CN101093057B - 用于汽化器的液体原材料供应单元 - Google Patents

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Abstract

液体原材料供应单元适于对汽化器供应液体原材料。该单元包括：集管，其内形成有流动通道；和多个流体控制阀，它们安装在集管上且包括：液体原材料控制阀；清洗溶液控制阀；吹扫气体控制阀；和第一引入控制阀，它可连接到汽化器上，用于控制从流动通道到汽化器的流体供应，吹扫气体控制阀、清洗溶液控制阀、液体原材料控制阀、和第一引入控制阀从集管的上游侧按此顺序安装在集管上。流动通道分别连接那些控制阀的阀口，这些阀口与相应控制阀的阀开口连通，而且流动通道构造成允许从吹扫气体控制阀供应来的吹扫气体直接在设置于吹扫气体控制阀下游的清洗溶液控制阀和液体原材料控制阀的阀口中流动。

Description

用于汽化器的液体原材料供应单元
技术领域
本发明涉及一种用于向汽化器供应液体原材料的用于汽化器的液体原材料供应单元。
背景技术
近年来，诸如DRAM(动态随机存取存储器)和FeRAM(铁电随机存取存储器)之类的利用电容器的半导体存储器装置和嵌入式存储器LSI已经需要高集成度的设计。响应于这样的需求，必须采用高介电常数的材料用于半导体的制造。高介电材料通常以液体形式加以采用。因此，在许多情况下，要将液体原材料供应到汽化器中，液体原材料在该汽化器中被汽化，而且将该汽化气体供应到反应器。因此，该过程需要用于将该液体原材料供应到汽化器中的液体原材料供应管路。
如果液体原材料残留在液体原材料管路和汽化器中，可能会导致将要沉积在管路和汽化器中的反应产物。这样的沉积易于引起各种问题；例如，它们成为粒子产生源，导致较低的产率，它们阻塞控制阀和管路管道，或者它们阻塞汽化器的喷嘴。为了避免这些问题，在向汽化器供应液体原材料之后，液体原材料供应管路通常要进行清洗过程。在清洗过程中，用清洗溶液(通过液体-液体置换)对残留在管路管道和汽化器中的液体原材料进行清洗或洗涤，然后通过吹扫气体(通过液体-气体置换)从管路管道和汽化器去除清洗溶液。
上述液体原材料供应管路的一示例布置成为如图6所示，其中，液体原材料管路101和102每个都包括用于供给液体原材料的阀和管道，清洗溶液管路103包括用于供给清洗溶液的阀和管道，液体原材料管路101和102以及清洗溶液管路103连接到主管路105上，该主管路105的一端连接到汽化器，而另一端连接到吹扫气体管路104。在该液体原材料管路中，液体原材料是从液体原材料管路101或102供给到主管路105中的，而且供给到主管路105的液体原材料然后被供应到汽化器中。
这里，为了进行清洗，将清洗溶液从清洗溶液管路103供给到主管路105，从而对液体原材料和清洗溶液一起已经经过的管路和汽化器进行清洗。在利用清洗溶液进行清洗后，将吹扫气体引入到吹扫气体管路104中，从而从液体原材料供应管路去除残留的清洗溶液。
在图7中示出了液体原材料供应管路的另一示例，该液体原材料供应管路布置成使得每个都包括多个阀的整体阀X1至X4通过管道相互连接。在该液体原材料供应单元中，加压气体(例如，He气体或另一惰性气体)被供应到整体阀X1的阀V2中，然后通过整体阀X1的阀V1和整体阀X2的阀V4进入到液体原材料箱121中，从而对将要依次通过整体阀X2的阀V1、以及整体阀X3和X4而供应到汽化器的液体原材料进行加压。
这里，为了进行清洗，在向整体阀X1的阀V1供给清洗溶液时，清洗溶液经由整体阀X2的阀V3而在整体阀X3中流动。清洗溶液然后顺序地在整体阀X3的阀V2和整体阀X4的阀V2中流动。通过这一过程，对液体原材料已经通过的通道进行清洗。在利用清洗溶液进行清洗后，将诸如Ar气体的惰性气体作为吹扫气体引入到整体X1的阀V3中，从而从通道中去除残留的清洗溶液。
然而，以上两种液体原材料供应管路基本上是由多个阀和多根管道构成的。不利的是，这一构造需要大的安装空间，这将妨碍小型化和高集成度。
在前一液体原材料管路中，在将清洗溶液供给到主管路105中用于清洗时，液体残留或残存区域(死区)趋于发生在液体原材料供应管路101或102中。另一方面，在将吹扫气体供给到主管路105中时，液体残留或残存区域(死区)容易分别发生在液体原材料供应管路101或102中和清洗溶液供应管路103中。这样，剩余或残留液体(液体-液体置换速率和液体-气体置换速率)的置换速率(或置换能力)较差，这需要长的剩余液体置换时间，从而导致较长的清洗时间。这也导致半导体制造装置的周期时间延长，从而降低生产效率。而且，液体-气体置换速率极差，从而在清洗后残留的清洗溶液不能完全被吹扫气体置换。
另一方面，在后一液体原材料管路中，可缩短清洗所需的时间(可以提高剩余液体的置换速率)。然而，在管路中使用的整体阀X1至X4分别具有非常复杂的流动管道。
发明内容
已经针对以上情况而作出本发明，本发明的目的在于提供一种呈小型化和集成化设计的具有简单通道结构的液体原材料供应单元，该液体原材料供应单元能减少液体残留或残存区域，从而提高剩余液体的置换速率。
本发明的其它目的和优点将在以下的描述中部分地加以阐述，并且部分地将从所述描述中清楚，或者可通过本发明的实施而认识到。可通过在所附权利要求中具体指出的手段和组合而实现和获得本发明的目的和优点。
为了实现上述目的，本发明提供一种用于汽化器的液体原材料供应单元，该液体原材料供应单元适于对用于汽化液体原材料的该汽化器供应液体原材料，该单元包括：集管，该集管在内部形成有流动通道；和多个流体控制阀，所述多个流体控制阀安装在所述集管上，其中所述多个流体控制阀包括：液体原材料控制阀，该液体原材料控制阀用于控制对所述流动通道供应液体原材料；清洗溶液控制阀，该清洗溶液控制阀用于控制对所述流动通道供应清洗溶液；吹扫气体控制阀，该吹扫气体控制阀用于对所述流动通道供应吹扫气体；和第一引入控制阀，该第一引入控制阀可连接到汽化器上，用于控制从所述流动通道到所述汽化器的流体供应，吹扫气体控制阀、清洗溶液控制阀、液体原材料控制阀、和第一引入控制阀从集管的上游侧按此顺序安装在集管上，其中所述流动通道分别连接到所述多个控制阀的阀口上，这些阀口与相应控制阀的阀开口连通，而且所述流动通道构造成允许从吹扫气体控制阀供应来的吹扫气体直接在设置于吹扫气体控制阀下游的所述清洗溶液控制阀和所述液体原材料控制阀的阀口中流动。
附图说明
结合在本说明书中并构成本说明书一部分的附图示出了本发明的实施例，并和说明书一起起到了说明本发明的目的、优点和原理的作用。
在附图中，
图1为示出了优选实施例中的液体原材料供应单元的示意性结构的局部剖面图；
图2为示出了在从第一液体原材料供应阀(管路)供应盐水的情况下的液体-液体(盐水-纯水)置换速率的测试结果的曲线图；
图3为示出了在从第二液体原材料供应阀(管路)供应盐水的情况下的液体-液体(盐水-纯水)置换速率的测试结果的曲线图；
图4为示出了比较例中的液体原材料供应单元的示意性构造的剖面图；
图5为示出了另一示例中的液体原材料供应单元的示意性构造的局部剖面图；
图6为现有技术液体原材料供应管路的结构概图的示意图；而
图7为另一现有技术液体原材料供应管路的结构概图的示意图。
具体实施方式
现在将参照附图，给出对根据本发明的用于汽化器的液体原材料供应单元的优选实施例的详细描述。将参照图1说明本实施例的液体原材料供应单元的结构。图1为示出了本实施例的液体原材料供应单元的示意性结构的局部剖面图。
如图1所示，液体原材料供应单元10包括吹扫气体供应阀30、清洗溶液供应阀40、第一液体原材料供应阀50、第二液体原材料供应阀60、以及可连接到排液管的引入阀70(以下称为“排液引入阀”，它对应于本发明的第二引入阀)，这些阀成一直线地固定安装在集管20的上表面上，该集管20内部形成有流动通道。而且，可连接汽化器的引入阀80(以下称为“汽化器引入阀”，它对应于本发明的第一引入阀)连接到集管20的左侧。具体而言，吹扫气体供应阀30、清洗溶液供应阀40、第一液体原材料供应阀50、第二液体原材料供应阀60、排液引入阀70、以及汽化器引入阀80按照此顺序从集管20的上游侧开始布置。吹扫气体供应阀30、清洗溶液供应阀40、第一液体原材料供应阀50、第二液体原材料供应阀60、排液引入阀70、以及汽化器引入阀80通过形成在集管20中的流动通道21而相互连接。流动通道21包括V形通道23、24、25和26以及连通通道27。汽化器引入阀80通过集管20的流动通道22而连接至汽化器。
液体原材料供应单元10构造成执行将第一液体原材料和第二液体原材料供应到汽化器、在供应第一和第二液体原材料之后用清洗溶液清洗单元10和汽化器、并在清洗后通过吹扫气体去除剩余的清洗溶液或其它物质。包括安装在集管20上的阀30、40、50、60、70和80的液体原材料供应单元10能实现小型化和高集成度。因此，液体原材料供应单元10能靠近汽化器安装。
吹扫气体供应阀30构造成控制向集管20的流动通道21供应吹扫气体(在本实施例中为氮气)。在吹扫气体供应阀30中，阀室31通过未示出的阀室口而连接到吹扫气体供应源，并且还通过阀开口32和在安装表面(下表面)上开口的阀口33连接到集管20的流动通道21。
清洗溶液供应阀40构造成控制向集管20的流动通道21供应清洗溶液(在本实施例中为THF)。在清洗溶液供应阀40中，阀室41通过未示出的阀室口而连接到清洗溶液供应源，并且还通过阀开口42和在安装表面(下表面)上开口的阀口43连接到集管20的流动通道21。
第一液体原材料供应阀50构造成控制向集管20的流动通道21供应第一液体原材料(在本实施例中为锶)。在第一液体原材料供应阀50中，阀室51通过未示出的阀室口而连接到第一液体原材料供应源，并且还通过阀开口52和在安装表面(下表面)上开口的阀口53连接到集管20的流动通道21。
第二液体原材料供应阀60构造成控制向集管20的流动通道21供应第二液体原材料(在本实施例中为钛)。在第二液体原材料供应阀60中，阀室61通过未示出的阀室口而连接到第二液体原材料供应源，并通过阀开口62和在安装表面(下表面)上开口的阀口63连接到集管20的流动通道21。
排液引入阀70构造成控制将流动通过集管20的流动通道21的流体引入用于从液体原材料供应单元10排出流体的排液管。在排液引入阀70中，阀室71通过未示出的阀室口而连接到排液管，并且还通过阀开口72和在安装表面(下表面)上开口的阀口73连接到集管20的流动通道21。
汽化器引入阀80构造成控制向汽化器供应流动通过集管20的流动通道21的流体。在汽化器引入阀80中，在安装表面(右表面)上开口且与阀开口82连通的阀口83连接到集管20的流动通道21，而与阀室81连通的阀室口84连接到流动通道22。
这里，吹扫气体供应阀30、清洗溶液供应阀40、第一液体原材料供应阀50、第二液体原材料供应阀60、以及排液引入阀70通过集管20的流动通道21而相互连接。更加具体而言，相邻的阀即吹扫气体供应阀30和清洗溶液供应阀40、清洗溶液供应阀40和第一液体原材料供应阀50、第一液体原材料供应阀50和第二液体原材料供应阀60、以及第二液体原材料供应阀60和排液引入阀70分别通过对应的V形通道23、24、25和26连接。
更加具体而言，V形通道23至26的入口23a至26a和出口23b至26b以如下方式形成为在集管20的上表面开口，该方式即分别与阀30、40、50、60和70的阀口33、43、53、63和73连通。换言之，V形通道23的入口23a连接到吹扫气体供应阀30的阀口33，而出口23b连接到清洗溶液供应阀40的阀口43。V形通道24的入口24a连接到清洗溶液供应阀40的阀口43，而出口24b连接到第一液体原材料供应阀50的阀口53。而且，V形通道25的入口25a连接到第一液体原材料供应阀50的阀口53，而出口25b连接到第二液体原材料供应阀60的阀口63。V形通道26的入口26a连接到第二液体原材料供应阀60的阀口63，而出口26b连接到排液引入阀70的阀口73。
如上所述，V形通道23的出口23b以及V形通道24的入口24a形成为在相同位置处开口，从而连接到清洗溶液供应阀40的阀口43上。换言之，V形通道23和24在出口23b(或入口24a)处，即在相对于阀口43的接头部分处相互连接。而且，V形通道24的出口24b和V形通道25的入口25a形成为在相同位置处开口，从而连接到第一液体原材料供应阀50的阀口53。换言之，V形通道24和25在出口24b(或入口25a)处，即在相对于阀口53的接头部分处相互连接。V形通道25的出口25b和V形通道26的入口26a形成为在相同位置处开口，从而连接到第二液体原材料供应阀60的阀口63。换言之，V形通道25和26在出口25b(或入口26a)处，即在相对于阀口63的接头部分处相互连接。
排液引入阀70的阀口73以及汽化器引入阀80的阀口83通过连通通道27连接。通过以上构造，通过对排液引入阀70和汽化器引入阀80的控制，可将从第一液体原材料供应阀50、第二液体原材料供应阀60、清洗溶液供应阀40和吹扫气体供应阀30中的每个阀供应的流体供应到汽化器或排出到排液管。
以下将说明上述液体原材料供应单元10的操作。在将要向汽化器供应第一液体原材料时，打开第一液体原材料供应阀50和汽化器引入阀80，而关闭其它的阀30、40、60和70。这样，从第一液体原材料供应阀50供给的第一液体原材料被允许通过流动通道21，即，V形通道25和26以及连通通道27，并在汽化器引入阀80中流动。此时置于打开状态的汽化器引入阀80允许在阀80中流动的第一液体原材料通过流动通道22供应到汽化器。
在将要向汽化器供应第二液体原材料时，打开第二液体原材料供应阀60和汽化器引入阀80，而关闭其它的阀30、40、50和70。这样，从第二液体原材料供应阀60供给的第二液体原材料被允许通过流动通道21即V形通道26和连通通道27，并在汽化器引入阀80中流动。此时置于打开状态的汽化器引入阀80允许在阀80中流动的第二液体原材料通过流动通道22供应到汽化器。
为了进行清洗，打开清洗溶液供应阀40和汽化器引入阀80，而关闭其它的阀30、50、60和70。这样，从清洗溶液供应阀40供给的清洗溶液被允许通过V形通道24、25、26以及连通通道27，并在汽化器引入阀80中流动。此时置于打开状态的汽化器引入阀80允许在阀80中流动的清洗溶液通过流动通道22供应到汽化器。这样，就将清洗溶液供应到第一或第二液体原材料已经通过的通道、阀和汽化器，由此清洗液体原材料供应单元10和汽化器。
在将要供应清洗溶液时，阀口53、63和73可变为液体存留区(死区)，但是与传统的情况相比，相应的体积极小。从清洗溶液供应阀40供给到V形通道24的清洗溶液在第一液体原材料供应阀50的阀口53内流动，然后在V形通道25内流动。在V形通道25内流动的清洗溶液在第二液体原材料供应阀60的阀口63内流动，然后在V形通道26内流动。在V形通道26内流动的清洗溶液在排液引入阀70的阀口73内流动，然后在连通通道27内流动。通过以上方式，允许所述清洗溶液在可能成为液体存留区域的阀口53、63和73内直接流动。因此，清洗溶液与留在阀口53、63和73内的残留液体顺序地碰撞，从而逐渐将残留液体挤出阀口53、63和73，或者溶解残留液体。这使得可有效地通过清洗溶液而置换残留液体。这样，能提高液体-液体置换速率。因此，残留在液体原材料供应单元10的流动通道内的第一或第二液体原材料能在比传统情况短的时间内完全被清洗溶液置换。
图2和图3示出了本实施例的液体原材料供应单元10和图6所示的传统液体原材料供应管路的置换速率的测试结果。图2为示出了在从第一液体原材料供应阀(管路)供应盐水的情况下的液体-液体(盐水-纯水)置换速率的测试结果的曲线图。图3为示出了在从第二液体原材料供应阀(管路)供应盐水的情况下的液体-液体(盐水-纯水)置换速率的测试结果的曲线图。
在测试中，将盐水(0.5％)而不是液体原材料注入到流体通道中，然后以2mL/min的速率供应纯水。然后，将从通过相应供应口可与汽化器连接的供应单元10和传统的供应管路排出的水存储10mL，并对所存储的水的导电率进行测量。基于在先对纯水和盐水的每种测量的导电率，从所测量的导电率计算出盐度。在测试中，在所述两种情况之间比较盐度，直到盐水稀释到盐度为1.0ppm或以下。
如在图2和图3中可清楚看到的那样，在使盐度一直降低到1.0ppm的置换所需的置换时间的方面对液体原材料供应单元10和图6的传统液体原材料供应管路之间进行的比较中，本实施例的液体原材料供应单元10(曲线图中的实线)显示出具有的置换速率优于传统液体原材料供应管路(曲线图中的虚线)。具体而言，如图2所示，在从第一液体原材料供应管路(阀)供应盐水的情况下，直到盐度降低为1.0ppm所需的置换时间在液体原材料供应单元10中为约90分钟，而在传统液体原材料供应管路中多达约220分钟。在从第二液体原材料供应管路(阀)供应盐水的情况下，直到盐度降低为1.0ppm所需的置换时间在液体原材料供应单元10中为约70分钟，而在传统液体原材料供应管路中多达约170分钟。
以上结果表明，本实施例的液体原材料供应单元10可极大地缩短清洗液体原材料供应单元10所需的清洗时间，从而缩短了半导体制造装置的周期时间，这样提高了生产能力。也能降低清洗溶液的消耗量，以降低成本。
在如上所述利用清洗溶液完成清洗之后，打开吹扫气体供应阀30和排液引入阀70，而关闭其它的阀40、50、60和80。这样，停止从清洗溶液供应阀40供应清洗溶液，同时开始从吹扫气体供应阀30供应吹扫气体。从吹扫气体供应阀30供应的吹扫气体经由排液引入阀70从液体原材料供应单元10排出。这样供应吹扫气体旨在从液体原材料供应单元10完全去除残留的液体，从而防止可能的腐蚀或其它不利之处。在一些示例中，关闭排液引入阀70而打开汽化器引入阀80，从而向汽化器供应吹扫气体。
类似地，在将要供应吹扫气体时，阀口43、53和63可变为液体存留区(死区)，但是与传统的情况相比，相应的体积极小。从吹扫气体供应阀30供给到V形通道23内的吹扫气体在清洗溶液供应阀40的阀口43内流动，然后在V形通道24内流动。引入到V形通道24内的吹扫气体在第一液体原材料供应阀50的阀口53内流动，然后在V形通道25内流动。在V形通道25内流动的吹扫气体然后在第二液体原材料供应阀60的阀口63内流动，然后在V形通道26内流动。在V形通道26内流动的吹扫气体然后在排液引入阀70的阀口73内流动，通过排液引入阀70，然后排出到外部。
通过以上方式，允许所述吹扫气体在可能成为液体存留区域的阀口43、53和63内直接流动。因此，吹扫气体与留在阀口43、53和63内的残留液体顺序地碰撞，从而逐渐将残留液体挤出阀口43、53和63。即使在残留液体具有较大的表面张力的情况下，它也可被吹扫气体完全置换。因此，能提高液体-气体置换速率。这使得可从液体原材料供应单元10完全去除残留清洗溶液。
这里，通过阀口43、53、63和73中的每个阀口中的残留液体状况，检查本实施例的设有由丙烯酸制成的集管20的液体原材料供应单元10。作为与液体原材料供应单元10进行比较的目标，类似地通过阀口43、53、63和73中的每个阀口中的残留液体状况，检查利用设有如图4所示的流动通道构造的集管20a的液体原材料供应单元。应注意的是，集管20a形成有：沿着集管20a的纵向方向平直延伸的主流动通道21a，来代替集管20的流动通道21；以及副通道35、45、55、65和75，所述副通道35、45、55、65和75将主流动通道21a连接到对应的阀30、40、50、60和70的阀口33、43、53、63和73。
在液体原材料供应单元10和图4所示的液体原材料供应单元之间对利用吹扫气体的置换性能(速率)的比较明显表明，液体原材料供应单元10的置换性能优于图4所示的液体原材料供应单元。具体地发现，在液体原材料供应单元10中，当向集管20的流动通道21供应吹扫气体时，液体完全被吹扫气体置换，而不会残留在可能成为死区的阀口43、53、63和73中。相反地发现，在图4示出的液体原材料供应单元中，当向集管20a的流动通道21a供应吹扫气体时，液体残留在可能成为死区的阀口43、53、63和73和副通道35、45、55、65和75中。这样，液体原材料不能完全被吹扫气体置换。
在如上所述的本实施例的液体原材料供应单元10中，吹扫气体供应阀30、清洗溶液供应阀40、第一液体原材料供应阀50、第二液体原材料供应阀60、以及排液引入阀70按照此顺序从集管20的上游侧开始成一直线地、一体安装在集管20的上表面上，而且汽化器引入阀80还连接到集管20的左侧。这样，能实现小型化和高集成度。吹扫气体供应阀30、清洗溶液供应阀40、第一液体原材料供应阀50、第二液体原材料供应阀60、以及排液引入阀70中的相邻阀的阀口33、43、53、63和73通过对应的V形通道23、24、25和26而连接。因此，液体残留区域可减小为至多为仅有阀口43、53、63和73。在液体残留在这些阀口43、53、63和73的情况下，能通过从上游供应的置换流体(清洗液体或吹扫气体)与残留液体碰撞而顺序地逐渐挤出残留的液体。这使得可通过清洗溶液或吹扫气体提高残留液体的置换速率。
在不偏离本发明的精神或基本特性的情况下，可以以其它具体的形式实现本发明。例如，上述实施例举例说明第一液体原材料供应阀50和第二液体原材料供应阀60都安装在集管20上用于供应两种液体原材料的液体原材料供应单元10。作为一种可选方案，可如图5所示布置一单元以供应单一种类的液体原材料，其中第一液体原材料供应阀50安装在集管20上，而且通道阻塞物66替代第二液体原材料供应阀60安装在集管20上。
尽管已经示出并描述了本发明的当前优选实施例，但是应理解，本公开是为了说明的目的，而且在不偏离本发明由所附权利要求阐述的本发明的范围的情况下，可作出多种改变和修改。

Claims (7)

1.一种用于汽化器的液体原材料供应单元，该液体原材料供应单元适于对用于汽化液体原材料的该汽化器供应液体原材料，该单元包括：
集管，该集管在内部形成有流动通道；和
多个流体控制阀，所述多个流体控制阀安装在所述集管上，
其中所述多个流体控制阀包括：
液体原材料控制阀，该液体原材料控制阀用于控制对所述流动通道供应液体原材料；
清洗溶液控制阀，该清洗溶液控制阀用于控制对所述流动通道供应清洗溶液；
吹扫气体控制阀，该吹扫气体控制阀用于控制对所述流动通道供应吹扫气体；和
第一引入控制阀，该第一引入控制阀连接到汽化器上，用于控制从所述流动通道到所述汽化器的流体供应，
吹扫气体控制阀、清洗溶液控制阀、液体原材料控制阀、和
第一引入控制阀从集管的上游侧按此顺序安装在集管上，
其中所述流动通道分别连接到所述多个控制阀的阀口上，这些阀口与相应控制阀的阀开口连通，而且
所述流动通道构造成允许从吹扫气体控制阀供应来的吹扫气体直接在设置于吹扫气体控制阀下游的所述清洗溶液控制阀和所述液体原材料控制阀的阀口中流动。
2.根据权利要求1所述的用于汽化器的液体原材料供应单元，其中所述流动通道形成为V形，该V形具有开口端，这些开口端用于连接所述吹扫气体控制阀、所述清洗溶液控制阀、和所述液体原材料控制阀中的相邻阀，从而所述流动通道在用作位于相邻V形通道之间的接头部分的各个开口端处连接到各个阀口上。
3.根据权利要求1所述的用于汽化器的液体原材料供应单元，其中所述多个流体控制阀还包括连接到排液管上的第二引入控制阀，该第二引入控制阀用于控制从所述流动通道到所述排液管的流体供应，而且所述第二引入阀在位于所述液体原材料控制阀下游且位于所述第一引入控制阀上游的位置处安装在所述集管上。
4.根据权利要求1所述的用于汽化器的液体原材料供应单元，其中所述吹扫气体控制阀、所述清洗溶液控制阀、和所述液体原材料控制阀成一直线安装在所述集管的上表面上。
5.根据权利要求1所述的用于汽化器的液体原材料供应单元，其中所述液体原材料包括锶和钛中的至少一种。
6.根据权利要求2所述的用于汽化器的液体原材料供应单元，其中所述V形通道之间的所述接头部分在所述集管的上表面上开口。
7.根据权利要求3所述的用于汽化器的液体原材料供应单元，其中吹扫气体控制阀、清洗溶液控制阀、液体原材料控制阀、和排液引入控制阀成一直线安装在所述集管的上表面上。
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