CN101267943A - 剥离层压体的装置和方法 - Google Patents

Abstract

一种剥离装置(44)具有用于吸引并进料感光料片(22)的吸鼓(62)和剥离辊(64)，所述剥离辊(64)被保持与吸鼓(62)的外圆周表面在将感光料片(22)安插在它们之间的情况下线接触，以从感光料片(22)上至少部分剥离保护膜(30)。在吸鼓(62)和剥离辊(64)之间的辊－对－辊的缝隙(h)被设置为基本上与感光料片(22)的厚度(t)相等的尺寸，因而在它们之间没有产生缝隙。

Description

剥离层压体的装置和方法

技术领域

本发明涉及从包含第一层和第二层的层压体上至少部分地剥离第二层的装置和方法。

背景技术

例如，液晶面板用衬底、印刷布线板用衬底和PDP面板用衬底包含具有感光材料(感光树脂)层并且被涂敷到衬底表面上的感光片材(感光体)。感光片材通常被构造成为层压在挠性塑料载体层上的感光材料层和保护膜的层压组件。

用于涂敷这种感光片材的涂敷装置通常工作，以给定的分隔间隔进料衬底如玻璃衬底、树脂衬底等，并且从感光片材上剥离出长度与被涂敷到相应衬底上的感光材料层长度相应的保护膜。

根据在日本公开专利出版物11-34280中公开的膜涂敷方法和装置，例如，如在附图的图7中所示，未从膜卷1上放出的层压膜1a被卷绕在导辊2a，2b上，并且沿着水平膜进料平面延伸。导辊2b与旋转编码器3结合，以根据进料层压膜1a的距离输出大量的信号脉冲。

沿着水平膜进料平面延伸的层压膜1a绕着吸辊4卷绕。局部切割器5和覆盖膜剥离器6被设置在导辊2b和吸辊4之间。

局部切割器5具有一对盘式切割器5a，5b。当局部切割器5工作时，盘式切割器5a，5b横向移动穿过层压膜1a，以切割在层压膜1a上的覆盖膜(未显示)和在覆盖膜的相反侧上的感光树脂层。

覆盖膜剥离器6具有胶带辊7、两对压力辊8a，8b和收紧辊9。在工作中，通过压力辊8a，8b将未从胶带辊7上解开的胶带7a对着覆盖膜按压。然后，通过收紧辊9将胶带7a与粘附其上的覆盖膜卷绕。因此，将覆盖膜从感光树脂层上剥离掉，并且与胶带7a一起卷绕在收紧辊9上。

吸辊4的下游跟随有一对层压辊12a，12b，用于将层压膜1a压在多个衬底11的上表面上，所述多个衬底11是由衬底进料机10以分隔间隔连续进料的。载体膜收紧辊13放置在层压辊12a，12b的下游，用于卷绕来自相应衬底11之间的透光性载体膜(未显示)。

根据所公开的膜涂敷方法和装置，当局部切割器5开始切割层压膜1a时，开始对由旋转编码器3产生的脉冲计数。当旋转编码器3产生的脉冲所计的数量达到相应于在层压膜1a的切割线(cut line)上的某点的数值时，衬底进料机10开始工作，在层压辊12a，12b之间与层压膜1a同步地进料衬底11。以这种方式，使得衬底11与将被涂敷到衬底11上的层压膜1a的切割长度对齐。

在覆盖膜剥离器6中，通过压力辊8a，8b将胶带7a按压到覆盖膜上，然后通过收紧辊9卷绕。

此时，层压膜的覆盖膜从在压力辊8b对上的感光树脂层上剥离掉，因此层压膜1a趋向于遭受张力变化。因此，层压膜1a可能的是可以为波浪形或皱折，或者感光树脂层可能的是可以被剥离。

发明内容

本发明的一个主要目的是提供一种装置和方法：所述的装置和方法在简单配置和工艺的情况下，用于从包含第一层和第二层的层压体上剥离第二层并且不导致层压体遭受张力变化。

根据本发明，提供一种用于从至少包含第一层和第二层的层压体上至少部分剥离第二层的装置和方法。剥离装置具有吸辊和剥离辊。

当层压体被夹在吸辊和剥离辊之间时，通过吸辊将层压体从所述层压体在第一层上的侧吸引，并且将第二层围绕剥离辊的外圆周表面卷绕，并且给第二层施加预定张力，由此从层压体上至少部分地剥离第二层。

优选地，剥离辊包括橡胶硬度在20至90范围的导电橡胶辊。优选在50N/cm以下的线压力下，剥离辊压在被固定于吸辊的外圆周表面上的层压体上。

层压体优选至少包括细长感光料片，所述细长感光料片具有作为第一层的感光层、作为第二层的保护膜以及将所述感光层和保护膜层压在其上的载体层。

根据本发明，由于层压体通过吸辊被吸引并且保持在所述层压体在第一层上的一侧上，因此当剥离第二层时，能够可靠地防止该层压体遭受张力的变化。因此，防止层压体成为波浪形，并且不发生不需要剥离的层从该层压体上剥离。在简单配置和工艺下，可以将第二层从该层压体上整洁地剥离。

而且，吸辊和剥离辊在层压体插入在它们之间的情况下被保持彼此线接触。因此，可以从层压体上容易并且可靠地剥离第二层。

从下面结合附图的描述中，本发明的上述和其它目的、特征和优点将变得更明显，在所述附图中，通过示例性的实例显示了本发明的优选实施方案。

附图简述

图1是制备装置的示意性侧视图，所述制备装置结合了根据本发明一个实施方案的剥离装置；

图2是在图1所示制备装置中使用的细长感光料片的放大的局部横截面图；

图3是其上粘合有粘性标签的细长感光料片的放大的局部平面图；

图4是剥离装置的局部侧视图；

图5是在剥离装置中使用的吸鼓的透视图；

图6是显示辊-与-辊的距离和感光料片的厚度之间的差值和剥离评价之间的关系的表；和

图7是常规膜切割装置的横截面图。

实施本发明的最佳方式

图1示意性显示制备装置20，所述制备装置20结合有根据本发明实施方案的剥离装置。在制备用于液晶面板或有机EL面板的滤色器的工艺中，制备装置20工作，将细长感光料片(感光层压膜)22的感光树脂层29(下面描述)热转移到玻璃衬底24上。

图2以横截面显示在制备装置20中使用的感光料片22。感光料片22包括挠性基底膜(载体层)26、缓冲层(热塑性树脂层)27、中间层(氧阻隔膜)28、感光树脂层(第一层)29和保护膜(第二层)30的层压组件。感光料片22可以备选地包括基底膜26、感光树脂层29和保护膜30。

基底膜26由聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)制成。缓冲层27由乙烯和氧化乙烯(vinyl oxide)的共聚物制成。中间层28由聚乙烯醇制成。感光树脂层29由着色的感光树脂组合物制成，所述感光树脂组合物包含碱溶性粘合剂、单体、光聚合引发剂和着色剂。保护膜30由聚乙烯、聚丙烯等制成。

如图1所示，制备装置20具有：料片放出机构32，用于容纳成卷的感光料片22形式的感光料片卷22a并且将感光料片22从感光料片卷22a上放出；部分切割机构36，用于在已经放出的感光料片22的保护膜30中形成横向可分开的部分切割区34；和标签粘合机构40，用于将粘性标签38粘合到保护膜30上(见图3)，所述每一个粘性标签38都具有非粘合区38a。制备装置20可以在箭头A所示的方向上具有两个彼此分隔一定距离的部分切割机构36，用于同时在相应的两个位置上形成部分切割区34。

在标签粘合机构40的下游，设置有：储存机构42(reservoir mechanism)，用于将感光料片22的进料模式从间歇式进料模式(tact feed mode)即间歇进料模式改变为连续进料模式；根据本发明的实施方案的剥离装置44，用于将确定长度的保护膜30从感光料片22上剥离；加热机构45，用于将玻璃衬底24加热到预定温度并且将加热的玻璃衬底24进料到粘合位置；和粘合机构46，用于将已经通过剥离保护膜30而暴露的感光树脂层29粘合到玻璃衬底24上。将由玻璃衬底24和通过粘合机构46粘合其上的感光料片22构成的工件称作″衬底24a″。

在粘合机构46中的粘合位置的上游和附近，设置有检测机构47，用于直接检测位于感光料片22的边界上的部分切割区34。在粘合机构46的下游，设置有衬底间料片切割机构48，用于切割在两个相邻玻璃衬底24之间的感光料片22。在衬底间料片切割机构48的上游，设置有料片切割机构48a，当制备装置20开始和结束其工作时，使所述料片切割机构48a工作。

在料片放出机构32的下游并且靠近料片放出机构32处，设置有接合基底49，用于将基本上被用完的感光料片22的尾端和将要新使用的感光料片22的前端接合。接合基底49的下游跟随有膜末端位置检测器51，用于控制由于感光料片卷22a的卷绕不规则性导致的感光料片22的横向移动。

部分切割机构36被设置在一对辊50的下游，用于计算卷绕在料片放出机构32中的感光料片卷22a的直径。部分切割机构36具有可以在垂直于进料感光料片22的方向(箭头A所示)的方向上来回移动的滑动基底52。旋转圆形刀片(切割器)54被固定地安装在滑动基底52上，并且切割器承载基底56被设置在旋转圆形刀片54的下面，在感光料片22安插在它们之间的情况下与旋转圆形刀片54成面对的关系。

如图2所示，部分切割区34需要被形成为至少横跨保护膜30。实际上，为了可靠地切割保护膜30，将旋转圆形刀片54设计成切割入感光树脂层29和中间层28内。通过使用固定圆形刀片或超声能量的切割工艺，或使用刮刀片、下面描述的条形挤压刀片(Thompson刀片)等而不是使用旋转圆形刀片54的切割工艺，可以形成部分切割区34。挤压刀片可以被垂直或倾斜地挤压进入到保护膜30内。

部分切割区34用来设置在两个相邻玻璃衬底24之间的分隔间隔。例如，这些部分切割区34在保护膜30中、与玻璃衬底24的各个边缘向内分隔10mm的位置上形成。当感光树脂层29在下面描述的粘合机构46中作为框架到涂敷玻璃衬底24上时，安插在部分切割区34之间的保护膜30的部分起着掩模的作用。

为了留下介于玻璃衬底24之间的保护膜30的残留部分30b，标签粘合机构40供应粘性标签38，用于将前剥离部分30aa和后剥离部分30ab相互连接。如图2所示，最初被剥离的前剥离部分30aa和后来被剥离的后剥离部分30ab位于残留部分30b的相应两侧上。

如图3所示，每一个粘性标签38都是矩形条状，并且由与保护膜30同样的树脂材料制成。每一个粘性标签38都具有位于中心的没有粘合剂的非-粘合(或微粘性)区38a，和分别布置在非-粘合区38a的纵向相对末端上，即在粘性标签38的纵向相对端部上的第一粘合区38b和第二粘合区38c，所述第一粘合区38b和第二粘合区38c分别粘合到前剥离部分30aa和后剥离部分30ab上。

如图1所示，标签粘合机构40具有吸垫58a到58e，用于以分隔间隔应用(apply)最多5个粘性标签38。在通过吸垫58a到58e将粘性标签38应用于感光料片22的位置处，设置有可垂直移动的支撑基底59，用于从下面保持感光料片22。

储存机构42用来吸收间歇式进料模式和连续进料模式之间的速度差，在间歇式进料模式中，在储存机构42的上游进料感光料片22，而在连续进料模式中，在储存机构42的下游进料感光料片22。储存机构42还具有包含两个可摆动辊60的浮动辊(dancer)61，用于防止感光料片22遭受张力变化。浮动辊61可以取决于被保留的感光料片22的长度而具有1个或3个以上的辊60。

如图1和4所示，设置在储存机构42下游的剥离装置44包含吸鼓(吸辊)62和剥离辊64，所述的剥离辊64在感光料片22安插在它们之间的情况下被保持与吸鼓62的外圆周表面线接触。通过剥离辊64以锐剥离角从感光料片22上剥离的保护膜30除残留部分30b外都被保护膜收紧轴66卷绕。吸鼓62和剥离辊64之间的辊-对-辊的距离h基本上具有与感光料片22的厚度t相同的尺寸，因而在吸鼓62和剥离辊64之间不产生缝隙。

如图5所示，吸鼓62具有固定管68和活动管70。固定管68具有在预定角度范围中、限定在其管状壁内的开口72。固定管68的内部连接以未显示的真空发生器上并且由该真空发生器抽真空。活动管70具有多个被限定在其管状壁内的小孔74。活动管70可以通过那些小孔74产生的真空将感光料片22吸引在其管状壁的外圆周表面上，所述那些小孔74以确定的角度范围与固定管68的开口72对齐放置。

如图1所示，保护膜收紧轴66连接到扭矩马达75上，用于向保护膜30施加预定的张力。用于扭矩控制的伺服马达可以代替扭矩马达75。可以与吸鼓62的旋转速度同步地控制保护膜收紧轴66卷绕保护膜30的速度。备选地，扭矩马达75可以与用于扭矩控制的动力制动器或滑动扭矩轴结合。

例如，吸鼓62的直径为150mm，并且例如，剥离辊64的直径在30mm至150mm的范围。剥离辊64包括导电橡胶辊，例如硅氧烷辊，其橡胶厚度为5mm并且橡胶硬度在20至90范围。在50N/cm以下的线压力下，通过未显示的圆筒或电传动器，剥离辊64压在吸鼓62的外圆周表面上的感光料片22上。

在剥离装置44下游设置张力控制机构76，用于赋予感光料片22张力。张力控制机构76具有圆筒78，圆筒78能够受传动而成角度放置张力浮动辊80，以调节感光料片22的张力，张力浮动辊80被保持与感光料片22滚动接触。必要时，可以只使用张力控制机构76，并且可以不使用它。

检测机构47具有光电传感器82，如激光传感器、光传感器等，用于直接检测由于在部分切割区34的楔形凹槽所引起的感光料片22的变化；由于保护膜30的厚度引起的台阶(step)或这两者的组合。将来自光电传感器82的检测信号用作代表保护膜30中边界位置的边界位置信号。光电传感器82以面对垫辊83的关系放置。备选地，可以使用非-接触位移计或图像检查装置，如CCD相机等代替光电传感器82。

可以将由检测机构47检测到的部分切割区34的位置数据进行统计处理，并且转变成实时图形数据。当由检测机构47检测到的位置数据显示不合适的变化或偏移时，制备装置20可以产生警报。

制备装置20可以使用用于产生边界位置信号的不同系统。根据这种不同的系统，不直接检测部分切割区34，而是将标记应用于感光料片22上。例如，可以在部分切割机构36附近的靠近部分切割区34的感光料片22中形成孔或凹部，或者可以通过激光束或水喷射(aqua jet)将感光料片22钻孔或切口，或者可以通过喷墨或印刷机将感光料片22标记。检测在感光料片22的标记，并且将检测的信号用作边界位置信号。

加热机构45具有进料机构84，用于在箭头C所示的方向上进料作为工件的玻璃衬底24。进料机构84具有多个排列在箭头C所示方向上的树脂的盘状进料辊86。加热机构45还具有被设置在箭头C所示方向上的进料机构84的上游的接收器88，用于接收玻璃衬底24。加热机构45还包括多个设置在接收器88的下游的加热炉90。

加热机构45全程监测玻璃衬底24的温度。如果加热机构45监测到异常温度，则加热机构45使进料辊86停止，或发出警报，并且传递故障信息，该故障信息可以被用来在随后的步骤中将异常的玻璃衬底24弹出，，并且用来控制质量或管理生产。进料机构84可以具有未显示的气动提升板，用于以将玻璃衬底24在箭头C所示方向上进料的同时将它们提升。

在加热机构45的上游，设置衬底存储框架100，用于存储多个玻璃衬底24。衬底存储框架100具有被设置在除其进料狭缝和排料狭缝侧之外的相应三个侧面上的除尘风扇单元(或导管装置)102。风扇单元102将电中性的清洁空气喷射入衬底存储框架100内。存储在衬底存储框架100内的玻璃衬底24被在机器人104的手104a上的吸垫106逐一吸引，离开衬底存储框架100并且插入到接收器88内。

粘合机构46具有一对被加热到预定温度的垂直间隔的层压橡胶辊110a，110b。垫辊112a，112b被保持与相应的层压橡胶辊110a，110b滚动接触。使垫辊112b通过辊夹持单元114按压层压橡胶辊110b。

接触防止辊116被可移动设置在橡胶辊110a的附近，以防止感光料片22接触橡胶辊110a。用于将感光料片22预热到预定温度的预热单元117被设置在粘合机构46的上游并且接近该粘合机构46。预热单元117包括热量施加装置，比如红外棒加热器等。

膜进料辊118a和衬底进料辊118b被设置在粘合机构46和衬底间料片切割机构48之间。冷却机构120设置在衬底间料片切割机构48的下游，而基底剥离机构122设置在冷却机构120的下游。在通过衬底间料片切割机构48将感光料片22在衬底24a和下一个的衬底24a之间切断之后，冷却机构120向衬底24a供应冷空气。具体地，冷却机构120以在1.0至2.0m/min.范围的速率供应温度为10℃的冷空气。然而，冷却机构120可以省却，并且衬底24a可以在感光层压体存储框架136中被自然冷却。

设置在冷却机构120下游的基底剥离机构122具有多个吸垫124，用于吸引衬底24a的下表面。在衬底24a在吸垫124的吸力下被吸引的同时，通过机器人的手126将基底膜26和残留部分30b从衬底24a上剥离。在吸垫124的上游、下游和侧向，设置有电中性空气吹送机(未显示)，用于将电中性清洁空气喷射到衬底24a的层压区的四个边上。在用于支撑在其上的衬底24a的工作台为除尘而垂直取向、倾斜取向或颠倒的同时，可以进行剥离。

基底剥离机构122的下游跟随有感光层压体存储框架136，用于存储多个感光层压体130。在基底膜26和残留部分30b由基底剥离机构122从衬底24a上剥离时产生的感光层压体130通过在机器人132的手132a上的吸垫134吸引，从基底剥离机构122取出，并且放入到感光层压体存储框架136内。

感光层压体存储框架136具有被设置在其除了进料狭缝和排料狭缝侧之外的相应三个侧面上的除尘风扇单元(或导管单元)102。该风扇单元102将电中性清洁空气喷射到感光层压体存储框架136内。

在制备装置20中，将料片放出机构32、部分切割机构36、标签粘合机构40、储存机构42、剥离装置44、张力控制机构76和检测机构47布置在粘合机构46之上。相反地，可以将料片放出机构32、部分切割装置36、标签粘合机构40、储存机构42、剥离装置44、张力控制机构76和检测机构47设置在粘合机构46之下，以将颠倒的感光树脂层29应用到玻璃衬底24的下表面。备选地，制备装置20的部件可以被整体排列成直线方式。

制备装置20在其整体上由层压处理控制器140控制。制备装置20还具有层压控制器142、衬底加热控制器144和基底剥离控制器146等，用于控制制备装置20的不同功能的部件。这些控制器通过内部过程(in-process)网络互相连接。

层压处理控制器140连接到结合有制备装置20的工厂网络上，并且基于来自工厂CPU(未显示)的指示信息(条件设定值和生产信息)，进行用于生产例如生产管理和机构操作处理的信息处理。

层压控制器142起着用于控制制备装置20的功能部件的工艺控制者(process master)的作用。例如，基于感光料片22的部分切割区34被检测机构47检测到的位置信息，层压控制器142作为控制加热机构45的控制机构工作。

基底剥离控制器146控制操作以将基底膜26从由粘合机构46供给的衬底24a上剥离，并且还将感光层压体130排放到下游工艺中。基底剥离控制器146还处理关于衬底24a和感光层压体130的信息。

将制备装置20的安装空间通过分隔墙150分成第一清洁室152a和第二清洁室152b。第一清洁室152a在其中容纳从料片放出机构32到张力控制机构76范围的各种部件。第二清洁室152b在其中容纳检测机构47和在检测机构47之后的其它部件。第一清洁室152a和第二清洁室152b通过穿过区154彼此连接。

下面将描述根据本发明实施方案，用于进行剥离方法的制备装置20的操作。

如图1所示，感光料片22从在料片放出机构32中的感光料片卷22a放出，并且进料到部分切割机构36。

在部分切割机构36中，滑动基底52横向移动穿过与进料感光料片22的方向(由箭头A表示)垂直的感光料片22。旋转圆形刀片54切割进入到在感光料片22的部分切割区34中的所需深度，并且在横向移动穿过感光料片22的同时旋转。因此，在感光料片22的部分切割区34中形成被切割到离保护膜30所需深度的狭缝(参见图2)。

如图1所示，将由此已经被部分切割的感光料片22在由箭头指示的方向上进料相应于保护膜30的残留部分30b尺寸的距离，然后停止，于是通过旋转圆形刀片54在其中形成下一个部分切割区34。如图2所示，现在，在感光料片22中提供前剥离部分30aa和后剥离部分30ab，其中残留部分30b安插在它们之间。

然后，将感光料片22进料给标签粘合机构40，并且将保护膜30的粘合区放置在支撑基底59上。在标签粘合机构40中，预定数量的粘性标签38被吸垫58a到58e在吸力下被吸引并且固定，并且粘合到保护膜30的横跨其残留部分30b的前剥离部分30aa和后剥离部分30ab(参见图3)。

例如，由于储存机构42，其上粘附有5个粘性标签38的感光料片22没有受到供给感光料片22所遭受的张力变化的影响，然后将感光料片22连续进料给剥离装置44。

在剥离装置44中，感光料片22被夹在吸鼓62和剥离辊64之间，并且感光料片22的基底膜26被吸引到吸鼓62上。吸鼓62旋转，并且保护膜30被扭矩马达75拉紧。

保护膜30从感光料片22上剥离，留下残留部分30b。保护膜30通过剥离辊64剥离通过保护膜收紧轴66卷绕。优选将电中性空气流应用到保护膜30被剥离的区域。

此时，因为感光料片22被吸鼓62牢固地保持，因此当保护膜30从感光料片22上剥离时产生的震动没有传递给在吸鼓62下游的感光料片22。因此，这样的震动没有传递给粘合机构46，因而有效地防止玻璃衬底24的层压部分发展条形缺陷区。

如图4所示，吸鼓62和剥离辊64在感光料片22安插在它们之间的情况下被保持彼此线接触(辊-对-辊的距离h＝料片厚度t)。因此只有保护膜30可以容易并且可靠地从感光料片22上剥离。

对不同的辊-对-辊的距离h，进行从感光料片22上剥离保护膜30的实验。实验的结果显示在图6中。在图6中，剥离评价指的是当保护膜30从感光料片22上剥离时，关于感光树脂层29或缓冲层27是否被剥离的评价。当感光树脂层29和缓冲层27没有被剥离时，该评价表示为“○”，当感光树脂层29或缓冲层27被轻微剥离时，该评价表示为“△”，而当感光树脂层29或缓冲层27被明显剥离时，该评价表示为“×”。

如果在吸鼓62和剥离辊64之间，缝隙大于感光料片22的厚度t，即，如果辊-对-辊的距离h＝厚度t+n(n＝1或更大)，则当保护膜30从感光料片22上剥离时，感光树脂层29或缓冲层27被剥离。

根据本实施方案，感光料片22被紧紧地保持在吸鼓62和剥离辊64之间。除非另有说明，否则在辊-对-辊的距离h＝厚度t的情况下，感光树脂层29或缓冲层27根本不被剥离，并且保护膜30被高度精确并且整洁地剥离。

此外，根据本实施方案，剥离辊64包含导电橡胶辊。因此，当粘性标签38粘合到感光料片22上从而改变其厚度时，剥离辊64容易弹性地变形以吸收厚度变化。因此，粘性标签38的形状没有转印到感光树脂层29上，并且在吸鼓62和剥离辊64之间不需要距离调节，因而可以容易维护制备装置20以保持。

剥离辊64的橡胶硬度在20至90的范围，并且剥离辊64在50N/cm或更低的线压力下压在吸鼓62的外圆周表面上的感光料片22上。因此，在感光树脂层29上没有产生按压痕迹和条纹，可以有效地剥离保护膜30，同时使感光树脂层29良好地保持在其所需状态。

在保护膜30通过剥离装置44从基底膜26上剥离，从而留下残留部分30b之后，感光料片22通过张力控制机构76调节张力，并且感光料片22的部分切割区34通过检测机构47的光电传感器82检测。

基于部分切割区34的检测信息，膜进料辊118a旋转，以将预定长度的感光料片22进料给粘合机构46。此时，接触防止辊116在感光料片22上方等待，并且橡胶辊110b被设置在感光料片22下面。

在加热机构45中，在加热炉90中的加热温度被设置成取决于在粘合机构46中的层压温度的值。机器人104握住存储在衬底存储框架100中的玻璃衬底24，并且将握住的玻璃衬底24引入到接收器88内。在间歇式进料模式中，通过进料机构84的进料辊86将玻璃衬底24相继从接收器88进料给加热炉90。

在加热机构45在箭头C所示方向上的下游末端处的加热炉90中，玻璃衬底24精确地停止在给定的停止位置。将玻璃衬底24临时放置橡胶辊110a，110b之间，以与感光料片22的感光树脂层29的粘合区对齐。

然后，操作辊夹持单元114，以将垫辊112b和橡胶辊110b提升，从而在预定压力下将玻璃衬底24夹持在橡胶辊110a，110b之间。使橡胶辊110a旋转，以将用热量熔融的感光树脂层29转移即层压到玻璃衬底24上。

感光树脂层29在以下条件下层压到玻璃衬底24上：感光树脂层29被以在1.0m/min.至10.0m/min.的范围的速度进料，并且橡胶辊110a，110b具有在80℃至140℃范围的温度以及在40至90范围的硬度，并且施加在50N/cm至400N/cm的压力(线性压力)。

衬底24a，包括玻璃衬底24和粘合到其上的感光料片22，在箭头所示方向上被进料一定的距离，由冷却机构120冷却，然后输送到基底剥离机构122。在基底剥离机构122中，在衬底24a被吸垫124吸引的同时，通过机器人的手126将基底膜26和残留部分30b剥离，由此产生感光层压体130。

在此时，由设置在吸垫124的上游、下游和横向的空气吹送机将电中性清洁空气喷射到衬底24a的层压区的4个边上。感光层压体130被机器人132的手132a保持，并且放置在感光层压体存储框架136内。重复上述操作，直到将预定数量的感光层压体130被存储在感光层压体存储框架136内。

尽管本发明的一确定的优选实施方案已经详细显示并描述，但是应当理解，在不背离后附权利要求的范围的情况下，可以在其中进行各种改变和修改。

Claims (9)

1.一种用于从至少包含第一层(29)和第二层(30)的层压体(22)上将所述第二层(30)至少部分剥离的装置，所述装置包括：

吸辊(62)，用于从所述层压体(22)在所述第一层(29)上的一侧吸引所述层压体(22)并且进料所述吸引的层压体(22)；以及

剥离辊(64)，其被保持与所述吸辊(62)的外圆周表面在将所述层压体(22)安插在它们之间的情况下线接触，用于从所述层压体(22)上至少部分地剥离所述第二层(30)。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述剥离辊(64)包含橡胶硬度在20至90的范围的导电橡胶辊。

3.根据权利要求1所述的装置，其中将所述剥离辊(64)在50N/cm或更低的线压力下压在被保持在所述吸辊(62)的外圆周表面上的所述层压体(22)上。

4.根据权利要求1所述的装置，还包括：

收紧轴(66)，用于在预定张力下将已经被所述剥离辊(64)剥离的所述第二层(30)卷绕。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述层压体包括细长感光料片(22)，所述细长感光料片(22)具有作为所述第一层的感光层(29)、作为所述第二层的保护膜(30)以及将所述感光层(29)和所述保护膜(30)层压在其上的载体层(26)。

6.一种从包含第一层(29)和第二层(30)的层压体(22)上将所述第二层(30)至少部分剥离的方法，所述方法包括：

在所述层压体(22)被吸辊(62)和剥离辊(64)夹在中间的同时，使用所述吸辊(62)从所述层压体(22)在所述第一层(29)上的一侧吸引所述层压体(22)；以及

将所述第二层(30)绕着所述剥离辊(64)的外圆周表面卷绕，并且向所述第二层(30)施加预定张力，由此从所述层压体(22)上至少部分剥离所述第二层(30)。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述剥离辊(64)包含橡胶硬度在20至90的范围的导电橡胶辊。

8.根据权利要求6所述的方法，其中在50N/cm或更低的线压力下，将所述剥离辊(64)压在被保持在所述吸辊(62)的外圆周表面上的所述层压体(22)上。

9.根据权利要求6所述的方法，其中所述层压体包括细长感光料片(22)，所述细长感光料片(22)具有作为所述第一层的感光层(29)、作为所述第二层的保护膜(30)以及将所述感光层(29)和所述保护膜(30)层压在其上的载体层(26)。

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