CN101041149A - 液滴喷射装置及涂敷体的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供的液滴喷射装置，能防止因弹射到涂敷对象物表面的液滴的表层膜破裂而导致的涂敷体的制造不良。本发明的液滴喷射装置备有：将液滴喷射涂敷到涂敷对象物(2a)上的涂敷部；收容涂敷了液滴的涂敷对象物(2a)的收容室(5a)；将收容室(5a)内的气体排出的排气部(5c)；调节排气部(5c)从收容室(5a)内排出的气体的排气流量的调节部(5d)；以使排气流量逐步变化的方式控制调节部(5d)的控制机构。

Description

液滴喷射装置及涂敷体的制造方法

技术领域

本发明涉及将液滴喷射涂敷到涂敷对象物上的液滴喷射装置、以及涂敷体的制造方法。

背景技术

液滴喷射装置，通常用于制造液晶显示装置、有机EL(ElectroLuminescence)显示装置、电子发射显示装置、等离子显示装置和电泳显示装置等各种显示装置。

液滴喷射装置，备有液滴喷射头(例如喷墨头)和干燥部等。液滴喷射头(例如喷墨头)从若干个喷嘴把液滴(例如墨水)分别朝着涂敷对象物喷射。干燥部使弹射到涂敷对象物上的液滴干燥。该液滴喷射装置，用液滴喷射头将液滴弹射到涂敷对象物上，形成预定图形的点阵，使涂敷对象物上的液滴干燥，例如，制造滤色镜、黑底(滤色镜的框)等的涂敷体。

现有技术中，提出了一种液滴喷射装置，在该液滴喷射装置中，当涂敷对象物的干燥时，用真空干燥使墨水快速地干燥(例如见专利文献1和专利文献2)。该液滴喷射装置的干燥部备有排气部等。该排气部，将收容涂敷了液滴的涂敷对象物的真空腔室等的收容室内的气体排出，使收容室内成为真空。

专利文献1：日本特开2001-235277号公报

专利文献2：日本特开2003-234273号公报

发明内容

但是，若用真空干燥使墨水快速干燥，则会在收容室内产生气流，该气流使涂敷对象物上的墨水表面干燥。因此，在墨水内产生的气体(例如溶剂、水分和溶解的气体等)排出前，在墨水表面形成了薄膜、即表层膜。在该状态，若气体从墨水内产生，该气体使墨水表面的表层膜破裂，墨水从该破裂的部分流出，所以，产生了墨水的飞散、墨水的溢出，造成涂敷体的制造不良。

本发明是鉴于上述问题而作出的，其目的是提供一种能防止因弹射到涂敷对象物上的液滴的表层膜破裂而导致涂敷体制造不良的、液滴喷射装置及涂敷体的制造方法。

本发明实施方式的第1特征是，在液滴喷射装置中，备有：将液滴喷射涂敷到涂敷对象物上的涂敷部；收容涂敷了液滴的涂敷对象物的收容室；将收容室内的气体排出的排气部；调节排气部从收容室内排出的气体的排气流量的调节部；以使排气流量逐步变化的方式控制调节部的控制机构。

本发明实施方式的第2特征是，在液滴喷射装置中，备有涂敷部、收容室和排气部；涂敷部，将液滴喷射涂敷到涂敷对象物上；收容室具有分散板和遮蔽板；该分散板离开涂敷了液滴的涂敷对象物的收容位置，并设有若干个贯通孔；该遮蔽板设在收容位置与分散板之间，能接近或离开收容位置；该收容室将涂敷了液滴的涂敷对象物收容在收容位置；排气部，排出收容室内的气体；收容室具有开口部，该开口部设在包括从分散板的表面到顶面侧的侧面和顶面的面内；排气部，通过开口部排出收容室内的气体。

本发明实施方式的第3特征是，涂敷体的制造方法具有以下步骤：将液滴喷射涂敷到涂敷对象物上；把涂敷了液滴的涂敷对象物收容到收容室内；将收容室内的气体排出；以使从收容室排出的气体的排气流量逐步变化。

本发明实施方式的第4特征是，涂敷体的制造方法具有以下步骤：将液滴喷射涂敷到涂敷对象物上；使涂敷了液滴的涂敷对象物位于收容位置地将其收容到具有分散板和遮蔽板的收容室内，使遮蔽板接近收容着的涂敷对象物；分散板离开涂敷了液滴的涂敷对象物的收容位置，并设有若干个贯通孔；遮蔽板设在收容位置与分散板之间，能接近或离开收容位置；通过设在包括从分散板到顶面侧的侧面和顶面的面内的开口部，排出收容室内的气体。

根据本发明，能防止因弹射在涂敷对象物上的液滴表层膜的破裂而导致的涂敷体制造不良。

附图说明

图1是表示本发明第1实施方式的液滴喷射装置的概略构造的俯视图。

图2是表示图1所示液滴喷射装置备有的涂敷部的概略构造的立体图。

图3是表示图1所示液滴喷射装置备有的干燥部的概略构造的立体图。

图4是表示图3所示干燥部的概略构造的示意图。

图5是说明抽真空时间和真空压之间关系的说明图。

图6是表示图1所示液滴喷射装置的液滴涂敷处理流程的流程图。

图7是表示本发明第2实施方式的液滴喷射装置备有的干燥部的概略构造的示意图。

具体实施方式

(第1实施方式)

下面，参照图1至图6，说明第1实施方式。

如图1所示，第1实施方式的液滴喷射装置1备有：收容作为涂敷对象物的基板2a的基板收容部3、把液滴喷射涂敷到基板2a上的涂敷部4、使涂敷后的基板2a干燥的干燥部5A、收容干燥后的基板2a即涂敷体2b的涂敷体收容部6、和运送部7。该运送部7在这些基板收容部3、涂敷部4、干燥部5A及涂敷体收容部6之间进行基板2a的运送。

基板收容部3具有台架3a和可装卸地安装在该台架3a上的收容架3b。在收容架3b内收容着若干个基板2a。这些基板2a被运送部7分别运送到涂敷部4。

涂敷部4具有墨水涂敷盒4a和墨水供给盒4b。墨水涂敷盒4a把液体墨水作为液滴涂敷到基板2a上。墨水供给盒4b把墨水供给到该墨水涂敷盒4a。在墨水涂敷盒4a上，设有喷射液滴的若干个液滴喷射头8。该涂敷部4，借助各液滴喷射头8，将墨水作为液滴(墨水滴)喷射，在基板2a的表面涂敷例如滤色镜的框图形。另外，涂敷后的基板2a，由运送部7从涂敷部4运送到干燥部5A。

干燥部5A具有收容涂敷后基板2a的真空腔室等的收容室5a等。该干燥部5A将收容室5a内的气体排出，使收容室5a内成为真空，使收容在收容室5a内的涂敷后基板2a上的液滴干燥。

涂敷体收容部6具有台架6a和可装卸地安装在该台架6a上的收容架6b。干燥后的基板2a即涂敷体2b，被运送部7运送到该收容架6b上并加以收容。

运送部7具有可沿上下方向移动的升降轴7a，与该升降轴7a的上端部连接并可在水平面(X-Y平面)内转动的连杆7b、7c，和安装在该连杆7b、7c的前端部的臂7d。该运送部7，进行升降轴7a的升降及连杆7b、7c的转动，从基板收容部3的收容架3b中取出基板2a，运送到涂敷部4，再把涂敷后的基板2a从涂敷部4运送到干燥部5A，载置在干燥部5A内，另外，把干燥后的基板2a即涂敷体2b，从干燥部5A内取出，运送到涂敷体收容部6，载置在收容架6b内。

下面，详细说明涂敷部4。

如图2所示，在涂敷部4，墨水涂敷盒4a和墨水供给盒4b相邻地配置着，一起固定在台架11的上面。

在墨水涂敷盒4a的内部设有：保持基板2a并使该基板2a在X轴方向及Y轴方向移动的基板移动机构12、分别具有液滴喷射头8的三个喷墨头单元13、使这些喷墨头单元13一体地在X轴方向移动的单元移动机构14、清扫各液滴喷射头8的头维护单元15、收容墨水的三个墨水缓冲容器16。

基板移动机构12，由Y轴方向导引板17、Y轴方向移动台18、X轴方向移动台19、和基板保持台20叠置而成。这些Y轴方向导引板17、Y轴方向移动台18、X轴方向移动台19和基板保持台20形成为平板状。

Y轴方向导引板17固定在台架11的上面。在Y轴方向导引板17的上面，沿Y轴方向设有若干个导引槽17a。

Y轴方向移动台18，在其下面设有分别与各导引槽17a卡合的若干个突起部(图未示)，可在Y轴方向移动地设在Y轴方向导引板17的上面。另外，在Y轴方向移动台18的上面，沿X轴方向设有若干个导引槽18a。该Y轴方向移动台18，借助采用进给螺杆和驱动马达的进给机构(图未示)，沿各导引槽17a在Y轴方向移动。

X轴方向移动台19，在其下面设有与各导引槽18a卡合的突起部(图未示)，可在X轴方向移动地设在Y轴方向移动台18的上面。该X轴方向移动台19，借助采用进给螺杆和驱动马达的进给机构(图未示)，沿各导引槽18a在X轴方向移动。

基板保持台20，固定地设在X轴方向移动台19的上面。该基板保持台20备有吸附基板2a的吸附机构(图未示)，借助该吸附机构，将基板2a固定保持在上面。吸附机构例如采用空气吸附机构等。另外，基板保持台20，与X轴方向移动台19一起在Y轴方向移动，可移动到对保持着的基板2a进行墨滴涂敷的涂敷位置(见图1和图2)、和将基板2a装卸到基板保持台20上的载置位置。

单元移动机构14，备有立设在台架11上面的一对支柱21、连接在这些支柱21的上端部之间并在X轴方向延伸的X轴方向导引板22、和可在X轴方向移动地设在该X轴方向导引板22上并支承喷墨头单元13的基板23。

一对支柱21，在X轴方向夹着Y轴方向导引板17地设置着。在X轴方向导引板22的前面，沿X轴方向设有导引槽22a。

基板23，其背面设有与导引槽22a卡合的突起部(图未示)，可在X轴方向移动地设在X轴方向导引板22上。该基板23，借助采用给进螺杆和驱动马达的驱动机构(图未示)，沿导引槽22a在X轴方向移动。在该基板23的前面，安装着三个喷墨头单元13。

各喷墨头单元13垂设在基板23上，分别备有液滴喷射头8。这些液滴喷射头8分别可装卸地安装在各喷墨头单元13的前端。液滴喷射头8具有若干个喷出液滴的喷嘴，从各喷嘴向基板2a喷射液滴。

在喷墨头单元13设有：使液滴喷射头8在垂直于基板2a面的方向、即Z轴方向移动的Z轴方向移动机构13a，使液滴喷射头8在Y轴方向移动的Y轴方向移动机构13b，使液滴喷射头8在θ方向旋转的θ方向旋转机构13c。这样，液滴喷射头8可在Z轴方向及Y轴方向移动，可在θ轴方向旋转。

头维护单元15，设在各喷墨头单元13的移动方向延长线上，离开Y轴方向导引板17。该头维护单元15，用于清扫各喷墨头单元13的液滴喷射头8。当各喷墨头单元13的液滴喷射头8移动到与头维护单元15相向的待机位置时，头维护单元15自动地清扫各液滴喷射头8。

墨水缓冲容器16，利用储存在其内部的墨水的液面与液滴喷射头8的喷嘴面的水头差(水头压)，调节喷嘴前端的墨水的液面(弯液面)。这样，可以防止墨水的漏出、排出不良。

在墨水供给盒4b的内部，可装卸地安装着分别收容墨水的若干个墨水容器24。各墨水容器24借助供给管25，通过墨水缓冲容器16分别与液滴喷射头8连接。即，液滴喷射头8，通过墨水缓冲容器16从墨水容器24接受墨水的供给。

墨水采用水性墨水、油性墨水及紫外线硬化墨水等各种墨水。油性墨水包括例如颜料、溶剂(墨水溶剂)、分散剂、添加剂和表面活性剂等各种成分。在此，要形成滤色镜的框时，采用黑墨水。该框是设在光透过区域(RGB区域)周围的遮光区域。

溶剂，例如是采用以2∶2∶6的比例将PGMEA(丙二醇单乙基醚乙酸酯)、环己酮、BCTAC(二甘醇一丁醚乙酸酯)混合而成的溶剂。PGMEA和环己酮的蒸气压是500Pa(20℃)，BCTAC的蒸气压是1.3Pa(20℃)。

在台架11的内部，设有控制液滴喷射装置1的各部的控制部26、和储存各种程序的存储部(图未示)等。控制部26按照各种程序，进行Y轴方向移动台18的移动控制、X轴方向移动台19的移动控制、基板23的移动控制、Z轴方向移动机构13a的驱动控制、Y轴方向移动机构13b的驱动控制、以及θ方向旋转机构13c的驱动控制等。这样，可以使基板保持台20上的基板2a和各喷墨头单元13的液滴喷射头8的相对位置作各种变化。另外，控制部26按照各种程序，进行干燥部5A的驱动控制及运送部7的驱动控制等。

下面，详细说明干燥部5A。

如图3和图4所示，干燥部5A备有真空腔室等的收容室5a、作为支承部的若干个支承销5b(见图4)、排气部5c和调节部5d。收容室5a收容涂敷后的基板2a。支承销5b可自由突出没入地设在该收容室5a的底面M1上，在突出位置支承着基板2a。排气部5c从收容在收容室5a内的基板2a的下方，将收容室5a内的气体排出。调节部5d用于调节由该排气部5c从收容室5a内排出的气体的排气流量(m³/s)。

收容室5a是箱形，具有可开闭的门31(见图3)。涂敷后的基板2a从该门31被收容到收容室5a内。将门31打开，涂敷后的基板2a被收容到收容室5a内，然后，将该门31关闭以成为气密状态。干燥后，再打开门31，取出干燥后的基板2a即涂敷体2b。另外，收容室5a具有设在其底面M1上的开口部K1。该开口部K1，设在包括收容室5a的底面M1和从收容着的基板2a的表面到底面M1侧的侧面M2的面内。

支承销5b是杆状，在收容室5a的底面M1上设有若干个。这些支承销5b，可自由突出没入地形成在收容室5a的底面M1上，在预定的突出位置、即基板2a的收容位置，共同地支承基板2a。

排气部5c具有排气管32、真空容器33和抽吸部34。排气管32是与收容室5a的底面M1的开口部K1连接的排气路径。真空容器33设在该排气管32中。抽吸部34通过排气管32抽吸收容室5a内的气体。

排气管32，连接在收容室5a的底面M1的大致中央。真空容器33设在调节部5d与抽吸部34之间。该真空容器33，被抽吸部34抽吸为例如5～10kPa的预定真空压，成为真空状态。抽吸部34借助排气管32，通过调节部5d及真空容器33与收容室5a连接。抽吸部34例如采用抽气泵等。该抽吸部34由控制部26驱动控制，通过排气管32抽吸收容室5a内的气体并排出。

调节部5d可以改变排气管32的开口率。该调节部5d由控制部26驱动控制，改变排气管32的开口率。调节部5d例如采用蝶阀、电磁阀等的双位阀等。

该调节部5d，根据控制部26的驱动控制，改变排气管32的开口率，使排气部5c从收容室5a内排出的气体的排气流量逐步变化(逐步开放)，从收容室5a的底面M1的开口部K1排出收容室5a内的气体，使收容室5a内成为真空。这时，控制部26控制调节部5d，使排气流量逐步变化，即，使排气流量比最大排气流量小，当收容室5a内的真空压达到预定的真空压时，使排气流量成为最大排气流量。

这样，例如图5所示，可得到波形A的真空曲线。波形A是改变排气管32的开口率、使排气流量逐步变化、将收容室5a内的气体排出时的波形。波形B是将排气管32的开口率设定为100％(全开)、不改变排气流量、快速地将收容室5a内的气体排出时的波形(比较例)。

首先，由控制部26驱动控制调节部5d，将排气管32的开口率调节为40％。这样，排气管32的开口率为40％，以第1阶段的排气流量，将收容室5a内的气体排出(图5中的100s附近)。

接着，由控制部26驱动控制调节部5d，当真空压例如成为30～50kPa时(从开始抽吸约100s后)，将排气管32的开口率调节为100％(全开)。这样，排气管32的开口率为100％，以第2阶段的排气流量，将收容室5a内的气体排出(图5中的100s附近以后)。该第2阶段的排气流量比第1阶段的排气流量多。

下面，说明该液滴喷射装置1的液滴涂敷处理。液滴喷射装置1的控制部26按照各种程序，执行液滴喷射处理。

如图6所示，控制部26驱动控制运送部7，从基板收容部3的收容架3b中取出基板2a，运送到涂敷部4。把该基板2a载置在涂敷部4的基板保持台20上(步骤S1)。该基板2a借助吸附机构保持在基板保持台20上。另外，基板保持台20在载置位置待机。

接着，控制部26驱动控制涂敷部4，对基板保持台20上的基板2a进行液滴的涂敷(步骤S2)。具体地说，控制部26驱动控制涂敷部4，使基板保持台20从载置位置移动到涂敷位置，使各喷墨头单元13从待机位置移动到与基板2a相向的位置。然后，控制部26驱动控制Y轴方向移动台18和X轴方向移动台19，另外，驱动控制各喷墨头单元13的液滴喷射头8，用各液滴喷射头8将液滴喷射到作为涂敷对象物的基板2a上，进行喷射动作。

这样，各液滴喷射头8，将墨水作为液滴从各喷嘴分别喷射，将这些液滴弹射到移动的基板2a上，依次形成预定图形的点阵。喷射动作结束后，控制部26使各喷墨头单元13返回待机位置，使基板保持台20从涂敷位置移动到载置位置。

然后，控制部26驱动控制运送部7，从在载置位置待机的基板保持台20上取出涂敷后的基板2a，将其运送到干燥部5A，将该基板2a载置到干燥部5A的收容室5a内(步骤S3)。该基板2a在收容室5a内由各支承销5b支承着。

控制部26驱动控制干燥部5A，使干燥部5A的收容室5a内的涂敷后的基板2a干燥(步骤S4)。具体地说，控制部26驱动控制排气部5c，先把真空容器33内形成为例如5～10kPa的预定真空压，然后，驱动控制调节部5d，从收容室5a的底面M1的开口部K1排出收容室5a内的气体，使收容室5a内成为真空。这时，控制部26驱动控制调节部5d，使排气部5c从收容室5a内排出的气体的排气流量逐步变化，即，将排气管32的开口率调节为40％、使排气流量小于最大排气流量，当收容室5a内的真空压达到例如30～50kPa的预定真空压时，将排气管32的开口率调节为100％、使排气流量成为最大排气流量。这样，收容室5a内的真空压如图5所示波形A那样地变化，收容室5a内成为真空状态，涂敷后的基板2a的干燥完成。

然后，控制部26驱动控制运送部7，从干燥部5A的收容室5a内取出干燥后的基板2a即涂敷体2b，将其运送到涂敷体收容部6，将该基板2a载置在涂敷体收容部6的收容架6b内(步骤S5)。

接着，控制部26判断对收容在基板收容部3内的全部基板2a的墨滴涂敷是否已完成(步骤S6)。在此，该判断是通过对涂敷后的基板2a的数目进行计数，看该计数值是否达到预定的值而进行的。当判断为已完成对全部基板2a的墨滴涂敷时(步骤S6的“是”)，结束处理。当判断为未完成对全部基板2a的墨滴涂敷时(步骤S6的“否”)，返回步骤S1的处理，重复上述处理。

如上所述，根据第1实施方式，调节部5d调节排气部5c从收容室5a内排出的气体的排气流量，通过控制调节部5d，使该排气流量逐步变化，可以抑制气流在收容室5a内的产生，所以，可以抑制在弹射到基板2a上的液滴(墨滴)的表面上形成表层膜，可以防止因该表层膜的破裂而导致涂敷体2b的制造不良。

另外，通过控制调节部5d，使排气流量小于最大排气流量，当收容室5a内的真空压成为预定的真空压时，使排气流量成为最大排气流量，这样，可以切实地抑制气流在收容室5a内的产生，可以切实地抑制在弹射到基板2a上的液滴(墨滴)的表面上形成表层膜。

另外，收容室5a具有开口部K1，该开口部K1设在包括从收容着的基板2a的表面到底面M1侧的侧面M2和底面M1的面内。排气部5c通过开口部K1排出收容室5a内的气体，所以，可更加切实地抑制气流在收容室5a内的产生，从而可更加切实地抑制在弹射到基板2a上的液滴(墨滴)的表面上形成表层膜。

(第2实施方式)

下面，参照图5和图7说明本发明的第2实施方式。

本发明的第2实施方式，基本上与第1实施方式相同。在第2实施方式中，只说明与第1实施方式的不同点。与第1实施方式中相同的部分注以相同标记，其说明从略。

如图7所示，干燥部5B备有真空腔室等的收容室5a、作为支承部的若干个支承销5b、排气部5c和调节部5d。收容室5a收容涂敷后的基板2a。支承销5b可自由突出没入地设在该收容室5a的底面M1上，在突出位置支承着基板2a。排气部5c从收容在收容室5a内的基板2a的上方，将收容室5a内的气体排出。调节部5d用于调节该排气部5c从收容室5a内排出的气体的排气流量(m³/s)。

在收容室5a内，设有分散板41、遮蔽板42和移动部43。分散板41离开收容着涂敷后的基板2a的收容位置，并具有若干个贯通孔41a。遮蔽板42设在收容位置与分散板41之间，可接近或离开收容位置。移动部43使该遮蔽板42朝着接近或离开被各支承销5b支承着的基板2a的方向移动。另外，收容室5a具有设在其顶面M3上的开口部K2。该开口部K2，设在包括收容室5a的顶面M3和从分散板41的表面到顶面M3侧的侧面M2的面内。

分散板41将收容室5a内分隔为上侧空间和下侧空间。在该分散板41上，形成了例如四边形的贯通孔41a。分散板41例如采用冲孔板等。在收容室5a的上侧空间，连接着排气部5d，在下侧空间，收容着涂敷后的基板2a。

遮蔽板42，可在涂敷后的基板2a的收容位置、即被各支承销5b支承着的基板2a与分散板41之间移动，可以接近或离开该基板2a。遮蔽板42例如采用玻璃板等。排气部5c进行排气时，遮蔽板42位于接近基板2a的接近位置。这时的遮蔽板42与基板2a的离开距离(间隙)是例如5～10mm左右。

移动部43支承着遮蔽板42，使该遮蔽板42朝着接近或离开基板2a的方向移动。这样，遮蔽板42在基板2a的收容位置与分散板41之间，沿上下方向移动。该移动部43由控制部26驱动控制。另外，排气部5c进行排气时，移动部43使遮蔽板42接近基板2a，使遮蔽板42与基板2a之间的离开距离为例如5～10mm左右。另外，运送部7进行运送时，移动部43使遮蔽板42以不妨碍运送部7的运送动作的方式离开基板2a。

排气部5c具有排气管44、真空容器45和抽吸部46。排气管44是与收容室5a的顶面M3的开口部K2连接的排气路径。真空容器45设在该排气管44中。抽吸部46通过排气管44抽吸收容室5a内的气体。

排气管44，连接在收容室5a的顶面M3的大致中央。真空容器45设在调节部5d与抽吸部46之间。该真空容器45，被抽吸部46抽吸为例如5～10kpa的预定真空压，成为真空状态。抽吸部46借助排气管44，通过调节部5d及真空容器45与收容室5a连接。抽吸部46例如采用抽气泵等。该抽吸部46由控制部26驱动控制，通过排气管44抽吸收容室5a内的气体，进行排气。

调节部5d可以改变排气管44的开口率。该调节部5d由控制部26驱动控制，改变排气管44的开口率。调节部5d例如采用蝶阀、电磁阀等的开闭阀等。

该调节部5d，根据控制部26的驱动控制，将排气管44的开口率调节为100％(全开)，使排气部5c从收容室5a内排出的气体的排气流量成为最大排气流量，从收容室5a的顶面M3的开口部K2快速排出收容室5a内的气体，使收容室5a内成为真空。这时，控制部26驱动控制调节部5d，使排气流量成为最大排气流量。这样，例如图5所示，可得到波形B的真空曲线。

液滴喷射装置1的液滴涂敷处理流程与第1实施方式相同(见图6)。在图6中的步骤S4中，控制部26驱动控制干燥部5B，使干燥部5B的收容室5a内的涂敷后的基板2a干燥(步骤S4)。具体地说，控制部26先驱动控制移动部43，使遮蔽板42接近基板2a，直至收容在收容位置的基板2a与遮蔽板42之间的离开距离为例如5～10mm左右。然后，控制部26驱动控制排气部5c，将真空容器45内形成为例如5～10kPa的预定真空压，然后，驱动控制调节部5d，从收容室5a的顶面M3的开口部K2排出收容室5a内的气体，使收容室5a内形成为真空。这时，控制部26驱动控制调节部5d，将排气管44的开口率调节为100％，使排气流量成为最大排气流量。这样，收容室5a内的真空压，如图5所示的波形B那样地变化，收容室5a内成为真空状态，涂敷后的基板2a的干燥完成。

如上所述，根据第2实施方式，把具有若干个贯通孔41a的分散板41设在收容室5a内，在该分散板41的下方设置遮蔽板42，将涂敷后的基板2a位于遮蔽板42的下方，接近遮蔽板42地收容着，从分散板41的上方排出收容室5a内的气体，这样，可以抑制气流在收容室5a内的产生，所以，可以抑制在弹射到基板2a上的液滴(墨滴)的表面上形成表层膜，可以防止因该表层膜的破裂而导致涂敷体2b的制造不良。

(其它实施方式)

本发明并不局限于上述实施方式，在不脱离其主旨的范围内，可以作各种变更。

例如，在前述的第1实施方式中，是如下控制调节部5d的：使排气流量小于最大排气流量，当收容室5a内的真空压达到预定的真空压时，使排气流量成为最大排气流量。但并不限定于此，例如，也可以这样地控制调节部5d：使排气流量反复变化，当收容室5a内的真空压达到预定的真空压时，使排气流量成为最大排气流量。这时，调节部5d先将排气管32的开口率反复地变更为100％(全开)和0％(全闭)，然后，将排气管32的开口率调节为100％、使排气流量成为最大排气流量。这时，控制部26进行例如PWN(脉冲持续时间调制)控制等，控制调节部5d，使排气管32的开口率反复地变更为100％和0％，成为所需的排气流量曲线。

另外，在前述第1实施方式中，将排气流量分为两个阶段地排出收容室5a内的气体，但并不限定于此，例如也可以将排气流量分为三或四个阶段地排出收容室5a内的气体。另外，初期的排气流量，设定为比其它的排气流量少。

另外，在前述第1实施方式中，调节部5d采用开闭阀，但并不限定于此，例如也可以采用双联泵等。

另外，在前述第1实施方式中，是将排气管32连接在收容室5a的底面M1上，但并不限定于此，例如，也可以连接在从收容着的基板2a的表面到底面M1侧的侧面M2上。另外，在第1实施方式中，是将一根排气管32与收容室5a连接，通过该排气管32，用抽吸部34排出收容室5a内的气体。但并不限定于此，例如，也可以将两根排气管32与收容室5a连接，通过这些排气管32，用抽吸部34排出收容室5a内的气体。这时，两根排气管32配置在不产生促进墨水表面形成表层膜的气流的位置。

另外，在前述第2实施方式中，是将排气管44连接在收容室5a的顶面M3上，但并不限定于此，例如，也可以连接在从分散板41的表面到顶面M3侧的侧面M2上。另外，在第2实施方式中，是将一根排气管44与收容室5a连接，通过该排气管44，用抽吸部46排出收容室5a内的气体。但并不限定于此，例如，也可以将两根排气管44与收容室5a连接，通过这些排气管44，用抽吸部46排出收容室5a内的气体。这时，两根排气管44，配置在不产生促进墨水表面形成表层膜的气流的位置。

Claims (10)

1.一种液滴喷射装置，其特征在于，备有：

将液滴喷射涂敷到涂敷对象物上的涂敷部；

收容涂敷了上述液滴的上述涂敷对象物的收容室；

将上述收容室内的气体排出的排气部；

调节上述排气部从上述收容室内排出的上述气体的排气流量的调节部；

以使上述排气流量逐步变化的方式控制上述调节部的控制机构。

2.如权利要求1所述的液滴喷射装置，其特征在于，上述控制机构控制上述调节部，使上述排气流量小于最大排气流量，当上述收容室内的真空压达到预定的真空压时，使上述排气流量成为上述最大排气流量。

3.如权利要求1所述的液滴喷射装置，其特征在于，上述控制机构控制上述调节部，使上述排气流量反复变化，当上述收容室内的真空压达到预定的真空压时，使上述排气流量成为最大排气流量。

4.如权利要求1、2或3所述的液滴喷射装置，其特征在于，上述收容室具有开口部，该开口部设在包括从收容着的上述涂敷对象物的表面到底面侧的侧面和上述底面的面内，

上述排气部通过上述开口部排出上述收容室内的气体。

5.一种液滴喷射装置，其特征在于，备有涂敷部、收容室和排气部；

上述涂敷部，将液滴喷射涂敷到涂敷对象物上；

上述收容室具有分散板和遮蔽板；该分散板离开涂敷了上述液滴的上述涂敷对象物的收容位置，并设有若干个贯通孔；该遮蔽板设在上述收容位置与上述分散板之间，能接近或离开上述收容位置；该收容室将涂敷了上述液滴的上述涂敷对象物收容在上述收容位置；

上述排气部，排出上述收容室内的气体；

上述收容室具有开口部，该开口部设在包括从上述分散板的表面到顶面侧的侧面和上述顶面的面内；

上述排气部，通过上述开口部排出上述收容室内的气体。

6.一种涂敷体的制造方法，其特征在于，具有以下步骤：

将液滴喷射涂敷到涂敷对象物上；

把涂敷了上述液滴的上述涂敷对象物收容到收容室内；

将上述收容室内的气体排出；

使从上述收容室内排出的上述气体的排气流量逐步变化。

7.如权利要求6所述的涂敷体的制造方法，其特征在于，在使上述排气流量逐步变化的步骤中，使上述排气流量小于最大排气流量，当上述收容室内的真空压达到预定的真空压时，使上述排气流量成为上述最大排气流量。

8.如权利要求6所述的涂敷体的制造方法，其特征在于，在使上述排气流量逐步变化的步骤中，使上述排气流量反复变化，当上述收容室内的真空压达到预定的真空压时，使上述排气流量成为最大排气流量。

9.如权利要求6、7或8所述的涂敷体的制造方法，其特征在于，在上述形成真空的步骤中，通过上述收容室的开口部，排出上述收容室内的气体，上述开口部设在包括从收容在上述收容室内的上述涂敷对象物表面到底面侧的侧面和上述底面的面内。

10.一种涂敷体的制造方法，其特征在于，具有以下步骤：

将液滴喷射涂敷到涂敷对象物上；

使涂敷了上述液滴的上述涂敷对象物位于收容位置地将其收容到具有分散板和遮蔽板的收容室内，使上述遮蔽板接近收容着的上述涂敷对象物；上述分散板离开涂敷了上述液滴的上述涂敷对象物的上述收容位置，并设有若干个贯通孔；上述遮蔽板设在上述收容位置与上述分散板之间，能接近或离开上述收容位置；

通过设在包括从上述分散板到顶面侧的侧面和上述顶面的面内的开口部，排出上述收容室内的气体。

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