JP4617459B2 - 反射型光学系 - Google Patents
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Description
球面鏡と、この球面鏡の曲率中心側において、光の入射側から順次に設けられた第1の補正レンズ、第2の補正レンズ及び第3の補正レンズとを具え、前記球面鏡と前記第3の補正レンズとの間に焦点面を設けたことを特徴とする、反射型光学系に関する。
但し、θは各光学素子に対する光の入射角度であり、λは光の波長である。
なる式で表すことができる。なお、Zは各光学素子における表面の、基準面からの高さであり、hは各光学素子の光軸からの距離であり、Rは各光学素子の曲率半径であり、Aは4次の補正係数であり、Bは6次の補正係数であり、Cは8次の補正係数であり、Z0は、光軸上での光学素子表面の位置である。
11 球面鏡
12 第1の補正レンズ
13 第2の補正レンズ
14 第3の補正レンズ
15 焦点面
Claims (3)
- 球面鏡と、この球面鏡の曲率中心側において、光の入射側から順次に設けられた第1の補正レンズ、第2の補正レンズ及び第3の補正レンズとを具え、前記球面鏡と前記第3の補正レンズとの間に焦点面を設け、
前記球面鏡及び前記補正レンズの形状及び配置は、
前記球面鏡及び前記補正レンズの上記(1)式に基づく形状及び配置は
前記第1の補正レンズの、前記光の前記入射側における形状及び配置が、上記(1)式において、Z 0 =−118.8、R=∞、A=B=C=0として最適化され、
前記第1の補正レンズの、前記球面鏡側の形状及び配置が、上記(1)式において、Z 0 =−115.8、R=−4330.6、A=9.13768×10 −10 、B=−3.24485×10 −15 、C=0として最適化され、
前記第2の補正レンズの、前記光の前記入射側における形状及び配置が、上記(1)式において、Z 0 =−1.5、R=−8938.3、A=5.76315×10 −10 、B=−2.93923×10 −15 、C=−4.70851×10 −21 として最適化され、
前記第2の補正レンズの、前記球面鏡側の形状及び配置が、上記(1)式において、Z 0 =1.5、R=8938.3、A=−5.76315×10−10、B=2.93923×10 −15 、C=4.70851×10 −21 として最適化され、
前記第3の補正レンズの、前記光の前記入射側における形状及び配置が、上記(1)式において、Z 0 =115.8、R=4330.6、A=−9.13768×10 −10 、B=3.24485×10 −15 、C=0として最適化され、
前記第3の補正レンズの、前記球面鏡側の形状及び配置が、上記(1)式において、Z 0 =118.8、R=∞、A=B=C=0として最適化され、
前記球面鏡の、前記光の前記入射側における形状及び配置が、上記(1)式において、Z 0 =903.8、R=−897.4、A=B=C=0として最適化されたことを特徴とする、反射型光学系。 - 前記第1の補正レンズ、前記第2の補正レンズ及び前記第3の補正レンズの少なくとも一つはフレネルレンズであることを特徴とする、請求項1に記載の反射型光学系。
- 前記光の入射角が25度以上であって、前記光のスポットサイズが1分以下であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の反射型光学系。
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