CN101281025A

CN101281025A - 偏心检查装置及偏心调节装置

Info

Publication number: CN101281025A
Application number: CNA2008100963901A
Authority: CN
Inventors: 桥本安史; 高桥利夫
Original assignee: Olympus Corp; Olympus Imaging Corp
Current assignee: Olympus Corp; Olympus Imaging Corp
Priority date: 2007-04-04
Filing date: 2008-04-03
Publication date: 2008-10-08
Anticipated expiration: 2028-04-03
Also published as: JP2008256900A; JP5084327B2; CN101281025B

Abstract

本发明提供一种用于评价光学系统的轴外光束的成像性能并调节光学元件的偏心的偏心调节装置。其具有：保持至少包含一个以上的相对于框(4)不固定的透镜(3)的被调节光学系统(15)的保持部(6)；隔着保持部(6)配置在一侧，出射平行光束的光源部(10)；隔着保持部(6)配置在一侧，检测来自被调节光学系统(15)的光的检测部件(1)；配置在光源部(10)和保持部(6)之间的基板(9)，基板(9)具有等间隔地位于同心圆的各个圆周上的4个以上的偶数个开口，该偏心调节装置还具有：在从基板(9)到保持部的光路中，将通过开口(13)的平行光束转换成轴外光束的光束转换单元；根据强度分布计算被调节光学系统(15)内的透镜(3)的偏心量的运算单元(12)；根据运算单元(12)计算出的偏心量调节框(4)和透镜(3)的相对位置关系的位置调节单元(14)。

Description

偏心检查装置及偏心调节装置

技术领域

本发明涉及通过评价光学系统的轴外光束的成像性能，检查光学系统的偏心的偏心检查装置及用于调节偏心的偏心调节装置。

背景技术

光学系统可由多个光学元件构成。这样的光学系统中，例如，若以相对于光学系统的光轴在垂直方向偏离的状态组装光学元件，则由光学元件的偏心产生像差(以下称为“偏心像差”)，结果，导致光学性能降低。尤其在数码照相机和手机用照相机的照相机透镜中，非球面化、小直径化、高倍率化正在不断发展。从而，对其光学性能的要求日益严格。因此，仅仅通过提高传统的透镜单体的加工精度已难以满足期望的光学性能。因此，制造工序中，多个透镜构成的光学系统的偏心检查及偏心调节成为必须。

但是，众所周知，由于该偏心像差，即使是轴上光束也发生会聚的点像拉成彗星的现象，即发生轴上彗星像差。轴上彗星像差成为使光学系统的成像性能恶化的原因。因此，如专利文献1所公开的那样，已知有通过由会聚的点像检测轴上彗星像差的像差量来调节光学元件的偏心的装置。

专利文献1的透镜系统的光轴调节装置如图11所示。该装置中，在第一透镜系统36、第二透镜系统39的光轴成铅直方向的配置下，固定第一透镜系统36。并且，通过使第二透镜系统39微动，使第一透镜系统36、第二透镜系统39的光轴一致。

该装置中，为了进行调节，具备部件30～35、部件43、图像处理部、部件46、部件47、40。部件30～35是将中心光线及与该中心光线平行的3束以上的环带光线照射到第一透镜系统36、第二透镜系统39上的部件。

部件43是接收透过第一透镜系统36、第二透镜系统39的中心光线及环带光线的部件。图像处理部是生成与由中心光线及环带光线分别形成的像对应的信号并根据信号求出各像的照度的部件。部件46是由照度的分布求出环带光线的像及中心光线的像的中心坐标，根据由其差获得的轴上彗星像差的量求出微调心补正量的部件。部件47、40是根据微调心补正量使第二透镜系统39向与光轴垂直的方向微动的部件。

专利文献1：日本特许第3208902号公报

但是，根据不同的光学系统，与轴上光束相比，有时对轴外光束产生更大的偏心像差。这样的光学系统与传统一样，仅根据轴上光束的像差量调节光学元件的偏心。此时，即使调节光学元件的偏心使该偏心像差最小，也不能说必定将整个光学系统调节到了最佳状态。因此，可能成为各轴外光束的焦点位置不同的具有所谓单侧模糊的光学系统。这样，采用传统的调节装置(例如专利文献1记载的透镜系统调节装置)的评价/调节方法中，只能评价轴上光束产生的偏心像差。因此，传统的评价/调节方法，难以针对轴外光束调节光学系统，以满足期望的成像性能。

发明内容

本发明正是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供一种通过评价光学系统的轴外光束的成像性能，检查光学系统内的光学元件的偏心的偏心检查装置及用于调节光学元件的偏心的偏心调节装置。

为了达到上述目的，本发明的偏心检查装置，其特征在于，该偏心检查装置具有：保持被检光学系统的保持部；隔着上述保持部配置在一侧，出射平行光束的光源部；隔着上述保持部配置在一侧，检测来自上述被检光学系统的光的检测单元；以及配置在上述光源部和上述保持部之间的基板，上述基板具有偶数个开口，4个以上的上述开口分别等间隔地位于一个圆的圆周上，或者，4个以上的上述开口分别等间隔地位于二个以上的同心圆的各个圆周上，上述偏心检查装置还具有：在从上述基板到上述保持部的光路中，将通过上述开口的平行光束转换成轴外光束的光束转换单元。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述光束转换单元由反射镜组成，上述反射镜配置成使光束沿朝向上述光路的光轴的方向出射。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述反射镜配置成可自由变更上述光束的出射角度。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述光束转换单元由棱镜组成，上述棱镜的一个侧面为从中心向周边其厚度变化的倾斜面。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述棱镜的一个端面为凹状。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述棱镜的一个端面为凸状。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，在上述棱镜和上述保持部之间具有反射镜。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述棱镜配置成可在上述被检光学系统的光轴方向上自由移动。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述光束转换单元由透镜组成。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述透镜配置成可在上述被检光学系统的光轴方向上自由移动。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述光束转换单元由多个透镜组成，一个以上的透镜配置成可在上述被检光学系统的光轴方向上自由移动。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述多个透镜配置成可一体地在上述被检光学系统的光轴方向上自由移动。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述基板的开口通过光刻法或铬蒸镀法形成。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，还具有显示由上述检测单元检测到的强度分布的显示单元。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，还具有根据由上述检测单元检测到的轴外光束的强度分布计算上述光学元件的偏心量的运算单元。

另外，本发明的偏心检查装置的特征在于，上述运算单元根据透过上述被检光学系统的四个不同象限的光束的强度分布或者光束的形状，计算上述被检光学系统的偏心量。

本发明的光学元件的偏心调节装置，其特征在于，该偏心调节装置具有：保持至少包含一个以上的相对于框不固定的光学元件的被调节光学系统的保持部；隔着上述保持部配置在一侧，出射平行光束的光源部；隔着上述保持部配置在一侧，检测来自上述被调节光学系统的光的检测单元；以及配置在上述光源部和上述保持部之间的基板，上述基板具有偶数个开口，4个以上的上述开口分别等间隔地位于一个圆的圆周上，或者，4个以上的上述开口分别等间隔地位于二个以上的同心圆的各个圆周上，上述偏心调节装置还具有：在从上述基板到上述保持部的光路中，将通过上述开口的平行光束转换成轴外光束的光束转换单元；根据上述强度分布计算上述被调节光学系统内的光学元件的偏心量的运算单元；根据上述运算单元计算出的偏心量来调节上述框和上述光学元件的相对位置关系的位置调节单元。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，上述光束转换单元由反射镜组成，上述反射镜配置成使光束沿朝向上述光路的光轴的方向出射。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，上述反射镜配置成可自由变更上述光束的出射角度。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，上述光束转换单元由棱镜组成，上述棱镜的一个侧面为从中心向周边其厚度变化的倾斜面。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，上述棱镜的一个端面为凹状。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，上述棱镜的一个端面为凸状。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，在上述棱镜和上述保持部之间具有反射镜。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，上述棱镜配置成可在上述被调节光学系统的光轴方向上自由移动。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，上述光束转换单元由透镜组成。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，上述透镜配置成可在上述被调节光学系统的光轴方向上自由移动。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，上述光束转换单元由多个透镜组成，一个以上的透镜配置成可在上述被调节光学系统的光轴方向上自由移动。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，上述多个透镜配置成可一体地在上述被调节光学系统的光轴方向上自由移动。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，上述基板的开口通过光刻法或铬蒸镀法形成。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，上述位置调节装置使上述相对于框不固定的光学元件在与光轴大致垂直的方向上移动来调节偏心。

另外，本发明的偏心调节装置的特征在于，上述运算单元根据透过上述被调节光学系统的四个不同象限的光束的强度分布或者光束的形状，计算上述被调节光学系统的偏心量。

根据本发明的偏心检查装置和偏心调节装置，通过以简单的结构检测相对于轴外光束的光学系统的偏心像差，即使对于不仅对轴上的偏心像差而且对轴外的偏心像差的要求精度也严格的光学系统(例如非球面化、小型化、高倍率化的光学系统)，也可高精度进行偏心检查和偏心调节。

另外，根据光束转换单元的结构，可配置成自由变更轴外光束的出射角度和入射位置，因此，例如即使对象产品的产品周期短，也可在制造现场按照对象产品容易地进行装置的最佳设定。同样，也可以容易地应对多品种少量的生产。

附图说明

图1是本发明的实施例1的概略结构图。

图2是实施例1的光学元件的偏心调节装置中的基板9的说明图。

图3是表示拍摄到的像点的强度分布的曲线图(有单侧模糊的状态)。

图4是表示拍摄到的像点的强度分布的曲线图(无单侧模糊的状态)。

图5是将拍摄到的像点二值化处理后的光束的形状(有单侧模糊的状态)。

图6是将拍摄到的像点二值化处理后的光束的形状(无单侧模糊的状态)。

图7表示本发明实施例1的变形例。

图8表示本发明实施例1的变形例。

图9是本发明的实施例2的概略结构图。

图10表示本发明实施例2的变形例。

图11是表示传统的透镜系统的光轴调节装置的说明图。

图12是表示基板9上的开口的另一个结构例的平面图。

图13是表示基板9上的开口的另一个结构例的平面图。

图14是表示基板9上的开口的另一个结构例的平面图。

符号说明

1CCD照相机

2爪

3透镜

4框

5透镜

6保持部

7工作台

8，21反射镜

9基板

10光源部

11进给机构

12个人计算机

13开口

14臂

15被调节光学系统

16，16’，22棱镜

17，18，19透镜

20变焦透镜

23CRT

具体实施方式

实施例1

接着，根据图1到图8，说明本发明的一个实施例。

图1是实施例1的装置的概略结构图。图2是本实施例1的装置中的基板9的说明图。图3是表示拍摄到的像点的强度分布的曲线图(有单侧模糊的状态)。图4是表示拍摄到的像点的强度分布的曲线图(无单侧模糊的状态)。图5是将拍摄到的像点二值化处理后的光束的形状(有单侧模糊的状态)。图6是将拍摄到的像点二值化处理后的光束的形状(无单侧模糊的状态)。图7及图8表示本发明实施例1的变形例。

实施例1的装置既是偏心检查装置又是偏心调节装置。首先，说明偏心检查装置。偏心检查装置具有：出射平行光束的光源部10；具有多个开口13的基板9；作为光束转换部的反射镜8；作为检测单元的CCD照相机1；作为保持部件的保持部6及爪2；作为显示单元的CRT23。

光源部10具有光源和光学系统。光源可以是出射平行光的光源，也可以是出射非平行光的光源。光学系统用于获得规定光束直径的平行光束。从光源出射的光是平行光时，光学系统起改变光束直径的作用。从光源出射的光是非平行光时，光学系统起将非平行光转换成平行光的作用和改变光束直径的作用。

基板9配置在光源部10的光出射侧、即光源部10和保持部6之间。基板9通过粘接剂或扣环等固定在未图示的框上。未图示的框经由其他部件固定保持到例如工作台7即可。

并且，在基板9上，在一个圆周上等间隔地排列有4个以上的偶数个开口13。或者，在二个以上的同心圆的圆周上，对各个圆周等间隔地排列有4个以上的偶数个开口13。

在图2所示的基板9上，在一个圆周上等间隔地配置有4个开口13。各个开口13通过光刻法或铬蒸镀法形成。这样，以比通常的机械加工更高的精度实现了规定的开口形状。

来自光源部10的平行光束入射到基板9。入射到基板9的平行光束中的一部分平行光束通过开口13。另一方面，其他部分的平行光束被开口以外的部分遮挡。结果，从基板9出射与开口数对应的平行光束。此外，各个平行光束成为空间上分离的光束。

反射镜8配置在基板9的光出射侧、即基板9和保持部6之间。反射镜8用于生成轴外光束。本实施例中，该反射镜8是平面反射镜。反射镜8配置成相对于规定的轴倾斜。即，从规定的轴到反射镜面的间隔在基板9侧端部和保持部6侧端部进行比较时，基板9侧端部的间隔比保持部6侧端部的间隔宽。这里，规定的轴是指从图1的光源部10到CCD照相机1的光路的光轴、通过保持部的中心的中心轴、或者被调节光学系统15的光轴等。

如上所述，从基板9出射4束空间上独立的平行光束。因此，本实施例中，反射镜8配置4个。并且，各个反射镜配置成相对于规定的轴倾斜。另外，也可以使4个反射镜一体化而由一个部件构成。

从基板9出射的平行光束由反射镜8反射。此时，反射镜8配置成相对于规定的轴倾斜。因此，入射到反射镜8的平行光束朝向规定的轴反射。结果，由反射镜8反射的平行光束成为相对于被调节光学系统15的光轴倾斜入射的光束即轴外光束。

另外，反射镜8也可以形成为可通过旋转机构旋转。这样，相对于光轴的角度可进行变更。因此，可在每次变更被调节光学系统15时变更反射镜8的角度。另外，反射镜8经由其他部件固定保持到例如工作台7即可。另外，反射镜8也可以是可更换的。

此外，本实施例中，通过一次反射来改变平行光束的方向，但是也可以通过多次反射。例如，可以用第一反射镜反射平行光束，使其从规定的轴离开。然后，用第二反射镜反射平行光束，使其朝向规定的轴。

另外，反射镜8的反射面不仅可以是平面也可以是曲面。此时，反射镜8反射的光束成为非平行光束。想使非平行光束恢复成平行光束时，如上所述采用第二反射镜并使其反射面是曲面即可。

作为光学系统的被调节光学系统15，由不固定的光学元件即透镜3、另一个透镜5以及框4构成。该被调节光学系统15安装在保持部6上。保持部6配置在工作台7的上部，按照每个成为调节对象的被调节光学系统15进行准备。被调节光学系统15及CCD照相机1配置在光学系统的光轴上。如上所述，反射镜8反射的光束作为轴外光束入射到该被调节光学系统15。

透镜5预先固定在框4的一端。透镜3可移动地载置于框4的另一端。另外，在透镜3和框4的另一端之间，预先填充紫外线固化型粘接剂。

入射到被调节光学系统15的轴外光束通过被调节光学系统15而朝向CCD照相机1。CCD照相机1配置在接收透过被调节光学系统15的光的位置。CCD照相机1拍摄由各轴外光束形成的像。该像表示轴外光束的强度分布。CCD照相机1拍摄得到的图像显示在CRT23上。

使用者可通过观察显示于CRT23的轴外光束的强度分布的像，检查被调节光学系统15中是否存在偏心。

接着，说明偏心调节装置。偏心调节装置除了偏心检查装置的结构外，还具有作为位置调节单元的进给机构11和作为运算单元的个人计算机12。

进给机构11设置成用于使被调节光学系统15内的光学元件在相对于光轴大致垂直的方向上移动。进给机构11设置在工作台7的上表面。进给机构11也可由市售的x-y载物台构成。

臂14设置在进给机构11的上部。爪2以不晃动的状态嵌入臂14的前端。爪2从上方保持透镜3。从而，透镜3可经由进给机构11在相对于光学系统的光轴大致垂直的2个方向(在图1中是相对于纸面大致垂直的方向和相对于纸面左右大致平行的方向)上移动。另外，爪2与保持部6同样，按照每个被调节光学系统15进行准备。

各个光束的像由CCD照相机1拍摄，在作为运算单元的个人计算机12的显示器(CRT23)上显示。个人计算机12对拍摄到的光束的图像，由个人计算机12内的运算处理部进行图像处理。通过该图像处理，计算被调节光学系统15的偏心调节所需要的信息。

接着，说明采用这样构成的本实施例的偏心调节装置的光学元件的偏心调节。

调节之前，先准备与被调节光学系统15对应的保持部6及爪2，安装到偏心调节装置上。此外，如上所述，在透镜3和框4之间预先填充紫外线固化型粘接剂。

从光源部10出射的平行光束照射其表面设置成垂直于光轴的基板9，透过基板9的开口13的光束由反射镜8反射。反射后的光束向被调节光学系统15的轴外部入射。反射后的光束的角度因每个被调节光学系统15而不同，预先按照被调节光学系统15来设定反射镜8的角度。

通过被调节光学系统15的光束由CCD照相机1拍摄。CCD照相机1拍摄到的光束的像如图1所示，显示在个人计算机12的显示器(CRT23)上。

此时，个人计算机12对CCD照相机1拍摄到的图像，由个人计算机12内的运算处理部进行图像处理。结果，可获得光束的像在各个象限的强度分布。

图3是表示摄像装置拍摄到的光束的像在各个象限的强度分布的曲线图。

点对称的象限(第一象限和第三象限)中的强度分布的峰值L1和L3不同，成为具有所谓单侧模糊的状态。另外，第二象限和第四象限中的强度分布的峰值L2和L4一致，成为无单侧模糊的状态。

移动进给机构11进行透镜3的偏心调节，使各个象限中的强度分布的L1、L2、L3、L4的差最小。此时，使透镜3向与峰值L1、L3不同的第一象限和第三象限对应的方向移动，若L1和L3相等，则可调节成无单侧模糊的状态。

图4是进行透镜3的偏心调节后的摄像装置拍摄到的像。成为对称的象限中强度分布的峰值位置的值L1、L2、L3、L4相等的状态、即无单侧模糊的状态。透镜3的偏心调节结束后，通过未图示的紫外线照射单元，向上述紫外线固化型粘接剂照射紫外线，将透镜3固定在框4上。

另外，单侧模糊的检测方法即使采用与上述方法不同的如下方法，也可获得同样的效果。

具体地说，是对摄像装置拍摄到的像进行二值化处理，由二值化处理后的图像计算光束的外径的方法。

图5是表示摄像装置拍摄到的像即光束在各个象限的形状的曲线图。

点对称的象限(第一象限和第三象限)中，光束的形状D1和D3的直径不同，成为具有所谓单侧模糊的状态。另外，第二象限和第四象限的形状一致，成为无单侧模糊的状态。

移动进给机构11进行透镜3的偏心调节，使各个象限的D1、D2、D3、D4中光束形状的差最小。此时，使透镜3向与光束的形状D1、D3不同的第一象限和第三象限对应的方向移动，若D1和D3相等，则可调节成无单侧模糊的状态。

图6是进行透镜3的偏心调节后的摄像装置拍摄到的像。成为点对称的象限中的光束的形状D1、D2、D3、D4相等的状态、即无单侧模糊的状态。

另外，通过旋转基板9和构成光束转换单元的反射镜8，可进行适当位置的单侧模糊检测。

另外，上述实施例的用于弯曲光束而生成轴外光束的部件不限于反射镜8，例如，也可以是如图7所示采用棱镜16或棱镜16’的结构。

此时，通过由未图示的移动机构使棱镜16或棱镜16’朝被调节光学系统15的光轴方向移动，可使轴外光束入射到被调节光学系统的适当位置。

此外，作为本实施例的变形例，如图8所示，光束转换单元也可以由多个反射镜21和棱镜22构成。多个反射镜21可沿箭头方向适当设定其倾斜角。除此以外的结构与上述实施例的偏心调节装置大致相同。

接着，说明本变形例的光束转换单元的作用。即使被调节光学系统15改变，也可通过向箭头方向移动多个反射镜21，生成与被调节光学系统15的视场角对应的轴外光束，基本上不需要更换构成光束转换单元的棱镜22。另外，也可以设为可更换棱镜22。

实施例2

接着，根据图9及图10说明另一个实施例。

图9是本发明的实施例2的概略结构图。图10表示本发明的实施例2的变形例。

本实施例中，与上述图1所示的实施例1的偏心调节装置相比，不同点在于，构成光束转换单元的反射镜8置换成图9所示的透镜17。除此以外的结构和作用与图1所示的实施例1的偏心调节装置大致相同。另外，也可以按照被调节光学系统的种类，设为可更换透镜17。

此外，作为本实施例的变形例，如图10所示，光束转换单元由多个透镜构成。如图10所示，由透镜18和透镜19组成，构成焦距可变的变焦透镜20。除此以外的结构与图1所示的实施例1的偏心调节装置大致相同。

说明变焦透镜20的作用。使透镜18或透镜19的任意一者向被调节光学系统15的光轴方向移动。从而，轴外光束的入射角度可随着变焦透镜20的焦距的改变而适当变更。另外，若使变焦透镜20一体地向光轴方向移动，则可使轴外光束入射到被调节光学系统的适当位置。

除此以外的作用与上述实施例1相同。借助变焦透镜20，即使被调节光学系统15改变，也可通过使透镜18或透镜19的任意一者向被调节光学系统15的光轴方向移动，生成与被调节光学系统15的视场角对应的轴外光束，即使被调节光学系统15改变，也不需要更换构成光束转换单元的透镜。

此外，也可以在上述实施例1及实施例2的基板9上排列图12到图14所示的开口。

图12所示的基板9在圆周C0和同心的圆周C1上分别等间隔地排列8个开口P01～P18。这样，通过在半径不同的圆周上排列开口，可使视场角不同的轴外光束一次入射，因此，可更准确地检测单侧模糊。

图13所示的基板9在圆周S上分别等间隔地排列8个开口P01～P08。这样，若增加开口数而对各个象限进行细分，则可更准确地检测单侧模糊的大小和发生的方向。

图14所示的基板9，猛一看是在2个正方形S0及S1上分别排列8个开口P01～P18，但是，开口P01、P03、P05、P07、开口P02、P04、P06、P08、开口P11、P13、P15、P17以及开口P12、P14、P16、P18分别等间隔地排列在半径各不相同的4个圆周上。

产业上的可利用性

本发明的光学元件的偏心检查装置和光学元件的偏心调节装置适用于组装制造照相机用透镜或摄像单元等的光学系统的领域，特别是制造成像性能及偏心精度严格的小型光学系统的领域。

Claims

1.一种偏心检查装置，其特征在于，该偏心检查装置具有：

保持被检光学系统的保持部；

隔着上述保持部配置在一侧，出射平行光束的光源部；

隔着上述保持部配置在一侧，检测来自上述被检光学系统的光的检测单元；以及

配置在上述光源部和上述保持部之间的基板，

上述基板具有偶数个开口，

4个以上的上述开口分别等间隔地位于一个圆的圆周上，或者，4个以上的上述开口分别等间隔地位于二个以上的同心圆的各个圆周上，

上述偏心检查装置还具有：

在从上述基板到上述保持部的光路中，将通过上述开口的平行光束转换成轴外光束的光束转换单元。

2.根据权利要求1所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述光束转换单元由反射镜组成，

上述反射镜配置成使光束沿朝向上述光路的光轴的方向出射。

3.根据权利要求2所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述反射镜配置成可自由变更上述光束的出射角度。

4.根据权利要求1所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述光束转换单元由棱镜组成，

上述棱镜的一个侧面为从中心向周边其厚度变化的倾斜面。

5.根据权利要求4所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述棱镜的一个端面为凹状。

6.根据权利要求4所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述棱镜的一个端面为凸状。

7.根据权利要求4～6的任意一项所述的偏心检查装置，其特征在于，

在上述棱镜和上述保持部之间具有反射镜。

8.根据权利要求7所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述反射镜配置成可自由变更上述光束的出射角度。

9.根据权利要求4～8的任意一项所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述棱镜配置成可在上述被检光学系统的光轴方向上自由移动。

10.根据权利要求1所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述光束转换单元由透镜组成。

11.根据权利要求10所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述透镜配置成可在上述被检光学系统的光轴方向上自由移动。

12.根据权利要求1所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述光束转换单元由多个透镜组成，一个以上的透镜配置成可在上述被检光学系统的光轴方向上自由移动。

13.根据权利要求12所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述多个透镜配置成可一体地在上述被检光学系统的光轴方向上自由移动。

14.根据权利要求1～13的任意一项所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述基板的开口通过光刻法或铬蒸镀法形成。

15.根据权利要求1～14的任意一项所述的偏心检查装置，其特征在于，

该偏心检查装置还具有显示由上述检测单元检测到的强度分布的显示单元。

16.根据权利要求1～15的任意一项所述的偏心检查装置，其特征在于，

该偏心检查装置还具有根据由上述检测单元检测到的轴外光束的强度分布计算上述光学元件的偏心量的运算单元。

17.根据权利要求16所述的偏心检查装置，其特征在于，

上述运算单元根据透过上述被检光学系统的四个不同象限的光束的强度分布或者光束的形状，计算上述被检光学系统的偏心量。

18.一种偏心调节装置，其特征在于，该偏心调节装置具有：

保持至少包含一个以上的相对于框不固定的光学元件的被调节光学系统的保持部；

隔着上述保持部配置在一侧，出射平行光束的光源部；

隔着上述保持部配置在一侧，检测来自上述被调节光学系统的光的检测单元；以及

配置在上述光源部和上述保持部之间的基板，

上述基板具有偶数个开口，

上述偏心调节装置还具有：

在从上述基板到上述保持部的光路中，将通过上述开口的平行光束转换成轴外光束的光束转换单元；

根据上述强度分布计算上述被调节光学系统内的光学元件的偏心量的运算单元；以及

根据上述运算单元计算出的偏心量来调节上述框和上述光学元件的相对位置关系的位置调节单元。

19.根据权利要求18所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述光束转换单元由反射镜组成，

20.根据权利要求19所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述反射镜配置成可自由变更上述光束的出射角度。

21.根据权利要求18所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述光束转换单元由棱镜组成，

上述棱镜的一个侧面为从中心向周边其厚度变化的倾斜面。

22.根据权利要求21所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述棱镜的一个端面为凹状。

23.根据权利要求21所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述棱镜的一个端面为凸状。

24.根据权利要求21～23的任意一项所述的偏心调节装置，其特征在于，

在上述棱镜和上述保持部之间具有反射镜。

25.根据权利要求24所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述反射镜配置成可自由变更上述光束的出射角度。

26.根据权利要求21～25的任意一项所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述棱镜配置成可在上述被调节光学系统的光轴方向上自由移动。

27.根据权利要求18所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述光束转换单元由透镜组成。

28.根据权利要求27所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述透镜配置成可在上述被调节光学系统的光轴方向上自由移动。

29.根据权利要求18所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述光束转换单元由多个透镜组成，一个以上的透镜配置成可在上述被调节光学系统的光轴方向上自由移动。

30.根据权利要求29所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述多个透镜配置成可一体地在上述被调节光学系统的光轴方向上自由移动。

31.根据权利要求18～30的任意一项所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述基板的开口通过光刻法或铬蒸镀法形成。

32.根据权利要求18～31的任意一项所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述位置调节装置使上述相对于框不固定的光学元件在与光轴大致垂直的方向上移动来调节偏心。

33.根据权利要求32所述的偏心调节装置，其特征在于，

上述运算单元根据透过上述被调节光学系统的四个不同象限的光束的强度分布或者光束的形状，计算上述被调节光学系统的偏心量。