JP2009274068A - 液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】効率的にドット抜け検出を行うことができ、ドット抜け検出のサイクルタイムを削減できる液滴吐出装置等を提供する。
【解決手段】セットテーブル２１にセットしたワークＷに対して、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニット１３を主走査方向に相対移動させながら、機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動させることにより、ワークＷに描画を行う液滴吐出装置１において、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を検査するための吐出不良検査ユニット１７を備え、吐出不良検査ユニット１７は、機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出により、所定の検査パターンが描画される被描画ユニット１６１と、描画された検査パターンを撮像して画像認識し吐出不良を判断する吐出不良判断手段１６２と、を有し、被描画ユニット１６１は、セットテーブル２１から主走査方向に外れた主走査移動軸上に配設されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、ワークに機能液を吐出させる機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を検査する吐出不良検査ユニットを備えた液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関する。

機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、各種製品（例えば、液晶表示装置のカラーフィルタなど）を製造する液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、基板（ワーク）をセットした基板搬送テーブル（セットテーブル）をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構と、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットをＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動機構と、を備えている。ヘッドユニットの移動領域と基板搬送テーブルの移動領域とが重なる領域が、基板に描画を行いうる吐出可能領域であり、液滴吐出装置では、ヘッドユニットおよび基板を相対的に移動させながら機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動することにより、吐出可能領域に臨んだ基板に所定の描画パターンを描画させる。

液滴吐出装置には、機能液滴吐出ヘッドのノズル詰まりを検査するためのドット抜け検出ユニットが備えられている。ドット抜け検出ユニットは、ヘッドユニットの移動領域下であって、基板搬送テーブルの移動領域から外れた場所に設けられている。ドット抜け検出ユニットは、機能液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルから検査用に機能液滴を吐出させ、その有無を光学的に検出する受光部と、検査用に吐出された機能液を受ける検査用液受け部と、を備えており、ドット抜け検査を行う場合には、ヘッドユニットを検査用液受け部の直上部まで移動させた後、機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動して、検査用液受け部に対して、各吐出ノズルから検査用の機能液滴を吐出させると共に、各吐出ノズルからの機能液滴の有無を受光部で検出する。

特開２００４−２０２３２５号公報

ところで、描画の歩留まりを向上させるために、ドット抜け検出は、液滴吐出装置の立ち上げ時以外にも定期的に行うことが好ましい。すなわち、セットテーブルに対するワークの載せ換え時にドット抜け検出を行い、次のワークに描画処理を行う前に、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴が適切に吐出されることを確認することが好ましい。しかしながら、従来の液滴吐出装置では、ドット抜け検出ユニットが、基板搬送テーブルの移動領域から外れた位置に設けられているため、ワークに対する描画処理の合間にドット抜け検出を行おうとすると、Ｘ軸方向移動機構を駆動して、描画領域にあるヘッドユニットをドット抜け検出ユニットまで移動させなければならないと共に、検出後も再度Ｘ軸方向移動機構を駆動して、描画領域までヘッドユニットを移動させなければならない。このため、従来の液滴吐出装置では、ドット抜け検出に要するサイクルタイムが長引き、ワークに対する描画効率が悪化してしまう。

そこで、本発明は、ワークに対する描画処理の合間であっても、効率的にドット抜け検出を行うことができ、ドット抜け検出のサイクルタイムを削減できる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。

本発明は、セットテーブルにセットしたワークと、複数の吐出ノズルが形成された機能液滴吐出ヘッドとを主走査方向に相対移動させながら、機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動させることによりワークに描画を行う液滴吐出装置において、それぞれが機能液滴吐出ヘッドを搭載し主走査方向に直交する副走査方向に独立して移動可能な複数のキャリッジユニットから成る、ヘッドユニットと、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を検査するための吐出不良検査ユニットと、を備え、吐出不良検査ユニットは、機能液滴吐出ヘッドの全吐出ノズルからの検査吐出により、所定の検査パターンが描画される被描画ユニットと、被描画ユニットに描画された検査パターンを撮像して画像認識し、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を判断する吐出不良判断手段と、を有し、被描画ユニットは、セットテーブルから主走査方向に外れた主走査移動軸上に配設されていることを特徴とする。

この構成によれば、検査パターンが描画される被描画ユニットは、セットテーブルから主走査方向に外れたヘッドユニットの主走査移動軸上に配設されているため、ヘッドユニットの移動軸を利用して、被描画ユニットにヘッドユニットを臨ませることができる。したがって、ワークに対する描画のために行われるヘッドユニットの主走査方向への相対移動を利用して、ヘッドユニットを被描画ユニットに効率よく迅速に臨ませることが可能となり、吐出不良検査に要する時間を削減することが可能である。これにより、全体のタクトタイムを抑えることができ、ワークに対する描画効率を向上させることができる。

この場合、セットテーブルおよび被描画ユニットを支持するスライダを有し、これらをヘッドユニットに対し、主走査方向に移動させる主走査移動テーブルをさらに備えていることが好ましい。

この構成によれば、被描画ユニットは、セットテーブルと同一のスライダに支持されているため、描画のためにスライダを主走査方向に往復動させると、被描画ユニットも同様に主走査方向を往復動する。したがって、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良検査を行う場合には、セットテーブルの主走査方向に対する移動を利用して、被描画ユニットをヘッドユニットに臨ませることができる。

この場合、セットテーブルおよび被描画ユニットを支持するスライダを有し、これらをヘッドユニットに対し、主走査方向に移動させる主走査移動テーブルをさらに備え、スライダは、セットテーブルを主走査方向に移動自在に支持する第１スライダと、第１スライダとは個別に制御され、被描画ユニットを走査方向に移動自在に支持する第２スライダと、を有していることが好ましい。

この構成によれば、被描画ユニットは、セットテーブルを支持するスライダとは別個のスライダに支持されているため、各スライダを移動させるための負荷を軽減させることができる。また、第１スライダおよび第２スライダは、個別に主走査方向に移動可能に構成されているため、セットテーブルと共に定期フラッシングユニットを移動させることができる一方で、セットテーブルおよび定期フラッシングユニットを個別に移動させることも可能である。この場合、ヘッドユニットから離間するセットテーブルの移動と同期させて、吐出不良検査ユニットを移動させることにより、吐出不良検査ユニットを効率的にヘッドユニットに臨ませることができ、迅速に吐出不良検査を行うことができる。なお、ワークに描画を行っているときには、敢えて吐出不良検査ユニットを移動させる必要はない。

この場合、機能液滴吐出ヘッド、および主走査移動テーブル、を制御する制御手段をさらに備えていると共に、ヘッドユニットの主走査移動軸上には、セットテーブルに対してワークの載せ換えを行うワーク載せ換え位置が設定されており、被描画ユニットは、セットテーブルがワーク載せ換え位置に向かう移動途中でヘッドユニットに臨むように配設され、制御手段は、ワーク載せ換え位置に移動する被描画ユニットが、ヘッドユニットに臨んだときに機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動して、検査パターンを描画させることが好ましい。

この構成によれば、セットテーブルがワーク載せ換え位置に向かう途中で、被描画ユニットをヘッドユニットに臨ませることができ、検査パターンを被描画ユニットに描画させることができる。したがって、検査パターンを描画させるために、敢えてヘッドユニットを移動させる必要がなく、ワーク載せ換え位置へのセットテーブルの移動を利用して、効率的に機能液滴吐出ヘッドの吐出不良検査を行うことができる。

この場合、吐出不良判断手段は、セットテーブルが前記載せ換え位置に到達したときに、被描画手段に臨むように配設され、制御手段は、ワークの載せ換え作業と並行して、吐出不良判断手段による吐出不良の判断を行わせることが好ましい。

この構成によれば、ワークの載せ換え作業と並行して検査パターンの撮像と機能液滴吐出ヘッドの吐出不良の判断が行われるため、ワークの載せ換え時間を利用して、効率的に吐出不良検査を行うことができる。

この場合、セットテーブルが載せ換え位置に到達したときに、ヘッドユニットに臨む定期フラッシングボックスを有し、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルからの吐出を受ける定期フラッシングユニットをさらに備え、制御手段は、ワークの載せ換え作業と並行して機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動し、吐出を行わせることが好ましい。

この構成によれば、ワークの載せ換えと並行して定期フラッシングボックスに吐出（捨て吐出）が行われるため、ワーク載せ換え中の機能液滴吐出ヘッドに、乾燥等に起因した目詰まりを生じさせることを有効に防止することができる。

この場合、ヘッドユニットに臨んで、機能液滴吐出ヘッドの保守に供する保守ユニットと、ヘッドユニットを移動させて、これを保守ユニットに臨ませるヘッド移動手段と、をさらに備え、制御手段は、保守ユニットおよびヘッド移動手段を制御しており、吐出不良判断手段により吐出不良が判断されたときに、ヘッドユニットを保守ユニットに臨ませ、保守ユニットにより、機能液滴吐出ヘッドの保守を行わせることが好ましい。

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良が判断されたときには、ヘッドユニットを保守ユニットに移動させ、これを保守することにより、その機能回復を図ることができる。なお、保守ユニットを上記の走査移動テーブルに搭載することにより、ヘッド移動手段を走査移動テーブルで兼用することも可能である。

この場合、保守ユニットは、機能液滴吐出ヘッドを吸引して、吐出ノズルから機能液を強制的に排出させる吸引ユニット、および機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピングユニットの少なくとも１つであることが好ましい。

この構成によれば、保守ユニットとして吸引ユニットが搭載されている場合には、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液を強制的に排出させることにより、ノズル詰まりを解消可能であると共に、保守ユニットとしてワイピングユニットが搭載されている場合には、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の汚れを払拭することにより、機能液滴の飛行曲がりを解消可能である。

この場合、ヘッドユニットにおいて、複数の吐出ノズルは、１描画ラインの描画が行えるように、副走査方向と交差する方向に連続しており、被描画手段の副走査方向と交差する方向の長さは、複数の吐出ノズルにより描画可能な１描画ラインの長さに対応して設定されていることが好ましい。

この構成によれば、被描画手段により、ヘッドユニットの全機能液滴吐出ヘッドから吐出される機能液を受けることが可能であり、効率的に検査パターンを描画させることができる。

この場合、撮像手段は、被描画手段に上側から臨むカメラと、カメラを副走査方向と交差する方向に移動自在に支持するカメラ移動手段と、を有しているが好ましい。

この構成によれば、被描画手段の上側から臨むカメラを副走査方向と交差する方向に移動させることにより、被描画手段に描画された検査パターンを全範囲撮像することができる。

この場合、カメラ移動手段には、副走査方向と交差する方向に並んで、カメラが２個配設されていることが好ましい。

この構成によれば、カメラ移動手段に設けられた２個のカメラを用いて、効率的に検査パターンを撮像することができ、撮像に要する時間を削減可能である。

この場合、吐出不良検査ユニットは、被描画ユニットを主走査方向に移動させるユニット移動機構をさらに備えていることが好ましい。

この構成によれば、被描画ユニットを主走査方向に移動させることができるため、被描画ユニットに対して、主走査方向に複数の検査パターンを描画させることができる。すなわち、複数の各検査パターンを主走査方向に位置ずれさせて描画させても、被描画ユニットを主走査方向に移動させることにより、位置ずれ分を相殺することができ、検査パターンを適切に画像認識させることが可能となる。
この場合、吐出不良検査ユニットは、被描画ユニットを主走査方向に移動させるユニット移動機構をさらに備えていることが好ましい。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記に記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。また、本発明の電気光学装置は、上記に記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。

これらの構成によれば、上記の液滴吐出装置を用いているため、効率よく機能液滴吐出ヘッドの吐出不良検査を行うことができると共に、正常な機能液滴吐出ヘッドを用いて精度良く成膜部を形成することができ、電気光学装置を効率よく製造することができる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置またはＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置、または上記に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。

本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の説明図であり、セットテーブル（吸着テーブル）がワーク載せ換え位置に臨んだときの外観斜視図である。 セットテーブル（吸着テーブル）がワーク載せ換え位置に臨んだ状態で、ブリッジプレートを除いた液滴吐出装置の平面図である。 セットテーブル（吸着テーブル）がワーク載せ換え位置に臨んだときの液滴吐出装置の側面図である。 機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 ヘッドプレート廻りの説明図であり、キャリッジユニットの下側から見たヘッドプレートの平面図である。 ヘッドユニットに搭載された機能液滴吐出ヘッドの配色パターンの説明図である。 カラーフィルタの配色パターンの説明図であり、（ａ）は、ストライプ配列、（ｂ）は、モザイク配列、（ｃ）は、デルタ配列を示している。 液滴吐出装置による描画処理の説明図であり、（ａ）は、第１描画動作、（ｂ）は、第２描画動作、（ｃ）は、第３描画動作についての平面模式図である。 Ｘ軸エアースライダ廻りの外観斜視図である。 描画装置の主制御系について説明したブロック図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、いわゆるフラットディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、ワーク（基板）上に、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の３色から成る液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、Ｘ軸支持ベース２（石定盤）上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１（主走査移動手段）と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２（副走査移動手段）と、複数の機能液滴吐出ヘッド８２（図示省略）が搭載された７つのキャリッジユニット８１から成り、Ｙ軸テーブル１２にＹ軸方向（副走査方向）に移動自在に支持されたヘッドユニット１３と、を備えている。そして、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動させることにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する（描画処理）。

また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、吐出不良検査ユニット１７（これらを総称してメンテナンス手段とする）を備えており、これらを機能液滴吐出ヘッド８２の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド８２の機能維持・機能回復を図るようになっている（メンテナンス処理）。なお、メンテナンス手段を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出不良検査ユニット１７は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１５、およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりヘッドユニット１３が移動可能である位置に配設された架台５上に配設されている。

なお、図示省略したが、液滴吐出装置１には、装置全体を制御する制御手段１８が備えられており、上記の描画処理およびメンテナンス処理は、制御手段１８による制御に基づいて行われている。

以下、液滴吐出装置１の構成要素について説明する。図１ないし図３に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ２２と、Ｘ軸方向に延在し、セットテーブル２１を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸エアースライダ２２の移動を案内する一対（２本）のＸ軸ガイドレール２３と、を備えている。

セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。図９に示すように、吸着テーブル３１は、ワークＷを吸着セットするテーブル本体４１と、テーブル本体４１を３点支持する３組のテーブル支持部材（図示省略）と、θテーブル３２に固定され、テーブル支持部材を介して、テーブル本体４１を支持する支持ベース４２と、を有している。テーブル本体４１は、厚板状の石盤で構成され、一辺１８００ｍｍの平面視略正方形に形成されている。テーブル本体４１の表面には、ワークＷを吸引するための吸引溝４３が複数形成されていると共に、各吸引溝４３には、上記したエアー吸引手段に連なる吸引孔（図示省略）が貫通形成されており、吸引溝４３を介して、ワークＷに十分な吸引力を作用させることができるようになっている。

なお、支持ベース４２には、３組のテーブル支持部材と共に、後述する描画前フラッシングユニット１１１が支持されており、テーブル本体４１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、描画前フラッシングユニット１１１の一対の描画前フラッシングボックス１２１（後述する）が添設されている。図中の符号４４は、リフター機構（図示省略）の多数のリフターピン（図示省略）を遊挿する多数の遊挿孔である。吸着テーブル３１には、吸着テーブル３１に対してワークの除給を行うリフター機構がくみこまれている。リフター機構は、支持ベース４２に支持されており、昇降自在に構成された多数のリフターピンを有している。そして、多数のリフターピンをテーブル本体４１に形成された多数の遊挿孔４４から出没させることにより、図外のロボットアームから未処理のワークＷを受け取り、これを吸着テーブル３１に受け渡すと共に、処理済みのワークＷをセットテーブル２１からリフトアップさせて、これをロボットアームに受け渡すようになっている。

図１および図３に示すように、Ｘ軸エアースライダ２２は、セットテーブル２１（θテーブル３２）を支持するスライダ本体５１と、スライダ本体５１の下部に固定され、一対のＸ軸ガイドレール２３に係合する一対（２組４個）の係合部５２と、を有している。スライダ本体５１には、セットテーブル２１と共に、フラッシングユニット１４の定期フラッシングユニット１１２および吐出不良検査ユニット１７の被描画ユニット１６１（いずれも後述する）が搭載されている。一対のＸ軸リニアモータを（同期させて）駆動すると、一対の係合部５２により一対のＸ軸ガイドレール２３にガイドされた状態で、Ｘ軸エアースライダ２２がＸ軸方向に移動し、セットテーブル２１にセットされたワークＷがＸ軸方向に移動する（主走査移動）。

なお、図２における図示手前側の位置が、ワークＷの載せ換え位置６１となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入するときや、処理済のワークＷを回収するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させるようになっている。また、図中の符号６２は、ワークＷの位置認識を行うためのワークアライメントカメラであり、ワークアライメントカメラ６２の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が行われる。

Ｙ軸テーブル１２は、ヘッドユニット１３を構成する７つの各キャリッジユニット８１（キャリッジ８５）をそれぞれ挿通して固定した７つのブリッジプレート７１と、７つのブリッジプレート７１を両持ちで支持する７組１４個のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、７組１４個のＹ軸スライダを介してブリッジプレート７１をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｙ軸リニアモータと並んでＹ軸支持ベース３上に設置され、７組１４個のＹ軸スライダを支持して、各Ｙ軸スライダの移動を案内する一対のＹ軸ガイドレール（図示省略）と、を備えている。

一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸ガイドレールを案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート７１が両持ち状態でＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット８１がＹ軸方向に移動する（副走査移動）。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各ブリッジプレート７１（キャリッジユニット８１）を独立させて個別に移動させることも可能であるし、７つの全ブリッジプレート７１を一体として移動させることも可能である。

図１ないし図３に示すように、ヘッドユニット１３は、同様に構成された７つのキャリッジユニット８１をＹ軸方向に整列させて構成されている。各キャリッジユニット８１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド８２（図示省略）と、１２個の機能液滴吐出ヘッド８２を２個ずつ保持する６個のヘッド保持プレート８３と、６個のヘッド保持プレート８３（図示省略）を介して、１２個の機能液滴吐出ヘッド８２を搭載するヘッドプレート８４と、ヘッドプレート８４を支持するキャリッジ８５と、を備えている。

図４に示すように、機能液滴吐出ヘッド８２は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、図外の機能液タンクに接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動すると、（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。

なお、ノズル面９７に形成された多数の吐出ノズル９８は、等ピッチ（２ドットピッチ間隔）に整列して、１８０個の吐出ノズル９８から成る分割ノズル列９８ｂを２列形成している。そして、２列の分割ノズル列９８ｂ同士は、相互に１ドットピッチ分位置ずれしている。すなわち、機能液滴吐出ヘッド８２には、２列の分割ノズル列９８ｂにより１ドットピッチ間隔のノズル列９８ａが形成され、１ドットピッチ（高解像度）の描画が可能となっている。

６個の各ヘッド保持プレート８３は、ステンレス等の厚板で平面視長方形に形成されており、その長手方向に並んで、２個の機能液滴吐出ヘッド８２をそれぞれ位置決め・装着するための装着開口（図示省略）が２個設けられている。なお、２個の装着開口は、６ヘッド分のノズル列ピッチに形成されている。

図５に示すように、ヘッドプレート８４は、ステンレス等の厚板で平面視略平行四辺形に形成されている。ヘッドプレート８４には、ヘッド保持プレート８３を位置決め・装着するための開口（図示省略）が設けられており、６個のヘッド保持プレート８３が（機能液滴吐出ヘッド８２のノズル列方向）に略１ヘッド分のノズル列長Ｌだけ位置ずれして階段状に配置されている。これにより、各ヘッドプレート８４に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド８２のノズル列９８ａがＹ軸方向において連続（一部重複）し、１本の分割描画ラインが形成される。

キャリッジ８５は、ヘッドプレート８４をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構１０１と、θ回転機構１０１を介して、ヘッドプレート８４をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート７１）に支持させる吊設部材１０２と、を備えている。θ回転機構１０１は、分割描画ラインがＹ軸方向と平行になるように、ヘッドプレート８４を支持している。なお、図示省略したが、吊設部材１０２には、θ回転機構１０１を介してヘッドプレート８４を昇降させるヘッド昇降機構（図示省略）が組み込まれており、ヘッドプレート８４（機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７）の高さ位置を調整可能に構成されている。

そして、７つの各キャリッジ８５を７つの各ブリッジプレート７１にそれぞれ支持させ、７つのキャリッジユニット８１をＹ軸方向に整列させることにより、ヘッドユニット１３が構成される。ヘッドユニット１３では、１２×７個の全機能液滴吐出ヘッド８２がＹ軸方向に連続し、各キャリッジユニット８１の７本の分割描画ラインがＹ軸方向に連続して１描画ラインが形成されている。なお、図２におけるＸ軸テーブル１１の図示左寄り（架台５側）の位置が、ヘッドユニット１３のホーム位置となっており、この位置からワークＷに対する描画処理が開始される。

ところで、ヘッドユニット１３に搭載された１２×７個の機能液滴吐出ヘッド８２は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のいずれかに対応しており、ワークＷに３色の機能液から成る描画パターンを描画できるようになっている。図６に、本実施形態のヘッドユニット１３における機能液滴吐出ヘッド８２の配色パターンの説明図を示す。同図に示すように、ヘッドユニット１３における機能液滴吐出ヘッド８２の配色パターンは、Ｙ軸方向に連続する１２×７個の機能液滴吐出ヘッド８２に対して、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色を所定の順番（本実施形態では、図示右側からＲ・Ｇ・Ｂの順）で繰り返し１個ずつ対応させたものであり、７つの各キャリッジユニット８１における機能液滴吐出ヘッド８２の配色パターンは全て同様となっている。

したがって、ヘッドユニット１３を２ヘッド分のノズル列長分、副走査移動させれば、移動方向３番目以下の機能液滴吐出ヘッド８２が（副走査移動前に）臨んでいた領域にＲ・Ｇ・Ｂの３色分の機能液滴吐出ヘッド８２を臨ませることができ、この領域内に３色から成る描画パターンを描画可能である。そこで、本実施形態では、２ヘッドノズル列長分の副走査移動で（１枚の）ワークＷに対する描画処理を終了できるように１描画ラインの長さが設定されている。具体的には、１描画ラインの長さは、セットテーブル２１にセット可能なワークＷの最大幅に基づいて設定されており、最大幅のワークＷに対して１回の主走査移動で描画可能な（最小数ｎ個分の）ノズル列長さ＋２ヘッド分のノズル列長の長さ（すなわち、（ｎ＋２）×Ｌ）となっている。なお、本実施形態では、ｎ＝８２である。

なお、ヘッド保持プレート８３が機能液の色数（３色）の整数倍個（６個）設けられているため、同一ヘッド保持プレート８３に保持される２個の機能液滴吐出ヘッド８２には、同一色の機能液が対応するようになっている。これにより、機能液タンクと各機能液滴吐出ヘッド８２との配管接続を比較的単純なものとすることが可能である。

ここで、図８を参照しながら、液晶表示装置のカラーフィルタを作成する場合を例に、液滴吐出装置１における一連の描画処理について説明する。詳細は後述するが、カラーフィルタ６００は、透光性の（透明）基板６０１と、ワークＷ上にＸ軸方向およびＹ軸方向にマトリクス状に並んだ多数の画素領域（フィルタエレメント）６０７ａと、画素領域６０７ａ上に形成されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の着色層６０８（６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂ）と、各画素領域６０７ａを仕切る遮光性のバンク６０３と、を備えている（図８、図１２等参照）。そして、描画処理では、バンク６０３を作り込んだ基板６０１がワークＷとして導入され、各画素領域６０７ａ内に、対応するＲ・Ｇ・Ｂ３色のいずれか１色の機能液が吐出されるよう、ワークＷに所定の描画パターンが描画されるようになっている。

なお、カラーフィルタの配色パターンは、Ｙ軸方向に並ぶ画素領域６０７ａの横列すべてが同色であり、Ｘ軸方向においてＲ・Ｇ・Ｂの３色を繰り返し配列させたストライプ配列、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に並ぶ、縦列および横列の連続する３つの画素領域６０７ａが互いに異なるＲ・Ｇ・Ｂの３色となるモザイク配列、および複数の画素領域５０７ａが千鳥状に（半ピッチずつずらして）配設され、隣接して並ぶ３つの画素領域６０７ａが互いに異なるＲ・Ｇ・Ｂの３色となるデルタ配列のいずれを採用することも可能であるが、ここではストライプ配列のカラーフィルタを作成する場合について説明する（図７参照）。

描画処理は、ワーク載せ換え位置からのワークＷ（吸着テーブル３１）の移動に引き続いて行われ、先ず、第１描画動作が開始される。第１描画動作では、Ｘ軸テーブル１１がそのまま駆動され、セットテーブル２１を介してワークＷが往動すると共に、これと同期して、ホーム位置に臨むヘッドユニット１３の機能液滴吐出ヘッド８２が選択的に吐出駆動され、ワークＷに機能液が吐出される。ワークＷの往動が終了すると、Ｙ軸テーブル１２が駆動され、ヘッドユニット１３がＹ軸方向へ微少量移動する。そして、再度Ｘ軸テーブル１１の駆動と機能液滴吐出ヘッド８２の選択的な吐出駆動とが同期して行われ、復動するワークに対して機能液が吐出される。ワークＷの復動が終了すると、さらにＹ軸テーブル１２が駆動され、ヘッドユニット１３がＹ軸方向へ微少量移動すると共に、上記した一連の動作が再び繰り返され、第１描画動作が終了する。

図８（ａ）に示すように、ヘッドユニット１３の１描画ラインは、ワークＷにマトリクス状に形成された画素領域６０７ａの縦列と直交しており、各画素領域列に機能液滴吐出ヘッド８２が臨むようになっている。また、ヘッドユニット１３がホーム位置に臨んでいるとき、ヘッドユニット１３の（Ｒ・Ｇに対応する）図示右端の２つの機能液滴吐出ヘッド８２（図２においては、左端に位置する）は、図示最右端の画素領域列からさらに右側に外れている。上記の第１描画動作を行うと、各機能液滴吐出ヘッド８２が各列に臨み、当該機能液滴吐出ヘッド８２が対応する色と同色に対応する画素領域６０７ａに機能液が吐出される。

第１描画動作が終了すると、Ｙ軸テーブル１２が駆動され、ヘッドユニット１３が略１ヘッドノズル列長Ｌ分だけＹ軸方向に移動する。これにより、第１描画動作時にＲ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が臨んでいた位置に、Ｂ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が、Ｇ色が対応していた位置にＲ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が、Ｂ色が対応していた位置にＧ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が臨む。続いて、第２描画動作が行われ、第１描画動作と同様にワークＷの往復動とこれに伴う機能液滴吐出ヘッド８２の吐出駆動が２回繰り返される。図８（ｂ）に示すように、これにより、第２描画動作では、第１描画動作でＲ色が吐出された画素領域列にＢ色の機能液が、Ｇ色が吐出された画素領域列にＲ色の機能液が、Ｂ色が吐出された画素領域列にＧ色の機能液が吐出される。

第２描画動作が終了すると、Ｙ軸テーブル１２が駆動されて、ヘッドユニット１３が、さらに略１ヘッドノズル列長分Ｙ軸方向に移動する。これにより、第１描画動作時にＲ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が臨んでいた位置に、Ｇ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が、Ｇ色が対応していた位置にＢ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が、Ｂ色が対応していた位置にＲ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が臨むようになっている。そして、この後、第３描画動作が行われ、第１描画動作および第２描画動作と同様に、ワークＷの往復動が２回行われる。これにより、各画素領域列の全画素領域６０７ａに対してＲ・Ｇ・Ｂ全色分の機能液が吐出され、ワークＷに対する描画処理が終了する。なお、描画処理の終了時には、ヘッドユニット１３の（Ｇ・Ｂに対応する）図示左端の２つの機能液滴吐出ヘッド８２（図２においては、右端に位置する）が、図示最左端の画素領域列からさらに左側に外れている（図８（ｃ）参照）。

このように、本実施形態では、Ｙ軸方向に連続する１２×７個の機能液滴吐出ヘッド８２の配色パターンを、Ｒ・Ｇ・Ｂ異なる３色の繰り返しパターンとしているため、２ヘッド分のノズル列長（２Ｌ）の移動を行うだけで、ワークＷの全画素領域６０７ａに全色分の機能液を吐出させることができる。また、同一列の画素領域６０７ａに対して（ストライプ配列の場合には、横列の画素領域６０７ａに対しても）、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液が同時に吐出されることがないため、たとえバンク６０３上に機能液が着弾した場合でも、（時間差によってバンク６０３上の機能液が乾燥するため）混色が生じ難く、精度良くカラーフィルタを作成することが可能である。

なお、本実施形態では、各画素領域６０７ａに対して、ヘッドユニット１３を２回往復動させることにより描画処理を行っているが、この回数は実情に合わせて任意に設定可能である。

次に、メンテナンス手段を構成するフラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、および吐出不良検査ユニット１７について順に説明する。フラッシングユニット１４は、機能液滴吐出ヘッド８２の全吐出ノズル９８からの捨て吐出（フラッシング）により吐出された機能液滴を受けるためのものであり、描画前フラッシングユニット１１１と、定期フラッシングユニット１１２と、で構成されている。

描画前フラッシングユニット１１１は、ワークＷに機能液を吐出させる直前にヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動して行う、描画前フラッシングの機能液を受けるためのものであり、機能液を受ける一対の描画前フラッシングボックス１２１と、一対の各描画前フラッシングボックス１２１を吸着テーブル３１（支持ベース４２）に支持させる一対のボックス支持部材（図示省略）と、で構成されている（図１ないし図３、および図９参照）。各描画前フラッシングボックス１２１は、Ｙ軸方向に長い平面視長方形の細長い箱状に形成されており、その底部には、機能液を吸収させる吸収材１２３が敷設されている。各描画前フラッシングボックス１２１は、ボックス支持部材を介して吸着テーブル３１に支持されているため、吸着テーブル３１を（θテーブルにより）θ補正して回転させるとこれと共に回転する。

一対の各ボックス支持部材は、各描画前フラッシングボックス１２１が吸着テーブル３１のＹ軸方向に平行な一対の辺（周縁）に沿うよう、吸着テーブル３１から張り出すようにこれを支持している。すなわち、描画前フラッシングボックス１２１は、吸着テーブル３１の前後を挟むように配置されており、ワークＷをＸ軸方向に往復動すると、ヘッドユニット１３の機能液滴吐出ヘッド８２は、ワークＷに臨む直前に順次描画前フラッシングボックス１２１に臨み、描画前フラッシングを行うことができるようになっている。

この場合、描画前フラッシングボックスの長辺の長さは、描画処理中において、全機能液滴吐出ヘッド８２からの捨て吐出を受け得るように、上記したヘッドユニット１３の１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長分の長さ（（ｎ＋４）×Ｌ）と略同じ長さに構成されている。すなわち、本実施形態の描画処理では、ヘッドユニット１３を機能液滴吐出ヘッド８２２ヘッド分Ｙ軸方向へ移動させるようになっており、描画前フラッシングボックスを１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長の長さに対応させることにより、描画処理中にいかなる位置に臨む機能液滴吐出ヘッド８２に対しても、そのＹ軸方向における吐出範囲をカバーできるようになっている。これにより、機能液滴吐出ヘッド８２からの機能液滴の吐出を安定させることができ、ワークＷに精度良く描画処理を行うことが可能となる。

なお、図示省略したが、各ボックス支持部材には、描画前フラッシングボックス１２１を昇降させるボックス昇降機構が組み込まれており、描画処理時、すなわち吐出前フラッシングを受けるときには、各描画前フラッシングボックス１２１の上端面が吸着テーブル３１にセットされたワークＷの表面の高さに一致させた位置でこれを支持すると共に、非描画処理時には、各描画前フラッシングボックス１２１の上端面が吸着テーブル３１の上面（セット面）の高さよりも低くなる位置（待機位置）でこれを支持する。これにより、描画前フラッシングの機能液を外部に飛び散らせることなく、描画前フラッシングボックス１２１で受けることができると共に、非描画時に行うワークＷの載せ換え作業に描画前フラッシングボックス１２１が干渉することがない。なお、吸収材１２３の膨張等を考慮して、上昇時における描画前フラッシングボックス１２１の上端面の位置を、ワーク表面よりも若干低い位置とすることも可能である。なお、ボックス昇降機構は、必ずしも設けなければならないものではなく、実情に応じて設ければよい。

図１ないし図３、および図９に示すように、定期フラッシングユニット１１２は、ワークＷの載せ換え時等にように、描画処理を一時的に休止される時にヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動して行われる定期フラッシングの機能液を受けるためのものであり、機能液を受ける定期フラッシングボックス１３１と、上記のＸ軸エアースライダ２２に搭載され、定期フラッシングボックス１３１の両端を高さ調整可能に支持する一対のボックス支柱部材１３２と、を有している。

定期フラッシングボックス１３１は、上面が開放され、Ｙ軸方向に長い平面視方形のボックス状に形成されている。定期フラッシングボックス１３１は、ヘッドユニット１３に搭載された１２×７個の全機能液滴吐出ヘッド８２を包含し得る大きさに構成され、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２を同時に定期フラッシングできるようになっている。より具体的には、定期フラッシングボックス１３１の長辺の長さは、描画前フラッシングボックス１２１と同様、１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長分の長さ（（ｎ＋４）×Ｌ）に対応して設定され、短辺の長さは、上記した平面視平行四辺形のヘッドプレート８４の高さ（Ｘ軸方向の長さ）に略対応した長さに設定されている。図９に示すように、定期フラッシングボックス１３１の底面には、Ｙ軸方向に延在する複数本（３本）のリブ１３３が突設されており、これらのリブ１３３上に機能液を吸収させるシート状のシート吸収材１３４が配設されている。シート吸収材１３４の上端面は、定期フラッシングボックス１３１の上端面と略一致している。

ボックス支柱部材１３２は、定期フラッシングボックス１３１の上端面が、ヘッドユニット１３に搭載された機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７の高さ位置よりも僅かに（２〜３ｍｍ程度）低い位置となるように、定期フラッシングボックス１３１を支持している。ボックス支柱部材１３２は、セットテーブル２１と共に、Ｘ軸エアースライダ２２のスライダ本体５１に固定されており、Ｘ軸エアースライダ２２を移動させると、ボックススタンドを介して定期フラッシングボックス１３１もＸ軸方向を移動するように構成されている。そして、ボックス支柱部材１３２は、セットテーブル２１より後方位置で定期フラッシングボックス１３１を支持しており、Ｘ軸エアースライダ２２を移動させて、吸着テーブル３１をワーク載せ換え位置に臨ませると、定期フラッシングボックス１３１がヘッドユニット１３に臨み、定期フラッシングの機能液を受け得るようになっている。

なお、図示省略したが、定期フラッシングボックス１３１には、シート吸収材１３４の反りや撓みを防止するための反り防止機構が設けられている。本実施形態では、シート吸収材１３４と機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７とのギャップが僅かであるため、シート吸収材１３４が上反り状態のまま（定期フラッシングの）機能液を吸収させると、機能液により膨潤したシート吸収材１３４が機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７に干渉する惧れがある。そこで、本実施形態では、定期フラッシングボックス１３１に反り防止機構を設けて、シート吸収材１３４の反りを防止し、シート吸収材１３４が機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７と接触することを防止している。

吸引ユニット１５は、機能液滴吐出ヘッド８２を吸引して、機能液滴吐出ヘッド８２の吐出ノズル９８から機能液を強制的に排出させるものである。図２に示すように、吸引ユニット１５は、ヘッドユニット１３、すなわち７個のキャリッジユニット８１に対応して構成されており、同様に構成された７個の分割吸引ユニット１４１を上記架台５上に整列配置したものである。各分割吸引ユニット１４１は、吸引を行うキャリッジユニット８１に対して下側から臨み、キャリッジユニット８１に搭載された１２個の各機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７に、対応する１２個の各キャップ１４３をそれぞれ密着させるキャップユニット１４２と、キャップユニット１４２を昇降させ、機能液滴吐出ヘッド８２（ノズル面９７）に対してキャップを離接させるキャップ昇降機構（図示省略）と、密着させたキャップ１４３を介して各機能液滴吐出ヘッド８２に吸引力を作用させる吸引手段（エゼクタ：図示省略）と、を備えている。

機能液の吸引は、機能液滴吐出ヘッド８２（吐出ノズル９８）の目詰まりを解消／防止するために行われる他、液滴吐出装置１を新設した場合や、機能液滴吐出ヘッド８２のヘッド交換を行った場合などに、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッド８２に至る機能液流路に機能液を充填するために行われる。また、吸引ユニット１５のキャップ１４３は、液滴吐出装置１の非稼動時に、機能液滴吐出ヘッド８２を保管するためにも用いられる。この場合、吸引ユニット１５にヘッドユニット１３を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７にキャップ１４３を密着させることにより、ノズル面９７を封止して、機能液滴吐出ヘッド８２（吐出ノズル９８）の乾燥を防止する。

さらに、吸引ユニット１５のキャップ１４３は、機能液滴吐出ヘッド８２の捨て吐出（予備吐出）により吐出された機能液を受けるフラッシングボックスの機能を有しており、吸引ユニット１５に臨んだ一部のキャリッジユニット８１に対してのみ吸引を行うような場合には、吸引を行わない他のキャリッジユニット８１から、キャップ１４３に対して捨て吐出を行わせるようになっている。この場合、キャップ１４３は、キャップ昇降機構により、その上面が機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７から僅かに離間する位置まで移動させられる。

ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１５１で機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７を拭き取る（ワイピングを行う）ものであり、ロール状に巻回したワイピングシート１５１を繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニット１５２と、繰り出したワイピングシート１５１に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット１５３と、洗浄液が散布されたワイピングシート１５１でノズル面９７を拭取る拭取りユニット１５４と、を備えている（図２参照）。ワイピング動作は、吸引ユニット１５による吸引後等に行われ、ノズル面９７に付着した汚れを払拭する。そして、ワイピングユニット１６は、吸引ユニット１５よりもＸ軸テーブル１１側に配設されており、吸引ユニット１５による吸引後にホーム位置に戻るヘッドユニット１３（各キャリッジユニット８１）に臨んで、効率よくワイピング動作を行えるようになっている。

なお、図示省略したが、吸引ユニット１５の各分割吸引ユニット１４１、およびワイピングユニット１６は、ユニット昇降機構に昇降自在に支持されており、これらのユニット１５（１４１）、１６を所定の退避位置まで下降させることにより、これらユニット１５（１４１）、１６のメンテナンスやキャリッジユニット８１に搭載したヘッドプレート８４を交換する（ヘッド交換）ための作業領域をユニット１５（１４１）、１６上に確保できるようになっている。

図１ないし図３、および図９に示すように、吐出不良検査ユニット１７は、ヘッドユニット１３に搭載された全機能液滴吐出ヘッド８２（の吐出ノズル９８）から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するためのものであり、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２の全吐出ノズル９８から検査吐出された機能液を受け、所定の検査パターンを描画させるための被描画ユニット１６１と、被描画ユニット１６１に描画された検査パターンを撮像して検査する撮像ユニット１６２と、を備えている。

被描画ユニット１６１は、機能液滴吐出ヘッド８２からの検査吐出を受け、ロール状に巻回され、検査パターンを描画させる長尺状の描画シート１７１（ロール紙等）と、描画シート１７１を繰り出しながら巻き取っていく巻取り手段１７２と、巻取り手段１７２を支持する巻取り支持部材１７３と、巻取り支持部材１７３を支持するユニットベース１７４と、を備えている。巻取り手段１７２は、描画シート１７１が装填され、描画シート１７１を繰出す繰出しリール１７５と、繰出された描画シート１７１を巻き取る巻取りリール１７６と、巻取りリール１７６を回転させるための巻取りモータ（ギヤードモータ：図示省略）と、を有している。繰出された描画シート１７１は、外部に露出した状態でＹ軸方向に水平に走行し、巻取りリール１７６で巻き取られるようになっているが、この描画シート１７１の水平走行部が、検査パターンを受ける被描画部となっている。水平走行部のＹ軸方向の長辺の長さは、ヘッドユニットの全機能液滴吐出ヘッド８２からの検査吐出を受けることができるように設定されており、本実施形態では描画前フラッシングボックス１２１や定期フラッシングボックス１３１と同様に、１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長分の長さに対応して設定されている。

なお、描画シート１７１の巻取りは、検査パターンを１回描画する毎に行うのではなく、繰出した描画シート１７１に所定回数検査パターンが描画された後に行われる。この場合、各回の検査吐出による検査パターンが重ならないように、前回に描画された検査パターンに対して、次回に描画される検査パターンは、Ｘ軸方向に僅かに位置ずれして描画される。そして、（所定回数の検査パターンが描画され）描画シート１７１の幅いっぱいに検査パターンが描画されると、巻取りモータが駆動され、描画済みの描画シート１７１を巻き取ると共に、新しい描画シート１７１を繰出すようになっている。なお、本実施形態では、描画シート１７１の巻取りをモータ駆動により自動で行っているが、（巻取り頻度が低い場合等には）手動の巻取り機構を設け、手動でこれを行うようにしてもよい。

また、本実施形態では、ロール状に巻回した描画シート１７１を検査パターンの描画対象として用いているが、これに代えて検査パターン用のガラス基板等を用いることも可能である。この場合、ガラス基板は適宜交換されることとなるが、描画済みのガラス基板は、洗浄された後、繰り返し利用される。

ユニットベース１７４は、セットテーブル２１と定期フラッシングユニット１１２との間に位置してスライダ本体５１に支持されており、巻取り支持部材１７３は、定期フラッシングボックス１３１側に位置する一方の描画前フラッシングボックス１２１と、定期フラッシングボックス１３１との間で巻取り手段１７２を支持している。したがって、描画処理終了後に、（ワークＷの載せ換えのために）吸着テーブル３１をワーク載せ換え位置まで移動させると、定期フラッシングボックス１３１がヘッドユニット１３に臨むことに先立って繰出された描画シート１７１がヘッドユニット１３に臨み、描画シート１７１に検査パターンを描画することができるようになっている。

図３に示すように、撮像ユニット１６２は、上記したＹ軸支持ベース３に支持されており、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、描画シート１７１に描画された検査パターンを描画する２個の検査カメラ１８１と、２個の検査カメラ１８１を保持するカメラホルダ１８２と、Ｙ軸支持ベース３に固定され、カメラホルダ１８２を介して、２個の検査カメラ１８１をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１８３と、カメラ移動機構１８３を介して検査カメラをＹ軸方向に移動させるためのカメラ移動モータ（図示省略）と、を有している。２個の検査カメラ１８１は、描画シート１７１に描画された検査パターンをそれぞれ半分ずつ撮像するように構成されている。例えば、２個の検査カメラ１８１を、ヘッドユニット１３の１描画ラインの長さの約半分の距離だけ離間して配設しておき、この状態で２個の検査カメラを移動させて、検査パターンの左側半分を左側の検査カメラ１８１で、右側半分を右側の検査カメラ１８１で撮像する。これにより、短時間で効率的に検査パターンを撮像（スキャン）することが可能となり、機能液滴吐出ヘッド８２の吐出不良検査に要する時間を削減することが可能となる。

撮像ユニット１６２は、吸着テーブル３１がワーク載せ換え位置に臨んだときに、２個の検査カメラ１８１が描画シート１７１に臨むように配設されており、本実施形態では、ワーク載せ換え中に、検査パターンの撮像を行えるようになっている。そして、２個の検査カメラ１８１による撮像結果は、制御手段１８に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各機能液滴吐出ヘッド８２の各吐出ノズル９８が正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりがないか）否かが判断されるが、この判断もワーク載せ換え中に行われる。すなわち、吐出不良検査手段は、撮像ユニット１６２および制御手段１８により構成されている。

なお、図示省略したが、ユニットベース１７４と巻取り支持部材１７３との間には、巻取り手段１７２全体をＸ軸方向に（微少）移動させるユニット移動機構が設けられている。上述したように、描画シート１７１に描画される検査パターンの描画位置は、Ｘ軸方向に位置ずれしてゆくが、検査パターンの描画位置に応じて巻取り手段１７２をＸ軸方向へ移動させることにより、Ｘ軸方向において固定の撮像ユニット（２個の検査カメラ１８１）に対して、検査パターンを確実に臨ませることができるようになっている。

また、この吐出不良検査ユニット１７を用いて、ヘッドユニット１３を構成する各キャリッジユニット８１の位置補正を行い、各分割描画ラインが１描画ラインを構成するように、初期のヘッドアライメントを行うことも可能である。

次に、図１０を参照して、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット１３（機能液滴吐出ヘッド８２）を有する液滴吐出部１９１と、Ｘ軸テーブル１１、を有し、ワークをＸ軸方向へ移動させるためのワーク移動部１９２と、Ｙ軸テーブル１２を有し、ヘッドユニット１３をＹ軸方向へ移動させるヘッド移動部１９３と、メンテナンス手段の各ユニットを有するメンテナンス部１９４と、各種センサを有し、各種検出を行う検出部１９５と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部１９６と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部１９７（制御手段１８）と、を備えている。

制御部１９７には、各手段を接続するためのインタフェース２０１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ２０２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ２０３と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各手段からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク２０４と、ＲＯＭ２０３やハードディスク２０４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ２０５と、これらを互いに接続するバス２０６と、が備えられている。

そして、制御部１９７は、各手段からの各種データを、インタフェース２０１を介して入力すると共に、ハードディスク２０４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ２０５に演算処理させ、その処理結果を、駆動部１９６（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。これにより、装置全体が制御され、液滴吐出装置１の各種処理が行われる。

ここで、未処理のワークＷをセットテーブル２１（吸着テーブル３１）に導入してから、次のワークＷに載せ換えるまでの、液滴吐出装置１の一連の動作について説明する。図外のロボットアーム（ワーク搬出入装置）を介して、ワーク載せ換え位置に臨む吸着テーブル３１にワークＷが載せ込まれると、制御部１９７は、ワークアライメントカメラ６２を駆動してワークＷを撮像すると共に、この撮像結果を画像認識する。そして、この画像認識に基づいて、θテーブル３２を駆動し、ワークＷの位置（θ）補正を行う。（この間、ヘッドユニット１３は、定期フラッシングユニット１１２に臨んでおり、機能液滴吐出ヘッド８２の定期フラッシングが為されている。）

ワークＷの位置補正が終了すると、制御部１９７は、（定期フラッシングを終了させ、）Ｘ軸テーブル１１を駆動して、ワーク載せ換え位置から吸着テーブル３１をヘッドユニット１３側へ移動させ、上記した一連の描画処理を開始させる。この場合、本実施形態では、吸着テーブル３１およびこれに添設された一対の描画前フラッシングボックス１２１に掛かる領域が描画処理を行うための描画領域として設定されている。そして、一連の描画処理中は、この描画領域内にヘッドユニット１３が臨むようにＸ軸テーブル１１が駆動制御され、吸着テーブル３１（ワークＷ）の往復動が為される。したがって、描画処理中のヘッドユニット１３には、描画前フラッシングボックス１２１、ワークＷが順に臨み、描画前フラッシングに続いて、ワークに対する描画が行われると共に、描画処理に関与しない定期フラッシングユニット１１２および吐出不良検査ユニット１７が描画処理中のヘッドユニット１３に臨むことがないため、効率的かつ適切に描画処理を行うことができる。

ワークＷに対する機能液の吐出が終了し、描画処理（上記第３描画動作における２回目のワークＷの復動）が終了した後も、Ｘ軸テーブル１１の駆動が続けられ、ワークＷをワーク載せ換え位置まで移動させる。このとき、制御部１９７は、所定のタイミングでヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動して、全機能液滴吐出ヘッド８２から検査吐出を行わせる。これにより、ワークＷの移動中に、ヘッドユニット１３（全機能液滴吐出ヘッド８２）に臨む吐出不良検査ユニット１７の描画シート１７１に検査パターンが描画される。このように、本実施形態では、描画処理終了後におけるワーク載せ換え位置までのワークＷの移動動作を利用して、描画シート１７１に検査パターンの描画を行わせているため、検査吐出のためにヘッドユニット１３を敢えて移動させる必要がなく、効率よく検査パターンを描画させることができる。

ワークＷ（吸着テーブル３１）がワーク載せ換え位置まで到達すると、制御部１９７は、Ｘ軸テーブル１１の駆動を停止させると共に、Ｙ軸テーブル１２を駆動して、ヘッドユニット１３をホーム位置に戻す。そして、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動させ、ヘッドユニット１３の直下に位置する定期フラッシングボックス１３１に対して定期フラッシングを行うと共に、定期フラッシングを続けたまま、図外のロボットアームを用いて、処理済のワークＷを回収させると共に、未処理のワークＷをセットテーブル２１に導入する。

一方で、ワークＷがワーク載せ換え位置まで到達すると、制御部１９７は、移動モータを駆動して２個の検査カメラ１８１をＸ軸方向に移動させてゆき、描画シート１７１に描画された検査パターンを２個の検査カメラ１８１で撮像してゆく。そして、撮像結果を画像認識して、ヘッドユニット１３の各機能液滴吐出ヘッド８２について吐出不良が生じているか否かを判断する。ここで、全機能液滴吐出ヘッド８２が正常に機能液滴を吐出していると判断されれば、吐出不良検査を終了させる。そして、ワークＷの載せ換え終了後には、定期フラッシングを停止すると共に、新たな描画処理のためにＸ軸テーブル１１を駆動して、セットテーブル２１をヘッドユニット１３側へ移動させる。

他方、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド８２があると判断されれば、機能液滴吐出ヘッド８２のメンテナンス処理を行う。具体的には、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド８２を有するキャリッジユニット８１を吸引ユニット１５（分割吸引ユニット１４１）に臨ませ、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド８２に対して吸引を行った後、さらにワイピングユニット１６に臨ませて、ワイピング処理を行う。この場合、本実施形態では、ヘッドユニット１３のホーム位置が吸引ユニット１５（およびワイピングユニット１６）寄りに設けられているため、吐出不良の判断がなされたときには、ホーム位置に臨むヘッドユニット１３を迅速に吸引ユニット１５に臨ませて、メンテナンス処理を行うことができるようになっている。

なお、本実施形態のヘッドユニット１３は、７つのキャリッジユニット８１から構成されており、これらを独立して移動させることが可能であるため、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド８２があると判断された場合に、７つの全てのキャリッジユニット８１を吸引ユニット１５またはワイピングユニット１６に臨ませる必要はない。例えば、図２において、図示左から３番目のキャリッジユニット８１の機能液滴吐出ヘッド８２に吐出不良が検出された場合には、左から３番目までのキャリッジユニット８１を吸引ユニット１５に臨ませればよい。そして、左から３番目のキャリッジユニット８１に対してのみ、吸引を行うようする。この場合、ホーム位置に残されたキャリッジユニット８１の機能液滴吐出ヘッド８２に対しては、定期フラッシングを継続させておくと共に、吸引ユニット１５に臨んだ正常なキャリッジユニット８１に対しては、各機能液滴吐出ヘッド８２に対して離間した状態で吸引ユニット１５の各キャップ１４３を臨ませ、各キャップ１４３に対してフラッシング動作を行わせるようにする。

そして、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド８２を有するキャリッジユニット８１の一連のメンテナンス処理が終了し、吸引ユニット１５に移動させたキャリッジユニット８１がホーム位置に戻ると、Ｘ軸テーブル１１を駆動して、吐出不良検査ユニット１７の描画シート１７１をヘッドユニット１３に臨ませ、描画シート１７１に再度検査パターンを描画させる。以下、上述した一連の動作と略同様の動作を繰り返し、ヘッドユニット１３をホーム位置に臨ませて、定期フラッシングを行うと共に、機能液滴吐出ヘッド８２の吐出不良が回復したか否かを確認する。

このように、本実施形態の液滴吐出装置１では、ワークＷの載せ換えと並行して、検査パターンの撮像とこれに基づく吐出不良の判断が行われるため、ワークＷの載せ換え時間を有効に活用することができ、全体のタクトタイムを削減することができる。そして、ワークＷの描画処理終了後、新たに未処理のワークＷに対して描画処理を開始する前に、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２について吐出不良が生じているか否かについて検査が行われるため、製造上の歩留まりを向上させることができる。

また、本実施形態の液滴吐出装置１では、吸着テーブル３１がワーク載せ換え位置に臨むと、定期フラッシングボックス１３１がヘッドユニット１３に臨み、ワークＷの載せ換え中は定期フラッシングが継続して行われている。したがって、（機能液滴吐出ヘッド８２の吐出不良検査中も含め）ワークＷの載せ換え中に、機能液滴吐出ヘッド８２の吐出ノズル９８が目詰まりを生じることを有効に防止することができると共に、各機能液滴吐出ヘッド８２から吐出される機能液量を安定した状態に保つことができる。特に、定期フラッシングボックス１３１は、セットテーブル２１の移動軸上に設けられているため、（新たな描画処理を開始させるために）ワークＷをワーク載せ換え位置から移動させる直前まで定期フラッシングを継続させることができ、機能液滴吐出ヘッド８２を適切な状態に維持することができる。

なお、本実施形態では、定期フラッシングボックス１３１および被描画ユニット１６１の描画シート１７１の水平走行部の長さを、描画前フラッシングボックス１２１と同様に、描画処理におけるヘッドユニット１３の機能液吐出範囲に対応させて、１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長に形成している。そこで、描画処理の終了位置から次の描画処理の開始位置であるホーム位置までヘッドユニット１３を移動させる移動中にも定期フラッシングを行わせるようにしてもよい。これによれば、機能液滴吐出ヘッド８２の駆動停止時間をさらに短縮することができ、機能液滴吐出ヘッド８２のノズル詰まりを有効に防止することができる。

また、ヘッドユニット１３を副走査方向に移動させながら描画処理を行う場合であって、奇数回目の描画処理をヘッドユニット１３のホーム位置から開始し、偶数回目の描画処理を奇数回目の描画処理終了位置から開始させる（奇数回目の描画処理と偶数回目の描画処理とを逆方向に行ってゆく）ような場合には、奇数回目および偶数回目のいずれの描画開始位置にヘッドユニットが臨んでいても定期フラッシングを行わせることができる。

なお、定期フラッシングボックス１３１および被描画ユニット１６１の描画シート１７１の水平走行部の長さを、１描画ラインの長さに対応させてこれらを形成することも可能である。この場合、定期フラッシングボックス１３１は、ワーク載せ換え中の定期フラッシングを受けられるように、ホーム位置に位置するヘッドユニット１３に臨むように（吸引ユニット１５側寄りに）Ｘ軸エアースライダ２２に配設される。一方、被描画ユニット１６１は、描画処理が終了して、ワークＷがワーク載せ換え位置に臨むまでの間にヘッドユニット１３に臨むように、第３描画処理動作における２回目のワークＷ復動時のヘッドユニット１３の位置に対応して、Ｘ軸エアースライダ２２に配設される。

また、本実施形態では、同一のＸ軸エアースライダ２２（スライダ本体５１）上にセットテーブル２１、定期フラッシングユニット１１２および吐出不良検査ユニット１７を搭載させているが、（スライダ本体５２を分割させて）Ｘ軸リニアモータの駆動によりＸ軸方向を独立してスライド可能な２個のスライダを設け、一方にセットテーブル２１を、他方に定期フラッシングユニット１１２および吐出不良検査ユニット１７の被描画ユニット１６１を搭載するように構成してもよい。この場合、ワーク載せ換え位置からセットテーブル２１を移動させるとき、およびセットテーブル２１をワーク載せ換え位置に移動させるときには、Ｘ軸リニアモータを制御して、両スライダを一体的に移動させるようにする。一方、描画処理時には、Ｘ軸リニアモータを制御して、セットテーブル２１を搭載したスライダのみを往復動させて、描画前フラッシングとワークＷに対する描画を行わせる。

また、本実施形態では、ワークＷを主走査方向に移動させ、ヘッドユニット１３を副走査方向に移動させる構成となっているが、ヘッドユニット１３を主走査方向に移動させ、ワークＷを副走査方向に移動させる構成とすることも可能である。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット１３を主走査方向および副走査方向に移動させる構成としてもよい。いずれの場合にせよ、上記した配置に倣って、主走査移動軸上にフラッシングユニット１４および吐出不良検査ユニット１７を配設することにより、効率よくフラッシングや、吐出不良検査を行うことが可能である。

なお、本発明は、上記した実施形態のものに限定されるものではなく、その本旨を逸脱しない限りにおいて、本発明の適用範囲内である。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。

先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ６００（フィルタ基体６００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）６０１上にブラックマトリクス６０２を形成する。ブラックマトリクス６０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス６０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス６０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス６０２上に重畳する状態でバンク６０３を形成する。即ち、まず図１２（ｂ）に示すように、基板６０１及びブラックマトリクス６０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層６０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム６０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１２（ｃ）に示すように、レジスト層６０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層６０４をパターニングして、バンク６０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク６０３とその下のブラックマトリクス６０２は、各画素領域６０７ａを区画する区画壁部６０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド８２により着色層（成膜部）６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体６００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク６０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）６０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク６０３（区画壁部６０７ｂ）に囲まれた各画素領域６０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１２（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド８２によって機能液滴を吐出して区画壁部６０７ｂで囲まれた各画素領域６０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド８２を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成する。着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１２（ｅ）に示すように、基板６０１、区画壁部６０７ｂ、および着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂの上面を覆うように保護膜６０９を形成する。
即ち、基板６０１の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜６０９が形成される。
そして、保護膜６０９を形成した後、カラーフィルタ６００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１３は、上記のカラーフィルタ６００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置６２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ６００は図１２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置６２０は、カラーフィルタ６００、ガラス基板等からなる対向基板６２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層６２２により概略構成されており、カラーフィルタ６００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板６２１およびカラーフィルタ６００の外面（液晶層６２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板６２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ６００の保護膜６０９上（液晶層側）には、図１３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極６２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極６２３のカラーフィルタ６００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜６２４が形成されている。
一方、対向基板６２１におけるカラーフィルタ６００と対向する面には、カラーフィルタ６００の第１電極６２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極６２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極６２６の液晶層６２２側の面を覆うように第２配向膜６２７が形成されている。これらの第１電極６２３および第２電極６２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層６２２内に設けられたスペーサ６２８は、液晶層６２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材６２９は液晶層６２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極６２３の一端部は引き回し配線６２３ａとしてシール材６２９の外側まで延在している。
そして、第１電極６２３と第２電極６２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ６００の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ６００に、第１電極６２３のパターニングおよび第１配向膜６２４の塗布を行ってカラーフィルタ６００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板６２１に、第２電極６２６のパターニングおよび第２配向膜６２７の塗布を行って対向基板６２１側の部分を作成する。その後、対向基板６２１側の部分にスペーサ６２８およびシール材６２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ６００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材６２９の注入口から液晶層６２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板６２１側の部分にカラーフィルタ６００側の部分を貼り合わせる前に、シール材６２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材６２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド８２で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜６２４，６２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド８２で行うことも可能である。

図１４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ６００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置６３０が上記液晶装置６２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ６００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置６３０は、カラーフィルタ６００とガラス基板等からなる対向基板６３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層６３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板６３１およびカラーフィルタ６００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ６００の保護膜６０９上（液晶層６３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極６３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極６３３の液晶層６３２側の面を覆うように第１配向膜６３４が形成されている。
対向基板６３１のカラーフィルタ６００と対向する面上には、カラーフィルタ６００側の第１電極６３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極６３６が所定の間隔で形成され、この第２電極６３６の液晶層６３２側の面を覆うように第２配向膜６３７が形成されている。

液晶層６３２には、この液晶層６３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ６３８と、液晶層６３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材６３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置６２０と同様に、第１電極６３３と第２電極６３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ６００の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが位置するように構成されている。

図１５は、本発明を適用したカラーフィルタ６００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置６５０は、カラーフィルタ６００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置６５０は、カラーフィルタ６００と、これに対向するように配置された対向基板６５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ６００の上面側（観測者側）に配置された偏光板６５５と、対向基板６５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ６００の保護膜６０９の表面（対向基板６５１側の面）には液晶駆動用の電極６５６が形成されている。この電極６５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極６６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極６５６の画素電極６６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜６５７が設けられている。

対向基板６５１のカラーフィルタ６００と対向する面には絶縁層６５８が形成されており、この絶縁層６５８上には、走査線６６１及び信号線６６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線６６１と信号線６６２とに囲まれた領域内には画素電極６６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極６６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極６６０の切欠部と走査線６６１と信号線６６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ６６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線６６１と信号線６６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ６６３をオン・オフして画素電極６６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置６２０，６３０，６５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置７００と称する）の要部断面図である。

この表示装置７００は、基板（Ｗ）７０１上に、回路素子部７０２、発光素子部７０３及び陰極７０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置７００においては、発光素子部７０３から基板７０１側に発した光が、回路素子部７０２及び基板７０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部７０３から基板７０１の反対側に発した光が陰極７０４により反射された後、回路素子部７０２及び基板７０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部７０２と基板７０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜７０６が形成され、この下地保護膜７０６上（発光素子部７０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜７０７が形成されている。この半導体膜７０７の左右の領域には、ソース領域７０７ａ及びドレイン領域７０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域７０７ｃとなっている。

また、回路素子部７０２には、下地保護膜７０６及び半導体膜７０７を覆う透明なゲート絶縁膜７０８が形成され、このゲート絶縁膜７０８上の半導体膜７０７のチャネル領域７０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極７０９が形成されている。このゲート電極７０９及びゲート絶縁膜７０８上には、透明な第１層間絶縁膜７１１ａと第２層間絶縁膜７１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜７１１ａ、７１１ｂを貫通して、半導体膜７０７のソース領域７０７ａ、ドレイン領域７０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール７１２ａ，７１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜７１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極７１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極７１３は、コンタクトホール７１２ａを通じてソース領域７０７ａに接続されている。
また、第1層間絶縁膜７１１ａ上には電源線７１４が配設されており、この電源線７１４は、コンタクトホール７１２ｂを通じてドレイン領域７０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部７０２には、各画素電極７１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ７１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部７０３は、複数の画素電極７１３上の各々に積層された機能層７１７と、各画素電極７１３及び機能層７１７の間に備えられて各機能層７１７を区画するバンク部７１８とにより概略構成されている。
これら画素電極７１３、機能層７１７、及び、機能層７１７上に配設された陰極７０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極７１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極７１３の間にバンク部７１８が形成されている。

バンク部７１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層７１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層７１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層７１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部７１８の一部は、画素電極７１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部７１８の間には、画素電極７１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部７１９が形成されている。

上記機能層７１７は、開口部７１９内において画素電極７１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層７１７ａと、この正孔注入／輸送層７１７ａ上に形成された発光層７１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層７１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層７１７ａは、画素電極７１３側から正孔を輸送して発光層７１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層７１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層７１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層７１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層７１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層７１７ａを再溶解させることなく発光層７１７ｂを形成することができる。

そして、発光層７１７ｂでは、正孔注入／輸送層７１７ａから注入された正孔と、陰極７０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極７０４は、発光素子部７０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極７１３と対になって機能層７１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極７０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置７００の製造工程を図１７〜図２５を参照して説明する。
この表示装置７００は、図１７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１８に示すように、第２層間絶縁膜７１１ｂ上に無機物バンク層７１８ａを形成する。この無機物バンク層７１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層７１８ａの一部は画素電極７１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層７１８ａを形成したならば、図１９に示すように、無機物バンク層７１８ａ上に有機物バンク層７１８ｂを形成する。この有機物バンク層７１８ｂも無機物バンク層７１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部７１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部７１８間には、画素電極７１３に対して上方に開口した開口部７１９が形成される。この開口部７１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層７１８ａの第１積層部７１８ａａ及び画素電極７１３の電極面７１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極７１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層７１８ｂの壁面７１８ｓ及び有機物バンク層７１８ｂの上面７１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド８２を用いて機能層７１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部７１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体７００Ａが得られる。この表示装置基体７００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図２０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド８２から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部７１９内に吐出する。その後、図２１に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面７１３ａ）７１３上に正孔注入/輸送層７１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層７１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層７１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層７１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層７１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層７１７ａと発光層７１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層７１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層７１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層７１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層７１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層７１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２２に示すように、各色のうちの何れか（図２２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部７１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層７１７ａ上に広がって開口部７１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部７１８の上面７１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面７１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部７１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２３に示すように、正孔注入／輸送層７１７ａ上に発光層７１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層７１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド８２を用い、図２４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層７１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層７１７ｂを形成する。なお、発光層７１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極７１３上に機能層７１７、即ち、正孔注入／輸送層７１７ａ及び発光層７１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２５に示すように、発光層７１７ｂ及び有機物バンク層７１８ｂの全面に陰極７０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極７０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極７０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極７０４を形成した後、この陰極７０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置７００が得られる。

次に、図２６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置８００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される放電表示部８０３を含んで概略構成される。放電表示部８０３は、複数の放電室８０５により構成されている。これらの複数の放電室８０５のうち、赤色放電室８０５Ｒ、緑色放電室８０５Ｇ、青色放電室８０５Ｂの３つの放電室８０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板８０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極８０６が形成され、このアドレス電極８０６と第１基板８０１の上面とを覆うように誘電体層８０７が形成されている。誘電体層８０７上には、各アドレス電極８０６の間に位置し、且つ各アドレス電極８０６に沿うように隔壁８０８が立設されている。この隔壁８０８は、図示するようにアドレス電極８０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極８０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁８０８によって仕切られた領域が放電室８０５となっている。

放電室８０５内には蛍光体８０９が配置されている。蛍光体８０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室８０５Ｒの底部には赤色蛍光体８０９Ｒが、緑色放電室８０５Ｇの底部には緑色蛍光体８０９Ｇが、青色放電室８０５Ｂの底部には青色蛍光体８０９Ｂが各々配置されている。

第２基板８０２の図中下側の面には、上記アドレス電極８０６と直交する方向に複数の表示電極８１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層８１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜８１３が形成されている。
第１基板８０１と第２基板８０２とは、アドレス電極８０６と表示電極８１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極８０６と表示電極８１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極８０６，８１１に通電することにより、放電表示部８０３において蛍光体８０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極８０６、表示電極８１１、及び蛍光体８０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板８０１におけるアドレス電極８０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板８０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド８２により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極８０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極８０６の形成を例示したが、上記表示電極８１１及び蛍光体８０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極８１１の形成の場合、アドレス電極８０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体８０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド８２から液滴として吐出し、対応する色の放電室８０５内に着弾させる。

次に、図２７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置９００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置９００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置９００は、互いに対向して配置された第１基板９０１、第２基板９０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部９０３を含んで概略構成される。電界放出表示部９０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部９０５により構成されている。

第１基板９０１の上面には、カソード電極９０６を構成する第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ９０８を形成した導電性膜９０７が形成されている。すなわち、第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７により複数の電子放出部９０５が構成されている。導電性膜９０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ９０８は、導電性膜９０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板９０２の下面には、カソード電極９０６に対峙するアノード電極９０９が形成されている。アノード電極９０９の下面には、格子状のバンク部９１１が形成され、このバンク部９１１で囲まれた下向きの各開口部９１２に、電子放出部９０５に対応するように蛍光体９１３が配置されている。蛍光体９１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部９１２には、赤色蛍光体９１３Ｒ、緑色蛍光体９１３Ｇおよび青色蛍光体９１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板９０１と第２基板９０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置９００では、導電性膜（ギャップ９０８）９０７を介して、陰極である第１素子電極９０６ａまたは第２素子電極９０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極９０９に形成した蛍光体９１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂ、導電性膜９０７およびアノード電極９０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体９１３Ｒ，９１３Ｇ，９１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７は、図２８（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２８（ｂ）に示すように、予め第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜９０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜９０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板９０１および第２基板９０２に対する親液化処理や、バンク部９１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

１ 液滴吐出装置 １１ Ｘ軸テーブル
１２ Ｙ軸テーブル １３ ヘッドユニット
１４ フラッシングユニット １５ 吸引ユニット
１６ ワイピングユニット １７ 吐出不良検査ユニット
１８ 制御手段 ２１ セットテーブル
２２ Ｘ軸エアースライダ ８２ 機能液滴吐出ヘッド
９８ 吐出ノズル １１１ 描画前フラッシングユニット
１１２ 定期フラッシングユニット １６１ 被描画ユニット
１６２ 撮像ユニット １７１ 描画シート
１８１ 検査カメラ １８３ カメラ移動機構
ワーク Ｗ

Claims (15)

1. セットテーブルにセットしたワークと、複数の吐出ノズルが形成された機能液滴吐出ヘッドとを主走査方向に相対移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動させることにより前記ワークに描画を行う液滴吐出装置において、
   それぞれが前記機能液滴吐出ヘッドを搭載し前記主走査方向に直交する副走査方向に独立して移動可能な複数のキャリッジユニットから成る、ヘッドユニットと、
   前記機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を検査するための吐出不良検査ユニットと、を備え、
   前記吐出不良検査ユニットは、前記機能液滴吐出ヘッドの全吐出ノズルからの検査吐出により、所定の検査パターンが描画される被描画ユニットと、
   前記被描画ユニットに描画された前記検査パターンを撮像して画像認識し、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を判断する吐出不良判断手段と、を有し、
   前記被描画ユニットは、前記セットテーブルから前記主走査方向に外れた主走査移動軸上に配設されていることを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記セットテーブルおよび前記被描画ユニットを支持するスライダを有し、これらを前記ヘッドユニットに対し、前記主走査方向に移動させる主走査移動テーブルをさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記セットテーブルおよび前記被描画ユニットを支持するスライダを有し、これらを前記ヘッドユニットに対し、前記主走査方向に移動させる主走査移動テーブルをさらに備え、
   前記スライダは、前記セットテーブルを前記主走査方向に移動自在に支持する第１スライダと、
   前記第１スライダとは個別に制御され、前記被描画ユニットを前記主走査方向に移動自在に支持する第２スライダと、を有していることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
4. 前記機能液滴吐出ヘッド、および前記主走査移動テーブル、を制御する制御手段をさらに備えていると共に、
   前記主走査移動軸上には、前記セットテーブルに対して前記ワークの載せ換えを行うワーク載せ換え位置が設定されており、
   前記被描画ユニットは、前記セットテーブルが前記ワーク載せ換え位置に向かう移動途中で前記ヘッドユニットに臨むように配設され、
   前記制御手段は、前記ワーク載せ換え位置に移動する前記被描画ユニットが、前記ヘッドユニットに臨んだときに前記機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動して、前記検査パターンを描画させることを特徴とする請求項２または３に記載の液滴吐出装置。
5. 前記吐出不良判断手段は、前記セットテーブルが前記載せ換え位置に到達したときに、前記被描画手段に臨むように配設され、
   前記制御手段は、前記ワークの載せ換え作業と並行して、前記吐出不良判断手段による前記吐出不良の判断を行わせることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
6. 前記セットテーブルが前記載せ換え位置に到達したときに、前記ヘッドユニットに臨む定期フラッシングボックスを有し、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルからの吐出を受ける定期フラッシングユニットをさらに備え、
   前記制御手段は、前記ワークの載せ換え作業と並行して前記機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動し、前記吐出を行わせることを特徴とする請求項４または５に記載の液滴吐出装置。
7. 前記ヘッドユニットに臨んで、前記機能液滴吐出ヘッドの保守に供する保守ユニットと、
   前記ヘッドユニットを移動させて、これを前記保守ユニットに臨ませるヘッド移動手段と、をさらに備え、
   前記制御手段は、前記保守ユニットおよび前記ヘッド移動手段を制御しており、前記吐出不良判断手段により前記吐出不良が判断されたときに、前記ヘッドユニットを前記保守ユニットに臨ませ、前記保守ユニットにより、前記機能液滴吐出ヘッドの保守を行わせることを特徴とする請求項４ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
8. 前記保守ユニットは、前記機能液滴吐出ヘッドを吸引して、前記吐出ノズルから前記機能液を強制的に排出させる吸引ユニット、および前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピングユニットの少なくとも１つであることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
9. 前記ヘッドユニットにおいて、前記複数の吐出ノズルは、１描画ラインの描画が行えるように、前記副走査方向に連続しており、
   前記被描画ユニットの前記副走査方向の長さは、前記１描画ラインの長さに対応して設定されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置。
10. 前記吐出不良判断手段は、前記被描画ユニットに上側から臨むカメラと、
    前記カメラを前記副走査方向に移動自在に支持するカメラ移動機構と、を有していることを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出装置。
11. 前記カメラ移動機構には、前記副走査方向に並んで、前記カメラが２個配設されていることを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出装置。
12. 前記吐出不良検査ユニットは、前記被描画ユニットを前記主走査方向に移動させるユニット移動機構をさらに備えていることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかに記載の液滴吐出装置。
13. 請求項１ないし１２のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
14. 請求項１ないし１２のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
15. 請求項１３に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１４に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

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