CN101334665A - 群管理系统、半导体制造装置以及信息处理方法 - Google Patents

Abstract

提供一种群管理系统、半导体制造装置以及信息处理方法。在现有的群管理系统等中，存在不能在短时间内正确地进行能源检查的问题。群管理系统具备：一个以上半导体制造装置、以及与该一个以上半导体制造装置连接的服务器装置，半导体制造装置具备：能源信息获取部，其获取能源信息，该能源信息是表示在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；以及发送部，其将能源信息获取部获取的能源信息发送到上述服务器，服务器装置具备：接收部，其接收从半导体制造装置发送的能源信息；服务器侧判断部，其判断接收部接收的能源信息所表示的能源值是否是规定值；以及服务器侧输出部，其进行与服务器侧判断部的判断结果相应的输出。

Description

群管理系统、半导体制造装置以及信息处理方法

技术领域

本发明涉及一种在半导体制造工艺中使用的群管理系统等。

背景技术

在半导体制造工艺中，使用着电、水、气等各种能源(utility)。在半导体制造装置的运用现场例如工厂等中，需要定期检查提供给装置的能源是否处于适合半导体制造装置运用的状态。通常，分别通过传感器等测量器来测量这些能源的状态，在检查时，工厂、半导体制造装置的管理者等定期地、例如每日定时读取它们的测量结果所表示的值，通过判断该值是否在正常范围来监视能源的异常。

此外，作为现有的半导体制造装置的群管理系统，已知有接收从测量器发送来的各种数据来进行数据加工的系统(例如参照专利文献1)。

另外，以往已知检测半导体制造装置异常的结构等(例如参照专利文献2)。

另外，作为构成现有的群管理系统的制造装置，有所谓批量式纵型热处理装置(例如参照专利文献3以及专利文献4)。

另外，作为现有的半导体制造工艺的管理装置，公开了在检测出故障的情况下向工具所有者发送电子邮件的结构等(例如参照专利文献5)。

专利文献1：日本特开平11-354395号公报(第1页，第1图等)

专利文献2：日本特开2006-216920号公报(第1页，第1图等)

专利文献3：日本特许3543996号公报(第1页，第1图等)

专利文献4：日本特开2002-25997号公报(第1页，第1图等)

专利文献5：日本特表2006-501680号公报(第1页，第1图等)

发明内容

发明要解决的问题

目前，检查者通过目视确认测量能源状态的传感器示出的值，记录到检查表等中，并进行报告的制作。然而，存在如下问题：半导体装置的制造通常多是通过批量处理来进行，在进行半导体装置制造的工厂等中，为了进行大量生产，常常设置数百台左右的相同的半导体制造装置。每天对这么多半导体制造装置分别提供能源检查非常费时间，并且也容易产生测量值等的记录错误。

例如，当在检查中耗费时间时，导致对每个半导体制造装置进行能源检查的定时大不相同，因此不能说在大致相同的定时进行了全部的能源检查，例如即使在半导体制造装置之间、在能源值中产生了分散，也无法判断该分散是由能源异常还是由定时偏差造成，谈不上进行正确的检查。

另外，在工厂中并列多台相同的半导体制造装置，因此随着检查方法等的不同，检查者无法知晓检查中到底检查了用于哪个装置的能源等、或错误地读取记录检查结果，导致无法得到正确的记录。

并且，根据提供给半导体制造装置的能源的不同，存在应该在半导体制造装置工作时测量的能源、以及应该在半导体制造装置非工作时、即空转时测量的能源。例如，关于作为能源之一的提供给各半导体制造装置的电压等，在半导体工艺上重要的是在半导体制造装置工作时电压的值处于正常范围，在半导体制造装置处于空转时的状态的情况下，有时即使电压的值不在正常范围也可以判断为没有问题。相反，例如对于真空排气压等，存在如下情况：当空转时的压力异常上升时，空气从真空排气管逆流到半导体制造装置，因此半导体制造装置内有可能被粉尘等污染，因此最好是测量空转时的值。然而，以往不考虑各半导体制造装置是工作状态还是非工作状态等的状态而仅仅定期进行检查，因此存在以下问题：存在并没充分进行正常运用半导体制造装置所需的检查的情况。

用于解决问题的方案

本发明的群管理系统具备一个以上对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的半导体制造装置、以及与该一个以上半导体制造装置连接的服务器装置，其特征在于，上述半导体制造装置具备：能源信息获取部，其获取能源信息，该能源信息是关于在半导体制造工艺中使用的表示一个以上能源的值的信息；以及发送部，其将上述能源信息获取部所获取的能源信息发送到上述服务器装置，上述服务器装置具备：接收部，其接收从上述半导体制造装置发送的能源信息；服务器侧判断部，其判断上述接收部接收到的能源信息所表示的能源值是否是规定的值；以及服务器侧输出部，其进行与上述服务器侧判断部的判断结果相应的输出。

通过这种结构，用户不需要通过目视等来回检查各能源，能够在短时间内正确地检查在半导体制造装置中所利用的能源中是否产生了异常等。另外，能够在预先设定的时间大致同时对被多个半导体制造装置利用的多个能源进行检查。另外，通过使能源检查自动化，能够避免能源测量值等的漏记、错记等。

另外，本发明的群管理系统在上述群管理系统中，上述能源信息获取部判断自装置的状态，根据自装置的状态获取上述各能源信息。

通过这种结构，能够确实进行对各能源而言在恰当的状态下的检查，能够进行正确的检查。另外，根据半导体制造装置的状态来获取能源信息，由此能够等待能源数据收集直到半导体制造装置成为规定状态。

另外，本发明的群管理系统在上述群管理系统中，上述能源信息获取部在预先指定的定时、自装置的状态处于规定状态的情况下获取上述能源信息。

通过这种结构，能够在对各能源而言恰当的状态下确实地进行指定了时刻等定时的检查、例如定期检查等，能够进行正确的检查。

另外，本发明的群管理系统在上述群管理系统中，上述能源信息获取部在自装置处于对各能源信息中的每一个各能源信息指定的状态的情况下获取该各能源信息。

通过这种结构，半导体制造装置能够仅向服务器装置发送检查所需的数据，而能够减少不需要的数据发送。

另外，本发明的群管理系统在上述群管理系统中，上述半导体制造装置还具备状态信息获取部，该状态信息获取部获取作为表示自装置状态的信息的状态信息，上述发送部将上述能源信息获取部获取的能源信息、以及上述状态信息获取部所获取的状态信息发送到上述服务器装置，上述接收部接收从上述半导体制造装置发送的能源信息和状态信息，上述服务器装置还具备服务器侧获取部，该服务器侧获取部根据上述接收部接收的状态信息获取上述接收部接收的能源信息，上述服务器装置的服务器侧判断部判断上述接收部接收的能源信息中的上述服务器侧获取部获取的能源信息所表示的能源值是否是规定值。

通过这种结构，服务器装置能够仅判断并获取检查所需的数据，不需要选择各半导体制造装置进行检查所需数据的处理，从而能够减轻各半导体制造装置进行的处理。另外，能够省略用于选择这种数据的结构。

另外，本发明的群管理系统在上述群管理系统中，上述服务器侧获取部获取能源信息，该能源信息是各半导体制造装置在预先指定的定时获取的能源信息，与表示各半导体制造装置处于规定状态的状态信息对应。

通过这种结构，能够在对各能源而言恰当的状态下确实地进行指定了时刻等定时的检查、例如定期检查等，能够进行正确的检查。另外，根据半导体制造装置的状态来获取能源信息，由此能够等待能源数据收集直到半导体制造装置成为规定状态。

另外，本发明的群管理系统在上述群管理系统中，上述服务器侧获取部在各半导体制造装置所发送的状态信息表示是对各能源信息中的每一个能源信息指定的状态的情况下，获取与该状态信息对应的各能源信息。

通过这种结构，能够对每个能源信息获取恰当的能源信息，能够进行正确的检查。

另外，本发明的半导体制造装置对被处理基板执行规定的半导体制造工艺，其特征在于，具备：能源信息获取部，其获取能源信息，该能源信息是表示关于在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；判断部，其判断上述能源信息获取部获取的能源信息所表示的能源值是否是规定值；以及输出部，其进行与上述判断部的判断结果相应的输出。

通过这种结构，用户不通过目视等来回检查各能源就能够在短时间内正确地检查在被半导体制造装置利用的能源中是否产生了异常等。另外，能够在预先设定的时间大致同时检查被多个半导体制造装置利用的多个能源。另外，通过使能源检查自动化，能够避免能源测量值等的漏记、错记等。

另外，本发明的半导体制造装置在上述半导体制造装置中，上述能源信息获取部判断自装置的状态，根据自装置的状态来获取上述各能源信息。

通过这种结构，能够确实地进行对于各能源而言恰当的状态下的检查，能够进行正确的检查。另外，根据半导体制造装置的状态来获取能源信息，由此能够等待能源数据收集直到半导体制造装置成为规定状态。

另外，本发明的半导体制造装置在上述半导体制造装置中，上述能源信息获取部在预先指定的定时、自装置的状态处于规定状态的情况下获取能源信息。

通过这种结构，能够在对各能源而言恰当的状态下确实地进行指定了时刻等定时的检查、例如定期检查等，能够进行正确的检查。

另外，本发明的半导体制造装置在上述半导体制造装置中，上述能源信息获取部在自装置处于对各能源信息中的每一个能源信息指定的状态的情况下获取该各能源信息。

通过这种结构，能够对每个能源信息获取恰当的能源信息，能够进行正确的检查。

本发明的信息处理方法在对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的半导体制造装置中被执行，其特征在于，具备：能源信息获取步骤，获取能源信息，该能源信息是表示关于在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；以及发送步骤，将在上述能源信息获取步骤中获取的能源信息发送到服务器装置。

本发明的信息处理方法在与对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的一个以上半导体制造装置连接的服务器装置中被执行，其特征在于，具备：接收步骤，接收从上述一个以上半导体制造装置发送的能源信息；服务器侧判断步骤，判断在上述接收步骤中接收到的能源信息所表示的能源值是否是规定值；以及服务器侧输出步骤，进行与通过上述服务器侧判断步骤得到的判断结果相应的输出。

本发明的信息处理方法在对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的半导体制造装置中被执行，其特征在于，具备：能源信息获取步骤，获取能源信息，该能源信息是表示关于在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；判断步骤，判断在上述能源信息获取步骤中获取的能源信息所表示的能源值是否是规定值；以及输出步骤，进行与上述判断步骤的判断结果相应的输出。

本发明的程序使计算机执行对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的半导体制造装置所进行的处理，其特征在于，使计算机执行以下步骤：用力信息获取步骤，获取用力信息，该用力信息是表示关于在半导体制造工艺中使用的一个以上用力的值的信息；以及发送步骤，将在上述用力信息获取步骤中获取的用力信息发送到服务器装置。

本发明的程序使计算机执行与对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的一个以上半导体制造装置连接的服务器装置所进行的处理，其特征在于，使计算机执行以下步骤：接收步骤，接收从上述一个以上半导体制造装置发送的用力信息；服务器侧判断步骤，判断在上述接收步骤中接收的用力信息所表示的用力值是否是规定值；以及服务器侧输出步骤，进行与通过上述服务器侧判断步骤得到的判断结果相应的输出。

本发明的程序使计算机执行对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的半导体制造装置所进行的处理，其特征在于，使计算机执行以下步骤：用力信息获取步骤，获取用力信息，该用力信息是表示关于在半导体制造工艺中使用的一个以上用力的值的信息；判断步骤，判断在上述用力信息获取步骤中获取的用力信息所表示的用力值是否是规定值；以及输出步骤，其进行与上述判断步骤的判断结果相应的输出。

发明的效果

根据本发明的半导体制造装置，能够在短时间内正确地进行能源检查。

附图说明

图1是本实施方式中的群管理系统的概念图。

图2是表示该群管理系统的主半导体制造装置11的一例的图。

图3是该群管理系统的框图。

图4是说明该群管理系统的半导体制造装置的动作的流程图。

图5是说明该群管理系统的服务器装置的动作的流程图。

图6是表示该群管理系统的能源管理表的图。

图7是表示该群管理系统的获取定时状态管理表的图。

图8是表示该群管理系统的正常范围管理表的图。

图9是表示该群管理系统的判断结果管理表的图。

图10是表示该群管理系统的客户装置13中的显示例的图。

图11是该群管理系统的变形例的框图。

图12是实施方式2中的群管理系统的框图。

图13是说明该群管理系统的半导体制造装置的动作的流程图。

图14是说明该群管理系统的服务器装置的动作的流程图。

图15是表示该群管理系统的半导体制造装置所发送的信息的示意图。

图16是表示该群管理系统的服务器侧获取定时状态管理表的图。

附图标记说明：

13：客户装置；11、21：半导体制造装置；12、22：服务器装置；112、212：能源信息获取部；111：传感器；113、213：发送部；121、221：接收部；122、222：服务器侧判断部；123：服务器侧输出部；124：判断部；125：输出部；131：客户侧接收部；132：客户侧输出部；214：状态信息获取部；224：服务器侧获取部。

具体实施方式

下面参照附图说明半导体制造装置等的实施方式。此外，在实施方式中附加有相同附图标记的结构要素进行相同的动作，因此存在省略再次说明的情况。

(实施方式1)

图1是本实施方式中的群管理系统的概念图。群管理系统，例如是管理半导体制造装置、液晶面板制造装置等制造装置的系统。另外，群管理系统具有一个以上的半导体制造装置11(从半导体制造装置11a到半导体制造装置11n(其中n表示任意数))、服务器装置12、以及一个以上的客户装置13(从客户装置13a到客户装置13m(其中m表示任意数))。

一个以上的半导体制造装置11和服务器装置12、以及一个以上的客户装置13和服务器装置12，分别通过通信线路等连接，能够进行信息的发送接收。各装置，例如可以由因特网、无线、有线LAN等网络进行连接，也可以通过蓝牙(注册商标)等近距离无线通信进行连接。另外，也可以通过如USB、IEEE 1394这种总线等进行连接。其中，各装置间的连接方法不论。另外，发送接收信息的单元可以是通信单元，也可以是广播单元等。

半导体制造装置11是对被处理基板、例如半导体晶片等进行规定的半导体制造工艺的装置。半导体制造装置11对被处理基板进行例如成膜处理、蚀刻处理、热氧化处理等各种处理。半导体制造装置11例如是上述专利文献2、或者专利文献3等中的批量式纵型热处理装置。在图2中表示主半导体制造装置11的例子。主半导体制造装置11是如下装置：作为装料室形成为能够对其它室密闭，作为惰性环境形成为能够提供N2气体/抽真空地形成的所谓加载互锁室结构。半导体制造装置11的主要部分由如下单元构成：工艺管道(process tube)a，其是对作为被处理体的晶片W实施规定处理的处理室；加载互锁(load lock)室h，其作为装料室具备对该工艺管道a插拨晶片入口(wafer port)f的移动机构g，该晶片入口f作为保持体收纳有多张例如100张晶片W；搬出搬入室ab，其对该加载互锁室h搬出搬入晶片W；盒收容容器用入口ac，其形成在该搬出搬入室ab中；取入单元ae，其将载置在该入口ac上的盒收容容器ad取入到搬出搬入室ab内；容器保管平台(stage)af，其临时保管取入的盒收容容器ad；盒取出平台ag，其取出收容在盒收容容器ad内的盒C；容器移载单元ah，其在搬出搬入室ab内进行盒收容容器ad的传递；以及保持体收容室ai，其收容配置在加载互锁室h和搬出搬入室ab之间的晶片入口f。此外，关于图2的半导体制造装置11的例子中的其它部位、以及动作，是公知技术(参照专利文献3)，因此省略详细说明。另外，作为构成半导体制造装置11的容器，优选为专利文献4的图1中的容器。此外，在本实施方式中，不问可知一个以上的制造装置的结构，半导体制造装置11a到半导体制造装置11n可以是进行不同处理的制造装置，也可以包含进行相同处理的制造装置。

另外，半导体制造装置11例如保存有作为对晶片的规定工艺有关的信息的配方(レシビ)，使用该配方进行控制。

半导体制造装置11也可以具有用于对半导体制造装置内的测量信息进行处理来检测异常、或将半导体制造装置内的测量信息等发送给服务器装置12的结构。此外，关于半导体制造装置11用于执行半导体制造工艺的结构、用于处理半导体制造装置11内的测量信息来检测异常、或将半导体制造装置11内的测量信息等发送给服务器装置12的结构等，在此省略说明。

服务器装置12是用于管理多个半导体制造装置11的群的、构成所谓群管理系统的服务器装置。服务器装置12能够接收并保存从一个以上半导体制造装置11发送的各种测量信息等信息，具有对该测量信息进行异常检测的功能。服务器装置12也可以具有存储、或处理从半导体制造装置11发送的半导体制造装置11内的测量信息来检测异常的结构。此外，关于服务器装置12用于处理半导体制造装置11内的测量信息来检测异常的结构等，在此省略说明。

另外，客户装置13是用于接收从服务器装置12发送的异常检测等处理结果、并进行与处理结果相应的输出的信息处理装置。

图3是本实施方式中的群管理系统的框图。此外，在此为了说明的便利，以一个半导体制造装置11以及一个客户装置13的情况为例表示，但是也可以是多个半导体制造装置11以及多个客户装置13。

半导体制造装置11，具备一个以上的传感器111、能源信息获取部112、发送部113。

传感器111分别检测在半导体制造工艺中使用的一个以上的能源。传感器111是检测温度、压力、流量、电压、电流等物理量、它们的变化量的元件、装置。各传感器111将表示检测出的检测量等的信息输出到能源信息获取部112。传感器111也可以具有将这些检测量变换为恰当的信息例如表示检测值的信息并输出的结构。传感器111的输出可以是模拟信号，也可以是数字信号。所谓能源，是指在半导体制造工艺中所需的半导体制造装置11利用的电力、气、水等。在此，认为用于排气的排气压、用于真空吸引的吸引压等也是能源。通常，各传感器检测各半导体制造装置11所分别利用的能源，将检测量等发送到使用能源的各半导体制造装置11。一个以上传感器可以是测量对象不同的、结构不同的传感器，也可以是包含相同结构的传感器。通常，从传感器111以固定或者不定期的规定定时，重复检测变化量，但是也可以根据能源信息获取部112等输出的检测变化量的指示来检测变化量。此外，传感器111的结构，作为功率计、流量计、压力计等是公知的，因此在此省略说明。

能源信息获取部112获取表示关于在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息即能源信息。具体地说，能源信息获取部112获取表示关于各传感器111检测的能源的值的信息即能源信息。能源信息获取部112例如接受表示各传感器111输出的检测量的信息，将该检测量变换为表示能源值的信息从而得到能源信息。另外，在各传感器111输出表示检测值的信息的情况下，也可以将该检测值直接作为能源信息来获取。另外，能源信息也可以包含用于表示能源信息是哪个能源的值的识别信息。能源信息获取部112可以从各传感器111直接获取表示各传感器111所获取的变化量的信息等，也可以读出将表示各传感器111输出的变化量的信息临时存储在存储器等中的信息。能源信息获取部112响应于预先指定的规定的定时、规定的触发从传感器111获取能源信息。其中，不管能源信息获取部112从传感器111获取能源信息的定时、触发等。优选为能源信息获取部112判断作为自装置的半导体制造装置11的状态，根据自装置的状态获取各能源信息。具体地说，自装置的状态是指自装置处于工作状态、空转状态的状态、还是自装置进行预先指定的规定处理的状态等。根据自装置的状态，可以是指在自装置状态变成指定状态的情况下，进行或者不进行能源信息的获取，也可以指在自装置的状态没有变成指定状态的情况下，进行或者不进行能源信息的获取。特别是，优选为能源信息获取部112在预先指定的定时、自装置的状态是预先指定的规定状态的情况下，获取能源信息。这里的定时，是指包含规定的时间点(时刻)例如上午6点19分、规定的期间例如从上午10点到上午11点为止的期间、规定的时期例如上午10点以后的时期等的概念。该定时可以在工厂出厂时等指定，也可以是用户指定。当举出具体例时，在设定为能源信息获取部112在作为预先指定的定时的上午6点以后的时期、自装置工作的最初时刻获取能源信息的情况下，在到了上午6点时、自装置是工作状态的情况下，在该时刻获取能源信息。另外，如果到了上午6点时自装置不是工作状态，则在自装置变成工作状态的最初时刻获取能源信息。另外，能源信息获取部112在对各能源信息中的每一个能源信息单独指定获取能源信息时的自装置状态的情况下，在自装置是对各能源信息中的每一个能源信息所指定的状态的情况下获取该各能源信息。另外，定时等也可以单独指定。可以使用半导体制造装置11具有的未图示的时钟等输出的时刻的信息等来检测上述定时。此外，也可以将用户等操作输入设备等的时刻、例如按下按钮的时刻等判断为所指定的定时。能源信息获取部112怎样检测自装置状态都可以。例如，可以在自装置的未图示的控制部等输出表示状态的信息、例如表示是执行配方等的工作状态的信息的情况下，判断是工作状态还是非工作状态(空转状态)，也可以判断有没有从自装置输出已知是工作状态下输出的信息等，来判断是工作状态还是非工作状态。另外，能源信息获取部112也可以通过参照管理自装置所执行的任务的任务管理表等(未图示)来判断自装置的状态。能源信息获取部怎样识别一个以上传感器111都可以。例如，可以将一个以上的输入端口和传感器111对应，将表示从各输入端口输入的检测量的信息等，判断为从与该输入端口相对应的传感器111输入的信息，也可以使表示检测量的信息中包含识别传感器111的信息来进行发送。各传感器111和能源信息获取部112之间的连接可以是有线连接，也可以是无线连接。另外，优选为在能源信息中包含表示获取能源信息的时刻的信息，或者使能源信息与表示获取能源信息的时刻的信息相对应。例如能够从半导体制造装置11内的未图示的时钟等中获取表示该时刻的信息。另外，能源信息也可以包含用于识别成为检查对象的能源的识别信息、或用于识别检测能源的传感器111的识别信息等，或使能源信息与上述识别信息相对应。能源信息获取部112通常可以由MPU、存储器等实现。能源信息获取部112的处理过程通常用软件实现，该软件被记录在ROM等的记录介质中。但是，也可以用硬件(专用电路)来实现。

发送部113将能源信息获取部112所获取的能源信息发送到服务器装置12。发送部113可以在能源信息获取部112获取能源信息后立即发送能源信息，也可以在能源信息获取部112获取关于全部传感器111的能源信息的时刻发送能源信息，而发送的定时等没有关系。另外，为了使服务器装置12能够判别能源信息是哪个半导体制造装置发送的能源信息，发送部13也可以从未图示的保存部等读出自装置的识别信息等，与能源信息相对应地进行发送。发送部113通常利用无线或者有线的通信单元来实现，但是也可以利用广播单元实现。

服务器装置12具备接收部121、服务器侧判断部122、以及服务器侧输出部123。

服务器装置12通过网络等与对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的一个以上半导体制造装置连接。

接收部121接收从半导体制造装置11发送的能源信息。接收到的能源信息被临时存储到例如存储器等中。接收部121也可以从各半导体制造装置11接收与能源信息相对应发送的半导体制造装置11的识别信息。这种情况下，也可以与半导体制造装置11的识别信息相对应地存储能源信息。接收部121通常利用无线或者有线通信单元实现，但是也可以利用接收广播的单元实现。

服务器侧判断部122判断接收部121接收的能源信息所表示的能源值是否是规定值。具体地说，规定值是按能源信息而区别的、表示能源信息是正常值的情况下的值、或者表示值的范围的信息。例如，指定该规定值的范围的上限或者下限、或者两者的阈值被预先存储在未图示的存储器等保存部中，服务器侧判断部122读出与接收部121接收的能源信息对应的阈值，判断接收部121接收的能源信息是否进入该读出的阈值所表示的范围内。也可以按半导体制造装置11的区别来将该按能源信息区别的阈值设置为不同的值。例如，根据能源信息中包含的能源的识别信息判断能源信息是关于哪个能源的信息。此外，在上述异常检测中使用的阈值不限于预先指定的规定值。例如，作为是否是上述规定值的判断处理，可以将接收部121接收到的能源信息所表示的能源的值与从其它一个以上半导体制造装置得到的、关于相同能源的能源信息进行比较，使用规定算法进行判断该比较结果的偏差是否在表示是正常的范围内的判断处理。服务器侧判断部122通常能够由MPU、存储器等实现。服务器侧判断部122的处理过程通常用软件实现，该软件被记录在ROM等记录介质中。但是，也可以用硬件(专用电路)实现。

服务器侧输出部123进行与服务器侧判断部122的判断结果相应的输出。与判断结果相应的输出例如是指表示在能源中产生异常的警报等的显示。另外，与判断结果相应的输出也可以是响应于关于能源的异常的产生而发送用于指示中止半导体制造装置11的制造工艺、或对半导体制造装置11输出警报等的命令等。另外，也可以使用电子邮件、数据通信等向预先指定的客户装置13发送表示在能源中产生异常的信息。另外，在半导体制造装置11的状态是工艺执行中、检测出异常的情况下的输出，可以是向半导体制造装置11的指示工艺临时停止(晶片待机)、中断(晶片排出)、装置停止等的命令等的发送等。另外，在半导体制造装置11的状态是空转中、检测出异常的情况下的输出，可以是指示工艺开始互锁、装置停止等的命令等的发送等。服务器侧输出部123例如从与能源信息相对应的半导体制造装置11的识别信息判断被判断出能源异常的半导体制造装置11。在此所说的输出，是指包含向显示器的显示、向打印机的打印、声音输出、向外部装置例如客户装置13、半导体制造装置11的发送等的概念。服务器侧输出部123可以认为包含或者不包含显示器、扬声器等输出设备。服务器侧输出部能够用输出设备的驱动软件、或者输出设备的驱动软件和输出设备、通信设备和通信设备的驱动软件等实现。

客户装置13具备客户侧接收部131、客户侧输出部132。

客户侧接收部131接收从服务器装置12发送的与服务器侧判断部122的判断结果相应的信息。例如，客户侧接收部131接收使用电子邮件发送的表示在能源中产生异常的信息。另外，也可以接收与判断结果一起发送的、表示是哪个半导体制造装置11检测出的、关于哪个能源的异常的信息。在此所说的电子邮件中也包含所谓WEB邮件。客户侧接收部131通过有线或者无线的通信单元等实现。另外，在使用电子邮件发送异常通知信息的情况下，也可以包含电子邮件的软件等、执行该软件的MPU、存储器等。

客户侧输出部132输出客户侧接收部131接收的异常通知信息。在此所说的输出，是包含向显示器的显示、向外部装置的发送、向记录介质等的存储等的概念。例如，可以将异常通知信息临时存储到硬盘等记录介质等，进一步响应于某种指示、触发而将该所存储的异常通知信息显示在显示器等上。可以认为客户侧输出部132包含或者不包含显示器等的输出设备等。客户侧输出部132能够用输出设备的驱动软件、或者输出设备的驱动软件和输出设备等实现。

接着，使用图4的流程图说明半导体制造装置的动作。在此，作为例子设为半导体制造装置11具有用于检测能源的s(s是大于等于1的整数)个传感器111，使用第k(1≤k≤s)个传感器检测出的信息，能源信息获取部112获取关于第k个能源的能源信息。

(步骤S401)能源信息获取部112向计数器k代入1。

(步骤S402)能源信息获取部112判断是否是获取第k个能源信息的定时。例如，判断是否经过了作为用于获取第k个能源信息的时刻而指定的时刻。在是获取第k个能源信息的定时的情况下，进入到步骤S403，在不是定时的情况下，进入到步骤S406。此外，在定期、不定期地重复获取能源信息的情况等中，对获取第k个能源信息的定时，也可以在获取一次第k个能源信息，直到获取新的第k个能源信息的定时到来为止，判断为不是获取第k个能源信息的定时。

(步骤S403)能源信息获取部112判断作为自装置的半导体制造装置11是否是获取第k个能源信息的状态。例如，获取各能源信息时，将表示半导体制造装置11需要是何种状态的信息保存在未图示的存储器等中，将该存储器等的信息和表示自装置状态的信息进行比较，判断是否是获取能源信息的状态。在是获取第k个能源信息的状态的情况下，进入到步骤S404，在不是获取状态的情况下，进入到步骤S406。

(步骤S404)能源信息获取部112获取第k个能源信息。具体地说，获取表示第k个传感器111输出的能源检测量的信息，将该获取的信息例如变换为数值等，获取能源信息。可以在能源信息中包含表示是第k个能源信息的信息、获取能源信息的日期时间等的信息，或者使能源信息与上述信息相对应。

(步骤S405)发送部113将在步骤S404中获取的能源信息发送到服务器装置12。

(步骤S406)能源信息获取部112使计数器k递增1。

(步骤S407)能源信息获取部112判断计数器k是否比s大。在大于s的情况下，返回到步骤S401，在小于等于s的情况下返回到步骤S402。

此外，也可以使半导体制造装置11具备未图示的接收部、控制部等，在从服务器装置12发送了命令等信息的情况下，半导体制造装置11的接收部等接收从服务器装置12发送的命令等信息，使半导体制造装置11的控制部等执行与该命令等相应的处理。例如，可以在从服务器装置12发送了输出用于表示在半导体制造装置11所利用的能源中产生异常的警报的命令的情况下，由接收部接收该命令，通过控制部的控制使得半导体制造装置11输出警报。

另外，在此，在获取各能源信息的时刻，将获取的能源信息发送到服务器装置12，但是也可以在多个能源信息齐全的时刻，将获取的能源信息统一发送到服务器装置12。

此外，在图4的流程图中通过关闭电源、处理结束的中断来结束处理。

下面使用图5的流程图说明本实施方式中的服务器装置的具体动作。

(步骤S501)接收部121判断是否接收了能源信息。在接收了的情况下，进入到步骤S502，在没有接收的情况下，返回到步骤S501。

(步骤S502)服务器侧判断部122读出预先保存在未图示的记录介质等中的、作为与在步骤S501中接收的能源信息相应的阈值的上限值以及下限值。在仅指定上限值或者下限值中的一方的情况下，仅读出该一方。将包含在能源信息中的表示能源的识别信息、半导体制造装置11的识别信息等作为检索关键词等而获取与能源信息相应的阈值。

(步骤S503)服务器侧判断部122判断在步骤S501中接收的能源信息所表示的值是否大于等于在步骤S502中读出的下限值。在大于等于下限值的情况下，进入到步骤S504，在小于下限值的情况下，进入到步骤S505。此外，在步骤S502中没有读出下限值的情况下，省略该处理。

(步骤S504)服务器侧判断部122判断在步骤S501中接收的能源信息所表示的值是否小于等于在步骤S502中读出的上限值。在小于等于上限值的情况下，返回到步骤S501，在大于上限值的情况下，进入到步骤S505。此外，在步骤S502中没有读出上限值的情况下，省略该处理。

(步骤S505)服务器侧输出部123例如用电子邮件等对预先指定的客户装置发送与在步骤S501中接收的能源信息对应的、表示在半导体制造装置11所利用的能源中产生异常的信息。

(步骤S506)服务器侧输出部123对与在步骤S501中接收的能源信息对应的半导体制造装置11，发送用于执行与在该半导体制造装置11所利用的能源中产生异常的情况相应的规定处理的命令等信息。该命令例如是用于输出表示在半导体制造装置11中产生异常的警报的命令、或用于异常停止半导体制造装置11的命令等。然后，返回到步骤S501。

此外，在图5的流程图中，通过关闭电源、处理结束的中断来结束处理。

当简单说明客户装置113的动作时，客户侧接收部131重复是否接收到从服务器装置12发送的与服务器侧判断部122的判断结果相应的信息的判断，在接收到的情况下，客户侧输出部132输出客户侧接收部131接收的异常通知信息。此外，也可以在客户侧接收部131例如用电子邮件等接收到从服务器装置12发送的信息的情况下，客户侧输出部132显示表示接收到电子邮件的信息，在其后未图示的接收部等接收到用户的指示的情况下，显示从服务器装置12发送的信息。

接着，说明本实施方式所涉及的群管理系统的具体例。关于群管理系统的概要图与图1相同。

首先，在此，设为一个半导体制造装置11具有多个传感器111。这些各传感器111以规定的时间间隔例如1秒间隔，重复进行被半导体制造装置11利用的能源的测量，在检测后立即将表示检测出的能源的量的信息输出到能源信息获取部112等中。

图6是管理多个传感器111和各传感器111所测量的能源之间的对应关系的能源管理表。能源管理表作为属性具有：“传感器名”，其是各传感器111的识别信息；“能源名”，其各传感器测量的能源的识别信息，在此是能源名称；“单位”，其是从各传感器输出的能源得到的能源的值的单位；以及“输入端口号”，其作为各传感器111分别连接的输入端口(未图示)的识别号。

另外，图7是指定获取能源信息的定时、和获取能源信息时的半导体制造装置11的状态的获取定时状态管理表。获取定时状态管理表作为属性具有上述的“传感器名”、作为进行获取的定时的“定时”、以及作为指定获取时的半导体制造装置11的状态的信息的“状态”。“定时”在此是每日的时刻。另外，关于“状态”，该获取定时状态管理表中的一个记录的“定时”以及“状态”，表示获取从与“传感器名”对应的各传感器111输出的、表示能源的量的信息的定时以及半导体制造装置11的状态。此外，在此作为用于识别测量的能源的信息，使用了在能源测量中使用的“传感器名”，但是只要能够识别能源，也可以代替“传感器名”而使用上述的“能源名”、“输入端口号”等。

首先，能源信息获取部112按顺序对图7所示的各记录重复判断当前时刻是否与“定时”属性所表示的时刻一致或者是否是经过了“定时”属性所表示时刻的时刻。

然后，在“定时”属性所表示的时刻与当前时刻一致或者是经过的时刻的情况下，获取表示当前半导体制造装置11的工作状态的信息，对该记录的“状态”属性所示的状态、和表示获取的工作状态的信息进行比较。

具体地说，当设为当前时刻是“9:00”时，能源信息获取部112首先将获取定时状态管理表的最初记录的“定时”属性与当前时刻进行比较，判断为“传感器名”是“S001”的记录的“定时”属性与当前时刻一致。接着，当设为半导体制造装置11不执行当前配方，能源信息获取部112获取的表示当前半导体制造装置11的工作状态的信息是“空转中”时，判断“传感器名”是“S001”的记录的“状态”属性是否是一致的属性、即是否是“空转中”。在此，“传感器名”是“S001”的记录的“状态”属性是“空转中”，判断为与表示当前半导体制造装置11的工作状态的属性一致。由此，能源信息获取部112决定获取“传感器名”是“S001”的传感器111输出的能源的检测量。

接着，从图6所示的能源管理表中，通过检索来检测“传感器名”是“S001”的记录，获取作为该记录中包含的“输入端口号”的“P001”。然后，通过输入端口“P001”获取连接到该“P001”号的输入端口上的传感器111所输出的、表示能源的检测量的信息。然后，将表示该检测量的信息变换为相同记录的“单位”属性所表示的单位的检测值。在此，例如设为通过检测量的变换得到的检测值是“95”。然后，构成包含该检测值、相同记录的“传感器名”属性、以及作为当前日期时间的“2007/05/22 09:00:10”的信息的能源信息。由此，获取了关于“S001”的传感器111的能源信息。能源信息获取部112获取的能源信息被发送到服务器装置12。此外，设为在能源信息中添加作为发送源的半导体制造装置11的识别信息的“TE501”并进行发送。在此，作为例子说明在能够获取各能源信息的时刻将各能源信息发送到服务器装置12的情况。但是，也可以将多个能源信息暂时存储在存储器等中后，将多个能源信息统一发送到服务器装置12。

接着，能源信息获取部112将获取定时状态管理表的下一记录的“定时”属性与当前时刻进行比较，判断为“传感器名”是“S002”的记录的“定时”属性与当前时刻一致。接着，当设为半导体制造装置不执行当前配方，能源信息获取部112获取的表示当前半导体制造装置11的工作状态的信息是“空转中”时，判断“传感器名”是“S002”的记录的“状态”属性是否是一致的属性、即是否是“空转中”。在此，判断为“传感器名”是“S002”的记录的“状态”属性是“工作中”，与表示当前半导体制造装置11工作状态的属性不一致。由此，能源信息获取部112决定在当前时刻不获取“传感器名”是“S002”的传感器111输出的能源检测量。

接着，能源信息获取部112将获取定时状态管理表的下一记录的“定时”属性与当前时刻进行比较，判断为“传感器名”是“S003”的记录的“定时”属性与当前时刻不一致，也不是比当前时刻更前的时刻。由此，能源信息获取部112决定在当前时刻不获取“传感器名”是“S003”的传感器111输出的能源检测量。

将同样的处理对获取定时状态管理表的各记录重复一次后，再次对未获取能源信息的记录重复相同的处理。

在此，随着时间经过时刻变成“9:05”，设为在该时刻半导体制造装置11开始执行配方。

然后，设为在该定时通过重复能源信息获取部112的上述处理，将获取定时状态管理表的“传感器名”是“S002”的记录的“定时”属性和当前时刻进行比较。能源信息获取部112判断为该“定时”属性所表示的时刻和当前时刻一致。接着，半导体制造装置11执行当前配方，因此能源信息获取部112获取的表示当前半导体制造装置11的工作状态的信息变成“工作中”。然后，判断“传感器名”是“S002”的记录的“状态”属性是否是一致的属性、即是否是“工作中”。在此，判断为“传感器名”是“S002”的记录的“状态”属性是“工作中”，与表示当前的半导体制造装置11工作状态的属性一致。由此，能源信息获取部112决定在当前时刻获取“传感器名”是“S002”的传感器111输出的能源的检测量。

接着，通过检索从图6所示的能源管理表中检测“传感器名”是“S002”的记录，获取作为包含在该记录中的“输入端口号”的“P002”。然后，通过输入端口“P002”获取连接在该“P002”号的输入端口上的传感器111所输出的能源的检测量的信息。然后，将表示该检测量的信息变换为相同记录的“单位”属性所表示的单位的检测值。在此，设为例如通过检测量的变换得到的检测值是“19”。然后，构成包含该检测值、相同记录的“传感器名”属性的属性值、以及作为当前日期时间的“2007/05/22 09:05:15”的信息的能源信息。由此，获取了关于“S002”的传感器111的能源信息。能源信息获取部112所获取的能源信息被发送到服务器装置12。

另外，设为在随时间经过时刻变成“9:10”的时刻，半导体制造装置11继续执行配方时，与上述同样地获取关于“S003”的传感器111的能源信息，发送到服务器装置12。

在服务器装置12中，首先接收部121接收从半导体制造装置11发送的包含“S001”的传感器名的能源信息。然后，从存储器等中读出与接收的能源信息对应的指定能源信息所示值的正常值范围的上限值和下限值。设为该上限值等是由用户等预先指定的上限值。

图8是管理指定正常值的范围的信息的正常范围管理表。正常范围管理表作为属性具有作为半导体制造装置11的识别信息的“装置识别信息”、上述“传感器名”、作为正常值范围下限值的“下限值”、作为正常值范围上限值的“上限值”、以及作为能源单位的“单位”。

服务器侧判断部122检索添加在接收部121接收的能源信息中的半导体制造装置11的识别信息、在此是“TE501”与正常范围管理表的“装置识别信息”一致的记录中的、包含在能源信息中的传感器名的属性与“传感器名”一致的记录。然后，读出该记录的“下限值”和“上限值”。在此，首先接收包含“S001”的传感器名的能源信息，因此作为下限值读出“90”，作为上限值读出“125”。

服务器侧判断部122将读出的作为“下限值”的“90”和作为接收部121接收的能源信息所表示的值的“95”进行比较。在此，判断为大于等于下限值。

接着，服务器侧判断部122将读出的作为“上限值”的“125”和作为接收部121接收的能源信息所表示的值的“95”进行比较。在此，判断为小于等于上限值。

由此，判断为接收部121接收的能源信息所表示的值是正常值。因而，其结果是通过服务器侧判断部122判断为与半导体制造装置11的传感器名“S001”对应的传感器111检测出的能源是正常的。

服务器侧输出部123将接收部121接收的能源信息、和服务器侧判断部122对该能源信息的判断结果存储到未图示的保存部等中。

图9是表示用于管理接收部121接收的能源信息、和服务器侧判断部122对该能源信息的判断结果的判断结果管理表的图。判断结果管理表作为属性具有作为附加在能源信息中的半导体制造装置的识别信息的“装置识别信息”、包含在能源信息中的上述“传感器名”、包含在能源信息中的作为表示获取能源信息的日期时间的信息的“日期时间”、作为能源信息所表示的能源的值的“值”、作为表示能源信息所表示的值是否是正常值范围的信息的“评价”。此外，“评价”为“正常”，表示能源信息所表示的值是正常值的范围，“评价”为“异常”，表示能源信息所表示的值不在正常值的范围。

另外，同样地，通过服务器侧判断部122对接收部121依次接收的能源信息进行相同的判断。

关于接收部121接收的包含“S001”的传感器名的能源信息，对于能源信息所表示的值为“4(sccm)”，从正常范围管理表得到的下限值是“5”，认为能源信息所表示的值不是正常范围。

在这种情况下，如图9所示，服务器侧输出部123存储作为关于该能源信息的服务器侧判断部122的判断结果的“异常”，并且通过电子邮件对预先指定的客户装置13发送半导体制造装置“TE501”的传感器“S003”检测出异常的信息。

在客户装置13中，客户侧接收部131接收告知该异常产生的电子邮件，并且如图10所示，客户侧输出部132将该电子邮件显示在未图示的显示器等上，从而半导体制造装置“TE501”的传感器“S003”能够对操作客户装置13的用户通知在作为检测对象的能源中产生异常。此外，预先使能源信息中包含能源名等，服务器装置12将检测出该异常的能源信息中包含的能源名等与表示异常的信息一起发送给客户装置13，从而也可以在客户装置上显示在哪个能源中产生异常。

另外，服务器侧输出部123对与附加在该能源信息中的识别信息对应的半导体制造装置11发送用于使传感器名是“S003”的传感器111输出检测出能源异常的信息、例如命令。

在半导体制造装置11中，在未图示的接收部中接收从该服务器装置12发送的命令，未图示的控制部执行该命令，将表示传感器名是“S003”的传感器111检测出能源异常的警告显示显示在控制面板等上，从而传感器“S003”能够对操作半导体制造装置11的用户通知在作为检测对象的能源中产生异常。

以上，根据本实施方式，使一个以上半导体制造装置11获取能源信息，服务器装置12使用一个以上半导体制造装置11获取的能源信息判断在能源中是否产生异常并输出判断结果，由此用户不需要通过目视等来回检查各能源，就能够在短时间内正确地检查被半导体制造装置利用的能源。特别是在半导体制造工厂等中，有时配置200台左右的半导体制造装置11，因此当用户通过目视等来回检查各能源时，将无法大致同时检查各能源，但是通过使用这种本实施方式的结构，能够在预先设定的定时大致同时进行能源的检查。另外，通过使能源的检查自动化，能够避免能源测量值等的漏记、误记等。

另外，根据半导体制造装置11的状态来获取能源信息，由此能够确实地进行对各能源而言是恰当的状态下的检查。例如，关于半导体制造装置在工作状态的情况下的值较重要的能源，总是能够进行半导体制造装置在工作状态的情况下的能源检查。另外，根据半导体制造装置11的状态来获取能源信息，因此能够等待能源的数据收集直到装置变成规定状态。

另外，能够通过服务器装置12判断一个以上半导体制造装置11的能源的状态，由此能够在服务器装置12中集中进行能源状态的判断处理，能够简化各半导体制造装置11的结构。另外，不需要在巡回各半导体制造装置11的同时对各半导体制造装置一个个地设定获取能源的定时设定等，而能够在一个服务器装置12中进行设定，因此能够简化设定的工序等。

另外，各半导体制造装置11设为能够进行自装置所利用的能源测量的结构，由此能够在设置半导体制造装置11的同时导入自动测量能源的本实施方式的结构，因此容易进行用于测量能源的结构的导入。

下面使用图11说明本实施方式的变形例。该变形例在上述实施方式中省略服务器装置12，并且在上述半导体制造装置11中进一步设置有进行与服务器装置12的服务器侧判断部122相同判断的判断部124，代替发送部113设置有与服务器侧输出部123相同的输出部125。

该判断部124对能源信息获取部112获取的能源信息进行与服务器侧判断部相同的判断，关于其它判断方法、结构等与服务器侧判断部相同。即，该判断部124判断能源信息获取部112获取的能源信息所表示的能源值是否是规定值。

另外，输出部125与服务器侧输出部123相同地，进行与判断部124的判断结果相应的输出、向显示器等的表示产生异常的情况的显示、例如通过电子邮件对客户装置13进行的异常通知等，关于其它结构等与服务器侧输出部123相同。其中，具有判断为检测出异常的传感器111的半导体制造装置是自装置，因此输出部125将表示传感器111检测出能源异常的警告显示显示在控制面板等上即可。即该输出部125进行与判断部124的判断结果相应的输出。另外，输出部125也可以在半导体制造装置11的状态是工艺执行中时检测出异常的情况下，对自装置输出用于使自装置执行工艺临时停止(晶片待机)、中断(晶片排出)、装置停止等的指示、命令等。另外，也可以在半导体制造装置11的状态是空转中时检测出异常的情况下，对自装置输出自装置用于执行工艺开始互锁、装置停止等的指示、命令等。

在这种变形例中，也能够起到与上述实施方式1相同的效果。另外，不需要服务器装置，因此变得不能进行半导体制造装置的集中管理，但是能够简化用于设置半导体制造装置时的通信的设定等，并且能够容易导入检测这种能源异常的结构。

(实施方式2)

本实施方式所涉及的群管理系统在上述实施方式所涉及的群管理系统中，半导体制造装置根据检测能源的传感器依次输出的信息，依次获取能源信息并发送到服务器装置，服务器装置从这些能源信息中获取在规定定时获取的能源信息中半导体制造装置处于规定状态的情况下获取的能源信息，使用该能源信息检测半导体制造装置的异常。

图12是表示本实施方式所涉及的群管理系统的结构的框图。

本实施方式的群管理系统与上述实施方式1相同，具有一个以上半导体制造装置21、服务器装置22、以及一个以上客户装置13。其中，在此为了简略说明，将半导体制造装置21以及客户装置13分别是一个的情况作为例子进行说明。

关于客户装置13的结构，与上述实施方式1相同，因此省略说明。

半导体制造装置21具备一个以上传感器111、能源信息获取部212、发送部213、状态信息获取部214。

关于传感器111的结构，与上述实施方式1相同，因此省略说明。

能源信息获取部212获取作为表示关于在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息的能源信息，其具有与上述实施方式1的能源信息获取部112相同的结构。其中，与上述实施方式1的能源信息获取部112的不同点在于：能源信息获取部不是在规定定时从各传感器111输出的信息中选择性地获取能源信息，而是从检测能源的各传感器111在对各传感器中的每一个传感器在规定定时依次输出的信息中依次获取能源信息。另外，在此，使能源信息中包含表示获取能源信息时刻的信息，或者使能源信息与表示获取能源信息时刻的信息相对应，使得能够判断获取能源信息的定时。除了该不同，与上述实施方式1相同，因此省略说明。

状态信息获取部214获取作为表示自装置即半导体制造装置21状态的信息的状态信息。具体地说，状态信息是能够表示在各能源信息通过能源信息获取部212被获取的定时中、半导体制造装置21处于何种状态的信息。状态信息例如是使表示半导体制造装置21的状态的信息和表示判断该状态的时刻的信息相对应的信息。能够从未图示的时钟等获取判断状态的时刻信息。或者也可以使状态信息获取部214获取能源信息获取部212获取能源信息的时刻的、作为表示自装置状态的信息的状态信息，并使能源信息获取部212获取的能源信息和表示获取该能源信息的时刻的半导体制造装置21状态的状态信息相对应进行发送。半导体制造装置21的状态与在上述实施方式1中说明的半导体制造装置的状态相同。状态信息获取部214可以在固定或者不定的规定定时重复获取状态信息，也可以以半导体制造装置21的状态变化为触发获取状态信息。另外，也可以获取能源信息获取部212获取能源信息时刻的状态信息。能源信息获取部212怎样获取表示自装置状态的信息都可以。例如，可以在自装置的未图示的控制部等输出表示状态的信息、例如是执行配方等的工作状态的信息的情况下，判断是工作状态还是非工作状态(空转状态)来获取表示其状态的状态信息，也可以判断已知在工作状态下输出的信息是否从自装置输出等来判断是工作状态还是非工作状态，从而获取表示其状态的状态信息。状态信息获取部214通常能够由MPU、存储器等实现。状态信息获取部214的处理过程通常利用软件实现，该软件被记录在ROM等记录介质中。但是也可以利用硬件(专用电路)实现。

发送部213在上述实施方式1中说明的发送部113中，除了能源信息，还将状态信息发送到服务器装置12，关于其它结构与上述实施方式1相同，因此省略说明。

服务器装置22具备接收部221、服务器侧获取部224、服务器侧判断部222、以及服务器侧输出部123。

关于服务器侧输出部123的结构，除了进行与服务器侧判断部222的判断结果相应的输出这一点，与上述实施方式1相同，因此省略说明。

接收部221在上述实施方式1中说明的接收部121中，除了能源信息外还接收状态信息。接收部221接收的状态信息例如依次存储到存储介质等中。关于其它结构，与上述实施方式1相同，因此省略说明。

服务器侧获取部224根据接收部221接收的状态信息获取接收部221接收的能源信息。根据状态信息获取，是指从状态信息判断各半导体制造装置21获取各状态信息的时刻的状态，并根据各半导体制造装置21的状态进行获取。具体地说，服务器侧获取部224获取接收部221接收的能源信息中的、与表示各半导体制造装置处于预先指定的规定状态的状态信息对应的能源信息。在此所说的与状态信息对应的能源信息，例如是获取时刻与状态信息相同、或者大致相同的能源信息。例如，服务器侧获取部224获取表示是规定状态的状态信息所具有的、表示获取该状态信息时刻的信息、和与相同时刻的信息对应的能源信息。或者也可以在能源信息与获取该能源信息的时刻中获取的状态信息相对应的情况下，获取与表示是规定状态的状态信息相对应的能源信息。另外，特别地，服务器侧获取部224也可以获取与各半导体制造装置11在预先指定的定时获取的能源信息、表示各半导体制造装置处于规定状态的状态信息对应的能源信息。在此所说的定时与在上述实施方式1中能源信息获取部112的说明等中说明的定时等相同。服务器侧获取部224通常能够由MPU、存储器等实现。服务器侧获取部224的处理过程，通常用软件实现，该软件记录在ROM等记录介质中。但是，也可以用硬件(专用电路)实现。

服务器侧判断部222除了判断服务器侧获取部224获取的能源信息所表示的能源值是否是规定值这点之外，具有与上述实施方式1的服务器侧判断部122相同的结构，因此在此省略说明。

接着，使用图13的流程图说明半导体制造装置的动作。在此，具有用于检测能源的s(s是大于等于1的整数)个传感器111，各传感器111在预先设定的定时重复输出表示检测量的信息。

(步骤S1301)能源信息获取部212对计数器k代入1。

(步骤S1302)能源信息获取部212判断是否接受了第k个传感器111输出的表示能源检测量的信息。在接受了的情况下进入到步骤S1303，在没有接受的情况下进入到步骤S1306。

(步骤S1303)能源信息获取部212将在步骤S1302中接受的信息变换为例如数值等，获取能源信息。在此，使能源信息中包含获取能源信息的日期时间等信息。另外，也可以使能源信息中包含或者对应表示作为第k个能源信息的信息等。

(步骤S1304)状态信息获取部214获取状态信息。而且，在此作为例子，将获取的状态信息与在步骤S1303中获取的能源信息对应地临时存储在存储器等中。例如，用管理信息的数据库的相同记录来管理状态信息和能源信息。此外，在此，在获取能源信息时还获取状态信息，但是也可以判断是否是获取状态信息的时期，从而在与获取能源信息的时期不同的时期中获取能源信息。

(步骤S1305)发送部213将在步骤S1303中获取的能源信息、以及在步骤S1304中获取的状态信息发送到服务器装置22。在此，将能源信息和状态信息相对应地进行发送。

(步骤S1306)能源信息获取部212使计数器k递增1。

(步骤S1307)能源信息获取部212判断计数器k是否大于s。在大于s的情况下，返回到步骤S1301，在小于s的情况下返回到步骤S1302。

此外，半导体制造装置21与上述实施方式1的半导体制造装置同样，也可以具备未图示的接收部、控制部等。

另外，在此在获取各能源信息和状态信息的时刻将获取的能源信息和状态信息发送到服务器装置22，但是也可以在多个能源信息、状态信息齐全的时刻将获取的能源信息以及状态信息统一发送到服务器装置22。

另外，只要能够判断能源信息和状态信息的对应关系，也可以个别地发送能源信息和状态信息。

此外，在图13的流程图中，通过关闭电源、处理结束的中断来结束处理。

下面使用图14的流程图说明本实施方式中的服务器装置的具体动作。

(步骤S1401)接收部221判断是否接收了能源信息以及状态信息。在接收了的情况下将能源信息和状态信息存储在未图示的记录介质等中，进入到步骤S1402，在没有接收的情况下返回到步骤S1401。

(步骤S1402)服务器侧获取部224从未图示的记录介质等中读出与在步骤S1401中接收的能源信息相应的、表示获取能源信息的定时的信息、和表示获取能源信息时的半导体制造装置21的状态的信息。在未图示的记录介质中保存有与各能源或者各传感器111对应的表示预先获取能源信息的定时的信息、和表示获取能源信息时的半导体制造装置21状态的信息。

(步骤S1403)服务器侧获取部224判断在步骤S1401中接收的能源信息所具有的表示获取能源信息的时刻的信息所表示的时刻，是否是在步骤S1402中获取的表示获取能源信息的定时的信息所表示的定时内的时刻、即是否是在表示定时的信息所表示的定时中获取的能源信息。在是定时内的时刻的情况下，进入到步骤S1404，在不是定时内的时刻的情况下，返回到步骤S1401。此外，在定期、不定期地重复获取能源信息的情况等中，相对于一个获取的能源信息的定时，也可以判断为获取一次能源信息之后直到新获取能源信息的定时到来为止，不是获取能源信息的定时。

(步骤S1404)服务器侧获取部224，判断与在步骤S1401中接收的能源信息对应的状态信息所表示的半导体制造装置21的状态，与在步骤S1402中获取的表示获取能源信息时的半导体制造装置21的状态的信息所表示的状态是否一致、即是否是在表示状态的信息所表示的状态中获取的能源信息。该一致也可以是部分一致等。在一致的情况下，进入到步骤S1405，在不一致的情况下返回到步骤S1401。

(步骤S1405)服务器侧获取部224获取在步骤S1401中接收的能源信息。

(步骤S1406)服务器侧判断部222读出预先保存在未图示的记录介质等中的、作为与在步骤S1401中接收的能源信息相应的阈值的上限值、以及下限值。在仅指定了上限值或者下限值中的一方的情况下，仅读出该一方。将包含在能源信息中的表示能源的识别信息、半导体制造装置11的识别信息等作为检索关键词等来获取与能源信息相应的阈值。

(步骤S1407)服务器侧判断部222判断在步骤S1405中获取的能源信息所表示的值是否大于等于在步骤S1406中读出的下限值。在大于等于下限值的情况下，进入到步骤S1408，在小于下限值的情况下，进入到步骤S1409。此外，在步骤S1406中没有读出下限值的情况下，省略该处理。

(步骤S1408)服务器侧判断部222，判断在步骤S1405中接收的能源信息所表示的值是否是小于等于在步骤S1406中读出的上限值。在小于等于上限值的情况下，返回到步骤S1401，在大于上限值的情况下，进入到步骤S1409。此外，在步骤S1406中没有读出上限值的情况下，省略该处理。

(步骤S1409)服务器侧输出部123例如用电子邮件等对预先指定的客户装置发送表示在与步骤S1401中接收的能源信息对应的半导体制造装置21利用的能源中产生异常的信息。

(步骤S1410)服务器侧输出部123对与在步骤S1401中接收的能源信息对应的半导体制造装置21发送用于执行与在该半导体制造装置21利用的能源中产生异常的情况相应的规定处理的命令等信息。该命令例如是用于输出表示在半导体制造装置21中产生异常的警报的命令、或用于异常停止半导体制造装置21的命令等。然后，返回到步骤S1401。

此外，在上述流程图中，可以替代在步骤S1401中对接收部221接收的能源信息等进行判断等，而在步骤S1401中，接收部221对存储在记录介质等中的能源信息依次重复进行从步骤S1402到1410为止的处理等。

此外，在图14的流程图中，通过关闭电源、处理结束的中断来结束处理。

接着，说明本实施方式所涉及的群管理系统的具体例。群管理系统的概要图与在图1所示的群管理系统中将半导体制造装置替换为半导体制造装置21、将服务器装置替换为服务器装置22后的结构相同。

首先，在此，与上述实施方式1的具体例同样，设为一个半导体制造装置21具有多个传感器111，以规定时间间隔、例如1秒间隔重复测量在半导体制造装置21中利用的能源。

首先，能源信息获取部212判断是否按顺序从各传感器111输出了表示能源检测量的信息，在输出了的情况下，使用输出的信息构成并获取能源信息，该能源信息包含表示能源值的信息、表示获取能源信息的时刻的信息、以及输出了表示检测量的信息的传感器111的识别信息。获取的能源信息例如被临时存储在存储器等中。

另外，状态信息获取部214获取表示构成能源信息的时刻中的半导体制造装置21的工作状态的信息，构成作为表示工作状态的信息的状态信息。然后，将同时获取该状态信息的能源信息与在步骤S1303中获取的能源信息对应并临时存储在存储器等中。

发送部213读出临时存储在存储器等中的能源信息和与该能源信息对应的状态信息，与作为半导体制造装置21的识别信息的装置识别信息一起发送到服务器装置22。例如，如图15所示，也可以使相对应的能源信息和状态信息保持对应关系地进行组合得到的信息发送到服务器装置22。

在服务器装置22中，接收部221接收从半导体制造装置21发送的能源信息、与该能源信息对应的状态信息、以及半导体制造装置21的识别信息，使它们保持对应关系地临时存储在未图示的存储器等中。在此设接收的能源信息所表示的能源值是“95”，能源信息中包含的传感器111的识别信息为“S001”，获取能源信息所表示的能源的时刻为“9:00:00”，状态信息所表示的半导体制造装置21的状态为“空转中”。另外，在此，该半导体制造装置21的装置识别信息为“TE501”。

接着，服务器侧获取部224获取与接收部221最初接收的能源信息相对应的半导体制造装置21的装置识别信息“TE501”、以及接收部221接收的能源信息中包含的、检测出与该能源信息对应的能源的传感器111的识别信息“S001”。

图16是服务器侧获取定时状态管理表，该服务器侧获取定时状态管理表表示保持在服务器装置22内的未图示的保存部中的、对半导体制造装置21和该半导体制造装置21具有的传感器111的每个组合表示预先准备的、表示获取能源信息的定时的信息、与表示获取能源信息时的半导体制造装置21的状态的信息之间的对应关系。服务器侧获取定时状态管理表具有“装置识别信息”、“传感器名”、“定时”、“状态”的属性。“装置识别信息”是制造装置的识别信息。关于“传感器名”、“定时”、以及“状态”与图7所示的获取定时状态管理表相同。

服务器侧获取部224在图16所示的服务器侧获取定时状态管理表中通过检索来检测“装置识别信息”是“TE 501”、“传感器名”是“S001”的记录。然后，获取检测出的记录的“定时”属性值、和“状态”属性值。在此，得到作为“定时”属性值的“9:00”以及作为“状态”属性值的“空转中”的属性值。

然后，服务器侧获取部224首先将接收部221接收的能源信息中包含的表示时刻的信息的“9:00:00”、和从图16所示的服务器侧获取定时状态管理表获取的作为“定时”属性值的“9:00”进行比较，判断为一致。此外，代替进行是否一致的判断，也可以判断能源信息中包含的时刻是否是“定时”属性值所表示的时刻以后的时刻。在此，作为例子，设为不对不足1秒的时间进行一致判断。接着，将接收部221接收到的作为状态信息的“空转中”、和从图16所示的服务器侧获取时间状态管理表获取的“状态”属性值的“空转中”进行比较，判断为一致。由此，服务器侧获取部224作为结果判断为：接收部221接收的能源信息是各半导体制造装置21在预先指定的定时获取的能源信息，是与表示各半导体制造装置处于规定状态的状态信息对应的能源信息。服务器侧获取部224获取接收部221接收的能源信息。

接着，服务器侧判断部222使用与该能源信息对应而接收的作为半导体制造装置21的装置识别信息的“TE 501”、和能源信息中包含的作为传感器111的识别信息的“S001”，与上述实施方式的具体例同样地获取关于服务器侧获取部224获取的能源信息所表示的值的上限值和下限值。然后，使用获取的上限值和下限值，与上述实施方式的具体例同样地从服务器侧获取部224所获取的能源信息所表示的值进行在能源中是否产生异常的判断等。此外，关于服务器侧判断部222进行的处理以后的处理等，与上述具体例相同，因此在此省略说明。

接着，设接收部221从半导体制造装置21接收的能源信息所表示的能源值为“19”，能源信息中包含的传感器111的识别信息为“S002”，能源信息所表示的获取能源的时刻为“9:00:14”，状态信息所表示的半导体制造装置21的状态为“空转中”。

服务器侧获取部224获取与能源信息对应的半导体制造装置21的装置识别信息“TE 501”、和接收部221接收的能源信息中包含的检测出与该能源信息对应的能源的传感器111的识别信息“S002”。

服务器侧获取部224在图16所示的服务器侧获取定时状态管理表中通过检索来检测“装置识别信息”是“TE 501”、“传感器名”是“S002”的记录。然后，获取检测出的记录的“定时”属性值、和“状态”属性值。在此，得到作为“定时”属性值的“9:00”以及作为“状态”属性值的“工作中”的属性值。

然后，服务器侧获取部224首先将接收部221接收的能源信息中包含的表示时刻的信息的“9:00:15”、和从图16所示的服务器侧获取定时状态管理表中获取的“定时”属性值的“9:00”进行比较，判断为一致。在此作为例子，设为不对不足1秒的时间进行一致的判断。此外，在此，在“定时”属性值是表示“9:00”以前时刻的情况下，也可以判断为定时一致。此外，在此，在“定时”属性值表示为“9:01”以后的时刻的情况下，判断为定时不一致，结束对接收部221接收的该能源信息的后续判断处理等。

接着，将接收部221接收的作为状态信息的“空转中”、和从图16所示的服务器侧获取定时状态管理表获取的作为“状态”属性值的“工作中”进行比较，判断为不一致。由此，判断为不是在半导体制造装置21处于规定状态的时刻获取的能源信息，结束对接收部221接收的该能源信息的后续判断处理等。

接着，设接收部221从半导体制造装置21接收的能源信息所表示的能源值为“19”，能源信息中包含的传感器111的识别信息为“S002”，获取能源信息所表示的能源的时刻为“9:05:15”，状态信息所表示的半导体制造装置21的状态为“工作中”。

服务器获取部224使用图16所示的服务器侧获取定时状态管理表，与上述同样地得到作为“定时”属性值的“9:00”以及作为“状态”属性值的“工作中”的属性值。

然后，服务器侧获取部224首先将接收部221接收的能源信息中包含的作为表示时刻的信息的“9:05:15”、和从图16所示服务器侧获取定时状态管理表获取的作为“定时”属性值的“9:00”进行比较，判断为定时一致。

接着，将接收部221接收的作为状态信息的“工作中”、和从图16所示服务器侧获取定时状态管理表获取的作为“状态”属性值的“工作中”进行比较，判断为一致。由此，服务器侧获取部224作为结果判断为：接收部221接收的能源信息是各半导体制造装置21在预先指定的定时获取的能源信息，是与表示各半导体制造装置处于规定状态的状态信息对应的能源信息。服务器侧获取部224获取接收部221接收的能源信息。

然后，服务器侧判断部222使用该能源信息与上述同样地进行在能源中是否产生异常的判断等。

之后重复同样的处理，进行能源异常的判断、异常的通知等。

以上，根据本实施方式，一个以上的半导体制造装置21获取能源信息，服务器装置22判断在能源中是否产生异常并输出判断结果，由此用户无需通过目视等来回检查各能源，就能够在短时间内正确地检查被半导体制造装置利用的能源。

另外，根据半导体制造装置21的状态来获取能源信息，由此能够确实地进行对各能源而言是恰当状态下的检查。另外，根据半导体制造装置21的状态来获取能源信息，由此能够等待能源的数据收集直到半导体制造装置21变成规定状态。

另外，通过服务器装置22获取与表示各半导体制造装置处于规定状态的状态信息对应的能源信息，该能源信息是在预先指定的定时获取的能源信息，由此能够在服务器装置22中集中进行用于获取能源信息的判断处理、能源状态的判断处理等，能够简化各半导体制造装置21的结构。

此外，在上述实施方式1中，也可以与上述实施方式2相同，能源信息获取部112从检测能源的各传感器111依次输出的信息中依次获取能源信息，通过与获取上述能源信息的处理相同的处理，获取该所获取的能源信息中的如下能源信息，该能源信息是在规定定时获取的能源信息、是在半导体制造装置处于规定状态的情况下获取的能源信息。例如也可以将依次获取的能源信息存储在未图示的存储器等中。

在这种情况下，也可以与上述实施方式2相同地，将获取作为表示自装置即半导体制造装置11的状态的信息的状态信息的状态信息获取部214设置在半导体制造装置11中，使该状态信息获取部214获取的状态信息与能源信息对应，能源信息获取部112使用该状态信息判断获取的能源信息是否是在半导体制造装置处于规定状态的情况下获取的能源信息。

并且，本实施方式中的处理，也可以用软件实现。而且也可以通过软件下载等来发布该软件。另外，也可以将该软件记录在CD-ROM等记录介质中进行发布。此外，这一点也对应本说明书中的其它实施方式。

此外，实现本实施方式中的信息处理装置的软件是如下程序，即，该程序使计算机执行对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的半导体制造装置所进行的处理，是用于使计算机执行以下步骤：能源信息获取步骤，获取能源信息，该能源信息是表示在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；以及发送步骤，将在上述能源信息获取步骤中获取的能源信息发送到服务器装置。

另外，该程序是如下程序，使计算机执行与对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的一个以上半导体制造装置连接的服务器装置进行的处理，用于使计算机执行以下步骤：接收步骤，接收从上述一个以上半导体制造装置发送的能源信息；服务器侧判断步骤，判断在上述接收步骤中接收的能源信息所表示的能源值是否是规定值；以及服务器侧输出步骤，进行与上述服务器侧判断步骤的判断结果相应的输出。

另外，该程序是如下程序，使计算机执行对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的半导体制造装置所进行的处理，用于使计算机执行以下步骤：能源信息获取步骤，获取能源信息，该能源信息是表示在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；判断步骤，判断在上述能源信息获取步骤中获取的能源信息所表示的能源值是否是规定的值；以及输出步骤，进行与上述判断步骤的判断结果相应的输出。

另外，在上述各实施方式中，各处理(各功能)可以通过由单一装置(系统)进行集中处理来实现，或者也可以通过由多个装置进行分散处理来实现。

此外，在上述程序中，在发送信息的发送步骤、接收信息的接收步骤等中，不包含由硬件进行的处理、例如发送步骤中的在调制解调器、接口卡等中进行的处理(仅由硬件进行的处理)。

另外，执行上述程序的计算机可以是单个，也可以是多个。即，可以进行集中处理，或者也可以进行分散处理。

另外，在上述各实施方式中，存在于一装置中的两个以上的通信单元(发送部等)在物理上当然也可以由一种介质来实现。

本发明不限于以上的实施方式，能够进行种种变更，它们当然都包含在本发明的范围内。

工业上的可利用性

如上所述，本发明所涉及的群管理系统等，作为用于检查半导体制造装置所利用的能源的系统等是有用的，特别是作为用于检查被多个半导体制造装置分别利用的能源的系统等是有用的。

Claims (14)

1.一种群管理系统，具备对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的一个以上半导体制造装置、以及与该一个以上半导体制造装置连接的服务器装置，其特征在于，

上述半导体制造装置具备：

能源信息获取部，其获取能源信息，该能源信息是表示关于在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；以及

发送部，其将上述能源信息获取部获取的能源信息发送到上述服务器装置，

上述服务器装置具备：

接收部，其接收从上述半导体制造装置发送的能源信息；

服务器侧判断部，其判断上述接收部接收到的能源信息所表示的能源值是否是规定值；以及

服务器侧输出部，其进行与上述服务器侧判断部的判断结果相应的输出。

2.根据权利要求1所述的群管理系统，其特征在于，

上述能源信息获取部判断自装置的状态，根据自装置的状态获取上述各能源信息。

3.根据权利要求2所述的群管理系统，其特征在于，

上述能源信息获取部在预先指定的定时、自装置的状态处于规定状态的情况下获取上述能源信息。

4.根据权利要求2或者3所述的群管理系统，其特征在于，

上述能源信息获取部在自装置处于对各能源信息中的每一个能源信息所指定的状态的情况下获取该各能源信息。

5.根据权利要求1所述的群管理系统，其特征在于，

上述半导体制造装置还具备状态信息获取部，该状态信息获取部获取作为表示自装置状态的信息的状态信息，

上述发送部将上述能源信息获取部所获取的能源信息、和上述状态信息获取部所获取的状态信息发送到上述服务器装置，

上述接收部接收从上述半导体制造装置发送的能源信息和状态信息，

上述服务器装置还具备服务器侧获取部，该服务器侧获取部根据上述接收部接收到的状态信息来获取上述接收部接收到的能源信息，

上述服务器装置的服务器侧判断部判断上述接收部接收到的能源信息中的、上述服务器侧获取部获取的能源信息所表示的能源值是否是规定值。

6.根据权利要求5所述的群管理系统，其特征在于，

上述服务器侧获取部获取能源信息，该能源信息是各半导体制造装置在预先指定的定时获取的能源信息，与表示各半导体制造装置处于规定状态的状态信息对应。

7.根据权利要求5或者6所述的群管理系统，其特征在于，

在各半导体制造装置所发送的状态信息是对各能源信息中的每一个能源信息指定的状态的情况下，上述服务器侧获取部获取与该状态信息对应的各能源信息。

8.一种半导体制造装置，对被处理基板执行规定的半导体制造工艺，其特征在于，具备：

能源信息获取部，其获取能源信息，该能源信息是表示关于在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；

判断部，其判断上述能源信息获取部获取的能源信息所表示的能源值是否是规定值；以及

输出部，其进行与上述判断部的判断结果相应的输出。

9.根据权利要求8所述的半导体制造装置，其特征在于，

上述能源信息获取部判断自装置的状态，根据自装置的状态获取上述各能源信息。

10.根据权利要求9所述的半导体制造装置，其特征在于，

上述能源信息获取部在预先指定的定时、自装置的状态处于规定状态的情况下获取能源信息。

11.根据权利要求9或者10所述的半导体制造装置，其特征在于，

上述能源信息获取部在自装置处于对各能源信息中的每一个能源信息指定的状态的情况下获取该各能源信息。

12.一种信息处理方法，在对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的半导体制造装置中被执行，其特征在于，具备：

能源信息获取步骤，获取能源信息，该能源信息是表示关于在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；以及

发送步骤，将在上述能源信息获取步骤中获取的能源信息发送到服务器装置。

13.一种信息处理方法，在与对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的一个以上半导体制造装置连接的服务器装置中被执行，其特征在于，具备：

接收步骤，接收从上述一个以上半导体制造装置发送的能源信息；

服务器侧判断步骤，判断在上述接收步骤中接收到的能源信息所表示的能源值是否是规定值；以及

服务器侧输出步骤，进行与通过上述服务器侧判断步骤得到的判断结果相应的输出。

14.一种信息处理方法，在对被处理基板执行规定的半导体制造工艺的半导体制造装置中被执行，其特征在于，具备：

能源信息获取步骤，获取能源信息，该能源信息是表示关于在半导体制造工艺中使用的一个以上能源的值的信息；

判断步骤，判断在上述能源信息获取步骤中获取的能源信息所表示的能源值是否是规定值；以及

输出步骤，进行与上述判断步骤的判断结果相应的输出。

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