CN101181956B - 物品输送设备 - Google Patents

物品输送设备 Download PDF

Info

Publication number
CN101181956B
CN101181956B CN2007101869194A CN200710186919A CN101181956B CN 101181956 B CN101181956 B CN 101181956B CN 2007101869194 A CN2007101869194 A CN 2007101869194A CN 200710186919 A CN200710186919 A CN 200710186919A CN 101181956 B CN101181956 B CN 101181956B
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
article
supporting mass
locking
moving body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN2007101869194A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101181956A (zh
Inventor
吉田充
乾吉隆
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Publication of CN101181956A publication Critical patent/CN101181956A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101181956B publication Critical patent/CN101181956B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
    • B65G37/02—Flow-sheets for conveyor combinations in warehouses, magazines or workshops
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67775—Docking arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Abstract

物品输送设备，具有：移动体，沿移动路径移动，并具有物品保持部；物品保管用的物品支承体，可在物品交接位置和物品保管位置之间变更位置；锁止机构，设置在上述物品支承体上，可在将上述物品支承体锁止在上述物品保管位置上的锁止状态和解除该锁止的锁止解除状态之间切换；操作机构，设置在上述移动体上，进行物品支承体的位置变更操作以及锁止装置的切换操作。

Description

物品输送设备
技术领域
本发明涉及物品输送设备，更具体而言，涉及具有移动体的物品输送设备，该移动体构成为沿移动路径移动并具有物品保持部。
背景技术
这样的物品输送设备通过沿移动路径设置多个物品移载用的工位且移动体沿移动路径移动而从工位(station)接受物品或者向工位给出物品而在多个工位之间进行物品的输送。
而且，为了临时保管输送到工位的物品，设置物品保管用的物品支承体。该物品支承体通常位于设定在移动路径的横向附近的位置等处的物品保管位置，以不影响移动体的移动，仅在与移动体的保持部之间交接物品时变位到物品交接位置。即，在令移动体停止在物品移载部位处的状态下，令物品支承体从物品保管位置变位到物品交接位置，在物品支承体与移动体的保持部之间进行物品的交接，之后，从物品交接位置变位到物品保管位置，由此在物品支承体上保管物品或者移动体从物品支承体取走物品。
在现有的物品输送设备中，作为移动路径的导轨设置在顶板侧，并可相对于顶板部设置：连杆机构，绕水平轴心自如摆动且支承物品支承体使其在物品保管位置与物品交接位置之间变位(位置变更)自如；液压缸，设置在顶板部与连杆机构之间而用于对物品支承体进行在物品保管位置与物品交接位置之间的变位操作(例如参照JP10-45213)。
在该现有的物品输送设备中，通过令液压缸动作而令连杆机构绕水平轴心摆动，从物品保管位置向物品交接位置变更操作物品支承体，并且通过令液压缸动作而令连杆机构绕水平轴心摆动，从物品交接位置向物品保管位置变更操作物品支承体。
在上述现有的物品输送设备中，为了令物品支承体在物品保管位置与物品交接位置之间变更位置，在移动路径的横向附近位置等的移动路径侧，除了设置令物品支承体在物品保管位置与物品交接位置之间自如变位地支承物品支承体的连杆机构，还必须设置用于令物品支承体在物品保管位置与物品交接位置之间变更操作的液压缸。因此，设置在移动路径侧的部件个数增加，设置空间变大，并且可能导致结构的复杂化。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种物品输送设备，可实现结构的简洁化，并且可令物品支承体在物品保管位置与物品交接位置之间变更位置。
本发明的物品输送设备具有：移动体，沿移动路径移动，并具有物品保持部；物品保管用的物品支承体，可在从停止在相对于上述物品支承体的物品移载部位的上述移动体的上述保持部接收物品以及向上述保持部给出物品的物品交接位置、和物品保管位置之间变更位置；锁止机构，设置在上述物品支承体上，可在将上述物品支承体锁止在上述物品保管位置上的锁止状态、和解除该锁止的锁止解除状态之间切换；操作机构，设置在上述移动体上，进行上述物品支承体的位置变更操作以及上述锁止机构的切换操作，用于在将上述锁止机构从上述锁止状态切换操作为上述锁止解除状态后，将上述物品支承体从上述物品保管位置变更操作到上述物品交接位置，并且，在将上述物品支承体从上述物品交接位置变更操作到上述物品保管位置后，将上述锁止机构从上述锁止解除状态切换操作为上述锁止状态。
即，通过将锁止机构切换操作为锁止状态，可锁止物品支承部而令其不会移动到物品交接位置，所以可防止物品支承体由于地震或者振动等而误从物品保管位置移动到物品交接位置。因此，可避免物品支承体误与移动体撞击。
由于通过在移动体上设置操作机构而可在锁止状态与锁止解除状态之间切换操作锁止机构，并且可在物品保管位置与物品交接位置之间变位操作物品支承体，所以可无需在移动路径侧设置用于切换操作锁止机构的部件以及用于变位操作物品支承体的部件，可减少设置在移动路径侧的部件的个数。
附图说明
图1是物品输送设备的俯视图。
图2是移动车与工位的侧视图。
图3是移动车的侧视图。
图4是移动车的纵剖主视图。
图5是物品支承体以及固定框体的立体图。
图6是物品支承体以及固定框体的分解立体图。
图7是物品保管位置的物品支承体以及固定框体的立体图。
图8是物品交接位置的物品支承体以及固定框体的立体图。
图9是物品保管位置的物品支承体以及固定框体的俯视图。
图10是物品交接位置的物品支承体以及固定框体的俯视图。
图11是操作机构的立体图。
图12是物品支承体的要部放大图。
图13是表示基于引导机构的操作部的引导状态的图。
图14是表示锁止状态的锁止机构的图。
图15是表示锁止解除状态的锁止机构的图。
图16是物品支承体以及固定框体的导轨的长度方向看的图。
图17是第2实施方式的物品支承体的要部放大图。
图18是表示前后方向看的锁止机构的状态的图。
图19是表示前后方向看的锁止机构的状态的图。
图20是表示前后方向看的锁止机构的状态的图。
具体实施方式
根据附图说明本发明的物品输送设备的实施方式。以下说明多个实施方式，但认为一个实施方式的特征与其他实施方式的特征的组合也包含在本发明的范围内。
[第1实施方式]
该物品输送设备如图1以及图2所示，在经由多个物品处理部1的状态下设置导轨2作为移动路径，并设置沿该导轨2自如移动的物品输送用移动车3(移动体或者车辆)。而且，移动车3在多个物品处理部1之间输送收纳半导体基板的容器5(物品的一例)。在上述物品处理部1中，对半导体基板的制造中途的制品等进行既定的处理。
上述移动车3，升降自如地具有在吊下的状态下把持容器5的把持部4，由把持部4构成保持容器5的保持部。
上述把持部4，设置为在移动车3停止的状态下，借助绳索6的卷取或者放出而在接近移动车3的上升位置、和与设置在移动车3下方侧的物品移载用的工位7之间进行物品移载的下降位置之间自如升降。
即，在图2中，在右侧表示把持部4从上升位置下降到下降位置的情况，在左侧表示令把持部4从下降位置上升到上升位置的情况。
上述工位7，由载置支承容器5的载置台构成。而且，工位7用于从移动车3接收要由物品处理部1进行既定处理的容器5或者将被物品处理部1进行了既定处理的容器5交给移动车3，与多个物品处理部1分别对应地配置。
而且，移动车3，在令把持部4位于上升位置的状态下沿导轨2移动，并在停止在与多个工位7中的移载对象的工位7对应的停止位置的状态下令把持部4在上升位置与下降位置之间升降，由此进行与工位7之间的容器5的交接。
上述导轨2，如图2～4所示，借助导轨用托架8而以固定状态设置在顶板部上。上述移动车3，通过前后的筒状的连结部10、11连结位于导轨2的内侧空间部中的上方车体9和位于导轨2的下方的下方车体12。
上述上方车体9以与设置在导轨2的内侧空间部中的磁铁13邻接对置的状态具有一次线圈14。而且，上方车体9是借助由磁铁13和一次线圈14构成的线性马达而得到推进力的线性马达式，移动车3借助该推进力沿导轨2移动。
在上述导轨2的内侧空间部中，形成有相对于上方车体9所具有的行进轮15的行进引导面16、和相对于上方车体9所具有的防振轮17的防振引导面18。
此外，在导轨2上设置供电线19，在上方车体9上设置配电线圈20，借助交流电流的通电令供电线19产生磁场，借助该磁场在配电线圈20上产生移动车3侧所必需的电力，在无接触状态下进行供电。
在该实施方式中，作为驱动上方车体9的方式，例示了借助线性马达而得到推进力而进行驱动的线性马达式，但也可采用例如通过设置驱动行进轮15旋转的电动马达并借助该电动马达驱动行进轮15旋转而驱动上方车体9的方式。
上述下方车体12，包括在移动车3的前后方向延伸的前后框体21、从前后框体21的前端位置以及后端位置向下方侧延伸的前后一对的纵框体22。而且，下方车体12，在侧视图中形成为下方侧敞开的コ字形，在前后方向的中央部配置把持部4。
上述把持部4设置在相对于上方车体9自如升降的升降体23上，该升降体23被支承为被设置在前后框体21上的升降操作机构24自如地升降操作。
上述升降操作机构24(升降机)将四根绳索6卷绕在借助滚筒驱动用马达25而自如转动的旋转滚筒26上而构成。而且，升降操作机构24令旋转滚筒26正反旋转而同时卷取以及放出四根绳索6，由此一边将升降体23维持在大致水平姿势一边进行升降操作。
在该实施方式中，例示了在旋转滚筒26上卷挂绳索6的例子，但也可例如在旋转滚筒26上卷挂带而升降操作升降体23，不限定为绳索6或缆线，也可使用带。绳索、带、缆线被称为柔性部件。
在上述把持部4上，设置把持容器5的凸缘5a的一对的把持件4a。而且，一对的把持件4a构成为借助把持动作用马达27的正反转而在向相互接近的方向摆动而把持凸缘5a的把持姿势(图3中实线)、和一对把持件4a向相互分离的方向摆动而解除把持的解除姿势(图3中虚线)之间自如切换。
此外，把持部4绕纵轴心旋转自如地设置在升降体23上，省略图示，但设置旋转操作把持部4的旋转用马达。
为了临时保管输送到上述工位7的容器5，在导轨2的横向的附近的位置上如图1所示那样在导轨2左右两侧设置物品保管用的物品支承体29。而且，物品支承体29在沿导轨2并列的状态下设置多个。
以下，根据图5～图10说明物品支承体29。
多个物品支承体29分别设置为，在从停止在相对于其的物品移载部位上的移动车3的把持部4接收容器5以及向把持部4给出容器5的物品交接位置(参照图8以及图10)和物品保管位置(参照图7以及图9)之间自如地变位(位置变更)。
上述物品移载部位与多个物品支承体29分别对应而设定。而且，在停止在物品移载部位处的移动车3的前后方向上，物品支承体29的宽度形成为比移动车3的前后一对的纵框体22的间隔小。因此，在移动车3停止在物品移载部位的状态下，可将物品支承体29插入移动车3的前后一对的纵框体22之间或者从纵框体22之间拔出。
在相对于停止在物品移载部位上的移动车3远离以及接近的方向(远近方向)上在从导轨2分离的状态下在导轨2的横向的附近的位置上设定上述物品保管位置，以便在物品支承体29位于物品保管位置时该物品支承体29或其所支承的容器5不会影响移动车3的移动或把持部4的升降。
上述物品交接位置设定在上下方向上实质上与停止在物品移载部位的移动车3的把持部4相同的位置处，以便在物品支承体29位于物品交接位置时能够与停止在物品移载部位的移动车3中位于接近上升位置的位置处的把持部4之间交接容器5。
上述物品支承体29，如图5以及图6所示，在相对于停止在物品移载部位上的移动车3的远近方向上移动自如地被与物品保管位置对应地设置的固定框体35支承。
上述固定框体35由在前后方向上配置在物品支承体29的两侧而在远近方向上形成为长条状的一对侧面框部35a构成。一对的侧面框部35a通过在远近方向上隔着间隔而配设的接近于停止在物品移载部位的移动车3侧的框体用第1连结体37a和远离停止在物品移载部位的移动车3侧的框体用第2连结体37b连结。
而且，固定框体35，借助安装配件将一对侧面框部35a的各个朝向上方延伸设置的多个安装用延设体38的上端部固定并吊下支承在两根框体用支承体39上。上述框体用支承体39，被从顶板部的悬吊螺栓4 0吊下支承，以与导轨2平行的方式沿导轨2的长度方向配设。
这样，通过对框体用支承体39安装或者取下安装用延设体38，可一个个地增加或者减少物品支承体29，所以可容易地进行物品支承体29的增设或取下。
以下，称停止在物品移载部位的移动车3的前后方向为第1方向。称相对于停止在物品移载部位的移动车3远离或者接近的方向为第2方向。
上述物品支承体29，具有朝向上方而延伸的一对吊下支承用的吊下支承体30、配置在一对吊下支承体30之间的板状的底面体31、以及配置在底面体31上而载置支承容器5的一对载置体32。而且，物品支承体29借助分别配置在一对载置体32的各自上的定位销W而在定位了容器5的状态下支承容器5。
上述一对的吊下支承体30分别包括：与底面体31连结而沿远近方向延伸的下端部30a、在远近方向上从下端部308的远离移动车3侧的端部向上方延伸的中间部30b、从该中间部30b的上端沿远近方向延伸的上端部30c。而且，一对的吊下支承体30通过第1吊下用连结体33a连结上端部30c彼此，并且通过第2吊下用连结体33b连结中间部30b彼此。在上述吊下支承体30的下端部30a以及中间部30b上，在其长度方向上隔着间隔而设置多个孔部30d。在上述底面体31上，多个孔部31a以在前后方向以及远近方向列状地排列的状态设置，并在远近方向的两端部上设置与容器5的侧面部抵接而限制容器5在远近方向上的移动的限制体34。
设置支承上述物品支承体29并使其在物品保管位置与物品交接位置之间之间自如变位的滑动引导机构36。该滑动引导机构36构成为支承物品支承体29而使其相对于固定框体35在远近方向上自如地滑动移动。
上述滑动引导机构36，具有形成在固定框体35上的轨道部41和设置在吊下支承体30上的多个导辊42。而且，滑动引导机构36通过借助轨道部4 1引导支承导辊4 2而支承物品支承体29，使其相对于固定框体35在物品保管位置与物品交接位置之间滑动引导移动自如。
上述轨道部41，分别设置在一对的侧面框部35a上。上述导辊42设置在吊下支承体30的上端部30c上。上述导辊42包括被轨道部41的上表面部引导的第1导辊42a、被轨道部41的下表面部引导的第2导辊42b、被轨道部41的侧面部引导的第3导辊42c这三种。而且，第1导辊42a和第2导辊42b在上下地夹入轨道部41的状态下在远近方向上隔着间隔而各设置两个，第3导辊42c也在远近方向上隔着间隔设置两个。
此外，固定框体35上，设置有在远近方向上接近停止在物品移载部位的移动车3的接近位置(参照图7以及图9)、和从停止在物品移载部位的移动车3分离的分离位置(参照图8以及图10)之间移动自如地被支承的被操作体43，即。而且，被操作体43与物品支承体29联动，以在接近位置处向物品保管位置操作物品支承体29，并且在分离位置处向物品交接位置操作物品支承体29。
上述被操作体43，其长度方向的中央部枢转支承连结在设置在一方的侧面框部53a的上部的板状的基台48上，绕该连结位置即第1摆动轴心P1摆动自如地设置。而且，被操作体43，在位于接近位置的状态下，上下地具有阶梯差地一体地形成从第1摆动轴心P1向接近移动车3侧延伸的第1被操作部分43a、和从第1摆动轴心P1向远离移动车3侧延伸的第2被操作部分43b。
上述被操作体43，通过绕第1摆动轴心P1摆动而在接近位置和分离位置之间自如切换，并且设置为在接近位置(参照图7以及图9)处其作为顶端部的第1被操作部分43a比第1摆动轴心P1还接近停止在物品移载部位的移动车3的姿势。而且，在被操作体4 3的第1被操作部分43a上，在被操作体43位于接近位置的状态下，沿与远近方向交叉的方向设置向第1摆动轴心P1侧延伸的槽部50。在该槽部50上，形成令接近停止在物品移载部位处的移动车3侧的顶端沿远近方向开口的开口部分50a。
而且，设置令被操作体43的动作与物品支承体29的动作相联动的联动机构44，以便若被操作体43位于接近位置，则如图7以及图9所示，令物品支承体29位于物品保管位置，并且若令被操作体43位于分离位置，则如图8以及图10所示，令物品支承体29位于物品交接位置。
上述联动机构44，包括绕上下轴心摆动自如的第1连杆臂45、第2连杆臂46以及第3连杆臂47这三个连杆臂。第1连杆臂45，一端部枢转支承连结在被操作体43的第2被操作部分43b的一端部上，并且另一端部枢转支承连结在第2连杆臂46的长度方向的中间部分上。第2连杆臂46，一端部枢转支承连结在基台48上，并且另一端部枢转支承连结在第3连杆臂47的一端部上。第3连杆臂47，另一端部枢转支承连结在立设在吊下用连结体33上的联动用被操作体49上。
上述移动车3上，设置用于在物品保管位置与物品交接位置之间变位操作物品支承体29的操作机构S(操作装置)。该操作机构S如图11所示，通过在远近方向进行令卡合辊51向从移动车3向突出侧移动的突出动作以及在远近方向令卡合辊51向退回到移动车3侧移动的退回动作，在前后方向上移动自如地支承卡合辊51。而且，卡合辊51作为物品支承体用的操作部而构成。在移动车3上，设置用于变更操作在移动车3的行进方向上位于右侧的物品支承体29的操作机构S、和用于变更操作在移动车3的行进方向上位于左侧的物品支承体29的操作机构S。
上述操作机构S，具有：固定在移动车3上而在远近方向上较长地延伸的基座52、借助设置在该基座52上的滚珠丝杠57的旋转而在远近方向上向从移动车3突出一侧以及向移动车3退回侧自如移动的滑块53、与该滑块53在远近方向上一体地移动自如地设置的远近方向上长条形状的进退移动体即操作体56。而且，操作体56，借助设置在滑块53上所固定的支承台54上的导轨55在前后方向上移动自如地被支承。上述卡合辊51，设置在操作体56的顶端部的下表面侧。在上述基座52的两侧面部上，设置有引导设置在滑块53上的导辊58的细长状的槽部59。
而且，操作机构S，驱动操作用电动马达60旋转而令滚珠丝杠57正反旋转，令滑块53在远近方向上移动，由此令卡合辊51在远近方向上移动而进行突出动作以及退回动作。
此外，设置在前后方向上以令操作体56回复到支承台54上的方式施力的施力弹簧61。在操作体56上，设置以前后方向的一方侧开口的状态切口的用于安装施力弹簧的第1切口部56a和以前后方向的另一方侧开口的状态切口的用于安装施力弹簧的第2切口部56b。而且，在第1切口部56a中，以在前后方向上从一方侧向另一方侧施力的状态设置施力弹簧61，并且，在第2切口部56b上以在前后方向上从另一方侧向一方侧施力的状态设置施力弹簧61。
这样，借助两个施力弹簧61而在前后方向上对操作体56回复施力以令其回到支承台54上，两个施力弹簧61在前后方向上令卡合辊51回复到中立位置。作为这样的回复施力机构的施力弹簧61可以是一个，此外，也可利用空气压力缸等的公知的技术。在此，中立位置以前后方向中卡合辊51的中心与基座52的中心一致的方式设定。
上述操作机构S，在移动车3停止在物品移载部位的状态下，借助突出动作而借助卡合辊51从接近位置(参照图7以及图9)向分离位置(参照图8以及图10)操作被操作体43，并且，借助退回动作而借助卡合辊51从分离位置(参照图8以及图10)向接近位置(参照图7以及图9)操作被操作体43。
上述卡合辊51，在前后方向上直径形成为与被操作体43的槽部50的宽度相同或者比其宽度小，卡合辊51构成为借助远近方向的移动而与被操作体43的槽部50自如卡合/脱离。
而且，操作机构S构成为推拉式，借助突出动作而令卡合辊51与槽部50卡合而从接近位置向分离位置推压操作被操作体43，并且借助退回动作而令卡合辊51与槽部50卡合而从分离位置向接近位置拉回操作被操作体43，之后，令卡合辊51从槽部50脱离。
若借助上述操作机构S进行突出动作而利用卡合辊51将被操作体43从接近位置操作到分离位置，则通过令被操作体43位于分离位置而将物品支承体29操作到物品交接位置，令物品支承体29从物品保管位置变位到物品交接位置。
此外，若借助操作机构S进行退回动作而利用卡合辊51将被操作体43从分离位置操作到接近位置，则通过被操作体43位于接近位置而将物品支承体29操作到物品保管位置，令物品支承体29从物品交接位置变位到物品保管位置。
对令上述物品支承体29从物品保管位置变位到物品交接位置的动作进行说明。
如图7以及图9所示，若被操作体43位于接近位置，则由于槽部50的开口部分50a在远近方向上开口，所以卡合辊51借助操作机构S进行突出动作而在远近方向上向从移动车3突出一侧移动，从槽部50的开口嵌入槽部50中而与槽部50卡合。而且，通过卡合辊51在与槽部50卡合的状态下在远近方向上向从移动车3突出一侧移动，卡合辊51一边推压槽部50的侧壁部一边移动槽部50而从接近位置向分离位置推压操作被操作体43。而且，若被操作体43从接近位置摆动到分离位置，则联动机构44的第1连杆臂45、第2连杆臂46以及第3连杆臂47依次摆动而令联动用被操作体49向接近移动车3侧移动。因此，借助联动用被操作体49的向接近移动车3侧的移动，滑动引导机构36滑动引导移动自如地支承物品支承体29，同时如图8以及图10所示，物品支承体29从物品保管位置变位到物品交接位置。
如图8以及图10所示，在被操作体43位于分离位置时，若操作机构S进行退回动作，则卡合辊51在与槽部50卡合的状态下向接近移动车3侧移动，卡合辊51一边推压槽部50的侧壁部一边移动槽部50而从分离位置向接近位置拉回操作被操作体43。而且，若被操作体43从分离位置摆动到接近位置，则联动机构44的第1连杆臂45、第2连杆臂46、以及第3连杆臂47依次摆动而令联动用被操作体49向远离移动车3侧移动。因此，借助联动用被操作体49的向远离移动车3侧的移动，滑动引导机构36滑动引导移动自如地支承物品支承体29，同时物品支承体29从物品交接位置变位到物品保管位置。而且，如图7以及图9所示，若被操作体43位于接近位置，则槽部50的开口部分50a在远近方向上开口，所以通过卡合辊51向接近移动车3一侧的移动，卡合辊51与槽部50脱离而退回到移动车3中。
这样，借助操作机构S进行突出动作而利用卡合辊51从接近位置向分离位置操作被操作体43，此时，若前后方向上卡合辊51从相对于被操作体43而言正确的操作位置偏离，则卡合辊51无法卡合到被操作体43的槽部50中，可能无法从接近位置向分离位置操作被操作体43。上述正确操作位置设定为卡合辊51的中心与前后方向上位于接近位置的被操作体43的槽部50的中心一致，以使卡合辊51能够与被操作体43的槽部50卡合。
因此，如图12以及图13所示，设置在操作机构S进行突出动作时在前后方向上将卡合辊51相对于被操作体43引导到正确操作位置的引导机构F(引导部件)。而且，引导机构F在前后方向上配置在正确操作位置的两侧，具有作为将卡合辊51引导到正确操作位置的引导体的引导辊62。
上述引导辊62，在位于接近位置的被操作体43的槽部50的开口部分50a的前后方向的两端部处，被引导辊支承体63绕上下轴心旋转自如地支承。上述引导辊支承体63，其基端部被止动用支承体64止动支承，其顶端部在前后方向形成为分支的分叉状。而且，引导辊支承体63借助螺栓螺母等的连结件G而连结在止动用支承体71上。上述引导辊62在引导辊支承体63中配置在分支为分叉状的各个顶端部上。上述止动用支承体71固定在具有被操作体43的第1摆动轴心P1的轴部71a上。
上述引导辊62设置成，通过与操作体56的顶端的角部分抵接而旋转，在前后方向上引导操作体56。而且，两个引导辊62，通过在这两个引导辊62之间引导操作体56而将卡合辊51引导到正确操作位置。
此外，引导机构F，将卡合辊51引导到正确操作位置后继续在前后方向上在令卡合辊51位于正确操作位置的状态下沿远近方向引导卡合辊51。若进行说明，则两个引导辊62在将操作体56引导到两个引导辊62之间后继续与操作体56的两侧面部抵接而旋转，由此在远近方向上引导操作体56。
而且，在被操作体43中在槽部50的开口部分50a上，设置将卡合辊51引导到正确操作位置的引导面50b，从前后方向宽度比卡合辊51宽度大的入口部越向远离停止在物品移载部位的移动车3侧前后方向的宽度越窄。该引导面50b构成为，以槽部50的开口部分50a越向远离移动车3侧前后方向的宽度越窄的方式形成为前后方向的两侧壁部向相互接近侧倾斜的形状，与卡合辊51抵接而向正确操作位置引导。
根据图13说明在上述操作机构S进行突出动作时，借助引导机构F而向正确操作位置引导卡合辊51时的动作。
若上述卡合辊51的中心Q1从正确操作位置Q2偏离，则操作体56的顶端的角部分与引导辊62抵接而引导辊62旋转，由此如图13(B)所示，在前后方向上在两个引导辊62之间引导操作体56，引导卡合辊51以使卡合辊51的中心Q1与正确操作位置Q2一致。此时，若槽部50的开口部分50a的引导面50b与卡合辊51抵接，则借助引导面50b引导卡合辊51以使卡合辊51的中心Q1与正确操作位置Q2一致。这样，借助引导机构F的引导作用以及引导面50b的引导作用，能够可靠地将卡合辊51引导到正确操作位置。
而且，两个引导辊62如图13(C)所示，在前后方向上将操作体56引导到两个引导辊62之间后继续通过与操作体56的两侧面部抵接并旋转而沿远近方向引导操作体56，以在前后方向上卡合辊51位于正确操作位置上的状态沿远近方向引导卡合辊51。
这样，卡合辊51借助引导机构F被引导到上述方向的正确操作位置，如图11所示，由于操作体56在前后方向移动自如地被设置在支承台54上的导轨55支承，所以可平顺地进行引导机构F对卡合辊51的引导以及引导面50b对卡合辊51的引导。
而且，在操作机构S进行突出动作后进行退回动作时，若解除基于引导机构F的引导作用以及基于引导面50b的引导作用，则如图11所示，操作体56借助两个施力弹簧61的作用力而在前后方向上受到回复施力，卡合辊51在前后方向上回复到中立位置而退回到移动车3。
如上所述，通过操作机构S进行退回动作，令物品支承体29从物品交接位置变位到物品保管位置，但若物品支承体29误从物品保管位置移动到物品交接位置，则物品支承体29出现在移动车3的移动路径上，物品支承体29有可能与移动车3接触。
因此，如图12、图14以及图15所示，设置在将物品支承体29锁止在物品保管位置的锁止状态(参照图14)和解除该锁止的锁止解除状态(参照图15)之间切换自如的锁止机构R(锁止装置)。而且，锁止机构R具有锁止体64，在限制被操作体43从接近位置向分离位置的变位而为锁止状态的锁止位置(参照图14)、和允许被操作体43在接近位置与分离位置之间变位而为锁止解除状态的锁止解除位置(参照图15)之间自如变位。上述锁止体64设置为，在向锁止位置受到施力的状态下借助绕摆动轴心的摆动而在锁止位置(参照图14(A))和比该锁止位置还靠上方侧即锁止解除位置(参照图15(A))之间自如变位。
另一方面，在操作机构S上，具有进出式的锁止机构用的操作部70，借助在远近方向上向从移动车3突出一侧的移动而将锁止机构R从锁止状态切换操作为锁止解除状态，并且借助在远近方向上向退回到移动车3侧的移动而将锁止机构R从锁止解除状态切换操作为锁止状态。上述锁止机构用的操作部70，由在远近方向上越向操作体56的顶端侧越位于下方地形成的推压用倾斜面构成，设置在操作体56的顶端部的上表面侧。
这样，在作为进出移动体的操作体56上，设置作为物品支承体用的操作部的卡合辊51和锁止机构用的操作部70。而且，操作机构S通过进行突出动作而在远近方向上令卡合辊51以及锁止机构用的操作部70向从移动车3突出一侧移动，并且，通过进行退回动作而在远近方向上令卡合辊51以及锁止机构用的操作部70向退回到移动车3侧移动。
上述锁止体64，具有：绕沿水平方向的第2摆动轴心P2摆动自如地设置的摆动臂65(操作臂)、在该摆动臂65的顶端部以向下方延伸的状态设置的锁止板66、与该锁止板66在前后方向上隔着间隔而并列地设置在摆动臂65的顶端部上的绕水平轴心旋转自如的被推压辊67。
上述摆动臂65，其基端部枢转支承连结在锁止用支承台68上而绕第2摆动轴心P2摆动自如地设置。上述锁止用支承台68被立设在基台48上的棒状的立设支承体72以及止动用支承体71支承。在止动用支承体71上，除了锁止用支承台68，还支承引导辊支承体63，在以锁止用支承台68位于引导辊支承体63下方侧的方式在上下重叠的状态下通过螺栓等的连结件G紧固连结锁止用支承台68与引导辊支承体63。
而且，锁止体64设置为通过摆动臂65绕第2摆动轴心P2的摆动而在锁止位置(参照图14)和比该锁止位置靠上方侧的锁止解除位置(参照图15)之间自如摆动。此外，锁止体64借助摆动臂65的自重而向锁止位置受到施力。而且，设置通过止动支承摆动臂65而限制摆动臂65向下方侧摆动的锁止用止动件69。该锁止用止动件69设置为在止动支承摆动臂65时，锁止体64位于锁止位置。
上述锁止板66设置为，如图14(B)所示，在锁止体64位于锁止位置的状态下，与位于接近位置的被操作体43的侧面部抵接而限制被操作体43从接近位置向分离位置的摆动，成为锁止状态，并且如图15(B)所示，在锁止体64位于锁止解除位置的状态下，退避到比被操作体43还上方的位置，允许被操作体43在接近位置与分离位置之间的摆动而变为锁止解除状态。
上述锁止体64构成为，借助锁止机构用的操作部70的向从移动车3突出一侧的移动而从锁止位置被推压操作到锁止解除位置，并且借助锁止机构用操作部70的向退回到移动车3一侧的移动而解除锁止机构用的操作部70的从锁止位置向锁止解除位置的推压操作。
若进行说明，则如图12所示，被推压辊67在锁止体64位于锁止位置的状态下设置在两个引导辊62之间。上述被推压辊67，借助锁止机构用的操作部70的向从移动车3突出一侧的移动而被锁止机构用的操作部70向上方侧推压操作，并且借助锁止机构用的操作部70的向退回到移动车3侧的移动而解除锁止机构用的操作部70的向上方侧的推压操作。
而且，通过利用锁止机构用的操作部70向上方侧推压操作被推压辊67，从锁止位置向锁止解除位置推压操作锁止体64。此外，通过解除锁止机构用的操作部70对被推压辊67向上方侧的推压操作，对锁止体64解除从锁止位置向锁止解除位置的推压操作。
说明上述锁止机构用的操作部70的动作与上述锁止机构R的动作。
如图14所示，在锁止体64位于锁止位置的状态下，通过操作机构S进行突出动作，设置在操作体56的顶端部的锁止机构用的操作部70向从移动车3突出一侧移动。而且，锁止机构用的操作部70与被推压辊67抵接，随着锁止机构用的操作部70的向从移动车3突出一侧的移动，被推压辊67被锁止机构用的操作部70向上方侧推压操作。因此，摆动臂65向上方侧摆动，令锁止体64从锁止位置向锁止解除位置变位。这样，如图15所示，若锁止体64位置变更为锁止解除位置，则锁止板66位于比被操作体43还靠上方的退避位置，允许被操作体43从接近位置向分离位置的摆动而为锁止解除状态。
如图15所示，在锁止体64位于锁止解除位置的状态下，通过操作机构S进行退回动作，设置在操作体56的顶端部的锁止机构用的操作部70向退回到移动车3侧移动。随着该锁止机构用的操作部70的向退回到移动车3侧的移动，随着被推压辊67一边在锁止机构用的操作部70的倾斜面上旋转一边下降，摆动臂65向下方侧摆动。而且，若锁止机构用的操作部70从被推压辊67分离，则摆动臂65借助自重而向下方侧摆动直到被锁止用止动件69止动支承，锁止体64从锁止解除位置变位到锁止位置。这样，若锁止体64变位到锁止位置，则锁止板66与被操作体43的侧面部抵接而限制被操作体43从接近位置向分离位置的摆动，成为锁止状态。
如上所述，操作机构S，通过进行突出动作以及退回动作，在锁止状态与锁止解除状态之间切换锁止机构R，操作机构S构成为进行物品支承体29的位置变更操作以及锁止机构R的切换操作，以便在通过进行突出动作而将锁止机构R从锁止状态切换操作到锁止解除状态后从物品保管位置将物品支承体29变更操作到物品交接位置，并且在通过进行退回动作而将物品支承体29从物品交接位置变更操作到物品保管位置后将锁止机构R从锁止解除状态切换操作到锁止状态。
若进行说明，则若操作机构S进行突出动作，则设置在操作体56的顶端部的卡合辊51与锁止机构用的操作部70一起在远近方向上向从移动车3突出一侧移动。但是，被推压辊67在远近方向上设置在被操作体43的槽部50的入口部分上，所以在卡合辊51与槽部50卡合之前锁止机构用的操作部70向上方侧推压操作被推压辊67。因此，首先通过借助锁止机构用的操作部70向上方侧推压操作被推压辊67而从锁止位置向锁止解除位置推压操作锁止体64，将锁止机构R从锁止状态切换操作为锁止解除状态。
而且，若将锁止机构R从锁止状态切换到锁止解除状态，则允许被操作体43从接近位置向分离位置的摆动，卡合辊51与槽部50卡合而从接近位置向分离位置推压操作被操作体43。即，在锁止机构R被切换为锁止解除状态之前，卡合辊51即便想要从接近位置向分离位置侧推压操作被操作体43，也可借助锁止板66限制被操作体43从接近位置向分离位置的摆动。若上述被操作体43位于分离位置，则被操作体43从物品保管位置向物品交接位置操作物品支承体29，物品支承体29从物品保管位置变位到物品交接位置。
若上述操作机构S进行退回动作，则设置在操作体56的顶端部的卡合辊51以及锁止机构用的操作部70在远近方向上向退回到移动车3侧移动。首先，卡合辊51与槽部50卡合而从分离位置向接近位置拉回操作被操作体43。而且，若被操作体43位于分离位置，则被操作体43从物品交接位置向物品保管位置操作物品支承体29，物品支承体29从物品交接位置向物品保管位置变位。
之后，在卡合辊51从槽部50脱离时，锁止机构用的操作部70从被推压辊67分离，锁止机构用的操作部70对被推压辊67向上方侧的推压操作解除。于是，通过解除对被推压辊67的向上方侧的推压操作，基于锁止机构用的操作部70的对锁止体64从锁止位置向锁止解除位置的推压操作被解除，锁止机构R从锁止解除状态切换为锁止状态。
此外，如图16所示，滑动引导机构36构成为，相对于固定框体35而在物品保管位置和比物品保管位置还上方的物品交接位置之间相对于水平方向倾斜地滑动引导自如地支承物品支承体29。
若进行说明，则轨道部41，在令在远近方向上远离停止在物品移载部位的移动车3侧的端部位于最下方并且令接近停止在物品移载部位的移动车3侧的端部位于最上方的状态下，从一端部直到另一端部相对于水平方向倾斜设定角度θ(例如2度)。该设定角度θ优选为0.5度与10度之间的值，更优选为1度与5度之间的值。
这样，滑动引导机构36在利用物品支承体29的自重而向物品保管位置侧对物品支承体29施力的状态下，在物品保管位置与物品交接位置之间滑动引导移动自如地支承物品支承体29，构成为滑动引导支承机构。
在上述移动车3上，设置控制移动车3的动作的台车用控制部(控制器)。而且，台车用控制部根据来自管理物品输送设备整体的动作的管理用计算机的指令以及设置在移动车3上的各种传感器的检测信息而控制移动车3的移动以及把持部4的升降动作，并且控制把持动作用马达27以及操作机构S的操作用电动马达60的动作。
例如，在从多个工位7中指定了输送起点以及输送目标的工位7的状态下，从管理用计算机发出从输送起点的工位7向输送目标的工位7输送容器5的输送指令时，台车用控制部控制移动车3的动作，以从输送起点的工位7接收容器5并将容器5交接给输送目标的工位7。
在从上述输送起点的工位7接收容器5时，首先，台车用控制部控制移动车3的移动，以令移动车3移动到与输送起点的工位7对应的停止位置。接着，台车用控制部在令移动车3停止在与输送起点的工位7对应的停止位置上的状态下控制把持部4的升降动作，以令把持部4从上升位置下降到下降位置。然后，台车用控制部在把持部4位于下降位置后令把持动作用马达27动作而将一对把持件4a切换为把持姿势，通过一对把持件4a把持容器5的凸缘5a而接收容器5。之后，台车用控制部控制把持部4的升降动作以令把持部4从下降位置上升到上升位置，之后，控制移动车3的移动，以令移动车3移动到与输送目标工位7对应的停止位置。
然后，台车用控制部，在移动车3停止在与输送目标工位7对应的停止位置后，与从输送起点的工位7接收容器5的情况同样地，通过控制把持部4的升降动作和把持动作用马达27的动作，将容器5给出到输送目标的工位7。
此外，对在从多个物品支承体29中指定了移载对象的物品支承体29的状态下，从管理用计算机发出将容器5保管在物品支承体29上的保管指令的情况进行说明。
上述台车用控制部，首先控制移动车3的移动以令移动车3移动到与移载对象的物品支承体29对应的物品移载部位处。接着，台车用控制部在令移动车3停止在与移载对象的物品支承体29对应的物品移载部位处的状态下，令操作用电动马达60动作而借助操作机构S进行突出动作。而且，通过操作机构S进行突出动作，借助引导机构F将卡合辊51引导到正确操作位置，同时将锁止机构R从锁止状态切换为锁止解除状态，之后，令物品支承体29从物品保管位置变位到物品交接位置。然后，台车用控制部控制把持部4的升降动作以令把持部4从上升位置下降到与其接近的位置，之后，令把持动作用马达27动作而将一对把持件4a切换为解除姿势，从把持部4将容器5交给位于物品交接位置的物品支承体29。之后，台车用控制部控制把持部4的升降动作以令把持部4上升到上升位置，之后令操作用电动马达60动作而由操作机构S进行退回动作。然后，通过操作机构S进行退回动作，物品支承体29从物品交接位置变位(位置变更)为物品保管位置，之后，将锁止机构R从锁止解除状态切换为锁止状态。
对在从多个物品支承体29中指定了移载对象的物品支承体29的状态下从上述管理用计算机中发出取出由物品支承体29保管的容器5的取出指令的情况进行说明。
上述台车用控制部，与发出保管指令的情况相同，通过控制移动车3的移动而令移动车3在与移载对象的物品支承体29对应的物品移载部位处停止。接着，台车用控制部令操作用电动马达60动作而由操作机构S进行突出动作。通过操作机构S进行突出动作，借助引导机构F将卡合辊51引导到正确操作位置，同时将锁止机构R从锁止状态切换为锁止解除状态，之后，令物品支承体29从物品保管位置变位到物品交接位置。然后，台车用控制部控制把持部4的升降动作以令把持部4从上升位置下降到与其接近的位置，之后，令把持动作用马达27动作而将一对把持件4a切换为把持姿势，从物品支承体29向把持部4接收容器5。之后，台车用控制部控制把持部4的升降动作以令把持部4上升到上升位置，之后令操作用电动马达60动作而由操作机构S进行退回动作。然后，通过操作机构S进行退回动作，物品支承体29从物品交接位置变位为物品保管位置，之后，将锁止机构R从锁止解除状态切换为锁止状态。
[第2实施方式]
接着，说明第2实施方式的物品输送设备，该第2实施方式，对于上述第1实施方式的锁止机构R表示其他实施方式。根据图17～图20说明锁止机构R(锁止装置)，对于其他构成，由于与上述第1实施方式相同，所以省略说明。
上述锁止机构R，具有锁止体64，在限制被操作体43从接近位置向分离位置的变位而为锁止状态的锁止位置(参照图18(A))、和允许被操作体43在接近位置与分离位置之间变位而为锁止解除状态的锁止解除位置(参照图18(B))之间自如变位。
上述锁止体64设置为，在向锁止位置受到施力的状态下借助绕摆动轴心的摆动而在锁止位置和比该锁止位置还上方侧即锁止解除位置之间自如变位。
在上述操作机构S上，具有进出式的锁止机构用的操作部73，借助在远近方向上向从移动车3突出一侧的移动而将锁止机构R从锁止状态切换操作为锁止解除状态，并且借助在远近方向上向退回到移动车3侧的移动而将锁止机构R从锁止解除状态切换操作为锁止状态。
而且，锁止体64构成为，借助锁止机构用的操作部73向从移动车3突出一侧的移动而从锁止位置被推压操作到锁止解除位置，并且借助锁止机构用操作部73向移动车3退回侧的移动而解除从锁止位置向锁止解除位置的推压操作，并从锁止解除位置被推压操作到锁止位置。
上述锁止机构用的操作部73，包括：第1推压用倾斜面73a，在远近方向上越靠操作体56的顶端侧越靠下地形成，以借助向从移动车3突出一侧的移动将锁止体64从锁止位置推压操作到锁止解除位置，并且借助向退回到移动车3侧的移动对锁止体64解除从锁止位置向锁止解除位置的推压操作；第2推压用倾斜面73b，在远近方向上越靠操作体56的顶端侧越靠上地形成，以借助向退回移动车3侧的移动将锁止体64从锁止解除位置推压操作到锁止位置。
而且，操作体56的顶端部形成为凹状，在该凹状部分上设置第1推压用倾斜面73a。此外，在操作体56上，在前后方向的一方侧，在远近方向上与凹状部分邻接的状态下沿远近方向设置长条状的孔部74，在该孔部74中在操作体56的顶端侧的端部上设置第2推压用倾斜面73b。
上述锁止体64设置为绕沿水平方向的第3摆动轴心P3摆动自如，具有：在远近方向上具有水平部分和从其两端向下方延伸的两个脚部的摆动体75；在该摆动体75的一方侧上沿前后方向延设的锁止板76；在摆动体75的另一方侧绕水平轴心旋转自如地设置的两个被推压辊77。
上述摆动体75，摆动自如地设置在旋转轴部78上，所述旋转轴部在沿第3摆动轴心P3的状态下旋转自如地设置在引导辊支承体63上。而且，锁止体64设置为通过摆动体75绕第3摆动轴心P3的摆动而在锁止位置(参照图18(A))和令锁止板76位于比该锁止位置还上方侧的锁止解除位置(参照图18(B))之间自如摆动。
上述锁止板76设置为，如图17以及图18(A)所示，在锁止体64位于锁止位置的状态下，与位于接近位置的被操作体43的侧面部抵接而限制被操作体43从接近位置向分离位置的摆动，成为锁止状态，并且如图18(B)所示，在锁止体64位于锁止解除位置的状态下，退避到比被操作体43还上方的位置，允许被操作体43在接近位置与分离位置之间的摆动而成为锁止解除状态。
上述两个被推压辊77，包括：第1被推压辊77a，借助作为锁止机构用的操作部73的第1推压用倾斜面73a的向从移动车3突出一侧的移动而被向上方侧推压操作，并且借助第1推压用倾斜面73a的向退回到移动车3侧的移动而解除向上方侧的推压操作；第2被推压辊77b，借助作为锁止机构用的操作部73的第2推压用倾斜面73b的向退回到移动车3侧的移动而被向上方侧推压操作。而且，第1被推压辊77a和第2被推压辊77b设置为，在锁止体64位于锁止位置的状态下，第2被推压辊77b位于比第1被推压辊77a靠上方，借助摆动体75的摆动，一方侧向下方侧移动且另一方面向上方侧移动。
在上述摆动体75上，为了从下方侧对远近方向上远离移动车3侧施力而令摆动体75摆动，在远近方向上远离移动车3侧具有向下方侧延伸的配重部75a。而且，锁止体64，借助基于摆动体75的配重部75a的自重而向锁止位置受到施力。此外，设置施力体79，通过以推压在远近方向上向与移动车3接近侧的方式与第2被推压辊77b抵接而令锁止体64位于锁止位置。而且，施力体79，构成为通过未图示的弹簧等的弹性体进行施力，被设置在引导辊支承体63上的施力用支承体80支承。
根据图19以及图20说明上述锁止机构用的操作部73的动作和上述锁止机构R的动作。即，图19表示在操作体56上不存在前后方向的第2推压用倾斜面73b侧的剖视图，图20表示在操作体56上存在前后方向的第2推压用倾斜面73b侧的剖视图。
在锁止体64位于锁止位置的状态下，借助操作机构S进行突出动作，设置在操作体56的顶端部的锁止机构用的操作部73向从移动车3突出一侧移动。而且，第1推压用倾斜面73a与第1被推压辊77a抵接，如图19(B)所示，第1被推压辊77a被第1推压用倾斜面73a向上方侧推压操作。因此，摆动体75绕第3摆动轴心P3摆动，如图19(C)所示，令锁止体64从锁止位置向锁止解除位置变位。另一方面，如图20所示，随着摆动体75的摆动，第2被推压辊77b向下方侧移动，如图20(C)所示，第2被推压辊77b插入操作体56的孔部74中。
这样，若锁止体64向锁止解除位置变位，则锁止板76变为比被操作体43还靠上方的退避位置，允许被操作体43从接近位置向分离位置摆动而成为锁止解除状态。
如图19(C)以及图20(C)所示，在锁止体64位于锁止解除位置的状态下，通过操作机构S进行退回动作，设置在操作体56的顶端部的锁止机构用的操作部70向退回到移动车3侧移动。如图20所示，随着该锁止机构用的操作部70的向退回到移动车3侧的的移动，第2推压用倾斜面73b与第2被推压辊77b抵接，第2被推压辊77b被第2推压用倾斜面73b向上方侧推压操作，摆动体75绕第3摆动轴心P3摆动。另一方面，如图19所示，随着锁止机构用的操作部70的向退回到移动车3侧的移动以及摆动体75的摆动，第1被推压辊77a一边在第1推压用倾斜面73a上旋转一边下降，第1推压用倾斜面73a从第1被推压辊77a分离。上述摆动体75，如图19(A)以及图20(A)所示，施力体79借助自重绕第3摆动轴心P3摆动直到与第2被推压辊77b抵接，令锁止体64从锁止解除位置变位到锁止位置。
这样，若锁止体64变位到锁止位置，则锁止板76与被操作体43的侧面部抵接而限制被操作体43从接近位置向分离位置的摆动，成为锁止状态。
如上所述，操作机构S，通过进行突出动作以及退回动作，在锁止状态与锁止解除状态之间切换锁止机构R，与上述第1实施方式相同，操作机构S构成为进行物品支承体29的变位操作以及锁止机构R的切换操作，以便在通过进行突出动作而从锁止状态将锁止机构R切换操作到锁止解除状态后从物品保管位置将物品支承体29变位操作到物品交接位置，并且在通过进行退回动作而将物品支承体29从物品交接位置变位操作到物品保管位置后将锁止机构R从锁止解除状态切换操作到锁止状态。
若进行说明，则若操作机构S进行突出动作，则设置在操作体56的顶端部的卡合辊51与锁止机构用的操作部73一起在远近方向上向从移动车3突出一侧移动。但是，被推压辊77在远近方向上设置在被操作体43的槽部50的入口部分上，所以在卡合辊51与槽部50卡合之前锁止机构用的操作部73的第1推压用倾斜面73a向上方侧推压操作第1被推压辊77a。因此，首先通过第1推压用倾斜面7 3a向上方侧推压操作第1被推压辊77a而从锁止位置向锁止解除位置推压操作锁止体64，将锁止机构R从锁止状态切换操作为锁止解除状态。
而且，若将锁止机构R从锁止状态切换到锁止解除状态，则允许被操作体43从接近位置向分离位置的摆动，卡合辊51与槽部50卡合而从接近位置向分离位置推压操作被操作体43。即，在锁止机构R被切换为锁止解除状态之前，卡合辊51即便想要从接近位置向分离位置侧推压操作被操作体43，也可借助锁止板76限制被操作体43从接近位置向分离位置的摆动。若上述被操作体43位于分离位置，则被操作体43从物品保管位置向物品交接位置操作物品支承体29，物品支承体29从物品保管位置变位到物品交接位置。
若上述操作机构S进行退回动作，则设置在操作体56的顶端部的卡合辊51以及锁止机构用的操作部73在远近方向上向退回到移动车3侧移动。首先，卡合辊51与槽部50卡合而从分离位置向接近位置拉回操作被操作体43。而且，若被操作体43位于分离位置，则被操作体43从物品交接位置向物品保管位置操作物品支承体29，物品支承体29从物品交接位置向物品保管位置变位。
之后，在卡合辊51到达槽部50的入口部分时，第2推压用倾斜面73b向上方侧推压第2被推压辊77b，锁止体64从锁止解除位置向锁止位置变位，锁止机构R从锁止解除状态切换为锁止状态。
[其他实施方式]
(1)在上述第1以及第2实施方式中，操作机构S构成为令卡合辊51与槽部50卡合而从接近位置向分离位置推压操作被操作体43，并且令卡合辊51与槽部50卡合而从分离位置向接近位置拉引操作被操作体43的推拉式，但操作机构S由何种各种形式构成可适宜地变更。
例如，可设置用于对于被操作体43向接近位置回复施力的施力弹簧等的施力机构，操作机构S构成为推压式，借助突出动作而借助卡合辊51从接近位置向分离位置推压操作被操作体43，并且，借助退回动作而借助施力机构的作用力而令被操作体43从分离位置向接近位置回复移动。
(2)在上述第1以及第2实施方式中，物品支承体29设置为在物品交接位置处与位于接近上升位置的位置的把持部4之间交接容器5，但也可将物品支承体29设置为例如在物品交接位置处与位于上升位置的把持部4之间交接容器5。
此外，在物品交接位置处，对于物品支承体29与把持部4之间交接容器5的位置，不限定为接近上升位置的位置或者上升位置，也可为比上升位置低了设定高度的下降位置。该情况下，在令物品支承体29位于物品交接位置的状态下，通过令把持部4从上升位置下降设定高度，可在物品支承体29与把持部4之间进行容器5的交接。
(3)在上述第1以及第2实施方式中，以沿导轨2并列的状态设置多个物品支承体29，但设置物品支承体29的个数可适宜变更。此外，对于物品支承体29的设置位置，可设置在导轨2的左右两侧，也可仅设置在导轨2的单侧。
(4)在上述第1以及第2实施方式中，在移动车3上设置用于对移动车3的行进方向上位于右侧的物品支承体29进行变位操作的操作机构S、和用于对移动车3的行进方向位于左侧的物品支承体29进行变位操作的操作机构S这两个操作机构S，但也可通过令操作机构S在移动车3的行进方向右侧以及左侧的两侧进退自如地具有卡合辊51而在移动车3上设置一个操作机构S地实施。
(5)在上述第1以及第2实施方式中，作为移动体例示了具有在吊下状态下自如把持容器5并相对于移动车3自如升降的把持部4的移动车3，但可通过何种构成保持容器5可适宜地变更，例如，可通过仅具有从两侧夹入容器5而保持容器5的夹持部的移动车来实施。
即，该情况下，例如在导轨2的横向的附近的位置等处设置物品移载用的工位，并在该工位上设置与移动车3之间进行物品移载的进退式的物品移载装置，由此可在移动车与工位之间进行物品移载。
(6)在上述第1以及第2实施方式中，例示了输送收纳了作为物品的半导体基板的容器5的物品输送设备，但输送的物品可适宜变更。

Claims (13)

1.一种物品输送设备，具有：
物品输送用的移动体，沿移动路径移动，并具有物品保持部；
物品保管用的物品支承体，能在从停止在与上述物品支承体对应而设定的物品移载部位处的上述移动体的上述保持部接收物品以及向上述保持部给出物品的物品交接位置、和物品保管位置之间变更位置；
固定框体，与上述物品保管位置对应地设置，在相对于停止在上述物品移栽部位上的上述移动体的远近方向上移动自如地支承上述物品支承体，
其特征在于，还具有：
锁止机构，设置在上述物品支承体上，能在将上述物品支承体锁止在上述物品保管位置上的锁止状态、和解除该锁止的锁止解除状态之间切换；
操作机构，设置在上述移动体上，进行上述物品支承体的位置变更操作以及上述锁止机构的切换操作，用于在将上述锁止机构从上述锁止状态切换操作到上述锁止解除状态后，将上述物品支承体从上述物品保管位置变更操作到上述物品交接位置，并且在将上述物品支承体从上述物品交接位置变更操作到上述物品保管位置后，将上述锁止机构从上述锁止解除状态切换操作为上述锁止状态。
2.如权利要求1所述的物品输送设备，其特征在于，
上述操作机构具有：
物品支承体用的操作部，借助在相对于停止于上述物品移载部位的上述移动体的远近方向上向从上述移动体突出的方向的移动，将上述物品支承体从上述物品保管位置变更操作到上述物品交接位置，并且借助在相对于停止于上述物品移载部位的上述移动体的远近方向上向退回上述移动体的方向的移动，将上述物品支承体从上述物品交接位置变更操作到上述物品保管位置；
锁止机构用的操作部，借助在相对于停止于上述物品移载部位的上述移动体的远近方向上向从上述移动体突出的方向的移动，将上述锁止机构从上述锁止状态切换操作为上述锁止解除状态，并且，借助在相对于停止于上述物品移载部位的上述移动体的远近方向上向退回上述移动体的方向的移动，将上述锁止机构从上述锁止解除状态切换操作为上述锁止状态。
3.如权利要求2所述的物品输送设备，其特征在于，
上述操作机构具有进退移动体，所述进退移动体构成为在相对于停止于上述物品移载部位的上述移动体的远近方向上、向从上述移动体突出的方向以及退回到上述移动体的方向移动，
在上述进退移动体上，设置上述物品支承体用的操作部和上述锁止机构用的操作部。
4.如权利要求2或3所述的物品输送设备，其特征在于，
具有被操作体，在相对于停止于上述物品移载部位的上述移动体的远近方向上位置变更地被支承，借助上述物品支承体用的操作部向从上述移动体突出的方向的移动而从接近停止于上述物品移载部位处的上述移动体的接近位置被操作到远离停止于上述物品移载部位处的上述移动体的分离位置，并且，借助上述物品支承体用的操作部向退回上述移动体的方向的移动而从上述分离位置被操作到上述接近位置，
上述被操作体与上述物品支承体联动，以使上述被操作体位于上述接近位置时上述物品支承体位于上述物品保管位置，并且上述被操作体位于上述分离位置时上述物品支承体位于上述物品交接位置。
5.如权利要求4所述的物品输送设备，其特征在于，
上述被操作体设置为，通过绕摆动轴心的摆动而在上述接近位置与上述分离位置之间自如切换，并且在上述接近位置处成为顶端部比上述摆动轴心更接近停止于上述物品移载部位处的上述移动体的姿势，
在上述被操作体的顶端部上，在上述被操作体位于上述接近位置的状态下，在与上述远近方向交叉的方向上，设置向上述摆动轴心侧延伸的槽部，上述槽部，以接近停止于上述物品移载部位的上述移动体一侧的顶端沿上述远近方向延伸的状态设置，
上述物品支承体用的操作部，构成为通过在上述远近方向上的移动而相对于上述槽部卡合以及脱离，
上述操作机构构成为，通过在上述远近方向上令上述物品支承体用的操作部向从上述移动体突出的方向移动，令上述物品支承体用的操作部与上述槽部卡合，将上述被操作体从上述接近位置推压操作到上述分离位置，并且，通过在上述远近方向上令上述物品支承体用的操作部向退回上述移动体的方向移动，将上述被操作体从上述分离位置拉动操作到上述接近位置，之后令上述物品支承体用的操作部从上述槽部脱离。
6.如权利要求4所述的物品输送设备，其特征在于，
上述锁止机构具有锁止体，所述锁止体在限制上述被操作体从上述接近位置向上述分离位置的位置变更而成为上述锁止状态的锁止位置、和允许上述被操作体在上述接近位置与上述分离位置之间的位置变更而成为上述锁止解除状态的锁止解除位置之间自如变位，
上述锁止体设置为，借助上述锁止机构用的操作部向从上述移动体突出的方向的移动而从上述锁止位置被操作到上述锁止解除位置，并且，借助上述锁止机构用的操作部向退回上述移动体的方向的移动而从上述锁止解除位置被操作到上述锁止位置。
7.如权利要求6所述的物品输送设备，其特征在于，
上述锁止体，设置为在向上述锁止位置受到施力的状态下通过绕摆动轴心的摆动而在上述锁止位置与上述锁止解除位置之间自如变位，并且
借助上述锁止机构用的操作部向从上述移动体突出的方向的移动而从上述锁止位置被推压操作到上述锁止解除位置，并且借助上述锁止机构用的操作部向退回上述移动体的方向的移动而解除上述锁止机构用的操作部从上述锁止位置向上述锁止解除位置的推压操作。
8.如权利要求7所述的物品输送设备，其特征在于，
上述锁止体构成为，借助上述锁止机构用的操作部向退回上述移动体的方向的移动而从上述锁止解除位置被推压操作到上述锁止位置。
9.如权利要求1～3的任意一项所述的物品输送设备，其特征在于，
设置有滑动引导支承机构，相对于与上述物品保管位置对应地设置的固定框体，在上述物品保管位置和比上述物品保管位置还靠上的上述物品交接位置之间以相对于水平方向倾斜地滑动引导移动自如的方式支承上述物品支承体。
10.如权利要求1～3的任意一项所述的物品输送设备，其特征在于，
上述移动路径由顶上的轨道形成，上述移动体是沿上述轨道移动的车辆，上述车辆上设置具有柔性部件的升降操作机构，上述物品保持部借助升降操作机构而经由上述柔性部件在上升位置与下降位置之间沿上下方向移动。
11.如权利要求10所述的物品输送设备，其特征在于，
上述车辆具有相对于行进方向来说位于前方的纵框体和位于后方的纵框体，上述上升位置是上述物品保持部配置在上述前后框体之间的位置，上述下降位置是适于将物品载置于配置在地上的工位上的位置。
12.如权利要求11所述的物品输送设备，其特征在于，
通过上述物品支承体基本上水平地向上述物品交接位置移动，上述物品支承体可从上述物品保持部接收物品，上述物品支承体配置在与位于上述上升位置的上述物品保持部大致相同的高度。
13.如权利要求12所述的物品输送设备，其特征在于，
上述物品支承体经由固定框体从顶部吊下。
CN2007101869194A 2006-11-14 2007-11-13 物品输送设备 Active CN101181956B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006308080A JP4849331B2 (ja) 2006-11-14 2006-11-14 物品搬送設備
JP2006-308080 2006-11-14
JP2006308080 2006-11-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101181956A CN101181956A (zh) 2008-05-21
CN101181956B true CN101181956B (zh) 2012-07-11

Family

ID=39363364

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2007101869194A Active CN101181956B (zh) 2006-11-14 2007-11-13 物品输送设备

Country Status (9)

Country Link
US (1) US8348588B2 (zh)
JP (1) JP4849331B2 (zh)
KR (1) KR101234543B1 (zh)
CN (1) CN101181956B (zh)
DE (1) DE102007054351B4 (zh)
IE (1) IE86645B1 (zh)
NL (1) NL2000997C2 (zh)
SG (1) SG143142A1 (zh)
TW (1) TWI410363B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107635896A (zh) * 2015-04-21 2018-01-26 欧派克斯公司 储存或取回物品的方法和装置

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5765549B2 (ja) * 2010-10-04 2015-08-19 株式会社ダイフク 物品搬送装置
US8540070B2 (en) * 2011-07-19 2013-09-24 Siemens Industry, Inc. Coil shift transfer car
KR20130022025A (ko) * 2011-08-24 2013-03-06 삼성전자주식회사 기판수납용기 로더
JP5590420B2 (ja) * 2011-12-21 2014-09-17 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5842276B2 (ja) * 2012-02-28 2016-01-13 株式会社ダイフク 物品移載装置
DE202012102447U1 (de) * 2012-07-03 2013-10-07 Kuka Systems Gmbh Zuführeinrichtung
JP6919610B2 (ja) * 2018-03-22 2021-08-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN109353768B (zh) * 2018-10-26 2020-07-17 合肥国轩高科动力能源有限公司 复合式环形装配线
JP2020193058A (ja) * 2019-05-27 2020-12-03 株式会社ダイフク 物品搬送体
US11912512B2 (en) * 2021-05-13 2024-02-27 HighRes Biosolutions, Inc. Overhead labware transport system
CN116853801B (zh) * 2023-09-01 2023-12-08 常州孟腾智能装备有限公司 电芯托盘解锁机构及其输送线

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1114283A (zh) * 1994-05-17 1996-01-03 村田机械株式会社 物品搬运装置
US5570990A (en) * 1993-11-05 1996-11-05 Asyst Technologies, Inc. Human guided mobile loader stocker
CN1506257A (zh) * 2002-12-09 2004-06-23 村田机械株式会社 天车系统

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT37343B (de) 1908-04-02 1909-05-25 Adolf Schiel Vorrichtung zum Öffnen und Schließen von Wagenfenstern.
SE363794B (zh) * 1971-04-26 1974-02-04 Electrolux Ab
JPS5946903U (ja) 1982-09-20 1984-03-28 株式会社ダイフク ケ−ス係止具付き格納設備
ATE37343T1 (de) * 1983-12-01 1988-10-15 Douglas Osborne Steuart Lagerung und befoerderung von auf paletten angeordneten guetern.
GB2150542A (en) * 1983-12-01 1985-07-03 Douglas Osborne Steuart A storage and handling installation for palletised goods and method of operating the same
EP0235488B1 (fr) * 1986-09-19 1990-01-24 REDOUTE CATALOGUE Société Anonyme: Installation de manutention robotisée
DE3714638A1 (de) 1987-05-02 1988-12-01 Megamat Gmbh & Co Entlade- und ggf. beladevorrichtung
JP3361004B2 (ja) * 1996-02-29 2003-01-07 富士通株式会社 Ａｔｍ運用支援システム
JP3436334B2 (ja) * 1996-08-06 2003-08-11 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JPH11159214A (ja) * 1997-12-01 1999-06-15 Sanshin Kinzoku Kogyo Kk 物品収納棚の物品載置棚部材用ロック装置
JP3696407B2 (ja) 1998-06-19 2005-09-21 本田技研工業株式会社 搬送装置におけるストッパ操作装置
DE19953812A1 (de) 1999-11-09 2001-05-23 Psb Gmbh Materialflus & Logist Verfahren und Vorrichtung zum Kommissionieren
DE10234360A1 (de) * 2002-07-27 2004-02-05 Nedcon Magazijninrichting B.V. Lagerregal für Waren oder Warengebinde, wie z.B. beladene Paletten
US6663340B1 (en) * 2002-08-30 2003-12-16 Motorola, Inc. Wafer carrier transport system for tool bays
FR2844258B1 (fr) * 2002-09-06 2005-06-03 Recif Sa Systeme de transport et stockage de conteneurs de plaques de semi-conducteur, et mecanisme de transfert
KR101544699B1 (ko) * 2002-10-11 2015-08-18 무라다기카이가부시끼가이샤 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
JP4632091B2 (ja) * 2005-08-30 2011-02-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5570990A (en) * 1993-11-05 1996-11-05 Asyst Technologies, Inc. Human guided mobile loader stocker
CN1114283A (zh) * 1994-05-17 1996-01-03 村田机械株式会社 物品搬运装置
CN1506257A (zh) * 2002-12-09 2004-06-23 村田机械株式会社 天车系统

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP特开2006-44934A 2006.02.16

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107635896A (zh) * 2015-04-21 2018-01-26 欧派克斯公司 储存或取回物品的方法和装置
CN107635896B (zh) * 2015-04-21 2019-11-05 欧派克斯公司 物料处理系统

Also Published As

Publication number Publication date
TWI410363B (zh) 2013-10-01
KR20080043725A (ko) 2008-05-19
NL2000997C2 (nl) 2014-03-18
DE102007054351B4 (de) 2015-09-10
KR101234543B1 (ko) 2013-02-19
DE102007054351A1 (de) 2008-06-12
IE86645B1 (en) 2016-05-04
IE20070813A1 (en) 2008-07-23
US8348588B2 (en) 2013-01-08
JP4849331B2 (ja) 2012-01-11
NL2000997A1 (nl) 2008-05-27
JP2008120553A (ja) 2008-05-29
CN101181956A (zh) 2008-05-21
SG143142A1 (en) 2008-06-27
TW200831376A (en) 2008-08-01
US20080131249A1 (en) 2008-06-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101181956B (zh) 物品输送设备
CN101181957A (zh) 物品输送设备
KR102636990B1 (ko) 반송차, 및 반송 설비
JP4378656B2 (ja) 物品搬送設備
EP1726540B1 (en) Article storage facility and method for operating the facility
CN101261950B (zh) 物品处理设备及其控制方法
US7721871B2 (en) Travelling carrier delivery equipment
WO2017141951A1 (ja) 物品搬送装置（ａｒｔｉｃｌｅ ｔｒａｎｓｐｏｒｔ ａｐｐａｒａｔｕｓ）
KR20070026031A (ko) 물품 반송 설비
JP2007045585A (ja) 物品搬送装置
JP5123236B2 (ja) ドア搬送装置
CN110482268A (zh) 装卸设备和货物装卸系统
JP2017036137A (ja) 物品収納設備
JP5209549B2 (ja) ドア搬送設備
JP4666216B2 (ja) 物品収納設備
JP6848676B2 (ja) ピッキングシステム
KR100477375B1 (ko) 평면왕복식주차장치
JP2006143364A (ja) 物品搬送装置
JP4433893B2 (ja) 自動倉庫
JP2023133852A (ja) 昇降装置及び自動倉庫
JP3596153B2 (ja) 円筒状物品の搬送装置
JP2003104509A (ja) 自動倉庫
JP2019163136A (ja) 重力降下式搬送装置
IE85871B1 (en) Article transport device
IE85399B1 (en) Article transport facility

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant