CN101272918A - 附有缓冲层的凹版制版辊及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种印刷版的制造方法，特别是提供一种可以通过具有缓冲性而可以相对硬质的被印刷物进行不使用橡皮辊的直接凹板印刷，可以良好地进行瓦楞纸印刷等对粗面的凹板印刷，适于在液晶面板用玻璃上彩印用于构成滤色片的矩阵图像或者在微型光盘等上彩印图像的具有缓冲性的凹版的制造方法。其中，包含：在表面设置有由橡胶或具有缓冲性的树脂构成的缓冲层的中空辊、设置于该缓冲层的表面而且在表面形成多个凹版单元的镀铜层、在该镀铜层的表面设置的金属层、在该金属层的表面设置的该金属的碳化金属层、和覆盖该碳化金属层的表面的类金刚石碳被膜。

Description

附有缓冲层的凹版制版辊及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种适于在瓦楞纸等粗面上进行印刷或者在微型光盘等上印刷图像，或者在液晶面板用玻璃上彩印用于构成滤色片的矩阵图像的附有缓冲层的凹版制版辊及其制造方法，尤其涉及设置类金刚石碳(DLC)被膜层作为表面强化覆盖层的附有缓冲层的凹版制版辊及其制造方法。
背景技术
以往，在印刷版、特别是在液晶面板用玻璃上彩色印刷用于构成滤色片的矩阵图像或者在微型光盘等上彩色印刷图像中，采用凹部胶版印刷或无水胶版印刷，而没有采用凹板印刷。其原因在于，凹板印刷由于没有缓冲性而印刷压力增大，有玻璃因而破碎，或者引起微型光盘等的变形的可能性，所以适合使用通过借助由橡胶构成的橡皮辊进行印刷，在印刷压力增大时，根据橡胶的变形可以抑制印刷压力的增大的凹部胶版印刷。
在向液晶面板用玻璃进行彩色印刷时，向玻璃转移之后的湿墨液的膜厚均匀地为5～6μm、干墨液的膜厚均匀地为1～1.5μm、均匀地透过背光灯而且保证高透过率是必须的。另外，在向微型光盘等彩色印刷图像时，在可以清晰地得到图像的前提下，需要使墨液的膜厚尽可能地薄。其原因在于，在微型光盘等上印刷的图像偏离中心印刷，所以形成图像的墨液的重量与采用下一代微型光盘装置的流体动压轴承的主轴电动机的高速旋转化一起，成为不能忽视的不平衡旋转的原因。
以往的凹板印刷版必须在镀铜的表层部形成深度为15～25μm的单元，这样，湿墨液的膜厚成为15～25μm，所以在向液晶面板用玻璃进行彩色印刷或者向微型光盘等彩色印刷图像时，墨液的膜厚过厚，不适合。
在以往的凹板印刷版中，不能在镀铜的表面蚀刻形成深度为5～6μm的单元，这是因为，镀铜被膜为结晶组织，蚀刻不能均匀地进行。不可避免在单元的轮廓或底面发生凹凸或者大小不同导致的深度不同的单元。特别对于阴影部的大单元，即使深度可以成为5～6μm，对于光亮部的小单元而言，在轮廓或底面发生凹凸的概率高，几乎不可能可靠地使深度为5～6μm。
因此，为了可靠地得到单元的深度为5～6μm的凹版，可以通过向碱玻璃烘烤图像并显影，利用氟酸蚀刻，由此形成深度均匀的非常准确的单元。不过，这不是凹板印刷，而成为了借助橡皮辊进行印刷的凹部胶版印刷。
这样一来，以往为了在液晶面板用玻璃上进行彩色印刷，或者向微型光盘等上进行彩色印刷，采用凹部胶版印刷或无水平印刷版胶版印刷，没有采用凹板印刷。
另一方面，以往的凸版(树脂凸版)通过在光固化性树脂上重叠掩模薄膜，照射红外光后进行蚀刻，或者在光固化性树脂上形成炭黑的被膜，涂敷正型的感光膜，利用激光烘烤负型图像后显影，接着照射红外光后进行蚀刻来制版。
但是，利用以往的印刷法制作的液晶面板用滤色片的图像的清晰度低，且存在线图像的边缘的紊乱、线图像的凹凸，与利用薄膜法制作的液晶面板用滤色片相比，质量明显差，所以只被扩展到与玩具相关的用途，在计算机显示器或电视等高级品中完全没有被采用。
利用凹部胶版印刷制作的液晶面板用滤色片的质量差的原因如下。凹部胶版印刷在墨液从橡皮辊向玻璃等被印刷物转移时或多或少施加了印刷压力。该印刷压力由于挤压墨液，所以墨液的轮廓向外侧扩展或者紊乱，这成为了不能减小线-空间的值的原因之一。另外，要转印的墨液分别不能以100％的概率从版向橡皮辊，进而从橡皮辊向玻璃等被印刷物进行转移时，成为墨液被撕碎的结果，在玻璃等被印刷物上印刷的墨液的膜厚不均匀且在表面出现凹凸。
要转移的墨液能够以100％的概率转移在玻璃等被印刷物上的研究结果被发表在论文上。如果利用该结果，通过涂敷碱玻璃制的印刷版的0.1μm硅橡胶的被膜而赋予脱模性、以及在单元中盛装光固化性墨液的时刻照射光，使墨液半干燥，成为难以弄碎的墨液，由此可以从版向橡皮辊以100％的概率转移墨液，进而通过在向液晶面板用玻璃印刷转移至硅衍生物的橡皮辊的墨液之前再次照射光，使墨液半干燥，成为难以弄碎的墨液，同时在液晶面板用玻璃的表面涂敷0.2～0.3μm的膜厚的丙烯酸系粘合剂，由此可以从橡皮辊向液晶面板用玻璃以100％的概率转移墨液。
但是，为了从橡皮辊向液晶面板用玻璃以100％的概率转移墨液，必须超精密地制作版或印刷装置。即，在通常的印刷装置的机械精密度下，在从橡皮辊向液晶面板用玻璃转移墨液时不可避免地施加印刷压力且发生变动。为了使印刷压力完全消失或者完全不变动而提高机械精密度是极难的。
假如能够超精密地制作印刷机械，从而使橡皮辊与液晶面板用玻璃之间的间隙与墨液的膜厚完全一致而且在印刷中间隙尺寸不发生变动，则印刷压力几乎不变动。但是，实用化这样的装置几乎是不可能的。
这是因为，将橡皮辊与液晶面板用玻璃之间的间隙例如保持在5.5μm，在向液晶面板用玻璃转移附着于橡皮辊的6μm的膜厚的墨液时，发生印刷压力以使墨液的膜厚成为5.5μm。在橡皮辊旋转同时使液晶面板用玻璃直动，以使其与橡皮辊的表面速度完全地一致时，使橡皮辊与液晶面板用玻璃之间的间隙完全不发生变动是极难的。
橡皮辊必须超精密地制作成圆·圆筒，必须使液晶面板用玻璃完全没有波动地直动。即使在橡皮辊的直径中存在接近1μm的偏心，或者如果液晶面板用玻璃相对橡皮辊靠近或远离1μm，这样的话，墨液的膜厚变成4.5μm，印刷压力变动，另外，橡皮辊与液晶面板用玻璃之间的间隙变得大于5.5μm，此时，附着于橡皮辊的墨液不能转移到液晶面板用玻璃上。
因此，可以说无论怎样追求凹版胶版印刷机械的超精密化，也必须施加印刷压力，不可能抑制印刷压力的变动。因而，施加印刷压力，印刷压力发生变动是必须的，所以从橡皮辊向液晶面板用玻璃以100％的概率转移墨液即使在实验中能实现，但也难以实用化。
另一方面，以往的凸版(树脂凸版)由于使用光固化性树脂，所以如果将小的点形成为柱状，则容易折损，不能消除固化树脂的脆性，不能制作高精细的版。
另外，在凹板印刷中，相对凹版制版辊(凹版圆筒)，对应制版信息形成微小的凹部(凹版单元)，制作版面，在该凹版单元中填充墨液，转印到被印刷物。在通常的凹版制版辊中，在铝或铁等金属制或碳纤维强化树脂(CFRP)等强化树脂制中空辊的表面设置版面形成用的镀铜层(版材)，利用蚀刻，对应制版信息，在该镀铜层形成多个微小的凹部(凹版单元)，接着，利用用于增加凹版制版辊的耐刷力的铬镀敷形成硬质的铬层，成为表面强化覆盖层，结束制版(版面的制作)。但是，在镀铬工序中，由于使用毒性高的六价铬，所以为了维持作业的安全而需要多余的成本，而且还存在发生公害的问题，目前正期待能够代替铬层的表面强化覆盖层的出现。
另一方面，在制造凹版制版辊(凹版圆筒)时，已知有在形成单元的镀铜层上形成类金刚石碳(DLC)，用作表面强化覆盖层的技术(专利文献1～3)，但存在DLC层与铜的粘附性弱、容易剥离的问题。另外，本申请人已经提出了在中空辊上形成橡胶或树脂层，在其上形成类金刚石碳(DLC)的被膜之后，形成单元，制造凹板印刷版的技术(专利文献4～7)。
专利文献1：特开平4-282296号公报
专利文献2：特开2002-172752号公报
专利文献3：特开2002-178653号公报
专利文献4：特开平11-309950号公报
专利文献5：特开平11-327124号公报
专利文献6：特开2000-15770号公报
专利文献7：特开2000-10300号公报
发明内容
本发明正是鉴于所述点而提出的，其目的在于提供一种印刷版的制造方法，特别是提供一种可以通过具有缓冲性而可以相对硬质的被印刷物进行不使用橡皮辊的直接凹板印刷，可以良好地进行瓦楞纸印刷等对粗面的凹板印刷，适于在液晶面板用玻璃上彩印用于构成滤色片的矩阵图像或者在微型光盘等上彩印图像的具有缓冲性的凹版的制造方法。
为了解决所述课题，本发明的附有缓冲层的凹版制版辊的特征在于，包含：在表面设置有由橡胶或具有缓冲性的树脂构成的缓冲层的中空辊，设置在该缓冲层的表面而且在表面形成多个凹版单元的镀铜层，在该镀铜层的表面设置的金属层，在该金属层的表面设置的该金属的碳化金属层和覆盖该碳化金属层的表面的类金刚石碳被膜。
本发明的附有缓冲层的凹版制版辊的制造方法的特征在于，包括：准备在表面设置有由橡胶或具有缓冲性的树脂构成的缓冲层的中空辊的工序；在该缓冲层的表面形成镀铜层的镀铜工序；在该镀铜层的表面形成多个凹版单元的凹版单元形成工序；在该镀铜层的表面形成金属层的金属层形成工序；在该金属层的表面形成该金属的碳化金属层的碳化金属层形成工序；在该碳化金属层的表面形成类金刚石碳被膜的类金刚石碳被膜形成工序。
作为所述碳化金属层优选为碳化金属倾斜层，该碳化金属倾斜层中的碳的组成比被设定成：从所述金属层侧向所述类金刚石碳被膜方向，碳的比率逐渐增大。
优选：所述镀铜层的厚度为50～200μm，所述凹版单元的深度为5～150μm，所述金属层的厚度为0.001～1μm，优选为0.001～0.1μm，更优选为0.001～0.05μm，所述碳化金属层的厚度为0.1～1μm，以及，所述类金刚石碳被膜的厚度为0.1～10μm。
优选分别利用溅射法形成所述金属层、所述碳化金属层即优选的碳化金属倾斜层、以及所述类金刚石碳被膜。
优选所述金属为可以碳化而且与铜的亲和性高的金属。
优选所述金属为从钨(W)、硅(Si)、钛(Ti)、铬(Cr)、钽(Ta)以及锆(Zr)构成的组中选择的一种或两种以上金属。
优选利用蚀刻法或电子雕刻法形成所述凹版单元。
利用本发明，能够使印刷版具有缓冲性，相对硬质的被印刷物可以进行不使用橡皮辊的直接凹板印刷，适于在液晶面板用玻璃上彩色印刷用于构成滤色片的矩阵图像或者在微型光盘等上彩色印刷图像，另外，还可以良好地进行瓦楞纸印刷等对粗面的印刷。另外，利用本发明，通过使用类金刚石碳(DLC)被膜作为表面强化覆盖层，可以省略镀铬工序，所以不使用毒性高的六价铬，不需要用于实现操作稳定性的多余成本，也不用担心发生公害，而且类金刚石碳(DLC)被膜具有比得上铬层的强度，耐刷力也出色。
附图说明
图1是模式性地表示本发明的附有缓冲层的凹版制版辊的制造工序的说明图，(a)是在中空辊的表面设置由橡胶或具有缓冲性的树脂构成的缓冲层而成的版母材的整体截面图，(b)是表示在缓冲层的表面形成镀铜层的状态的部分放大截面图，(c)是表示在镀铜层形成凹版单元的状态的部分放大截面图，(d)是表示在镀铜层表面形成碳化钨层的状态的部分放大截面图，(e)是表示在金属层表面形成碳化金属层的状态的部分放大截面图，(f)是表示在碳化金属层表面覆盖类金刚石碳(DLC)被膜的状态的部分放大截面图。
图2是表示本发明的凹版制版辊的制造方法的流程图。
图3是本发明的附有缓冲层的凹版制版辊的主要部分的放大截面图。
图中，10-版母材(橡胶辊等)，10a-凹版制版辊，11a-中空辊，11b-缓冲层，12-镀铜层，14-凹版单元，16-金属层，18-碳化金属层(优选为碳化金属倾斜层)，20-类金刚石碳(DLC)被膜。
具体实施方式
以下对本发明的实施方式进行说明，不言而喻，这些实施方式只是例示，在不脱离本发明的技术思想的范围内，可以进行各种变形。
图1是模式性地表示本发明的附有缓冲层的凹版制版辊的制造工序的说明图，(a)是在中空辊的表面设置由橡胶或具有缓冲性的树脂构成的缓冲层而成的版母材的整体截面图，(b)是表示在缓冲层的表面形成镀铜层的状态的部分放大截面图，(c)是表示在镀铜层形成凹版单元的状态的部分放大截面图，(d)是表示在镀铜层表面形成碳化钨层的状态的部分放大截面图，(e)是表示在金属层表面形成碳化金属层的状态的部分放大截面图，(f)是表示在碳化金属层表面覆盖类金刚石碳(DLC)被膜的状态的部分放大截面图。图2是表示本发明的凹版制版辊的制造方法的流程图。图3是本发明的附有缓冲层的凹版制版辊的主要部分的放大截面图。
使用图1～图3说明本发明方法。在图1(a)及图3中，符号10为版母材，使用在由铝、铁或碳纤维强化树脂(CFRP)等强化树脂等构成的中空辊11a的表面设置缓冲层11b而成的版母材(图2的步骤100)。该缓冲层11b由橡胶或具有缓冲性的树脂构成，将1mm～10cm左右的均匀的厚度且表面的光洁度高的片材状的缓冲层，在接缝处没有间隙地卷绕且牢固地粘接在中空辊11a上，然后进行精密圆筒磨削以及镜面研磨。在该缓冲层11b的表面，利用镀铜处理形成镀铜层12(图2的步骤102)。
在该镀铜层12的表面形成多个微小凹部(凹版单元)14(图2的步骤104)。作为凹版单元14的形成方法，可以使用蚀刻法(在版筒面涂敷感光液，直接烘烤之后，蚀刻，形成凹版单元14)或电子雕刻法(利用数字信号使金刚石雕刻针机械地作动，在铜表面雕刻凹版单元14)等公知的方法，但优选蚀刻法。
接着，在所述形成凹版单元14的镀铜层12(包括凹版单元14)的表面形成金属层16(图2的步骤106)。进而，在该金属层16的表面形成该金属的碳化金属层即优选的碳化金属倾斜层18(图2的步骤108)。作为金属层16及碳化金属层即优选的碳化金属倾斜层18的形成方法，可以适用溅射法、真空蒸镀法(电子束法)、离子镀法、MBE(分子束外延法)、激光消融法、离子辅助成膜法、等离子CVD法等公知的方法，优选溅射法。
作为所述金属，优选可以碳化且与铜的亲和性高的金属。作为该金属，可以使用钨(W)、硅(Si)、钛(Ti)、铬(Cr)、钽(Ta)以及锆(Zr)等。
所述碳化金属层即优选的碳化金属倾斜层18中的金属使用与所述金属层16相同的金属。碳化金属倾斜层18中的碳的组成比被设定为：从金属层侧16向后述的类金刚石碳(DLC)被膜20方向，碳的比率逐渐地增大。就是说，碳的组成比从0％～逐渐地(阶段状或无阶段状)增大比率，最后成膜成大致100％。
这种情况下，碳化金属层即优选的碳化金属倾斜层18中的碳的组成比的调节方法只要使用公知的方法即可，例如通过使用溅射法(使用固体金属靶，在氩气气氛下阶段状或无阶段状逐渐地增大甲烷气体、乙烷气体、丙烷气体、丁烷气体、乙炔气体等的注入量)，可以形成改变碳及金属二者的组成比例的碳化金属层即碳化金属倾斜层18，以使碳化金属层18中的碳的比例从镀铜层12侧向类金刚石碳(DLC)被膜20方向阶段状或无阶段状逐渐地增大。
通过这样地调节碳化金属层18的碳的比例，可以提高相对金属层16及类金刚石碳(DLC)被膜20双方的碳化金属层18的粘附程度。另外，如果使烃气体的注入量为一定，则可以成为使碳及金属的组成比例一定的碳化金属层，可以进行与碳化金属倾斜层相同的作用。
接着，在所述碳化金属层即优选的碳化金属倾斜层18的表面覆盖形成类金刚石碳(DLC)被膜20(图2的步骤110)。作为类金刚石碳(DLC)被膜20的形成方法，与金属层16及碳化金属层即优选的碳化金属倾斜层18的形成相同，可以适用溅射法、真空蒸镀法(电子束法)、离子镀法、MBE(分子束外延法)、激光消融法、离子辅助成膜法、等离子CVD法等公知的方法，优选溅射法。
通过覆盖所述的类金刚石碳(DLC)被膜20，使该类金刚石碳(DLC)被膜20起到表面强化覆盖层的作用，可以得到没有毒性且也不必担心公害的发生、同时耐刷力出色的凹版制版辊10a。
在此，溅射法是若离子碰撞想要成为薄膜的材料(靶材料)上，则材料发生飞溅，使该飞溅的材料在基板上堆积，制作薄膜的方法，其特征在于，对靶材料的制约少，可以大面积且再现性良好地制作薄膜等。
真空蒸镀法(电子束法)是向需要成为薄膜的材料照射电子束，使其加热蒸发，在基板上附着(堆积)该经蒸发的材料，制作薄膜的方法，其特征在于，成膜速度快，对基板的损伤少等。
离子镀法是在使需要成为薄膜的材料蒸发之后，在利用高频(RF)(RF离子镀法)或电弧(电弧离子镀法)使其离子化的基板上堆积，制作薄膜的方法，其特征在于，成膜速度快，附着速度大等。
分子束外延法是在超真空中使原料物质蒸发，向加热的基板上供给，形成薄膜的方法。
激光消融法是通过向靶入射高密度化的激光脉冲而使离子释放，在对置的基板上形成薄膜的方法。
离子辅助成膜法是在真空容器内设置蒸发源和离子源，辅助地利用离子进行成膜的方法。
等离子CVD法是在减压下进行CVD法时为了在低温下形成薄膜，利用等离子激发使原料气体分解，使其在基板上反应堆积的方法。
实施例
以下举出实施例，对本发明更具体地说明，不言而喻，这些实施例只是例示的例子，不能限定地解释本发明。
(实施例1)
使用布迈兰拉恩(ブ一メランライン)(株式会社新克制凹版制版辊制造装置)，进行到下述的镀铜层的形成及蚀刻处理。首先，准备在圆周600mm、面长1100mm的铝中空辊的表面卷绕厚度为5cm的硅橡胶层而形成的附有缓冲层的版母材。将该版母材安装于镀敷槽中，利用计算机系统的自动滑动装置，使阳极室接近中空辊，直至20mm，使涂敷液充满，使版母材全部没入，以18A/dm2、6.0V形成80μm的镀铜层。镀敷时间为20分钟，镀敷表面没有麻点或坑的发生，得到均匀的镀铜层。使用4H研磨机(株式会社新克制研磨机)，对该镀铜层的表面研磨12分钟，使该镀铜层的表面成为均匀的研磨面。
在所述形成的镀铜层涂敷(喷注式刮出涂敷机(フオンテインコ一タ一))、干燥感光膜(热抗蚀剂(thermal resist)：TSER-2104E4)。得到的感光膜的膜厚用膜厚计(FILLMETRICS公司制F20，松下Techno Trading公司出售)计算，结果为4μm。接着，对图像进行激光曝光、显影。所述激光曝光使用Laser Stream FX，以曝光条件5分/m2/10W，进行规定的图案曝光。另外，所述显影使用TLD显影液(株式会社新克制显影液)，以显影液稀释比率(原液1∶水7)，24℃下进行60秒钟，形成规定的图案。干燥该图案(形成图案)，形成抗蚀剂图像。
进而，进行圆筒蚀刻，雕入由凹版单元构成的图像，然后，除去抗蚀剂图像，由此形成印刷版。此时，将凹版单元的深度作为5μm制作了圆筒。所述蚀刻是在铜浓度60g/L、盐酸浓度35g/L、温度37℃、时间70秒的条件下利用喷射方式进行的。
利用溅射法，在形成有该凹版单元的镀铜层的上面形成钨(W)层。溅射条件如下所述。钨(W)样品：固体钨靶，气氛：氩气气氛，成膜温度：200～300℃，成膜时间：60分钟，成膜厚度：0.03μm。
接着，在钨(W)层的上面形成碳化钨层。溅射条件如下所述。钨(W)样品：固体钨靶，气氛：在氩气气氛下逐渐增加烃气体，成膜温度：200～300℃，成膜时间：60分钟，成膜厚度：0.1μm。
进而，利用溅射法，在碳化钨的上面覆盖形成类金刚石碳(DLC)被膜。溅射条件如下所述。DLC样品：固体碳靶，气氛：氩气气氛，成膜温度：200～300℃，成膜时间：150分钟，成膜厚度：1μm，完成了凹版制版辊(凹版圆筒)。
接着，相对所得到的凹版圆筒，作为印刷墨液，适用青色墨液察恩杯粘度18秒(SAKATA INX公司制水性墨液超拉米普阿(ス一パ一ラミピユア)蓝800PR-5)，使用OPP薄膜(Oriented Polypropylene Film：双向拉伸聚丙烯薄膜)，进行印刷测试(印刷速度：120m/分)。得到的印刷物没有版灰雾，可以印刷至50,000m的长度。图案的精密度没有变化。另外，DLC被膜相对被蚀刻的镀铜圆筒的粘附性不存在问题。从该本发明的凹版圆筒的光亮部到阴影部的级差由于没有变成按照常规方法制作的镀铬凹版圆筒，所以判断为墨液转移性没有问题。作为其结果，确认了类金刚石碳(DLC)被膜具有比得上以往的铬层的性能，足以作为铬层代替品使用。
(实施例2)
与实施例1同样地进行，制作将凹版单元的深度作为5μm的圆筒。相对该圆筒将钨(W)样品变更成硅(Si)样品，除此以外，与实施例1同样地进行，完成附有缓冲层的凹版制版辊，同样地进行印刷测试，结果同样判明为具有没有版灰雾等的同等的印刷性能。结果，确认了类金刚石碳(DLC)被膜具有比得上以往的铬层的性能，足以作为铬层代替品使用。此外，还确认了，使用钛(Ti)、铬(Cr)作为金属样品，进行相同的实验，可以得到相同的结果。

Claims (12)

1.一种附有缓冲层的凹版制版辊，其特征在于，
包含：
在表面设置有由橡胶或具有缓冲性的树脂构成的缓冲层的中空辊，
设置在该缓冲层的表面而且在表面形成多个凹版单元的镀铜层，
在该镀铜层的表面设置的金属层，
在该金属层的表面设置的该金属的碳化金属层，和
覆盖该碳化金属层的表面的类金刚石碳被膜。
2.根据权利要求1所述的附有缓冲层的凹版制版辊，其特征在于，
所述碳化金属层为碳化金属倾斜层，该碳化金属倾斜层中的碳的组成比被设定成：从所述金属层侧向所述类金刚石碳被膜方向，碳的比率逐渐增大。
3.根据权利要求1或2所述的附有缓冲层的凹版制版辊，其特征在于，
所述镀铜层的厚度为50～200μm，所述凹版单元的深度为5～150μm，所述金属层的厚度为0.001～1μm，所述碳化金属层的厚度为0.1～1μm，以及所述类金刚石碳被膜的厚度为0.1～10μm。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的附有缓冲层的凹版制版辊，其特征在于，
所述金属为可以碳化而且与铜的亲和性高的金属。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的附有缓冲层的凹版制版辊，其特征在于，
所述金属为从由钨(W)、硅(Si)、钛(Ti)、铬(Cr)、钽(Ta)以及锆(Zr)构成的组中选择的一种或两种以上金属。
6.一种附有缓冲层的凹版制版辊的制造方法，其特征在于，
包括：
准备在表面设置有由橡胶或具有缓冲性的树脂构成的缓冲层的中空辊的工序；
在该缓冲层的表面形成镀铜层的镀铜工序；
在该镀铜层的表面形成多个凹版单元的凹版单元形成工序；
在该镀铜层的表面形成金属层的金属层形成工序；
在该金属层的表面形成该金属的碳化金属层的碳化金属层形成工序；
在该碳化金属层的表面形成类金刚石碳被膜的类金刚石碳被膜形成工序。
7.根据权利要求6所述的附有缓冲层的凹版制版辊的制造方法，其特征在于，
所述碳化金属层为碳化金属倾斜层，该碳化金属倾斜层中的碳的组成比被设定成：从所述金属层侧向所述类金刚石碳被膜方向，碳的比率逐渐增大。
8.根据权利要求6或7所述的附有缓冲层的凹版制版辊的制造方法，其特征在于，
所述镀铜层的厚度为50～200μm，所述凹版单元的深度为5～150μm，所述金属层的厚度为0.001～1μm，所述碳化金属层的厚度为0.1～1μm，以及所述类金刚石碳被膜的厚度为0.1～10μm。
9.根据权利要求6～8中任意一项所述的附有缓冲层的凹版制版辊的制造方法，其特征在于，
分别利用溅射法形成所述金属层、所述碳化金属层以及所述类金刚石碳被膜。
10.根据权利要求6～9中任意一项所述的附有缓冲层的凹版制版辊的制造方法，其特征在于，
所述金属为可以碳化而且与铜的亲和性高的金属。
11.根据权利要求6～10中任意一项所述的附有缓冲层的凹版制版辊的制造方法，其特征在于，
所述金属为从由钨(W)、硅(Si)、钛(Ti)、铬(Cr)、钽(Ta)以及锆(Zr)构成的组中选择的一种或两种以上金属。
12.根据权利要求6～11中任意一项所述的附有缓冲层的凹版制版辊的制造方法，其特征在于，
利用蚀刻法或电子雕刻法形成所述凹版单元。
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WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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