1)
<液状体的涂敷方法>
首先，说明本实施方式的液状体的涂敷方法的基本考虑方法。本实施方式的液状体的涂敷方法被应用于使用液滴喷出法(喷墨法)，对一个涂敷区域涂敷由多个(m个)液滴群Gr(Gr1、Gr2、Gr3、…、Grm)构成的液状体(墨水)的情形。各液滴群Gr(Gr1、Gr2、Gr3、…、Grm)分别至少由一个液滴构成。如果各液滴群Gr(Gr1、Gr2、Gr3、…、Grm)的喷出量(以下称作液滴量)为q1、q2、q3、…、qm，则在一个涂敷区域涂敷的液状体的总量(涂敷量)Q由以下的数学式(1)表示。
数学式(1)
Q = &Sigma; i = 1 m q i &CenterDot; &CenterDot; &CenterDot; ( 1 )
作为将液状体作为液滴向涂敷区域喷出的方法，使用后面描述的液滴喷出装置10(参照图7)。液滴喷出装置10能够以等间隔Δq对液滴群Gr的基准液滴量q，进行n水准(level)的修正。即，能够从q、q+Δq、q+2Δq、q+3Δq、··、q+(n-1)Δq之中选择被修正的水准。因此，能够以能够以等间隔的多个(n)水准对多个液滴群(Gr1、Gr2、Gr3、…、Grm)进行液滴量的修正。
为了容易理解说明，以对一个涂敷区域涂敷由2个液滴群Gr1、Gr2构成的液状体的情形为例，进行说明。
图1是表示基本的液状体的涂敷方法的表。如图1的表1所示，液滴群Gr1具有基于修正间隔Δq1的“0”～“2”这3个水准的修正水准。同样，液滴群Gr2具有基于修正间隔Δq2的“0”～“2”这3个水准的修正水准。因此，由液滴群Gr1和液滴群Gr2构成的液状体的涂敷量，如果组合各自的修正水准，则能进行合计9个修正。
在本实施方式中，0×Δq1、1×Δq1、2×Δq1表示了液滴群Gr1的各修正水准的修正量。在修正水准中，“0”的水准是指成为基准的液滴量的液滴群被喷出到涂敷区域。即，指液滴群的液滴量没有必要修正的状态。在0×Δq2、1×Δq2、2×Δq2中也同样。即，在本实施方式中，将使对液滴群Gr1赋予的修正间隔Δq1和对液滴群Gr2赋予的修正间隔Δq2不同作为基本。
在这样的液状体的涂敷方法中，由于使修正间隔Δq1和修正间隔Δq2不同，所以，使液滴喷出的驱动信号包含能喷出成为基准的液滴量的液滴群的、成为基准的驱动信号，能够改变液滴的喷出量的最大5种驱动信号是必要的。换言之，通过组合5种驱动信号、喷出液滴群，能把液状体的涂敷量修正为9种左右。
此外，例如在设液滴群Gr2的液滴数(喷出数)为3，液滴群Gr1的液滴数为1，各液滴群Gr1、Gr2的修正水准分别为3，应用了相同的驱动信号时，液滴群Gr2的液滴量成为液滴群Gr1的3倍，满足上述的条件。当如此构成液滴群Gr1、Gr2的液滴数的比，与修正水准的数量相等时，由于作为驱动信号，能使用相同的驱动信号，所以驱动信号的数量少。
由于这样的液状体的涂敷方法与怎样生成驱动信号有关，所以参照以下的实施例1～实施例4、和比较例，进行说明。
(实施例1)
图2是表示实施例1的液状体的涂敷方法的表。实施例1的液状体的涂敷方法对于液滴群Gr1、Gr2，赋予以修正间隔Δq1作为基准而规格化的多个修正水准，把修正间隔Δq2设定为修正间隔Δq1的整数倍(3倍)的值。即，修正间隔Δq2＝3Δq1。如果修正间隔Δq1＝1，则修正间隔Δq2＝3。
由此，如表2所示，对于液状体的总量(即涂敷量)Q而言，能够对在根据成为基准的驱动信号喷出液滴，构成了各液滴群Gr1、Gr2时的水准“0”(即，由基准喷出量的液滴构成各液滴群Gr1、Gr2时)，施加以Δq1、2Δq1、3Δq1、4Δq1、5Δq1、6Δq1、7Δq1、8Δq1的等间隔划分的8个水准的修正。因此，如果包含“0”，则能实现9个水准的液状体的涂敷量。因此，多个驱动信号以修正间隔Δq1作为基准，生成5种对基准的驱动信号施加了修正的修正驱动信号，此外，在先前的条件(构成液滴群Gr1、Gr2的液滴数之比与修正水准的数量相等)时，生成3种。而且，实施例1是对于成为基准的液滴群Gr1，在液滴量增加的方向修正其他的液滴群Gr2的例子。
(实施例2)
图3是表示实施例2的液状体的涂敷方法的表。实施例2的液状体的涂敷方法相对于实施例1，把修正间隔Δq2设定为修正间隔Δq1的整数倍(2倍)的值。即，修正间隔Δq2＝2Δq1。如果修正间隔Δq1＝1，则修正间隔Δq2＝2。
由此，如表3所示，液状体的总量Q(即涂敷量)因为局部地发生等价(同水准)的组合，所以能修正成从“0”～“6”的以等间隔“1”划分的7个水准。因此，与实施例1相比，下降了2个水准，但是与液滴群Gr1、Gr2的修正水准的总数相比，能以多一个数的水准进行液状体的涂敷量的修正。多个驱动信号的种类与实施例1相同，但是涂敷量的修正宽度当然减少。
(实施例3)
图4是表示实施例3的液状体的涂敷方法的表。实施例3的液状体的涂敷方法把修正间隔Δq2设为修正间隔Δq1的非整数倍。例如，Δq2＝2.4Δq1。如果修正间隔Δq1＝1，则Δq2＝2.4。即，如果取实施例1和实施例2的中间的值，则如表4所示，能以1以下的精度进行修正。能够修正的水准的数量与实施例1相同，但另一方，液滴群之间的修正间隔变为不均一。换言之，能够进行涂敷量的修正间隔变为不均一(非整数倍)的修正。
(实施例4)
图5是表示实施例4的液状体的涂敷方法的表。实施例4的液状体的涂敷方法把水准“0”作为基准，能够进行正负的修正。例如，如果修正间隔Δq1为包含0的±1，则修正间隔Δq2为修正间隔Δq1的3倍、即包含0的±3。各液滴群Gr1、Gr2的修正水准的数量分别为3，与实施例1相同。
由此，如表5所示，液状体的总量Q以“0”作为基准，能够进行±Δq1、±2Δq1、±3Δq1、±4Δq1的正负对称的修正。因此，多个驱动信号包含相对成为基准的驱动信号，能够实现正负对称的修正的修正驱动信号。
在实施例1～实施例4中，各液滴群Gr1、Gr2的修正水准的数量设为奇数的3，但是也可以是偶数。可是，在实施例4中，正负对称的修正变为不可能。换言之，能够进行正负非对称的修正。
(比较例)
图6是表示比较例的液状体的涂敷方法的表。比较例是使修正间隔Δq1和修正间隔Δq2同等的例子。例如，修正间隔Δq1＝修正间隔Δq2＝1。
由此，如表6所示，由于液状体的总量(即涂敷量)Q与实施例1～实施例4相比，局部更多地发生等价(同水准)的组合，所以只能进行比各液滴群Gr1、Gr2的修正水准的数量的和低的水准数的修正。
如果参照上述实施例1～实施例4和比较例，则作为最理想的修正方法是，m个液滴群(Gr1、Gr2、Gr3、…、Grm)分别以n个(n1、n2、n3、…、nm)修正水准具有等间隔的修正间隔Δq(Δq1、Δq2、Δq3、…、Δqm)。而且，修正间隔Δq(Δq1、Δq2、Δq3、…、Δqm)的大小不同。例如，Δq1<Δq2<Δq3、…、<Δqm。如果各液滴群Gr的修正间隔用N×Δq表现，则N成为0、1、2、…、n-1中的一个整数。并且，各液滴群Gr的修正水准的数量相等。由此，由液滴群(Gr1、Gr2、Gr3、…、Grm)构成的液状体的涂敷量能够用Nm Nm-1、…、N2N1的m位的数表现。同时，通过将修正水准的间隔设为修正间隔Δq2＝n×修正间隔Δq1，修正间隔Δq3＝n×Δq2、…、Δqm＝n×Δqm-1的等比数列，使液状体的涂敷量的修正能用n进数(Nm Nm-1、…、N2N1)表现，这时整体的修正量成为n进数乘以最小修正间隔的修正间隔Δq1的量。此外，能取得的全体修正量以修正间隔Δq1的等间隔成为nm的水准数。这成为能以最多的水准等间隔实施修正的条件。
而且，在液滴群(Gr1、Gr2、Gr3、…、Grm)的修正水准的数不相等时，通过使修正间隔Δq2＝n1×Δq1，修正间隔Δq3＝n2×修正间隔Δq2、…、修正间隔Δqm＝nm-1×修正间隔Δqm-1，能以修正间隔Δq1的等间隔取得如nm×nm-1×、…、×n2×n1那样的全体修正量的水准。
上述实施方式1的效果如下所示。
(1)根据上述实施方式1的液状体的涂敷方法，具有按构成液状体的液滴群Gr以不同的修正间隔Δq规定的等间隔的多个(n)修正水准，根据其组合，修正涂敷量(总量Q)。修正间隔Δq是通过从包含成为基准的驱动信号和修正驱动信号的多个驱动信号中选择一个而被赋予的修正间隔。因此，能进行比多个驱动信号的数量多的水准的修正。此外，如果把修正间隔Δq设定为最小的修正间隔Δq1的整数倍，则能用最大的水准以等间隔实施修正。即，与把1滴的液滴作为单位的喷出量的修正相比，把液滴群作为单位，能进行更高分辨率的液状体涂敷量的修正。
(实施方式2)
<液滴喷出装置>
下面，参照图7～图12，说明能实现实施方式1的液状体的涂敷方法的液滴喷出装置。
图7是表示液滴喷出装置的结构的概略立体图。如图7所示，本实施方式的液滴喷出装置10具有：使作为工件的基板W在主扫描方向(Y轴方向)移动的工件移动机构20、和使头单元9在副扫描方向(X轴方向)移动的头移动机构30。
工件移动机构20具有一对导轨21、沿着一对导轨21移动的移动台22、对移动台22上借助旋转机构6而配置的基板W进行载置的台架5。移动台22通过设置在导轨21的内部的气动滑板和线性电机(不图示)，在主扫描方向移动。台架5能够吸附固定基板W，并且通过旋转机构6能使基板W内的基准轴正确地与主扫描方向、副扫描方向一致。
头移动机构30具有一对导轨31、沿着一对导轨31移动的移动台32。在移动台32上设置有借助旋转机构7吊设的滑架8。在滑架8上安装有搭载了多个喷出头50(参照图8)的头单元9。此外，设置有用于对喷出头50供给液状体的液状体供给机构(不图示)、用于进行多个喷出头50的电驱动控制的头驱动器48(参照图10)。移动台32使滑架8在X轴方向移动，使头单元9与基板W对置配置。
液滴喷出装置10除了上述的结构之外，在面对多个喷出头50的位置配置有进行头单元9上搭载的多个喷出头50的喷嘴的堵塞的消除、喷嘴面的异物和污染的除去等维护的维护机构。而且，设置具有接受向各喷出头50喷出的液状体，计测其重量的电子秤等计测器的重量计测机构60(参照图10)。在图7中，省略了维护机构和重量计测机构60的图示。
图8是表示液滴喷出头的构造的概略图。图8(a)是概略分解立体图，图8(b)是表示喷嘴部的构造的剖面图。如图8(a)和(b)所示，喷出头50成为按顺序层叠、接合了具有喷出液滴D的多个喷嘴52的喷嘴板51、具有对多个喷嘴52分别连通的腔55进行划分的隔壁54的腔板(cavity plate)53、和具有与各腔55对应的作为驱动部件的振动件59的振动板58的构造。
腔板53具有对与喷嘴52连通的腔55进行划分的隔壁54、用于对腔55填充液状体的流路56、57。流路57被喷嘴板51和振动板58夹持，形成的空间起到贮存液状体的贮存器的作用。
液状体从液状体供给机构通过配管进行供给，在通过设置在振动板58的供给孔58a贮存到贮存器后，通过流路56填充到各腔55。
如图8(b)所示，振动件59是由压电元件59c、夹持压电元件59c的一对电极59a、59b构成的压电元件。从外部对一对电极59a、59b施加驱动信号，从而使接合的振动板58变形。伴随着振动板58的变形，由隔壁54划分的腔55的体积减少，对填充的液状体加压。由此，成为可从喷嘴52把液状体作为液滴D喷出的构造。然后，如果驱动信号的施加结束，则振动板58复原，腔55的体积复原，液状体被从贮存器吸引到腔55。通过控制向压电元件59c施加的驱动信号，能对各喷嘴52进行使液滴的喷出量和喷出速度改变的喷出控制。
喷出头50的驱动部件并不局限于压电元件。也可以是通过静电吸附使振动板58变位的电气机械变换元件、把液状体加热并且作为液滴D从喷嘴52喷出的电热变换元件(加热方式)。
图9是表示头单元的喷出头的配置的概略俯视图。具体而言，是从与台架5对置一侧观察的图。
如图9所示，头单元9具有配置有多个喷出头50的头板9a。在头板9a上搭载有3个喷出头50。在本实施方式中，成为能从各喷出头50(R1、G1、B1)喷出不同的液状体的结构。
各喷出头50具有由以几乎相等的间隔(大致141μm的喷嘴间隔P1)配置的多个(180个)喷嘴52构成的两个喷嘴列52A、52B。喷嘴列52A和喷嘴列52B在彼此偏移了喷嘴间隔P1的一半的喷嘴间隔P2的状态下，设置在喷嘴板51上。因此，如果从与喷嘴列52A、52B正交的方向观察，实质上大致以70.5μm的喷嘴间隔P2配置了喷嘴52。喷嘴52的直径大致为28μm。设由1个喷出头50能够描画的描画宽度为L，它成为2个喷嘴列52A、52B的有效长度。
在本实施方式中，各喷出头50(R1、G1、B1)彼此并行，配置在头板9a上。
另外，喷出头50相对于头板9a的配置方法并不局限于此。而且，在喷出头50上设置的喷嘴列并不局限于2列，可以是1列，也可以是3列。
如图8(a)和(b)所示，由于根据腔55、流路56、57的设计尺寸及其加工精度，流到各腔55的液状体的流动阻力不同，所以，从多个喷嘴52喷出的液滴D的喷出量按各喷嘴52变动。而且，也受被供给液状体的供给孔58a相对于多个腔55，形成在怎样的位置的影响。并且，还受到按各腔55设置的振动件59的固有振动特性的影响。即，有时从各喷嘴列52A、52B喷出的液滴D的喷出量按各喷出头50而不同。
因此，对振动件59赋予具有规定的驱动电压的驱动信号，从喷嘴52喷出数千到数万左右的喷出数(喷出发数)的液滴D，使用上述的重量计测机构60(参照图10)计测该液状体的重量。然后，把计测出的液状体的重量除以上述喷出数，计算1滴的重量，预先调查液滴D的喷出量。在本实施方式中，把这样的各喷嘴52的液滴D的喷出量的信息称作喷嘴信息。
喷嘴信息除了液滴D的喷出量之外，还可以包含各喷嘴52喷出的液滴D的飞行弯曲(与滴落位置关联)或因堵塞引起的不喷出的信息等。即，是表示多个喷嘴52的喷出特性的信息。
另外，液滴D的喷出量的信息的取得并不局限于上述的方法，也可以通过调查驱动部件的电气容量或固有振动特性，来推测。此外，所使用的液状体并不局限于实际向基板W喷出的液状体，如果具有几乎相同的物理特性(粘度、流动性、蒸汽压力等)，则也可以是试验用的液状体。
下面，说明液滴喷出装置10的控制系统。图10是表示液滴喷出装置的控制系统的框图。液滴喷出装置10的控制系统包括：具有驱动喷出头50、工件移动机构20、头移动机构30等的各种驱动器的驱动部46；和包含驱动部46在内，控制液滴喷出装置10的控制部4。
驱动部46具有：分别驱动控制工件移动机构20和头移动机构30的各线性电机的移动用驱动器47、对喷出头50进行喷出控制的头驱动器48、驱动控制重量计测机构60的各单元的重量计测用驱动器49、和驱动控制维护机构的各维护用单元的维护用驱动器(省略图示)。
控制部4具有CPU41、ROM42、RAM43、P-CON44，它们彼此通过总线45连接。在P-CON44上连接着上位计算机11。ROM42具有：存储由CPU41处理的控制程序等的控制程序区域、和存储用于进行描画动作或功能恢复处理等的控制数据等的控制数据区域。
RAM43具有：存储用于对基板W进行描画的描画数据的描画数据存储部、存储基板W和各喷出头50(实际上是喷嘴列52A、52B)的位置数据的位置数据存储部等各种存储部，作为用于控制处理的各种作业区域而使用。在P-CON44上连接着驱动部46的各种驱动器等，构成补充CPU41的功能，并且用于处理与周边电路的接口信号的逻辑电路。因此，P-CON44把来自上位计算机11的各种指令等原封不动或者进行加工，取入到总线45，并且与CPU41联动，将从CPU41等向总线45输出的数据或控制信号原封不动或者进行加工后，向驱动部46输出。
然后，CPU41按照ROM42内的控制程序，通过P-CON44输入各种检测信号、各种指令、各种数据等，在处理了RAM43内的各种数据等后，通过P-CON44对驱动部46输出各种控制信号，由此控制液滴喷出装置10全体。例如CPU41控制喷出头50、工件移动机构20和头移动机构30，使头单元9和基板W对置配置。而且，与头单元9和基板W的相对移动同步，把液状体作为液滴D，从搭载在头单元9上的各喷出头50的多个喷嘴52向基板W喷出，进行描画。这时，将与基板W向Y轴方向的移动同步而喷出液状体的动作称作主扫描，将在X轴方向使头单元9移动称作副扫描。液滴喷出装置10通过组合主扫描和副扫描，重复进行多次，由此能够喷出描画液状体。主扫描并不局限于基板W相对于喷出头50向一个方向的移动，也能够在使基板W往返的情况下进行。
上位计算机11不仅将控制程序或控制数据等控制信息发送给液滴喷出装置10，还能修正这些控制信息。而且，具有作为配置信息生成部的功能，所述配置信息生成部根据上述的喷嘴列52A、52B的喷嘴信息(喷出特性)，生成把液状体作为液滴D配置在基板W上的各涂敷区域的配置信息。配置信息将涂敷区域中的液滴D的喷出位置(换言之，基板W和喷嘴52的相对位置)、液滴D的配置数(换言之，各喷嘴52的喷出数)、主扫描中的多个喷嘴52的ON/OFF、喷出定时等信息例如表现为位图。
接着，参照图11和图12，说明喷出头的喷出控制方法。图11是表示喷出头的电气控制的框图。
如图11所示，头驱动器48具有：分别独立生成对液滴D的喷出量进行控制的不同的多个驱动信号COM的D/A变换器(以下称为DAC)71A～71D；在内部具有DAC71A～71D所生成的驱动信号COM的转换速率数据(slew rate data)(以下称为波形数据(WD1～WD4)的容纳存储器的波形数据选择电路72；用于对通过P-CON44从上位计算机11发送的喷出控制数据进行存储的数据存储器73。向COM1～COM4的各COM线分别输出由DAC71A～DAC71D生成的驱动信号COM。
在各喷出头50中具有：使向按各喷嘴52设置的振动件59(参照图8)施加的驱动信号COM接通/断开的开关电路74；选择各COM线中的任意一个，对与各振动件59连接的开关电路74发送驱动信号COM的驱动信号选择电路75。
在喷嘴列52A中，振动件59的一方电极59b与DAC71A～71D的接地线(GND)连接。而振动件59的另一方电极59a(以下称为部分(segment)电极59a)通过开关电路74、驱动信号选择电路75与各COM线电连接。另外，开关电路74、驱动信号选择电路75、波形数据选择电路72被输入时钟信号(CLK)或与各喷出定时对应的锁存信号(LAT)。这种驱动电路的结构在喷嘴列52B中也同样。
在数据存储器73中，按对应各喷出头50的扫描位置而周期设定的各喷出定时，存储有以下的数据。即，是规定向各振动件59施加驱动信号COM(ON/OFF)的喷出数据DA、对与各振动件59对应的COM线(COM1～COM4)的选择进行规定的驱动信号选择数据DB、和对向DAC71A～71D输入的波形数据(WD1～WD4)的种类进行规定的波形编号数据WN。在本实施方式中，喷出数据DA按1个喷嘴由1比特(0，1)构成，驱动信号选择数据DB按1个喷嘴由2比特(0，1，2，3)构成，波形编号数据WN按1个DAC由7比特(0～127)构成。另外，数据结构也能适宜变更。
图12是驱动信号和控制信号的定时图。在上述的结构中，与各喷出定时有关的驱动控制如下进行。如图12所示，在定时t1～t2的期间，喷出数据DA、驱动信号选择数据DB、波形编号数据WN分别被串行信号化，发送给开关电路74、驱动信号选择电路75、波形数据选择电路72。然后，在定时t2，通过各数据被锁存，与喷出(ON)相关的各振动件59的部分电极59a成为与由驱动信号选择数据DB指定的COM线(COM1～COM4中的任意一个)连接的状态。例如，振动件59的部分电极59a在驱动信号选择数据DB为“0”时，与COM1连接。同样，驱动信号选择数据DB为“1”时，与COM2连接，驱动信号选择数据DB为“2”时，与COM3连接，驱动信号选择数据DB为“3”时，与COM4连接。并且，与该选择联动，设定与DAC71A～71D的生成相关驱动信号的波形数据(WD1～WD4)。
在定时t3～t4的期间，根据在定时t2处设定的波形数据，分别以电位上升、电位保持、电位下降的一系列步骤生成驱动信号COM。然后，向处于与COM1～COM4中的任意一个连接的状态的振动件59供给生成的驱动信号COM，进行与喷嘴52连通的腔55的体积(压力)控制。
驱动信号COM中的与电位上升、电位保持、电位下降有关的时间成分、电压成分，紧密依存于通过该供给而被喷出的液状体的喷出量。尤其在压电方式的喷出头50中，由于相对于电压成分的变化，喷出量表现良好的线性，所以把定时t3～t4的电压成分的变化(电位差)规定为驱动电压Vh(Vh1～Vh4)，能够把它作为喷出量控制条件利用。即，驱动电压Vh是控制液滴D的喷出量的驱动信号的条件之一。另外，所生成的驱动信号COM并不局限于本实施方式中表示的单纯的梯形波，例如也能适宜采用矩形波等众所周知的各种形状的波形。此外，在不同的驱动方式(例如热方式)的实施方式时，也能把驱动信号COM的脉冲宽度(时间成分)作为喷出量控制的条件而利用。
在本实施方式中，准备使驱动电压Vh阶段性不同的多种波形数据，通过对DAC71A～71D分别输入独立的波形数据(WD1～WD4)，能够对各COM线分别输出不同的驱动电压Vh1～Vh4的驱动信号COM。可准备的波形数据的种类是相当于波形编号数据WN的信息量(7比特)的128种，例如使其与0.1V刻度的驱动电压Vh对应。换言之，在12.8V的电位差的范围中，能够以0.1V刻度设定Vh1～Vh4的各驱动波形。
这样，本实施方式的液滴喷出装置10通过考虑各喷嘴52的喷出特性，适当设定对各振动件59(喷嘴52)与各COM线的对应关系进行规定的驱动信号选择数据DB、和对各COM线与驱动信号COM的种类(驱动电压Vh)的对应关系进行规定的波形编号数据WN，由此能够调整液滴D的喷出量，喷出液状体。换言之，适当进行由驱动信号选择数据DB和波形编号数据WN的关系决定的各喷嘴52的驱动信号COM的设定，是用于管理喷出量的重要事项。
在上述液滴喷出装置10中，喷出头50的喷出控制方法能按液滴D的喷出，换言之按喷出定时，更新驱动信号选择数据DB和波形编号数据WN。此外，也能与喷出数据DA对应，精细地设定驱动信号COM。因此，由按各喷出定时，能够至少跨4个阶段，使各喷嘴52喷出的液滴D的喷出量变化，所以与对各振动件59施加一定的驱动信号COM时相比，能够按喷嘴52，并且按液滴D的喷出，调整喷嘴列52A、52B的喷出特性所引起的液滴D的喷出量的偏差。因此，能减少因喷嘴列52A、52B的喷出特性引起的喷出不均匀地喷出液状体。
即使能按液滴D的喷出，至少跨4个阶段，使各喷嘴52喷出的液滴D的喷出量变化，但为了使上述喷出量为一定的值，例如为基准喷出量(或者目标的喷出量)，能够与多个喷嘴52对应地每次调整驱动信号COM实质上也使驱动电路的结构变得更复杂。
因此，在本实施方式中，求出从多个喷嘴52喷出的液滴D的喷出量的偏差(从所述的喷嘴信息取得)。然后，根据各喷嘴52的液滴D的喷出量的信息、和涂敷区域中的液滴D的配置信息，求出多个涂敷区域中的涂敷量。把该涂敷量的偏差的范围划分为与组合多种驱动信号COM而取得的修正水准的数相同的数。将多个涂敷区域中的涂敷量划分为不同的多个区间，求出各区间的代表值和规定涂敷量的差，把它决定为修正量。按照反映了该修正量的涂敷量能够由驱动信号COM的组合取得的方式，设定驱动信号COM的驱动电压Vh1～Vh4。然后，根据涂敷区域中的液滴D的配置信息，把涂敷的液状体划分为涂敷量不同的多个液滴群。根据怎样扫描多个喷嘴52和基板W，确定按液滴群而使用的喷嘴52。选择应用了各涂敷区域的修正量的驱动信号COM的组合，来喷出液滴D。通过使用受限制的多种驱动信号COM，对各液滴群提供多个修正水准，将其进行组合，由此使对涂敷区域涂敷的液滴群的液滴量不同，从而赋予多个液滴群的总和的液状体的总量(涂敷量)Q。因此，收敛在比喷嘴52具有的液滴D的喷出量的偏差范围小的偏差范围中。
更具体而言，CPU41根据喷嘴信息，运算求出上述各区间的修正量。或者，也可以由上位计算机11运算，作为数据而取得。按照取得上述多个修正水准的方式，根据修正量的数据生成使驱动电压Vh不同的多种驱动信号COM。在涂敷区域的液滴D的配置信息中，生成按各液滴群使驱动信号选择数据DB和波形编号数据WN联系的喷出数据DA。控制部4根据这些配置信息、喷出数据DA，控制液滴喷出装置10的各部，执行喷出液滴D的喷出动作。
另外，按由多个(180个)喷嘴52构成的喷嘴列52A、52B和各喷出头50取得喷嘴信息。此外，优选每当取得喷嘴信息时，都在喷嘴列间，按照施加了基准驱动信号时的液滴D的平均喷出量成为基准喷出量(目标的喷出量)的方式，预先调整基准驱动信号的驱动电压Vh。由此，能预先修正喷嘴列之间、喷出头之间的偏差。
下面，参照图13～图16，更加详细地说明使用了上述液滴喷出装置10的液状体的涂敷方法。
图13是表示液状体的涂敷方法的流程图。如图13所示，本实施方式的液状体的涂敷方法是与把具有多个涂敷区域的基板W、和具有多个喷嘴52的喷出头50对置、使其相对移动的扫描同步，从至少一个喷嘴52将液状体作为液滴D向涂敷区域喷出，在涂敷区域形成薄膜的方法。
本实施方式的液状体的涂敷方法具有：取得喷嘴信息的喷嘴信息取得步骤(步骤S1)；生成将液滴D作为多个液滴群相关联地配置在涂敷区域的配置信息的配置信息生成步骤(步骤S2)。而且，具有：对向各涂敷区域涂敷的液状体的涂敷量进行运算的运算步骤(步骤S3)；把涂敷量的偏差划分为多个区间的划分步骤(步骤S4)。此外，具有：求出区间的代表值和规定涂敷量之差，决定各区间的对于规定涂敷量的修正量的修正量设定步骤(步骤S5)；按各液滴群使修正量不同地进行分配的修正量的分配步骤(步骤S6)。并且，还具有：按照反映了所分配的修正量的涂敷量由多个驱动信号的组合取得的方式，设定与各液滴群对应的驱动信号的驱动信号设定步骤(步骤S7)；进行基于配置信息的扫描，使用根据所述组合而选择的驱动信号，驱动所使用的喷嘴52，对各涂敷区域喷出液状体的喷出步骤(步骤S8)；和使喷出的液状体干燥，在涂敷区域形成薄膜的干燥步骤(步骤S9)。
图13的步骤S1是喷嘴信息取得步骤。在步骤S1中，设定多种驱动信号COM中成为基准的驱动信号COM(基准驱动信号)，向振动件59施加数千～数万次该驱动信号COM，使液状体喷出，然后测定该液状体的重量。把求出的重量除以喷出数，按各喷嘴52求出每1次的喷出量(重量)。另外，如上所述，按各喷出头50，并且按各喷嘴列52A、52B，进行这样的喷嘴信息的取得。此外，优选设置每当取得喷嘴信息时，都预先修正(调整)基准驱动波形的驱动电压Vh的步骤。然后，进入到步骤S2。
图13的步骤S2是配置信息生成步骤。在步骤S2中，生成将对涂敷区域涂敷的液状体作为至少由一个液滴D构成的多个液滴群而相关联的配置信息。为了容易理解后面的步骤的说明，在本实施方式中，以液滴D的喷出量为10ng，对一个涂敷区域喷出3滴的液滴D，涂敷30ng的液状体为前提进行说明。涂敷区域中的液滴D的配置也与多个喷嘴52(喷出头50)和基板W的扫描方法关联地来决定所使用的喷嘴52。涂敷区域中的液滴D的平面配置方法考虑了涂敷区域的尺寸、液状体的涂敷量、每1滴液滴D的喷出量来适宜设定。然后，进入到步骤S3。其中，在各涂敷区域中为了配置液滴群而使用的喷嘴52并不一定是1个。根据扫描的方法，有时还能使用多个喷嘴52喷出液滴D，构成液滴群。此外，有时也能与扫描对应，改变所使用的喷嘴52或喷出头50。
图13的步骤S3是运算步骤。在步骤S3中，根据在步骤S1中求出的喷嘴信息、在步骤S2中决定的配置信息，运算基板W上的多个涂敷区域各自的涂敷量。如果配置信息确定，决定了所使用的喷嘴52，则由于根据喷嘴信息可知道由基准驱动信号驱动所使用的喷嘴52时的液滴D的喷出量，所以如果把该喷出量与配置信息中包含的喷出数相乘，则可求出涂敷量。求出的涂敷量反映了从多个喷嘴52喷出的液滴D的喷出量的偏差。然后，进入到步骤S4。
图13的步骤S4是划分步骤。图14是表示涂敷量的偏差的度数分布的曲线图。在步骤S4中，如图14所示，把以最大值和最小值作为界限的涂敷量的偏差范围划分为等间隔的9个区间。设图14所示的涂敷量的偏差是液滴D的喷出量的偏差范围为基准喷出量±10％。因此，如果基准喷出量为10ng，则由于涂敷3滴的液滴D，所以涂敷量的最小值为27ng，最大值为33ng。因此，涂敷量的偏差的范围(range)是6ng，在每1区间中，成为6/9＝0.67ng(大致0.7ng)。然后，进入到步骤S5。
图13的步骤S5是修正量设定步骤。在步骤S5中，求出划分了涂敷量的偏差的各区间的代表值和规定涂敷量之差，将该差决定为修正量。图15是表示各区间的涂敷量的范围和修正量的表。如图15所示，因为在涂敷量包含最小值(27ng)的区间1中，区间的宽度(间隔)是0.7ng，所以各区间的液状体涂敷量的范围成为27～27.7ng。同样，在涂敷量包含最大值(33ng)的区间9中，成为32.3～33.0ng。在上述实施方式1的液状体的涂敷方法中，应用了表5(参照图5)的方法，把包含涂敷量的中央值(30ng)的区间5选择为修正目标。即，如果规定涂敷量为30ng，则各区间的修正量变为图15那样。具体而言，由于涂敷量最小的区间1的代表值是27.3ng，所以修正量变为+2.7ng。由于包含中央值的区间5的修正量当然是0ng，涂敷量最多的区间9的代表值是32.7ng，所以修正量变为-2.7ng。其他区间也能同样地求出修正量。另外，在图15中，把小数点以下第2位四舍五入。
即，各区间的涂敷量Q的中央值Qz可由以下的数学式(2)表达。
数学式(2)
Q z = ( z - 1 2 ) ( Q max - Q min N z ) + Q min &CenterDot; &CenterDot; &CenterDot; ( 2 )
z是1～9的区间编号，Qmax是涂敷量Q的最大值，Qmin是涂敷量Q的最小值，Nz是区间总数，这时，与修正水准的数相同。
此外，修正间隔的最小单位ΔQ由以下的数学式(3)表示。
数学式(3)
&Delta;Q = Q max - Q min N z &CenterDot; &CenterDot; &CenterDot; ( 3 )
即，这时，ΔQ＝0.67ng。然后，进入到步骤S6。
图13的步骤S6是修正量的分配步骤。在步骤S6中，对各区间赋予的修正量(即修正间隔)按各液滴群不同地分配。图16是表示与区间对应的液滴群的修正量的表。在如上所述对一个涂敷区域喷出3个液滴D时，如果把它划分为由2个液滴D构成的第一液滴群Gr1、由1个液滴D构成的第二液滴群Gr2，来分配修正量，则变为图16那样。具体而言，第一液滴群Gr1的修正量以0为中心，成为±2.0ng，第二液滴群Gr2的修正量以0为中心，成为±0.7ng。因此，在第一液滴群Gr1中，按每1滴进行±1ng的修正，在第二液滴群Gr2中，按每1滴进行±0.7ng的修正。另外，在图16中，把小数点以下第2位四舍五入。
这样，通过对液滴数多的第一液滴群Gr1分配大的修正量(修正间隔)，对液滴数少的第二液滴群Gr2分配小的修正量(修正间隔)，从而能以液滴数作为基准，将每1滴的针对修正量的修正比率水准化。此外，相对于小的修正量(绝对量为0.7ng，但是计算的基础是0.67ng)，大的修正量(绝对量为2.0ng，但是计算的基础是0.67的3倍的2.01ng)成为小的修正量的3倍。因此，能进行误差小的高精度的修正。然后，进入到步骤S7。
图13的步骤S7是驱动信号设定步骤。在步骤S7中，根据上述步骤S6的分配，设定驱动信号COM的波形。例如，把图12所示的COM3线的驱动波形作为基准驱动信号，与各液滴群Gr1、Gr2的修正水准对应，设定能够正(plus)修正液滴D的喷出量的COM4线的驱动波形的驱动电压Vh4。
同样，与各液滴群Gr1、Gr2的修正水准对应，设定能负修正液滴D的喷出量的COM2线的驱动波形的驱动电压Vh2。即，如上所述，按液滴群Gr1、Gr2，生成使驱动信号选择数据DB和波形编号数据WN联系的喷出数据DA。剩下的COM1线的驱动波形被设为不喷出液滴D的程度的驱动电压Vh1。如果对非选择(不使用的)喷嘴52施加COM1线的驱动波形，则使喷嘴52内的液状体的弯液面振动，能防止因干燥引起的堵塞。然后，进入到步骤S8。
图13的步骤S8是液状体的喷出步骤。在步骤S8中，根据生成的配置信息、喷出数据DA，一边扫描喷出头50和基板W，一边从喷出头50的被选择的喷嘴52对涂敷区域喷出液滴D。这时，3个液滴D作为第一液滴群Gr1和第二液滴群Gr2向涂敷区域喷出。各液滴群Gr1、Gr2分别被修正，作为液滴群Gr1、Gr2的总和的液状体的涂敷量Q，把基准喷出量(10ng)乘以喷出总数(n＝3)的值、即规定涂敷量作为中心值，理想地收敛在规定的范围(区间5的涂敷量的范围)内。实际上，有可能受到液状体的温度(影响粘度)等环境的变化、喷出头50的电负荷变动等影响。因此，难说涂敷量Q一定收敛在规定的范围(区间5的涂敷量的范围)内，但至少收敛在比液滴D的喷出量的偏差范围小的范围中。然后，进入到步骤S9。
图13的步骤S9是干燥步骤。在步骤S9中，通过加热基板W，使涂敷在涂敷区域的液状体干燥。由此，可从液状体除去溶剂成分，形成由溶质构成的薄膜。作为加热基板W的方法，可列举使用红外线灯或加热器等热源，把基板W放置到干燥炉内的方法等。根据溶剂的物理特性，也可以采用能控制蒸发速度的减压干燥。
上述实施方式2的效果如下所示。
(1)根据上述实施方式2的液状体的涂敷方法，将从多个喷嘴52喷出的液滴D的喷出量的偏差作为喷嘴信息而取得。根据该喷嘴信息、多个涂敷区域中的液滴D的配置信息，求出各涂敷区域的液状体的涂敷量。把该涂敷量的偏差范围划分为等间隔的9个区间，求出各区间的相对规定涂敷量的修正量。然后，按配置在涂敷区域的各液滴群Gr1、Gr2使该修正量不同，进行分配。在喷出步骤中，根据液滴群Gr1、Gr2的配置信息和喷出数据DA，喷出构成液滴群Gr1、Gr2的液滴D。在喷出数据DA包含有所使用的喷嘴52的信息、和能修正从所使用的喷嘴52喷出的液滴D的喷出量的驱动信号COM的选择数据。因此，涂敷在涂敷区域中液状体由被赋予了不同的修正量(修正间隔)的液滴群Gr1、Gr2构成，能够将该涂敷量至少收敛在比液滴D的偏差范围小的范围中。理想上，以基准喷出量(10ng)乘以总喷出数(n＝3)的值作为中心值，能收敛在规定的范围(区间5的涂敷量Q的范围)中。
(2)在上述实施方式2的液状体的涂敷方法中，对液滴数多的液滴群Gr1分配了大的修正量，对液滴数少的液滴群Gr2分配了小的修正量。因此，能以液滴数作为基准，将对各液滴群Gr1、Gr2的修正比率水准化，可进行误差小的高精度的修正。
另外，涂敷在涂敷区域的液滴群Gr1、Gr2的数量、构成液滴群Gr1、Gr2的液滴D的数量和构成液滴群Gr1、Gr2的各液滴D的喷出量是否相同并不局限于此。例如，也可以设构成液滴群Gr1、Gr2的液滴D的数量相同。这时，按各液滴群Gr1、Gr2的液滴量不同的方式，把各区间的修正量划分为大的修正量和小的修正量，分配给液滴群Gr1、Gr2。此外，为了把液滴群Gr1、Gr2之间的修正比率水准化，或者能进行更高精度的修正，优选大的修正量(大的修正间隔)为小的修正量(小的修正间隔)的2以上的整数倍。
(实施方式3)
下面，参照图17～图21，说明应用了上述实施方式2的液状体的涂敷方法的有机EL(Electro Luminescence)元件的制造方法。
<有机EL装置>
首先，说明有机EL装置。图17是表示有机EL装置的构造的概略剖面图。如图17所示，本实施方式的有机EL装置600包括：具有作为有机EL元件的发光元件部603的元件基板601、与元件基板601隔开空间622而被密封的密封基板620。而且，在元件基板601上具有电路元件部602，发光元件部603重叠形成在电路元件部602上，被电路元件部602驱动。在发光元件部603中，作为有机EL发光层的3色发光层617R、617G、617B形成在各自的发光层形成区A，成为条纹状。元件基板601将与3色发光层617R、617G、617B对应的3个发光层形成区A作为1组像素，该像素在元件基板601的电路元件部602上配置为矩阵状。有机EL显示装置600将来自发光元件部603的光向元件基板601一侧射出。
密封基板620由玻璃或金属构成，通过密封树脂与元件基板601接合，在密封的内侧的表面粘贴有吸气剂(getter)621。吸气剂621用于吸收侵入到元件基板601和密封基板620之间的空间622中的水或氧，防止发光元件部603由于侵入的水或氧而劣化。另外，也可以省略该吸气剂621。
元件基板601在电路元件部602上具有多个发光层形成区A，具备：划分多个发光层形成区A的围堰(bank)618、形成在多个发光层形成区A的电极613、和层叠在电极613上的空穴注入/输送层617a。而且，具备发光元件部603，其具有对作为涂敷区域的发光层形成区A内涂敷包含发光层形成材料的3种液状体而形成的发光层617R、617G、617B。使用绝缘材料形成围堰618，为了防止层叠在空穴注入/输送层617a上的发光层617R、617G、617B和电极613短路而覆盖电极613的周围。
元件基板601例如由玻璃等透明的基板构成，在元件基板601上形成由氧化硅膜构成的基底保护膜606，在该基底保护膜606上形成有由多晶硅构成的岛状半导体膜607。另外，在半导体膜607中，通过高浓度P离子注入，形成有源区域607a和漏区域607b。而没有导入P离子的部分成为沟道区域607c。并且，形成覆盖基底保护膜606和半导体膜607的透明栅极绝缘膜608，在栅极绝缘膜608上形成有由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极609，在栅电极609和栅极绝缘膜608上形成有透明的第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b。栅电极609被设置在与半导体膜607的沟道区域607c对应的位置。而且，形成有贯通第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b，分别与半导体膜607的源区域607a、漏区域607b连接的接触孔612a、612b。并且，在第二层间绝缘膜611b上，将由ITO(Indium Tin Oxide)等构成的透明电极613构图配置为规定的形状，一方的接触孔612a与该电极613连接。而且，另一方的接触孔612b与电源线614连接。这样，在电路元件部602中形成了与各电极613连接的驱动用薄膜晶体管615。另外，在电路元件部602中也形成了保持电容和开关用的薄膜晶体管，但在图17中省略了它们的图示。
发光元件部603具有作为阳极的电极613、依次层叠在电极613上的空穴注入/输送层617a、发光层617R、617G、617B(总称为发光层Lu)、覆盖围堰618和发光层Lu地层叠的阴极604。由空穴注入/输送层617a和发光层Lu构成了被激励发光的功能层617。另外，如果用透明的材料构成阴极604和密封基板620及吸气剂621，则能从密封基板620一侧射出所发出的光。
有机EL装置600具有连接在栅电极609上的扫描线(省略图示)和连接在源区域607a上的信号线(省略图示)，如果根据传递到扫描线的扫描信号，使开关用的薄膜晶体管(省略图示)导通，则这时的信号线的电位被保持电容保持，按照该保持电容的状态，来决定驱动用的薄膜晶体管615的导通/断开状态。然后，通过驱动用的薄膜晶体管615的沟道区域607c，使电流从电源线614流到电极613，再通过空穴注入/输送层617a和发光层Lu使电流流到阴极604。发光层Lu根据流过它的电流量而发光。有机EL装置600通过这样的发光元件部603的发光机制，能够显示所希望的文字和图像等。
图18是表示基板上的发光层形成区的配置的概略图。图18(a)是概略平面图，图18(b)是以图18(a)的H-H’线进行切割的概略剖视图。如图18所示，在作为工件的元件基板601上，多个发光层形成区域A在X轴方向和Y轴方向以矩阵状配置。各发光层形成区域A在元件基板601上被围堰618划分，成为在Y轴方向细长的跑道状(track)形状。在发光层形成区域A中，Y轴方向的两端部成为圆弧状是考虑了滴落的液滴D在该两端部的浸湿扩散。
希望围堰618至少其表面(滴落面)具有疏液性。即使液滴D的一部分滴落在围堰618上，如果滴落面具有疏液性，则能把液状体(液滴D)收容在发光层形成区域A内。作为围堰618的形成方法，例如可列举在基板W的表面涂覆具有疏液性的感光性树脂材料，通过光刻法，进行曝光、显影的方法。此外，在使用了不具有疏液性的感光性树脂材料时，通过在形成围堰618后，使用氟类的处理气体进行表面处理，也能对表面赋予疏液性。
元件基板601的发光层形成区域A的配置虽是设计事项，但是要求更精密的配置。例如，如果表示以200ppi(pixe lper inch)的密度在元件基板601上进行配置时的设计尺寸的例子，则如下所述。X轴方向的配置间隔Px为42μm，宽度Pw为32μm，因此，X轴方向的围堰618的宽度Bw成为10μm。Y轴方向的配置间隔Py为126μm，宽度PL为96μm，因此，Y轴方向的围堰618的宽度BL为30μm。由此，发光层形成区域A的开口率大致为18％。当然，如果要进一步提高开口率，则有必要进一步缩小围堰618的宽度Bw、BL。根据在发光层形成区域A涂敷的液状体的总量，决定围堰618的高度。在本实施方式中，围堰618的高度大致为2～3μm。
如果发光层形成区域A的配置如上所述那样高精密，则即使液滴D稍微偏移滴落，也会超过围堰618，导致液滴D的一部分流到相邻的发光层形成区域A。换言之，产生了无法在所希望的发光层形成区域A涂敷必要量的液状体的问题。因此，如图18(b)所示，作为喷出条件之一，需要使喷出的液滴D滴落在发光层形成区域A的几乎中央附近。
而且，即使液滴D滴落在发光层形成区域A的几乎中央附近，如果该液滴D的喷出量发生偏差，则也难以稳定地在各发光层形成区域A涂敷必要量的液状体。在本实施方式中，由于使用上述实施方式2的液状体的涂敷方法，形成了发光层Lu，所以可在偏差少的状态下将必要量的液状体涂敷在各发光层形成区域A，具有发光不均匀、亮度不均匀等显示不良情况少的高显示质量，并且能够实现高清晰的显示。
<有机EL元件的制造方法>
下面，根据图19～图21说明作为本实施方式的有机EL元件的发光元件部603的制造方法。图19是表示发光元件部的制造方法的流程图，图20(a)～(f)是表示发光元件部的制造方法的概略剖视图，图21(a)和(b)是表示液状体的喷出方法的概略平面图。另外，在图20(a)～(f)中，形成在元件基板601上的电路元件部602省略了图示。
如图19所示，本实施方式的发光元件部603的制造方法具有：在元件基板601的多个发光层形成区域A所对应的位置形成电极613的阳极形成步骤(步骤S11)；按照一部分挂在电极613上的方式形成围堰618的围堰形成步骤(步骤S12)。而且，具有：进行被围堰618b划分的发光层形成区域A的表面处理的步骤(步骤S13)；对表面处理后的发光层形成区域A喷出包含空穴注入/输送层形成材料的液状体的喷出步骤；使喷出的液状体干燥，形成空穴注入/输送层617a的步骤(步骤S14)。并且，具有：对发光层形成区域A喷出包含发光层形成材料的3种液状体的喷出步骤；使喷出的3种液状体干燥，形成发光层Lu的步骤(步骤S15)。还具有覆盖围堰618和发光层Lu地形成阴极604的步骤(步骤S16)。使用上述实施方式2的液状体的涂敷方法，进行各液状体向发光层形成区域A的涂敷。因此，应用了图9所示的头单元9中的喷出头50的配置。
图19的步骤S11是电极(阳极)形成步骤。在步骤S11中，如图20(a)所示，在元件基板601的发光层形成区域A所对应的位置形成电极613。作为形成方法，例如在元件基板601的表面，使用ITO等透明电极材料，在真空中用溅射法或蒸镀法形成透明电极膜。然后，可举出用光刻法只留下必要的部分，实施蚀刻，形成电极613的方法。然后，进入到步骤S12。
图19的步骤S12是围堰形成步骤。在步骤S12中，如图20(b)所示，覆盖元件基板601的多个电极613的周围地形成围堰618。作为围堰618的材料，希望是对于包含后面描述的发光层形成材料的3种液状体100R、100G、100B的溶剂，具有耐久性的材料，进而希望是通过将含氟气体作为处理气体的等离子体处理而能够实现疏液化，例如丙烯酸树脂、环氧树脂、感光性聚酰亚胺等具有绝缘性的有机材料。作为围堰618的形成方法，例如在形成了电极613的元件基板601的表面通过辊涂法或旋转涂敷法涂敷感光性的上述有机材料，并使其干燥，从而形成厚度大致2～3μm的感光性树脂层。而且，可举出将以发光层形成区域A所对应的尺寸设置了开口部的掩模与元件基板601在规定的位置对置，通过曝光、显影，来形成围堰618的方法。然后，进入到步骤S13。
图19的步骤S13是对发光层形成区域A进行表面处理的步骤。在步骤S13中，首先把O2作为处理气体，对形成了围堰618的元件基板601的表面进行等离子体处理。由此，使电极613的表面、围堰618的表面(包含壁面)活性化，进行了亲液处理。接着，把CF4等含氟气体作为处理气体，进行等离子体处理。由此，只在由有机材料、即感光性树脂构成的围堰618的表面，进行含氟气体反应，实施疏液处理。然后，进入到步骤S14。
图19的步骤S14是空穴注入/输送层形成步骤。在步骤S14中，首先如图20(c)所示，对发光层形成区域A涂敷包含空穴注入/输送层形成材料的液状体90。作为涂敷液状体90的方法，使用了具有图9的头单元9的液滴喷出装置10和上述实施方式2的液状体的涂敷方法。从喷出头50喷出的液状体90作为液滴D滴落到元件基板601的电极613，并润湿扩散。根据发光层形成区域A的面积，在必要量(规定涂敷量)偏差少的状态下喷出液状体90。然后，进入到干燥/成膜步骤。
在干燥/成膜步骤中，通过利用灯退火等方法加热元件基板601，使液状体90的溶剂成分干燥、将其除去，在电极613的由围堰618划分的区域形成空穴注入/输送层617a。本实施方式中，作为空穴注入/输送层形成材料，使用了3，4-聚二氧乙基噻吩/聚对苯乙烯磺酸(PEDOT/PSS)。另外，虽在各发光层形成区域A形成了由同一材料构成的空穴注入/输送层617a，但是也可以与以后形成的发光层Lu对应，按发光层形成区域A改变空穴注入/输送层617a的材料。然后，进入到步骤S15。
图19的步骤S15是发光层形成步骤。在步骤S15中，首先如图20(d)所示，使用液滴喷出装置10，从多个喷出头50向多个发光层形成区域A涂敷包含发光层形成材料的3种液状体100R、100G、100B。液状体100R包含形成发光层617R(红色)的材料，液状体100G包含形成发光层617G(绿色)的材料，液状体100B包含形成发光层617B(蓝色)的材料。滴落的各液状体100R、100G、100B在发光层形成区域A润湿扩散，截面形状隆起为圆弧状。作为涂敷这些液状体100R、100G、100B的方法，使用了上述实施方式2的液状体的涂敷方法。希望驱动信号COM的驱动电压Vh1～Vh4的设定按各液状体100R、100G、100B进行。即，按填充各液状体100R、100G、100B的喷出头50进行驱动信号的设定。
图21(a)和(b)是表示液状体的涂敷方法的概略平面图。如图21(a)和(b)所示，在把液状体100R、100G、100B作为液滴D喷出的喷出步骤中，以200ppi的密度配置为矩阵状的多个发光层形成区域A中涂敷同种液状体的发光层形成区域A，在X轴方向每隔2个排列，且在Y轴方向连续排列(条纹方式的配置)。因此，相对于元件基板601，把喷出头50在平面视图中倾斜地对置配置，使喷嘴间隔P1(大约141μm)和涂敷同种液状体的发光层形成区域A的配置间隔(大约126μm)一致。使喷出头50倾斜的方向可以是任意的方向。实际上，驱动液滴喷出装置10的旋转机构7，使头单元9旋转，相对于台架5上安放的工件进行定位(参照图7)。
本实施方式中，在一个发光层形成区域A配置3个液滴D。作为其顺序，首先在发光层形成区域A的Y轴方向的两端部附近，分别使液滴D分开配置。即，如图21(a)所示，作为第一液滴群Gr1，先行喷出2个液滴D1、D2。接着，如图21(b)所示，掩埋先行喷出的液滴D1、D2之间地进而后喷出作为第二液滴群Gr2的一个液滴D3。由此，液状体没有不均匀地到达发光层形成区A域内。换言之，使用同一喷嘴52对一个发光层形成区域A进行2次扫描，配置了液滴D1～液滴D3。第一液滴群Gr1和第二液滴群Gr2通过根据为了修正涂敷量的偏差而按发光层形成区域A设定的修正量，从能改变液滴D的喷出量的多个驱动信号的组合中选择驱动信号，对所使用的喷嘴52的振动件59附加，来进行涂覆。由此，按液状体100R、100G、100B，在至少比液滴D的喷出量的偏差范围小的范围中，向对应的发光层形成区域A涂敷必要量。
更具体而言，例如图21(a)中在发光层形成区域A，使用同一喷嘴52喷出3个液滴D。该涂敷量包含在区间1(参照图15)中。在对该喷嘴52的振动件59施加了基准驱动信号而喷出3个液滴D中，液状体的涂敷量相对于中央值的30ng，有2.7ng的不足。因此，选择能进行+1ng的修正的驱动信号，向振动件59施加2次，喷出液滴D1和D2。由液滴D1和D2构成的第一液滴群Gr1结果被修正、涂敷+2ng。接着，选择能进行+0.7ng的修正的驱动信号，对振动件59施加一次，喷出液滴D3(第二液滴群Gr2)。由此，由第一液滴群Gr1和第二液滴群Gr2构成的被涂敷的液状体的涂敷量被修正+2.7ng。在不同的扫描中喷出第一液滴群Gr1和第二液滴群Gr2，这时选择的驱动信号COM根据修正水准，设定了各驱动信号的驱动电压Vh2～驱动电压Vh4。在其他所使用的喷嘴52中，当然也进行同样的修正。然后，进入到干燥/成膜步骤。
在干燥/成膜步骤中，如图20(e)所示，使喷出的各液状体100R、100G、100B的溶剂成分干燥而被除去，按照在各发光层形成区域A的空穴注入/输送层617a层叠各发光层617R、617G、617B的方式成膜。作为喷出各液状体100R、100G、100B的元件基板601的干燥方法，优选是能使溶剂的蒸发速度为一定的减压干燥。然后，进入到步骤S16。
图19的步骤S16是阴极形成步骤。在步骤S16中，如图20(f)所示，覆盖元件基板601的各发光层617R、617G、617B和围堰618的表面地形成阴极604。作为阴极604的形成材料，优选组合使用Ca、Ba、Al等金属或LiF等氟化物。特别优选在靠近发光层617R、617G、617B一侧形成功函数小的Ca、Ba、LiF的膜，在远离一侧形成功函数大的Al等膜。此外，在阴极604上也可以层叠SiO2、SiN等保护层。由此，能防止阴极604的氧化。作为阴极604的形成方法，可列举蒸镀法、溅射法、CVD法等。特别是在能防止发光层617R、617G、617B因热引起的损伤上，理想的是蒸镀法。
这样形成的元件基板601具有将必要量(规定涂敷量)的各液状体100R、100G、100B作为液滴D1～D3稳定地涂敷在发光层形成区域A，干燥/成膜后的膜厚在各发光层形成区域A中几乎为一定的各发光层617R、617G、617B。
本实施方式中，由于以200ppi的高精密度状态在元件基板601上配置了发光层形成区域A，所以各液状体100R、100G、100B可以分别在对应的发光层形成区域A只涂敷3滴即可。由于液滴D的喷出数少，所以为了修正涂敷量的偏差，无法采用对液滴D的喷出数进行调整的方法。并且，由于能改变液滴D的喷出量的驱动信号COM的种类受限，所以作为喷出各液状体100R、100G、100B的方法，采用上述实施方式2的液状体的涂敷方法，这在以少的驱动信号COM的种类能进行高精度的修正方面是非常有效的。
上述实施方式3的效果如下所示。
(1)上述实施方式3的发光元件部603的制造方法中，在液状体100R、100G、100B的喷出步骤中，使用上述实施方式2的液状体的涂敷方法，向元件基板601的高精密配置的发光层形成区域A，在偏差少的状态下涂敷了必要量(规定涂敷量)的各液状体100R、100G、100B。各液状体100R、100G、100B作为由液滴D1和D2构成的第一液滴群Gr1、由液滴D3构成的第二液滴群Gr2，被稳定地喷出，由此可取得干燥/成膜后的膜厚在同色的发光层形成区域A中几乎为一定的617R、617G、617B。
(2)在上述实施方式3的发光元件部603的制造方法中，由于使用同一喷嘴52对各发光层形成区域A喷出了第一液滴群Gr1和第二液滴群Gr2，所以与使用不同的喷嘴52喷出第一液滴群Gr1和第二液滴群Gr2时相比，能减少扫描的次数。而且，通过使用同一喷嘴52，能抑制喷出特性的变动，可稳定地涂敷液状体100R、100G、100B。
(3)如果使用上述实施方式3的发光元件部603的制造方法，制造有机EL装置600，则由于各发光层617R、617G、617B的膜厚几乎一定，所以各发光层617R、617G、617B的电阻几乎一定。因此，如果通过电路元件部602向发光元件部603施加电压，使其发光，则能减少各发光层617R、617G、617B的电阻不均匀所引起的发光不均匀或亮度不均匀等。即，能制造发光不均匀或亮度不均匀少，高清晰、具有良好的显示质量的有机EL装置600。
在上述实施方式以外，还可考虑各种变形例。以下，列举变形例，进行说明。
(变形例1)在上述实施方式2的液状体的涂敷方法中，分配多个修正水准的范围并不限定于与涂敷量的偏差范围同等。例如，可以在涂敷量的偏差中，按最小值和最大值为区间代表值地设定多个(9个)区间的间隔。由此，对于涂敷量成为最小值或最大值的涂敷区域，能分配更适合的修正量。
(变形例2)在上述实施方式2的液状体的涂敷方法中，规定涂敷量可以不是涂敷量的偏差中的度数分布的中央值。例如，也可以使用涂敷量的平均值。由此，能把以平均值为中心的标准偏差作为区间的设定方法而采用。
(变形例3)在上述实施方式2的液状体的涂敷方法中，分配修正量的方法并不局限于基于液滴群的液滴数的方法。例如，也可以对液滴量多的液滴群赋予大的修正量，对液滴量少的液滴群赋予小的修正量。由此，能以液滴量作为基准，把液滴群的修正比率水准化。
(变形例4)在上述实施方式1的液状体的涂敷方法和上述实施方式2的液状体的涂敷方法中，液滴D的喷出量和基于它的液状体的涂敷量并不局限于重量。例如，可以拍摄从各喷嘴52喷出的液滴D的飞行状态，求出体积，把它作为喷出量。此外，也可根据在基板上形成的薄膜的体积，求出液滴D的体积。
(变形例5)在上述实施方式2的液滴喷出装置10中，驱动信号COM的波形形状并不局限于此。除了单纯的梯形波或矩形波之外，例如也能采用夹着中间电位组合了这些波形的驱动波形。即，能够使液滴D的喷出量可变的波形形状并不局限于使驱动电压Vh可变，通过改变放电时(电压下降时)的斜率或放电时的中间电位，也能改变喷出量。
(变形例6)在上述实施方式2的液滴喷出装置10中，驱动信号COM的发生方法并不局限于此。例如也可以在同一喷出周期内产生波形形状不同的多个驱动波形。即，可以在同一喷出周期内选择多个驱动波形中的一个。
(变形例7)在上述实施方式3的有机EL元件的制造方法中，发光元件部603并不局限于具有3色的发光层。例如，在具有白色等单色的发光层时，也能应用上述实施方式2的液状体的涂敷方法。由此，能提供具有多个单色的有机EL元件的作为照明装置的有机EL装置600。此外，组合白色发光的有机EL元件和至少3色的滤色器，可以提供作为能显示全彩色的显示装置的有机EL装置600。
(变形例8)在上述实施方式3的有机EL元件的制造方法中，元件基板601上的发光层形成区域A的配置和形状并不局限于此。例如，发光层形成区域A也可以是方形，此外，涂敷同一液状体的发光层形成区域A的配置并不局限于条纹方式，在镶嵌方式、三角方式中，也能应用上述实施方式2的液状体的涂敷方法。
(变形例9)在上述实施方式3的有机EL元件的制造方法中，向发光层形成区域A配置(喷出)液滴D1～液滴D3的方法并不局限于从同一喷嘴52喷出的方法。例如，当从不同的喷嘴52分别喷出液滴D1～液滴D3时，或者从不同的喷嘴52分别喷出第一液滴群Gr1和第二液滴群Gr2时，也能应用上述实施方式2的液状体的涂敷方法。此外，也可以使用同一喷嘴列52A(52B)或同一喷出头50，喷出多个液滴群Gr1～Grn。由于用喷出特性同等的喷嘴列52A(52B)或者喷出头50中的喷嘴52修正涂敷区域的同一液滴群，所以能够跨多个涂敷区域，进行具有一贯性，精度高的修正。即，能进一步减少液状体的涂敷量的偏差。
(变形例10)能应用上述实施方式1的液状体的涂敷方法的器件的制造方法，并不局限于上述实施方式3的有机EL元件的制造方法。例如，能在滤色器的制造方法中应用。具有：分别向喷出头50填充包含着色材料的3色液状体，作为液滴D从多个喷嘴52向图18的围堰618所划分的涂敷区域喷出的喷出步骤；使喷出的液状体固化，形成3色的着色层的固化步骤。由此，能制造涂敷区域是着色区域，具有3色着色层的高精密滤色器。另外，液状体的种类并不局限于3色，可以是包含R(红)、G(绿)、B(蓝)的多色，与此对应，可以增加在头单元9中搭载的喷出头50的数量。在滤色器的制造方法以外，如果使用包含透镜材料的液状体，则也能在工件上形成高精密的光学透镜的光学透镜制造方法中应用。还能在具有一定的图案形状的布线图案的形成方法、作为实体膜的取向膜或绝缘膜的形成方法、作为电光学材料的液晶的填充等中应用。
(变形例11)能应用上述实施方式1的液状体的涂敷方法的并不局限于各种器件的制造方法。例如，涂敷区域也可以不是由围堰(隔壁)等划分的区域。当把液状体作为记录用的墨水，软分割印字区域，来修正在被分割的区域涂敷的墨水量时也能够应用。由此，在扫描方向，能构成由多个液滴群构成的具有一定宽度的线段或具有一定面积的印字面。即，把基板或记录纸分割为虚拟的涂敷区域，以软件方式假定涂敷区域，从而能应用上述实施方式的液状体的涂敷方法。

Claims (20)

1.一种液状体的涂敷方法，从多个喷嘴将液状体作为液滴喷出，向设置在基板上的多个涂敷区域涂敷所述液状体，其特征在于，包括：
喷嘴信息取得步骤，取得至少包含按所述各喷嘴喷出的所述液滴的喷出量信息的喷嘴信息；
配置信息生成步骤，根据使所述多个喷嘴和所述基板相对移动的扫描，生成把所述液状体作为由至少一个所述液滴构成的多个液滴群，按所述各涂敷区域相关联配置的配置信息；
运算步骤，根据所述喷嘴信息和所述配置信息，运算按所述各涂敷区域涂敷的所述液状体的涂敷量；
把所述涂敷量的偏差划分为多个区间的划分步骤；
求出所述区间的代表值和规定涂敷量的差，决定对所述各区间的所述规定涂敷量的修正量的修正量设定步骤；
在需要修正的所述区间中，按所述各液滴群使所述修正量不同，进行分配的修正量分配步骤；
按照由多个驱动信号的组合可取得反映了被分配的所述修正量的涂敷量的方式，设定与所述各液滴群对应的所述驱动信号的驱动信号设定步骤；和
进行根据所述配置信息的所述扫描，使用根据所述组合而选择的所述驱动信号，驱动所使用的喷嘴，按所述各涂敷区域喷出所述液状体的喷出步骤。
2.根据权利要求1所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
以所述多个驱动信号中的一个作为基准驱动信号，将所述规定涂敷量设定为对与所述基准驱动信号对应的所述液滴的基准喷出量乘以所述多个液滴群的喷出总数而取得的值；
所述喷嘴信息取得步骤应用所述基准驱动信号，驱动所述多个喷嘴，取得被喷出的所述液滴的喷出量的信息。
3.根据权利要求1或2所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
所述配置信息生成步骤按照在不同的扫描中配置各自的所述液滴群的方式，生成所述配置信息。
4.根据权利要求3所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
所述配置信息生成步骤按照在所述扫描中，使用同一喷嘴配置所述多个液滴群的方式，生成所述配置信息。
5.根据权利要求3所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
所述配置信息生成步骤按照在所述扫描中，按各所述液滴群或所述液滴改变喷嘴，配置所述多个液滴群的方式，生成所述配置信息。
6.根据权利要求3所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
所述配置信息生成步骤按照当对由所述多个喷嘴构成的多个喷嘴列和所述基板进行扫描时，在所述扫描中使用同一喷嘴列配置所述多个液滴群的方式，生成所述配置信息。
7.根据权利要求3所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
所述配置信息生成步骤按照当对具有多个喷嘴的多个喷出头和所述基板进行扫描时，在所述扫描中使用同一所述喷出头配置所述多个液滴群的方式，生成所述配置信息。
8.根据权利要求1～7中任意一项所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
所述划分步骤把所述多个区间划分为等间隔。
9.根据权利要求8所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
所述划分步骤按照所述涂敷量的偏差的范围和所述多个区间的范围一致的方式，设定所述多个区间。
10.根据权利要求8所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
所述划分步骤按照在所述涂敷量的偏差中，最大值和最小值分别成为所述区间的代表值的方式，设定所述多个区间。
11.根据权利要求1～10中任意一项所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
所述修正量设定步骤以所述涂敷量的偏差的中央值作为所述规定涂敷量，把包含所述中央值的区间选择为修正目标，决定各所述区间的所述修正量。
12.根据权利要求1～11中任意一项所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
所述修正量分配步骤按所述各液滴群，分配基于所述多个驱动信号的组合的多个修正水准，所述多个修正水准的间隔按所述各液滴群为等间隔。
13.根据权利要求12所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
决定所述多个液滴群中成为修正的基准的液滴群，相对于该液滴群的所述修正水准的间隔，使另一方的液滴群的所述修正水准的间隔为2倍以上。
14.根据权利要求13所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
决定所述多个液滴群中成为修正的基准的液滴群，该液滴群的所述修正水准的间隔乘以该液滴群的所述修正水准的数量的值，是其他液滴群的所述修正水准的间隔。
15.根据权利要求13或14所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
将所述多个液滴群中液滴数最少的液滴群作为所述修正的基准。
16.根据权利要求13或14所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
将所述多个液滴群中液滴量最少的液滴群作为所述修正的基准。
17.根据权利要求13～16中任意一项所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
成为所述基准的液滴群的修正水准的数量和其他液滴群的修正水准的数量相同。
18.根据权利要求17所述的液状体的涂敷方法，其特征在于：
所述各液滴群的所述修正水准的数量和所述多个驱动信号的数量相同。
19.一种有机EL元件的制造方法，该有机EL元件在基板上划分形成的多个发光层形成区域中至少具有发光层，其特征在于，包括：
使用权利要求1～18中任意一项所述的液状体的涂敷方法，按所述各发光层形成区域，将包含发光层形成材料的液状体作为所述多个液滴群进行涂敷的涂敷步骤；和
使被涂敷的所述液状体固化，形成所述发光层的发光层形成步骤。
20.根据权利要求19所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于：
所述涂敷步骤在所希望的所述发光层形成区域涂敷可获得不同发光色的多种所述液状体；
所述发光层形成步骤使被涂敷的多种所述液状体固化，至少形成红、绿、蓝3色的所述发光层。
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