CN101206400A - 感光性层叠体的制造装置及制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种感光性层叠体的制造装置及制造方法。将来自二维光源(69a、69b)的照明光向长条状感光性膜(22a、22b)照射，并由构成第一及第二检测机构(47a、47b)的CCD摄像机(72a、72b)接受该透过光，由此拍摄配置于基准位置的基准片(67a、67b)以及半切割部位(34)的图像，根据拍摄后的图像计算半切割部位(34)相对于基准片(67a、67b)的位置偏差量(ΔLa、ΔLb及ΔMa、ΔMb)，根据位置偏差量(ΔLa、ΔLb及ΔMa、ΔMb)来驱动橡胶辊(80a)，修正感光性膜(22a、22b)的输送量。

Description

感光性层叠体的制造装置及制造方法

技术领域

本发明涉及感光性层叠体的制造装置及制造方法，将基板和在支承体上设置感光材料层而成的长条状感光性膜输出到一对压接辊间，并将所述感光材料层贴附到所述基板上，由此制造感光性层叠体。

背景技术

例如，在液晶面板用基板、印刷配线用基板、PDP用基板中，将具有感光性树脂层(感光材料层)的感光性片体(感光性膜(感光性ウエブ))贴附到基板表面而构成。感光性片体是将感光性树脂层和保护薄膜顺次在挠性塑料支承体上层叠而成的。

这种感光性片体的贴附所使用的制造装置通常采用如下方式，即，将玻璃基板或树脂基板等基板每隔规定间隔分开输送，并且对应贴附于所述基板上的感光性树脂层的范围，将保护薄膜从所述感光性片体剥离。

例如特开平11-34280号公报中公开的制造装置中，如图9所示，从薄膜辊1输出的层叠体薄膜(感光性片体)1a被卷绕在导辊2a、2b上而沿水平的薄膜输送面延伸。在该导辊2b上安装有输出与层叠体薄膜1a的输送量对应的数量的脉冲信号的回转式编码器3。

沿水平的薄膜输送面延伸的层叠体薄膜1a卷绕在吸水辊4上，并且在所述导辊2b和所述吸水辊4之间设有半切割装置5和覆膜剥离装置6。

半切割装置5具备沿层叠体薄膜1a的输送方向隔开规定间隔的一对盘形铣刀5a、5b。盘形铣刀5a、5b通过沿层叠体薄膜1a的薄膜宽度方向移动，将所述层叠体薄膜1a的覆膜(未图示)的剥离部分和残留部分这两个部位的边界部分与其背侧的感光性树脂层(未图示)一体切断。

覆膜剥离装置6在将从粘接带辊7输出的粘接带7a于按压辊8a、8b间强力地压接在覆膜的剥离部分后，由卷绕辊9卷绕。由此，覆膜的剥离部分从感光性树脂层剥离，与粘接带7a一起被卷绕在卷绕辊9上。

在吸水辊4的下游，在由基板输送装置10以规定的间隔输送的多个基板11的上面配置有将覆膜被剥离的层叠体薄膜1a的剥离部分重叠压接的一对层压辊12a、12b。在该层压辊12a、12b的下游侧配置有支承薄膜卷绕辊13。贴附于基板11上的透光性支承薄膜(未图示)以在基板11上残留有感光性树脂层的状态与覆膜的残留部分一起被卷绕在支承薄膜卷绕辊13上。

另外，为将覆膜被剥离的层叠体薄膜1a的剥离部分准确地贴附在基板11的所希望的范围，需要以覆膜的剥离部分和残留部分的边界部分为基准，将层叠体薄膜1a高精度地输送到层压辊12a、12b之间。

但是，层叠体薄膜1a是在挠性支承薄膜上形成有感光形树脂层的薄膜，由于其以赋予了张力的状态输送，故所述边界部分的位置可能会因输送中产生的延伸的影响而产生偏差。另外，层压辊12a、12b由于将层叠体薄膜1a和基板11以加热状态贴附，故特别是在层压辊12a、12b附近的层叠体薄膜1a的延伸增大。

该情况下，在层压辊12a、12b间，只要能够检测所述层叠体薄膜1a的所述边界部分的位置，就可以调节其位置而进行高精度的贴附处理。但是，由于层压辊12a、12b阻碍进行检测，故在由层压辊12a、12b夹持着层叠体薄膜1a及基板11的状态下检测边界部分的位置实际上是不可能的。

因此，本申请人提出了如下制造装置(参照特开2006-297889号公报)，在吸水辊4和层压辊12a、12b之间的规定部位配置检测所述边界部分的传感器，并控制距该传感器检测到边界部分的时刻的层叠体薄膜1a的输送量。

该情况下，只要知道所述传感器和所述层压辊12a、12b之间的距离、及其间的层叠体薄膜1a的延伸率，就可以高精度地在层压辊12a、12b间设定边界部分。

但是，所述传感器虽然能够检测边界部分，但不能检测到该边界部分从所希望的位置偏移了何种程度。

发明内容

本发明的一般目的在于，提供一种感光性层叠体的制造装置及制造方法，能够用简易的构成来高精度地检测长条状感光性膜上形成的加工部位相对于基准位置的位置，制造高品质的感光性层叠体。

本发明的主要目的在于，提供一种感光性层叠体的制造装置及制造方法，能够根据检测到的加工部位的位置来在基板的所希望的位置高精度地贴附长条状感光性膜。

本发明提供一种感光性层叠体的制造装置，其输出在支承体上顺次层叠感光材料层和保护薄膜而成的长条状感光性膜，在从所述保护薄膜到所述感光材料层的部分形成与所述保护薄膜的剥离部分和残留部分的边界位置对应的加工部位，将所述保护薄膜的所述剥离部分剥离，并与以规定的间隔供给的基板一起连续地输出到被加热的一对压接辊间，在所述基板间配置所述保护薄膜的所述残留部分，并且将曝光后的所述感光材料层贴附在所述基板上，由此制造感光性层叠体，所述感光性层叠体的制造装置的特征在于，

具备位置检测装置，该位置检测装置配置于形成所述加工部位的加工部和所述压接辊之间的所述长条状感光性膜的输送路径中的规定部位，检测所述加工部位相对于基准位置的位置，

所述位置检测装置具备：

光源，其将由不使所述感光材料层感光的波长组成的照明光对所述长条状感光性膜进行照射；

检测部，其具有沿所述长条状感光性膜的至少输送方向延伸的检测域，基于透过所述长条状感光性膜、或者由所述长条状感光性膜反射的所述照明光检测所述加工部位；

计算部，其计算由所述检测部检测到的所述加工部位相对于所述基准位置的位置。

另外，本发明提供一种感光性层叠体的制造方法，其输出在支承体上顺次层叠感光材料层和保护薄膜而成的长条状感光性膜，在从所述保护薄膜到所述感光材料层(28)的部分形成与所述保护薄膜的剥离部分和残留部分的边界位置对应的加工部位，将所述保护薄膜的所述剥离部分剥离，并与以规定的间隔供给的基板一起连续地输出到被加热的一对压接辊间，在所述基板间配置所述保护薄膜的所述残留部分，并且将曝光后的所述感光材料层贴附在所述基板上，由此制造感光性层叠体，所述感光性层叠体的制造方法的特征在于，包括如下步骤：

将由不使所述感光材料层感光的波长组成的照明光对所述长条状感光性膜进行照射，利用具有沿所述长条状感光性膜的输送方向延伸的检测域的检测部检测透过所述长条状感光性膜、或者由所述长条状感光性膜反射的所述照明光；

将由所述检测部检测到的所述加工部位的位置作为相对于规定基准位置的位置进行计算。

本发明中，使用具有沿长条状感光性膜的输送方向延伸的检测域的检测部，可用简易的构成高精度地检测长条状感光性膜上形成的加工部位相对于基准位置的位置。该情况下，例如根据检测到的加工部位的位置来调节长条状感光性膜的输送量及加工部位的形成位置，从而可制造在基板上的所希望的位置贴附了感光材料层的高品质的感光性层叠体。

根据附图和优选实施例的说明将会更明确所述目的、特征及优点。

附图说明

图1是本发明第一实施例的制造装置的概略构成图；

图2是用于所述制造装置的长条状感光性膜的剖面图；

图3是在所述长条状感光性膜上粘接了粘接标签的状态的说明图；

图4是检测半切割部位的位置的第一及第二检测机构的构成、及第一及第二检测机构和贴附机构的配置关系的说明图；

图5是通过第一及第二检测机构来检测半切割部位的状态的说明图；

图6是用于检测并修正半切割部位的位置偏差的电路构成的框图；

图7是本发明第二实施例的制造装置的概略构成图；

图8是第一及第二检测机构的其它构成的说明图；

图9是特开平11-34280号公报的制造装置的概略构成图。

具体实施方式

图1是本发明第一实施例的感光性层叠体的制造装置20的概略构成图，该制造装置20在液晶或有机EL用滤色器等的制造工序中进行将长条状的感光性膜22a、22b的各感光性树脂层28(后述)并排而热转印到玻璃基板24上的作业。感光性膜22a、22b分别被设定为规定的宽度尺寸。

图2是用于制造装置20的感光性膜22a、22b的剖面图。该感光性膜22a、22b通过将挠性基薄膜(支承体)26、感光性树脂层(感光材料层)28、保护薄膜30层叠而构成。

如图1所示，制造装置20具备：第一及第二膜输出机构32a、32b，其收容将感光性膜22a、22b卷成辊状的两条(也可以为两条以上)感光性膜辊23a、23b，且可从各感光性膜辊23a、23b同步输出所述感光性膜22a、22b；第一及第二加工机构36a、36b，其在输出的各感光性膜22a、22b的保护薄膜30及感光性树脂层28上形成沿宽度方向可切断的边界位置即半切割部位(加工部位)34；第一及第二标签粘接机构40a、40b，其将局部具有非粘接部38a的粘接标签38(参照图3)粘接于各保护薄膜30上。

在第一及第二标签粘接机构40a、40b的下游配置：第一及第二循环机构42a、42b，其用于将各感光性膜22a、22b从间歇输送变更为连续输送；第一及第二剥离机构44a、44b，其将保护薄膜30以规定的长度间隔从各感光性膜22a、22b剥离；基板输送机构45，其将玻璃基板24以加热到规定温度的状态输送到贴附位置；贴附机构46，其将通过剥离所述保护薄膜30而露出的感光性树脂层28一体且并列地贴附在所述玻璃基板24上。

在贴附机构46上的贴附位置上游附近配置第一及第二检测机构(位置检测装置)47a、47b，该第一及第二检测机构47a、47b用于检测各感光性膜22a、22b的边界位置即各自的半切割部位34的位置。

在第一及第二膜输出机构32a、32b的下游附近配置将大致已用完的感光性膜22a、22b的后端、和新使用的感光性膜22a、22b的前端贴附的各自的贴附台49。在贴附台49的下游，为控制感光性膜辊23a、23b的卷绕偏差带来的宽度方向上的偏差，而配置薄膜终端位置检测器51。在此，薄膜终端位置调节通过使第一及第二膜输出机构32a、32b沿宽度方向移动而进行，但也可以附带组合了辊的位置调节机构而进行。另外，第一及第二膜输出机构32a、32b的构成也可以为，装填感光性膜辊23a、23b，将输出感光性膜22a、22b的输出轴作成二轴或三轴等多轴。

第一及第二加工机构36a、36b被配置在辊对50的下游，该辊对50用于计算收容并卷绕于第一及第二膜输出机构32a、32b上的各感光性膜辊23a、23b的辊径。第一及第二加工机构36a、36b分别具有单一的圆刃52，该圆刃52沿感光性膜22a、22b的宽度方向行进，在夹着保护薄膜30的残留部分30b(图2)的规定两个位置形成半切割部位34。

如图2所示，半切割部位34需要至少将保护薄膜30及感光性树脂层28切断，实际上设定圆刃52的切入深度，以切入到基薄膜26。圆刃52采用如下方式进行切割：以不旋转而被固定的状态沿感光性膜22a、22b的宽度方向移动，形成半切割部位34；在所述感光性膜22a、2b上不滑动而旋转，同时沿所述宽度方向移动，形成所述半切割部位34。该半切割部位34也可以采用代替圆刃52的如下方式得到，即，例如除了采用了激光或超声波的切割方式以外，还可以采用以刮刃、压切刃(汤姆逊刃)等形成的方式。

另外，第一及第二加工机构36a、36b也可以分别离开与残留部分30b的宽度对应的距离在感光性膜22a、22b的输送方向(箭头A方向)配置两台，也可以夹着保护薄膜30的残留部分30b(图2)同时形成两个半切割部位34。

半切割部位34如下设定，在玻璃基板24上贴附感光性树脂层28时，成为例如从所述玻璃基板24的两端部分别按10mm的量进入内侧的位置。另外，玻璃基板24间的玻璃薄膜30的残留部分30b在后述的贴附机构46上起到将感光性树脂层28框状地贴附于所述玻璃基板24上时的掩模的作用。

第一及第二标签粘接机构40a、40b，由于对应玻璃基板24间而残留保护薄膜30的残留部分30b，从而供给将剥离侧前方的剥离部分30aa和剥离侧后方的剥离部分30ab连结的粘接标签38。如图2所示，保护薄膜30夹着残留部分30b，以先剥离的部分为前方的剥离部分30aa，另一方面，以后剥离的部分为后方的剥离部分30ab。

如图3所示，粘接标签38构成为短栅状，例如用与保护薄膜30相同的树脂材料形成。粘接标签38具有中央部未涂敷粘接剂的非粘接部(含微粘接)38a，并且在该非粘接部38a的两侧即所述粘接标签38的长度方向两端部具有粘接于前方的剥离部分30aa上的第一粘接部38b、和粘接于后方的剥离部分30ab上的第二粘接部38c。

如图1所示，第一及第二标签粘接机构40a、40b分别具备可将最大7片粘接标签38每隔规定间隔分开贴附的吸附盘54a～54g，并且在所述吸附盘54a～54g产生的所述粘接标签38的贴附位置升降自如地配置用于自下方保持感光性膜22a、22b的支承台56。

第一及第二循环机构42a、42b具备为吸收上游侧的感光性膜22a、22b的间歇输送和下游侧的所述感光性膜22a、22b的连续输送的速度差而沿箭头方向摆动自如的松紧调节辊60。在第二循环机构42b中配置用于将自第一及第二膜输出机构32a、32b输出的各感光性膜22a、22b到达贴附机构46的各输送路径长度调节为相同的松紧调节辊61。

第一及第二循环机构42a、42b的下游配置的第一及第二剥离机构44a、44b分别具备遮断感光性膜22a、22b的输出侧的张力变动，并使层压时的张力稳定的吸入筒62。在各吸入筒62的附近配置剥离辊63，并且经由该剥离辊63自感光性膜22a、22b以锐角剥离角剥离的保护薄膜30被分别卷绕在除残留部分30b以外的保护薄膜卷绕部64。

在第一及第二剥离机构44a、44b的下游侧配置可赋予感光性膜22a、22b张力的第一及第二张力控制机构66a、66b。第一及第二张力控制机构66a、66b分别具备滚筒68，在所述滚筒68的驱动作用下，张力储线器70分别摆动变位，由此可调节各张力储线器70滑动接触的感光性膜22a、22b的张力。还有，第一及第二张力控制机构66a、66b根据需要既可以使用也可以不使用。

检测半切割部位34的位置的第一及第二检测机构47a、47b，如图4所示，配置在输送辊73和输送辊71a、71b之间的长条状感光性膜22a、22b成为直线状的部分，如图5所示，其具备：具有沿长条状感光性膜22a、22b的输送方向延伸的检测域的二维传感器例如CCD摄像机(检测部)72a、72b；经由感光性膜22a、22b与CCD摄像机72a、72b对置配置，将照明光对长条状感光性膜22a、22b进行照射的二维光源69a、69b。

CCD摄像机72a、72b具有构成所述检测域的多个检测像素。CCD摄像机72a、72b只要能够检测到半切割部位34相对于长条状感光性膜22a、22b的输送方向的位置即可，因此，其也可以由在所述输送方向排列多个检测像素而成的一维传感器构成。另外，自二维光源69a、69b输出的照明光为由不使感光性树脂层28感光的波长构成的光例如红色光。

在CCD摄像机72a、72b的检测域的基准位置配置以构成贴附机构46的橡胶辊80a、80b的位置为基准而进行定位的基准片67a、67b。具体而言，如图4所示，例如在贴附于玻璃基板24上的之前的感光性树脂层28的后端部的半切割部位34位于橡胶辊80a、80b的中心线上时，在成为从所述后端部的半切割部位34到之后的下一感光性树脂层28的后端部的半切割部位34的基准长度L的位置配置各基准片67a、67b。该情况下，基准长度L为贴附于玻璃基板24上的感光性树脂层28的设计上的长度。

另外，第一及第二检测机构47a、47b沿长条状感光性膜22a、22b的输送路径在图5所示的箭头方向上可移动，由此，可对应不同的基准长度L来调节基准片67a、67b的位置。另外，也可以在CCD摄像机72a、72b的检测域内对应基准长度L来调节表示半切割部位34的基准位置的基准片67a、67b的位置。另外，也可以特定构成CCD摄像机72a、72b的检测像素，且以其检测像素的位置作为基准位置，以此来代替使用基准片67a、67b。

基板输送机构45具备夹着玻璃基板24配置的多组基板加热部(例如加热器)74、和将该玻璃基板24沿箭头C方向输送的输送部76。在基板加热部74，持续监视玻璃基板24的温度，在发生异常时，停止输送部76或发出警报，并且发送异常信息，可将异常的玻璃基板24在后工序中活用于NG排出、品质管理或生产管理等。在输送部76配置未图示的气浮板，其使玻璃基板24浮起后沿箭头C方向输送。玻璃基板24的输送也可以由辊式输送机进行。

玻璃基板24的温度测定优选在基板加热部74内或贴附位置之前进行。作为测定方法，除接触式(例如热电偶)以外，也可以是非接触式。

在基板加热部74的上游设置收容多个玻璃基板24的基板储料器71。

该基板储料器71内收容的各玻璃基板24被设于机器人75的手部75a上的吸附盘79吸附取出，插入到基板加热部74。

贴附机构46具备上下配置，并且加热到规定温度的橡胶辊(压接辊)80a、80b。支承辊82a、82与橡胶辊80a、80b滑动接触。一支承辊82b通过构成辊夹紧部83的加压滚筒84a、84b被按压在橡胶辊80b侧。

在橡胶辊80a的附近可移动地设置用于防止感光性膜22a、22b与所述橡胶辊80a接触的防接触辊86。在贴附机构46的上游附近配置用于将感光性膜22a、22b预加热到预定温度的预加热部87。该预加热部87例如具备红外线棒加热器等加热装置。

玻璃基板24经由从贴附机构46向箭头C方向延伸的输送路径88输送。在该输送路径88中配置薄膜输送辊90a、90b及基板输送辊92。橡胶辊80a、80b和基板输送辊92的间隔优选设定为玻璃基板24的一片量的长度以下。在基板输送辊92的下游侧附近配置检测输送来的玻璃基板24的前端部的基板前端检测传感器94。基板前端检测传感器94在将贴附于玻璃基板24上的感光性树脂层28的后端部的半切割部位34配置到贴附机构46的橡胶辊80a、80b之间时，被配置在检测玻璃基板24的前端部的位置。

另外，在基板输送辊92的下游设置冷却机构122和基薄膜自动剥离机构142。基薄膜自动剥离机构142是将每隔规定间隔分开的各玻璃基板24上贴附的长条的基薄膜26连续剥离的机构，其具备预剥离部144、较小直径的剥离辊146、卷轴148、自动贴附机150。卷轴148在驱动时进行转矩控制，赋予基薄膜26张力，另一方面，例如优选通过在剥离辊146上设置张力检测器(未图示)来进行张力的反馈控制。预剥离部144具备在玻璃基板24间可升降的玻璃棒156。

在基薄膜自动剥离机构142的下游配置测定实际上已贴附在玻璃基板24上的感光性树脂层28的区域位置的测定器158。该测定器158例如具备对贴附了感光性树脂层28的玻璃基板24进行拍摄的CCD等摄像机160。

另外，在基薄膜自动剥离机构142的下游设置感光性层叠体储料器132，该感光性层叠体储料器132中收容由测定器158在感光性树脂层28上测定了区域位置的多个感光性层叠体106。利用基薄膜自动剥离机构142剥离了基薄膜26及残留部分30b的感光性层叠体106被设于机器人134的手部134a上的吸附盘136吸附取出，收容在感光性层叠体储料器132内。

另外，在如上那样构成的制造装置20中，第一及第二膜输出机构32a、32b、第一及第二加工机构36a、36b、第一及第二标签粘接机构40a、40b、第一及第二循环机构42a、42b、第一及第二剥离机构44a、44b、第一及第二张力控制机构66a、66b、以及第一及第二检测机构47a、47b被配置于贴附机构46上方，但也可以与之相反，将所述第一及第二膜输出机构32a、32b～所述第一及第二检测机构47a、47b配置于所述贴附机构46的下方，使感光性膜22a、22b上下反向，将感光性树脂层28贴附在玻璃基板24的下侧，另外，也可以将所述制造装置20整体构成直线状。

如图1所示，制造装置20中，利用层压工序控制部100控制整体，对该制造装置20的每个功能部设置例如层压控制部102、基板加热控制部104及半切割控制部108等，并通过工序内的网络将它们彼此连接。而且，层压工序控制部100与工厂的网络连接，进行来自未图示的工厂CPU的指示信息(条件设定或生产信息)的生产管理及动作管理等用于生产的信息处理。

基板加热控制部104控制从上游工序接收玻璃基板24，并将该玻璃基板24加热到所希望的温度后供给于贴附机构46的动作及该玻璃基板24的信息处理等。

层压控制部102是作为工序整体的主盘来进行各功能部的控制的机构，其构成控制机构，可基于由第一及第二检测机构47a、47b检测到的感光性膜22a、22b的半切割部位34的位置信息来控制贴附位置的各边界位置和玻璃基板24的相对位置及各边界位置彼此的相对位置。

半切割控制部108控制第一及第二加工机构36a、36b，在感光性膜22a、22b的规定位置形成半切割部位34。

图6表示通过层压工序控制部100、层压控制部102、及半切割控制部108修正半切割部位34的位置偏差的功能的构成块图。

该情况下，层压工序控制部100具有位置偏差量计算部(计算部)120，其在由基板前端检测传感器94检测到玻璃基板24的前端部时，基于由CCD摄像机72a、72b拍摄到的检测域的图像来计算各感光性膜22a、22b的半切割部位34相对于基准片67a、67b前端部的基准位置的位置偏差量ΔLa、ΔLb及ΔMa、ΔMb。另外，位置偏差量ΔLa、ΔLb是贴附于玻璃基板24上的感光性树脂层28的后端部配置的半切割部位34的位置偏差量，位置偏差量ΔMa、ΔMb是贴附于玻璃基板24上的感光性树脂层28的前端部配置的半切割部位34的位置偏差量。

层压控制部102具有控制脉冲修正部123和辊控制部126，其中，控制脉冲修正部123基于由位置偏差量计算部120算出的半切割部位34的位置偏差量ΔLa、ΔLb及ΔMa、ΔMb来修正控制贴附于玻璃基板24上的感光性树脂层28的输送量的层压控制脉冲，并且还修正控制玻璃基板24间的保护薄膜30的残留部分30b的输送量的基板间输送控制脉冲；辊控制部126根据修正后的层压控制脉冲或基板间输送控制脉冲来控制使橡胶辊80a旋转的辊驱动电动机124。

半切割控制部108具有半切割位置修正部128，该半切割位置修正部128在由位置偏差量计算部120算出的半切割部位34的位置偏差量ΔLa、ΔLb或ΔMa、ΔMb超过了规定的容许范围时，基于所述位置偏差量ΔLa、ΔLb或ΔMa、ΔMb来修正基于第一及第二加工机构36a、36b的半切割部位34的位置。

制造装置20内通过隔壁110被隔成第一无尘室112a和第二无尘室112b。在第一无尘室112a中收容第一及第二膜输出机构32a、32b～第一及第二张力控制机构66a、66b，并且在第二无尘室112b内收容第一及第二检测机构47a、47b以及其之后的构件。第一无尘室112a和第二无尘室112b经由贯通部114连通。

通过与本发明的制造方法的关联，下面说明如上那样构成的制造装置20的动作。

首先，从安装于第一及第二膜输出机构32a、32b上的各感光性膜辊23a、23b输出感光性膜22a、22b。将感光性膜22a、22b输送到第一及第二加工机构36a、36b。

在第一及第二加工机构36a、36b，圆刃52沿感光性膜22a、22b的宽度方向移动，将所述感光性膜22a、22b从保护薄膜30切入至感光性树脂层28乃至基薄膜26，形成半切割部位34(参照图2)。进而感光性膜22a、22b在对应保护薄膜30的残留部分30b的宽度M而沿箭头A方向输送后停止，在圆刃52的行进作用下形成半切割部位34。由此，在感光性膜22a、22b上，夹着残留部分30b设置前方剥离部分30aa和后方剥离部分30ab(参照图2)。

还有，残留部分30b的宽度M是以感光性膜22a、22b不延伸为前提并以向贴附机构46的橡胶辊80a、80b间供给的玻璃基板24间的距离为基准而设定的。另外，以宽度M形成的一组半切割部位34以贴附于玻璃基板24上的感光性树脂层28的基准长度L的间隔在长条状感光性膜22a、22b上形成。

其次，将各感光性膜22a、22b输送到第一及的第二标签粘接机构40a、40b，将保护薄膜30的规定的贴附部位配置到支承台56上。在第一及第二标签粘接机构40a、40b，利用吸附盘54b～54g吸附保持规定片数的粘接标签38，并将各粘接标签38跨过保护薄膜30的残留部分30b而一体粘接到前方剥离部分30aa和后方剥离部分30ab(参照图3)。

例如，粘接有七片粘接标签38的感光性膜22a、22b如图1所示，在通过第一及第二循环机构42a、42b防止输出侧的张力变动后，被连续输送到第一及第二剥离机构44a、44b。在第一及第二剥离机构44a、44b，感光性膜22a、22b的基薄膜26被吸附保持于吸入筒62上，并且保护薄膜30残留残留部分30b而从所述感光性膜22a、22b剥离。该保护薄膜30经由剥离辊63剥离后被卷绕在保护薄膜卷绕部64(参照图1)。

在第一及第二剥离机构44a、44b的作用下，保护薄膜30残留残留部分30b而从基薄膜26剥离后，感光性膜22a、22b通过第一及第二张力控制机构66a、66b进行张力调节，之后在第一及第二检测机构47a、47b进行半切割部位34的检测。

从构成第一及第二检测机构47a、47b的二维光源69a、69b向感光性膜22a、22b照射红色光即照明光，通过将该透过光导向CCD摄像机72a、72b，拍摄包含半切割部位34的长条状感光性膜22a、22b的图像、和配置于基准位置的基准片67a、67b的图像。还有，由于半切割部位34以从长条状感光性膜22a、22b除去感光性树脂层28的状态形成，因而可得到亮度高的半切割部位34的图像。位置偏差量计算部120基于拍摄到的图像来计算半切割部位34相对于基准片67a、67b前端部的位置偏差量ΔLa、ΔLb。

该情况下，图2所示的剥离部分30aa侧的半切割部位34、和基准片67a、67b的前端部一致，位置偏差量ΔLa、ΔLb为0，设定第一及第二检测机构47a、47b和贴附机构46之间的基准长度L，以在橡胶辊80a、80b间的规定位置配置之前的剥离部分30ab侧的半切割部位34。

因此，将所述感光性膜22a、22b从所述状态输送与保护薄膜30的残留部分30b的宽度M对应的距离后停止，另一方面，在基板输送机构45的作用下将玻璃基板24以预加热的状态输送到贴附位置。将玻璃基板24对应并列的感光性膜22a、22b的感光性树脂层28的贴附部分而暂时配置在橡胶辊80a、80b间。

其次，通过使支承辊82b及橡胶辊80b上升，将玻璃基板24以规定的按压力夹在橡胶辊80a、80b之间。辊控制部126(图6)基于与从控制脉冲修正部123供给的未修正的基准长度L对应的层压控制脉冲来驱动辊驱动电动机124，在橡胶辊80a的旋转作用下，将感光性膜22a、22b及玻璃基板24沿箭头C方向输送。其结果是，并列的各感光性树脂层28加热熔融而转印(层压)在玻璃基板24上。该情况下，当在感光性膜22a、22b上没有延伸时，感光性膜22a、22b的感光性树脂层28从后方的剥离部分30ab侧的半切割部位34正确地转印在玻璃基板24的规定部位。

还有，作为层压条件，速度为1.0m/min～10.0m/min，橡胶辊80a、80b的温度为80℃～150℃，所述橡胶辊80a、80b的橡胶硬度为40度～90度，该橡胶辊80a、80b的按压(线压)为50N/cm～400N/cm。

基板前端检测传感器94检测玻璃基板24的前端，经由橡胶辊80a、80b在玻璃基板24上层压一片感光性膜22a、22b的工序一结束，就停止所述橡胶辊80a的旋转，另一方面，利用基板输送辊92夹紧层压了所述感光性膜22a、22b的所述玻璃基板24(以下称为贴附基板24a)。

然后，橡胶辊80b沿从橡胶辊80a离开的方向退避，解除夹紧，并且开始基板输送辊92的旋转，将贴附基板24a沿箭头C方向输送与保护薄膜30的残留部分30b的宽度M对应的距离，从而保护薄膜30后方的剥离部分30ab侧的半切割部位34移动到橡胶辊80a的下方附近的规定位置。另一方面，将下一个玻璃基板24经由基板输送机构45向贴附位置输送。通过重复以上的动作，连续地制造贴附基板24a。

此时，贴附基板24a如图4所示，各自的端部彼此由残留部分30b覆盖。因此，在玻璃基板24上转印感光性树脂层28时，橡胶辊80a、80b不会被所述感光性树脂层28污染。

由贴附机构46层压而成的贴附基板24a通过冷却机构122被冷却，之后被运送到预剥离部144。在该预剥离部144，剥离杆156面临着玻璃基板24之间上升，由此提升起玻璃基板24间的保护薄膜30，将其从邻接的玻璃基板24的后端及前端剥离。

其次，在基薄膜自动剥离机构142，在卷轴148的旋转作用下，从贴附基板24a连续地卷绕基薄膜26。进而在进行了故障停止下的切开或次品分离时的切断之后，将重新开始层压处理后的贴附基板24a的基薄膜26的前端、和卷绕在卷轴148上的基薄膜26的后端通过自动贴附机150自动地贴附起来。

剥离了基薄膜26的贴附基板24a配置于与测定器158对应的检查位置。在该检查位置，在对玻璃基板24进行了定位固定的状态下，通过四台摄像机160获取玻璃基板24和感光性树脂层28的图像。然后，通过实施图像处理，运算贴附位置。

确认了感光性树脂层28的贴附位置的贴附基板24a由机器人134取出，作为感光性层叠体106被收容于感光性层叠体储料器132内。

另外，在以上的说明中，是以从第一及第二膜输出机构32a、32b输出的感光性膜22a、22b未延伸而被正确地供给到贴附机构46的情况为前提的，但实际上由于具有挠性的感光性膜22a、22b受到张力或热的影响而延伸规定量，因此，感光性树脂层28可能不能被高精度地转印在玻璃基板24的规定位置。

因此，构成第一及第二检测机构47a、47b的CCD摄像机72a、72b在基板前端检测传感器94检测到玻璃基板24的前端而停止感光性膜22a、22b及玻璃基板24的输送时，对包含剥离部分30aa侧的半切割部位34及基准片67a、67b的图像进行拍摄，并将其图像供给到位置偏差量计算部120。位置偏差量计算部120基于供给的图像计算半切割部位34相对于作为基准位置的基准片67a、67b的前端部的位置偏差量ΔLa、ΔLb。

该情况下，若相对于基准片67a、67b将位置偏差量ΔLa、ΔLb的符号中供给感光性膜22a、22b的上游侧设为+，将下游侧设为-，则例如可判定为，在位置偏差量ΔLa、ΔLb为+时，贴附于玻璃基板24上的感光性树脂层28延长为比基准长度L长位置偏差量ΔLa、ΔLb，在为-时，缩短为比基准长度L短。

在算出的位置偏差量ΔLa、ΔLb为规定的容许量以内时，位置偏差量计算部120将位置偏差量ΔLa、ΔLb供给向控制脉冲修正部123，根据位置偏差量ΔLa、ΔLb来修正感光性膜22a、22b的层压控制脉冲。

其次，构成第一及第二检测机构47a、47b的CCD摄像机72a、72b在橡胶辊80a的旋转作用下将长条状感光性膜22a、22b输送与保护薄膜30的残留部分30b的宽度M对应的距离后停止时，对包含剥离部分30ab侧的半切割部位34及基准片67a、67b的图像进行拍摄，并将其图像供给到位置偏差量计算部120。位置偏差量计算部120基于供给的图像计算半切割部位34相对于作为基准位置的基准片67a、67b的前端部的位置偏差量ΔMa、ΔMb。

该情况下，可基于剥离部分30ab侧的半切割部位34的位置偏差量ΔMa、ΔMb来检测保护薄膜30的残留部分30b的宽度M的变动量。

在算出的位置偏差量ΔMa、ΔMb为规定的容许量以内时，位置偏差量计算部120将位置偏差量ΔMa、ΔMb供给向控制脉冲修正部123，根据位置偏差量ΔMa、ΔMb来修正长条状感光性膜22a、22b的基板间输送控制脉冲。

之后，辊控制部126根据修正后的层压控制脉冲和修正后的基板间输送控制脉冲来驱动辊驱动电动机124，并输送控制长条状感光性膜22a、22b。

另一方面，在通过位置偏差量计算部120算出的位置偏差量ΔLa、ΔLb或ΔMa、ΔMb超过了规定的容许量时，通过对基于第一及第二加工机构36a、36b的半切割部位34的加工位置进行修正来应对。该情况下，半切割位置修正部128基于位置偏差量ΔLa、ΔLb或ΔMa、ΔMb来变更半切割部位34的加工位置，在感光性膜22a、22b上形成半切割部位34。

还有，在第一实施例中，使用了两个感光性膜辊23a、23b，但不限于此，也可以采用一个感光性膜辊或三个以上的感光性膜辊。另外，下面所说明的第二实施例中也是同样的。

图7是本发明第二实施例的感光性层叠体的制造装置300的概略构成图。还有，与第一实施例的感光性层叠体的制造装置20相同的构成要素使用相同参照符号，其详细说明省略。

制造装置300具备配置于贴附机构46的下游且可将各玻璃基板24间的感光性膜22a、22b一体切断的基板间膜切断机构48。

在这样构成的制造装置300中，与所述第一实施例相同，由贴附机构46层压而成的贴附基板24a被沿箭头C方向输送。而且，当贴附基板24a间到达与基板间膜切断机构48对应的位置时，该基板间膜切断机构48边以与所述贴附机构24a相同的输送速度沿箭头C方向移动，边在该贴附基板24a间将两个感光性膜22a、22b一体切断。

在进行了该切断后，基板间膜切断机构48返回到规定的待机位置，另一方面，在贴附基板24a上，基薄膜26及残留部分30b被顺次剥离(枚葉剥離)，制造感光性层叠体106。

还有，在所述各实施例中，通过由CCD摄像机72a、72b接受透过了感光性膜22a、22b的照明光，来检测半切割部位34，但也可以使用图8所示那样构成的检测机构162a、162b，基于由感光性膜22a、22b反射的照明光来检测半切割部位34。

即，从光源164a、164b输出的照明光在由半透半反镜166a、166b反射并导入到感光性膜22a、22b后，由感光性膜22a、22b反射，透过半透半反镜166a、166b导入到CCD摄像机72a、72a。该情况下，由半切割部位34反射的照明光与由感光性膜22a、22b的其它部位反射的照明光相比，被较大地散射，因此，可作为光量比周围少的条状的图像进行检测。还有，光源164a、164b及半透半反镜166a、166b构成同轴反射照明光学系统。

Claims (12)

1.一种感光性层叠体的制造装置，其输出在支承体(26)上顺次层叠感光材料层(28)和保护薄膜(30)而成的长条状感光性膜(22a、22b)，在从所述保护薄膜(30)到所述感光材料层(28)的部分形成与所述保护薄膜(30)的剥离部分(30aa、30ab)和残留部分(30b)的边界位置对应的加工部位(34)，将所述保护薄膜(30)的所述剥离部分(30aa、30ab)剥离，并与以规定的间隔供给的基板(24)一起连续地输出到被加热的一对压接辊(80a、80b)间，在所述基板(24)间配置所述保护薄膜(30)的所述残留部分(30b)，并且将曝光后的所述感光材料层(28)贴附在所述基板(24)上，由此制造感光性层叠体(106)，所述感光性层叠体的制造装置的特征在于，

具备位置检测装置(47a、47b)，该位置检测装置(47a、47b)配置于形成所述加工部位(34)的加工部(36a、36b)和所述压接辊(80a、80b)之间的所述长条状感光性膜(22a、22b)的输送路径中的规定部位，检测所述加工部位(34)相对于基准位置的位置，

所述位置检测装置(47a、47b)具备：

光源(69a、69b)，其将由不使所述感光材料层(28)感光的波长组成的照明光对所述长条状感光性膜(22a、22b)进行照射；

检测部(72a、72b)，其具有沿所述长条状感光性膜(22a、22b)的至少输送方向延伸的检测域，基于透过所述长条状感光性膜(22a、22b)、或者由所述长条状感光性膜(22a、22b)反射的所述照明光检测所述加工部位(34)；

计算部(120)，其计算由所述检测部(72a、72b)检测到的所述加工部位(34)相对于所述基准位置的位置。

2.如权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，所述检测部(72a、72b)由具有构成所述检测域的多个检测像素的二维传感器构成。

3.如权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，所述检测部(72a、72b)由具有构成所述检测域的多个检测像素的一维传感器构成。

4.如权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，将所述检测域的规定位置设定为所述基准位置。

5.如权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，在所述检测部(72a、72b)和所述长条状感光性膜(22a、22b)之间配置限定所述基准位置的基准片(67a、67b)，所述检测部(72a、72b)检测所述加工部位(34)及所述基准片(67a、67b)。

6.如权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，所述位置检测装置(47a、47b)检测所述加工部位(34)相对于以所述压接辊(80a、80b)的位置为基准而设定的所述基准位置的位置。

7.如权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，具备基板检测传感器(94)，该基板检测传感器(94)配置于以所述压接辊(80a、80b)的位置为基准的部位，检测贴附了所述感光材料层(28)的所述基板(24)的输送方向端部，

所述位置检测装置(47a、47b)在所述基板检测传感器(94)检测到所述基板(24)的输送方向端部时，检测所述加工部位(34)相对于所述基准位置的位置。

8.如权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，具备贴附定时修正部(123)，该贴附定时修正部(123)根据所述加工部位(34)相对于由所述计算部(120)计算出的所述基准位置的位置即位置偏差量来控制所述压接辊(80a、80b)，并修正所述感光材料层(28)相对于所述基板(24)的贴附定时。

9.如权利要求1所述的感光性层叠体的制造装置，其特征在于，具备加工位置修正部(128)，该加工位置修正部(128)根据所述加工部位(34)相对于由所述计算部(120)计算出的所述基准位置的位置即位置偏差量来控制所述加工部(36a、36b)，并修正所述加工部位(34)相对于所述长条状感光性膜(22a、22b)的加工位置。

10.一种感光性层叠体的制造方法，其输出在支承体(26)上顺次层叠感光材料层(28)和保护薄膜(30)而成的长条状感光性膜(22a、22b)，在从所述保护薄膜(30)到所述感光材料层(28)的部分形成与所述保护薄膜(30)的剥离部分(30aa、30ab)和残留部分(30b)的边界位置对应的加工部位(34)，将所述保护薄膜(30)的所述剥离部分(30aa、30ab)剥离，并与以规定的间隔供给的基板(24)一起连续地输出到被加热的一对压接辊(80a、80b)间，在所述基板(24)间配置所述保护薄膜(30)的所述残留部分(30b)，并且将曝光后的所述感光材料层(28)贴附在所述基板(24)上，由此制造感光性层叠体(106)，所述感光性层叠体的制造方法的特征在于，包括如下步骤：

将由不使所述感光材料层(28)感光的波长组成的照明光对所述长条状感光性膜(22a、22b)进行照射，利用具有沿所述长条状感光性膜(22a、22b)的输送方向延伸的检测域的检测部(72a、72b)检测透过所述长条状感光性膜(22a、22b)、或者由所述长条状感光性膜(22a、22b)反射的所述照明光；

将由所述检测部(47a、47b)检测到的所述加工部位(34)的位置作为相对于规定基准位置的位置进行计算。

11.如权利要求10所述的感光性层叠体的制造方法，其特征在于，将所述检测域的规定位置设定为所述基准位置。

12.如权利要求10所述的感光性层叠体的制造方法，其特征在于，检测所述加工部位(34)相对于以所述压接辊(80a、80b)的位置为基准而设定的所述基准位置的位置。

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