CN101142524A - 图像投影器 - Google Patents

Abstract

一种通过减小斑点噪声实现具有较高图像质量的图像投影的图像投影器。图像投影器包括：相干光源；准直透镜，用于将从相干光源发射的相干光转换为相干平行光；以及投影器光学系统，用于对相干平行光进行投影；所述图像投影器还配置有反射元件，用于反射相干平行光，并且能够与反射表面的法向平行地振动；以及反射元件驱动装置，用于引起反射元件的振荡运动。

Description

图像投影器

技术领域

本发明涉及诸如电视接收机、图像投影器和半导体曝光设备之类的图像投影器或视觉显示器，更具体地涉及使用诸如光源之类的相干光源的图像投影器。

背景技术

近年来，使用金属卤化物灯、卤素灯、氙弧灯、高压汞放电灯等(在下文中称作“灯等”)作为光源的图像投影器已经变得普通。对于这种类型的图像投影器，通过波长选择镜将来自用作光源的灯等的输出光分为红光(长波长光)、绿光(中间波长光)和蓝光(短波长光)。将这些颜色的每一种已分离的光通过液晶面板进行分别调制。然后，通过双色棱镜对已分离和调制的光进行复用，并且通过投影透镜投影到屏幕上。这在屏幕上显现出彩色图像。

然而不幸的是，上述灯等具有相对较短的寿命。因此，当将上述灯等用作光源时，难以维持光源。此外，通过上述方法对来自上述灯等的白光进行分离来产生三原色。因此使投影器的光学系统变复杂。由于波长选择镜的光学性质，由波长选择镜分离的光表现出相对较宽的谱宽。因此，将投影器的彩色再现区域限制在有限的较窄区域，并且因此难以产生鲜艳的纯色。而且，这种类型的图像投影器具有光使用效率较低的问题。

为了解决使用以上的灯等的图像投影器面临的这些问题，近年来已经进行了将激光光源用作光源的许多试验。激光光源比传统的白光光源寿命更长，并且具有较高的能量效率，此外，由于激光极佳的导向性，导致在光使用效率方面是有利的。另外，激光的良好单色性可以使得图像投影器的彩色再现区域比上述类型的图像投影器宽。

然而当将激光光源在如上所述的图像投影器中使用时，存在这样的问题：激光的固有相干性(倾向于干涉的本质)引起在图像中存在斑点噪声(speckle noise)，因此这使投影图像的图片质量恶化。这里，术语斑点噪声包括其中在视平面中出现光的粒状强度分布的现象。所述光是一束来自激光光源的相干光，并且在物体表面上的数个位置进行散射。在视平面上，在物体表面的特定位置处散射的相干光的波前和在上述特定位置附近的另一个位置处散射的相干光的另一个波前相互干涉。因此，在视平面上出现粒状强度分布。对于使用激光作为光源的图像投影器的实际使用，仍然存在减少斑点噪声产生的严重问题。

为了抑制斑点噪声，使用激光的JP07-297111-A(专利文献1)的曝光照射设备包括漫射板(diffuser plate)，例如所述漫射板可以在其光学系统中转动，使得所述漫射板可以将相干光变成非相干光。

此外，使用激光的JP06-208089(专利文献2)的投影显示设备在其光学系统中包括可移动漫射板(可以转动和/或振动等)，使得漫射板可以将相干光变成非相干光。

[专利文献1]JP 07-297111-A

[专利文献2]JP 06-208089-A

发明内容

本发明要解决的问题

然而，当使用用于漫射相干光的可转动漫射板时，漫射板包括漫射区，所述漫射区在操作的任意时刻对相干光的漫射不起作用。从相反的角度考虑，使用具有较大漫射区的漫射板，所述漫射区包括对于漫射相干光不是必要的区域。因此，出现了以下问题：所述设备的光学系统不适当地变大。

本发明的目的是提供一种图像投影器，所述图像投影器通过抑制斑点噪声的产生，实现了极佳的图片质量。

具体地，本发明的目的是一种图像投影器，所述图像投影器具有比传统图像投影器简单的简化光学系统配置。

用于解决以上问题的手段

在本发明的一个方面中，图像投影器包括：相干光源；准直透镜，对来自相干光源的相干光进行准直以形成准直相干光；投影器光学系统，对准直相干光进行投影；反射元件，反射准直相干光，并且能够与反射元件的反射表面的法向平行地振动；以及反射元件驱动单元，驱动反射元件进行振动运动。

在本发明一个方面中，优选地，本发明还包括第一漫射元件，所述第一漫射元件对准直相干光进行漫射，将所述第一漫射元件设置在准直透镜和反射元件之间的准直相干光的光路上。

在本发明的一个方面中，优选地，本发明还包括第一漫射元件，所述第一漫射元件对准直相干光进行漫射，将所述第一漫射元件形成于反射元件的反射表面上。

在本发明的一个方面中，优选地，本发明还包括第二漫射元件，所述第二漫射元件漫射光，将所述第二漫射元件设置在反射元件和投影器光学系统之间的准直相干光的光路上。

在本发明的一个方面中，优选地，第一漫射元件和第二漫射元件是层叠于反射元件的反射表面上的单独漫射元件。

在本发明的一个方面中，优选地，反射元件驱动单元驱动反射元件沿反射元件的主表面的法向往复的振动运动。

在本发明的一个方面中，优选地，反射元件驱动单元驱动反射元件绕转动中心轴进行转动振动运动，所述转动中心轴在与反射器元件的主表面平行的平面中。

在本发明的一个方面中，优选地，反射元件的振动范围大于等于在第一漫射元件的表面上形成的、并且用于光漫射的凹凸轮廓的最大周期的倍。

在本发明的一个方面中，优选地，所述第一漫射元件的漫射角小于等于角度asin(NA)，NA是所述投影器光学系统的透镜单元的数值孔径。

发明的效果

根据本发明的图像投影器的光学系统的极其简化配置，其中安装在光学系统中的反射元件振动，实现了斑点噪声发生的减小。

附图说明

图1A是根据第一实施例的图像投影器配置的示意图；

图1B是根据第一实施例的图像投影器的修改配置的示意图；

图2是根据第二实施例的图像投影器配置的示意图；

图3是根据第三实施例的图像投影器配置的示意图；

图4是根据第四实施例的图像投影器配置的示意图；

图5是示出了漫射元件的表面轮廓和漫射光的强度分布的图。

(标号和字母的解释)

11：半导体激光器

12：准直透镜

13a、13b、23、53；漫射元件

14、24：反射板

15：透射型液晶空间调制器元件

16：投影透镜

17：屏幕

18：反射板驱动单元

19：图像信息发生单元

34：漫射反射板

44：可转动反射板

48：反射板转动驱动单元

具体实施方式

下文中参考附图描述本发明的实施例。

(实施例1)

图1A是根据第一实施例的图像投影器结构的示意图。

本实施例的图像投影器包括作为激光光源(相干光源)的半导体激光器11。图像投影器沿着从半导体激光器11输出的激光的光路顺序包括：准直透镜12，将发散光转换为准直光；漫射元件13；作为反射器元件的反射板14；作为空间调制器元件的透射型液晶空间调制器元件15；投影光学系统的投影透镜16；以及屏幕17。此外，图像投影器包括作为反射器元件驱动装置的反射板驱动单元18和作为图像信息发生装置的图像信息发生单元19。点划线表示从半导体激光器11输出的激光的光轴。用虚线表示的元件说明：反射板14的移位位置；以及元件的虚像，所述虚像通过反射板14的移位和反射板14的反射动作而形成，即元件的表观位置。

反射板14可以沿主表面(平面)的法向往复振动运动地移动，并且反射入射光，并且所述反射板与反射板驱动单元相连。反射板驱动单元驱动反射板以便移动反射板往复振动运动。

图像信息发生单元19与透射型液晶空间调制器元件15相连，并且能够发送输入信号，所述输入信号与透射型液晶空间调制器元件15的图像信息相对应。

半导体激光器11辐射发散的激光。发散的激光进入准直透镜12充分地转换为准直光，并且从中输出。已准直的激光传输通过第一漫射元件13a，然后在反射板14按照几乎直角改变其传播方向，布置所述反射板14使得反射板14可以与光轴形成几乎45°的角度。此后，激光进入透射型液晶空间调制器元件15。透射型液晶空间调制器元件15具有液晶像素，并且液晶像素能够根据与待投影到屏幕17上的图像信息相对应的输入信号改变其透射率。通过透射型液晶空间调制器元件15调制的准直激光进入投影透镜16，并且到达屏幕17。对比度被空间调制以便与图像信息一致的激光在屏幕17上形成图像。

在根据第一实施例的图像投影器中，将反射板14放置在第一漫射元件13a和透射型液晶空间调制器元件15之间的激光光路上，使得反射板14的主表面与激光的光轴形成几乎45°的角度。因此，由于反射板14的反射动作，从光学的观点可以等效地得到：半导体激光器11位于虚光轴上虚半导体激光器11va的位置处，所述虚光轴与反射板14下游的光轴部分平行。

反射板驱动单元18能够振动反射板14，使得反射板14可以沿与反射板14的主表面之一的反射表面的法线平行的方向、按照大于等于几十赫兹在预定幅度范围往复运动，例如大于等于30赫兹。如果反射板14沿法线方向振动式往复运动，半导体激光器的虚位置也移动。半导体激光器的虚位置沿与虚光轴形成45°角度的方向循环地并且与反射板14的频率同步地移动。虚半导体激光器11vb是由于反射板14的振动导致的虚移位的一个示例。根据反射板14的振动，从半导体激光器11到屏幕17的光路长度循环地并且与反射板14的振动同步地变化。因此，到达透射型液晶空间调制器元件15的任意点和屏幕17的任意点的激光的相对相位循环地并且与反射板14的振动周期(或者振动频率)同步地变化。按照大于等于几十赫兹振动的反射板14同样按照几十赫兹的频率改变屏幕17的斑点噪声的分布。因此，当人们(观察者)观看屏幕17时，斑点噪声比人类的视觉感知响应时间更快地改变位置。因此，对屏幕的任意点上的斑点噪声进行时间平均，并且因此减小了观察者感知的斑点强度等，使得改善了投影图像的质量。

在本实施例中，半导体激光器11是红色半导体激光器(约650nm的波长)，包括AlGaInP系列的有源层。准直透镜12包括0.5NA(数值孔径)的透镜，并且投影透镜16包括0.4NA的透镜。

图5是用于解释第一漫射元件13a的表面轮廓和由第一漫射元件13a漫射的光的强度分布的示意图。第一漫射元件13a包括对于从半导体激光器11输出的激光透明的衬底。参考图5，对第一漫射元件13a表面的至少一个主表面进行表面处理，使得所述表面可以包含随机起伏的表面。第一漫射元件13a的主表面形成起伏表面，所述起伏表面包括多种维度的凹凸。如图5所示，最大周期(所述凹凸沿表面从一个凹陷到另一个凹陷或者从一个凸起到另一个凸起的最长距离)表示为d。通常，最大周期d是几个微米量级的量。

此外，第一漫射元件13a的凹凸的平均周期(所述凹凸沿表面从一个凹陷到下一个凹陷或者从一个凸起到下一个凸起的平均距离)是3.3微米。

第一漫射元件13a对进入第一漫射元件13a的光51进行漫射。强度分布57示出了在与第一漫射元件13a下游的光51的传播方向的光轴垂直的截面内的强度分布。这里，η是由光轴和如下线所包括的角度，所述线将第一漫射元件13a和光轴的交叉点与所述截面内的点连接起来。

通常，通过漫射元件漫射的光的强度表现了随着偏离光轴的单调衰减分布。将其中当将光轴上的漫射光51的强度I(0)归一化为1时强度I(η)等于0.5的角度η指定为θ_1/2，并且称其为漫射角。第一漫射元件13a是具有10°漫射角的漫射元件。

再次参考图1a，反射板14在100微米的振动范围内振动。由于漫射板14的振动，虚光源11va和11vb沿与光轴形成几乎45°角度的方向振动。例如，在振动范围是100微米的情况下，入射到透射型液晶空间调制器元件15中任意点上的大多数激光是从第一漫射元件13a的漫射表面中的100/微米宽度的区域输出的激光。因此优选地，反射板14的振动范围大于等于×d，以全面地获得本发明的目的。在最大周期d是3.5微米的情况下，振动范围可以大于等于约5微米。原因在于，反射板14的往复振动具有大于等于×d的振动范围使得从第一漫射元件13a表面的凹凸部分的至少两个不同周期输出的光在往复振动运动的一个周期中到达透射型液晶空间调制器元件15和屏幕17上的任意点，并且因此防止了这一点处强度的静止斑点。

此外，优选地，第一漫射元件13a的漫射角小于等于投影透镜允许的可容许发散角。基本上，优选地漫射角小于或等于asin(NA)。位于第一漫射元件13a下游的本实施例的投影透镜的NA是0.4。因此，因为本实施例的第一漫射元件13a的漫射角是10°，将大多数漫射光用于投影。

(第一实施例的修改)

图1B是根据第一实施例修改的图像投影器的示意图。

与图1A所示的第一实施例的图像投影器类似，该修改的图像投影器包括：半导体激光器11；准直透镜12；第一漫射元件13a；反射板14；透射型液晶空间调制器元件15；投影透镜16；屏幕17；反射板驱动单元18；以及图像信息发生单元19。，此外，该图像投影器包括在反射板14和透射型液晶空间调制器元件15之间的光路上的第二漫射元件13b。

来自半导体激光器11的激光进入准直透镜12，并且传输通过第一漫射元件13a，然后在反射板14处几乎直角地改变其传播方向，布置所述反射板14使得反射板14与光轴形成几乎45°的角度。此后，激光进一步地传输通过第二漫射元件13b，并且进入透射型液晶空间调制器元件15。

在本修改中，第一漫射元件13a是与第一实施例中的第一漫射元件类似的元件。第二漫射元件13b可以是与第一漫射元件13a类似的元件。

如在第一实施例的情况下，通过反射板14彻底地获得了本发明的目的，所述反射板14在大于等于×d的振动范围内进行往复振动运动。另外，通过第二漫射元件13b对在反射板14上反射的光再次地进一步漫射。在第二漫射元件13b的任意点处，进入第二漫射元件13b的该点的光是来自第一漫射元件13a的凹凸部分的不同周期的光。因此，第二漫射元件13b输出进一步强烈漫射的光。因此，峰值进一步地扩散和降低的强度斑点在屏幕17上循环地移动。因此，进一步地降低了斑点噪声的强度，并且促进了投影图像的改善。

优选地，第一和第二漫射元件13a和13b的复合漫射角小于投影透镜允许的可容许发散角。本实施例的投影透镜16具有0.4的NA。第一和第二漫射元件13a和13b的复合漫射角(第一和第二漫射元件13a和13b的漫射角的总和)是20°。因此，将大多数漫射光用于投影。

(第二实施例)

图2是根据第二实施例的图像投影器的示意图。

与第一实施例的图像投影器类似，根据本实施例的图像投影器包括：半导体激光器11；准直透镜12；透射型液晶空间调制器元件15；投影透镜16；屏幕17；反射板驱动单元18；以及图像信息发生单元19。此外，该图像投影器包括在准直透镜12和透射型液晶空间调制器元件15之间的光路上的漫射元件23和反射板24，这两者结构地集成在单片上，并且作为漫射元件和反射元件，并且在反射板24的反射表面之前形成漫射元件23。

对反射板24和在反射元件24的反射表面之前一体形成的漫射元件23进行布置，使得他们可以与光轴形成几乎45°的角度。反射板和漫射元件23能够沿主表面的法线方向往复振动运动，以及能够反射入射光，并且与反射板驱动单元18相连。反射板驱动单元18能够使反射板24和漫射元件23振动。

通过准直透镜12对从半导体激光器11辐射的激光进行准直。准直的光实质上是平行光。平行激光传输通过漫射元件23一次，然后通过反射板24将其传播方向改变几乎直角。接下来，光再次传输通过漫射元件23。此后，光进入透射型液晶空间调制器元件15。

与第一实施例类似，在本实施例的图像投影器中，反射板驱动单元18能够以沿与作为反射板14的主表面的反射表面的法线平行的方向、按照大于等于几十赫兹的频率，在预定幅度范围内往复振动运动的形式，移动反射板24和漫射元件23，所述漫射元件23在反射板24的反射表面之前一体形成。尽管在本实施例中采用一个漫射元件23，但是激光传输通过该漫射元件23两次。因此，光漫射效果实际等效于在光路上设置两个漫射元件的情况。因此在本实施例中，具有进一步简化配置的图像投影器向观看者提供了具有改进图像质量的投影图像。

在本实施例中，漫射元件23和反射元件24可以与第一实施例的类似。由与第一实施例中相同的附图标记表示的每一个元件可以与第一实施例中的元件类似。在漫射元件23和反射元件24之间设置的填充剂25可以是玻璃、树脂、透明粘合剂等。填充剂25可以是对于从半导体激光器11发射的激光光学透明的材料。填充剂25也可以包括空气。

同样与第一实施例类似，反射板24和在反射板24的反射表面之前一体形成的漫射元件23的往复振动运动的振动范围可以大于等于×d。在该实施例中，漫射元件23对相同的光漫射两次。因此，有效的漫射角是20°。20°的漫射角比与投影透镜16的NA(＝0.4)相对应的可容许发散角小。因此，将大多数漫射光用于投影。

(第三实施例)

图3是根据第三实施例的图像投影器的示意图。

本实施例的图像投影器包括：半导体激光器11；准直透镜12；透射型液晶空间调制器元件15；投影透镜16；屏幕17；反射板驱动单元18；以及图像信息发生单元19，如第一和第二实施例中那样。此外，该图像投影器包括在准直透镜12和透射型液晶空间调制器元件15之间的光路上的漫射反射板34。

放置漫射反射板34，使得漫射反射板34的主表面与激光的光轴形成几乎45°的角度。漫射反射板34与反射板驱动单元18相连，并且能够反射和漫射入射光，并且还能够沿主表面的法线方向按照往复振动运动方式移动。反射板驱动单元18可以按照往复振动运动方式驱动漫射反射板34。

通过准直透镜12对从导体激光器11辐射的激光进行准直。准直的光是充分平行的光。平行激光的传播方向在具有漫射表面的漫射反射板34处以几乎直角弯曲，并且在此漫射，然后准直的平行激光进入透射型液晶空间调制器元件15中。

与第一和第二实施例类似，在根据本实施例的图像投影器中，反射板驱动单元18能够振动漫射反射板34，使得漫射反射板34可以沿与漫射板34的主表面之一的反射表面的法向平行的方向、以大于等于几十赫兹的频率、在预定幅度范围内往复振动，例如大于等于30赫兹。在该实施例中，实现了与其中将漫射元件设置在光路上而实现的效果相同的光漫射效果，而无需使用在上述实施例中使用的透射型漫射元件13a等。因此，在本实施例中，具有进一步简化配置的图像投影器向观看者提供了具有改善图像质量的投影图像。

漫射反射元件34的漫射反射表面可以包括形成与图5所示的漫射板的凹凸部分类似的表面轮廓的光反射表面。由与第一实施例中相同的附图标记表示的每一个元件可以与第一实施例中的元件类似。

与第一和第二实施例类似，漫射反射元件34的往复振动运动的振动范围可以大于等于×d。漫射反射元件34的漫射角是10°。因为10°的漫射角比投影透镜16的NA(＝0.4)的可容许发散角小，所以将大多数漫射光用于投影。

(第四实施例)

图4是根据第四实施例的图像投影器的示意图。

与第一实施例的修改类似，本实施例的图像投影器包括：半导体激光器11；准直透镜12；；漫射元件13a；第二漫射元件13b；透射型液晶空间调制器元件15；投影透镜16；屏幕17；以及图像信息发生单元18。此外，该图像投影器包括在第一反射元件13a和第二反射元件13b之间的光路上的可转动反射板44。

可以将可转动反射板44从运动的中心位置按照可转动摆动运动方式移动，在所述中心位置处在光轴及其主表面之间形成的角度是45°，其中作为转动中心轴的轴是与光轴的交叉点并且沿与图垂直的方向延伸。可转动反射板44在转动中心轴处与反射板转动驱动单元48相连。反射板转动驱动单元48可以使可转动反射板44进行转动振动运动。

反射板转动驱动单元48可以使可转动反射板44以大于等于几十赫兹(例如，约30赫兹)在预定的最大转动角内转动，其中以可转动反射板44的主表面与光轴形成45°角度的情况作为中心。最大转动角表示光轴与主表面之间的角度(随转动振动运动而变化)的最大值(或者最小值)与45度之间的差的绝对值。此外，转动中心轴优选地与可转动反射板44的重心基本一致。

如果可转动反射板44进行可转动振动运动，半导体激光器的虚位置也移位。半导体激光器的虚位置在绕转动中心轴的圆的圆周上。当反射表面与光轴形成45°的角度时，虚位置位于中间。半导体激光器的虚位置11vc和11ve示出了当可转动反射板44处于转动角为最大转动角的位置的情况。在图中，θ等于最大转动角。根据可转动反射板44的转动振动，半导体激光器11的光轴与可转动反射板44的转动振动同步地振动。从半导体激光器11到透射型液晶空间调制器元件15或屏幕17上的点的光路也与可转动反射板44的振动同步地变化。因此，到达透射型液晶空间调制器元件15或屏幕17上的任意点的激光的相对相位(光路长度)以及激光的入射角循环地并且与可转动反射板44的振动周期(或者振动频率)同步地变化。根据大于等于几十赫兹的可转动反射板44的振动，斑点噪声的分布按照大于等于几十赫兹的频率变化。因此，当人们(观看者)观看屏幕17时，斑点噪声比人眼的视觉感知响应时间更快地改变其位置。结果，对屏幕的任意点上的斑点噪声进行时间平均，因此减小了观察者可察觉的斑点强度等，使得改善了投影图像的质量。

根据可转动反射板44的转动振动，虚光源11vc、11vd和11ve绕作为中心点的转动中心轴在最大转动角θ范围内循环地振动。因此，对于最大转动角，只需要满足条件：L和θ的乘积大于等于d(L×θ≥d，θ≥d/L)，其中L是转动中心轴和第二漫射元件13b之间的距离。原因在于，可转动反射板44的转动振动具有大于等于d/L的最大转动角度θ使得从第一漫射元件13a的表面凹凸轮廓的凹凸部分的至少两个不同周期输出的光在转动振动运动的一个周期中到达第二漫射元件13b上的任意点，并且因此对光漫射的效果进一步地进行了时间平均。

可转动反射板44可以与反射板14类似。由与第一实施例中相同的附图标记表示的每一个其他元件可以与第一实施例中的元件类似。

根据θ大于等于d/L的条件，显而易见的是最大转动角θ可以非常小。例如，当L＝10mm并且d＝3.3微米时，d/L是0.00033[弧度]，即0.019°，因此θ只需要大于等于0.019°。在本实施例中，最大转动角是0.1°。因此，到透射型液晶空间调制器元件15和屏幕17的入射角的波动非常微小。

第一和第二漫射元件13a和13b的复合漫射角是20°。20°的漫射角比投影透镜16的NA(＝0.4)的可容许发散角小。因此，将大多数漫射光用于投影。

然而在上述实施例中，说明了使用单色(红色)光源的投影类型信息显示设备，可以通过设置与红色、绿色和蓝色兼容的光学系统和空间调制器元件、并且将每一种颜色的图像在屏幕上组合来提供彩色显示。

此外，将强度调制类型的透射型液晶用作空间调制器元件，但是本发明不局限于透射和/或强度调制类型的空间调制器元件。还可以采用反射型液晶、通过微机械技术生产的反射型空间调制器元件、或者使用衍射光的空间调制器元件。

工业适用性

本发明的图像投影器能够使用相当简化的配置减小斑点噪声。此外，本发明提供了虚拟显示。因此，本发明具有改进的工业适用性。

Claims (9)

1.一种图像投影器，包括：

相干光源；

准直透镜，对来自所述相干光源的相干光进行准直以形成准直相干光；

投影器光学系统，对准直相干光进行投影；

反射元件，反射准直相干光，并且能够与所述反射元件的反射表面的法向平行地振动；以及

反射元件驱动单元，驱动所述反射元件进行振动运动。

2.根据权利要求1所述的图像投影器，还包括第一漫射元件，所述第一漫射元件对准直相干光进行漫射，将所述第一漫射元件设置在所述准直透镜和所述反射元件之间的准直相干光的光路上。

3.根据权利要求1所述的图像投影器，还包括第一漫射元件，所述第一漫射元件对准直相干光进行漫射，将所述第一漫射元件形成于所述反射元件的反射表面上。

4.根据权利要求2或3所述的图像投影器，还包括第二漫射元件，所述第二漫射元件对光进行漫射，将所述第二漫射元件设置在所述反射元件和所述投影器光学系统之间的准直相干光的光路上。

5.根据权利要求4所述的图像投影器，其中所述第一漫射元件和所述第二漫射元件是层叠于所述反射器件的反射表面上的单一漫射元件。

6.根据权利要求1所述的图像投影器，其中所述反射元件驱动单元驱动所述反射元件沿所述反射元件的主表面的法向往复地振动运动。

7.根据权利要求1所述的图像投影器，其中所述反射元件驱动单元驱动所述反射元件绕转动中心轴进行转动振动运动，所述转动中心轴在与所述反射元件的主表面平行的平面中。

8.根据权利要求6所述的图像投影器，其中所述反射元件的振动范围大于等于在所述第一漫射元件的表面上形成的、并且用于光漫射的凹凸轮廓的最大周期的倍。

9.根据权利要求2所述的图像投影器，其中所述第一漫射元件的漫射角小于等于角度arcsin(NA)，NA是所述投影器光学系统的透镜单元的数值孔径。

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