CN101082770B

CN101082770B - 图案形成方法和图案形成设备

Info

Publication number: CN101082770B
Application number: CN2007101087801A
Authority: CN
Inventors: 奥岛真吾; 关淳一
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2006-05-31
Filing date: 2007-05-31
Publication date: 2011-09-28
Anticipated expiration: 2027-05-31
Also published as: EP1862853A2; JP2007320098A; US7862761B2; KR20070115735A; CN101082770A; US20070278712A1; EP1862853B1; EP1862853A3; JP4819577B2

Abstract

一种通过使用给模子设置的压印图案在基板上的图案形成材料上形成图案的图案形成方法由下述步骤构成：制备在其上具有图案形成区域的基板；将处于未固化状态的所述图案形成材料在不同间距的多个位置上按分散状态设置在所述图案形成区域中；以及在所述图案形成材料变形为与给所述模子设置的所述压印图案的形状相对应的形状的状态下，固化所述图案形成材料。

Description

图案形成方法和图案形成设备

技术领域

本发明涉及一种通过使用给模子(或者模板)设置的压印图案在基板上的图案形成材料上形成图案的图案形成方法，并且还涉及一种图案形成设备。

背景技术

近年来，例如，如Stephan Y.Chou等人在Appl.Phys.Lett.，Vol.67，Issue21，PP.3114-3116(1995)中所提出的那样，用于将设置在模子上的细微结构转印到待加工的构件(例如树脂材料或者金属材料)上的精密加工技术已经开发并且受到人们的关注。该技术称为纳米压印(nanoimprint)技术或者纳米模压(nanoembossing)技术，并且提供在几个纳米数量级上的加工分辨率。由此，人们期望该技术应用于下代半导体制造技术中，代替曝光装置例如分步式投影曝光器、扫描器等。此外，纳米压印技术能够共同加工晶片级的三维结构，从而人们期望该技术应用于诸如光子晶体之类的光学装置的生产技术，以及诸如μ-TAS(微全分析系统)之类的生物芯片的生产技术中。

关于纳米压印技术，在1999年3月美国加利福尼亚州SantaClara市的第24届SPIE微光刻技术国际研讨会的会议学报中：新兴的光刻技术III(第3676卷，第一部分，第379页至第389页)，提出了下述方法。

首先，在石英基板的表面上形成细微结构，以制备模子。

此外，通过将紫外线(UV)可固化的液态树脂材料逐滴地施加到基板的加工区域上来制备工件。

接下来，将模子与工件对准，以使UV可固化的树脂材料填充在模子和基板之间的间隔中。然后，用UV光照射所得到的结构，以固化UV可固化的树脂材料。

最后，从所述工件上除去所述模子。

此外，美国专利申请公开No.US2004/017077提出了一种在模子和基板被控制成其间具有所需距离的状态下固化UV可固化的树脂材料的方法。

在2005年10月日本奈良市的第4届纳米压印和纳米印刷技术国际会议的论文的摘要20P-5-39中，提出了一种滴状树脂材料的施加方法，其中，在填充树脂材料时控制树脂材料的量，以不会导致根据位置由于树脂材料的蒸发而出现过量或不足。在该施加方法中，施加多滴树脂材料，并且在考虑各滴树脂材料的施加顺序和这些滴的蒸发量的情况下在施加过程中调节树脂材料的量，直到各滴被填充为止。

顺便提一下，随着近来日益需要高分辨率的精密加工，为了在填充树脂材料时实现更高精度的加工，甚至在上述压印加工技术被工业应用的情况下，需要防止树脂材料量依赖于位置而过量或不足。例如，当在模子和基板之间填充树脂材料时，由于可固化的液态树脂材料的蒸发、模子的形状、基板的应变等而可能会导致树脂材料依赖于位置而过量或不足，从而导致在某些情况下加工精度降低。

这将在下面通过将上述压印加工技术应用到半导体制造技术中作为例子来进行更具体的描述。

模子具有压印形状(凹凸形状)，例如，其高度(或者深度)为几十个纳米，以作为所需的加工图案。此外，在很多情况下，所述模子会产生波动、应变等。相似的，所述基板也会产生波动、应变等，此外，还通过前一步骤具有其高度为例如几十个纳米的结构。此外，在施加树脂材料滴时，由于树脂材料的蒸发而可能会局部地导致树脂材料的量不同。

从临界尺寸(CD)的角度来看，上述加工技术需要厚度为几十个纳米至几百个纳米的薄层树脂材料。在这种非常小量的树脂材料中，由于上述模子的形状、基板应变、树脂材料蒸发等，在一些情况下会出现局部不充分的树脂材料的填充，或者在树脂材料层的厚度上产生不可接受的不规则性。由此，必需控制树脂材料量，从而不会导致依赖于模子形状、基板应变或者树脂材料蒸发树脂材料量局部过量或不足。关于在填充树脂材料期间由于树脂材料蒸发而导致树脂材料的取决于位置的过量或不足的这种问题，已经知道了例如在上述的第4届纳米压印和纳米印刷技术国际会议的论文的摘要中所述的滴状树脂材料施加方法。

然而，在该方法中，基本上难以连续精确地控制非常小量的液体。此外，该方法伴随有这样的问题，即，导致液体量出错，或者由于对用于防止树脂材料量出错的精确温度控制的条件设置而导致成本增加。

发明内容

鉴于上述问题而实现了本发明。本发明的主要目的在于提供解决上述问题的图案形成方法和图案形成设备。

根据本发明的一个方面，提供一种通过使用给模子设置的压印图案在基板上的图案形成材料上形成图案的图案形成方法，该图案形成方法包括：

制备在其上具有图案形成区域的基板；

将处于未固化状态的图案形成材料在不同间距的多个位置上以分散状态设置在所述图案形成区域中；以及

在所述图案形成材料变形为与给所述模子设置的压印图案的形状相对应的形状的状态下，固化所述图案形成材料。

在所述图案形成方法中，所述图案形成材料可以按相同的量设置在不同间距的所述多个位置的每一个位置上，或者可以按互不相同的量设置在不同间距的所述多个位置上。

根据本发明的另一方面，提供一种实行上述图案形成方法的图案形成设备，该图案形成设备包括：

模子保持部分，用于保持所述模子；

基板保持部分，用于保持所述基板；以及

施加部分，用于将所述图案形成材料施加到所述基板上。

根据本发明的又一方面，提供如下所述的图案转印方法和图案转印设备(1)至(10)。

(1)一种通过在模子和基板之间填充可固化的液态树脂材料并固化该液态树脂材料来将所述模子的形状转印到所述基板上的固化树脂材料上的图案转印方法，其中，控制所述可固化的液态树脂材料的施加位置，从而当在所述模子和所述基板之间填充所述树脂材料时，不会导致树脂材料量的取决于填充位置的过量或不足。

(2)在(1)的图案转印方法中，根据所述树脂材料的蒸发量来控制所述可固化的液态树脂材料的施加位置。

(3)在(1)的图案转印方法中，根据所述模子的形状和/或所述基板的形状来控制所述树脂材料的施加位置。

(4)在(1)的图案转印方法中，根据包括所述树脂材料的蒸发量、所述模子的形状和所述基板的形状的这三个因素的叠加，控制所述树脂材料的施加位置。

(5)在上述(1)至(4)的任何一种图案转印方法中，通过调节在各个施加位置上以相同的量施加的成滴的所述可固化的液态树脂材料的施加位置，控制所述可固化的液态树脂材料的施加位置。

(6)一种通过在模子和基板之间填充可固化的液态树脂材料并固化该液态树脂材料来将所述模子的形状转印到所述基板上的固化树脂材料上的图案转印设备，其中，该图案转印设备包括施加位置控制装置，用于控制所述可固化的液态树脂材料的施加位置，从而当在所述模子和所述基板之间填充所述树脂材料时，不会导致树脂材料量的取决于填充位置的过量或不足。

(7)在(6)的图案转印设备中，所述施加位置控制装置被构造为根据所述树脂材料的蒸发量调节所述可固化的液态树脂材料的施加位置。

(8)在(6)的图案转印设备中，所述施加位置控制装置被构造为根据所述模子的形状和/或所述基板的形状调节所述树脂材料的施加位置。

(9)在(6)的图案转印设备中，所述施加位置控制装置被构造为根据包括所述树脂材料的蒸发量、所述模子的形状和所述基板的形状的这三个因素的叠加来调节所述树脂材料的施加位置。

(10)在上述(6)至(9)的任何一种图案转印设备中，所述施加位置控制装置被构造为调节在各个施加位置上以相同的量施加的成滴的所述可固化的液态树脂材料的施加位置。

在本发明中，为了将给模子设置的压印图案转印到基板上的树脂材料上，可以使用下述方法。即，在给模子设置的压印图案所要转印在其上的基板上的区域中，将处于未固化状态的树脂材料以分散状态设置在基板上的多个位置上，然后使所述树脂材料和所述模子相互接触，随后固化所述树脂材料。在这种情况下，在所述基板上的多个位置中的每一个位置上，以相对于相邻位置的不同间距，所述树脂材料按相同的量设置。

这里，术语“分散(dispersion)状态”也包括其中树脂材料的施加位置的中心处于离散状态的情况。换句话说，在压印操作期间，树脂材料的各个部分不必一定是彼此物理分隔开的，而是可以相互接触。此外，在基板上的所述多个位置中的每一个位置上，树脂材料不必一定按相同的量设置。

根据本发明，在压印操作期间，可以实施控制以使在模子和基板之间插入的树脂材料的量均匀化。

一旦考虑下面结合附图对本发明的优选实施例的描述，本发明的这些和其它目的、特征和优点将更加显而易见。

附图说明

图1是示出在本发明的实施例1中图案转印中的树脂材料施加位置控制的结构实例的示意图。

图2是示出在本发明的实施例1中所施加的液态(可固化的)树脂材料的蒸发速率及其随时间的变化的图。

图3(a)、图3(b)、图4、图5、图6(a)和图6(b)均是示出在本发明的实施例1中树脂材料施加位置控制的结构实例的示意图。

图7是示出在本发明的实施例2中树脂材料施加位置控制的结构实例的示意图。

图8(a)和图8(b)均是示出在本发明的实施例2中在成滴的树脂材料按行施加的情况下，根据模子的形状控制树脂材料施加位置的结构实例的示意图。

图9是示出在本发明的实施例2中在使用变形的基板时树脂材料施加位置的结构实例的示意图。

具体实施方式

(第一实施例)

根据本实施例的用于通过使用给模子设置的压印图案在基板上的图案形成材料上形成图案的一种图案形成方法具有以下特征。

第一，制备其上具有图案形成区域的基板，并且，在图案形成区域上，将处于未固化状态的图案形成材料按分散状态设置在不同间距的多个位置上。至于所述图案形成材料，可以使用光可固化的树脂材料或者热固性树脂材料。

其后，将所述模子和所述基板彼此相对地设置，从而处所述于图案形成材料介入模子和基板之间的状态下。然后，逐渐地减小模子和基板之间的间隙，使得图案形成材料变形为与给模子设置的压印图案的形状相对应的形状，接着固化该图案形成材料。为了固化该图案形成材料，根据作为图案形成材料的树脂材料的特性，用紫外(UV)线进行照射，或者加热。

至于所述模子和所述基板之间的相对位置(在基板的面内方向上)，优选的是在实施位置控制的同时，固化所述图案形成材料。

在图案形成材料以点状的形状设置在所述基板上的多个位置上的情况中，经过预定的时间后，图案形成材料才被放置成与所述模子的压印图案区域的整个表面相对应。

在这种情况下，当图案形成材料包含挥发性组分或者蒸发时，在压印操作期间该区域的面内方向上的图案形成材料量可能会出现过量或不足。

考虑从将图案形成材料设置在基板上的时刻到该图案形成材料随着压印图案的形状而变形为止的一段时间。在需要较短时间段的区域中，以第一间距设置图案形成材料。在需要较长时间段的区域中，以比第一间距短的第二间距设置图案形成材料。结果，当固化所述图案形成材料时，可以进行控制以使在压印图案区域中的面内方向上的图案形成材料的量均匀化。

此外，在压印图案的凸起和凹坑在面内方向上的密度不同的情况下，如果图案形成材料按相同的量以相同的间距分散和放置，则在压印操作期间在面内方向上的图案形成材料的量可能会出现过量或不足。例如，在其中设置多个凹坑的凹区域在比周围区域的平面尺寸大的平面尺寸上连续延伸的情况下，需要大量的图案形成材料设置在凹区域中。在这种情况下，减小在凹区域上布置所述图案形成材料的间距。

因此，在将所述图案形成材料施加到所述基板之前引入读取关于模子的压印图案的信息的步骤、并且密度差超过预定的(预先设置的)阈值的情况下，即，在凹区域以非常大的平面尺寸存在于压印图案区域的情况下，优选的是，减小所述图案形成材料的布置的间距。

用于将作为图案形成材料的树脂材料施加到所述基板上的部件称为分散器。通过在从分散器排出的树脂材料量保持为恒定的值的同时改变树脂材料布置的间距，可以降低在压印操作期间在压印图案区域中的树脂材料量的过量或不足的程度。在本发明中，也可以根据树脂材料在基板上的布置位置来改变每次施加的树脂材料自身的施加量。更具体地说，还优选的是，相同量的图案形成材料设置在基板上的不同间距的所述多个位置中的每一个位置上。此外，可以将图案形成材料按不同的量设置在所述基板上的不同间距的所述多个位置中的每一个上。

至少用下述方式1)和2)以不同的间距设置所述图案形成材料。

1)按点的形状在相邻两点之间以不同的间距施加所述图案形成材料。

2)多个区域之间的间距不同，其中的每个区域由多个点构成。即，在由多个点构成的第一区域上以第一间距设置图案形成材料，在由多个点构成的第二区域上以第二间距设置图案形成材料。

因此，本发明还包括这样一种情况，其中，当在一条线的方向上按分散状态以不同的间距提供上述图案形成材料时，在多条相邻线的相邻点之间以相同的间距提供所述图案形成材料。

在优选实施例中，当作为图案形成材料的液态树脂材料被放置在基板上时，控制液态树脂材料的施加位置。在分散器不能以与模子的压印图案区域的尺寸相对应的平面尺寸一次施加所述树脂材料的情况下，控制图案形成材料的施加位置以在例如第一轴方向上移动所述分散器，同时放置所述图案形成材料。

(第二实施例)

该实施例的图案形成设备是用于通过第一实施例的图案形成方法实现图案形成的设备。具体地说，图案形成设备包括：模子保持部分，用于保持上述模子；基板保持部分，用于保持上述基板；以及施加部分，用于将上述的图案形成材料施加到基板上。在下文的实施例中更加具体地描述图案形成设备的细节。

如上所述，通过利用这样的结构，其控制图案形成材料的施加位置从而较少地导致树脂材料量的取决于位置的过量或不足，当在模子和基板之间填充树脂材料时，可以严格地控制树脂材料量。

此外，在上述实施例中，可以采用基于树脂材料的施加时间和树脂材料的蒸发量之间的关系来调节所述施加位置的结构。结果，即使使用容易蒸发的树脂材料，也可以高精度地局部地控制树脂材料的量，从而实现精密加工。

此外，通过根据模子形状或者基板形状调节树脂材料的施加位置，即使使用具有复杂形状的模子或者变形的基板，也可以高精度地局部地控制树脂材料量，从而允许精密加工。通过在调节所述施加位置而没有调节不容易细微调节的液态树脂材料量的情况下施加所述树脂材料，通过进行控制以不会导致树脂材料量的取决于填充位置的过量或不足，可以实现精密加工。

下文基于实施例描述本发明。

〔实施例1〕

在实施例1中，将描述本发明所应用于其上的图案转印设备中树脂材料的施加位置的结构实例。

图1示出在该实施例中的压力加工设备的结构实例。

如图1所示，在该实施例的图案转印设备中，模子105和基板104彼此相对地设置。模子105由透明材料制成，并且在面向基板104的表面上具有所需的压印图案。模子105通过测压元件106和构件连接外壳101。用于模子105的透明材料可以适当地从石英、蓝宝石、TiO₂、SiN等中选择。模子105的面向基板104的表面通常受到用硅烷耦联剂等处理的脱模处理(release treatment)。

显示器107由透镜系统和CCD(电荷耦合器件)构成，并且获得图像形式的关于模子105、基板104及其间间隔的信息。

在外壳101的与模子105的背面相对的一部分上，设置UV光源108。

基板104通过卡盘103安装在台架102上。台架102具有相对于六个轴(x、y、z、θ、α和β)的可移动方向，并且附着在外壳101上。

分散器109连接成这样，使得它可以与基板104上的任意位置都相对放置。

处理控制电路127提供指令给施加控制电路120、位置检测电路121、曝光量控制电路122、压力检测电路123、压力控制电路124、位置控制电路125和施加位置控制电路126，以进行处理。此外，处理控制电路127接收来自上述电路的输出数据。

施加控制电路120控制所述分散器109，以将光可固化的树脂材料施加到所述基板104上。

位置检测电路121图像处理通过显示器107所获得的图像，以计算模子105和基板104之间的位置关系。

曝光量控制电路122控制UV光源108，以实现曝光。

压力检测电路123根据测压元件106的检测信号和待加工的那一部分的平面尺寸，计算作用在模子105和基板104之间的间隔上的压力。

压力控制电路124控制台架102，使得在模子105和基板104之间的间隔上作用所需的压力。

位置控制电路125控制台架102，使得模子105和基板104在其间具有所需的位置关系。

施加位置控制电路126提供有关控制量的指令给施加控制电路120和位置控制电路125，以控制树脂材料的施加位置。

顺便提一下，各个装置的布置和模式不局限于该实施例中所述的那些，而且还可以修改为其它的结构。例如，模子105可以替代基板104而移动。

接下来，将描述在该实施例中对树脂材料的施加位置的控制。

图2示出所施加的液态树脂材料的蒸发速率及其随时间的变化。

当以液体量L₂施加的树脂材料滴花费t秒才填充这些滴时，由于蒸发，液体量L₂降低为L₁。例如，在施加时树脂材料量为200pl。

图3(a)、图3(b)、图4和图5是示出该实施例的示意图。

在该实施例中，通过考虑所施加的树脂材料的蒸发量来控制施加位置。

图3(a)示出在右手边区域上的树脂材料已蒸发的实例，使得模子105的基准表面301和基板104的基准表面302相互不平行。图3(b)示出这样一种实例，其中，当在模子105和基板104之间的间隔中填充液态树脂材料时，控制所述液态树脂材料的施加位置，以不会导致树脂材料量的取决于填充位置的过量或不足，从而模子105的基准表面301和基板104的基准表面302相互平行。

在该实施例中，为了简单起见，考虑下述情况，其中这样进行液态树脂材料的施加，对每一滴以相同的量成行地布置树脂材料滴401，然后布置多行，每一行具有恒定的宽度w，如图4所示。

首先，基于在图2所示的蒸发量的速率和从施加到填充时所经过的时间之间的均衡，由施加位置控制电路126确定当在基板104和模子105之间的间隔中填充树脂材料时不会导致树脂材料量的取决于填充位置的过量或不足所必要的量，以及树脂材料的施加间距。

例如，在该实施例中，用以下方式确定施加位置。

从图2所示的蒸发曲线可知，直到填充所施加的第k滴树脂材料402的时间表示为t_k，在填充树脂材料的过程中所施加的第k滴树脂材料402的量表示为V(t_k)。此外，加工表面的总面积(平面尺寸)表示为S，并且，在加工之后树脂材料层的平均厚度表示为d。

在这种情况下，用于加工所需的树脂材料的总量(体积)V_all可以用下述公式表示：

V_{all} = Sd = Σ_{k = 1}^{n} V (t_{k}) .

根据该公式，确定满足该公式的树脂材料滴的总数n。如果分数是不可接受的话，则通过直到填充所述树脂材料的时间进行调节。

接下来，第k滴树脂材料402的指配面积S_k可以由下述公式表示：

S_{k} = \frac{V (t_{k})}{d} .

如图4所示，每一行都具有相同的宽度w，从而第k滴树脂材料402的指配宽度l_k可以由下述公式表示：

l_{k} = \frac{S_{k}}{w} = \frac{V (t_{k})}{wd} .

根据该公式，第k滴树脂材料和第k+1滴树脂材料之间的间距确定为(l_k+l_k+1)/2。

基于由此确定的施加位置，施加位置控制电路126提供指令给施加控制电路120和位置控制电路125，从而在控制施加位置的同时，通过使用分散器109和台架102连续地施加相同量的树脂材料滴。

例如，当只注意1行时，如图5所示，从图的右边向左边连续地施加相同量的树脂材料滴401，其施加位置的间距逐渐地增大。因此，施加间距501比施加间距502短，这取决于直到完成施加为止的蒸发量。

在该实施例中，相等的行宽度也可以随着蒸发量变化而变化。此外，在树脂材料不按照平行的行的形状施加的情况下，树脂材料的施加位置可以类似地根据蒸发量来确定。

在该实施例中的上述施加方法也适用于在基板上所施加的树脂材料的量不相同的情况。

图6(a)和图6(b)是示出施加不同量的树脂材料滴601的实例的示意图。

如图6(a)所示，将考虑这样一种情况，其中仅有在基板104的中心处施加的中心滴的量增加，这是由于例如在填充所述树脂材料期间气泡较少地残留在基板104和模子105之间的间隔中。

当在如6(a)所示的树脂材料的施加过程中在考虑蒸发量的情况下控制施加位置时，各个施加位置发生改变，如图6(b)所示。在树脂材料滴601中的标号1至5表示施加的顺序。在考虑蒸发量的情况下进行树脂材料的施加，从而树脂材料滴的布置从左-右和顶-底的对称排列方式(图6(a))改变为其中每一滴在指示箭头的方向上发生偏移的偏移排列方式(6(b))。

接下来，将描述在该实施例中的图案转印步骤。

树脂材料所施加在其上的基板104与模子105相对，并且基板104和模子105相互挤压，以在基板104和模子105之间的间隔中填充树脂材料。此时，通过测压元件106检测挤压压力，并且使用压力检测电路123、压力控制电路124和台架102控制该挤压压力。

接下来，在通过显示器107观察所述基板104和模子105的位置时基板104和模子105之间的位置关系被调整。

然后，用从UV光源108发出的UV光(光线)照射所述树脂材料，以固化在基板104和模子105之间的间隔中的树脂材料。

最后，基板104和模子105彼此移开，以从模子105除去固化树脂材料。

通过上述的加工步骤，模子105的表面压印图案转印(压印)到工件104上的树脂层上。

根据该实施例，即使在由于树脂材料的蒸发而导致液态树脂材料的量减少成问题的情况下，在基板和模子之间的间隔中填充树脂材料时，也可以按照必要的量来填充树脂材料而不会出现树脂材料量的取决于位置的过量或不足。因此，可以进行精密加工。

顺便提一下，关于施加树脂材料的设备结构不局限于在该实施例中所述的设备结构，而是可以适当选择的。例如，也可以使用其它的设备进行树脂材料的施加。

〔实施例2〕

在实施例2中，将描述与实施例1不同的实施树脂材料施加位置控制方法的结构实例。

与实施例1的不同之处在于所述树脂材料施加位置控制方法的结构，从而将仅描述这一部分。

首先，在考虑模子105的形状的情况下，施加位置控制电路126确定，在基板104和模子105之间的间隔中填充树脂材料时，必要量的树脂材料的施加位置，而不会导致树脂材料量的取决于填充位置的过量或不足。

图7是示出该实施例的结构的示意图。

例如，可以用下述方式确定所述施加位置。

与实施例1相似，为了简单起见，将考虑连续地施加相同量(l)的树脂材料滴的情况。

首先，如图7所示，将整个加工区域分成n个部分，其中的每个部分具有相同的平面尺寸。

接下来，例如，在第k区域701中，由该区域701中的模子的形状和树脂材料层的所需厚度得到所必要的树脂材料量U_k。

基于所必要的树脂材料量U_k，所必要的树脂材料滴的数目N_k可以由下述公式表示：

N_{k} = \frac{U_{k}}{l} .

因此，确定第k区域701中的树脂材料施加位置。在这种情况下，也可以通过将第k区域701进一步细分成多个部分来确定树脂材料施加位置。

用于加工所需的总树脂材料量V_all可以由下述公式表示：

V_{all} = Σ_{k = 1}^{n} U_{k} .

基于这样确定的施加位置，施加位置控制电路126提供指令给施加控制电路120和位置控制电路125，从而在控制施加位置的同时使用分散器109和台架102连续地施加相同量的树脂材料滴。此外，与实施例1相似，也可以基于取决于模子形状的每滴树脂材料的指配面积(平面尺寸)来确定所述树脂材料施加位置。

图8(a)和图8(b)均是示出按行的形状施加树脂材料滴的情况的示意图，其中根据模子的形状进行施加位置的控制。

图8(a)示出这样一种实例，其中通过根据模子105的压印图案的凸起或者凹坑的密度差来改变在基板104上的施加位置的密度差，来控制所必要的量，而不会导致树脂材料量的取决于填充位置的过量或不足。在区域801中，所述凸起或凹坑具有大的密度，从而相应地以短间距施加树脂材料。

图8(b)示出这样一种实例，其中通过根据模子105的压印图案的凸起或者凹坑的高度或者深度来改变在基板104上的施加位置的密度差，来控制所必要的量，而不会导致树脂材料量的取决于填充位置的过量或不足。在区域802中，所述凸起或凹坑相比于其它区域具有大的高度或者深度，从而相应地以短间距施加树脂材料。

根据该实施例，即使在模子105具有复杂的形状且将所必要的量的树脂材料定位在各个施加位置上成问题的情况下，也可以实现所必要的量，而不会导致树脂材料量的取决于填充位置的过量或不足。因此，可以进行精密加工。顺便提一下，在由于基板104的应变而导致对每个施加位置定位所必要的树脂材料量有问题的情况下，也可以通过在考虑基板104的形状的情况下控制施加位置来实现所述必要的量，而不会导致树脂材料量的取决于填充位置的过量或不足。因此，可以进行精密加工。

图9是示出在使用变形基板104时树脂材料的施加位置的示意图。

在区域901中，基板104的表面具有凹形的形状，从而，与其它区域中的滴数相比较，该区域中的滴数增加了。

根据该实施例，即使在由于蒸发而导致液态树脂材料量减少成问题的情况下，也可以与实施例1相似的通过将取决于蒸发程度的位置的控制量叠加在取决于模子形状或者基板形状的控制量上，来控制树脂材料施加位置。因此，可以通过实现所必要的量而不会导致树脂材料量的取决于填充位置的过量或不足，来进行精密加工。

虽然就本文所公开的结构描述了本发明，但是，本发明不局限于所阐述的细节，本申请应当覆盖在改进的目的或者下述权利要求的范围内的这种修改或者改变。

Claims

1.一种通过使用具有压印图案的模子在基板上形成图案的图案形成方法，所述图案形成方法包括：

制备在其上具有图案形成区域的基板；

在所述基板上的所述图案形成区域中按相等的量分散液态的可固化树脂材料；

将所述可固化树脂材料变形为与所述压印图案对应的形状；以及

使变形的可固化树脂材料固化，

其中，所述可固化树脂材料被分散在彼此间隔开且平行的多条直线上，并且以逐渐增大的间距接连分散在所述直线中的每一条上，以及

其中，根据所述可固化树脂材料的蒸发量，调整所述间距。

2.如权利要求1所述的图案形成方法，其中，根据所述模子的压印图案的凸起或凹坑的密度差、所述模子的压印图案的凸起或凹坑的深度或高度、或者所述基板的应变，重新调整所述间距。

3.如权利要求1所述的图案形成方法，其中，根据所述可固化树脂材料的蒸发量，调整所述多条直线的行宽度。