CN101231301A - 角速度传感器 - Google Patents

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CN101231301A CNA2008100045505A CN200810004550A CN101231301A CN 101231301 A CN101231301 A CN 101231301A CN A2008100045505 A CNA2008100045505 A CN A2008100045505A CN 200810004550 A CN200810004550 A CN 200810004550A CN 101231301 A CN101231301 A CN 101231301A
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石川宽
高桥勇治
胜木隆史
中泽文彦
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Abstract

本发明提供一种角速度传感器。该角速度传感器包括：第一音叉振动器，所述第一音叉振动器具有第一基部和沿第一方向从所述第一基部延伸的第一臂；第二音叉振动器，所述第二音叉振动器具有第二基部和沿第二方向从所述第二基部延伸的第二臂；以及双平衡架部，所述双平衡架部具有围绕沿第四方向延伸的轴振动的驱动平衡架部和围绕沿第五方向延伸的轴振动的感测平衡架部，并且感测围绕沿第三方向延伸的轴的角速度。

Description

角速度传感器
技术领域
本发明总体上涉及角速度传感器，更具体地说，涉及能够感测围绕三个正交轴的角速度的角速度传感器。
背景技术
角速度传感器是感测转动的角速度的传感器，并且用在防止摄像机抖动的系统中、交通工具导航系统中、控制交通工具的位置或机器人的姿态的系统中等。具有音叉振动器的角速度传感器被公知为一种角速度传感器。音叉振动器具有基部和从该基部延伸的多个臂，并且具有感测围绕所述臂沿其延伸的感测轴的角速度的功能。日本特开2006-300577号公报和2006-308543号公报公开了使用由具有分别的感测轴的音叉振动器形成的两个角速度传感器的技术。
根据以上公报中提出的技术，可以通过如下的三个音叉振动来感测围绕三个不同感测轴的角速度：所述三个音叉振动被排列为使得音叉振动器的臂分别沿所述三个方向排列。然而，这种排列需要很大安装体积。
发明内容
鉴于上述情况而提出了本发明，本发明提供了需要的安装体积减小的三轴角速度传感器。
根据本发明的一方面，提供有一种角速度传感器，该角速度传感器包括：第一音叉振动器，所述第一音叉振动器具有第一基部和从所述第一基部沿第一方向延伸的第一臂；第二音叉振动器，所述第二音叉振动器具有第二基部和从所述第二基部沿第二方向延伸的第二臂；以及双平衡架(gimbal)部，所述双平衡架部具有围绕沿第四方向延伸的轴振动的驱动平衡架部、以及围绕沿第五方向延伸的轴振动的感测平衡架部，并且感测围绕沿第三方向延伸的轴的角速度。
附图说明
图1是根据本发明的第一实施方式的角速度传感器的立体图；
图2是第三角速度感测部件的剖面图；
图3是第一实施方式的角速度传感器的立体图；
图4是音叉振动器的立体图；
图5A和5B分别示出音叉振动器的振动模式；
图6是双平衡架部的平面图；
图7是解释双平衡架部的操作的图；
图8A和8B分别是双平衡架部的剖面图；
图9是根据本发明的第二实施方式的角速度传感器的立体图；以及
图10是根据本发明的第三实施方式的双平衡架部的平面图。
具体实施方式
现在将参照附图给出本发明的实施方式的描述。
[第一实施方式]
图1是在将具有双平衡架部的第三角速度感测部件40纳入封装30之前的根据第一实施方式的角速度传感器的立体图。第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b分别通过插入的支承部20a和20b而接合到空腔型的封装30。第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b相互正交，并且分别能够感测围绕沿相应纵向方向延伸的第一和第二感测轴的角速度。封装30配备有控制电路34，所述控制电路34可以具有安装在基板上的电子部件。控制电路34控制第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b以及图2中示出的双平衡架部50。更具体地说，控制电路34向第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b以及双平衡架部50提供驱动信号，并且从它们接收感测信号。
图2是第三角速度感测部件40的剖面图。在双平衡架部50的两侧上设置有玻璃板42和44。在玻璃板靠近双平衡架部50的侧面形成有间隙46，以防止双平衡架部50的平衡架部的振动。在玻璃板42和44中的至少一个中设置有贯穿电极(未示出)。
图3是在将第三角速度感测部件40装入封装30之后的角速度传感器的立体图。第三角速度感测部件40安装在第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b上。第三角速度感测部件40具有第一感测轴和第二感测轴、以及感测围绕与第一和第二感测轴正交的第三感测轴的角速度的双平衡架部。通过在第三角速度传感部件40上接合盖32而实现根据第一实施方式的角速度传感器。
图4是音叉振动器10的立体图，所述音叉振动器10与所形成的第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b中的每一个都相同。音叉振动器10可以由诸如铌酸锂或钽酸锂的压电材料制成，并包括基部13和从基部13延伸的两个(多个)臂11与12。基部13不会剧烈振动。因此，如图1中所示出的，音叉振动器10容纳在封装30中，使得基部13被支承部20a或20b支承。臂11和12振动并由此感测振动。
图5A和5B分别示出音叉振动器10的驱动和感测模式。参照图5A，将驱动信号施加到音叉振动器10的驱动电极(未示出)，所述音叉振动器10以臂11和12相互依次靠近和远离的振动模式进行振动。这种振动与包括臂11和12的平面平行。当对感测轴施加角速度时，如图5B中所示出，由于科里奥利力(Coriolis force)而产生臂11和12沿相反方向振动的另一种振动模式。这种振动是与包括臂11和12的平面垂直的扭曲振动(twist vibration)。通过检测电极(未示出)感测扭曲振动，从而可以检测到围绕感测轴的角速度。用于驱动的振动模式被称为驱动模式，用于感测的振动模式被称为感测模式。通过上面的机制，音叉振动器10能够感测围绕臂11和12沿其延伸的轴的角速度。驱动模式和感测模式并不分别限于图5A和5B中示出的模式。只要在驱动模式中能够由科里奥利力产生感测模式，就可以使用另一模式。音叉振动器10可以具有三个或更多个臂。
图6是双平衡架部50的平面图。如图6中所示出的，双平衡架部50具有方框部80、驱动平衡架部70以及感测平衡架部60。感测平衡架部60通过在其一对相对侧上设置的扭杆(torsion bar)62而与驱动平衡架部70机械耦合。扭杆62保持感测平衡架部60。感测平衡架部60在其另一对相对侧上具有一对平行的板状电极65。这对平行的板状电极65之一固定到感测平衡架部60，而另一个固定到驱动平衡架部70。
驱动平衡架部70通过在其一对相对外侧上设置的扭杆72而机械连接到框部80。在驱动平衡架部70的另一对相对侧上分别设置有两对梳状电极75。每一侧上的一对梳状电极75中的一个固定到驱动平衡架部70，这对梳状电极75的另一个固定到框部80。
图7是角速度传感器的立体图，并且示出通过双平衡架部50感测角速度的原理。在图7中，出于简化的目的，未示出框部80、平行的板状电极65和梳状电极75。参照图7，x轴沿两对扭杆62连接的方向延伸，y轴沿两对扭杆72连接的方向延伸，z轴沿垂直于双平衡架部50的方向延伸。使用梳状电极75，围绕y轴(驱动振动轴)将驱动平衡架部70和感测平衡架部60一起驱动。如果在上述状态下施加围绕z轴(第三方向轴)的角速度，则在与y轴正交的方向上出现科里奥利力。因此，推动驱动平衡架部70而使其围绕与y轴正交的x轴(感测振动轴)而振动。然而，驱动平衡架部70被扭杆72固定到框部80，并且现在被允许振动。因此，感测平衡架部60围绕x轴振动。平行的板状电极65对感测平衡架60的振动幅度进行感测。可以从感测平衡架部60的振动幅度来检测围绕第三感测轴的角速度。
图8A是沿图6中示出的线A-A截取的双平衡架部50的剖面图，而图8B是沿图6中示出的线B-B截取的剖面图。参照图8A和8B，双平衡架部50具有SOI(绝缘体上半导体)基板88，所述基板88具有按顺序层叠的硅基板82、氧化物膜84以及硅层86。感测平衡架部60、驱动平衡架部70以及框部80中的每一个都由硅基板82、氧化物膜84以及硅层86组成。参照图8A，梳状电极75由机械连接到框部80的硅基板82的一组电极74和机械连接到平衡架部70的硅层86的一组电极76组成。在所述一组电极74和所述一组电极76之间施加的电压使驱动平衡架部70振动，如图8A中示出的两点链线所示。
参照图8B，平行的板状电极65由机械连接到驱动平衡架部70的硅基板82的下部电极64和机械连接到感测平衡架部60的硅层86的上部电极66组成。当感测平衡架部60如图8B中示出的两点链线所示出的那样振动时，下部电极64和上部电极66之间的静电电容改变。可以通过检测静电电容中的改变来对感测平衡架部60的振动幅度进行感测。
在上述结构中，双平衡架部50的内平衡架部为感测平衡架部60，其外平衡架部为驱动平衡架部70。另选的是，双平衡架部50的内平衡架部和外平衡架部可以分别为驱动平衡架部和感测平衡架部。在上述结构中，用于对驱动平衡架部70进行驱动的电极为梳状电极75，用于对感测平衡架部60的振动进行感测的电极为平行的板状电极65。然而，用于对驱动平衡架部70进行驱动的电极和用于对感测平衡架部60的振动进行感测的电极可以是梳状电极或者平行的板状电极。然而，优选地采用梳状电极75来使得驱动平衡架部70振动，以增大驱动平衡架部70的振动并且获得相对较高的灵敏性。
在第一实施方式的角速度传感器中，如图1中所示出的，第一音叉振动器10a具有第一基部和在第一感测轴的方向(第一方向)上延伸的第一臂。第二音叉振动器10b具有第二基部和在第二感测轴的方向(第二方向)上延伸的第二臂。因此，如已经参照图5A和5B所描述的，角速度传感器能够通过第一音叉振动器10a感测围绕第一轴的角速度，并通过第二音叉振动器10b感测围绕第二轴的角速度。如已经参照图7所描述的，双平衡架部50具有围绕驱动振动轴(沿第四方向延伸的轴)振动的驱动平衡架部70和围绕感测振动轴(沿第五方向延伸的轴)振动的感测平衡架部60。因此，双平衡架部50可以感测围绕第三感测轴(沿第三方向延伸的轴)的角速度。
如图5A和5B中所示出的，音叉振动器10感测围绕在臂11和12沿其延伸的方向上的轴的角速度。双平衡架部50感测围绕与包括感测平衡架部60和驱动平衡架部70的平面垂直的轴的角速度。因此，如图3中所示出的，双平衡架部50安装在第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b的上方。即，相对于第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b，双平衡架部50沿第三感测轴(第三方向)安装。以这样的排列，可以减小用于安装能够感测围绕三个轴的角速度的角速度传感器的面积。
具体地说，如图1中所示出的，第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b通过插入的支承部20a和20b而安装在封装30的相同安装面上。换言之，第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b设置在与包括第一感测轴的方向(第一方向)和第二感测轴的方向(第二方向)的平面(封装30的安装面)水平的方向上。因此，可以减小封装30的高度。可以将第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b设置为使得音叉振动器10a和10b的至少一部分相对于与包括第一和第二感测轴的平面水平的方向相互重叠。
本质在于第一、第二和第三感测轴的方向(第一、第二和第三方向)相互不同。第一、第二和第三方向可以是任意方向。第一、第二和第三方向相互正交的特定排列使得可以感测围绕三个正交方向上的轴的角速度。具体地说，第三感测轴垂直于包括双平衡架部50的感测平衡架部60和驱动平衡架部70的平面。优选的是，第三感测轴与第一和第二感测轴相互正交。以这种排列，可以减小安装体积。
如图7中所示出的，优选地，驱动振动轴的方向(第四方向)和感测振动轴的方向(第五方向)相互正交。因此可以通过感测平衡架部60有效地感测围绕第三轴的角速度。
[第二实施方式]
图9是根据第二实施方式的角速度传感器的立体图，其中从封装30去除了盖32。第二实施方式与第一实施方式的不同之处在于，通过控制电路34(未示出)而在安装有第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b的安装面上安装了双平衡架部50的第三角速度感测部件40a。即，双平衡架部50、第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b安装在包括第一感测轴的方向(第一方向)和第二感测轴的方向(第二方向)的平面上。第二实施方式的其他结构与第一实施方式相同。与第一实施方式相比较，根据第二实施方式，可以进一步减小安装体积。至少，双平衡架部50、第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b的一部分可以在与包括第一和第二感测轴的平面水平的方向上相互重叠。
优选的是，当第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b比双平衡架部50小时采用第一实施方式。当第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b比双平衡架部50大时优选地采用第二实施方式。
如图9中所示出的，当第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b纳入封装30中时，通过将第一音叉振动器10a的梢端设置为面对第二音叉振动器10b的一侧，可获得最小安装面积。在这种排列中，第一音叉振动器10a的梢端优选地被设置为面对第二音叉振动器10b的梢端的一侧。换言之，第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b被设置为形成L形。以这种排列，可以确保用于安装双平衡架部50的区域，并沿着第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b的侧面设置双平衡架部50。优选的是，第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b的基部相互远离，以防止第一音叉振动器10a和第二音叉振动器10b的振动发生相互干扰。
[第三实施方式]
第三实施方式的感测平衡架部和驱动平衡架部形成为H形状。图10是第三实施方式中采用的双平衡架部50a的平面图。感测平衡架部60a形成为H形状，并且驱动平衡架部70a形成为H形状。在感测平衡架部60a的相对侧的每一侧上设置有单个扭杆62a，并且在驱动平衡架部70a的相对侧的每一侧上设置有单个扭杆72a。第三实施方式的其他结构与图6中示出的结构相同。
根据第三实施方式，扭杆62a(第一扭杆)设置在感测平衡架部60a的相对侧上，以支承感测平衡架部60a。感测平衡架部60a形成为H形状，并且连接设置有扭杆62a的相对侧的最大宽度W1大于连接固定有扭杆62a的相对侧部的宽度W2。与第一实施方式相比较，这种排列增加了感测平衡架部60a的惯性力矩并且改善了角速度的灵敏性。
平行的板状电极65具有大于宽度W2的宽度W1。因此，即使当感测平衡架部60a具有和第一实施方式的振动幅度相同的振动幅度时，也可以获得更大的感测信号振幅。因此，可以改善角速度的灵敏性。即使感测平衡架部62a的电极为梳状，也可以获得这种改善。
类似地，驱动平衡架部70a形成为H形状，并且连接接合有扭杆72a(第二扭杆)的侧的最大宽度大于连接固定有扭杆72a的相对侧部的最大宽度。此外，梳状电极75的宽度大于连接驱动平衡架部70a的接合有扭杆72的相对侧部的宽度。根据该结构，对于与第一实施方式中使用的驱动信号幅度相等的驱动信号幅度，驱动平衡架部70a具有更大的振动幅度。这对于驱动平衡架部72a为平行的板状电极的另一排列也成立。
在感测平衡架部和驱动平衡架部中的至少一个中，平衡架部的最大宽度大于连接扭杆所接合的相对侧部分的宽度。平衡架部并不限于H形状，而是可以具有任意的形状，只要平衡架部的宽度大于连接扭杆所接合的相对侧部分的宽度即可。可以在平衡架部的相对侧的每一侧上设置形成V形的两个扭杆(第一实施方式)、单个扭杆(第三实施方式)或者三个或更多个扭杆。
本发明并不限于具体公开的实施方式，而是可以在不脱离本发明的范围的情况下作出其他实施方式和变型。
本发明基于2007年1月23日提交的日本专利申请第2007-012166号，这里通过引用并入其全部公开内容。

Claims (9)

1.一种角速度传感器，该角速度传感器包括：
第一音叉振动器，所述第一音叉振动器具有第一基部和沿第一方向从所述第一基部延伸的第一臂；
第二音叉振动器，所述第二音叉振动器具有第二基部和沿第二方向从所述第二基部延伸的第二臂；以及
双平衡架部，所述双平衡架部具有围绕沿第四方向延伸的轴振动的驱动平衡架部和围绕沿第五方向延伸的轴振动的感测平衡架部，并且感测围绕沿第三方向延伸的轴的角速度。
2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互正交。
3.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，所述第四方向和所述第五方向相互正交。
4.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，所述第一音叉振动器和所述第二音叉振动器被设置为使得所述第一音叉振动器和所述第二音叉振动器的至少一部分在与包括所述第一方向和所述第二方向的平面水平的方向上相互重叠。
5.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，相对于所述第一音叉振动器和所述第二音叉振动器，所述双平衡架部沿着所述第三方向设置。
6.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，所述双平衡架部、所述第一音叉振动器和所述第二音叉振动器被设置为使得所述双平衡架部、所述第一音叉振动器和所述第二音叉振动器的至少一部分在与包括所述第一方向和所述第二方向的平面水平的方向上相互重叠。
7.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，所述第一音叉振动器和所述第二音叉振动器排列为形成L形，所述双平衡架部沿着所述第一音叉振动器和所述第二音叉振动器的侧面排列。
8.根据权利要求1所述的角速度传感器，该角速度传感器还包括设置在所述感测平衡架部的相对侧上以支承所述感测平衡架部的第一扭杆，其中，连接所述感测平衡架部的所述相对侧的最大宽度大于连接所述感测平衡架部的固定有所述第一扭杆的相对侧部的宽度。
9.根据权利要求1所述的角速度传感器，该角速度传感器还包括设置在所述驱动平衡架部的相对侧上以支承所述驱动平衡架部的第二扭杆，其中，连接所述驱动平衡架部的所述相对侧的最大宽度大于连接所述驱动平衡架部的固定有所述第二扭杆的相对侧部的宽度。
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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8928602B1 (en) 2009-03-03 2015-01-06 MCube Inc. Methods and apparatus for object tracking on a hand-held device
US8797279B2 (en) 2010-05-25 2014-08-05 MCube Inc. Analog touchscreen methods and apparatus
US8553389B1 (en) 2010-08-19 2013-10-08 MCube Inc. Anchor design and method for MEMS transducer apparatuses
US8477473B1 (en) 2010-08-19 2013-07-02 MCube Inc. Transducer structure and method for MEMS devices
US8823007B2 (en) 2009-10-28 2014-09-02 MCube Inc. Integrated system on chip using multiple MEMS and CMOS devices
US8710597B1 (en) 2010-04-21 2014-04-29 MCube Inc. Method and structure for adding mass with stress isolation to MEMS structures
US8421082B1 (en) 2010-01-19 2013-04-16 Mcube, Inc. Integrated CMOS and MEMS with air dielectric method and system
US8476129B1 (en) 2010-05-24 2013-07-02 MCube Inc. Method and structure of sensors and MEMS devices using vertical mounting with interconnections
US9709509B1 (en) 2009-11-13 2017-07-18 MCube Inc. System configured for integrated communication, MEMS, Processor, and applications using a foundry compatible semiconductor process
US8637943B1 (en) 2010-01-04 2014-01-28 MCube Inc. Multi-axis integrated MEMS devices with CMOS circuits and method therefor
US8584521B1 (en) * 2010-01-19 2013-11-19 MCube Inc. Accurate gyroscope device using MEMS and quartz
US8794065B1 (en) 2010-02-27 2014-08-05 MCube Inc. Integrated inertial sensing apparatus using MEMS and quartz configured on crystallographic planes
US8936959B1 (en) 2010-02-27 2015-01-20 MCube Inc. Integrated rf MEMS, control systems and methods
US8367522B1 (en) 2010-04-08 2013-02-05 MCube Inc. Method and structure of integrated micro electro-mechanical systems and electronic devices using edge bond pads
US8928696B1 (en) 2010-05-25 2015-01-06 MCube Inc. Methods and apparatus for operating hysteresis on a hand held device
US8652961B1 (en) 2010-06-18 2014-02-18 MCube Inc. Methods and structure for adapting MEMS structures to form electrical interconnections for integrated circuits
US8869616B1 (en) 2010-06-18 2014-10-28 MCube Inc. Method and structure of an inertial sensor using tilt conversion
US8993362B1 (en) 2010-07-23 2015-03-31 MCube Inc. Oxide retainer method for MEMS devices
US8723986B1 (en) 2010-11-04 2014-05-13 MCube Inc. Methods and apparatus for initiating image capture on a hand-held device
US8969101B1 (en) 2011-08-17 2015-03-03 MCube Inc. Three axis magnetic sensor device and method using flex cables
JP6010690B2 (ja) * 2012-06-04 2016-10-19 カスタム センサーズ アンド テクノロジーズ インコーポレイテッド ねじれ速度測定ジャイロスコープ
JP6337443B2 (ja) * 2013-10-30 2018-06-06 セイコーエプソン株式会社 振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体
JP6337444B2 (ja) * 2013-10-30 2018-06-06 セイコーエプソン株式会社 振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体
US10386204B2 (en) * 2017-06-28 2019-08-20 Intel Corporation Integrated sensor and homologous calibration structure for resonant devices
JP7191118B2 (ja) * 2018-11-30 2022-12-16 京セラ株式会社 多軸角速度センサ

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4598585A (en) * 1984-03-19 1986-07-08 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Planar inertial sensor
KR100408494B1 (ko) * 1995-12-27 2004-03-04 삼성전자주식회사 마이크로 자이로스코프
US5992233A (en) * 1996-05-31 1999-11-30 The Regents Of The University Of California Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope
US6578420B1 (en) * 1997-01-28 2003-06-17 Microsensors, Inc. Multi-axis micro gyro structure
US6374672B1 (en) * 2000-07-28 2002-04-23 Litton Systems, Inc. Silicon gyro with integrated driving and sensing structures
US7168317B2 (en) * 2003-11-04 2007-01-30 Chung-Shan Institute Of Science And Technology Planar 3-axis inertial measurement unit
US7421898B2 (en) * 2004-08-16 2008-09-09 The Regents Of The University Of California Torsional nonresonant z-axis micromachined gyroscope with non-resonant actuation to measure the angular rotation of an object
JP2006308543A (ja) * 2005-03-31 2006-11-09 Fujitsu Media Device Kk 角速度センサ
JP5306570B2 (ja) 2005-04-18 2013-10-02 パナソニック株式会社 振動ジャイロ
JP4763360B2 (ja) 2005-06-30 2011-08-31 アラクサラネットワークス株式会社 半導体装置
JP4893335B2 (ja) * 2007-01-26 2012-03-07 セイコーエプソン株式会社 ジャイロモジュール

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