CN101381085A - LaB6多晶块体阴极材料的快速制备方法 - Google Patents
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Abstract
LaB6多晶块体阴极材料的快速制备方法属于稀土硼化物热阴极材料技术领域。现有LaB6阴极材料的制备技术存在烧结温度高、时间长、工艺复杂等问题。本发明将LaB6粉末置于模具中压实后放入SPS烧结炉内,施加30-50MPa压力,采用高纯氩气气氛或真空度高于5Pa的真空,以90-200℃/min的升温速度升温,烧结温度为1400-1700℃,保温时间为5-20min,随炉冷却,即可得到LaB6多晶块体。本发明方法在降低烧结温度、缩短烧结时间,简化工艺流程的同时,大幅提高了LaB6阴极的力学性能和发射性能。
Description
技术领域
本发明属于稀土硼化物阴极材料技术领域,具体涉及一种利用放电等离子烧结(SPS)快速制备LaB6多晶块体阴极材料的方法。
背景技术
LaB6是稀土六硼化物阴极中性能最佳的阴极之一,它具有逸出功低、熔点高、硬度大、热稳定性和化学稳定性高等作为阴极材料的理想特性。此外,与其他热阴极相比,LaB6还有发射电流密度大、耐离子轰击、抗中毒性好、使用寿命长等很多优点,现在已成功应用于等离子体源、扫描电镜、透射电镜、电子束曝光机、电子束焊机、俄歇能谱仪及电子探针等多种设备中,具有广阔的应用前景。
目前,通常采用热压或冷压烧结法制备LaB6多晶块体,而上述方法均存在烧结温度高(2000-2300℃)、烧结时间长(2-10h),且制备的产品不够致密(相对密度低于90%),导致产品的力学性能和发射性能不佳,限制了其应用范围。中国专利ZL200610012297.9中提供了一种原位合成高纯纳米晶LaB6块体的制备方法,该方法分两步,先采用氢电弧蒸发冷凝法制备纳米氢化镧粉末,再将氢化镧粉末与B粉末混合后,采用SPS反应烧结,在烧结温度为1150-1400℃,压力为30-50MPa,保温时间2-10min的条件下制备LaB6阴极材料,但该方法纳米粉末制备过程复杂,且产量低,成本高,不利于大规模工业生产和应用。
发明内容
本发明的目的在于解决现有技术中的问题,而提供一种LaB6多晶块体阴极材料的快速制备方法。本发明所提供的方法能降低烧结温度、缩短烧结时间、提高阴极的力学和发射性能,并且能缩短流程,降低成本,有利于大规模工业生产和应用。
本发明所提供的一种LaB6多晶块体阴极材料的快速制备方法,包括以下步骤:将LaB6粉末装入石墨模具中,加压压实后,放入SPS烧结炉中烧结,烧结工艺为:轴向压力30-50MPa,气氛为高纯氩气(纯度99.999%)或真空度高于5Pa的真空,以90-200℃/min的升温速度升温,烧结温度为1400-1700℃,保温时间为5-20min,随炉冷至室温,得到LaB6多晶块体阴极材料。
其中,LaB6粉末可通过碳化硼还原法或其它方法制得。
与现有技术相比较,本发明具有以下有益效果:
本发明采用SPS方法直接烧结LaB6粉末制备得到LaB6块体阴极,与传统的烧结相比,SPS制备法烧结温度低(1400-1700℃),烧结时间短(5-20min),不仅工艺简单,而且可获得致密度高、性能好的阴极材料。采用本方法制备的LaB6烧结块体晶粒均匀,力学及发射性能均有大幅提高,样品相对密度达到96.2%,维氏硬度达到1720kg/mm2,抗弯强度达到203.2MPa。样品在1520℃温度下发射电流密度达到16.98A/cm2,功函数为2.40eV。与专利ZL200610012297.9相比,本发明缩短了流程,克服了纳米粉末制备产量低,成本高的缺点,从而能实现大规模工业生产,使LaB6多晶阴极有更广阔的应用前景。
附图说明
图1、实施例1制备的LaB6烧结块体样品的X射线谱图。
图2、实施例1制备的LaB6烧结块体样品的SEM断口形貌照片。
以下结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明,但本发明的保护范围不限于下述实施例。
具体实施方式
实施例1
将LaB6粉末装入石墨模具中,加压压实后,放入SPS烧结炉中进行烧结,烧结工艺为:轴向压力30MPa,气氛为高纯氩气(纯度99.999%),以90℃/min的升温速度升温,烧结温度为1400℃,保温时间为20min,随炉冷至室温,得到LaB6多晶块体。
从图1可看出,烧结块体结晶良好,为LaB6单相结构。从图2可看出,LaB6晶粒均匀,样品的断裂方式为穿晶断裂,有助于增加样品的抗弯强度。样品相对密度达到90.5%,维氏硬度达到1548kg/mm2,抗弯强度达到167.4MPa。样品在1520℃温度下发射电流密度达到16.40A/cm2,功函数为2.40eV。
实施例2
将LaB6粉末装入石墨模具中,加压压实后,放入SPS烧结炉中进行烧结,烧结工艺为:轴向压力40MPa,气氛为高纯氩气(纯度99.999%),以150℃/min的升温速度升温,烧结温度为1500℃,保温时间为10min,随炉冷至室温,得到LaB6多晶块体。
LaB6多晶块体经X射线衍射分析为LaB6单相结构。样品相对密度达到92.6%,维氏硬度达到1580kg/mm2,抗弯强度达到195.6MPa。样品在1520℃温度下发射电流密度达到16.63A/cm2,功函数为2.40eV。
实施例3
将LaB6粉末装入石墨模具中,加压压实后,放入SPS烧结炉中进行烧结,烧结工艺为:轴向压力50MPa,抽真空至5Pa,以200℃/min的升温速度升温,烧结温度为1700℃,保温时间为5min,随炉冷至室温,得到LaB6多晶块体。
LaB6多晶块体经X射线衍射分析为LaB6单相结构。样品相对密度达到96.5%,维氏硬度达到1720kg/mm2,抗弯强度达到203.2MPa。样品在1520℃温度下发射电流密度达到16.98A/cm2,功函数为2.40eV。
Claims (1)
1、一种LaB6多晶块体阴极材料的快速制备方法,其特征在于,包括以下步骤:将LaB6粉末装入石墨模具中,加压压实后,放入SPS烧结炉中进行烧结,烧结工艺为:轴向压力30-50MPa,气氛为99.999%的高纯氩气或真空度高于5Pa的真空,以90-200℃/min的升温速度升温,烧结温度为1400-1700℃,保温时间为5-20min,随炉冷至室温,得到LaB6多晶块体阴极材料。
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