JP7331484B2 - 搬送制御システム、搬送制御方法、および制御プログラム。 - Google Patents

搬送制御システム、搬送制御方法、および制御プログラム。 Download PDF

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Description

本発明は、物品を搬送する搬送制御システムに関する。
自走式搬送装置を用いて物品を搬送する技術が知られている。例えば、デジタル半導体を生産する生産施設において、半導体ウェハを格納するポッドを、製造ライン上の設備から他の設備へ、自走式搬送装置によって搬送するシステムがある。また、特許文献1には、床や机上などに存在する物品の形状を認識し、認識した物品の形状をユーザに提示し、ユーザによって入力された指示内容に基づいて、ゴミ箱、シンク等まで当該物品を搬送する物品搬送用ロボットが記載されている。
特開2016-101612号公報(2016年6月2日公開)
生産施設においてポッドを搬送するシステムでは、生産を管理する上位システムから搬送を要求されたポッドを、生産施設内のどの位置からどの位置まで搬送するかは、設備の構成・配置に応じて、自走式搬送装置を制御するプログラムにおいて定められている。このため、設備の構成・配置が変更になると、プログラムを書き換えるコストが生じる。また、特許文献1には、物品の搬送先として指示されるゴミ箱、シンク等の構成・配置が変更になった場合の構成について記載がない。
本発明の一態様は、上述の課題を解決するためになされたものであり、自走式搬送装置を用いて物品を搬送するシステムにおいて、搬送元および搬送先の構成・配置の変更に柔軟に対応可能なシステムを実現することを目的とする。
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る搬送制御システムは、移動対象物品の移動指示に関する第1類のデータを取得するデータ取得部と、複数の収容設備のそれぞれの収容設備IDと、前記複数の収容設備のそれぞれの施設内位置情報と、各収容設備が収容する移動対象物品の収容設備内位置情報とを互いに関連付けて得られるデータを格納するデータベースと、前記データ取得部が取得した前記第1類のデータを、前記データベースに格納されたデータを参照して、移動対象物品の移動指示に関する第2類のデータに書き換える書き換え部と、前記第2類のデータを参照して、前記移動対象物品の搬送を行う自走式搬送装置に対する制御を行う搬送制御部と、を備える。
上記の構成によれば、複数の収容設備の構成・配置に変更があっても、データベースを変更するだけで、第1類のデータを第2類のデータに書き換えて搬送制御部による制御を行うことができる。このため、搬送元および搬送先の構成・配置の変更に柔軟に対応可能である。
本発明の一態様に係る搬送制御システムにおいて、前記データ取得部は、前記移動対象物品を管理する上位システムから、当該上位システムの仕様に応じて設定された初期設定情報に基づいて、前記第1類のデータを取得する、ことが好ましい。
上記の構成によれば、上位システムの仕様に応じた初期設定情報を用いることにより、様々な仕様の上位システムから第1類のデータを取得することができる。このため、上位システムの多様性に柔軟に対応可能である。
本発明の一態様に係る搬送制御システムにおいて、前記第1類のデータには、前記移動対象物品のIDである移動対象物品ID、前記移動対象物品の移動元の収容設備ID、及び 前記移動対象物品の移動先の収容設備IDが含まれる、ことが好ましい。
本発明の一態様に係る搬送制御システムにおいて、前記第2類のデータには、移動元である収容設備の施設内位置情報、及び、当該収容設備における収容設備内位置情報、並びに、移動先である収容設備の施設内位置情報、及び、当該収容設備における収容設備内位置情報が含まれる、ことが好ましい。
本発明の一態様に係る搬送制御システムにおいて、前記データベースには、収容設備IDと、当該収容設備IDで特定される収容設備の施設内位置情報とが互いに関連付けられて格納され、更に、移動対象物品IDと、当該移動対象物品IDで特定される移動対象物品に関する収容設備内位置情報とが互いに関連付けられて格納される、ことが好ましい。
これらの構成によれば、第1類のデータとして移動対象物品ID、移動元の収容設備ID、及び移動先の収容設備IDを取得する場合に、第2類のデータへ書き換えて物品の搬送制御を実行することができる。
本発明の一態様に係る搬送制御システムにおいて、前記自走式搬送装置は、当該自走式搬送装置を自走させるための自走部と、前記移動対象物品に対するピック動作及びプレース動作が可能なマニピュレータを備え、前記搬送制御部は、前記第2類のデータを参照して、前記自走部を駆動するための制御情報と、前記マニピュレータを駆動するための制御情報とを生成する、ことが好ましい。
上記の構成によれば、第2類のデータを参照した搬送制御を、自走部とマニピュレータとを備えた自走式搬送装置により確実に実行できる。
本発明の一態様に係る搬送制御システムにおいて、当該搬送制御システムは、前記自走式搬送装置を備え、前記自走式搬送装置は、当該自走式搬送装置が移動対象物品をピックする際に、当該移動対象物品の移動対象物品IDを取得するID取得部を備え、当該搬送制御システムは、前記ID取得部が取得した移動対象物品IDと、データベースに格納された移動対象物品IDとを照合するID照合部を備える、ことが好ましい。
上記の構成によれば、搬送制御システムにおいて管理する物品の移動状況と、実際の移動状況との不整合を検出できる。
本発明の一態様に係る搬送制御システムにおいて、前記自走式搬送装置は、複数の前記移動対象物品を収容可能であり、前記搬送制御部は、複数の前記第2類のデータを参照して、前記自走式搬送装置が並行して複数の前記移動対象物品を搬送するように制御を行う、ことが好ましい。
上記の構成によれば、移動対象物品を搬送する効率性を向上させることができる。
本発明の一態様に係る搬送制御システムにおいて、前記データベースは、複数の前記自走式搬送装置各々における前記移動対象物品の収容位置を示す情報を格納し、前記搬送制御部は、複数の前記自走式搬送装置のうち、前記収容位置を示す情報を参照して、前記第2類のデータを参照して制御する自走式搬送装置を決定する、ことが好ましい。
上記の構成によれば、収容位置を示す情報の内容に応じて、制御対象となる自走式搬送装置を好適に決定できる。
本発明の一態様に係る搬送制御システムにおいて、前記搬送制御部は、複数の前記自走式搬送装置のうち、各自走式搬送装置の現在位置を示す情報を参照して、前記第2類のデータを参照して制御する自走搬送装置を決定する、ことが好ましい。
上記の構成によれば、各自走式搬送装置の現在位置に応じて、制御対象となる自走式搬送装置を好適に決定できる。
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る搬送制御方法は、移動対象物品の移動指示に関する第1類のデータを取得するデータ取得工程と、前記データ取得工程が取得した前記第1類のデータを、複数の収容設備のそれぞれの収容設備IDと、前記複数の収容設備のそれぞれの施設内位置情報と、各収容設備が収容する移動対象物品の収容設備内位置情報とを互いに関連付けて得られるデータを格納するデータベースに格納されたデータを参照して、移動対象物品の移動指示に関する第2類のデータに書き換える書き換え工程と、前記第2類のデータを参照して、前記移動対象物品の搬送を行う自走式搬送装置に対する制御を行う搬送制御工程と、を含む。
上記の構成によれば、複数の収容設備の構成・配置に変更があっても、データベースを変更するだけで、第1類のデータを第2類のデータに書き換えて搬送制御部による制御を行うことができる。このため、搬送元および搬送先の構成・配置の変更に柔軟に対応可能である。
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る制御プログラムは、上記何れかに記載の搬送制御システムとしてコンピュータを機能させるための制御プログラムであって、前期データ取得部、前記書き換え部および前記搬送制御部としてコンピュータを機能させる。
上記の構成によれば、本発明の一態様に係る搬送制御システムと同様の効果が得られる。
本発明の一態様によれば、自走式搬送装置を用いて物品を搬送するシステムにおいて、搬送元および搬送先の構成・配置の変更に柔軟に対応可能なシステムを実現することができる。
本発明の実施形態1に係る搬送制御システムの全体概要を示す図である。 本発明の実施形態1に係る搬送制御システムが利用される生産施設の具体例を模式的に示す図である。 本発明の実施形態1に係る搬送制御システムの詳細な構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態1における自走式搬送装置の外観の一例を示す図である。 本発明の実施形態1における第1類のデータの一例を示す図である。 本発明の実施形態1における第2類のデータの一例を示す図である。 本発明の実施形態1におけるデータベースに格納される情報の一例を示す図である。 本発明の実施形態1に係る搬送制御システムの搬送制御動作の一例を示すフローチャートである。 本発明の実施形態1に係る搬送制御システムの照合動作の一例を示すフローチャートである。 本発明の実施形態2に係る搬送制御システムの全体概要を示す図である。 本発明の実施形態2における自走式搬送装置の外観の一例を示す図である。 本発明の実施形態2における自走式搬送装置の外観の一例を示す図である。 本発明の実施形態2におけるデータベースに格納される情報の一例を示す図である。 本発明の実施形態2に係る搬送制御システムの搬送制御動作の一例を示すフローチャートである。
以下、本発明の一側面に係る各実施の形態(以下、「本実施形態」とも表記する)を、図面に基づいて説明する。
〔実施形態1〕
§1 適用例
図1は、本実施形態に係る搬送制御システム1が適用される一例の構成を表すブロック図である。図1において、搬送制御システム1は、搬送制御装置100と、自走式搬送装置200とを有する。搬送制御装置100は、上位システム9および自走式搬送装置200の各々と通信可能に接続される。本実施形態では、搬送制御システム1が、デジタル半導体の生産施設において利用される例について説明する。
図2は、搬送制御システム1が利用される生産施設の一例を模式的に示す図であり、一列に配置された複数の収容設備M1、M2、M3、・・・を正面視した図である。この例では、本発明における移動対象物品の一例として、1以上の半導体ウェハが格納されるポッドP1、P2、・・・・が適用される。なお、ポッドP1、P2、・・・・の各々を区別する必要がない場合には、単にポッドとも記載する。また、収容設備M1、M2、・・・・の各々を区別する必要がない場合には、単に収容設備とも記載する。
複数の収容設備の各々は、製造設備またはストッカーである。この例では、収容設備M1、M2は、製造設備であり、収容設備M3は、ストッカーである。製造設備である収容設備M1、M2は、それぞれ、ポッドが入庫される入庫口inと、ポッドが出庫される出庫口outとを有している。また、ストッカーである収容設備M3は、複数の棚r1、r2、r3、・・・を有する。また、複数の棚r1、r2、r3、・・・のそれぞれは、複数のパーティションに区切られ、それぞれのパーティションにポッドを収容可能となっている。図示の例では、棚r1はパーティションr11、r12、r13を有し、棚r2はパーティションr21、r22、r23を有し、棚r3はパーティションr31、r32、r33を有する。例えば、パーティションr11には、ポッドP2が収容されている。
ポッドは、複数の収容設備間で、生産工程の進捗に応じて、自走式搬送装置200によって搬送される。自走式搬送装置200は、搬送制御装置100の制御の基に、複数の収容設備の正面側を、方向d1または方向d2の向きに自走する。
なお、本発明の搬送制御システム1を利用可能な生産施設における自走式搬送装置200の数、収容設備の数、これらの各々の配置、収容設備の種類、および、自走式搬送装置200の移動方向等は、図2に示した例に限定されない。
また、ポッドの3次元的な収容位置は、施設内における収容設備の平面的な位置を示す施設内位置情報と、収容設備内における高さを含む位置を示す収容設備内位置情報とによって一意に表現される。詳細は後述するが、自走式搬送装置200は、マニピュレータを備えており、収容設備内の互いに異なる高さにおいて移動対象物品のピック動作およびプレース動作を行うことができる。別の側面から言えば、搬送制御装置100は、マニピュレータを備える自走式搬送装置200を対象とする制御を行うことによって、3次元的な収容位置間における移動対象物品の搬送を実現することができる。なお、収容設備は、例えば既存の棚などであってもよい。
(上位システム9の概要)
上位システム9は、生産施設におけるデジタル半導体の生産を管理するシステムである。上位システム9は、生産工程の進捗に応じて搬送すべきポッドの搬送指示に関する情報を、第1類のデータとして出力する。
(自走式搬送装置200の概要)
自走式搬送装置200は、搬送制御装置100の制御の基に、移動元の収容設備においてポッドをピックし、移動先の収容設備まで搬送し、移動先の収容設備において当該ポッドをプレースする機能を有する。
(搬送制御装置100の概要)
搬送制御装置100は、上位システム9から、ポッドの搬送指示に関する第1類のデータを取得し、データベースを参照して、第1類のデータを第2類のデータに書き換える機能を有する。第2類のデータは、自走式搬送装置200にポッドの搬送を指示するために必要な情報を含む。データベースには、各収容設備の構成・配置に関する情報が格納される。また、搬送制御装置100は、第2類のデータを参照して、自走式搬送装置200がポッドを搬送するよう制御する機能を有する。
ここで、上位システム9から第1類のデータを取得するためには、上位システム9の仕様に応じた初期設定情報が必要である。搬送制御装置100は、上位システム9の仕様に応じて、第1類のデータを第2類のデータに書き換えるための初期設定情報を取得する機能を有していてもよい。この場合、搬送制御装置100は、当該初期設定情報と、データベースとを参照して、第1類のデータを第2類のデータに書き換える。初期設定情報の詳細については後述する。
(搬送制御システム1の適用例の効果)
本実施形態の搬送制御システム1は、ポッドの搬送指示に関する第1類のデータを、各収容設備の構成・配置に関する情報が格納されたデータベースを参照して第2類のデータに書き換え、書き換えた第2類のデータを用いて自走式搬送装置200を制御する。このため、本実施形態は、収容設備の構成・配置に変更があった場合でも、データベースを更新するだけで、引き続き、上位システム9からの搬送指示に応じて自走式搬送装置200を制御することが可能である。これにより、本実施形態は、収容設備の構成・配置の変更に柔軟に対応可能である、という効果を奏する。
また、本実施形態の搬送制御システム1は、上位システム9の仕様に応じて設定された初期設定情報を取得し、当該初期設定情報を用いて、第1類のデータを第2類のデータに書き換え、書き換えた第2類のデータを用いて自走式搬送装置200を制御する。これにより、本実施形態は、上位システム9の多様性に柔軟に対応可能である、という効果を奏する。
§2 構成例
図3は、搬送制御システム1に含まれる各装置の詳細な構成の一例を示すブロック図である。
(搬送制御装置100の構成)
図3において、搬送制御装置100は、制御部110と、記憶部120と、通信部130、140と、入出力部150とを含む。搬送制御装置100は、メモリ及びプロセッサを含むコンピュータによって実現可能である。また、搬送制御装置100には、出力装置300および入力装置400が接続される。出力装置300としては、例えば、ディスプレイ、プリンタ、スピーカ、又はこれらの組み合わせが用いられる。入力装置400としては、例えば、キーボード、マウス、タッチパッド、マイク、又はこれらの組み合わせ等が用いられる。ただし、出力装置300、入力装置400は、上述した例に限定されない。
また、搬送制御装置100は、ネットワーク90を介して上位システム9に通信可能に接続される。ネットワーク90としては、例えば、生産施設内に敷設された有線LAN(Local Area Network)が用いられる。また、搬送制御装置100は、ネットワーク20を介して自走式搬送装置200に通信可能に接続される。ネットワーク20としては、例えば、生産施設内に敷設された無線LANが用いられる。ただし、ネットワーク90およびネットワーク20は、上述した例に限定されない。例えば、ネットワーク20および90は、それぞれ、無線LANおよび有線LANを組み合わせたネットワークにより構成されていてもよいし、LAN以外のネットワークによって構成されていてもよい。
制御部110は、搬送制御装置100の動作を統括して制御する。制御部110は、コンピュータが有するプロセッサによって構成される。制御部110は、後述の制御プログラムを記憶部120から読み込んで実行することにより、データ取得部111と、書き換え部112と、搬送制御部113と、管理部114として機能する。管理部114は、本発明におけるID照合部の一例である。データ取得部111、書き換え部112、搬送制御部113、および管理部114の詳細については後述する。
記憶部120は、コンピュータが有するメモリによって構成される。記憶部120は、搬送制御装置100を、データ取得部111と、書き換え部112と、搬送制御部113と、管理部114として機能させるための制御プログラムを記憶している。また、記憶部120は、データベース121を記憶する。データベース121に格納される情報の詳細については後述する。
通信部130は、ネットワーク90に接続する通信モジュールである。通信部140は、ネットワーク20に接続する通信モジュールである。入出力部150は、出力装置300および入力装置400に接続する入出力インタフェースであり、例えば、USB(Universal Serial Bus)インタフェース等が用いられる。
(自走式搬送装置200の構成)
図3において、自走式搬送装置200は、コントローラ210と、自走部220と、マニピュレータ230と、撮像装置240と、通信部250とを備えている。撮像装置240は、本発明におけるID取得部の一例である。
図4は、自走式搬送装置200の外観の一例を模式的に示す図である。図3および図4を参照して、自走式搬送装置200の構成について説明する。
コントローラ210は、通信部250を介して受信する情報に基づいて、自走式搬送装置200全体の動作を制御する。通信部250は、ネットワーク20に接続する通信モジュールである。具体的には、コントローラ210は、搬送指示を示すタスクを搬送制御装置100から受信し、受信したタスクに基づいて自走式搬送装置200の各部を制御する。
自走部220は、自走式搬送装置200を移動させる自走機構を有する。自走部220は、コントローラ210の制御によって、走行、停止、移動方向等を制御可能となっている。自走部220は、床面を自由な方向に移動可能であってもよいし、敷設されたレールに沿って走行可能であってもよい。この場合、レールは、床面に敷設されていてもよいし、天井面に敷設されていてもよい。レールが天井に敷設されている場合、自走部220は、レールから吊り下げられていてもよい。また、これらの例に限らず、自走部220は、その他の機構により移動するものであってもよい。
マニピュレータ230は、ポッドのピック動作およびプレース動作を行う。例えば、マニピュレータ230は、把持部231と、アーム232とを含む。把持部231は、コントローラ210による制御にしたがって、ポッドを把持する動作、および、ポッドの把持を解除する動作を行う。把持部231は、例えば、真空ポンプ(図示せず)によって発生する負圧によって対象物を吸着することにより対象物を把持する機構によって構成される。ただし、把持部231は、他の機構によって構成されてもよい。また、アーム232は、コントローラ210による制御にしたがって、指定された位置に把持部231を移動させる。例えば、アーム232は、6軸機構の垂直多関節アームによって構成される。ただし、アーム232は、他の機構によって構成されてもよい。
撮像装置240は、マニピュレータ230によって把持されるポッドを一意に識別するポッドIDを、撮像することにより取得する。ポッドの表面には、ポッドIDを示す情報が視認可能に含まれる。例えば、ポッドの表面に、ポッドIDを示すバーコード等の一次元コードまたはQRコード(登録商標)等の二次元コードが印字されていてもよい。また、ポッドの表面に、ポッドIDを示す情報が印字されたラベルが貼り付けられていてもよい。撮像装置240は、コントローラ210の制御の基に、ポッドIDを示す情報を撮像する。撮像された画像は、コントローラ210によって取得される。
なお、図3では、1つの搬送制御装置100および1つの自走式搬送装置200を示しているが、搬送制御システム1に含まれる各装置の数は1つに限定されない。また、図3では、1つの出力装置300および1つの入力装置400を示しているが、搬送制御システム1が接続される各装置の個数は1つに限定されない。
(搬送制御装置100の詳細な構成)
搬送制御装置100の制御部110に含まれる各機能ブロックの詳細について説明する。
データ取得部111は、上位システム9から、ポッドの移動指示に関する第1類のデータを取得する。
図5は、第1類のデータの一例を示す図である。第1類のデータには、移動対象となるポッドのポッドID(本発明における移動対象物品ID)と、移動元の収容設備を一意に識別する収容設備IDと、移動先の収容設備を一意に識別する収容設備IDとが含まれる。この例では、第1類のデータは、ポッドP10を、収容設備M2から収容設備M3に搬送することを示している。なお、ポッドP1、P2、・・・のポッドIDは、「P1」、「P2」、・・・であり、収容設備M1、M2、・・・の収容設備IDは、「M1」、「M2」、・・・であるものとする。
ここで、前述したように、第1類のデータを取得するためには、上位システム9の仕様に応じた初期設定情報が必要である。初期設定情報の具体例として、2つの例を以下に説明する。初期設定情報の第1の例は、上位システム9に含まれる上位データベースに対するデータ抽出命令(例えば、SQL文等)である。例えば、データ取得部111は、上位データベースに接続してそのデータ構造をユーザに提示し、そのうち第1類のデータに相当するデータをユーザに選択させることにより、当該データを抽出するデータ抽出命令を生成して初期設定情報とする。この場合、データ取得部111は、上位システム9に含まれる上位データベースに接続して、当該データ抽出命令を発行することにより、第1類のデータを取得する。
初期設定情報の第2の例は、上位システム9から出力されるファイル仕様と、第1類のデータとの関係を規定したマッピング情報である。例えば、データ取得部111は、上位システム9から出力されるファイル内容のうち、第1類のデータに相当するデータをユーザに選択させることにより、マッピング情報を生成して初期設定情報としてもよい。この場合、データ取得部111は、上位システム9から出力されるファイルから、マッピング情報を用いて第1類のデータを取得する。
なお、データ取得部111は、所定のタイミング毎に、上位システム9から第1類のデータを取得する。所定のタイミングとは、1分毎、1時間毎等といった所定間隔であってもよいし、ユーザによって指示されたタイミング、その他の各種条件が満たされたタイミングであってもよい。また、データ取得部111は、取得した第1類のデータが所定の搬送条件を満たす場合に、書き換え部112に対して第1類のデータを出力してもよい。
書き換え部112は、データ取得部111が取得した第1類のデータを、データベース121に格納されたデータを参照して、第2類のデータに書き換える。
図6は、書き換えられた第2類のデータの一例を示す図である。第2類のデータには、移動元である収容設備の施設内位置情報および当該収容設備における収容設備内位置情報が含まれる。また、第2類のデータには、移動先である収容設備の施設内位置情報および当該収容設備における収容設備内位置情報が含まれる。この例では、第2類のデータには、移動元である収容設備M2の生産施設内の位置p2と、当該収容設備M2における出庫口outの位置p_outと、移動先である収容設備M3の生産施設内の位置p3と、当該収容設備M3におけるパーティションr21の位置p_r12とを含んでいる。
データベース121には、各収容設備の収容設備IDと、当該収容設備の施設内位置情報と、当該収容設備が収容するポッドの収容設備内位置情報とが関連付けて記憶される。一例として、データベース121には、各収容設備の配置に関する情報と、各収容設備の収容状況に関する情報とが記憶される。
図7(a)は、データベース121に格納される、各収容設備の配置に関する情報の一例を示す図である。図7(a)では、収容設備IDと、当該収容設備IDで特定される収容設備の施設内位置情報とが互いに関連付けられている。この例では、収容設備M1、M2、M3、・・・は、生産施設内において位置p1、p2、p3、・・・にそれぞれ配置されている。位置p1、p2、p3は、施設の床面における各点を表す座標で表されていてもよいし、その他の形式で表されていてもよい。
図7(b)は、データベース121に格納される、各収容設備の収容状況に関する情報の一例を示す図である。図7(b)では、各収容設備について、収容設備内位置情報と、ポッドIDとが互いに関連付けられている。この例では、製造設備である収容設備M1において、入庫口inの位置p_inおよび出庫口outの位置p_outには、ポッドIDが関連付けられていない。これは、収容設備M1に何れのポッドも収容されていない状況を表している。また、製造設備である収容設備M2において、入庫口inの位置p_inにはポッドIDが関連付けられておらず、出庫口outの位置p_outにはポッドP10が関連付けられている。これは、収容設備M2においてポッドP10を用いた製造処理が完了し、出庫口outにポッドP10があることを表している。また、ストッカーである収容設備M3において、パーティションr11の位置p_r11には、ポッドP2が関連付けられている。これは、収容設備M3のパーティションr11にポッドP2が収容されていることを示している。また、パーティションr12の位置p_r12には、ポッドIDが関連付けられていない。これは、収容設備M3のパーティションr12にポッドが収容されていないことを示している。なお、収容設備内位置情報としての位置p_in、p_out、p_r11等は、各収容設備の前面における各点を表す座標で表されていてもよいし、その他の形式で表されていてもよい。
このようなデータベース121を参照することにより、書き換え部112は、第1類のデータを第2類のデータに書き換える。なお、書き換え部112は、第2類のデータに含める移動先の収容設備内位置情報については、移動先の収容設備の種類、構造、収容状況等に基づいて決定する。書き換え処理の具体例の詳細については後述する。
搬送制御部113は、第2類のデータを参照して、ポッドを搬送するよう自走式搬送装置200を制御する。具体的には、搬送制御部113は、第2類のデータを参照して、自走式搬送装置200の自走部220を駆動するための制御情報と、マニピュレータ230を駆動するための制御情報とを生成する。また、搬送制御部113は、これらの制御情報と、搬送すべきポッドIDとからなる搬送指示情報を、自走式搬送装置200に送信する。以降、自走式搬送装置200に送信する搬送指示情報を、タスクとも記載する。
ここで、搬送制御部113は、1つのポッドに関する搬送指示情報を1つのタスクとして送信してもよいし、複数のポッドに関する搬送指示情報を1つのタスクとして送信してもよい。
また、搬送制御部113は、タスクが優先度順に実行されるよう自走式搬送装置200を制御する。具体的には、搬送制御部113は、自走式搬送装置200に対して、完了していないタスクのうち最も優先度の高いタスクを送信し、当該タスクの実行完了を受信すると、次に優先度が高いタスクを自走式搬送装置200に送信する。例えば、タスクの優先度は、タスクが生成された順に高いとする。この場合、換言すると、タスクは、FIFO(first in first out)で実行される。また、搬送制御部113は、タスクに、さらに重要度を示す情報を含めてもよく、重要度が高いほど、優先度が高いものとしてもよい。この場合、同じ重要度のタスクの中では、生成された順に優先度が高くてもよい。
管理部114は、自走式搬送装置200を管理する機能を有する。例えば、管理部114は、管理機能として、搬送するポッドの照合機能、装置状態および搬送状況の監視機能、パーティションおよび在庫を管理する在庫管理機能、履歴管理機能等を有する。
(照合機能)
管理部114は、自走式搬送装置200の撮像装置240によって取得されたポッドIDと、データベースに格納されたポッドIDとを照合する。具体的には、管理部114は、自走式搬送装置200によって取得されたポッドIDと、データベース121において当該収容設備の当該収容設備内位置情報に関連付けられたポッドIDとを比較する。ポッドIDが一致しない場合、データベース121に格納された収容状況と、実際の収容状況との間に不整合が生じていることになる。例えば、作業員が手動でポッドを移動させた場合にこのような不整合が生じる可能性がある。このようなケースを想定し、管理部114は、ポッドIDが一致すれば自走式搬送装置200の制御を続行し、一致しなければ自走式搬送装置200の制御を停止するよう、搬送制御部113に通知する。また、管理部114は、ポッドIDが一致しない場合、ポッドIDが一致しないことを示すエラー情報を出力装置300に出力してもよい。
(監視機能)
また、管理部114は、自走式搬送装置200の装置状態および搬送状況を表す情報をコントローラ210から取得する。自走式搬送装置200の状態としては、バッテリ残量、接続中の無線LANの電波強度、現在地情報等が挙げられるが、これらに限られない。また、搬送状況を表す情報としては、タスクの実行状況が挙げられる。具体的には、タスクの実行状況を表す情報は、搬送制御装置100から自走式搬送装置200に送信されたタスクの一覧と、実行済みのタスク、実行中のタスク、未実行のタスクを含んでいてもよい。
また、管理部114は、自走式搬送装置200から取得した装置状態および搬送状況を表す情報を、出力装置300に出力する。例えば、管理部114は、所定のタイミングで、装置状態および搬送状況の取得処理を実行する度に、取得した情報を出力装置300に出力して更新する。所定のタイミングとは、1分毎、10分毎等といった所定間隔、または、入力装置400を介して指示されたタイミングであってもよい。
(在庫管理機能)
また、管理部114は、自走式搬送装置200によるタスクの実行状況に基づいて、ポッドの在庫を管理する。具体的には、管理部114は、データベース121において、複数の収容設備のうちストッカーについて格納された収容状況を表す情報に基づいて、ポッドの在庫管理が可能である。
具体的には、管理部114は、自走式搬送装置200によるタスクの実行が完了すると、データベース121の移動元の収容設備について、既に移動したポッドIDと収容設備内位置情報との関連付けを解除する。また、管理部114は、自走式搬送装置200によるタスクの実行が完了すると、データベース121の移動先の収容設備について、移動により新たに収容したポッドIDと収容設備内位置情報とを新たに関連付けて記憶する。
また、管理部114は、入力装置400を介して入力される情報に基づいて、データベース121において、指定された収容設備の収容設備内位置情報に、指定されたポッドIDを関連付けるよう更新してもよい。これにより、自走式搬送装置200によらずに、作業員の手作業等によりポッドが移動された場合に対応可能となる。
なお、各ストッカーにおける収容設備内位置情報(すなわち、パーティション)は、入力装置400を介して入力される情報に基づいて変更可能となっていてもよい。これにより、ユーザは、例えば、あるストッカーにおいて棚に収容するポッドの個数を変更する等といったパーティション管理が可能である。
(履歴管理機能)
また、管理部114は、照合機能、監視機能、在庫管理機能により得られた情報の履歴をデータベース121に記憶する。例えば、管理部114は、入力装置400から入力される検索条件に基づいて、これらの履歴のうち検索条件を満たす履歴を出力装置300に出力する。
§3 動作例
(搬送制御動作)
図8は、本実施形態に係る搬送制御システム1によって実行される搬送制御動作の一例を示すフローチャートである。
ステップS101において、データ取得部111は、上位システム9から、第1類のデータを取得する。
ステップS102において、書き換え部112は、データ取得部111が取得した第1類のデータを、データベース121に格納されたデータを参照して、第2類のデータに書き換える。
ステップS103において、搬送制御部113は、第2類のデータを参照して、ポッドを搬送する搬送指示を示す制御情報(タスク)を、自走式搬送装置200に送信する。
ステップS104において、自走式搬送装置200は、受信したタスクにしたがって、対象となるポッドを移動元から移動先へ搬送する。
ステップS105において、搬送制御部113は、自走式搬送装置200によって搬送されるポッドのポッドIDが正しいか否かを照合する。搬送制御部113は、ポッドIDが正しければ自走式搬送装置200に搬送を続行させ、正しくなければ搬送を中止させる。ステップS104およびS105の処理の詳細については後述する。
(搬送制御動作の具体例)
図5~図8を用いて、搬送制御動作の具体例について説明する。
ステップS101において、図6に示した第1類のデータが取得されたとする。この場合、ステップS102において、書き換え部112は、図7(a)(b)に示したデータベース121を参照することにより、図6に示した第1類のデータを、図7に示した第2類のデータに書き換える。
具体的には、書き換え部112は、図7(a)に示したデータベース121から、第1類のデータに含まれる移動元収容設備ID「M2」に関連付けられた施設内位置情報「p2」を取得する。当該「p2」は、第2類のデータにおける移動元の施設内位置情報となる。
また、書き換え部112は、図7(b)に示したデータベース121から、第1類のデータに含まれるポッドID「P10」に関連付けられた収容設備内位置情報「p_out」を取得する。当該「p_out」は、第2類のデータにおける移動元の収容設備位置情報となる。
また、書き換え部112は、図7(a)に示したデータベース121から、第1類のデータに含まれる移動先収容設備ID「M3」に関連付けられた施設内位置情報「p3」を取得する。当該「p3」は、第2類のデータにおける移動先の施設内位置情報となる。
また、書き換え部112は、図7(b)に示したデータベース121において、移動先の収容設備ID「M3」に関連付けられた収容設備内位置情報のうち、ポッドIDが関連付けられていないものを検索する。換言すると、書き換え部112は、移動先の収容設備M3のパーティションの空き状況を検索する。この例では、ポッドIDが関連付けられていない収容設備内位置情報「p_r12」が検索されたとする。当該「p_r12」は、第2類のデータにおける移動先の収容設備内位置情報となる。
なお、移動先の収容設備が製造設備である場合、書き換え部112は、当該製造設備の入庫口inの位置を、移動先の収容設備内位置情報として決定してもよい。
ステップS103において、搬送制御部113は、図6に示した第2類のデータを参照することにより、ポッドP10を搬送するよう自走式搬送装置200を制御する。具体的には、「(1)施設内の位置p2にある収容設備M2まで移動し、(2)収容設備内位置「p_out」にあるポッドP10をピックし、(3)施設内の位置p3にある収容設備M3まで移動し、(4)収容設備内位置p_r12においてポッドP10をリリースする」との搬送指示を示すタスクが、自走式搬送装置200に対して送信される。なお、送信されるタスクは、自走式搬送装置200の自走部220を駆動する制御情報の一例として上記(1)(3)を含む。また、送信されるタスクは、自走式搬送装置200のマニピュレータ230を駆動する制御情報の一例として、上記(2)(4)を含む。
(照合動作)
図9は、図8におけるステップS104、S105の詳細な動作であって、本実施形態に係る搬送制御システム1によって実行される照合動作の一例を示すフローチャートである。
ステップS201において、自走式搬送装置200のコントローラ210は、搬送制御装置100からタスクを受信する。
ステップS202において、コントローラ210は、タスクに含まれる移動元の施設内位置情報が示す位置へ移動するよう、自走部220を制御する。
ステップS203において、搬送制御装置100の管理部114は、ピック動作の対象となるポッドのポッドIDを表す情報を取得するよう、自走式搬送装置200に指示する。
ステップS204において、自走式搬送装置200のコントローラ210は、ピック動作の対象となるポッドのポッドIDを表す情報を取得する。
具体的には、コントローラ210は、タスクに含まれる移動元の収容設備内位置情報が示す位置に把持部231が移動するよう、アーム232を制御する。そして、コントローラ210は、撮像装置240に、当該位置にあるポッドの表面に含まれるポッドIDを表す情報を撮像させる。そして、コントローラ210は、ポッドIDを表す情報を含む撮像画像を撮像装置240から取得し、搬送制御装置100に送信する。
ステップS205において、管理部114は、送信された撮像画像に基づいて、当該撮像画像が示すポッドIDが正しいか否かを判断する。具体的には、管理部114は、当該撮像画像からポッドIDを認識する。そして、管理部114は、認識したポッドIDが、データベース121において該当する収容設備の収容設備内位置情報に関連付けられたポッドIDと一致するか否かを判断する。ステップS205でYesの場合、ステップS206の処理が実行され、Noの場合、ステップS207の処理が実行される。
ステップS206において、管理部114は、自走式搬送装置200に対して、搬送の続行を指示する制御情報を送信する。
ステップS207において、管理部114は、自走式搬送装置200に対して、搬送の中止を指示する制御情報を送信する。
ステップS208において、管理部114は、エラー情報を出力する。エラー情報には、移動元の収容設備内における該当する位置に、対象となるポッドが格納されていない旨を表す情報が含まれる。
ステップS209において、自走式搬送装置200のコントローラ210は、搬送の続行を指示する情報を受信したか否かを判断する。ステップS209でYesの場合、次のステップS210の処理が実行され、Noの場合、ステップS210の処理が実行されずに、当該タスクに関する処理は終了する。
ステップS210において、コントローラ210は、対象のポッドをピックし、タスクに含まれる移動先の収容設備位置情報が示す位置まで搬送し、プレースする。
具体的には、コントローラ210は、対象のポッドをピックするよう把持部231を制御する。そして、コントローラ210は、タスクに含まれる移動先の収容設備位置情報が示す位置まで移動するよう、自走部220を制御する。そして、コントローラ210は、タスクに含まれる移動先の収容設備内位置情報に把持部231が移動するよう、アーム232を制御する。そして、コントローラ210は、当該位置においてポッドの把持を解除するよう、把持部231を制御する。
(搬送制御システム1の構成例の効果)
自走式搬送装置200にポッドを搬送させるには、移動元となる収容設備の位置および移動先となる収容設備の位置を指示する必要がある。また、デジタル半導体の生産施設では、収容設備の構成・配置が変更される可能性がある。もし、移動元となる収容設備の位置および移動先となる収容設備の位置が、自走式搬送装置200を制御する制御プログラム内に記述されているとすると、収容設備の構成・配置に変更があった際に、制御プログラムを書き換える必要があり、煩雑である。そのため、収容設備の構成・配置の変更に柔軟に対応可能な搬送制御システムが求められている。
本実施形態の搬送制御システム1は、ポッドの搬送指示に関する第1類のデータを、各収容設備の構成・配置に関する情報が格納されたデータベースを参照して第2類のデータに書き換え、書き換えた第2類のデータを用いて自走式搬送装置200を制御する。このため、本実施形態は、収容設備の構成・配置に変更があった場合でも、データベースを更新するだけで、制御プログラムを書き換える必要なく、上位システム9からの搬送指示に応じて自走式搬送装置200を制御することが可能である。これにより、本実施形態は、収容設備の構成・配置の変更があっても、柔軟に対応可能である、という効果を奏する。
また、デジタル半導体の生産施設で用いられる上位システム9としては、様々な仕様を有するものが存在することが知られている。特に、200ミリの半導体ウェハを用いる生産施設では、上位システム9の仕様が統一されていないのが現状である。このような上位システム9の多様性に柔軟に対応し、既存の上位システム9を大幅に変更することなく、後付けで導入可能な搬送制御システムが求められている。
本実施形態の搬送制御システム1は、上位システム9の仕様に応じて設定された初期設定情報を取得し、当該初期設定情報を用いて、第1類のデータを第2類のデータに書き換え、書き換えた第2類のデータを用いて自走式搬送装置200を制御する。これにより、本実施形態は、上位システム9の多様性に柔軟に対応し、既存の上位システム9を大幅に変更することなく、後付けで導入可能である、という効果を奏する。
§4 変形例
なお、本実施形態では、搬送制御システム1がデジタル半導体の生産施設で利用される例について説明した。これに限らず、本発明における搬送制御システムは、収容設備間で物品を搬送するその他の施設において利用可能である。
また、本実施形態では、1つの搬送制御装置100が、複数の自走式搬送装置200を制御してもよい。
また、本実施形態において、図5~6を参照して説明した第1類のデータ、第2類のデータ、および、データベース121に記憶されるデータの各データ構造は、図示したものに限定されない。
〔実施形態2〕
本発明の第2の実施形態について説明する。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、既に説明した事項についての重複する説明を繰り返さない。本実施形態においては、搬送制御装置100が、複数の移動対象物品を収容可能な複数の自走式搬送装置200aを制御する構成の一例について説明する。図10は、本実施形態に係る搬送制御システム1が適用される一例の構成を表すブロック図である。図10において、搬送制御システム1は、搬送制御装置100と、複数の自走式搬送装置200aとを有する。搬送制御装置100は、それぞれの自走式搬送装置200aを独立して制御する。
(搬送制御システム1の構成)
本実施形態においても図3の機能ブロック図に示す構成を用いる。ただし、本実施形態に係る搬送制御システム1は、自走式搬送装置200に代わって、それに対応する複数の自走式搬送装置200aを備える。また、本実施形態に係る搬送制御装置100が備える制御部110は、各自走式搬送装置200aの施設内における現在位置を示す情報を随時又は任意のタイミングで取得する機能を有する。なお、上記機能は、例えば施設内に配置された図示しないビーコンや、BLE(Bluetooth(登録商標) Low Energy)等を用いて実現されてもよい。
自走式搬送装置200aは、複数の移動対象物品を収容することができる。また、後述するように、データベース121は、自走式搬送装置200a各々における移動対象物品の収容位置それぞれの収容状況を示す情報を格納する構成である。上記構成は、例えば自走式搬送装置200aが、自装置における移動対象物品の収容状況を示す情報を、搬送制御装置100に送信することによって実現してもよい。また、複数の収容位置の少なくとも何れかは、互いに連続的な位置関係を有していてもよい。具体的には、例えば、1つの収容スペースに複数の移動対象物品を収容可能となっていてもよい。換言すると、複数の収容位置が連続して1つの収容スペースを構成していてもよい。
図11は、本実施形態に係る自走式搬送装置200aの外観の一例を模式的に示す図である。また、図12は、図11と類型の自走式搬送装置200aの外観の一例を模式的に示す図である。自走式搬送装置200aは、図11および図12に例示するように、複数の移動対象物品の収納位置260を有している。また、収容位置260は、後述する収容位置p_1およびp_2に相当する。
図13(a)は、図7(a)と同様に、データベース121に格納される、各収容設備の配置に関する情報の一例を示す図である。図13(b)は、データベース121に格納される、各収容設備および各自走式搬送装置200aの収容状況に関する情報の一例を示す図である。図13(b)に示す情報は、自走式搬送装置200aに関する情報を含む点において、図7(b)に示す情報と相違する。ここで、図13(b)中、IDがC1~C3のレコードが自走式搬送装置200aに関する情報に相当する。また、図13(b)に示す例において、各自走式搬送装置200aは、移動対象物品を並行して2つ搬送することが可能であるが、これに限定されず、一部又は全部の自走式搬送装置200aが並行して搬送可能な移動対象物品の数は、3以上であってもよい。
また、種別とは、各レコードの項目が収容設備のものであるか、自走式搬送装置200aのものであるかを示す情報である。この例においては、種別がMであれば、収容設備についてのレコードであることを示しており、種別がCであれば自走式搬送装置200aについてのレコードであることを示している。なお、製造設備とストッカーとに別々の種別が割り当てられる構成であってもよい。
また、収容位置情報とは、収容設備に関しては収容設備内位置情報に相当する情報であるが、自走式搬送装置200aに関しての移動対象物品の収容状況も示す情報である。C1の自走式搬送装置200aを例に挙げると、収容位置p_1にポッドP9を収容しているが、収容位置p_2は空いているので更にポッドを1つ収容することができる。なお、図13(b)に示す情報は、自走式搬送装置200aによるタスクの実行が完了しておらずとも、少なくともピック動作およびプレース動作がなされた際に更新される。なお、図13(b)に示す情報等は、入力装置400を介したユーザ操作によって更新可能であってもよい。これにより、例えば自走式搬送装置200aの不具合により、自装置における移動対象物品の収容状況を示す情報を搬送制御装置100に送信することができなくなった場合であっても、ユーザのマニュアル操作によって搬送制御を継続することができる。
(搬送制御動作)
図14は、本実施形態に係る搬送制御システム1によって実行される搬送制御動作の一例を示すフローチャートである。
ステップS101およびS102においては、実施形態1と同様の処理が実行され、続いてステップS302の処理が実行される。
ステップS302において、搬送制御部113は、ステップS102で書き換えられた第2類のデータを参照して制御する自走式搬送装置200aを決定する。具体的には、例えば搬送制御部113は、収容位置に必要分の空きがある自走式搬送装置200aを、制御対象の候補として抽出する。また、例えば搬送制御部113は、候補として抽出した各自走式搬送装置200aについて、搬送元に辿り着けるまでの所要時間を算出して比較し、当該所要時間が最も短い自走式搬送装置200aを、制御対象として決定する。
なお、搬送制御部113は、本ステップS302における処理の時点で空きが無い自走式搬送装置200aを、進行中の搬送が間もなく終了するものと推定して制御対象として決定することもあり得る。
搬送制御部113は、制御対象を決定する場合に、データベースに格納された情報であって、各自走式搬送装置200aにおける移動対象物品の収容位置を示す情報、および制御部が取得した各自走式搬送装置200aの現在位置を示す情報を参照してもよい。また、搬送制御部113が制御対象となる自走式搬送装置200aを決定するための工程は、上述した構成に限定されない。
また、例えば上述した構成によれば、自走式搬送装置200aが移動対象物品を搬送中に、更に別の移動対象物品を搬送することによって、同一の自走式搬送装置200aに関して複数の図9に示す処理が並行して実行される状況が生じ得る。別の側面から言えば、搬送制御部113は、複数の第2類のデータを参照して、自走式搬送装置200aが並行して複数の移動対象物品を搬送するように制御を行ってもよいことを意味する。
続いてステップS103以降においては、搬送制御部113がステップS302において決定した自走式搬送装置200aを対象として、実施形態1と同様の処理が実行される。
なお、本実施形態において図14を参照して上述した構成は、搬送制御装置100が、単数の移動対象物品を収容可能な複数の自走式搬送装置200を制御する場合にも適用可能である。
〔ソフトウェアによる実現例〕
搬送制御装置100の制御ブロック(特にデータ取得部111、書き換え部112、搬送制御部113、および管理部114)は、集積回路(ICチップ)等に形成された論理回路(ハードウェア)によって実現してもよいし、ソフトウェアによって実現してもよい。
後者の場合、搬送制御装置100は、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するコンピュータを備えている。このコンピュータは、例えば1つ以上のプロセッサを備えていると共に、上記プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を備えている。そして、上記コンピュータにおいて、上記プロセッサが上記プログラムを上記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上記プロセッサとしては、例えばCPU(Central Processing Unit)を用いることができる。上記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、ROM(Read Only Memory)等の他、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムを展開するRAM(Random Access Memory)などをさらに備えていてもよい。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体(通信ネットワークや放送波等)を介して上記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明の一態様は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
1 搬送制御システム
9 上位システム
20、90 ネットワーク
100 搬送制御装置
200、200a 自走式搬送装置
110 制御部
120 記憶部
130、140 通信部
150 入出力部
111 データ取得部
112 書き換え部
113 搬送制御部
114 管理部
121 データベース
210 コントローラ
220 自走部
230 マニピュレータ
231 把持部
232 アーム
240 撮像装置
250 通信部
300 出力装置
400 入力装置

Claims (13)

  1. 移動対象物品の移動指示に関する第1類のデータを取得するデータ取得部と、
    複数の収容設備のそれぞれの収容設備IDと、前記複数の収容設備のそれぞれの施設内位置情報と、各収容設備が収容する移動対象物品の収容設備内位置情報とを互いに関連付けて得られるデータを格納するデータベースと、
    前記データ取得部が取得した前記第1類のデータを、前記データベースに格納されたデータを参照して、移動対象物品の移動指示に関する第2類のデータに書き換える書き換え部と、
    前記第2類のデータを参照して、前記移動対象物品の搬送を行う自走式搬送装置に対する制御を行う搬送制御部と、を備え
    前記第1類のデータには、
    前記移動対象物品の移動元の収容設備ID、及び
    前記移動対象物品の移動先の収容設備ID、が含まれ、
    前記移動対象物品の移動元の収容設備の施設内位置情報が含まれず、
    前記第2類のデータには、
    前記移動対象物品の移動元の収容設備の施設内位置情報、及び、当該収容設備における収容設備内位置情報、並びに、
    前記移動対象物品の移動先の収容設備の施設内位置情報、及び、当該収容設備における収容設備内位置情報、が含まれる、搬送制御システム。
  2. 前記データ取得部は、前記移動対象物品を管理する上位システムのデータ構造をユーザに提示し、その中から前記第1類のデータに相当するデータをユーザに選択させることで、前記第1類のデータとして取得するデータを設定する、請求項1に記載の搬送制御システム。
  3. 前記第1類のデータには、
    前記移動対象物品のIDである移動対象物品ID、が含まれる、請求項1または2に記載の搬送制御システム。
  4. 前記データベースには、
    収容設備IDと、当該収容設備IDで特定される収容設備の施設内位置情報とが互いに関連付けられて格納され、更に、
    移動対象物品IDと、当該移動対象物品IDで特定される移動対象物品に関する収容設備内位置情報とが互いに関連付けられて格納される、請求項1から3の何れか1項に記載の搬送制御システム。
  5. 前記自走式搬送装置は、当該自走式搬送装置を自走させるための自走部と、前記移動対象物品に対するピック動作及びプレース動作が可能なマニピュレータを備え、
    前記搬送制御部は、前記第2類のデータを参照して、前記自走部を駆動するための制御情報と、前記マニピュレータを駆動するための制御情報とを生成する、請求項1から4の何れか1項に記載の搬送制御システム。
  6. 当該搬送制御システムは、前記自走式搬送装置を備え、
    前記自走式搬送装置は、
    当該自走式搬送装置が移動対象物品をピックする際に、当該移動対象物品の移動対象物品IDを取得するID取得部を備え、
    当該搬送制御システムは、
    前記ID取得部が取得した移動対象物品IDと、データベースに格納された移動対象物品IDとを照合するID照合部を備える、請求項1から5の何れか1項に記載の搬送制御システム。
  7. 前記自走式搬送装置は、複数の前記移動対象物品を収容可能であり、
    前記搬送制御部は、複数の前記第2類のデータを参照して、前記自走式搬送装置が並行して複数の前記移動対象物品を搬送するように制御を行う、請求項1から6の何れか1項に記載の搬送制御システム。
  8. 前記データベースは、複数の前記自走式搬送装置各々における前記移動対象物品の収容位置を示す情報を格納し、
    前記搬送制御部は、複数の前記自走式搬送装置のうち、前記収容位置を示す情報を参照して、前記第2類のデータを参照して制御する自走式搬送装置を決定する、請求項に記載の搬送制御システム。
  9. 前記搬送制御部は、複数の前記自走式搬送装置のうち、各自走式搬送装置の現在位置を示す情報を参照して、前記第2類のデータを参照して制御する自走搬送装置を決定する、請求項1から8の何れか1項に記載の搬送制御システム。
  10. 前記自走式搬送装置は、床面を自由な方向に移動可能な自走式搬送装置であり、
    前記搬送制御部は、前記第2類のデータを参照して、複数の前記自走式搬送装置に対する制御を行う、請求項1から9の何れか1項に記載の搬送制御システム
  11. 移動対象物品の移動指示に関する第1類のデータを取得するデータ取得工程と、
    前記データ取得工程が取得した前記第1類のデータを、
    複数の収容設備のそれぞれの収容設備IDと、前記複数の収容設備のそれぞれの施設内位置情報と、各収容設備が収容する移動対象物品の収容設備内位置情報とを互いに関連付けて得られるデータを格納するデータベース、
    に格納されたデータを参照して、移動対象物品の移動指示に関する第2類のデータに書き換える書き換え工程と、
    前記第2類のデータを参照して、前記移動対象物品の搬送を行う自走式搬送装置に対する制御を行う搬送制御工程と、を含み、
    前記第1類のデータには、
    前記移動対象物品の移動元の収容設備ID、及び
    前記移動対象物品の移動先の収容設備ID、が含まれ、
    前記移動対象物品の移動元の収容設備の施設内位置情報が含まれず、
    前記第2類のデータには、
    前記移動対象物品の移動元の収容設備の施設内位置情報、及び、当該収容設備における収容設備内位置情報、並びに、
    前記移動対象物品の移動先の収容設備の施設内位置情報、及び、当該収容設備における収容設備内位置情報、が含まれる、搬送制御方法。
  12. 前記自走式搬送装置は、床面を自由な方向に移動可能な自走式搬送装置であり、
    前記搬送制御工程では、前記第2類のデータを参照して、複数の前記自走式搬送装置に対する制御を行う、請求項11に記載の搬送制御方法
  13. 請求項1から10の何れか1項に記載の搬送制御システムとしてコンピュータを機能させるための制御プログラムであって、前記データ取得部、前記書き換え部および前記搬送制御部としてコンピュータを機能させるための制御プログラム。
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