CN101395295B - 靶子装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种靶子装置，其包括管状承载部件和具有至少一种靶材的空心圆柱靶子，所述靶子包括至少一个一体形成且至少部分地包围所述承载部件的管状段。所述承载部件和所述管状段通过至少两个塑性可变形补偿装置以材料适配性局部地相互连接。本发明还涉及用于制造这种靶子装置的方法以及管状段。

Description

靶子装置
技术领域
本发明涉及包含管状承载部件和空心圆柱靶子的靶子装置，该空心圆柱靶子包含至少一种靶材并包括至少一个一体形成且至少部分地包围承载部件的管状段。 
背景技术
普遍已知的这种靶子装置也称作原子化靶子或溅射靶子。例如在通过阴极原子化或溅射方法对大面积基底进行薄层镀覆时，将这类靶子用作材料源。用这种靶子装置进行的薄层镀覆，例如可用于制造平板玻璃或塑料薄片上的耐热膜或遮阳膜。 
最初指定种类的靶子装置存在着靶子与承载部件之间的固定问题。这种问题尤其体现在如下一些靶子装置上，在这些靶子装置中没有利用铸造工艺或热注模塑工艺将靶子直接连接到承载部件上，这是因为靶材在铸造或热注入时将会升华等原因。 
因而人们熟知如下的靶子装置，其中，靶子借助于弹性夹紧元件以传输力的方式固定在承载部件上。然而，通过这种传输力连接仅能实现靶子与承载部件之间的中等热耗散。 
通过靶子与承载部件之间的整个区域的材料连续性连接，能够实现改善的热耗散。这种整个区域的材料连续性连接应用在例如平面靶子中，在该平面靶子中，通过贯穿的焊料层将平面靶段与支撑板固定在一起。相应地，半圆柱靶段能以这种方式与管状承载部件相连。 
然而，整个区域的材料连续性焊料连接并不适合由至少一个管状段形成靶子的靶子装置。例如由于管状靶子装置的承载部件包含金属材料而靶子管状段包含陶瓷材料，因此承载部件和管状段具有明显互不相同的热膨胀系数。不仅有由于上述承载部件和管状段的热膨胀差异而使得承载部件和管状段之间的连接变松的风险，而且还有由于陶瓷材料的脆性而损坏管状段的风险。 
为了补偿金属材料和陶瓷材料之间的不同膨胀系数，已考虑了通过塑性可变形粘合剂使承载部件和管状段粘接起来。除了这种粘合剂不具有足够高的热导性的事实以外，两个连接对象的可靠粘接还需要在这两个连接对象上施加一定的压力。因此，对于具有平面或半圆柱靶段的靶子装置，可考虑承载部件和靶段的粘接。然而，对于具有管状靶段的靶子装置，由于管状段和承载部件的硬度且由于承载部件和管状段的同轴布置，使得引入到承载部件和管状段之间的粘合剂不能在径向上起作用。因此在实践中很难实现承载部件和管状段的粘接。 
发明内容
本发明的基本目的是提供一种最初指定种类的靶子装置，其中承载部件和靶子以一种简单可靠的方式相互连接，同时保证了所述靶子和所述承载部件之间的改善的热传输。 
通过具有权利要求1中的特征的靶子装置能满足本发明的目的，尤其是承载部件与每个管状段通过至少两个塑性可变形补偿装置以材料连续性局部地相互连接。 
由于本发明中承载部件与靶子的单个或多个管状段不是直接相互连接，而是通过塑性可变形补偿装置相互连接，因此在加热时例如在溅射过程中，连接对象即所述承载部件和所述靶子就能根据它们不同的热膨胀系数而膨胀到不同程度，同时不会在靶材中引起可能导致靶子损坏(例如靶材中的裂缝)的应变。因此，承载部件和靶子的不同热膨胀通过塑性可变形补偿装置得到了补偿或平衡。 
同时，利用所述补偿装置与所述靶子并与所述承载部件的材料连续性连接，在靶子和承载部件之间实现了与传输力接合例子相比得到改善的热传输。因而，在溅射过程中被引入到靶子内的热量向承载部件耗散，且通过材料连续性连接进行的耗散可以比传输力连接情况下的耗散好10倍。 
这允许在所谓的重型溅射过程中使用上述靶子装置，即在功率密度增大尤其是电压增大的溅射过程中使用上述靶子装置。此外，由于没有靶子部分能以因不足而导致的过低剩余密度进入溅射设备中的风险，因 而材料连续性连接还能允许将靶子利用率提高至80％。二者的最终结果都使得对应溅射过程在节约方面得以改善。 
文字表述“局部地相互连接”在此被理解为：承载部件和管状段不是在整个区域上相连，而是仅部分地相连。因此，位于管状段和承载部件之间的间隙不会被补偿装置完全填满。所述补偿装置在所述承载部件和所述靶子之间建立局部连接，即它们在连接对象之间形成了彼此隔开的局部限制桥。因此，充分地提高了所述补偿装置的可变形性并能特别有效地补偿所述靶子和所述承载部件的不同热膨胀。 
从各个从属权利要求、说明书和附图中能够了解本发明的优选实施例。 
根据优选实施例，所述补偿装置是不含助熔剂的。因而，所述靶子装置特别适合用于通常存在使诸如助熔剂等挥发性物质发生蒸发的风险的真空设备中。 
特别有利的是，所述补偿装置包括焊料，尤其是软焊料。焊料不仅具有很高的热导率而且也非常易于塑性变形。此外，例如焊料Sn具有约为24·10-6K-1的热膨胀系数，而ZnO具有约为5.3·10-6K-1的热膨胀系数以及不锈钢具有约为16·10-6K-1的热膨胀系数。因此，包含焊料Sn的补偿装置能特别有效地补偿ZnO靶子和不锈钢承载部件的不同热膨胀。此外，可以很容易地处理焊料，从而整体简化靶子装置的制造。 
此外，在相应的供热下能再次液化焊料，因而能将连接对象之间的连接分开并将靶子从承载部件上分离下来。因而能够以简单的方式用未损坏的管状段替代已损坏的管状段。所述靶子和所述承载部件的分离还允许在单次或多次溅射过程中用完靶材之后对所述承载部件进行再利用。 
根据优选实施例，位于所述靶子和所述承载部件之间并彼此隔开的间隙区域中填有焊料。在此情况下，通过局部限制焊料桥形成了补偿装置，这些焊料桥彼此隔开并且使所述靶子和所述承载部件彼此局部地连接。所述焊料桥具有特别好的可变形性，因而甚至能更好地补偿所述靶子和所述承载部件之间的热致应变。 
特别有利的是，焊料被放置在所述靶子和所述承载部件的突起之间。通过所述突起来预设由焊料将连接对象相互连接起来的各区域。 
在轴向或径向上看，所述突起优选彼此间隔开，尤其是基本上分布在靶子的整个长度上。因此，一方面，能特别容易地补偿各连接对象在轴向上的不同热膨胀。另一方面，能在靶子的整个长度上确保靶子和承载部件的热耦合。 
有利的是，所述突起包括基本上在所述承载部件的圆周方向上延伸的网。这种突起可以很容易地制造，例如可通过将伸长的开口或凹槽相应地引入(例如通过碾磨或切割)到承载部件中来制造。 
根据实施例，多个网状突起与承载部件的纵向轴线垂直地延伸。所述突起优选以环状方式在承载部件的整个圆周上延伸。可选地或额外地，网状突起可以以螺旋形式围绕承载部件延伸。例如以螺纹凹槽的方式在所述承载部件中切割出螺旋形开口，由此可形成这种突起。所述环状突起和所述螺旋状突起都允许以简单的方式制造出任何所需长度的靶子装置。 
有利的是，在靶子装置的预装配状态下，由所述突起界定的所述承载部件的开口形成了用于容纳焊料的空间。因而在靶子装置的装配上，不必将焊料直接施用到突起上，而是将其例如以半填料的形式设置在所述开口中。所述开口因此可以说是形成了焊料的贮存部。因而进一步简化了靶子装置的制造。 
在管状段和承载部件之间优选设置有固定装置，从而在预装配状态下相对于所述承载部件将所述靶子固定尤其是定中。甚至在所述靶子和所述承载部件通过焊料以材料连续性相互连接之前，就已通过所述固定装置来确保连接对象相对于彼此的正确位置。这样，一方面便于靶子装置的制造，而另一方面确保靶子在承载部件上的正确位置。 
可选地，当利用靶子和承载部件的不同热膨胀时，不使用固定装置也能相对于承载部件将靶子定中。 
根据另一实施例，所述补偿装置各自包括弹簧部件。因此在这种接合例子中，承载部件和靶子的连接不是通过焊料桥来实现，而是通过与 所述承载部件并与所述靶子进行材料连续性连接的弹簧部件来实现。这种接合例子结合了传输力连接的优点和材料连续性连接的优点。因而，通过弹簧部件的弹性，在所述承载部件和所述靶子的不同膨胀系数之间实现了特别好的补偿，并通过所述弹簧部件与所述承载部件和所述靶子的材料连续性连接，实现了从所述靶子到所述承载部件的特别有效的热耗散。 
有利的是，每个弹簧部件通过焊料尤其是软焊料与承载部件并与管状段进行材料连续性连接。如上所述，焊料具有特别好的热耗散性，因而进一步改善了靶子与承载部件的热耦合。 
可以在承载部件的外侧上设置用于弹簧部件的开口。在预装配状态下通过所述开口已将所述弹簧部件固定在所述承载部件上，尤其是能防止这些弹簧部件相对于所述承载部件的轴向位移。这便于将单个或多个管状段推到所述承载部件上。 
根据又一个实施例，将靶子金属化，尤其在靶子内侧的整个区域上金属化，并且/或者将承载部件金属化，尤其在承载部件外侧的整个区域上金属化。这种金属化确保了连接对象之间的特别可靠的材料连续性连接，尤其是当使用不含助熔剂的软焊料作为补偿装置或者作为用于将弹簧部件与靶子和承载部件连接起来的连接装置时，以及当所述靶子包含诸如ZnO等陶瓷材料时。可以在所述靶子的内侧进行镀覆(例如电镀)，并且可将焊料施用到所述承载部件的外侧。 
在靶子和承载部件的材料连续性连接的形成中，为了防止熔化的焊料渗透到靶子的外侧，可以在两个相邻管状段之间各设置密封材料，尤其是耐热密封材料，例如硅树脂(silicone)材料。 
本发明的又一个目的是提供一种具有权利要求17中的特征的方法。上述优点通过本发明的方法来实现。 
根据本发明方法的实施例，通过焊料尤其是软焊料，优选通过不含助熔剂的软焊料，将所述承载部件和所述管状段相互连接。 
在靶子装置的预装配状态下，焊料优选布置在承载部件上的相互隔开尤其以网状方式形成的突起之间。这代表一种用于将所述焊料施用到 所述承载部件上的特别简单的方法。例如可以将所述焊料插入到在所述突起之间形成的开口中作为半填料。 
必须将焊料液化，使得能够建立所述承载部件和所述靶子之间的材料连续性连接。在这种连接中特别有利的是，让所述靶子和所述承载部件转动，因而液化的焊料在离心力和毛细力的作用下移动到在所述靶子和所述承载部件的突起之间形成的间隙中，从而使所述靶子和所述承载部件相连。 
因此，通过靶子和承载部件的转动，液化的焊料从预装配位置移出而进入最终位置，即从开口中移出并进入在所述突起和所述靶子之间形成的间隙中。只要很多焊料已经移动到所述突起上以致于所述突起和所述靶子之间的间隙完全被焊料填满，就可以结束热输入和靶子装置的转动，因而焊料能够冷却下来并能与所述靶子和所述承载部件的突起进行材料连续性连接。 
由于离心力和毛细力使焊料移动到突起和靶子之间的间隙中，因此自动获得了焊料在靶子与承载部件进行材料连续性连接的区域中的正确位置。这简化了靶子装置的制造并允许任何所需长度的靶子装置的制造。在这种连接下，没必要在靶子装置的整个长度上同时将所述焊料熔化或让它凝固，而是可以使靶子装置移动穿过对应形成的热源，例如连续式炉子，以使焊料液化。 
根据本发明的方法的又一个实施例，每个补偿装置包括通过焊料与承载部件并与管状段连接的弹簧部件。可以通过相应的热输入来同时熔化位于弹簧部件和承载部件之间的焊料以及位于弹簧部件和靶子之间的焊料，从而同时建立所述弹簧部件与承载部件以及与靶子的材料连续性连接。 
可选地或额外地，也可以在将管状段推到承载部件上之前，已经将所述弹簧部件与所述承载部件进行材料连续性连接。以这种方式，所述弹簧部件被固定到所述承载部件上，并且在将管状段推到承载部件上时所述弹簧部件不能在轴向上位移。可选地或额外地，该效果能够这样来实现：在所述承载部件中设置有用于弹簧部件的接收部。 
如同上面已经描述的，为了提高焊料对于靶子和承载部件的粘附力，在施用焊料之前，可将管状段金属化，尤其是在其内侧的整个区域上金属化，并且/或者可将承载部件金属化，尤其是在其外侧的整个区域上金属化。 
本发明的又一个目的是提供了一种空心圆柱靶子的管状段，该管状段包含陶瓷材料和在该管状段内侧的金属镀层，尤其在其内侧的整个区域上的金属镀层。 
上述镀层例如可包括含Ni的层、含Cu的层和含SnPb的层。Ni层对于包含ZnO的陶瓷材料具有特别好的粘附力，而Cu层保护该Ni层从而防止其受到腐蚀并减小SnPb层的孔隙率。视需要也可省略Cu层。SnPb层是提供不含助熔剂的焊料对管状段的最佳粘附力的实际功能层。 
管状段的陶瓷材料可包含ITO(氧化铟锡)。 
附图说明
下面将结合优选实施例和附图的例子来完整地描述本发明。在附图中示出的有： 
图1是在预装配状态下本发明靶子装置的第一实施例的纵截面； 
图2是在焊料液化期间图1中的靶子装置的纵截面； 
图3是在最终装配状态下图1中的靶子装置的纵截面； 
图4是图1中的靶子装置的靶子管状段的横截面；以及 
图5是在最终装配状态下本发明靶子装置的第二实施例的纵截面。 
具体实施方式
图1所示的本发明靶子装置包括含有诸如钛、钢(尤其是不锈钢)或铜等金属材料的管状承载部件10。点划线12代表承载部件10的纵向中心轴线。在承载部件10的外侧设置有焊料层，例如焊锡层。 
此外，在承载部件10的外侧，通过例如碾磨或切割方式向承载部件10内引入多个槽状开口14。在示出的实施例中，开口14具有圆形尤其是近似为半圆的横截面，但开口14通常也可以是不具有圆弧形状的圆形截面，或者甚至可以具有有角的横截面。 
此外，在本实施例中示出的开口14与纵向中心轴线12相交叉地延伸，即沿承载部件10的圆周方向延伸，实际上各自都是沿着承载部件10的整个圆周延伸的。换句话说，以环形凹槽的方式制造开口14。可选地，开口也可以围绕承载部件以螺旋的方式延伸，即以螺纹凹槽的方式延伸。也可以考虑混合形式，其中，从轴向上看，以环形凹槽的形式分段地设置多个开口14或者以螺纹凹槽的方式设置开口。 
如图1所示，各开口14彼此间隔开，因而在每种情况下在两个相邻开口14之间都形成突起16。根据开口14的结构，突起16也在圆周方向上沿承载部件10的整个圆周延伸，即与纵向中心轴线12相交叉地延伸。在以螺纹凹槽的方式设置开口的情况下，突起将会以螺旋的方式围绕承载部件相应地延伸。 
选择相邻开口14之间的间隔，使得突起16各自在它们向外的上侧18处具有平坦的平台区18。平台区18的宽度可以大约等于开口14的一半宽度。 
如图1所示，靶子装置还包括包含至少一个管状段21的空心圆柱靶子20，该管状段是一体形成的并包含靶材，尤其是诸如ZnO等陶瓷材料。 
在每个管状段21的内侧具有金属镀层，例如电镀镀层19(图4)。该镀层依次包括三层，即含Ni的内层19a、含Cu的中间层19b和含SnPb的外层19c，也可省略含Cu的中间层19b。 
每个管状段21至少部分地包围承载部件10。如果靶子20由多个管状段21组成，那么在两个相邻管状段21之间各设有耐热密封材料(图未示)，例如硅树脂材料。 
在突起16的区域中，每个管状段21的内径与承载部件10的外径相匹配，使得在每个突起16的平台区18与管状段21的内侧之间形成间隙22。在靶子装置的非加热状态下，即例如在室温下，间隙22可具有几十分之一毫米范围内的间隙宽度。 
为了承载部件10和靶子20的连接，提供多个塑性可变形补偿装置，这些装置在图1～图3所示的实施例中利用不含助熔剂且包含例如SnIn或SnPb的软焊料24来形成。 
将软焊料24引入开口14中，例如插入开口14中作为半填料，以便进行靶子装置的装配。随后，将单个或多个管状段21推到承载部件10上并置于容纳软焊料24的开口14上。 
如图1所示，在轴向上看，开口14基本上分布在靶子20的整个长度上。在图1所示出的预装配状态下，为了相对于承载部件10来固定靶子20且定位靶子20的中心，将固定装置(图未示)例如弹簧部件设置在位于单个或每个管状段21的轴向端部区域的那些开口14中。 
如图2所示，为了靶子20与承载部件10的材料连续性连接，通过直接热输入26使开口14中的作为半填料而存在的软焊料24液化。对软焊料24的加热例如可在连续式炉子中从外面经过靶子20而发生并且/或者利用可引入至承载部件10内的热源从里面经过承载部件10而发生。 
在软焊料24的熔化过程中，承载部件10和靶子20也被加热。由于这种加热而使承载部件10和靶子20不同程度地膨胀，因而在承载部件10的突起16与单个或多个管状段21之间的间隙22的宽度减小，例如减小至0.05～0.1mm的间隙宽度。 
除了使软焊料24液化外，还将承载部件10和靶子20设置为绕纵向中心轴线12一起转动。选择靶子装置的转动，因此液化的软焊料24由于离心力和毛细力从开口14移动到突起16的平台区18上并收缩在间隙22中。通过相邻管状段21之间的密封材料来防止熔化的焊料24到达靶子20外侧。 
一直保持靶子装置的加热和转动，直到很多焊料24聚集到间隙22中以至于用焊料24将间隙22完全填满为止。于是，焊料24与承载部件10的突起16的平台区18和靶子20都接触，因而在靶子20与承载部件10之间的中间空间形成桥。 
随后优选在继续转动的条件下结束供热26，因此靶子装置能够冷却下来。由于这种冷却而使软焊料24凝固，同时将靶子20与承载部件10材料连续性地连接起来。 
靶子20和承载部件10的不同热膨胀的结果是，当靶子装置冷却时，靶子20与承载部件10之间的间隔再次变大。如图3所示，在形成焊料 桥或焊点28的同时，位于间隙22中的软焊料24被拉开。利用焊点28的塑性可变形性，避免了由于连接对象10，20的不同热膨胀而可能在冷却期间出现在靶子20中且可能导致靶子20受到损坏的应变。 
结果，通过软焊料24的塑性可变形焊点28，使靶子装置的靶子20与承载部件10进行材料连续性连接。一方面，由此实现了靶子20与承载部件10的极好热耦合，另一方面，实现了靶子20与承载部件10的可靠机械固定，同时没有由于连接对象的不同热膨胀可能导致的应变而损坏靶子20的风险。 
在如图5所示的第二实施例中，由一个或多个管状段21形成的靶子20与承载部件10不是通过焊点24彼此相连。代替地是，通过设置在承载部件10与单个或多个管状段21之间的弹簧部件30来补偿在靶子装置升温时(例如在溅射过程中)承载部件10和靶子20的不同膨胀程度。弹簧部件30形成本实施例中的补偿装置，其中，弹簧部件30在加热靶子装置时被压缩而在冷却靶子装置时再伸展。 
为保证从靶子20经过弹簧部件30到承载部件10的极好热传输，将弹簧部件30与单个或多个管状段21以及与承载部件10进行材料连续性连接。 
将软焊料设为连接装置并引入弹簧部件30与单个或多个管状段21之间以及弹簧部件30与承载部件10之间。通过相应的熔化和冷却过程，在弹簧部件30与承载部件10或与靶子20之间每种情况下都建立材料连续性连接。 
与上述第一实施例一样，在第二实施例中(图4)每个管状段21的内侧也设有包括Ni层19a、视需要而用的Cu层19b和SnPb层19c的金属镀层19，从而改善软焊料与靶子20的材料连续性连接。相应地，在承载部件10的外侧设置有焊料层，例如焊锡层。 
在将弹簧部件30固定在靶子20上的同时，也可将弹簧部件30固定在承载部件10上。 
可选地或额外地，也可在将单个或多个管状段21推到承载部件10上之前使弹簧部件30与承载部件10进行材料连续性连接。以这种方式， 在装配靶子20时弹簧部件30经固定在承载部件10上，并确保能防止因单个或多个管状段21而导致的轴向位移。可选地或额外地，为此目的，弹簧部件30也可被支撑在承载部件10的开口(图未示)中。 
附图标记说明 
10：承载部件 
12：纵向中心轴线 
14：开口 
16：突起 
18：平台区 
19：镀层 
20：靶子 
22：间隙 
24：软焊料 
26：热输入 
28：焊点 
30：弹簧部件 

Claims (37)

1.一种靶子装置，其包含管状承载部件(10)和具有至少一种靶材的空心圆柱靶子(20)，所述空心圆柱靶子(20)包括至少一个一体形成且至少部分地包围所述承载部件(10)的管状段(21)，所述承载部件(10)与所述管状段(21)通过至少两个塑性可变形补偿装置(24，30)以材料连续性局部地相互连接，其特征在于，位于所述靶子(20)与所述承载部件(10)之间的中间空间的相互隔开的区域(22)中填有焊料(24)。
2.根据权利要求1所述的靶子装置，其特征在于，所述焊料是软焊料。
3.根据权利要求1所述的靶子装置，其特征在于，所述焊料(24)被放置在所述靶子(20)与所述承载部件(10)的突起(16)之间。
4.根据权利要求3所述的靶子装置，其特征在于，在轴向或径向上看，所述突起(16)是相互隔开的，基本上分布在所述靶子(20)的整个长度上。
5.根据权利要求3所述的靶子装置，其特征在于，所述突起(16)包含基本上在所述承载部件(10)的圆周方向上延伸的网。
6.根据权利要求3所述的靶子装置，其特征在于，多个网状突起(16)垂直于所述承载部件(10)的纵向轴线(12)而延伸；并且/或者，单个网状突起绕所述承载部件(10)以螺旋的方式延伸。
7.根据权利要求3所述的靶子装置，其特征在于，在所述靶子装置的预装配状态下，由所述突起(16)界定的所述承载部件(10)的开口(14)形成了容纳所述焊料(24)的空间。
8.根据权利要求1所述的靶子装置，其特征在于，在所述管状段(21)与所述承载部件(10)之间设置有固定装置，从而在预装配状态下相对于所述承载部件(10)将所述靶子(20)固定。
9.根据权利要求8所述的靶子装置，其特征在于，所述固定装置在预装配状态下，相对于所述承载部件(10)将所述靶子(20)定中。
10.根据权利要求1所述的靶子装置，其特征在于，将所述管状段(21)金属化，并且/或者将所述承载部件(10)金属化。
11.根据权利要求10所述的靶子装置，其特征在于，将所述管状段(21)进行焊料镀覆。
12.根据权利要求10所述的靶子装置，其特征在于，将所述管状段(21)在其内侧的整个区域上金属化。
13.根据权利要求10所述的靶子装置，其特征在于，将所述承载部件(10)进行焊料镀覆。
14.根据权利要求10所述的靶子装置，其特征在于，将所述承载部件(10)在其外侧的整个区域上金属化。
15.根据权利要求1所述的靶子装置，其特征在于，所述补偿装置(24，30)被设置在所述管状段(21)与所述承载部件(10)之间的沿轴向相互隔开的区域(22)中。
16.根据权利要求1所述的靶子装置，其特征在于，所述补偿装置(24，30)不含助熔剂。
17.根据权利要求1所述的靶子装置，其特征在于，在两个相邻管状段(21)之间各设有密封材料。
18.根据权利要求17所述的靶子装置，其特征在于，所述密封材料为耐热密封材料。
19.根据权利要求18所述的靶子装置，其特征在于，所述耐热密封材料为硅树脂材料。
20.一种用于制造靶子装置的方法，所述靶子装置包含管状承载部件(10)和具有至少一种靶材的空心圆柱靶子(20)，所述空心圆柱靶子(20)包括至少一个一体形成且至少部分地包围所述承载部件(10)的管状段(21)，在所述方法中，通过至少两个塑性可变形补偿装置(24，30)使所述承载部件(10)和所述管状段(21)以材料连续性局部地相互连接，其特征在于，将焊料(24)填在位于所述靶子(20)与所述承载部件(10)之间的中间空间的相互隔开的区域(22)中。
21.根据权利要求20所述的方法，其特征在于，通过焊料(24)使所述承载部件(10)和每个所述管状段(21)相互连接。
22.根据权利要求21所述的方法，其特征在于，所述焊料(24)是软焊料。
23.根据权利要求22所述的方法，其特征在于，所述软焊料为不含助熔剂的软焊料。
24.根据权利要求21所述的方法，其特征在于，在所述靶子装置的预装配状态下，将所述焊料(24)放置在所述承载部件(10)上的彼此隔开的突起(16)之间。
25.根据权利要求24所述的方法，其特征在于，所述突起(16)以网状方式形成。
26.根据权利要21所述的方法，其特征在于，通过直接热输入(26)将所述焊料(24)液化，并转动所述靶子(20)和所述承载部件(10)，使液化的焊料(24)在离心力和毛细力的作用下移动到在所述靶子(20)与所述承载部件(10)的突起(16)之间形成的间隙(22)中，从而连接所述靶子(20)和所述承载部件(10)。
27.根据权利要求20所述的方法，其特征在于，在施用所述焊料之前，将所述管状段(21)金属化，并且/或者将所述承载部件(10)金属化。
28.根据权利要求27所述的方法，其特征在于，在施用所述焊料之前，将所述管状段(21)进行焊料镀覆。
29.根据权利要求27所述的方法，其特征在于，在施用所述焊料之前，将所述管状段(21)在其内侧的整个区域上金属化。
30.根据权利要求27所述的方法，其特征在于，在施用所述焊料之前，将所述承载部件(10)进行焊料镀覆。
31.根据权利要求27所述的方法，其特征在于，在施用所述焊料之前，将所述承载部件(10)在其外侧的整个区域上金属化。
32.一种空心圆柱靶子(20)的管状段(21)，其包含陶瓷材料和在所述管状段(21)内侧的金属镀层(19)，其特征在于，所述镀层(19)依次包括由不同金属材料形成的至少两层(19a，19c)，其中外层(19c)含有SnPb。
33.根据权利要求32所述的管状段(21)，其特征在于，所述金属镀层包括在所述管状段(21)内侧的整个区域上的金属镀层。
34.根据权利要求32或33所述的管状段(21)，其特征在于，所述镀层(19)依次包括由不同金属材料形成的三层(19a，19b，19c)。
35.根据权利要求32或33所述的管状段(21)，其特征在于，所述镀层(19)包括含Ni的内层(19a)。
36.根据权利要求32或33所述的管状段(21)，其特征在于，所述镀层(19)包括含Ni的内层(19a)、含Cu的中间层(19b)和含SnPb的外层(19c)。
37.根据权利要求32或33所述的管状段(21)，其特征在于，所述陶瓷材料包含ZnO和/或ITO。
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