CN101067463B - 真空阀驱动器 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种真空阀驱动器。该驱动器使阀关闭件沿调整轴线在真空阀的打开位置与真空阀被气密关闭的位置之间线性移位。还提供了一种包括该真空阀驱动器的真空阀。真空阀驱动器包括：包含气密工作空间的驱动器壳体；工作空间内的活塞，该活塞将工作空间分成第一和第二压力空间；以及至少一个连杆，该连杆以气密的方式从工作空间引导到阀关闭件。根据本发明，提供了在工作空间内平行于调整轴线居中延伸并被引导穿过活塞的静态导向杆以及位于活塞与导向杆之间的精密线性轴承。通过导向杆，活塞在工作空间中被居中地高精度线性引导，从而使接合至活塞的阀关闭件以高精度运动并被压在阀座上，以此避免了金属摩擦所引起的任何颗粒生成。

Description

真空阀驱动器

技术领域

本发明涉及一种真空阀驱动器，以及一种包括真空阀驱动器的真空阀，所述真空阀驱动器用于使阀关闭件沿着调整轴线在真空阀的打开位置与真空阀气密关闭的位置之间线性移位。

背景技术

从现有技术的不同实施例中公知用于基本气密关闭引导通过阀壳体中的开口的流动路径的真空阀。真空闸阀特别用于IC及半导体制造领域，该制造必须在尽可能不存在污染颗粒的保护环境中进行。例如，在半导体晶片或液晶基板的制造工厂中，高灵敏度的半导体元件或液晶元件顺序地通过多个加工室，其中在各个情况下通过一个加工装置对位于加工室内的半导体元件进行加工。在加工室内的加工过程期间以及从加工室到加工室的输送期间，高灵敏度的半导体元件必须总是位于保护环境中，特别是处于无空气环境下。加工室例如通过连接通道彼此连接，可以通过真空闸阀打开加工室，用以将部件从一个加工室输送到下一个，随后气密关闭所述加工室，以执行相应的制造步骤。这些阀由于上述使用领域也称为真空输送阀，并且由于它们的矩形开口截面而也称为矩形闸阀。

从现有技术公知真空阀的完全不同的实施例，特别是它们的密封和驱动技术。根据相应的驱动技术，特别地区分为闸阀(也称为阀门或矩形闸门)与梭阀，现有技术中的关闭和打开通常以两个步骤进行。在第一步骤中，例如在US 6,416,037(Geiser)或US 6,056,266(Blecha)中所公开的那样，在闸阀的情况下，阀关闭件(具体是关闭盘)在开口上基本平行于阀座线性运动，或者例如在US 6,089,537(Olmsted)中所公开的那样，在梭阀的情况下，阀关闭件(具体是关闭盘)在开口上方围绕枢转轴线枢转，从而在关闭盘与阀壳体的阀座之间不发生接触。在第二步骤中，关闭盘通过其关闭侧而被压在阀壳的阀座上，从而气密关闭开口。例如可通过布置在关闭盘的关闭侧上并被压在围绕开口延伸的阀座上的密封环，或者通过阀座上的被关闭盘的关闭侧所压靠的密封环来实现密封。

还公知这样的闸阀，其中通过单个线性运动实现关闭和密封过程。这种阀例如是来自瑞士Haag的VAT Vakuumventile AG的输送阀，已知产品标号为“MONOVAT series 02and 03”，并设计成矩形插阀。例如在US 4,809,950(Geiser)和US 4,881,717(Geiser)中描述了这种阀的设计和操作。上述阀在其壳体内具有密封表面，沿着阀通路的轴线方向看去，该密封表面具有多个区段，它们一个接一个地定位并且通过连续曲线成为横向向外延伸的平整的密封表面区段，作为一个部分但具有多个区段的该密封表面的假想母线与阀通路的轴线平行。密封表面是处理过的。关闭件具有与密封表面对应的用于周向关闭密封件的接触表面。更详细地说，所谓的阀门具有门框和可以由沿其平面可移位的关闭件关闭的门通路。在门通路的区域中设置密封表面，布置在关闭件上的周向关闭密封件在所述关闭件的关闭位置座靠在该密封表面上，该密封表面的笔直的假想母线与门通路的轴线平行。周向关闭的单件密封件具有位于不同平面中的长度和/或形状不同的多个区段，周向关闭的密封件的两个主要区段位于与门通路的轴线成直角的平面中并隔开一距离。密封件的这两个主要区段通过横向区段连接。为了使壳体的密封表面连续，关闭件具有承载周向关闭密封件的对应表面。横向区段和周向关闭密封件是U形。在各个情况下，这些U形横向区段的分支位于一平面中。密封表面的在沿着门通路的轴向看去时一个接一个定位的那些区段变成横向向外延伸的平整的密封表面区段，用以与密封件的主要区段在它们具有与轴线平行的公共笔直母线的区域中接触。这些平整的密封表面区段位于彼此平行并平行于门通路轴线的平面中。因为关闭件由一个部件构成，所以它可受到高加速力，从而该阀也可用于快速紧急关闭。因为可通过单个线性运动实现关闭和密封，所以该阀可非常快速地关闭和打开。

在JP6241344(Buriida Fuuberuto)中描述了对于这种可通过线性运动来关闭的输送阀来说适当的驱动器。此处所述的驱动器具有偏心安装的杠杆，该杠杆用于使其上安装有关闭件的连杆线性移位。

真空阀的驱动器的尺寸对于真空室系统的整体尺寸具有直接影响，因为在某些情况下真空阀布置在靠近的加工室之间。因此期望将驱动器设计成沿流动方向尽可能扁平，使得加工室之间的距离可减小至绝对必要的程度。因此期望将现有技术公知的驱动器设计成用于可通过线性运动关闭的输送阀，使得所述阀可更加扁平。

因为输送阀特别用于高灵敏度半导体元件的生产，所以由阀的致动引起的颗粒生成必须尽可能少。颗粒生成与运动部件(特别是阀关闭件)的导向精度和驱动精度直接相关，这是因为颗粒生成主要是摩擦，特别是阀关闭件、阀壳体与阀座之间的摩擦的结果。然而，还期望阀快速打开和关闭以减少输送次数。由于驱动器和阀关闭件的阻尼不足，会产生不期望的材料接触，从而使颗粒生成增加。由于在半导体工业中改进的新制造工艺，进一步增加了在任何情况下都已经非常高的对于颗粒的低水平的需求。

因此，对于真空阀驱动器的需求看上去与至今仍不能达到的目标相冲突，该真空阀驱动器首先设计成尽可能紧凑，特别是扁平，其次可以进行快速阀致动，而且特征还在于高精度、阻尼线性运动，以保持真空阀中的颗粒生成较低。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种真空阀驱动器，通过该真空阀驱动器使得在通过线性运动而打开和关闭的真空阀中，特别是在真空输送阀中，颗粒生成保持为尽可能低，并且该真空阀驱动器的特征在于减小了外部尺寸，特别是沿流动方向的外部尺寸。

根据本发明的真空阀驱动器用于使阀关闭件(具体是阀盘)沿着调整轴线在所述真空阀的打开位置与该真空阀被气密关闭的位置之间线性移位。所述真空阀特别地采取输送阀的形式，该输送阀可通过线性运动而致动并具有基本矩形的开口截面，例如，如在JP6241344(BurridaFuuberuto)中所描述或公知为“VATMONOVAT series 02and 03”的那样。然而，也可以将根据本发明的阀驱动器应用于另一真空阀，该真空阀的阀关闭件将进行线性移位。调整轴线应被理解成表示进行所述线性运动所沿或所平行的轴线。当然，因此可以有多个平行的调整轴线。所述真空阀驱动器具有包含基本气密的工作空间的驱动器壳体。在该工作空间中布置有可在该工作空间内沿着所述调整轴线移位的活塞。该活塞以这样的方式布置，即，其将所述工作空间分成第一压力空间和第二压力空间，所述压力空间被所述活塞以基本气密的方式分开。为此，所述活塞和所述工作空间具有类似的截面，在所述活塞的外表面与所述工作空间的内表面之间设置基本气密密封横向中间空间的至少一个活塞填密件(packing)或至少一个活塞环。所述活塞和工作空间优选具有细长截面，特别是槽状或椭圆形截面，该截面长度优选是所述截面宽度的至少两倍，特别是至少三倍、四倍或五倍。这样，可以使所述真空阀驱动器形成得非常扁平。在所述活塞上固定至少一个平行于所述调整轴线延伸的连杆。所述至少一个连杆被以气密的方式从所述工作空间引导到所述驱动器壳体的外部区域而到达所述阀关闭件，从而所述活塞与所述阀关闭件接合，并且所述活塞沿着所述调整轴线的运动导致所述阀关闭件沿着所述调整轴线进行相应运动。可以提供多个用于将所述活塞接合到所述阀关闭件的连杆而不是一个连杆，所述连杆不仅可具有圆形截面，而且可具有适于从所述工作空间气密引导至所述外部区域中的任何期望截面。在所述驱动器壳体上设置第一连接部和第二连接部，通过所述连接部可使所述第一压力空间和所述第二压力空间受到气体压力，从而可通过在所述第一压力空间与所述第二压力空间之间产生气体压力差而在所述打开位置与所述关闭位置之间调整布置在所述至少一个连杆上的所述阀关闭件。合适的气体例如是来自气动循环的空气。所述第一连接部和所述第二连接部应抽象地理解成表示所述驱动器的气体接口。可以将该气体接口形成为单个连接部，并且例如可以通过所述驱动器壳体内的至少一个调整阀使压力在所述两个压力空间上分布。还可以将所述两个压力空间中的一个压力空间连接到环境大气并使另一压力空间承受不同的压力，特别是超大气压和减小的压力。这些可选方案同样落入本发明的范围内并被以上表述所涵盖。本发明提供至少一个导向杆，该导向杆静态布置在所述工作空间内并在所述工作空间内平行于所述调整轴线延伸，特别是居中地延伸。所述导向杆通过例如布置在所述活塞中并在内侧上提供防止气体通过的径向密封的导向杆密封件而以基本气密的方式引导穿过所述活塞。在所述活塞与所述导向杆之间布置至少一个精密线性轴承，使得所述活塞以可线性移位的方式相对于所述活塞杆无径向游隙地安装在所述导向杆上。例如可通过位于所述活塞的外表面与所述工作空间的内表面之间的所述横向中间空间中的活塞导向带，以及/或者所述至少一个连杆来防止所述活塞围绕所述活塞杆的旋转。所述导向杆不必具有圆形截面，而是可具有适于线性引导的任何期望截面。

由于通过所述导向杆和所述精密线性轴承高精度地线性引导所述活塞从而引导接合至所述活塞的所述阀关闭件，因此即使在有较大的力作用在所述阀关闭件上的情况下，也可以使所述阀关闭件在所述真空阀中精确地移位，而不会导致所述阀关闭件与所述阀壳体之间的不期望的接触，特别是不会导致所述阀关闭件在所述阀座上的位置歪扭。

所述精密线性轴承例如采取精密线性滑动轴承或精密线性滚动轴承的形式。所述精密线性滑动轴承特别地由布置在所述活塞上并以滑动轴承的形式无游隙地基本径向包围所述导向杆的导向套形成。所述精密线性滚动轴承例如包括固定至所述活塞并包围所述导向杆的导向套，以及将滚动体保持在所述导向杆与所述导向套之间的套筒状分隔件。这里，所述导向套以可线性移位的方式无游隙地径向安装在所述导向杆上。这样的线性滚动轴承通常从现有技术已知。所述分隔件以近似一半的速度跟随所述导向套的冲程。所述滚动体可以采取以围绕所述导向杆并平行于所述调整轴线分布成多个列的多个球体的形式。当然，也可以使用其它精密线性轴承。

本发明的进一步改进提供了两个连杆，所述连杆平行于所述调整轴线延伸，并与特别地位于中央的所述导向杆相对地固定至所述活塞。所述两个连杆从所述工作空间以气密的方式导入所述驱动器壳体的外部区域内而到达所述阀关闭件。

在一实施例中，在所述导向杆内形成通到所述第二压力空间的通道。该通道将所述第二压力空间连接到在所述第一压力空间侧布置在所述驱动器壳体上的所述第二连接部。这样可以将两个连接部都布置在所述驱动器壳体的相同侧上而不会由于额外线路而增加所述驱动器壳体的尺寸。可以省略用于所述第二压力空间的其它常用的横向连接部。这样，因为可从单侧制成所述气体连接部，所以可额外节省构造空间，并且在用于真空室系统中时，允许加工室进行紧密布置。

为了改进所述驱动器的阻尼性能，本发明的基于上述实施例的另一改进提供了气动阻尼。在所述驱动器壳体中布置在所述驱动器壳体的阀侧上的所述第二压力空间中形成阻尼孔。所述导向杆的部分区段被居中并径向间隔地引导通过所述阻尼孔，从而形成朝向所述阀侧关闭而朝向活塞侧敞开的套筒状空间。在所述阻尼孔中活塞侧的内边缘区段上布置阻尼孔密封件。另外，设置绕过所述阻尼孔密封件的流动路径，特别地是从所述阻尼孔通向所述第二压力空间的附加通道。形成在所述导向杆内的所述通道通到所述导向杆的被所述阻尼孔包围的部分区段。在精密线性滚动轴承的情况下，所述导向套、所述阻尼孔、所述阻尼孔密封件以及任选地所述分隔件的尺寸和布置在这里以这样的方式确定，即，使得在从所述真空阀的所述打开位置转变至所述关闭位置时，所述导向套被引入所述阻尼孔，并且在所述阻尼孔密封件与所述导向套之间产生基本径向密封的接触，从而在转变至所述关闭位置时通过借助于所述流动路径(特别是所述附加通道)的气驱(gas displacement)而实现气动阻尼。在所述第一压力空间中形成过大压力从而所述阀向所述真空阀的所述关闭位置的调整速度较大的情况下，在穿过所述导向套之后从而在即将到达所述关闭位置之前在所述阻尼孔中形成反向压力，该反向压力抵抗所述运动并可以借助于所述流动路径(具体是所述附加通道)仅相对较慢地减小。因此，所述阻尼孔用作在即将到达所述关闭位置之前对所述阀关闭件进行制动并防止所述阀关闭件过于迅速地撞击所述阀座的阻尼器。因此可省去否则为制动所述阀关闭件所需的在所述第二压力空间中主动形成的反向压力。

另外，本发明包括一种用于基本气密关闭流动路径的真空阀，特别是输送阀，如JP6241344(Buriida Fuuberuto)或US 4,809,950(Geiser)中所述，该真空阀包括：阀壳体，该阀壳体具有用于所述流动路径的开口(特别是矩形开口)以及阀座；和阀关闭件，该阀关闭件可沿着调整轴线在开启所述开口的打开位置与其中所述真空阀被气密关闭的位置之间线性移位，并且其中所述阀关闭件在所述开口上线性移位从而被压在所述阀座上。根据本发明，所述真空阀包括上述用于使所述阀关闭件沿着所述调整轴线在所述打开位置与所述真空阀被气密关闭的位置之间线性移位的真空阀驱动器。

附图说明

下面参照附图中示意性示出的具体工作示例仅以示例的方式更加详细地描述根据本发明的装置。具体地：

图1以侧剖视图表示处于打开位置的真空阀驱动器；

图2以侧剖视图表示处于关闭位置的真空阀驱动器；

图3表示具有导向套和套筒状分隔件的精密线性滚动轴承的详细视图；

图4表示活塞的平面图；并且

图5表示包括阀壳体、阀关闭件和处于关闭位置的真空阀驱动器的真空阀的立体图。

具体实施方式

以下，在某些情况下一起描述图1至图5，在各个图中已经预先说明的附图标记不再单独描述。图1以横向剖视图表示根据本发明的真空阀驱动器1的可能实施例，该真空阀驱动器1处于完全打开的位置A，在该位置安装在真空阀驱动器1上的阀关闭件2(参照图5)完全打开。图2表示处于关闭位置B的同一真空阀驱动器1。示出的真空阀驱动器1包括包含基本气密的工作空间6的多部件驱动器壳体5。工作空间6在沿着调整轴线3的方向的平面图中具有槽状截面。在工作空间6内以这样的方式布置可沿着调整轴线3移位的活塞7，即，使得活塞7将工作空间6分成位于连接侧30的第一压力空间6a和布置于阀侧29的第二压力空间6b。压力空间6a和6b被活塞7基本气密地分开。为此，活塞7和工作空间6具有彼此对应的截面，在活塞的外表面16与工作空间6的内表面17之间的横向圆周间隙通过围绕活塞7的两个活塞填密件26气密封闭。在该情况下，活塞7和工作空间6具有细长的槽状截面，或者椭圆形截面，该截面的长度X超过截面的宽度Y的两倍(在本情况下超过五倍)，如图4中的活塞7的平面图所示。这样可以使驱动器壳体极其扁平，从而可以节省布置真空阀的空间。

在活塞7上固定两个连杆8和9，它们平行于调整轴线3延伸，并通过一个连杆密封件28a和28b而以气密方式从工作空间6的第二压力空间6b引导至阀侧29，连杆密封件28a和28b均进入驱动器壳体5的外部区域中。在各个情况下，其上可安装阀关闭件2的安装栓23a和23b位于连杆8和9的端部处。为了在阀壳20(参照图5)与周围大气之间形成气密密封，为各个连杆8和9分别设置波纹管导通件24a和24b，如从现有技术所公知的。

通过平行于调整轴线3延伸并位于工作空间6内的中央且连接到驱动器壳体5的静态导向杆11而沿着调整轴线3线性引导活塞7。导向杆11具有圆形截面，但也可以具有任何其它期望的适当截面。两个平行于调整轴线3延伸的连杆8和9与中央导向杆11相对地固定至活塞7，如图4中的平面图所示。这样，两个连杆8和9、导向杆11和调整轴线3彼此平行，导向杆11在连杆8和9之间的中间延伸。中央导向杆11以基本气密的方式引导通过活塞7，布置在活塞7上的呈O形环形式的导向杆密封件27基本防止了在第一压力空间6a与第二压力空间6b之间的气体交换。

用于高精度线性引导活塞7从而还高精度线性引导连杆8和9以及安装在连杆上的阀关闭件2的精密线性滚动轴承12布置在活塞7与导向杆11之间。该精密线性滚动轴承12在图3中更详细地示出，并包括导向套13和套筒状分隔件14，导向套13(特别地通过粘性结合)固定至活塞7并围绕导向杆11。分隔件14以这样的方式将滚动体15保持在导向杆11与导向套13之间，即，使得导向套13无游隙地径向安装在导向杆11上，从而可沿着调整轴线3线性移位。滚动体由多个球体15形成，球体15围绕导向杆11并平行于调整轴线3布置成多个列。该精密线性滚动轴承12通常从现有技术已知。分隔件14以近似一半的速度执行活塞7和导向套13的冲程，从而仅在位置A与B之间的半程运动，从图1和2中分隔件14相对于导向套13的相应位置可清楚看出。安置在工作空间6的相邻内表面17上并平行于活塞填密件26延伸的活塞导向带18以防止活塞7围绕导向杆轴线转动的方式布置在活塞的外表面16上。活塞7由导向杆11在工作空间6中居中地高精度线性引导，使得接合在导向杆11上的阀关闭件2以高精度运动并被压在阀座22(参照图5)上，从而避免了由于不期望摩擦而引起的颗粒生成。

在可选实施例中，使用精密线性滑动轴承来代替精密线性滚动轴承12。在该情况下，省略了分隔件14和滚动体15。导向杆11与导向套13之间的距离应该选择成较小，即，使得布置在活塞7上的导向套13以滑动轴承的方式无游隙地基本径向包围导向杆11，从而实现无游隙的线性安装。

驱动器壳体5上的通向第一压力空间6a的第一连接部10a使得可以向第一压力空间6a施加气体压力，如图1中的箭头所示。为了向第二压力空间6b施加压力，在驱动器壳体5的相同连接侧30上相邻地设置通向第二压力空间6b的第二连接部10b(参照图2中的箭头)，从而可通过在第一压力空间6a与第二压力空间6b之间产生气体压力差而使布置在连杆8和9上的阀关闭件2在打开位置A与关闭位置B之间运动。通过通道19而形成第二连接部10b与第二压力空间6b之间的连接，该通道19通到第二压力空间6b并以纵向孔的形式形成在导向杆11内。在图2中通过箭头表示穿过通道9的流动路径。

在布置于驱动器壳体5的阀侧29上的第二压力空间6b中，在驱动器壳体5中形成阻尼孔31。导向杆11的部分区段居中并径向间隔开地引导通过阻尼孔31，从而形成朝向阀侧29关闭而朝向活塞侧敞开的套筒状空间。在阻尼孔31中活塞侧的内边缘区段上设置呈O形环形式的阻尼孔密封件32。在驱动器壳体5中还设置有附加通道33，该附加通道33从阻尼孔31通向第二压力空间6b，并形成绕过阻尼孔密封件32的流动路径。形成在导向杆11内的通道19通到导向杆11的被阻尼孔31包围的部分区段。导向套13、分隔件14、阻尼孔31和阻尼孔密封件32的尺寸和布置以这样的方式确定，即，在从打开位置A转变至关闭位置B(参照图2)时，导向套13被引入阻尼孔31并且在阻尼孔密封件32与导向套13之间产生基本径向密封的接触。从而，在关闭过程期间在阻尼孔31中暂时形成过大压力，结果使关闭中的阀关闭件2在到达关闭位置B之前由于通过附加通道33的气驱而被制动。这样，上述结构在转变至关闭位置B时提供了气动阻尼，从而即使在快速阀致动时也可以避免对阀关闭件2的损坏和不期望的颗粒生成。

因此，通过导向杆11，活塞7在工作空间6中被居中地线性引导，并在即将到达关闭位置B之前与阻尼孔31结合而被阻尼。此外，因为两个连接部10a和10b都可布置在驱动器壳体5的公共连接侧30上，所以有利于将气体供入第二压力空间6b。

图5表示用于基本气密关闭流动路径F的真空阀4，该真空阀4包括具有用于流动路径F的开口21和阀座22的阀壳体20，并且包括以上已经描述的真空阀驱动器1，其中真空阀4处于关闭位置B。阀关闭件2可沿着调整轴线3(参照图1和2)在开启开口21的打开位置A与真空阀4被气密关闭的位置B之间线性移位，并且阀关闭件在开口21上线性移位从而被压在阀座22上，如图5所示。已经描述的真空阀驱动器1用于使阀关闭件2沿着调整轴线3在打开位置A与气密关闭的位置B之间线性移位。通过波纹管导通件24a和24b，连杆8和9被以气密方式引入阀壳体20并连接到阀壳体20内的阀关闭件2。图5图示了通过根据本发明的真空阀驱动器1而允许的沿着流动路径F的方向的真空阀4的扁平设计，特别是真空阀驱动器1的扁平设计。因此，可以节省真空阀的布置空间并使其布置灵活。

图1和图5表示本发明的可能实施例。当然，本发明不限于该实施例。在本发明的范围内可以对真空阀和真空阀驱动器进行另选设计。

Claims (13)

1.一种真空阀驱动器(1)，该真空阀驱动器(1)用于使阀关闭件(2)沿着调整轴线(3)在真空阀(4)的打开位置(A)与该真空阀被气密关闭的位置(B)之间线性移位，该真空阀驱动器包括：

·包含基本气密的工作空间(6)的驱动器壳体(5)；

·活塞(7)，该活塞(7)可在所述工作空间(6)内沿着所述调整轴线(3)移位，并且以这样的方式布置，即，使该活塞(7)将所述工作空间(6)分成第一压力空间(6a)和第二压力空间(6b)，所述压力空间(6a，6b)被所述活塞(7)以基本气密的方式分开；

·用于沿着所述调整轴线(3)线性引导所述活塞(7)的装置；

·至少一个连杆(8；9)，所述连杆平行于所述调整轴线延伸并固定至所述活塞(7)，并且被以气密的方式从所述工作空间(6)导入所述驱动器壳体(5)的外部区域而到达所述阀关闭件(2)；

·所述驱动器壳体(5)的第一连接部(10a)，该第一连接部(10a)通向所述第一压力空间(6a)，并且通过该第一连接部(10)可向所述第一压力空间(6a)施加气体压力；

·所述驱动器壳体(5)中的第二连接部(10b)，该第二连接部(10b)通向所述第二压力空间(6b)，并且通过该第二连接部(10b)可向所述第二压力空间(6b)施加气体压力，从而布置在所述至少一个连杆(8；9)上的所述阀关闭件(2)可通过在所述第一压力空间(6a)与所述第二压力空间(6b)之间产生的气体压力差而在所述打开位置(A)与所述关闭位置(B)之间运动；

所述真空阀驱动器的特征在于，

用于线性引导所述活塞(7)的装置采取以下形式：

·至少一个静态导向杆(11)，该导向杆(11)连接到所述驱动器壳体(5)并且在所述工作空间(6)内平行于所述调整轴线(3)延伸，并以基本气密的方式引导穿过所述活塞(7)；以及

·至少一个精密线性轴承(12)，该精密线性轴承(12)位于所述活塞(7)与所述导向杆(11)之间。

2.根据权利要求1所述的真空阀驱动器(1)，其特征在于，所述精密线性轴承采取精密线性滑动轴承的形式，该精密线性滑动轴承包括布置在所述活塞(7)上并以滑动轴承的形式无游隙地基本径向包围所述导向杆(11)的导向套。

3.根据权利要求1所述的真空阀驱动器(1)，其特征在于，所述精密线性轴承采取精密线性滚动轴承(12)的形式。

4.根据权利要求3所述的真空阀驱动器(1)，其特征在于，所述精密线性滚动轴承(12)采取以下形式：

·导向套(13)，该导向套(13)布置在所述活塞(7)上并包围所述导向杆(11)，以及

·套筒状分隔件(14)，该分隔件(14)以这样的方式将滚动体(15)保持在所述导向杆(11)与所述导向套(13)之间，即，使得所述导向套(13)以可线性移位的方式无游隙地径向安装在所述导向杆(11)上。

5.根据权利要求4所述的真空阀驱动器(1)，其特征在于，所述滚动体采取围绕所述导向杆(11)并平行于所述调整轴线(3)分布成多个列的多个球体(15)的形式。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的真空阀驱动器(1)，其特征在于，所述活塞(7)和所述工作空间(6)具有细长的截面。

7.根据权利要求6所述的真空阀驱动器(1)，其特征在于，所述活塞(7)和所述工作空间(6)的所述截面的截面长度(X)是截面宽度(Y)的至少两倍。

8.根据权利要求6所述的真空阀驱动器(1)，其特征在于，在所述活塞的外表面(16)上布置安置于所述工作空间(6)的相邻内表面(17)上的活塞导向带(18)，从而防止所述活塞(7)围绕所述导向杆轴线旋转。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的真空阀驱动器(1)，其特征在于，设置了在所述工作空间(6)内居中地延伸的导向杆(11)。

10.根据权利要求9所述的真空阀驱动器(1)，其特征在于，设置了两个连杆(8，9)，所述连杆(8，9)平行于所述调整轴线(3)延伸，并与所述中央导向杆(11)相对地固定至所述活塞(7)，并且从所述工作空间(6)以气密的方式导入所述驱动器壳体(5)的外部区域内而到达所述阀关闭件(2)。

11.根据权利要求1至5中任一项所述的真空阀驱动器(1)，其特征在于，在所述导向杆(11)内形成通到所述第二压力空间(6b)的通道(19)，该通道(19)将所述第二压力空间(6b)连接到在所述第一压力空间(6a)侧布置在所述驱动器壳体(5)上的所述第二连接部(10b)。

12.根据权利要求4或5的真空阀驱动器(1)，其特征在于：

·在所述导向杆(11)内形成通到所述第二压力空间(6b)的通道(19)，该通道(19)将所述第二压力空间(6b)连接到在所述第一压力空间(6a)侧布置在所述驱动器壳体(5)上的所述第二连接部(10b)；

·阻尼孔(31)形成在所述驱动器壳体(5)内布置在所述驱动器壳体(5)的所述阀侧(29)上的所述第二压力空间(6b)中；

·所述导向杆的部分区段居中并径向间隔开地引导通过所述阻尼孔(31)，从而形成朝向所述阀侧(29)关闭而朝向所述活塞侧敞开的套筒状空间；

·阻尼孔密封件(32)布置在所述阻尼孔(31)中所述活塞侧的内边缘区段上；

·设置绕过所述阻尼孔密封件(32)的流动路径；

·形成在所述导向杆(11)内的所述通道(19)通到所述导向杆(11)的被所述阻尼孔(31)包围的部分区段；并且

·所述导向套(13)、所述阻尼孔(31)、所述阻尼孔密封件(32)以及所述分隔件(14)尺寸和布置以这样的方式确定，即，在从所述打开位置(A)转变至所述关闭位置(B)时，使所述导向套(13)被引入所述阻尼孔(31)并且在所述阻尼孔密封件(32)与所述导向套(13)之间产生基本径向密封的接触，从而在转变至所述关闭位置(B)时通过经由所述流动路径的气驱而实现气动阻尼。

13.一种真空阀(4)，该真空阀(4)用于基本气密关闭流动路径(F)，该真空阀(4)包括：

·阀壳体(20)，该阀壳体(20)具有用于所述流动路径(F)的开口(21)以及阀座(22)；和

·阀关闭件(2)，该阀关闭件(2)可沿着调整轴线(3)在开启所述开口(21)的打开位置(A)与其中所述真空阀(4)被气密关闭的位置(B)之间线性移位，并且所述阀关闭件在所述开口(21)上线性移位从而被压在所述阀座(22)上，

所述真空阀的特征在于，

根据权利要求1至12中任一项所述的真空阀驱动器(1)，该真空阀驱动器(1)用于使所述阀关闭件(2)沿着所述调整轴线(3)在所述打开位置(A)与所述气密关闭的位置(B)之间线性移位。

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