KR20110035882A - 잉크젯 도포 장치 및 잉크젯 도포 방법 - Google Patents

Abstract

스페이서 입자 분산액의 도포 동작과 잉크젯 헤드의 세정 동작을 보다 단시간에 연속적으로 실행하는 것이 가능한 잉크젯 도포 장치 및 잉크젯 도포 방법을 제공한다.
투명 기판(1)을 지지한 테이블(11)이 반입 반출 위치로부터 도포 위치를 향해 이동하고, 갠트리(13)에 있어서의 잉크젯 헤드에 의해 투명 기판(1)의 표면에 스페이서 입자 분산액을 도포하며, 스페이서 입자 분산액을 도포 후의 투명 기판(1)을 지지한 테이블(11)이 도포 위치로부터 반입 반출 위치로 이동하는 일련의 도포 동작과, 세정부(22)가 대기 위치로부터 세정 위치를 향해 이동하고, 세정부(22)에 의해 각 잉크젯 헤드를 세정하며, 세정부(22)가 세정 위치로부터 대기 위치로 이동하는 일련의 세정 동작을, 서로 중복하여 실행시킨다.

Description

잉크젯 도포 장치 및 잉크젯 도포 방법{INKJET APPLYING APPARATUS AND INKJET APPLYING METHOD}

본 발명은, 액정 표시 장치의 제조 시에, 기판 상에 잉크젯 방식에 의해 스페이서 입자를 분산시킨 스페이서 입자 분산액을 도포함으로써, 스페이서 입자를 포함하는 스페이서 영역을 형성하기 위한 잉크젯 도포 장치 및 잉크젯 도포 방법에 관한 것이다.

액정 표시 장치는, 2장의 기판 사이에, 투명 전극, 컬러 필터 및 블랙 매트릭스가 배치되고, 또한 투명 전극간의 공간에 액정이 봉입된 구성을 갖는다. 이 때에, 2장의 기판의 간격을 규제하여, 액정층의 두께를 적정하게 하기 위해, 스페이서가 형성된다.

종래, 이 스페이서는, 포토리소그래피법을 이용하여 형성되어 있었는데, 마스크를 사용한 공정이 필요해져 작업 공정이 번잡해질 뿐만 아니라, 재료의 사용 효율이 나쁘다는 문제가 있다. 이 때문에, 기판에 잉크젯 방식으로 스페이서 입자를 분산시킨 스페이서 입자 분산액을 토출함으로써, 스페이서 입자로 스페이서를 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법이 제안되어 있다(특허문헌 1 참조).

그런데, 이러한 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서는, 잉크젯 도포 장치가 사용된다. 즉, 다수의 토출구를 구비한 잉크젯 헤드를 복수 개 나열 설치한 잉크젯 헤드 유닛을, 액정 표시 장치용의 투명 기판에 대해 상대 이동시켜, 그들 잉크젯 헤드로부터 투명 기판에 스페이서 입자를 분산시킨 스페이서 입자 분산액을 토출시킴으로써, 투명 기판의 표면에 스페이서 입자를 포함하는 스페이서 영역을 형성하고 있다.

이러한 잉크젯 도포 장치에 있어서는, 미세한 스페이서 입자 분산액의 액적을 연속적으로 대량으로 토출하는 구성인 점에서, 잉크젯 헤드가 오염되기 쉽다. 특히, 주액적과는 별도로 발생하는 비말과 같은 액적이 기류의 영향을 받아, 잉크젯 헤드의 하면에 부착됨으로써, 잉크젯 헤드의 오염이 발생하는 것으로 생각된다. 이러한 오염이 발생하였을 때에는, 일부의 토출구로부터 스페이서 입자 분산액이 토출되지 않는 노즐 결함이나, 토출되는 스페이서 입자 분산액의 액적의 방향이 변화하는 비상 굽어짐 현상이 발생한다. 이 때문에, 잉크젯 헤드 유닛을 일정 시간마다 세정할 필요가 생긴다.

종래의 일반적인 잉크젯 프린터에 있어서는, 전원의 투입 시에 헤드의 클리닝 동작을 행하거나, 사용자가 인쇄물의 상태를 육안으로 관찰하여, 필요에 따라 헤드의 클리닝 동작을 행하거나 하고 있다.

그러나, 상술한 액정 표시 장치의 제조 시에 사용되는 잉크젯 도포 장치 등의 산업용의 잉크젯 도포 장치에 있어서는, 헤드의 세정 동작을 실행하기 위해서는, 비교적 긴 시간이 필요해지므로, 장치의 생산성이 저하한다는 문제가 있다.

이 때문에, 이러한 산업용의 잉크젯 도포 장치에 있어서, 기판의 수도(受渡) 및 이 기판과 잉크젯 헤드의 상대 높이 조정을, 잉크젯 헤드의 헤드 클리닝과 병행하여 실행하는 컬러 필터 제조 장치도 제안되어 있다(특허문헌 2 참조).

[특허문헌 1] 일본국 특허공개 2005-4094호 공보 [특허문헌 2] 일본국 특허공개 2000-56116호 공보

최근의 액정 표시 장치의 대형화에 따라, 액정 표시 장치의 제조 시에 사용되는 잉크젯 도포 장치도 대형화하고 있다. 이 때문에, 이러한 잉크젯 도포 장치에 있어서는, 기판을 지지하는 테이블이나, 잉크젯 헤드를 세정하기 위한 세정부의 이동 거리도 커지고, 도포 동작이 종료하고 잉크젯 헤드의 세정 동작을 개시한 후, 세정 동작이 종료하고 다음의 도포 동작을 개시할 때까지의 동안에, 긴 시간을 요한다는 문제가 발생한다.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 스페이서 입자 분산액의 도포 동작과 잉크젯 헤드의 세정 동작을 보다 단시간에 연속적으로 실행하는 것이 가능한 잉크젯 도포 장치 및 잉크젯 도포 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

청구항 1에 기재된 발명은, 액정 표시 장치의 제조 시에, 기판간에 스페이서 입자를 개재시킴으로써 액정층 봉입용 갭을 형성하기 위해, 기판 상에 스페이서 입자를 분산시킨 스페이서 입자 분산액을 도포함으로써, 스페이서 입자를 포함하는 스페이서 영역을 형성하는 잉크젯 도포 장치로서, 다수의 스페이서 입자 분산액의 토출구가 나열 설치되고, 상기 토출구로부터 기판에 대해 잉크젯 방식으로 스페이서 입자 분산액을 토출함으로써, 기판의 표면에 스페이서 입자 분산액을 도포하는 잉크젯 헤드와, 기판을 지지하는 테이블과, 상기 테이블을, 당해 테이블에 기판을 반입 반출하기 위한 반입 반출 위치와, 상기 잉크젯 헤드에 의해 상기 테이블에 유지된 기판의 표면에 스페이서 입자 분산액을 도포하기 위한 상기 잉크젯 헤드와 대향하는 도포 위치의 사이에서 왕복 이동시키는 테이블 이동 기구와, 상기 잉크젯 헤드를 세정하는 세정부와, 상기 세정부를, 당해 세정부가 상기 잉크젯 헤드와 대향하는 세정 위치와, 상기 세정부가 상기 잉크젯 헤드로부터 상기 반입 반출 위치와는 반대측으로 이격한 대기 위치의 사이에서, 상기 테이블 이동 기구에 의한 테이블의 이동 방향과 동일 방향으로 왕복 이동시키는 세정부 이동 기구를 구비하며, 기판을 지지한 테이블이 상기 반입 반출 위치로부터 상기 도포 위치를 향해 이동하고, 상기 잉크젯 헤드에 의해 상기 테이블에 지지된 기판의 표면에 스페이서 입자 분산액을 도포하여, 상기 스페이서 입자 분산액을 도포 후의 기판을 지지한 테이블이 상기 도포 위치로부터 상기 반입 반출 위치로 이동하는 일련의 도포 동작과, 상기 세정부가 상기 대기 위치로부터 상기 세정 위치를 향해 이동하고, 상기 세정부에 의해 상기 잉크젯 헤드를 세정하여, 상기 세정부가 상기 세정 위치로부터 상기 대기 위치로 이동하는 일련의 세정 동작을, 서로 중복하여 실행시키는 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 테이블 이동 기구는, 상기 세정부가 세정 동작을 완료하여 상기 세정 위치로부터 상기 대기 위치로 이동을 개시하기 전에, 상기 테이블을 상기 반입 반출 위치로부터 상기 도포 위치로 이동시킴과 더불어, 상기 세정부 이동 기구는, 상기 잉크젯 헤드에 의한 스페이서 입자 분산액의 도포 동작을 종료하여 상기 테이블이 상기 도포 위치로부터 상기 반입 반출 위치로 이동하기 전에, 상기 세정부를 상기 대기 위치로부터 상기 세정 위치로 이동시킨다.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 2에 기재된 발명에 있어서, 상기 테이블 이동 기구는, 상기 테이블과 상기 세정부가, 서로 간섭하지 않도록 한계 접근 거리보다 크게 서로 이격하도록 상기 테이블을 이동시킴과 더불어, 상기 세정부 이동 기구는, 상기 테이블과 상기 세정부가, 서로 간섭하지 않도록 한계 접근 거리보다 크게 서로 이격하도록 상기 세정부를 이동시킨다.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 3에 기재된 발명에 있어서, 상기 잉크젯 헤드는, 상기 테이블 이동 기구에 의한 상기 테이블의 이동 스트로크의 대략 중앙부에 배치되어 있으며, 상기 테이블 이동 기구에 의한 상기 테이블의 이동 속도와, 상기 세정부 이동 기구에 의한 세정부의 이동 속도는 동일하다.

청구항 5에 기재된 발명은, 액정 표시 장치의 제조 시에, 기판간에 스페이서 입자를 개재시킴으로써 액정층 봉입용 갭을 형성하기 위해, 다수의 스페이서 입자 분산액의 토출구가 나열 설치되고, 상기 토출구로부터 기판에 대해 잉크젯 방식으로 스페이서 입자 분산액을 토출함으로써, 기판의 표면에 스페이서 입자 분산액을 도포하는 잉크젯 헤드를 사용하여, 기판 상에 스페이서 입자를 분산시킨 스페이서 입자 분산액을 도포함으로써, 스페이서 입자를 포함하는 스페이서 영역을 형성하는 잉크젯 도포 방법으로서, 상기 기판을 지지한 테이블을, 당해 테이블에 기판을 반입 반출하기 위한 반입 반출 위치로부터 상기 잉크젯 헤드와 대향하는 도포 위치까지 이동시키고, 상기 기판에 스페이서 입자 분산액을 도포하는 도포 공정과, 상기 도포 공정에서 스페이서 입자 분산액이 도포된 기판을 지지한 테이블을, 상기 도포 위치로부터 상기 반입 반출 위치까지 반송하는 테이블 이동 공정과, 상기 잉크젯 헤드를 세정하는 세정부를, 상기 반입 반출 위치와는 반대측으로 이격한 대기 위치로부터 상기 세정부가 상기 잉크젯 헤드와 대향하는 세정 위치까지 이동시켜, 상기 잉크젯 헤드를 세정하는 세정 공정과, 상기 세정부를, 상기 세정 위치로부터 상기 대기 위치까지 이동시키는 세정부 이동 공정을 구비하며, 상기 테이블 이동 공정과 상기 세정 공정을 중복시켜 실행함과 더불어, 상기 세정부 이동 공정과 상기 테이블 이동 공정을 중복하여 실행한다.

청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 5에 기재된 발명에 있어서, 상기 테이블 이동 공정을 개시하기 이전이며, 상기 테이블과 상기 세정부가, 서로 간섭하지 않는 한계 접근 거리보다 크게 서로 이격하는 상태를 유지 가능해졌을 때에, 상기 세정 공정을 개시함과 더불어, 상기 세정부 이동 공정을 개시하기 이전이며, 상기 테이블과 상기 세정부가, 서로 간섭하지 않는 한계 접근 거리보다 크게 서로 이격하는 상태를 유지 가능해졌을 때에, 상기 도포 공정을 개시한다.

청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 6에 기재된 발명에 있어서, 상기 잉크젯 헤드는, 상기 테이블 이동 공정에 있어서의 상기 테이블의 이동 스트로크의 대략 중앙부에 배치되어 있으며, 상기 테이블 이동 공정과 상기 세정부 이동 공정에서는, 상기 테이블과 상기 세정부를 동일한 이동 속도로 이동시킨다.

청구항 1 내지 청구항 7에 기재된 발명에 의하면, 스페이서 입자 분산액의 도포 동작과 잉크젯 헤드의 세정 동작을 중복하여 실행함으로써, 보다 단시간에 전체의 공정을 완료할 수 있다. 이 때문에, 장치의 생산성을 향상시키는 것이 가능해진다.

청구항 4 및 청구항 7에 기재된 발명에 의하면, 잉크젯 헤드가 테이블의 이동 스트로크의 대략 중앙부에 배치되어 있으므로, 스페이서 입자 분산액의 도포 동작을 실행하기 위해 필요한 테이블의 이동 스트로크를 최소로 하여 장치의 설치 스페이스를 작게 하는 것이 가능해진다. 그리고, 테이블과 세정부의 이동 속도가 동일하므로, 테이블과 세정부의 어느 쪽을 먼저 이동시킨 경우에서도, 그들의 간격을 용이하게 최저 접근 거리 이상으로 유지하는 것이 가능해진다.

도 1은, 표면에 스페이서 입자 분산액이 토출된 후의 투명 기판(1)의 일부를 나타낸 부분 표면도이다.
도 2는, 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치의 사시도이다.
도 3은, 갠트리(13)를 그 하면에서 본 사시도이다.
도 4는, 잉크젯 헤드 유닛(12)을 그 하면에서 본 사시도이다.
도 5는, 잉크젯 헤드(18)의 일부를 그 하면에서 본 사시도이다.
도 6은, 잉크젯 헤드 유닛(12)의 이동 기구를 나타낸 사시도이다.
도 7은, 투명 기판(1)에 있어서의 블랙 매트릭스(7)의 피치와 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 배치의 관계를 나타낸 설명도이다.
도 8은, 세정부(22)의 사시도이다.
도 9는, 세정부(22)의 사시도이다.
도 10은, 세정부(22)를 세정부 이동 기구와 함께 나타낸 사시도이다.
도 11은, 회전 테이블(36)을 떼어내어 본 세정부(22) 부근의 사시도이다.
도 12는, 세정 유닛(31)을 확대하여 나타낸 사시도이다.
도 13은, 베이스부(63)에 형성된 세정액 토출구(62)와 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 배치 관계를 나타낸 설명도이다.
도 14는, 베이스부(63) 상에 배치된 접촉 블록(65)의 사시도이다.
도 15는, 접촉 블록(65)과 잉크젯 헤드(18)의 하면의 맞닿음 상태를 나타낸 단면도이다.
도 16은 세정 유닛(31)의 승강 기구를 나타낸 개요도이다.
도 17은, 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치의 주요한 전기적 구성을 나타낸 블록도이다.
도 18은, 본 발명의 기본적인 개념을 나타낸 설명도이다.
도 19는, 기판 반송 아암(91)과, 테이블(11)과, 세정부(22)의 이동 동작을 나타낸 타임차트이다.
도 20은, 테이블(11)이 스페이서 입자 분산액의 도포를 끝내고 이동 스트로크의 종단 P3으로부터 반입 반출 위치 P5로 이동함과 더불어, 세정부(22)가 대기 위치 P6으로부터 세정 위치 P7로 이동하는 동작을 나타낸 설명도이다.
도 21은, 테이블(11)과 세정부(22)의 위치를, 시간의 경과와 함께 나타낸 타임차트이다.
도 22는, 세정부(22)가 세정 동작을 끝내고 세정 위치 P7로부터 대기 위치 P6으로 이동함과 더불어, 테이블(11)이 반입 반출 위치 P5로부터 이동 스트로크의 종단 위치 P3으로 이동하는 동작을 나타낸 설명도이다.
도 23은, 테이블(11)과 세정부(22)의 위치를, 시간의 경과와 함께 나타낸 타임차트이다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 의거하여 설명한다. 먼저, 기판 상에 잉크젯 방식에 의해 스페이서 입자를 분산시킨 스페이서 입자 분산액을 도포함으로써, 스페이서 입자를 포함하는 스페이서 영역을 형성하고, 액정층 봉입용 갭을 형성하는, 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치를 이용한 액정 표시 장치의 제조 방법에 대해 설명한다.

도 1은, 표면에 스페이서 입자 분산액이 토출된 후의 투명 기판(1)의 일부를 나타낸 부분 표면도이다.

이 액정 표시 장치의 제조 방법은, 액정의 봉입 공정 등의 전 공정으로서 실행되는 것이며, 투명 기판간에 스페이서 입자를 개재시킴으로써 액정층 봉입용 갭을 형성하기 위한 것이다.

이 액정 표시 장치의 제조 방법을 실행할 때에는, 먼저, 스페이서 영역 생성 공정을 실행한다. 이 스페이서 영역 생성 공정에서는, 투명 기판 상에 잉크젯 방식에 의해 스페이서 입자를 분산시킨 스페이서 입자 분산액을 토출함으로써 스페이서 입자를 포함하는 스페이서 영역을 형성한다. 이 때에는, 다수의 잉크젯 헤드를 나열 설치한 잉크젯 헤드 유닛을 투명 기판(1)에 대해 상대적으로 이동시킴으로써, 투명 기판의 표면에 스페이서 입자 분산액을 토출하는 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치가 사용된다.

이 투명 기판(1)의 표면에는, 각각 화소 영역인 레드의 컬러 필터의 영역(R)과, 그린의 컬러 필터의 영역(G)과, 블루의 컬러 필터의 영역(B)과, 이들 화소 영역을 구획하는 블랙 매트릭스(7)가 구성된다. 그리고, 스페이서 입자 분산액은, 블랙 매트릭스(7)를 향해 토출되며, 거기에 스페이서 영역(5)이 형성된다.

스페이서 영역 생성 공정에 이어, 건조 공정을 실행한다. 이 건조 공정은, 투명 기판(1)을 핫 플레이트로 반송하고, 이 투명 기판(1)을 핫 플레이트 상에서 가열함으로써, 스페이서 입자 분산액으로부터 휘발 성분을 증발시킴과 더불어, 스페이서 영역(5)의 스페이서 입자를 투명 기판(1)에 고착시키는 공정이다.

이 공정에서는, 먼저 스페이서 입자 분산액으로부터 휘발 성분이 증발하므로, 표면 장력에 의해 스페이서 영역(5)의 스페이서 입자들이 서로 모여 접촉한다. 그리고, 그들이 소성되어 서로 고착함과 더불어, 투명 기판(1)의 표면에 대해서도 강한 힘으로 고착한다. 이 때문에, 이 스페이서 영역(5)의 스페이서 입자에 의해, 액정층 봉입용 갭을 형성할 수 있다.

다음에, 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치의 구성에 대해 설명한다. 도 2는, 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치의 사시도이다.

이 잉크젯 도포 장치는, 투명 기판(1)을 지지하는 테이블(11)과, 12개의 잉크제 헤드 유닛(12)을 지지하는 갠트리(13)를 구비한다. 테이블(11)은, 기대(基臺)(14) 상에 배치된 리니어 모터(15)의 구동을 받아, 한 쌍의 가이드 부재(16)에 의해 안내된 상태로, 갠트리(13)에 있어서의 잉크젯 헤드 유닛(12)의 나열 설치 방향과 직교하는 주주사 방향으로 왕복 이동한다. 이 때문에, 투명 기판(1)을 올려놓은 테이블(11)을 주주사 방향으로 이동시키면서 12개의 잉크젯 헤드 유닛(12)으로부터 스페이서 입자 분산액을 토출함으로써, 투명 기판(1)에 스페이서 입자를 포함하는 스페이서 영역을 형성할 수 있다.

이 테이블(11)은, 기판 반송 아암(91)에 의해 투명 기판(1)을 반입 반출하기 위한 반입 반출 위치와, 이 투명 기판(1)을 지지부(92)에 의해 지지된 4개의 CCD 카메라(93)를 갖는 얼라인먼트 유닛을 이용하여 위치 결정하는 위치 결정 위치와, 투명 기판(1)의 표면에 스페이서 입자 분산액을 도포하기 위한 갠트리(13)에 있어서의 잉크젯 헤드 유닛(12)과 대향하는 도포 위치의 사이를 이동한다. 이 테이블(11)의 이동은, 후술하는 테이블 이동부(106)가 리니어 모터(15)를 구동 제어함으로써 실행된다.

12개의 잉크젯 헤드 유닛(12)을 지지하는 갠트리(13)는, 테이블(11)의 왕복 이동 스트로크의 대략 중앙부에 배치되어 있다. 이 때문에, 스페이서 입자 분산액의 도포 동작을 실행하기 위해 필요한 테이블(11)의 이동 스트로크를 최소로 할 수 있어, 잉크젯 도포 장치 전체의 설치 스페이스를 작게 하는 것이 가능해진다.

갠트리(13)의 양단부에는, 한 쌍의 리니어 모터(21)가 배치되어 있으며, 갠트리(13)는 이들 리니어 모터(21)를 통해 기대(14)에 지지되어 있다. 이 때문에, 갠트리(13)는, 이들 리니어 모터(21)를 개별적으로 구동함으로써, 테이블(11)에 의한 투명 기판(1)의 반송 방향과의 교차 각도를 변경할 수 있는 구성으로 되어 있다.

기대(14)의 일단에는, 잉크젯 헤드 유닛(12)을 세정하는 세정부(22)가 배치되어 있다. 이 세정부(22)는, 테이블(11)에 의한 투명 기판(1)의 반송 방향과 직교하는 방향으로 왕복 이동 가능해지고 있다. 또, 이 세정부(22)의 이동 경로를 따라, 잉크젯 헤드 유닛(12)의 건조를 방지하기 위한, 12개의 건조 방지부(23)가 배치되어 있다. 후술하는 각 잉크젯 헤드(18)는, 대기 시에 있어서는, 이들 건조 방지부(23)와 대향 배치된다.

도 3은, 갠트리(13)를 그 하면에서 본 사시도이다. 또, 도 4는, 잉크젯 헤드 유닛(12)을 그 하면에서 본 사시도이다. 또한, 도 5는, 잉크젯 헤드(18)의 일부를 그 하면에서 본 사시도이다.

이들 도면에 나타낸 바와 같이, 갠트리(13)에 지지된 12개의 잉크젯 헤드 유닛(12)에는, 헤드 지지판(17)이 배치되어 있으며, 이 헤드 지지판(17)에는, 5개의 잉크젯 헤드(18)가 배치되어 있다. 이 잉크젯 헤드(18)에는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 다수의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)가 한 방향으로 나열 설치되어 있다.

도 6은, 잉크젯 헤드 유닛(12)의 이동 기구를 나타낸 사시도이다. 또한, 이 도면에 있어서는, 12개의 잉크젯 헤드 유닛(12) 중 1개만을 도시하고 있다.

갠트리(13)에 있어서의 투명 기판(1)의 반송 방향의 양단부에는, 리니어 가이드(24)와, 리니어 스케일(25)과, 리니어 모터(26)가, 그 길이 방향을 투명 기판(1)의 반송 방향과 교차하는 방향을 향하게 하여 배치되어 있다. 그리고, 잉크젯 헤드 유닛(12)을 지지하는 지지판(27)의 하면에는, 도시 생략한 리니어 모터(26)의 가동자가 배치되어 있다.

이 때문에, 각 지지판(27)은, 그 양단을 리니어 가이드(24)에 의해 안내된 상태로, 리니어 모터(26)의 구동에 의해 투명 기판(1)의 반송 방향과 교차하는 방향으로 이동한다. 그리고, 그 이동량은, 리니어 스케일(25)에 의해 측정된다. 이 때문에, 이 잉크젯 헤드 유닛(12)의 이동 기구에 의해, 각 잉크젯 헤드 유닛(12)을 설정된 이동량만큼 투명 기판(1)의 반송 방향과 교차하는 방향으로 이동시킴으로써, 잉크젯 헤드 유닛(12)의 피치를 변경하는 것이 가능해진다.

상술한 바와 같이, 갠트리(13)는, 한 쌍의 리니어 모터(21)를 개별적으로 구동함으로써, 테이블(11)에 의한 투명 기판(1)의 반송 방향과의 교차 각도를 변경할 수 있는 구성으로 되어 있다. 그리고, 갠트리(13)의 각도가 변경됨으로써, 갠트리(13)에 지지된 잉크젯 헤드 유닛(12)의 각도도 변경되며, 이에 따라, 잉크젯 헤드 유닛(12)에 배치된 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향과 투명 기판(1)의 반송 방향의 교차 각도가 변경되게 된다.

또한, 상술한 바와 같이, 잉크젯 헤드 유닛(12)의 피치와, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향과 투명 기판(1)의 반송 방향의 교차 각도를 변경하는 구성을 채용하고 있는 것은, 이하와 같은 이유에 의해서이다.

도 7은, 투명 기판(1)에 있어서의 블랙 매트릭스(7)의 피치와 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 배치의 관계를 나타낸 설명도이다.

블랙 매트릭스(7)의 피치는, 액정 표시 장치의 종류나 그 제조 회사 등에 따라 다르다. 이러한 블랙 매트릭스(7)의 피치에 대응하려면, 도 7에 나타낸 바와 같이, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향과 투명 기판(1)의 반송 방향의 교차 각도를 변경하면 된다. 그리고, 복수의 잉크젯 헤드(18)간에서 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 피치를 조정하기 위해서는, 인접하는 잉크젯 헤드 유닛(12)간에서, 잉크젯 헤드 유닛(12)들의 거리를 변경하면 된다. 이러한 이유로부터, 이 잉크젯 도포 장치에 있어서는, 잉크젯 헤드 유닛(12)의 피치와, 갠트리(13)와 투명 기판(1)의 반송 방향의 교차 각도를 변경하는 구성을 채용하고 있다.

이상과 같은 구성을 갖는 잉크젯 도포 장치를 사용하여 투명 기판(1)에 스페이서 입자 분산액을 도포할 때에는, 먼저, 투명 기판(1)을 테이블(11) 상에 위치 결정하여 고정한다. 또, 투명 기판(1)에 있어서의 블랙 매트릭스(7)의 피치에 대응시켜, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향과 투명 기판(1)의 반송 방향의 교차 각도와, 잉크젯 헤드 유닛(12)의 피치를 변경한다.

이 상태에서, 테이블(11)을 투명 기판(1)과 함께 주주사 방향으로 왕복 이동시키면서, 12개의 잉크젯 헤드 유닛(12)에 있어서의 각 잉크젯 헤드(18)로부터 스페이서 입자 분산액을 토출함으로써, 투명 기판(1)에 있어서의 블랙 매트릭스(7) 상에 스페이서 입자를 포함하는 스페이서 영역을 형성할 수 있다.

다음에, 세정부(22)의 구성에 대해 설명한다. 도 8 및 도 9는, 세정부(22)를 서로 다른 방향에서 본 사시도이다. 또, 도 10은, 세정부(22)를 세정부 이동 기구와 함께 나타낸 사시도이다. 또한, 도 11은, 후술하는 회전 테이블(36)을 떼어내어 본 세정부(22) 부근의 사시도이다.

이 세정부(22)는, 5개의 세정 유닛(31)과, 5개의 포획부(32)와, 5개의 흡인 캡(33)을 구비한 세정 박스(34)와, 초음파 세정 유닛(35)을 구비한다. 이들 세정 박스(34) 및 초음파 세정 유닛(35)은, 회전 테이블(36) 상에 배치되어 있다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 세정 박스(34)의 아래쪽에는, 모터(46)의 구동을 받아 회전하는 나사(47)가 배치되어 있으며, 세정 박스(34)는 이 나사(47)에 나사식 결합되는 너트(48)와 연결되어 있다. 이 때문에, 세정 박스(34)는, 모터(46)의 구동에 의해 왕복 이동한다. 그리고, 그 이동 방향은, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향과 일치하도록 구성되어 있다. 또, 그 왕복 이동 거리는, 각 잉크젯 헤드(18)에 있어서의, 그 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향의 사이즈에 상당하는 거리로 되어 있다.

또, 도 9에 나타낸 바와 같이, 초음파 세정 유닛(35)의 아래쪽에는, 모터(51)의 구동을 받아 회전하는 나사(52)가 배치되어 있으며, 초음파 세정 유닛(35)은, 이 나사(52)에 나사식 결합되는 도시 생략한 너트와 연결되어 있다. 이 때문에, 초음파 세정 유닛(35)은, 모터(51)의 구동에 의해 왕복 이동한다. 그리고, 그 이동 방향도, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향과 일치하도록 구성되어 있다. 또, 그 왕복 이동 거리는, 각 잉크젯 헤드 유닛(12)에 있어서의, 잉크젯 헤드(18)에서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향의 사이즈에 상당하는 거리로 되어 있다.

도 8 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 회전 테이블(36)의 아래쪽에는, 세정부 회동 기구(37)가 배치되어 있다. 이 세정부 회동 기구(37)는, 이동 테이블(38) 상에 회동 가능하게 배치된 회동 부재(39)와, 이 회동 부재(39)에 연결되는 나사(41)와, 이 나사(41)를 회전하는 모터(42)를 구비한다. 이 때문에, 모터(42)의 구동에 의해 나사(41)를 회전시킨 경우에는, 회동 부재(39)가 그 중앙부를 중심으로 하여 회동한다. 그리고, 회전 테이블(36)은, 이 회동 부재(39)에 고정되어 있다. 이 때문에, 회전 테이블(36)은, 모터(42)의 구동에 의해, 세정 박스(34) 및 초음파 세정 유닛(35)과 함께 회동한다.

이동 테이블(38)의 아래쪽에는, 투명 기판(1)의 반송 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 지지 가대(43)가 배치되어 있다. 이 지지 가대(43) 상에는, 리니어 모터(44)와, 한 쌍의 리니어 가이드(45)가 배치되어 있다. 이 때문에, 이동 테이블(38)은, 리니어 모터(44)의 구동을 받아, 한 쌍의 리니어 가이드(45)를 따라, 투명 기판(1)의 반송 방향과 직교하는 방향으로 왕복 이동 가능해지고 있다. 그리고, 이 이동 테이블(38)의 이동에 따라, 세정 박스(34) 및 초음파 세정 유닛(35)도 투명 기판(1)의 반송 방향과 직교하는 방향으로 왕복 이동하는 구성으로 되어 있다.

도 10에 나타낸 바와 같이, 지지 가대(43)의 아래쪽에는, 그 양단이 한 쌍의 가이드 부재(16)에 의해 안내되는 지지 부재(53)가 배치되어 있다. 그리고, 이 지지 부재(53)의 하면에는, 상술한 테이블(11)의 이동에 이용되는 리니어 모터(15)에 적합한 리니어 모터용 코일(54)이 배치되어 있다. 이 때문에, 지지 가대(43)는, 테이블(11)의 이동용 리니어 모터(15)의 구동을 받아, 세정부(22)와 함께, 투명 기판(1)의 반송 방향으로 왕복 이동 가능해지고 있다.

이 세정부(22)는, 이 세정부(22)가 갠트리(13)에 있어서의 잉크젯 헤드 유닛(12)과 대향하는 세정 위치와, 갠트리(13)에 있어서의 잉크젯 헤드 유닛(12)으로부터 상술한 테이블(11)에 있어서의 반입 반출 위치와는 반대측으로 이격한 대기 위치의 사이를 이동한다. 이 세정부(22)의 왕복 이동 방향은, 상술한 테이블(11)의 왕복 이동 방향과 동일 방향으로 되어 있다. 이 세정부(22)의 이동은, 후술하는 테이블 세정부(107)가 리니어 모터(15)를 구동 제어함으로써 실행된다.

이상과 같은 구성에 의해, 세정부(22)는, 투명 기판(1)의 반송 방향 및 이 반송 방향과 직교하는 방향으로 왕복 이동함과 더불어, 그 회전 각도 위치를 임의로 변경할 수 있다. 이 때문에, 이 세정 장치(22)는, 각 잉크젯 헤드 유닛(12)과 대향하는 세정 위치와, 잉크젯 헤드 유닛(12)으로부터 이격한 대기 위치의 사이에서 이동 가능한 구성으로 되어 있다. 그리고, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향과 투명 기판(1)의 반송 방향의 교차 각도가 변경된 경우에도, 이것에 대응하는 것이 가능한 구성으로 되어 있다.

다음에, 상술한 세정 유닛(31)의 구성에 대해 설명한다. 도 12는, 세정 유닛(31)을 확대하여 나타낸 사시도이다.

이 세정 유닛(31)은, 세정 박스(34)의 상면에 형성된 개구부(61) 내에 배치되는 것이며, 베이스부(63)에 형성된 세정액 토출구(62)와, 동일하게 베이스부(63)에 형성된 세정액의 회수구(64)와, 베이스부(63) 상에 배치된 접촉 블록(65)을 구비한다. 이 접촉 블록(65)에는, 세정액 흡인구(66)가 형성되어 있다. 이 세정 유닛(31)은, 세정액으로서의 순수(純水)를 공급하는 공급관(67)과, 세정에 제공된 순수를 회수하기 위한 회수관(68)에 접속되어 있다.

도 13은, 베이스부(63)에 형성된 세정액 토출구(62)와 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 배치 관계를 나타낸 설명도이다.

세정액 토출구(62)는, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)로부터, 스페이서 입자 분산액의 토출 방향(도 13에서의 상하 방향)으로 제1 거리 H1만큼 이격한 위치에 배치된다. 또, 이 세정액 토출구(62)는, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)로부터, 이 토출구(19)의 나열 설치 방향과 직교하는 방향(도 13에서의 좌우 방향)으로 거리 D만큼 이격한 위치에 배치된다. 그리고, 이 세정액 토출구(62)는, 위쪽(수선 방향)을 향해 세정액을 토출하므로, 이 세정액 토출구(62)는, 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)로부터, 이 토출구(19)의 나열 설치 방향과 직교하는 방향으로 거리 D만큼 이격한 위치에 세정액을 토출하는 구성으로 되어 있다.

도 14는, 베이스부(63) 상에 배치된 접촉 블록(65)의 사시도이며, 도 15는, 접촉 블록(65)과 잉크젯 헤드(18)의 하면의 맞닿음 상태를 나타낸 단면도이다.

이 접촉 블록(65)은, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)로부터, 이 토출구(19)의 나열 설치 방향과 직교하는 방향(도 15에서의 좌우 방향)으로 이격한 양측의 위치에 맞닿음 가능한 한 쌍의 접촉부(69)를 갖는다. 그리고, 세정액 흡인구(66)는, 한 쌍의 접촉부(69)의 사이에 형성되어 있다. 이 접촉 블록(65)에 형성된 세정액 흡인구(66)는, 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)로부터, 스페이서 입자 분산액의 토출 방향(도 15에서의 상하 방향)으로, 상술한 제1 거리 H1보다 작은 제2 거리 H2만큼 이격한 위치에 배치되어 있다. 즉, 한 쌍의 접촉부(69)의 높이는, H2로 되어 있다. 이 세정액 흡인구(66)는, 세정액 토출구(62)로부터 스페이서 입자 분산액의 토출구(19) 부근을 향해 토출된 세정액을 흡인하기 위한 것이다.

도 16은, 세정 유닛(31)의 승강 기구를 나타낸 개요도이다.

세정부(22)에 있어서의 5개의 세정 유닛(31)은, 한 쌍의 모터(71)의 구동으로 승강하는 승강 가대(72)에 대해, 각각 한 쌍의 스프링 부재(73)를 통해 연결되어 있다. 승강 가대(72)가 하강 위치에 있을 때에는, 세정 유닛(31)의 접촉 블록(65)은, 잉크젯 헤드(18)의 하면으로부터 이격하고 있다. 이 상태로 승강 가대(72)가 상승 위치로 이동하면, 접촉 블록(65)의 한 쌍의 접촉부(69)가 잉크젯 헤드(18)의 하면과 맞닿는다. 이 상태에서는, 접촉 블록(65)에 형성된 세정액 흡인구(66)와 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 거리가, 정확하게 상술한 제2 거리 H2가 된다. 그리고, 이 때에는, 접촉 블록(65)의 작용에 의해, 베이스부(63)에 형성된 세정액 토출구(62)와 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 거리가, 정확하게 상술한 제1 거리 H1이 된다.

다음에, 세정부(22)에 의한 잉크젯 헤드(18)의 세정 동작에 대해 설명한다.

잉크젯 헤드(18)를 세정할 때에는, 세정부(22)를, 도 2에 나타낸 대기 위치로부터, 세정 대상이 되는 잉크젯 헤드 유닛(12)과 대향하는 세정 위치로 이동시킨다. 이 세정 위치는, 잉크젯 헤드 유닛(12)에 있어서의 각 잉크젯 헤드(18)가, 세정부(22)에 있어서의 각 세정 유닛(31)과 대향하는 위치이다. 이 세정부(22)의 이동은, 리니어 모터(15) 및 리니어 모터(44)의 구동에 의해 실행된다.

다음에, 세정부(22)를, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향과 투명 기판(1)의 반송 방향의 교차 각도에 대응시켜 회동시킨다. 즉, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향과 세정 유닛(31)의 나열 설치 방향을 일치시킨다. 이 세정부(22)의 회동은, 세정부 회동 기구(37)의 모터(42)의 구동에 의해 실행된다.

잉크젯 헤드 유닛(12)에 있어서의 각 잉크젯 헤드(18)가 세정부(22)에 있어서의 각 세정 유닛(31)과 대향하는 위치에 배치되면, 도 16에 나타낸 한 쌍의 모터(71)의 구동에 의해, 5개의 세정 유닛(31)을 동기하여 상승시킨다. 이에 의해, 도 15에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 접촉부(69)가 잉크젯 헤드(18)의 하면에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 양측의 위치에 맞닿는다. 이 때에는, 세정액 흡인구(66)는, 도 15에 나타낸 바와 같이, 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)로부터 스페이서 입자 분산액의 토출 방향으로 제2 거리 H2만큼 이격한 위치에 배치되어 있으며, 세정액 토출구(62)는, 도 13에 나타낸 바와 같이, 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)로부터 스페이서 입자 분산액의 토출 방향으로 제1 거리 H1만큼 이격한 위치에 배치되어 있다.

또, 이 상태에서는, 세정 유닛(31)에 있어서의 세정액 토출구(62)는, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향의 일단에 대응하는 위치에 배치되어 있으며, 세정 유닛(31)에 있어서의 세정액 흡인구(66)는, 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향의 일단으로부터 또한 이격한 위치에 배치되어 있다. 이에 의해, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 전 영역을 그 단부로부터 세정하는 것이 가능해진다.

다음에, 세정 유닛(31)에 있어서의 세정액 토출구(62)로부터 세정액으로서의 순수를 토출한다. 또, 세정 유닛(31)의 세정액 흡인구(66)로부터 흡인을 개시한다. 그리고, 도 8에 나타낸 모터(46)의 구동으로 세정 박스(34)를 이동시킴으로써, 5개의 세정 유닛(31)을 일괄적으로, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향으로 이동시킨다.

세정액 토출구(62)로부터 토출된 순수는, 도 13에 나타낸 바와 같이, 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)로부터 거리 D만큼 이격한 위치에 충돌한 후, 가로방향으로 확산된다. 이 순수에 의해, 잉크젯 헤드(18)의 하면이 세정된다. 이 때, 순수는 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)로부터 거리 D만큼 이격한 위치에 충돌하고, 직접 토출구(19)에 충돌하는 것은 아니므로, 순수가 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)에 침입하는 일은 없다.

특히, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19) 부근의 영역은, 일반적으로 초 발수(撥水) 가공이 이루어져 있으므로, 순수를 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)로부터 거리 D만큼 이격한 위치에 충돌시킴으로써, 순수가 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)에 침입하는 것을 바람직하게 방지하는 것이 가능해진다.

이러한 상태로 세정 유닛(31)이 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향으로 이동함으로써, 잉크젯 헤드(18)의 하면에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19) 부근의 영역이 순수에 의해 세정된다. 그리고, 잉크젯 헤드(18)의 하면에 부착된 순수는, 세정액 흡인구(66)에 의해 흡인 제거된다. 또, 잉크젯 헤드(18)의 하면으로부터 낙하한 순수는, 회수구(64)로부터 회수된다. 그리고, 세정 유닛(31)이 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향의 사이즈에 상당하는 거리만큼 이동하면, 잉크젯 헤드(18)의 세정이 종료한다.

또한, 상술한 바와 같이, 스페이서 입자 분산액의 토출구(19) 내에 순수를 침입시키지 않고 바람직하게 세정을 실행하기 위해서는, 세정액 토출구(62)와 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 거리 H1을 3mm 내지 7mm 정도로 하는 것이 바람직하며, 또, 세정액 토출구(62)와 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 토출구(19)의 나열 설치 방향과 직교하는 방향의 거리 D는, 2mm 내지 4.5mm으로 하는 것이 바람직하다. 또한, 세정액 토출구(62)의 직경을 0.1mm 내지 1mm 정도로 설정하고, 매분 15밀리리터 내지 30밀리리터 정도의 순수를 토출함으로써, 스페이서 입자 분산액의 토출구(19) 내에 순수를 침입시키지 않고 바람직하게 세정을 실행하는 것이 가능해진다.

또, 이 세정 유닛(31)은, 세정액 흡인구(66)를, 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)로부터 제2 거리 H2만큼 이격하고, 또한, 세정액 토출구(62)로부터 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향으로 이격한 위치에 배치하고 있으므로, 잉크젯 헤드(18)의 하면과 세정 유닛(31)의 사이가 액밀하게 되어 순수를 흡인할 때에 스페이서 입자 분산액도 흡인하여 토출 불량을 발생하는 것을 유효하게 방지할 수 있다.

이 때, 세정액 흡인구(66)와 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 거리 H2를 0.2mm 내지 1mm 정도로 하는 것이 바람직하고, 세정액 흡인구(66)와 세정액 토출구(62)의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향의 거리를 5mm 내지 10mm로 하는 것이 바람직하다. 또, 세정액 흡인구(66)로부터의 흡인 압력은 -0.5kPa 내지 -4.5kPa로 하는 것이 바람직하다.

이상의 세정 유닛(31)에 의한 세정 동작은, 일정한 사이클로 실행된다. 또, 이와 동일하게, 흡인 캡(33)에 의한 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 흡인 동작도 실행된다. 이 흡인 캡(33)은, 잉크젯 헤드(18)의 하면과의 접촉부에 불소고무 등의 탄성 시일 부재를 가지며, 그것을 잉크젯 헤드(18)의 하면에 맞닿게 하여 밀폐 공간을 형성한다. 그리고, 이 밀폐 공간을 흡인함으로써, 잉크젯 헤드(18)의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 폐색을 방지하는 것이다.

흡인 캡(33)에 의한 흡인 동작을 실행할 때에는, 세정 유닛(31)의 경우와 동일하게, 리니어 모터(15) 및 리니어 모터(44)의 구동에 의해 세정부(22)를 이동시킴과 더불어, 세정부 회동 기구(37)의 모터(42)의 구동에 의해 세정부를 회동시킴으로써, 잉크젯 헤드 유닛(12)에 있어서의 각 잉크젯 헤드(18)가, 세정부(22)에 있어서의 각 흡인 캡(33)과 대향하는 위치까지 이동시킨다.

잉크젯 헤드(18)의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)로부터 불필요한 세정액으로서의 순수나 스페이서 입자 분산액을 토출하고 싶은 경우에는, 각 잉크젯 헤드(18)가 포획부(32)와 대향하는 위치로 이동한다. 이 포획부(32)는, 불필요한 순수나 스페이서 입자 분산액을, 장치를 오염시키지 않고 외부로 배출하기 위해 사용된다.

포획부(32)로의 토출 동작을 실행할 때에는, 세정 유닛(31)이나 흡인 캡(33)의 경우와 동일하게, 리니어 모터(15) 및 리니어 모터(44)의 구동에 의해 세정부(22)를 이동시킴과 더불어, 세정부 회동 기구(37)의 모터(42)의 구동에 의해 세정부를 회동시킴으로써, 잉크젯 헤드 유닛(12)에 있어서의 각 잉크젯 헤드(18)가, 세정부(22)에 있어서의 각 포획부(32)와 대향하는 위치까지 이동시킨다.

잉크젯 헤드(18)의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)가 폐쇄된 경우 등에 있어서는, 초음파 세정 유닛(35)에 의한 세정이 실행된다. 이 초음파 세정 유닛(35)은, 초음파 진동이 부여된 세정액을 저류하는 초음파 세정조를 구비하고, 이 초음파 세정조 내에 잉크젯 헤드(18)를 침지함으로써 세정을 행하는 것이다. 또한, 이 초음파 세정 동작은, 도포 동작을 완전히 정지한 상태로 실행된다.

초음파 세정을 실행할 때에는, 세정 유닛(31), 흡인 캡(33), 포획부(32)의 경우와 동일하게, 리니어 모터(15) 및 리니어 모터(44)의 구동에 의해 세정부(22)를 이동시킴과 더불어, 세정부 회동 기구(37)의 모터(42)의 구동에 의해 세정부(22)를 회동시킴으로써, 잉크젯 헤드 유닛(12)의 단부에 위치하는 잉크젯 헤드(18)가, 초음파 세정 유닛(35)과 대향하는 위치까지 이동시킨다. 그리고, 1개의 잉크젯 헤드 유닛(12)을 세정할 때마다, 도 9에 나타낸 모터(51)의 구동에 의해, 초음파 세정 유닛(35)을, 잉크젯 헤드(18)에 있어서의 스페이서 입자 분산액의 토출구(19)의 나열 설치 방향으로 이동시킨다.

도 17은, 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치의 주요한 전기적 구성을 나타낸 블록도이다.

이 잉크젯 도포 장치는, 장치의 제어에 필요한 동작 프로그램이 저장된 ROM(101)과, 제어 시에 데이터 등이 일시적으로 스토어되는 RAM(102)과, 논리 연산을 실행하는 CPU(103)로 이루어지는 제어부(100)를 구비한다. 이 제어부(100)는, 인터페이스(105)를 통해, 테이블 이동부(106), 세정부 이동부(107) 및 갠트리 이동부(108)와 접속되어 있다.

테이블 이동부(106)는, 리니어 모터(15)를 구동 제어함으로써, 테이블(11)의 이동을 제어한다. 또, 세정부 이동부(107)는, 리니어 모터(15)를 구동 제어함으로써, 세정부(22)의 이동을 제어한다. 또한, 갠트리 이동부(108)는, 잉크젯 헤드 유닛(12)의 피치나 각도를 제어한다. 또한, 제어부(100)에 있어서의 RAM에는, 테이블(11) 및 세정부(22)의 이동 속도나, 후술하는 한계 접근 거리 및 추송 가능 거리 등의 데이터가 기억되어 있다.

이상과 같은 구성을 갖는 잉크젯 도포 장치에 있어서는, 투명 기판(1)의 대형화에 따라, 테이블(11)이나 세정부(22)의 이동 거리도 커지는 것 등에 의해, 스페이서 입자 분산액의 도포 동작이 종료하고 각 잉크젯 헤드(18)의 세정 동작을 개시한 후, 세정 동작이 종료하고 다음의 도포 동작을 개시할 때까지의 동안에, 긴 시간을 요한다는 문제가 발생한다. 이 때문에, 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치에 있어서는, 스페이서 입자 분산액의 도포 동작과 잉크젯 헤드(18)의 세정 동작을 중복하여 실행함으로써, 보다 단시간에 전체의 공정을 완료할 수 있도록 하고 있다.

도 18은, 본 발명의 기본적인 개념을 나타낸 설명도이다.

종래의 잉크젯 도포 장치에 있어서는, 도 18(a)에 나타낸 바와 같이, 투명 기판(1)의 반입 공정, 투명 기판(1)의 위치 결정 공정, 스페이서 입자 분산액의 도포 공정, 잉크젯 헤드(18)의 세정 공정 및 투명 기판(1)의 반출 공정을, 순차적으로 실행하고 있었다. 이에 반해, 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치에 있어서는, 도 18(b)에 나타낸 바와 같이, 투명 기판(1)의 반입 공정, 투명 기판(1)의 위치 결정 공정 및 투명 기판(1)의 반출 공정과, 잉크젯 헤드(18)의 세정 공정을 병행하여 실행하도록 하고 있다.

도 19는, 기판 반송 아암(91)과, 테이블(11)과, 세정부(22)의 이동 동작을 나타낸 타임차트이다.

이 도면에 있어서, 부호 P2는 기판 반송 아암(91)에 있어서의 대기 위치를 나타내고, 부호 P1은 기판 반송 아암(91)에 있어서의 투명 기판(1)의 반입 반출 위치를 나타내고 있다. 또, 부호 P5는 테이블(11)에 있어서의 투명 기판(1)의 반입 반출 위치를 나타내고, 부호 P4는 테이블(11)에 있어서의 투명 기판(1)의 위치 결정 위치를 나타내며, 부호 P3은 테이블(11)이 스페이서 입자 분산액의 도포를 끝내고 이동 스트로크의 종단으로 이동한 위치를 나타내고 있다. 또한, 부호 P6은 세정부(22)에 있어서의 대기 위치를 나타내고, 부호 P7은 세정부(22)에 있어서의 세정 위치를 나타내고 있다. 또, 이 도면에 있어서, 영역 Q1은 투명 기판(1)의 얼라인먼트 공정을 나타내고, 영역 Q2는 스페이서 입자 분산액의 도포 공정을 나타내며, 영역 Q3은 잉크젯 헤드(18)의 세정 공정을 나타내고 있다.

이 도면에 나타낸 바와 같이, 세정부(22)가 세정 위치 P7로부터 대기 위치 P6을 향해 이동을 개시한 후, 대기 위치 P6에 도착하기 전에, 테이블(11)은, 위치 결정 위치 P4로부터 이동 스트로크의 종단 P3을 향해 스타트함으로써, 스페이서 입자 분산액의 도포 공정을 개시하고 있다. 또, 테이블(11)이 이동 스트로크의 종단 P3으로부터 반입 반출 위치 P5를 향해 이동을 개시한 후, 반입 반출 위치 P5에 도달하기 전에, 세정부(22)가 대기 위치 P6으로부터 세정 위치 P7을 향해 이동을 개시하고 있다.

이하, 이 동작을 보다 상세하게 설명한다. 도 20은, 테이블(11)이 스페이서 입자 분산액의 도포를 끝내고 이동 스트로크의 종단 P3으로부터 반입 반출 위치 P5로 이동함과 더불어, 세정부(22)가 대기 위치 P6으로부터 세정 위치 P7로 이동하는 동작을 나타낸 설명도이다.

도 20(a)는, 테이블(11)이 스페이서 입자 분산액의 도포를 끝내고 이동 스트로크의 종단 P3에 도달한 상태를 나타내고 있다. 이 상태에서는, 세정부(22)는, 대기 위치 P6에 대기하고 있다.

이 상태로부터, 테이블(11)이 반입 반출 위치 P5의 방향(도 20에 있어서의 좌측 방향)으로 이동하고, 투명 기판(1)이 갠트리(13)의 아래쪽을 통과하며, 이 때에 투명 기판(1)에 대한 스페이서 입자 분산액의 도포가 개시된다. 그리고, 도 20(b)에 나타낸 바와 같이, 테이블(11)과 세정부(22)의 거리가, 후술하는 추송 가능 거리 L로 된 시점에서, 세정부(22)가 대기 위치 P6으로부터 세정 위치 P7 방향(도 20에 있어서의 좌측 방향)으로 이동을 개시한다.

이 상태로 테이블(11)과 세정부(22)가 이동을 계속한다. 이 때, 이 실시 형태에 있어서는, 테이블(11)과 세정부(22)의 이동 속도가 동일해지고 있다. 이 때문에, 테이블(11)과 세정부(22)가 이동을 계속한 경우, 도 20(c)에 나타낸 바와 같이, 테이블(11)과 세정부(22)의 거리는, 추송 가능 거리 L의 상태가 유지된다. 그리고, 그대로 테이블(11)과 세정부(22)가 이동을 계속한 후, 도 20(d)에 나타낸 바와 같이, 테이블(11)은 반입 반출 위치 P5에서 정지하고, 세정부(22)는 세정 위치 P7에서 정지한다.

또한, 상술한 추송 가능 거리 L은, 테이블(11)과 세정부(22)의 거리가 이 거리 이상이 되면, 세정부(22)가 이동을 개시해도, 세정부(22)의 이동 중에 테이블(11)과 세정부(22)의 거리가 한계 접근 거리로는 되지 않는 거리이다. 여기에서, 한계 접근 거리란, 테이블(11)과 세정부(22)가 서로 간섭하여, 그 일부가 충돌하는 거리이다. 이 한계 접근 거리는, 테이블(11)과 세정부(22)의 장치 구성에 의해 결정되는 거리이다.

상기 추송 가능 거리 L은, 테이블(11)과 세정부(22)의 속도에 의해 결정된다. 도 20에 나타낸 바와 같이, 테이블(11)이 스페이서 입자 분산액의 도포를 끝내고 이동 스트로크의 종단 P3으로부터 반입 반출 위치 P5로 이동함과 더불어, 세정부(22)가 대기 위치 P6으로부터 세정 위치 P7로 이동하는 경우에 있어서는, 이 실시 형태와 같이, 테이블(11)의 이동 속도가 세정부(22)의 이동 속도와 동일하면, 추송 가능 거리 L은 한계 접근 거리보다 커진다. 즉, 테이블(11)과 세정부(22)의 거리가 한계 접근 거리보다 커지면, 세정부(22)가 대기 위치 P6으로부터 세정 위치 P7로 이동을 개시해도 문제는 없다.

동일하게, 테이블(11)이 스페이서 입자 분산액의 도포를 끝내고 이동 스트로크의 종단 P3으로부터 반입 반출 위치 P5로 이동함과 더불어, 세정부(22)가 대기 위치 P6으로부터 세정 위치 P7로 이동하는 경우에 있어서, 테이블(11)의 이동 속도가 세정부(22)의 이동 속도 이상인 경우에도, 추송 가능 거리 L은 한계 접근 거리보다 커지며, 테이블(11)과 세정부(22)의 거리가 한계 접근 거리보다 커지면, 세정부(22)가 대기 위치 P6으로부터 세정 위치 P7로 이동을 개시해도 문제는 없다.

이에 반해, 테이블(11)이 스페이서 입자 분산액의 도포를 끝내고 이동 스트로크의 종단 P3으로부터 반입 반출 위치 P5로 이동함과 더불어, 세정부(22)가 대기 위치 P6으로부터 세정 위치 P7로 이동하는 경우에 있어서, 테이블(11)의 이동 속도가 세정부(22)의 이동 속도보다 작은 경우에는, 추송 가능 거리 L을 한계 접근 거리보다 크게 설정할 필요가 있으며, 테이블(11)과 세정부(22)의 거리가, 그들의 속도차에 대응한 추송 가능 거리 L 이상이 된 후에, 비로소, 세정부(22)가 대기 위치 P6으로부터 세정 위치 P7로 이동을 개시할 수 있다.

상술한 바와 같이, 제어부(100)에 있어서의 RAM에는, 테이블(11) 및 세정부(22)의 이동 속도와, 그 때의 한계 접근 거리 및 추송 가능 거리 등의 데이터가 미리 계산되어, 기억되어 있다. 제어부(100)는, 그들의 데이터에 의거하여, 도 17에 나타낸 테이블 이동부(106) 및 세정부 이동부(107)에 제어 신호를 송신한다.

도 21은, 테이블(11)과 세정부(22)의 위치를, 시간의 경과와 함께 나타낸 타임차트이다. 이 도면에 있어서, 세로축은 테이블(11) 및 세정부(22)의 이동 방향에 대한 위치를 나타내고 있으며, 가로축은 시간을 나타내고 있다. 그리고, 실선은 세정부(22)의 이동 상태를 나타내고, 파선은 테이블(11)의 이동 상태를 나타내고 있다.

도 21(a)는, 상술한 실시 형태와 같이, 테이블(11)의 이동 속도와 세정부(22)의 이동 속도가 동일한 경우를 나타내고 있다. 이 경우에 있어서는, 실선과 파선의 거리가, 항상, 한계 접근 거리보다 크면 문제가 없다. 도 21(a)에 나타낸 실시 형태에 있어서는, 테이블(11)의 이동이 완료한 후 세정부(22)가 이동하는 경우와 비교하여, 택트 타임을 약 10초 단축하는 것이 가능해진다.

도 21(b)는, 세정부(22)의 이동 속도를 일정하게 하고, 테이블(11)의 이동 속도를 저속으로 한 경우를 나타내고 있다. 이 경우에 있어서도, 실선과 파선의 거리가, 항상, 한계 접근 거리보다 크면 문제가 없다. 도 21(b)에 나타낸 실시 형태에 있어서는, 테이블(11)의 이동이 완료한 후 세정부(22)가 이동하는 경우와 비교하여, 택트 타임을 약 15초 단축하는 것이 가능해진다.

도 21(c)는, 세정부(22)의 이동 속도를 일정하게 하고, 테이블(11)의 이동 속도를 고속으로 한 경우를 나타내고 있다. 이 경우에 있어서도, 실선과 파선의 거리가, 항상, 한계 접근 거리보다 크면 문제가 없다. 도 21(c)에 나타낸 실시 형태에 있어서는, 테이블(11)의 이동이 완료한 후 세정부(22)가 이동하는 경우와 비교하여, 택트 타임을 약 7초 단축하는 것이 가능해진다.

도 22는, 도 21에 나타낸 경우와는 반대로, 세정부(22)가 세정 동작을 끝내고 세정 위치 P7로부터 대기 위치 P6으로 이동함과 더불어, 테이블(11)이 반입 반출 위치 P5로부터 이동 스트로크의 종단 위치 P3으로 이동하는 동작을 나타낸 설명도이다.

도 22(a)는, 세정부(22)가 세정 동작을 실행 중에 세정 위치 P7에 배치되어 있는 상태를 나타내고 있다. 이 상태에서는, 테이블(11)은, 반입 반출 위치 P5에 대기하고 있다.

이 상태로부터, 세정부(22)가 세정 동작을 끝내고, 대기 위치 P6의 방향(도 22에 있어서의 우측 방향)으로 이동하여, 도 22(b)에 나타낸 바와 같이, 테이블(11)과 세정부(22)의 거리가, 추송 가능 거리 L이 된 시점에서, 테이블(11)이 반입 반출 위치 P5로부터 이동 스트로크의 종단 위치 P3 방향(도 22에 있어서의 우측 방향)으로 이동을 개시한다.

이 상태로 테이블(11)과 세정부(22)가 이동을 계속한다. 이 때, 이 실시 형태에 있어서는, 테이블(11)과 세정부(22)의 이동 속도가 동일해지고 있다. 이 때문에, 테이블(11)과 세정부(22)가 이동을 계속한 경우, 도 22(c)에 나타낸 바와 같이, 테이블(11)과 세정부(22)의 거리는, 추송 가능 거리 L의 상태가 유지된다. 그리고, 그대로 테이블(11)과 세정부(22)가 이동을 계속한 후, 도 20(d)에 나타낸 바와 같이, 테이블(11)은 스트로크의 종단 위치 P3에서 정지하고, 세정부(22)는 대기 위치 P6에서 정지한다.

여기에서, 이 경우의 추송 가능 거리 L도, 테이블(11)과 세정부(22)의 속도에 의해 결정된다. 도 22에 나타낸 바와 같이, 세정부(22)가 세정 동작을 끝내고 세정 위치 P7로부터 대기 위치 P6으로 이동함과 더불어, 테이블(11)이 반입 반출 위치 P5로부터 이동 스트로크의 종단 위치 P3으로 이동하는 경우에 있어서는, 이 추송 가능 거리 L은, 반입 반출 위치 P5로부터 이동을 개시한 테이블(11)이 갠트리(13)의 아래쪽에 도달하였을 때에, 세정 동작을 끝낸 세정부(22)가 갠트리(13)의 아래쪽으로부터 퇴피하여, 테이블(11)과 세정부(22)의 거리가 항상 한계 접근 거리보다 커지는 거리로서, 미리 설정된 거리가 된다.

도 23은, 도 21과 동일하게, 테이블(11)과 세정부(22)의 위치를, 시간의 경과와 함께 나타낸 타임차트이다. 이 도면에 있어서도, 세로축은 테이블(11) 및 세정부(22)의 이동 방향에 대한 위치를 나타내고 있으며, 가로축은 시간을 나타내고 있다. 그리고, 실선은 세정부(22)의 이동 상태를 나타내고, 파선은 테이블(11)의 이동 상태를 나타내고 있다.

도 23(a)는, 상술한 실시 형태와 같이, 테이블(11)의 이동 속도와 세정부(22)의 이동 속도가 동일한 경우를 나타내고 있다. 이 경우에 있어서는, 실선과 파선의 거리가, 항상, 한계 접근 거리보다 크면 문제가 없다. 도 23(a)에 나타낸 실시 형태에 있어서는, 세정부(22)의 이동이 완료한 후 테이블(11)이 이동하는 경우와 비교하여, 택트 타임을 약 10초 단축하는 것이 가능해진다.

도 23(b)는, 세정부(22)의 이동 속도를 일정하게 하고, 테이블(11)의 이동 속도를 저속으로 한 경우를 나타내고 있다. 이 경우에 있어서도, 실선과 파선의 거리가, 항상, 한계 접근 거리보다 크면 문제가 없다. 도 23(b)에 나타낸 실시 형태에 있어서는, 세정부(22)의 이동이 완료한 후 테이블(11)이 이동하는 경우와 비교하여, 택트 타임을 약 15초 단축하는 것이 가능해진다.

도 23(c)는, 세정부(22)의 이동 속도를 일정하게 하고, 테이블(11)의 이동 속도를 고속으로 한 경우를 나타내고 있다. 이 경우에 있어서도, 실선과 파선의 거리가, 항상, 한계 접근 거리보다 크면 문제가 없다. 도 23(c)에 나타낸 실시 형태에 있어서는, 세정부(22)의 이동이 완료한 후 테이블(11)이 이동하는 경우와 비교하여, 택트 타임을 약 7초 단축하는 것이 가능해진다.

또한, 상술한 실시 형태에 있어서는, 스페이서 입자 분산액의 도포 동작을 실행하기 위해 필요한 테이블(11)의 이동 스트로크를 최소로 하여 장치의 설치 스페이스를 작게 하기 위해, 복수의 잉크젯 헤드(18)로 이루어지는 잉크젯 헤드 유닛(12)을 구비한 갠트리(13)를, 테이블(11)의 이동 스트로크의 대략 중앙부에 배치하고 있다. 이러한 구성을 채용한 경우에는, 테이블(11)이 세정부(22)를 추격하는 거리와, 세정부(22)가 테이블(11)을 추격하는 거리가 동일한 정도가 되므로, 테이블(11)의 이동 속와 세정부(22)의 이동 속도를 동일하게 함으로써, 테이블(11)과 세정부(22)의 어느 쪽을 먼저 이동시킨 경우에 있어서도, 그들의 간격을 용이하게 한계 접근 거리보다 크게 유지하는 것이 가능해진다.

또, 상술한 실시 형태에 있어서는, 복수의 잉크젯 헤드(18)를 구비한 잉크젯 헤드 유닛(12)을 또한 복수 개 나열 설치하여 갠트리(13)를 구성하고 있다. 그러나, 단일한 잉크젯 헤드 유닛(12)을 사용하는 구성이나, 잉크젯 헤드 유닛(12)을 사용하지 않고 간단히 잉크젯 헤드(18)를 나열 설치한 구성, 혹은, 단일한 잉크젯 헤드(18)만을 사용한 구성 중 어느 구성을 채용한 잉크젯 도포 장치에 있어서도, 본 발명을 적용하는 것은 가능하다.

1 : 투명 기판 5 : 스페이서 영역
7 : 블랙 매트릭스 11 : 테이블
12 : 잉크젯 헤드 유닛 13 : 갠트리
14 : 기대 15 : 리니어 모터
16 : 가이드 부재 17 : 헤드 지지판
18 : 잉크젯 헤드 19 : 토출구
21 : 리니어 모터 22 : 세정부
23 : 건조 방지부 24 : 리니어 가이드
25 : 리니어 스케일 26 : 리니어 모터
31 : 세정 유닛 32 : 포획부
33 : 흡인 캡 34 : 세정 박스
35 : 초음파 세정 유닛 36 : 회전 테이블
37 : 세정부 회동 기구 38 : 이동 테이블
39 : 회동 부재 43 : 지지 가대
44 : 리니어 모터 45 : 리니어 가이드
54 : 리니어 모터용 코일 62 : 세정액 토출구
63 : 베이스부 64 : 회수구
65 : 접촉 블록 66 : 세정액 흡인구
69 : 접촉부 72 : 승강 가대
73 : 스프링 부재 91 : 기판 반송 아암
92 : 지지부 93 : CCD 카메라
100 : 제어부 106 : 테이블 이동부
107 : 세정부 이동부 108 : 갠트리 이동부

Claims (7)

1. 액정 표시 장치의 제조 시에, 기판간에 스페이서 입자를 개재시킴으로써 액정층 봉입용 갭을 형성하기 위해, 기판 상에 스페이서 입자를 분산시킨 스페이서 입자 분산액을 도포함으로써, 스페이서 입자를 포함하는 스페이서 영역을 형성하는 잉크젯 도포 장치로서,
   다수의 스페이서 입자 분산액의 토출구가 나열 설치되고, 상기 토출구로부터 기판에 대해 잉크젯 방식으로 스페이서 입자 분산액을 토출함으로써, 기판의 표면에 스페이서 입자 분산액을 도포하는 잉크젯 헤드와,
   기판을 지지하는 테이블과,
   상기 테이블을, 당해 테이블에 기판을 반입 반출하기 위한 반입 반출 위치와, 상기 잉크젯 헤드에 의해 상기 테이블에 유지된 기판의 표면에 스페이서 입자 분산액을 도포하기 위한 상기 잉크젯 헤드와 대향하는 도포 위치의 사이에서 왕복 이동시키는 테이블 이동 기구와,
   상기 잉크젯 헤드를 세정하는 세정부와,
   상기 세정부를, 당해 세정부가 상기 잉크젯 헤드와 대향하는 세정 위치와, 상기 세정부가 상기 잉크젯 헤드로부터 상기 반입 반출 위치와는 반대측으로 이격한 대기 위치의 사이에서, 상기 테이블 이동 기구에 의한 테이블의 이동 방향과 동일 방향으로 왕복 이동시키는 세정부 이동 기구를 구비하며,
   기판을 지지한 테이블이 상기 반입 반출 위치로부터 상기 도포 위치를 향해 이동하고, 상기 잉크젯 헤드에 의해 상기 테이블에 지지된 기판의 표면에 스페이서 입자 분산액을 도포하여, 상기 스페이서 입자 분산액을 도포 후의 기판을 지지한 테이블이 상기 도포 위치로부터 상기 반입 반출 위치로 이동하는 일련의 도포 동작과,
   상기 세정부가 상기 대기 위치로부터 상기 세정 위치를 향해 이동하고, 상기 세정부에 의해 상기 잉크젯 헤드를 세정하여, 상기 세정부가 상기 세정 위치로부터 상기 대기 위치로 이동하는 일련의 세정 동작을, 서로 중복하여 실행시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 도포 장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 테이블 이동 기구는, 상기 세정부가 세정 동작을 완료하여 상기 세정 위치로부터 상기 대기 위치로 이동을 개시하기 전에, 상기 테이블을 상기 반입 반출 위치로부터 상기 도포 위치로 이동시킴과 더불어,
   상기 세정부 이동 기구는, 상기 잉크젯 헤드에 의한 스페이서 입자 분산액의 도포 동작을 종료하여 상기 테이블이 상기 도포 위치로부터 상기 반입 반출 위치로 이동하기 전에, 상기 세정부를 상기 대기 위치로부터 상기 세정 위치로 이동시키는, 잉크젯 도포 장치.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 테이블 이동 기구는, 상기 테이블과 상기 세정부가, 서로 간섭하지 않도록 한계 접근 거리보다 크게 서로 이격하도록 상기 테이블을 이동시킴과 더불어,
   상기 세정부 이동 기구는, 상기 테이블과 상기 세정부가, 서로 간섭하지 않도록 한계 접근 거리보다 크게 서로 이격하도록 상기 세정부를 이동시키는, 잉크젯 도포 장치.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 잉크젯 헤드는, 상기 테이블 이동 기구에 의한 상기 테이블의 이동 스트로크의 대략 중앙부에 배치되어 있으며,
   상기 테이블 이동 기구에 의한 상기 테이블의 이동 속도와, 상기 세정부 이동 기구에 의한 세정부의 이동 속도는 동일한, 잉크젯 도포 장치.
5. 액정 표시 장치의 제조 시에, 기판간에 스페이서 입자를 개재시킴으로써 액정층 봉입용 갭을 형성하기 위해, 다수의 스페이서 입자 분산액의 토출구가 나열 설치되고, 상기 토출구로부터 기판에 대해 잉크젯 방식으로 스페이서 입자 분산액을 토출함으로써, 기판의 표면에 스페이서 입자 분산액을 도포하는 잉크젯 헤드를 사용하여, 기판 상에 스페이서 입자를 분산시킨 스페이서 입자 분산액을 도포함으로써, 스페이서 입자를 포함하는 스페이서 영역을 형성하는 잉크젯 도포 방법으로서,
   상기 기판을 지지한 테이블을, 당해 테이블에 기판을 반입 반출하기 위한 반입 반출 위치로부터 상기 잉크젯 헤드와 대향하는 도포 위치까지 이동시키고, 상기 기판에 스페이서 입자 분산액을 도포하는 도포 공정과,
   상기 도포 공정에서 스페이서 입자 분산액이 도포된 기판을 지지한 테이블을, 상기 도포 위치로부터 상기 반입 반출 위치까지 반송하는 테이블 이동 공정과,
   상기 잉크젯 헤드를 세정하는 세정부를, 상기 반입 반출 위치와는 반대측으로 이격한 대기 위치로부터 상기 세정부가 상기 잉크젯 헤드와 대향하는 세정 위치까지 이동시켜, 상기 잉크젯 헤드를 세정하는 세정 공정과,
   상기 세정부를, 상기 세정 위치로부터 상기 대기 위치까지 이동시키는 세정부 이동 공정을 구비하며,
   상기 테이블 이동 공정과 상기 세정 공정을 중복시켜 실행함과 더불어,
   상기 세정부 이동 공정과 상기 테이블 이동 공정을 중복하여 실행하는, 잉크젯 도포 방법.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 테이블 이동 공정을 개시하기 이전이며, 상기 테이블과 상기 세정부가, 서로 간섭하지 않는 한계 접근 거리보다 크게 서로 이격하는 상태를 유지 가능해졌을 때에, 상기 세정 공정을 개시함과 더불어,
   상기 세정부 이동 공정을 개시하기 이전이며, 상기 테이블과 상기 세정부가, 서로 간섭하지 않는 한계 접근 거리보다 크게 서로 이격하는 상태를 유지 가능해졌을 때에, 상기 도포 공정을 개시하는, 잉크젯 도포 방법.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 잉크젯 헤드는, 상기 테이블 이동 공정에 있어서의 상기 테이블의 이동 스트로크의 대략 중앙부에 배치되어 있으며,
   상기 테이블 이동 공정과 상기 세정부 이동 공정에 있어서는, 상기 테이블과 상기 세정부를 동일한 이동 속도로 이동시키는, 잉크젯 도포 방법.

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