CN101315523B - 绘图装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种绘图装置，使清洁滚轮接触工作台上的工件表面时，防止因为清洁滚轮接触工件而导致工件在工作台上偏离或剥离。在绘图工作台(13)表面形成的多个抽吸口通过抽吸管(V)分别由对应的抽吸泵(P)进行抽吸。利用压力传感器(S)检测该抽吸管内的真空度。绘图工作台驱动马达(18)可使绘图工作台往复移动于从待机位置至超过由绘图光学系统确定的绘图位置的位置。清洁单元上下移动驱动用气缸(43)使清洁滚轮(49)在机械手(15)及绘图光学系统之间相对于绘图工作台上下移动。控制部(6)只有在由压力传感器检测到的真空度超过特定值时，利用清洁单元上下移动驱动用气缸，使该清洁滚轮下降并接触绘图工作台，并在该状态下使绘图工作台移动。

Description

绘图装置

技术领域

本发明涉及在由电子电路基板、液晶元件用玻璃基板、PDP用玻璃元件基板等的表面形成感光材料层所构成的平面基材(工件)的该表面上，描绘图案并进行曝光的直接曝光方式的绘图装置。

背景技术

电子电路基板(印刷电路基板)配载于例如便携式电话、各种移动式电子机器、个人计算机等电子机器中，然而，随着这些电子机器的小型化，对于形成在基板上的电路图案的解像度、连接用面(land)径、通孔(via)径等的要求呈现微细地构成的倾向。

为了应对这些要求，当使用传统接触方式的曝光装置时，必须预先准备与预绘图对象图案等倍的掩模，而且，必须正常地管理及维持该掩模。此外，曝光中，必须保持掩模及工件相互平行且保持各自呈平面状，而且，必须使照射于掩模的光束在其全域保持为平行光束。因此，利用接触方式进行的曝光，较为麻烦，而且，不利于电路图案的微细化。

所以，近年来如下所述的直接曝光方式正在普及，利用基于将电路图案影像化的绘图数据而调制的激光来在工件表面上扫描，或者通过将DMD(Digital Micro mirror Device：数字微镜器件)等光空间调制元件基于绘图数据所形成的影像的像投影于工件表面上，从而在工件表面上描绘出电路图案。在采用直接曝光方式的情况下，因为以绘图数据的形式具有电路图案，而无需如掩模的制造/维持管理的步骤，故可容易应对所要求的各种图案。

即使采用直接曝光方式，因为也应使工件表面保持为平面状以对大量工件进行一致的曝光为前提来进行设计，因此，对构成绘图光学系统的透镜组的像面弯曲进行高度校正，以使电路图案的像成像在平面状的像面上，并且需要进行对焦调整，以使该像面与配载于工作台上的工件表面相一致。若能满足这些条件，则可在工件表面上形成高精细的电路图案的像，并可对大量工件实施曝光。

另外，即使采用该直接曝光方式，仍然应通过使工件密贴于具有平面状表面的工作台上，来使工件表面保持平面状，而且，必须保持该表面的清洁。如上所述的用以使工件密贴于工作台上的装置以及使工件表面保持清洁的装置，可以应用传统接触方式的曝光装置所使用的装置。例如，下述专利文献1～4公开了接触方式的曝光装置所使用的这些装置的实例。

首先，在本专利申请人所申请的日本公开特许公报的专利文献1中记载着这样的装置：在配载工件的工作台表面穿设有多个抽吸口，利用设置于工作台背面的真空吸附装置从这些抽吸口进行抽吸，从而使工件真空吸附于工作台表面上。然而，专利文献1所记载的构造，也必须以利用框使工件整体密贴于工作台表面的方式将工件推压向工作台，以使工件在没有反翘和皱纹的状态接触工作台，从而导致装置变大及必须依赖作业者手工作业的问题。而且，若未适当实施该作业，就会产生绘图于从绘图工作台浮起的部分上的电路图案变得模糊不清的问题，除此以外还产生如下问题：因为全部抽吸口在工作台内部连通，大气从未被工件阻塞的抽吸口侵入，从而无法提高全部抽吸口内部的真空度(气压无法下降)，无法得到充分的吸附力，在绘图过程中发生工件从绘图工作台脱落或位置偏离。

其次，仍然是本专利申请人所申请的日本公开特许公报的专利文献2，虽然未积极地公开如上所述的真空吸附装置，然而公开了通过使清洁滚轮接触掩模表面并进行滚动来除去该掩模表面附着的灰尘等的装置。然而，因为专利文献2并未公开除去工件表面附着的灰尘的结构，所以将其应用于工件时并无法明确了解应以何种机构在何时机实施除尘。

相对于此，专利文献3记载了如下情况：将基板从搬入部移动至曝光部时，通过在曝光部的前方使第一清洁头的黏着滚轮在基板上滚动，来除去基板表面附着的灰尘。然而，因为专利文献3也未针对如上所述的真空吸附装置积极进行公开，利用工作台(平台)的工件(基板)进行的吸附与清洁滚轮(黏着滚轮)的动作关系并不明确。因此，可产生未充分吸附的工件(基板)因为清洁滚轮(黏着滚轮)而从工作台(平台)剥离或位置偏离的问题。

同样地，专利文献4记载了如下情况：将基板从基板找位工作台移动至基板曝光工作台时，在基板曝光工作台的前方，通过使构成除尘装置的滚轮接触基板表面并滚动，来除去基板表面附着的灰尘。然而，专利文献4也未积极公开如上所述的真空吸附装置，所以利用工作台(第一支撑部)进行的工件(基板)的吸附与清洁滚轮的动作关系并不明确。因此，可产生未充分吸附的工件(基板)因为清洁滚轮而从工作台(第一支撑部)剥离或位置偏离的问题。

专利文献1：日本特开2001-209192号公报

专利文献2：日本特开2003-149791号公报

专利文献3：日本特开2007-25436号公报

专利文献4：日本专利第2847808号公报

发明内容

因此，本专利申请发明提供一种绘图装置，绘图装置是直接曝光方式的绘图装置，在除去工件表面的灰尘的同时，使工件伸展成平面状并密贴于工作台上，从而当清洁滚轮接触工作台上的工件表面时，不会因为清洁滚轮接触工件而导致工件在工作台上偏离或剥离。

为达成上述目的而提出的本发明的绘图装置，基于绘图数据而调制的光线对工件的表面描绘出与绘图数据对应的图案的直接曝光方式的绘图装置，其特征在于，该绘图装置具备：绘图光学装置，该绘图光学装置利用基于绘图数据而调制的光线来描绘像；绘图工作台，该绘图工作台在其表面形成有抽吸口；绘图工作台移动机构，该绘图工作台移动机构使所述绘图工作台在待机位置与利用所述绘图光学装置描绘像的位置之间往复移动；抽吸泵，该抽吸泵通过抽吸管而与所述绘图工作台的各抽吸口连通，通过该抽吸管从所述抽吸口进行抽吸；压力传感器，该压力传感器用以检测所述抽吸管内的真空度；清洁单元，该清洁单元在处于待机位置的所述绘图工作台上的所述工件的载置位置与所述绘图光学装置之间，使旋转轴面向与所述绘图工作台的表面平行且与该绘图工作台的移动方向正交的方向，旋转自如地保持着清洁滚轮，并且，使其在接触所述绘图工作台表面的位置与离开该绘图工作台的位置之间移动；以及控制部，该控制部只有在所述压力传感器检测到的真空度为特定阈值以上时，才对所述清洁单元使所述清洁滚轮朝接触所述绘图工作台的位置移动，在该状态下利用所述绘图工作台移动机构使所述绘图工作台从所述待机位置移动至利用所述绘图光学装置描绘像的位置。

在这样构成的绘图装置中，即使工件未能完全密贴于绘图工作台表面，只要为某种程度的密贴，抽吸管内的真空度就会提高，控制部在压力传感器所检测到的真空度超过特定阈值时，视为工件于某种程度密贴于绘图工作台表面，而对清洁单元移动清洁滚轮使其接触绘图工作台，在该状态下，使绘图工作台移动至利用绘图光学装置描绘像的位置。在其移动的途中，清洁滚轮在工件表面滚动，将附着于该工件表面的灰尘除去，同时将工件推压向绘图工作台表面，从而使该工件伸展而密贴于绘图工作台。其结果是，通过抽吸口将工件完全真空密贴。此时，如上面所述，因为可保证即使在清洁滚轮滚动前的状态，工件也以某种程度密贴于绘图工作台表面，所以不会发生由于清洁滚轮滚动而导致工件翻卷或工件偏离的情形。

本专利申请发明的绘图装置可进一步配设：机械手，该机械手与所述待机位置的所述绘图工作台的表面对置配置，并装卸自如地保持所述工件；以及离接机构，使所述机械手与所述绘图工作台，在所述工件接触所述绘图工作台表面的位置及所述工件离开所述绘图工作台的位置之间相对地移动。在该情况下，离接机构可以不移动机械手的位置而移动绘图工作台，来使两者相对地离开接触，还可以通过不移动绘图工作台的位置而移动机械手，来使两者相对地离开接触。无论何种情形，控制部都应只有在绘图工作台位于待机位置时，才通过控制离接机构而使所述机械手及所述绘图工作台相对地移动至使所述工件接触所述绘图工作台表面，而只有所述机械手放开所述工件时，才使所述抽吸泵动作。

此外，为了防止工件脱落，优选将绘图工作台表面保持水平，然而，例如绘图工作台表面为垂直立起时，也可达成本专利申请发明专利的目的。

在绘图工作台表面单独配设抽吸口也可达成本申请发明专利的目的，然而，本专利申请发明发挥最大机能在于，利用共同的抽吸泵对多个抽吸口进行抽吸的情况。因为在该情况下，对应由工件所阻塞的抽吸口数，压力传感器所检测的真空度的值逐渐变化。此外，有可能在相同绘图工作台上配载各种尺寸的工件时，如果绘图装置构成为，以一个抽吸泵来抽吸在绘图工作台的整个上表面分散配置的多个抽吸口时，将较小尺寸的工件配载于绘图工作台时会产生不被工件阻塞的抽吸口数过多而使真空度无法充分上升的情形。所以，在这种情形下，优选将多个抽吸口分成多组，通过各组专用的抽吸泵实施抽吸。此时，与某抽吸口的组连通的压力传感器所检测到的真空度表示为上限值，但与其他抽吸口的组连通的压力传感器所检测到的真空度表示为下限值，有可能产生在各压力传感器相互間是否满足条件的矛盾。此时，或设定为至少一个压力传感器所检测到的真空度为特定阈值以上时，对所述清洁单元移动所述清洁滚轮使其接触所述绘图工作台，或设定为预设数的压力传感器所检测到的真空度全部为特定阈值以上时，对所述清洁单元移动所述清洁滚轮使其接触所述绘图工作台的位置等即可。

依据如以上所述那样构成的本发明的绘图装置，因为在除去工件表面的灰尘的同时，使工件伸展成平面状而密贴于工作台上，故清洁滚轮接触工作台上的工件表面时，不会发生因为清洁滚轮接触工件而导致工件在工作台上偏离或剥离的情形。

附图说明

图1是本发明的实施方式的组合有绘图装置的曝光系统的俯视配置图。

图2是绘图装置的立体图。

图3是表示从箭头X方向观察到沿图2中II-II线的纵剖面时的状态的局部纵剖面图。

图4是表示从图3的箭头IV方向观察到清洁单元时的状态的侧视图。

图5是表示绘图装置的控制系的方框图。

图6是表示控制部所执行的控制处理内容的流程图。

标号说明

2：第一绘图装置

4：第二绘图装置

6：控制部

7：绘图发动机

10：基台

11：绘图光学装置

12：清洁单元

13：绘图工作台

15：机械手

15b：机械手上下移动驱动用气缸

15c：吸附部

16：轨道

17：滚珠丝杠

18：绘图工作台驱动马达

26：基板吸附垫

37：垂下板

40：滑动板

41：水平板

43：清洁单元上下移动驱动用气缸

48：轴承板

49：清洁滚轮

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

<系统结构>

本实施方式的绘图装置，单体时，利用直接曝光方式在基板表面描绘电路图案，从而依据该电路图案使涂布于基板的感光材料固化。因为在该基板表面的感光材料层之下形成有金属薄膜层，因此通过将曝光后的基板浸渍于光阻液中，从而可依据描绘后的电路图案在基板表面上形成电路配线。

这种基板几乎都在该基板的表背面分别形成电路配线，因此本实施方式的绘图装置实际上，通常会组装于对基板的两面分别实施曝光用的曝光系统中进行使用。图1是表示此种曝光系统的俯视配置的图，图中的2、4分别相当于本实施方式的绘图装置(对基板表面进行曝光用的第一绘图装置2，对该基板背面进行曝光用的第二绘图装置4)。

此外，图1中的1是由作业者或未图示的机器人将未描绘的基板(以下，称为工件“W”)进行载置的载物台(基板投入部)，被载置的基板由构成第一绘图装置2的后述机械手来拾取。此外，隔着第一绘图装置2而位于与基板投入部1相反侧的反转部3是这样的装置：将从构成第一绘图装置2的后述机械手所递来的基板反转，并交付给第二绘图装置4的后述机械手。此外，隔着第二绘图装置4而位于与反转部3相反侧的排出部5是供第二绘图装置4的后述机械手放置绘图完成后的工件W的工作台，作业者或未图示的机器人将放置于该排出部5上的曝光完成后的工件W取出，并将其移至下一工序。

此处，利用图1，简单地对各绘图装置2、4的概略构造进行说明(但，因为两绘图装置2、4具有完全相同的构造，以下，以第一绘图装置2为代表来进行说明)。首先，虽然图1中省略了图示，然而在连接基板投入部1及反转部3的直线上铺设线性滑动件(参照图3)，该线性滑动件用于垂吊上述机械手并使其移动。其次，在绘图前及绘图后，绘图工作台13会待机于基板投入部1及反转部3之间的该未图示的线性滑动件正下方。该绘图工作台13，利用之后叙述详细构造的真空吸附机构可将基板吸附于其表面，在载置着该基板的状态下，向与上述未图示的线性滑动件正交的方向移动，从而从机械手下方的位置进入绘图光学装置11之下。该绘图光学装置11具备：在路径中组装有公知的激光扫描光学系统和光空间调制元件的绘图光学系统；以及用于拍摄对位符号(Alignment Mark)的相机9、9，该对位符号描绘在由上述绘图工作台13搬运至绘图光学系统下方的工件W的四角。图1中，处于待机位置的绘图工作台13及绘图光学装置11之间配设有清洁单元12，该清洁单元12用于在由绘图工作台13将工件W移至绘图光学装置11下方时进行基板表面的除尘。

<绘图装置的机械结构>

以下，具体说明绘图装置2的各结构。首先，图2是从图1中表示其俯视配置的绘图系统只提取第一绘图装置2并表示其外观的立体图。而且，在该图2中也省略了机械手及线性滑动件的图示。接着，图3是从箭头X方向观察到沿图2中II-II线的剖面(通过绘图工作台13且分别平行于绘图工作台13的移动方向及垂直方向的剖面)的纵剖面图。然而，在该图3中，省略了绘图光学装置11的图示。此外，图4是表示从图3的箭头IV侧观察到清洁单元12的状态的图。然而，在该图4中，省略了对用以垂吊该清洁单元12的梁14(参照图3)、线性滑动件、机械手15、绘图工作台13的驱动机构以及基台(用以载置构成绘图装置2的各装置的框架(参照图2及图3))10的图示。此外，图2中，清洁单元12的侧面覆盖着罩盖，但在图3及图4中，为了描述清洁单元12的内部构造而省略了对该罩盖的图示。

如各图所示，在绘图装置2的基台10上，在与上述机械手15的移动方向(线性滑动件的铺设方向)相垂直的方向，配设着互相平行的一对轨道16。因为在绘图工作台13的下面，配设着与这些轨道卡合的车轮乃至滑块，该绘图工作台13可以沿着这些轨道16移动。并且，基台10上的这些轨道16之间，滚珠丝杠17平行于这些轨道16并被旋转自如地轴支撑，故该绘图工作台13由同样设置于基台10上的绘图工作台驱动马达18旋转驱动。此外，在绘图工作台13的下面，固定着与滚珠丝杠17进行螺合的滚珠螺母(ball nut)19。因此，当滚珠丝杠17在绘图工作台驱动马达18驱动下进行旋转时，绘图工作台13朝与滚珠丝杠17的旋转方向相对应的方向移动，并且能够在处于机械手15正下方的待机位置与处于绘图光学装置(绘图光学系)11正下方利用该绘图光学装置11进行绘图的位置之间进行移动。这些各轨道16、滚珠丝杠17、绘图工作台驱动马达18以及滚珠螺母19相当于绘图工作台移动机构。

该绘图工作台13呈具有与轨道16平行的侧面的扁平箱状形状，如图5所示，在构成绘图工作台13表面的顶板27中，贯通形成有多个抽吸口27a。这些抽吸口27a分别按照设定于顶板27表面的多个区段中的每个区段被分成组。该区段例如可以为同心圆环状的多个区段、或同心矩形状的多个区段。于是，如图5所示，筒状连通构件28与外部气密地固定在顶板27a的背面，该连通构件28形成有用以将属于各组的抽吸口27a彼此连通起来的槽28a。其次，各连通构件28的槽28a通过抽吸管V借助于分别专门配设的抽吸泵P1～P3来供给抽吸力，其内部的空气被抽吸。

分别连接这些连通构件28及抽吸泵P1～P3的抽吸管V，在其中途分支并与单独的压力传感器S1～S3相连接。这些压力传感器S1～S3是用以检测通过抽吸管V连通起来的槽28a及各抽吸口27a的内部空间的真空度的传感器。因此，当属于各组的抽吸口27a全部被阻塞时，利用压力传感器S1～S3所检测到的真空度上升至抽吸泵P1～P3的额定值，然而当一部分抽吸口27a未被阻塞时，所检测到的真空度会相应地下降，当全部抽吸口27a被敞开时，所检测到的真空度为几乎与大气压无差异的值。

此外，属于各组的全部抽吸口27a，可以通过一个连通构件28而相互连通，还可以通过多个连通构件28连通成数个小组且通过抽吸管V而相互连通起来。换言之，只要构成各组的全部抽吸口27a被一个抽吸泵P进行抽吸即可。

回到图3，上述梁14通过未图示的支柱而固定于基台10。其次，在该梁14的前端下面固定有线性滑动件用框架20，该线性滑动件用框架20使长轴朝向机械手15的移动方向(垂直于图3的纸面的方向)且具有朝下方敞开的箱状形状。在该框架20内部沿长度方向对置的壁面间，朝向垂直于图3的纸面的方向且互相平行地跨设有一对轨道21、21和通过未图示的伺服马达(机械手水平移动驱动用伺服马达8，参照图5)进行旋转驱动的滚珠丝杠23。与滚珠丝杠23螺合的扁平箱状的滑块24滑动自如地配载在这些轨道21、21上。这些轨道21、21、滚珠丝杠23、机械手水平移动驱动用伺服马达8以及滑块24构成线性滑动件。其次，在该滑块24的下面四角处，分别固定着用于垂吊机械手的支柱25。因此，机械手水平移动驱动用伺服马达8使滚珠丝杠23朝任意方向旋转，从而可使机械手15沿着线性滑动的铺设方向而朝任意方向移动。

其次，机械手15由如下部分构成：使朝向垂直方向且配设于机械手15中心的轴15a从其下面进退的电动气缸、油压气缸或这些的代替品的气缸(机械手上下移动驱动用气缸)15b；及固定于该轴15a前端的吸附部15c。该吸附部15c具有各侧面以平行于绘图工作台13的方式配置的扁平箱形形状，在其四角处配设着下方敞开的吸盘状的基板吸附垫26。这些基板吸附垫26由另行配设的抽吸泵P4(参照图5)供给抽吸力而其内部的空气被抽吸。因此，在各基板吸附垫26的开口被对象物(工件W)的平面所阻塞的状态下，使抽吸泵P4动作，则各基板吸附垫26可吸附并保持该对象物，通过气缸15b(相当于离接机构)的动作，可以抬起该对象物。并且，通过线性滑动件的动作，可以移动该对象物。

此外，在机械手15的侧面安装有沿着机械手15、框架20及梁14的形状弯折成倒L字状的第一位置检测片29。在该第一位置检测片29的前端安装有长条状的第二位置检测片30，该第二位置检测片30穿过与线性滑动的轨道21平行且形成于梁14的狭缝14a而插入到梁14内部空间。如上面所述，该第二位置检测片30当机械手15移动时与其一体地在上述狭缝内移动。其次，在梁14内部的如下所述的位置上安装有光传感器31，该位置是机械手15位于处在待机位置的绘图工作台13的正上方(与绘图工作台13的表面相对的位置)的位置时可检测第二位置检测片30的位置。因此，当该光传感器31检测到第二位置检测片30时机械手15的位置，即是处在待机位置的绘图工作台13的正上方。此外，在其它如与基板投入部1或排出部5相对应的位置以及与反转部3相对应的位置上也另行配设着这种光传感器。

接下来，详细说明清洁单元12的构造。即，该清洁单元12由如下部分构成：装设于梁14的下面的清洁单元位置校正用工作台32；垂下板37，该垂下板37分别与机械手15的移动方向及铅直方向平行地固定在构成该清洁单元位置校正用工作台32的水平移动板36的下面；一对轨道38，这一对轨道38沿铅直方向铺设在该垂下板37的绘图光学装置11侧的面上；二个为一组(计4个)的滑块39，它们分别相对于各轨道38以只可进行滑动的方式卡合；滑动板40，在其背面固定有各滑块39且滑动自如地平行于垂下板37进行配设；水平板41，其朝水平方向固定在该滑动板40的绘图光学装置11侧的面上；一对三角形补强肋42，它们分别固定于该水平板41的各侧缘及滑动板40之间以保持该水平板41的角度；清洁单元上下移动驱动用气缸43，其固定于水平移动板36的下表面，用以调整水平板41的高度；两片作动板44，它们固定于滑动板40的上缘，且分别配置为贯通在垂下板37开设的二处缺口37a；两个配重45，其固定于垂下板37在机械手15侧的面上各缺口37a的下方，且分别用以限制上述作动板44的下降；维护用工作台46，其配设于水平板的下面；一对轴承板48，它们以从构成该维护用工作台46的水平移动板47的两侧缘垂直地下垂的方式固定；清洁滚轮49及辅助滚轮50，它们使旋转轴朝向与绘图工作台13的表面平行且与该绘图工作台13的移动方向垂直的方向且旋转自如地保持在两轴承板之间；以及清洁滚轮驱动马达51，其经由支架51a固定在一方的轴承板48的外侧面上，且通过离合器51a与清洁滚轮49的旋转轴直接连接。

清洁单元位置校正用工作台32由如下部分构成：朝水平方向固定在梁14下面的基板33；上述的水平移动板36；相互平行地固定于该水平移动板36上表面上的一对轨道35、35；两个为一组(计4个)的滑块34，使上述各轨道35、35以平行于机械手15的移动方向(亦即，平行于线性滑动的轨道21)且在该方向上只可滑动的方式垂吊在上述基板33的下表面；以及公知的制动器52，其将水平移动板36相对于基板33的相对位置保持于任意位置。该清洁单元位置校正用工作台32用以调整并保持清洁滚轮49相对于绘图工作台13的相对位置(在清洁滚轮49轴向上的相对位置)。

此外，相对于配设在垂下板37的一对轨道38、38，各滑块39进行滑动时，固定于该滑块39的滑动板40、固定于该滑动板40的水平板41等构件，一体地上下移动。固定于水平移动板36下面的清洁单元上下移动驱动用气缸43，与机械手上下移动驱动用气缸15b同样地，使朝向铅直方向且在其中心配设的轴43a从其下面进退的电动气缸、油压气缸或这些的代替品，其轴43a的前端卡合于水平板41中。因此，通过该清洁单元上下移动驱动用气缸43将轴43a送出，可使与滑动板40成一体的清洁滚轮49等构件整体下降，相反的，通过使轴43a缩回，可使这些构件整体上升。

通过以上说明的清洁单元上下移动驱动用气缸43的动作，固定于滑动板40上缘的各作动板44，也在形成于垂下板37上的缺口37a内进行上升及下降。固定于垂下板37的各配重45是，利用与滑动板40一体上下移动的各构件整体重量相等的弹力使活塞45a突出的油压阻尼器、气压阻尼器等。因此，该配重45被固定为，使活塞朝铅直方向朝上突出来而利用前端使各作动板44朝上突起，因此作用于滑动板41及作动板44的重量与该弹力平衡。因此，即使清洁单元上下移动驱动用气缸43不作动，也可保持清洁滚轮49的高度，清洁单元上下移动驱动用气缸43只要少许力即可使轴43a抽回，从而可使清洁滚轮49上升。此外，借助于配重45的内部构造，利用外部的力使活塞45a进退时，产生抵抗，故即使清洁单元上下移动驱动用气缸43送出轴43a，也不会发生清洁滚轮49一举下降而冲突绘图工作台13的情形。

此外，维护用工作台46，具有与清洁单元位置校正用工作台32大致相同的结构。但是，维护用工作台46所具备的锁销53，不同于清洁单元位置校正用工作台32所具备的制动器52，不具有将水平移动板47相对于基板的相对位置保持于任意位置的机能，而只能将水平移动板47固定于移动至图4最右侧的位置(使用状态)。因为，该维护用工作台46是用于拉出水平移动板47以下的构件的机构，以便维护各滚轮49、50。

通过上述清洁单元上下移动驱动用气缸43压下水平板41，从而该清洁滚轮49在处于待机位置的绘图工作台13表面的工件W的载置位置与绘图光学装置11之间下降，并接触该绘图工作台13的表面。因为该清洁滚轮49的外周面具有黏着性，在该状态下与绘图工作台13的移动同步，由清洁滚轮驱动马达51进行旋转驱动时，通过在固定于绘图工作台13上的工件W表面滚动，使附着于该工件W表面的灰尘附着于该清洁滚轮49的外周面。

此外，辅助滚轮50是具有黏着性高于清洁滚轮49表面的外周面的滚轮。因此，通过该辅助滚轮50接触清洁滚轮49，附着于清洁滚轮49外周面的灰尘可转移至辅助滚轮50外周面。该辅助滚轮50例如可以具有在滚轮体的外周面卷附着黏着面朝向外侧的黏着带的构造。此时，在利用上述维护用工作台46进行维护时，也包含从辅助滚轮50表面上剥离一圈使用过的黏着带的作业。

<绘图装置的控制系结构>

接下来，针对用以控制具有如以上机械结构的绘图装置的各部动作的控制系统结构进行说明。如图5所示，上述各压力传感器S1～S3、各抽吸泵P1～P4、绘图工作台驱动马达18、清洁单元上下移动驱动用气缸43、机械手上下移动驱动用气缸15b、机械手水平移动驱动用伺服马达8以及清洁滚轮驱动马达51，与控制部6相连接，该控制部由依据序列器或程序而动作的微型电脑或各种驱动电路所构成。其次，各压力传感器S1～S3，将所检测到的真空度输入至控制部6，控制部6通过依据图6的流程图进行处理，对各抽吸泵P1～P4、绘图工作台驱动马达18、清洁单元上下移动驱动用气缸43、机械手上下移动驱动用气缸15b、机械手水平移动驱动用伺服马达8以及清洁滚轮驱动马达51供给驱动电流及控制信号，来控制它们的动作。

此外，该控制部6进一步与构成绘图光学装置11的绘图发动机7连接，对该绘图发动机7发出由相机9进行的摄影准备的完成及绘图的准备完成的通知。该绘图发动机7利用相机9所拍摄的工件表面的图像检测对位符号的位置，依据所检测到的对位符号位置，对另行输入的电路图案的绘图数据进行对位调整(图像的位置及方向的调整)，作为绘图光学系使用组合有激光扫描光学系统的器件时，依据对位调整后的绘图数据，实施来自未图示的光源的绘图光的ON/OFF调制，并且使未图示的构成绘图光学系的多角镜旋转。此外，使用在绘图光学系统组合有DMD等光空间调制元件的器件时，从未图示的光源射出绘图光，并依据对位调整后的绘图数据，驱动该光空间调制元件。由此，绘图发动机7，对通过绘图光学系统下方的绘图工作台13上的工件W表面，描绘电路图案。

以下，参照图6的流程图，详细说明由该控制部6进行控制的内容。该图6的流程图所示的控制，利用未图示的输入装置将在前段载物台(第一绘图装置2时为基板投入部1，第二绘图装置4时为反转部3)进行的作业完成输入给控制部6，从而开始。开始后，在最初的S01，控制部6通过控制机械手上下移动驱动用气缸15b，使机械手15移动至前段载物台上，使驱动机械手上下移动驱动用气缸15b及抽吸泵P4动作，从而将放置于前段载物台上的工件W吸附，再次控制机械手上下移动驱动用气缸15b及机械手水平移动驱动用伺服马达8，来将吸附着工件W的机械手15移动至绘图工作台13上。

在接下来的S02中，控制部6通过控制机械手上下移动驱动用气缸15b来使机械手15下降，而载置于绘图工作台13上。

在接下来的S03中，控制部6驱动各抽吸泵P1～P3，从形成于绘图工作台13的顶板27的多个抽吸口27a分别进行抽吸，尝试吸附工件W。同时，控制部6使抽吸泵P4的动作停止，解除各基板吸附垫26利用机械手15进行的工件W吸附。

在接下来的S04中，控制部6通过控制机械手上下移动驱动用气缸15b而使吸附部15c上升。

在接下来的S05中，控制部6监视各压力传感器S1～S3所输入的真空度的检测值，等待全部压力传感器S1～S3所检测到的真空度成为500mmHg以上。于是，当全部压力传感器S1～S3所检测到的真空度为500mmHg以上时，控制部6进入S06进行处理。此外，工件W的面积小于绘图工作台13上表面的面积时，有时会有属于某组的全部抽吸口27a无法被工件W阻塞的情形，在该情况下，对应该组的压力传感器S所检测到的真空度会无法上升至500mmHg以上。因此，也可放宽S05中的条件，例如将全部压力传感器S中的特定个数的压力传感器S所检测到的真空度为500mmHg以上时视为满足S05的条件。此外，开始S05的检查后，经过特定时间也无法满足S05的条件时，控制部6判断成因为工件W产生皱纹等理由而导致工件W未被正常载置，并发出警报。在该情况下，发现警报的作业者，以手工作业，实施使工件W延展或从上方推压等矫正。

在S06中，控制部6通过控制清洁单元上下移动驱动用气缸43，使清洁单元12中滑动板40以下的构件下降，而使清洁滚轮49接触绘图工作台13的表面上。

接着，控制部6在接下来的S07中，对绘图发动机7发出摄影准备完成的通知，在接下来的S08中，通过控制清洁滚轮驱动马达51使清洁滚轮49同步旋转的同时，通过控制绘图工作台驱动马达18使绘图工作台13朝向扫描光学装置11侧的端点前进。于是，收到S07中通知的绘图发动机7，驱动相机9，取得拍摄的动画，进行对位符号位置的检测。其次，在绘图工作台13的移动途中，绘图发动机7从相机9所输入的动画中检测到各对位符号时，算出这些位置(即，工件W的位置及倾斜度)，实施绘图数据的对位。此外，通过绘图工作台13的移动，清洁滚轮49从清洁单元上下移动驱动用气缸43受到一定的推压并在工件W整个表面滚动，所以可除去附着于该工件W表面的灰尘，同时，使工件W整个背面密贴于绘图工作台13上表面，从而由各抽吸口27a的真空吸附变得完全(即，通过各检测器S1～S3所检测到的真空度达到各抽吸泵P1～P3的额定值以上)。

在绘图工作台13的移动完成后所执行的S09中，控制部6通过控制清洁单元上下移动驱动用气缸43而使清洁单元12的滑动板40以下的构件上升，并使清洁滚轮49离开绘图工作台13。

接着，控制部6，在接下来的S10中，对绘图发动机7发出绘图准备完成的通知，在接下来的S11中，通过控制绘图工作台驱动马达18使绘图工作台13朝机械手15侧的端点后退。于是，接收到S10中通知的绘图发动机7，使未图示的绘图光学系统中的多角镜进行旋转，而且，与绘图工作台13的移动同步，依据已对位的绘图数据实施激光的ON/OFF调制(使用组合有激光扫描光学系统的绘图光学系统时)。或者，在绘图工作台13移动前，通过驱动光空间调制元件(使用组合有光空间调制元件的绘图光学系时)，在工件W上绘图电路图案后，移动绘图工作台13。由此，在工件W上描绘了电路图案。

在绘图工作台13的移动完成后所执行的S12中，控制部6通过控制机械手上下移动驱动用气缸15b使吸附部15c下降，从而使各基板吸附垫26接触工件W表面。同时，控制部6通过驱动抽吸泵P4将工件W吸附于各基板吸附垫26。

在接下来的S13中，控制部6，通过使各抽吸泵P1～P3的动作停止，使工件W可脱离绘图工作台13，同时，通过控制机械手上下移动驱动用气缸15b及机械手水平移动驱动用伺服马达8，使吸附着工件W的机械手15移至下一段载物台(第一绘图装置2时为反转部3，第二绘图装置4时为排出部5)。此后，将工件W载置于下一段的载物台时，机械手W解除工件W的吸附，回到绘图工作台13上的始点。

<实施方式的效果>

按如上所述那样构成及动作的本实施方式的绘图装置，在绘图工作台13的顶板27形成的多个抽吸口27a，按照于绘图工作台13上表面所分隔开的各区段而被分成组，各组由专用的抽吸泵P进行抽吸。因此，即使全部抽吸口27a未同时被工件W所阻塞，各个组只要属于该相同组的全部抽吸口27a被阻塞，利用与属于该组的抽吸口27a连通的泵P的额定真空度(例如650mmHg)，就可使工件W真空吸附于绘图工作台13的上表面。

此外，属于相同组的抽吸口27a当中的某程度数的抽吸口27a被阻塞时，即使全部抽吸口27a未都被阻塞，也能以某种程度的真空度实施真空吸附。此情形例如为，工件W发生皱纹、或成波浪状。所以，对本实施方式来说，在S05中，各组的抽吸口27a所承受到的真空度皆为500mmHg以上时(如上面所述，可以放宽该条件)，虽然并不完全，然而，也应视为工件W真空吸附于绘图工作台13，而使机械手15的吸附部15c离开工件W(上升)，同时，使清洁滚轮49下降并使其接触绘图工作台13的表面。在该状态下，因为绘图工作台13进行水平方向移动，相对地，清洁滚轮49在工件W表面上滚动。由此，附着于工件W表面的灰尘，可以由清洁滚轮49的外周面的黏着质除去，同时，工件W的皱纹或弯曲伸展而密贴于绘图工作台13的表面。由此，能以各抽吸泵的额定真空度来实现完全真空吸附。

此时，如上面所述，因为各抽吸口所承受到的真空度为500mmHg以上，所以可保证工件以某种程度的强度吸附于绘图工作台13，通过清洁滚轮49的滚动而不会发生工件W翻卷，也不会发生绘图工作台13上的位置或方向偏离。

Claims (4)

1.一种绘图装置，该绘图装置是利用基于绘图数据而调制的光线对工件的表面描绘出与绘图数据对应的图案的直接曝光方式的绘图装置，其特征在于，

该绘图装置具备：

绘图光学装置，该绘图光学装置利用基于绘图数据而调制的光线来描绘像；

绘图工作台，该绘图工作台在其表面形成有抽吸口；

绘图工作台移动机构，该绘图工作台移动机构使所述绘图工作台在待机位置与利用所述绘图光学装置描绘像的位置之间往复移动；

抽吸泵，该抽吸泵通过抽吸管而与所述绘图工作台的各抽吸口连通，通过该抽吸管从所述抽吸口进行抽吸；

压力传感器，该压力传感器用以检测所述抽吸管内的真空度；

清洁单元，该清洁单元在处于待机位置的所述绘图工作台上的所述工件的载置位置与所述绘图光学装置之间，使旋转轴面向与所述绘图工作台的表面平行且与该绘图工作台的移动方向正交的方向，旋转自如地保持着清洁滚轮，并且，使所述清洁滚轮在接触所述绘图工作台表面的位置与离开该绘图工作台的位置之间移动；以及

控制部，该控制部只有在所述压力传感器检测到的真空度为特定阈值以上时，才对所述清洁单元使所述清洁滚轮朝接触所述绘图工作台的位置移动，在该状态下利用所述绘图工作台移动机构使所述绘图工作台从所述待机位置移动至利用所述绘图光学装置描绘像的位置。

2.如权利要求1所述的绘图装置，其特征在于，

该绘图装置还具备：

机械手，该机械手与所述待机位置的所述绘图工作台的表面对置配置，并装卸自如地保持所述工件；以及

离接机构，该离接机构使所述机械手与所述绘图工作台，在所述工件接触所述绘图工作台表面的位置及所述工件离开所述绘图工作台的位置之间相对地移动，并且

所述控制部只有在所述绘图工作台处于所述待机位置时，才通过控制所述离接机构，让所述机械手及所述绘图工作台相对移动至使所述工件接触所述绘图工作台表面的位置，只有在所述机械手放开所述工件时才使所述抽吸泵动作。

3.如权利要求2所述的绘图装置，其特征在于，

所述离接机构使所述机械手相对于处在所述待机位置的绘图工作台表面接近或离开。

4.如权利要求1所述的绘图装置，其特征在于，

在所述绘图工作台表面形成有多个抽吸口，这些多个抽吸口被分成多组，针对每一组，属于相同组的抽吸口经由该组专用的抽吸泵所抽吸，

所述压力传感器分别配设于与各抽吸泵连通的每一抽吸管。

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