CN101151197A - 自动材料处理系统 - Google Patents

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Abstract

以低成本、简单并具有高度可靠性地管理被输送物体,该被输送物体在至少一个存储单元和多个制造设备之间根据控制器的指令由多个输送设备输送。具有无线通信功能的ID卡20安装在所有载体18上,并且ID读/写单元25安装在一些输送设备10中。此外,相对于ID卡20,载体ID根据连接到ID读/写单元25的MCS4的指令被读或写,以便通过载体ID管理单元4a管理载体ID。

Description

自动材料处理系统
技术领域
本发明涉及一种自动材料处理系统,用于管理在至少一个存储单元和多个制造设备之间根据控制器的指令通过多个输送设备输送的被输送物体。
背景技术
在诸如半导体和液晶的制造工厂中使用自动材料处理系统(AMHS),由于空气中的细小颗粒灰尘等有害地影响产品的质量性能,在制造过程中,物品(例如半导体产品制造设备的情况下、半导体基片和用于液晶显示器的玻璃基片,用于光学掩膜的玻璃基座,以及诸如用于光盘的基片的将要被制造的物品的中间产品)容纳在盒子中,并在制造设备和诸如储料器或简化的缓冲单元的存储单元之间根据制造过程由输送系统输送(参见专利文献1)。应该注意基于在轨道上运行的输送设备的输送系统是输送系统的主流,该输送系统包括用于通过在悬挂在天花板的轨道上运行输送FOUP(晶圆传送盒)的OHT(高架提升输送)系统和OHS(高架往复输送)系统以及利用在地面上自主运行的输送装置的输送系统。
另外,在自动材料处理系统中,作为用于识别载体的识别信息的载体ID(条形码,RFID(射频识别),红外通讯ID等等)连接到每个载体,该载体是被输送的物体。当载体通过输送设备输送到平行于输送路径安装的诸如储料器、缓冲级、以及简化缓冲单元的制造设备或存储单元时ID读/写单元分别安装在它们的装载端口和卸载端口或两个端口的接口单元部分,并且载体ID的确认和被管理的载体ID的读和写由自动材料处理系统的控制器通过ID读/写单元执行。
例如,专利文献2公开一种技术,在该技术中连接到主机的无线通讯功能安装在制造设备和诸如储料器、缓冲级,以及简化缓冲单元的存储单元的各相应部分,同时具有无线通讯功能并能存储预定信息(识别信息)的电子模块分别安装在盒子上(被输送的物体),并且预定信息通过无线通讯从电子模块读取或被写入其中从而通过主机管理盒子。
专利文献1         JP-A-2005-1886
专利文献2         JP-A-9-283595
但是,由于ID读/写单元昂贵,在平行安装到输送路径的制造设备和诸如储料器、缓冲级,以及简化的缓冲单元的存储单元的数量很大的情况下,存在成本高的问题。
另外,在通过利用无线通讯技术执行被输送物体上的识别信息的读和写的情况下,由于使用在无线通讯技术中所用天线的方向性,存在很难设定无线通讯功能的安装地址的问题。即,如果被输送的物体进入无线通讯范围内的死区(例如,被输送的物体偏离正确的位置),无线通讯不能建立,并且因此存在被输送物体和被输送物体上的识别信息不能确认的问题。在这种接合点,为了确认被输送物体和被输送物体上的识别信息,自动材料处理系统必须被停止并且识别信息必须从与所有被输送物体相关的ID读/写单元手动读取。在载体的数量很大的情况下,涉及人工和时间,并且由于生产过程被停止较长时间,工厂的生产率受到不利的影响。
发明内容
根据上述的现有问题,根据本发明提供一种自动材料处理系统,在自动材料处理系统中以低成本、容易并具有高度可靠性地管理被输送的物体,该被输送的物体在至少一个存储单元和多个制造设备之间根据控制器的指令由多个输送设备输送。
解决问题的手段
根据本发明的自动材料处理系统是用于管理在至少一个存储单元和多个制造设备之间根据控制器的指令通过多个输送设备输送的被输送物体的自动材料处理系统,其特征在于:被输送的物体具有可读/可写识别信息记录单元,用于记录用来识别将要被处理的物体的识别信息,该信息包含在被输送的物体中;某些输送设备的每一个都具有识别信息读/写单元,用于基于控制器的指令实施与识别信息记录单元相关的识别信息的读和写;以及控制器具有识别信息管理单元,用于存储和管理在识别信息读/写单元中已经被读或写的识别信息,其中根据记录在识别信息记录单元上的识别信息和存储在识别信息管理单元中并通过其管理的识别信息在控制器中执行将要被处理的物体的管理。
因此,识别信息读/写单元只安装在一些输送设备上,该识别信息读/写单元根据控制器的指令执行从安装在被输送物体上的识别信息记录单元读取识别信息或对其写入识别信息。因此,与识别信息读/写单元安装在所有制造设备和存储单元内的现有情况相比,实现了成本的显著下降。另外,由于识别信息读/写单元安装在输送设备内,在执行正常的输送操作时输送设备能读和写识别信息,以便能容易管理被输送的物体。而且,相对于制造设备和存储装置而言输送设备在机动性方面占优并且容易保证安装在输送设备中的识别信息读/写单元与安装在被输送物体上的识别信息记录单元之间的通讯,从而能以高度可靠性管理被输送的物体。应该注意,在本发明中,使用利用光学和无线电原理的现有通讯装置的识别信息读/写单元被用作识别信息读/写单元。
这里,识别信息读/写单元在关于存储单元和制造设备执行输入和输出被输送物体时可以从识别信息记录单元读取识别信息,并且控制器也可以具有识别信息确认单元,用于确认由识别信息读/写单元读取的识别信息与存储在识别信息管理装置中并由其管理的识别信息是否匹配。
因此,具有识别信息读/写单元安装在其中的输送设备每次执行关于存储装置和制造设备的输入和输出被输送物体时,确认从被输送物体的识别信息记录单元读取的识别信息与存储在识别信息管理单元中并由其管理的识别信息是否匹配。因此,通过频繁地确认有关被输送物体的识别信息能在较早的阶段检测到问题的发生,以便能提高被输送物体的管理的可靠性。
另外,在关于没有安装识别信息读/写单元的存储装置和制造设备执行输入和输出被输送物体时识别信息读/写单元可以从识别信息记录单元读取识别信息,并且控制器还可以具有识别信息确认单元,用于确认通过识别信息读/写单元读取的识别信息与存储在识别信息管理单元中并通过其管理的识别信息是否匹配。
因此,对于存储单元和制造设备在识别信息读/写单元已经安装的情况,利用安装的识别信息读/写单元的现有技术被采用,但是,对于存储装置和制造设备在识别信息读/写装置没有安装的情况,使用具有识别信息读/写单元安装在其中的输送设备。因此,由于当使用现有设备时没有必要重新安装识别信息读/写单元,能降低成本。而且,对于存储装置和制造设备在识别信息读/写装置没有安装的情况,具有识别信息读/写单元安装在其中的输送设备每次执行被输送物体的输入和输出,确认从被输送物体的识别信息读/写单元读取的识别信息与存储在识别信息管理单元中并通过其管理的识别信息是否匹配。因此,对于存储装置和制造设备在识别信息读/写装置没有安装的情况,通过频繁地确认有关被输送物体的识别信息能在较早的阶段检测到问题的发生,以便能进一步提高被输送物体的管理的可靠性。
这里,当确认由识别信息读/写单元读取的识别信息与存储在识别信息管理单元中并通过其管理的识别信息不匹配时,控制器可使存储在识别信息管理装置中并通过其管理的识别信息被重新写成通过识别信息读/写单元读取的识别信息,或可重新安排被输送的物体以便与存储在识别信息管理装置中并通过其管理的识别信息相匹配。
本发明的优点
因此,在这种由于系统的故障发生数据混乱的情况下,当识别信息确认单元检测到存储在识别信息管理单元中并通过其管理的识别信息与由识别信息读/写单元读取的识别信息之间不匹配时,例如,自动材料处理系统暂时停止,并且在识别信息读/写单元没有安装的情况下使具有识别信息读/写单元安装在其中的输送设备自动运行以便环绕制造设备和存储装置运动并读取所有被输送物体或制造设备和存储装置上的被输送物体上的识别信息,并且根据被读取的识别信息,存储在识别信息管理单元中并通过其管理的识别信息被重写。可选择地,重新安排每个被输送物体以便与存储在识别信息管理单元中并通过其管理的识别信息匹配。因此,能使问题最小化并在较早的阶段重新启动自动材料处理系统,从而能进一步提高被输送物体的管理的可靠性。
附图说明
图1是根据包括OHT输送设备、简化的缓冲单元,以及制造设备的实施例的自动材料处理系统的示意透视图;
图2是示出载体的结构的示意性透视图;
图3是示出OHT输送设备的结构的示意透视图;
图4是在OHT输送设备将载体装载在简化的缓冲单元上或将载体从简化的缓冲单元上卸载的状态下,OHT输送设备、简化的缓冲单元,以及载体的侧视图;
图5是根据该实施例的自动材料处理系统的方框图;
图6是示出包括OHT输送设备,OHT输送设备的轨道,简化的缓冲单元,以及制造设备的自动材料处理系统的结构的顶视图;
图7是示出OHT输送设备的结构的修改的示意透视图。
图8是示出根据包括OHT输送设备、简化的缓冲单元,以及制造设备的该实施例的自动材料处理系统的修改的示意透视图;
图9是示出OHT输送设备的结构的修改的示意透视图。
附图标号
1     自动材料处理系统
2     存储单元
4     MCS(控制器)
4a    载体ID管理单元(识别信息管理单元)
4b    载体ID确认单元(识别信息确认单元)
10    OHT输送设备(输送设备)
12    简化的缓冲单元(存储单元)
13    半导体制造设备(制造设备)
18    载体(被输送的物体)
20    ID卡(识别信息记录单元)
25    ID读/写单元(识别信息读/写单元)
具体实施方式
现在参考附图,通过引用具体例子描述用于执行根据本发明的自动材料处理系统的最好的方式。
参考图1至图6,描述根据本实施例的自动材料处理系统。图1是根据包括OHT输送设备(transport vehicle)、简化的缓冲单元,以及制造设备的实施例的自动材料处理系统的示意透视图。图2是示出载体(carrier)的结构的示意性透视图。图3是示出OHT输送设备的结构的示意性透视图。图4是OHT输送设备将载体装载在简化的缓冲单元上或将载体从简化的缓冲单元上卸载的状态下的OHT输送设备、简化的缓冲单元,以及载体的侧视图。图5是根据本实施例的自动材料处理系统的方框图。图6是示出包括OHT输送设备,OHT输送设备的轨道,简化缓冲单元,以及制造设备的自动材料处理系统的构造的顶视图。
如图1和图6中所示,根据制造过程,即,根据MES(制造执行系统)5和MCS(材料控制系统)4的指令,在轨道(车轨)15上运行的OHT输送设备(输送机器人)10在半导体制造设备(制造设备)13之间自动输送具有包含在其中的基底的载体(被输送物体)18,以便通过装载端口14a和卸载端口14b执行载体18的输入和输出,该轨道(车轨)15通过轨道悬挂部件16连接到天花板(ceiling)9。另外,在输送时,如加工调整需要,载体18暂时被存储在简化的缓冲单元(存储单元)12上,简化的缓冲单元(存储单元)12设置在输送设备的轨道15的任一侧(图6中12a,12b,和12c)上并通过缓冲悬挂部件17连接到天花板9。应该注意简化的缓冲单元12能不但能在天花板9上也能在墙壁表面和地板表面上被支撑。这里,在本实施例中,假定ID读/写单元已经安装在半导体制造设备13和储料器(未示出)上,并且假定根据现有技术进行ID数据的管理。并且还有,ID读/写单元没有安装在简化缓冲单元12上。
如图2中所示,载体(FOUP)18在具有能打开的盖子23的基片容纳部分22中容纳基片,即,将被加工的物品,并且当设置在基片容纳部分22的上表面的凸缘21由OHT输送设备10抓紧时载体(FOUP)18被输送。另外,ID卡(识别信息记录单元)20安装在基片容纳部分22的侧面上。应该注意,ID卡20安装在所有载体18上。这里,ID卡20是能记录载体ID(识别信息,例如与容纳在每个载体18中的基片相关的信息和载体18的加工过程中与加工相关的信息)的能读/能写数据的存储介质,并且优选地,ID卡20应当是可拆分的。另外,ID卡20具有无线通信功能,并且适于能够与具有无线通信功能并安装在OHT输送设备10上的ID读/写单元(识别信息读/写单元)25进行无线通信,这将在下面进行描述。另外,来自下述ID读/写单元25的载体ID被写在ID卡20上,并且,ID卡20又将载体ID传输到下述ID读/写装置25以便被ID读/写单元25读取。应该注意ID卡20不仅可以安装在图2中所示的位置,而且可以安装在载体18的任何位置,只要该位置允许与安装在下述OHT输送设备10中的ID读/写单元25进行通讯。
如图3中所示,OHT输送设备10通过定位机构28以能在轨道15上运行的方式安装,并且在其上安装输送机器人11,该输送机器人11被安装为能被容纳在输送设备机身27中并具有转动/提升功能。输送机器人11由连接到可转动并可提升的转动/提升轴30的第一级臂31,第二级臂33,第三级臂35,以及抓爪(gripper)部分26构成。这里,第一级臂31和第二级臂33通过枢轴杆32彼此连接到第一级臂31的前端处;第二级臂33和第三级臂35通过枢轴34彼此连接到第二级臂33的前端处;并且第三级臂35和抓爪部分26通过枢轴36彼此连接到第三级臂35的前端处。而且,OHT输送设备10转动并升高或降低输送机器人11的第一级臂31,第二级臂33,以及第三级臂35,并且通过抓爪部分26抓紧载体18的凸缘21。例如,如图4中所示,当载体18被装载在简化缓冲单元12上时,随着输送机器人11的第一级臂31,第二级臂33,以及第三级臂35被转动并升高或降低,抓紧载体18的凸缘21的抓爪部分26移动以便被定位在简化缓冲单元12之上。在载体18被放置在简化缓冲单元12上之后,抓爪部分26对载体18的凸缘21的夹紧被松开。另一方面,当载体18从简化的缓冲单元12卸载时,随着输送机器人11的第一级臂31,第二级臂33,以及第三级臂35被转动并升高或降低,抓爪部分26移动以便被定位在简化的缓冲单元12之上。在将载体18放置在简化缓冲单元12上之后,载体18的凸缘21被抓爪部分26夹紧,并且输送机器人11接着被容纳在输送设备机身27内。应该注意,当OHT输送设备10移动时,输送机器人11被容纳在输送设备机身27内以便防止与另一设备碰撞。
另外,在输送机器人11被容纳在输送设备机身27内的状态下,ID读/写单元25设置在输送设备机身27的内侧表面部分上,在与输送机器人11相对并且与ID卡20相对的位置处。应该注意,ID读/写装置25安装在一些OHT输送设备10中。另外,ID读/写单元25具有无线通信功能并且能与ID卡20进行无线通信。而且,ID读/写单元25连接到下述MCS4,并且根据来自下述MCS4的指令ID读/写单元25输送被写入的载体ID到ID卡20,并从来自ID卡20接收被读取的载体ID。应该注意,ID读/写单元25不仅可以安装在图3中所示的位置,而且可以安装在载体18的任何位置,只要是允许它与ID卡20通讯的位置。
如图5中所示,在这种自动材料处理系统1中,有关指令、报告等的通信在以下设备中执行,作为制造执行系统的MES(制造执行系统)5,作为处理控制系统(控制器)的MCS(材料控制系统)4,半导体制造设备13,作为输送系统的OHT输送设备10,简化的缓冲单元12,以及每个都具有未示出的储料器的存储单元2。
MES5是用于半导体生产线和生产自动化的过程管理的信息处理系统,包括调度和分配功能,接收来自半导体制造设备13的端口的状态报告(例如输送能力报告和输送完成报告),并执行与半导体制造设备13相关的诸如端口分配和供给指示。
MCS4接受来自MES5的输送指令并相应地发出指示以便每个OHT输送设备10和简化的缓冲单元12有组织地操作以执行从MES5接受的输送指令。而且,MCS4监视OHT输送设备10和存储单元12的状态。另外,MCS4包括载体ID管理单元置(识别信息管理单元)4a和载体ID确认单元(识别信息确认单元)4b。载体ID管理单元4a用于存储和管理从MES5输出到与其载体ID有通信联系的每个载体的输送目的地数据。载体ID确认单元4b用于在每次OHT输送设备10加载载体18到简化的缓冲单元12上或从简化的缓冲单元12上卸载载体18时,确认从ID卡20由ID读/写单元25读取的载体ID与存储在载体ID管理单元4a中并通过其管理的载体ID是否匹配。
而且,在从ID卡20通过ID读/写单元25读取的载体ID与存储在载体ID管理单元4a中并由其管理的载体ID不匹配的情况下,自动材料处理系统1停止(即,MCS4停止),具有ID读/写单元25安装在其中的OHT输送设备10环绕简化的缓冲单元12移动,以通过ID读/写单元25,从放置在简化的缓冲单元12上的所有载体18的ID卡20读取载体ID,并在将存储在载体ID管理单元4a内并通过其管理的载体ID重新写入被读取的载体ID后,自动材料处理系统1重新启动(即,MCS4重新启动)。可选择地,在从ID卡20通过ID读/写单元25读取的载体ID与存储在载体ID管理单元4a内并通过其管理的载体ID不匹配时,自动材料处理系统1停止(即,MCS4停止),重新安排每个载体,以便与存储在载体ID管理单元4a内并由其管理的载体ID匹配,因此自动材料处理系统1重新启动(即,MCS4重新启动)。
应该注意,半导体制造设备13包括处理设备,该处理设备用于物理地或化学地处理将要被处理的物体,诸如基片,以及测量设备,该测量设备用于测量将要被处理的物体(在基片的情况下,用于测量厚度、电阻率、图形尺寸、灰尘颗粒数量等。)
因此,根据依照本实施例的自动材料处理系统1,ID读/写单元25只安装在一些OHT输送设备10上,根据MCS4的指令,该ID读/写单元25执行从安装在载体18的ID卡20上读出载体ID和将该载体ID写入ID卡20。因此,与ID读/写单元25安装在所有半导体制造设备13和存储单元2中的常规情况相比,实现显著的成本降低。
另外,ID读/写单元25安装在OHT输送设备10中。因此,当执行正常的输送操作时,OHT输送设备10能读和写载体ID,使得能容易管理载体18。
另外,相对于半导体制造设备13和存储单元2,OHT输送设备10在机动性方面占优,并且容易保证安装在OHT输送设备10中的ID读/写单元25与安装在载体18上的ID卡20之间的通信,从而能以高度可靠性管理载体18。
另外,对于ID读/写单元安装在其中的存储单元2(除简化的缓冲单元12外的存在单元)和半导体制造设备13,使用已安装的ID读/写单元的常规技术被利用,而对于简化的缓冲单元12,使用具有安装在其上的ID读/写单元25的OHT输送设备10。由于在使用现有设备时没有必要在简化的缓冲单元12上重新安装ID读/写单元25,因此能降低成本。
而且,对于简化的缓冲单元12,每次具有安装在其上的ID读/写单元25安的OHT输送设备10执行载体18的输入和输出时,在MCS4的载体ID确认单元4b中确认从载体18的ID卡20读取的载体ID与存储在载体ID管理单元4a内并通过其管理的载体ID是否匹配。因此,对于简化的缓冲单元12,通过频繁地确认与载体18有关的载体ID,能在较早的阶段检测到问题的发生,以便能进一步提高被输送物体的管理的可靠性。
另外,在由于系统的故障而发生数据混乱的情况下,当通过MCS4的载体ID确认单元4b探测到在存储在载体ID管理单元4a内并通过其管理的载体ID与从ID卡20读取的载体ID之间不匹配时,自动材料处理系统1暂时停止,并且具有安装在其上的ID读/写单元25的OHT输送设备10自动运行,以便环绕简化的缓冲单元12移动并读取放置在简化的缓冲单元12上的载体18的载体ID,并且根据所读取的载体ID,存储在载体ID管理单元4a内并通过其管理的载体ID被重写。可选择地,重新安排每个载体,以便与在载体ID管理单元4a内并通过其管理的载体ID相匹配。因此,在早期阶段能使问题最小化并重新启动自动材料处理系统1,从而能进一步提高载体18的管理的可靠性。
如上所述,在前述的优选实施例中描述了本发明,但是本发明并不限于该优选实施例。将会理解,在不背离本发明的精神和范围的情况下可以实现各种其他的实施例。而且,在本实施例中描述基于本发明的结构的操作和作用,该操作和作用是说明性的并且不限制本发明。另外,具体例子说明根据本发明的结构并且不限制本发明。
在根据本实施例的自动材料处理系统1中,OHT输送设备10用作输送系统,但输送系统不限于该OHT输送设备10。例如,能使用诸如OHS输送设备,AGV输送设备和RGV输送设备的各种输送系统。
另外,在根据本实施例的自动材料处理系统1中,ID读/写单元25和ID卡10适于通过使用无线通讯功能进行通信,但是本发明不限于此。例如,能使用使用利用光学原理的现有通信装置。
另外,在根据本实施例的自动材料处理系统1中,OHT输送设备10是通过由输送机器人11的抓爪部分26夹紧载体18的凸缘21来实施装载和卸载的一个设备,但OHT输送设备10不限于此。例如,如图7中所示,OHT输送设备10是这样的设备,代替抓爪部分26和枢轴36,载体指示部件41构造在OHT输送设备10的输送机器人11的第三级臂35的前端,以便通过这个载体指示部件41铲起载体18的底面以进行装载和卸载。应该注意与设置于载体18的底面内的凹槽配合的凸起运动销42设置在载体指示部件41的上表面上,以便用于使载体18和输送机器人11之间的对准可靠,并防止载体18和输送机器人11之间的滑动。
另外,在根据本实施例的自动材料处理系统1中,没有配备ID读/写单元的简化的缓冲单元12设置在轨道15的两侧,本发明不限于该实施例。例如,如图8中所示,简化的缓冲单元可以是直接位于轨道15之下的简化的缓冲单元51,并通过缓冲悬挂部件52从天花板9悬挂并且被天花板9支撑。应该注意简化的缓冲单元51不但能通过天花板而且能通过轨道、墙面、或地表面被支撑。在这种情况下,OHT输送设备10的结构不限于具有如图3中所示的输送机器人11的结构,并可以是这样的结构,在该结构中通过设置在提升体45的两侧上抓爪46夹紧并抓紧载体18的凸缘21,提升体45能通过悬挂带44在竖直方向被升高或降低,如图9中所示。
另外,在根据本实施例的自动材料处理系统1中,本发明只应用到简化的缓冲单元12,并且相对于除简化的缓冲单元12之外的半导体制造设备13和存储单元2,按照现有技术根据已经安装的ID读/写单元,执行与它们相关的载体18的装载和卸载管理,但是本发明不限于该实施例。例如,本发明可应用到相对于包括简化的缓冲单元12的半导体制造设备13和所有存储单元2的载体18的装载和卸载的管理。即,ID读/写单元可不安装在包括简化的缓冲单元12的半导体制造设备13和所有存储单元2上,并且当通过具有ID读/写单元25的OHT输送设备10相对于包括简化的缓冲单元12的半导体制造设备13和所有存储单元2的载体18进行装载和卸载时,可通过执行ID卡20的读和写通过MCS4进行管理。
另外,在根据本实施例的自动材料处理系统1中,虽然用于记录载体ID,即,识别信息的ID卡(识别信息记录单元)20用作用于记录识别信息以识别每个载体的识别信息记录单元,但是识别信息记录单元不限于该识别信息记录单元。例如,条形码也可用作识别信息记录单元。在这种情况下,条形码读/写单元用作识别信息读/写单元。
虽然已经参考具体实施例详细描述本发明,但是对于本领域的技术人员来说显然可对其做出各种变化和修改而不脱离本发明的精神和范围。
本申请基于2005年3月28日提交的日本专利申请(日本专利申请No.2005-91673),其内容通过参考结合在此。
工业实用性
按照根据本发明的自动材料处理系统,根据控制器指令识别信息读/写单元执行从安装在被输送的物体上的识别信息记录单元上读取识别信息或将识别信息写入识别信息记录单元,该识别信息读/写单元只安装在一些输送设备上。因此,与识别信息读/写单元安装在所有制造设备和存储单元内的常规情况相比实现成本的显著下降。另外,由于识别信息读/写单元安装在输送设备上,当执行正常输送操作时输送设备能读和写该识别信息,以便被输送的物体能被容易管理。而且,相对于制造设备和存储单元,输送设备在机动性方面占优势并且容易保证安装在输送设备中的识别信息读/写单元与安装在被输送物体上的识别信息记录单元之间的通信,从而能以高度可靠性管理被输送物体。

Claims (5)

1.一种自动材料处理系统,用于管理在至少一个存储单元和多个制造设备之间根据控制器的指令由多个输送设备输送的被输送物体,其特征在于:
所述被输送物体具有可读/可写的识别信息记录单元,该识别信息记录单元用于记录用于识别将要被处理的物体的识别信息,该识别信息包含在所述被输送物体中;
一些所述输送设备,每一个都具有识别信息读/写单元,用于根据所述控制器的所述指令,实现关于所述识别信息记录单元的所述识别信息的读和写;
所述控制器具有识别信息管理单元,用于存储并管理在所述识别信息读/写单元中已经被读或写的所述识别信息;以及
根据记录在所述识别信息记录单元上的所述识别信息和存储在所述识别信息管理单元中并通过该识别信息管理单元管理的所述识别信息,在所述控制器中执行将要被处理的所述物体的管理。
2.根据权利要求1所述的自动材料处理系统,其特征在于:
在相对于所述存储单元和所述制造设备执行输入和输出所述被输送物体时,所述识别信息读/写单元在从所述识别信息记录单元读取所述识别信息,并且
所述控制器还具有识别信息确认单元,用于确认由所述识别信息读/写单元读取的所述识别信息与存储在所述识别信息管理单元中并由该识别信息管理单元管理的所述识别信息是否匹配。
3.根据权利要求1所述的自动材料处理系统,其特征在于:
在相对于所述存储单元和所述制造设备执行输入和输出所述被输送物体时,所述识别信息读/写单元从所述识别信息记录单元读取所述识别信息,在所述制造设备中没有安装所述识别信息读/写单元,并且
所述控制器还具有识别信息确认单元,用于确认由所述识别信息读/写单元读取的所述识别信息与存储在所述识别信息管理单元中并由该识别信息管理单元管理的所述识别信息是否匹配。
4.根据权利要求2所述的自动材料处理系统,其特征在于:
当在所述识别信息确认单元中确认由所述识别信息读/写单元读取的所述识别信息与存储在所述识别信息管理单元中并由该识别信息管理单元管理的所述识别信息不匹配时,所述控制器使得存储在所述识别信息管理单元中并由该识别信息管理单元管理的识别信息被重新写入由所述识别信息读/写单元读取的识别信息,或者重新安排所述被输送物体,以便与存储在所述识别信息管理单元中并通过该识别信息管理单元管理的识别信息相匹配。
5.根据权利要求3所述的自动材料处理系统,其特征在于:
当在所述识别信息确认单元中确认由所述识别信息读/写单元读取的所述识别信息与存储在所述识别信息管理单元中并由该识别信息管理单元管理的所述识别信息不匹配时,所述控制器使得存储在所述识别信息管理单元中并由该识别信息管理单元管理的识别信息被重新写入由所述识别信息读/写单元读取的识别信息,或重新安排所述被输送物体,以便与存储在所述识别信息管理单元中并通过该识别信息管理单元管理的所述识别信息相匹配。
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