CN100582529C - 精密齿轮及精密齿轮的制造方法 - Google Patents

精密齿轮及精密齿轮的制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN100582529C
CN100582529C CN200480025231A CN200480025231A CN100582529C CN 100582529 C CN100582529 C CN 100582529C CN 200480025231 A CN200480025231 A CN 200480025231A CN 200480025231 A CN200480025231 A CN 200480025231A CN 100582529 C CN100582529 C CN 100582529C
Authority
CN
China
Prior art keywords
gear
atom
precision
precision gear
metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN200480025231A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1846085A (zh
Inventor
井上明久
清水幸春
喜多和彦
渡边大智
石田央
竹田英树
早乙女康典
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Makino Akihiro
Saotome Yasunori
Namiki Precision Jewel Co Ltd
Original Assignee
Namiki Precision Jewel Co Ltd
YKK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Namiki Precision Jewel Co Ltd, YKK Corp filed Critical Namiki Precision Jewel Co Ltd
Publication of CN1846085A publication Critical patent/CN1846085A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100582529C publication Critical patent/CN100582529C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C45/00Amorphous alloys
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22DCASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
    • B22D17/00Pressure die casting or injection die casting, i.e. casting in which the metal is forced into a mould under high pressure
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H55/00Elements with teeth or friction surfaces for conveying motion; Worms, pulleys or sheaves for gearing mechanisms
    • F16H55/02Toothed members; Worms
    • F16H55/06Use of materials; Use of treatments of toothed members or worms to affect their intrinsic material properties
    • GPHYSICS
    • G04HOROLOGY
    • G04BMECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B13/00Gearwork
    • G04B13/02Wheels; Pinions; Spindles; Pivots
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites

Abstract

本发明提供了一种金属制精密齿轮及齿轮机构,其通过以往的树脂成形齿轮或工具钢金属齿轮中没有的新型材料齿轮,得到兼具高硬度、高强度、高表面平滑性,且加工性优良的高精度金属制精密齿轮及齿轮机构。该齿轮由以铁族元素的Fe、Co、Ni和Cu、Ti、Zr、Hf为主成分的3元或4元以上的组成的玻璃质金属合金构成,由XRD谱图在卤原子图案中显示宽阔的峰值且没有一定的规则性的无序组织形成模数0.2以下的精密齿轮。

Description

精密齿轮及精密齿轮的制造方法
技术领域
本发明涉及一种小型且高负荷、寿命长的精密齿轮以及精密齿轮的制造方法。
背景技术
在钟表或者微型齿轮传动马达等要求高精度的精密仪器中使用的精密齿轮中,模数超过0.2的金属制精密齿轮,可以通过以电火花加工和切削加工为主的、加压加工和轧制成形等各种手法,制造出具有优异的特性和精度的产品。
但是,对于模数为0.2以下的金属制齿轮,关系到精度上的问题或制造成本等问题,实际使用上很难适用电火花加工和切削加工或者加压加工和轧制成形。因此,通常广泛使用通过成型加工能够容易地制造出复杂且微小的结构的树脂制精密齿轮。
该树脂制精密齿轮价格便宜且可以大量生产,但是树脂一体成型加工品相比于金属材料,其机械强度和硬度非常低、对温度变化,容易产生尺寸及形状的变化、具有蠕变特性等,因此,绝对无法满足模数为0.2以下且信赖性高的超精密齿轮的制作。另外,相比于金属材料,表面硬度和抗拉强度非常小,且缺乏耐热性,对耐久寿命影响很大。
近年来,各种强化添加材料的开发不断地发展,已有很多树脂材料的机械强度也很优秀的物质被商品化,但是目前的现状是远远达不到以工具钢为首的实用的金属材料的水平。因此,越是高负荷用途,越期望金属材料制的精密齿轮。
金属材料中有可成型加工的作为压铸用合金的铝合金、镁合金以及铜合金,但是其抗拉强度为750MPa左右,与树脂相同非常低,另外,所得到的产品的表面粗糙度的精度为5μm Ry左右,存在因结晶粒引起的不均匀收缩以及表面的尖凸部,不适合作为模数0.2以下的精密齿轮,期待出现具有与工具钢同等程度以上的机械强度的精密齿轮。
但是,由工具钢制造的精密齿轮是通过机械加工来制备的,因此,很难以低廉的价格大量生产。另外,非常难以确保加工精度,例如即便是硬度很高,部件的表面粗糙度对滑动等引起的材料的磨损影响很大,结果,产品的寿命变短。为了改善耐久性,也期望有抗拉强度更高且表面平滑性好的精密齿轮。
以往报告有形成表面平滑性好且模数为0.1的金属制齿轮(Proc.7th IEEEWorkshop on Micro Mechanical Systems,(1994)P343-348)和形成模数为0.01的金属制齿轮(Proc.IEEE 13th Int.Conf.on Micro Mechanical Systems,MEM2000,(2000)P288-293)的制造例。但它们是采用了LIGA工艺,并进一步通过锻造加工或塑性加工来形成的。
此外,提出有考虑了大量生产的含金属制齿轮形状体的制造方法及其装置(日本专利公开公报:特开平10-296424号),但没有公开对齿轮的样子和评价的详细情况。
形成在玻璃质金属组织或者玻璃质金属组织中具有100nm以下的纳米结晶的金属组织的合金成分已经被提示(日本专利公报:特开2000-345309号,特开2001-316784号公报,特开2002-256401号,特开2000-54089号,特开2001-40460,特开2000-129378号,特公平07-122120号,特开平08-74010号,特开2000-160308号)。但是还没有提出使用了考虑大量生产的制造方法的、具有0.2以下的模数、2μm Ry以下的表面平滑性的齿轮。
进一步,公开了基于具有高强度的烧结块体的制造方法,来制造出齿轮形状的部件的方案(日本专利公开公报:特开平11-71602号公报),但是,因为在烧结时引起粉末间的缝隙量的体积收缩,所以很难得到尺寸精度。另外,在烧结成形的部件中具有空孔,容易产生视为因该空孔引起的裂纹,就算提高填充率,与金属本来的强度相比,也无法否认强度的降低。作为要求有高负荷、高信赖性的精密齿轮的用途,希望形成没有空孔的均匀的组织。
作为构成复杂形状的超精密齿轮之一的精密行星齿轮减速机中使用的恒星轮,如图1所示,在轮的一侧设置有恒星齿轮,在相反侧设置有3个与行星齿轮啮合的销。以往的恒星轮由加压加工了Fe系材料的轮和切削、切齿加工了Fe系棒材的恒星齿轮、切削加工了Fe系棒材的3根销的3种、5个部件构成,通过压入进行各种结合。
通过压入进行的结合必须要极其高精度地精加工压入部分的孔和轴的直径和表面粗糙度,因此,从产品的信赖性方面考虑,必须要有彻底的部件管理和工程管理。另外,因为销本身非常小,压入时的操作性、组装性并不容易,是需要熟练工的工序。对于轮和恒星齿轮的压入结合,也需要有对作为产品使用的最大负荷扭矩具有充分余量的旋转强度。
发明内容
鉴于上述问题,本发明目的在于通过以往的树脂成形齿轮或工具钢金属齿轮没有的新型材料齿轮,得到兼具有高硬度、高强度、高表面平滑性且加工性优良的高精度金属制精密齿轮及齿轮机构。
本发明人发现,在由以铁族元素的Fe,Co,Ni以及Cu,Ti,Zr,Hf为主成分的3元或4元以上的组成的玻璃质金属合金构成的齿轮中,可以形成具有与工具钢匹配的强度、且最大限度地体现了优异的加工性和机械性质、动态特性的模数0.2以下的精密齿轮。本发明所述由玻璃质合金构成的齿轮的特征在于,由XRD图案显示卤原子图案(halo pattern)、即显示宽的峰值的没有一定规则性的无序组织形成。
使用了这些的本发明所述精密齿轮,根据其工艺,可以至少在表面粗糙度为2μmRy、尺寸精度为±5μm的范围内制造,对能够精度优良地制造出加工性以及机械性质、动态特性优异的模数0.2以下的精密齿轮非常有用。
模数0.2以下的精密齿轮,需要使面压分布均匀,极力抑制局部应力的产生。本发明所述精密齿轮通过改善表面粗糙度以及尺寸精度,能够实现可润滑地进行齿轮传递,且损失小、耐久性高的齿轮。
模数越小的精密齿轮,改善表面粗糙度引起的效果越显著,但是,由于本发明的精密齿轮使用了由玻璃质构成的金属材料,因此,能够制造出没有精密级的边缘部位的极其缓和的凹凸面,由此,齿轮的压力分布变得均匀,抑制了微观损失等的损坏,发现了对耐久性的效果。
本发明所述精密齿轮与由具有规则性的结晶金属制造的精密齿轮不同,是没有方位性的无序结构,因此对来自所有方向的外部应力具有强的结构。由此,得到了没有裂纹、没有缺陷的超精密且信赖性高的齿轮。
进而,作为工具钢的替代物,具有维氏硬度为Hv500(相当于洛氏硬度HRc49)、抗拉强度为1500MPa以上中的任意一种性质的齿轮极其有用,尤其优选满足两者的齿轮。
在以上所示的由玻璃质金属合金构成的精密齿轮中,在本发明所述由M100-nTMn(但是,M是Fe,Co,Ni,Cu,Ti,Zr,Hf中的一种或者两种以上元素,TM是由至少含有两种以上由3,4,5,6,8,9,10,11族构成的过渡金属元素(但排除适用于M的元素)、以及由13,14,15族构成的典型元素的群组构成,n为5原子%以上或50原子%以下)构成的3元或4元以上的组成的玻璃质金属组织构成的模数0.2以下的精密齿轮中,若n不足5原子%,则难以得到由玻璃质金属形成的精密齿轮,因此不理想。
即使n超过50原子%,也能够充分得到由玻璃质金属形成的精密齿轮,但容易出现硬度以及强度的降低,或者尺寸精度的降低,故不理想,因此n限定在5原子%以上50原子%以下的范围。
另外,TM优选含有Cr,Mo,Zr,Hf,Nb,Al,Sn,B中的任意一种或两种以上,通过导入这些成分,能够抑制因结晶化引起的无序结构的秩序化,能够提供更热稳定的、信赖性高的精密齿轮。通过满足以上的条件,成功地形成了加工性以及机械性质、动态特性优异的金属制精密齿轮,进而得到构成了它的齿轮机构。
其中,在本发明中,主成分为Cu的精密齿轮显示出1800MPa以上的抗拉强度和超过3.5%的非常大的延伸率,判定为高强度且耐破坏性非常优秀。上述以Cu为主成分的耐破坏性优秀的金属制精密齿轮由CupTiqM1100-p-q(但是,M1由Hf、Zr、铁族、白金族、贵金属(11族)、Al、Sn、Zn中的任意一种或两种以上元素构成,p为50原子%以上65原子%以下、q为2原子%以上20原子%以下)构成。
若p不足50原子%,则导致硬度以及强度的降低,若超过65原子%,则会丧失耐破坏性,故不理想。另外,若q不足2原子%,则导致延伸率极限的降低,若超过20原子%,则难以得到作为本发明齿轮中大的特征的优异的表面平滑性,故不理想。另外,为了不丧失耐破坏性,优选在M1中含有10原子%以上40原子%以下的Hf或Zr,更优选含有20原子%以上35原子%以下。
进一步,在本发明中,主成分为Ni的精密齿轮的所有构成元素为过渡金属元素,因此粘结性强,且以Ni为主成分,因此,具有高的硬度和抗拉强度。以该Ni为主成分的高强度金属制精密齿轮由Ni100-s-t-uNbs(Zr,Hf)tM2u(但M2由Ti、铁族、白金族、贵金属(11族)中的一种或两种以上的元素构成,s是10原子%以上25原子%以下,t是5原子%以上20原子%以下,u是5原子%到25原子%以上,t和u之和为10原子%以上35原子%以下)构成。尤其优选M2中含有5原子%以上20原子%以下的Ti。
Ni-Nb系在氧化环境中形成绝缘体膜,是一种极难因氧化引起材料的老化的材料。但是,在本发明中的最大的优点是能够形成无润滑的齿轮机构,该无润滑的齿轮机构可最大限度地发挥没有因润滑油的粘性引起的阻力的动态特性。本发明的金属制精密齿轮是用于形成无润滑的齿轮机构所需的必要的精密齿轮。
在这里,即使是s比最大值大15原子%,t、u分别比最小值小或者不存在时,也能够由玻璃质金属实现精密齿轮,但是,在已知的制造方法中加工条件变得非常严格,很难得到优异的尺寸精度和表面精度。若在无润滑条件下使用,则表面粗糙度的影响很大,因此,限定了2μmRy以下的能够得到充分的复制性的范围。
接着,在本发明中,主成分为Fe的精密齿轮具有在本发明的齿轮中最硬质且很难产生弹性变形的齿。该硬质且很难产生弹性变形的组成由式Fe100-x-yM3xM4y(但是,M3是3,4,5,6族构成的过渡金属元素中的任意一种或两种以上元素,M4由Mn,Ru,Rh,Pd,Ga,Al,Ge,Si,B,C中的任意一种或两种以上的元素构成,x是2原子%以上35原子%以下,y是5原子%以上30原子%以下)构成。
在M3元素中不含有6族元素的情况中,优选20原子%以下,另外,在M4中有B的情况下,优选15原子%以上。M3、M4都是用于容易地形成本发明精密齿轮的必要元素,但尤其M3是用于提高耐热性的重要元素。若x大于35原子%或小于2原子%,则得不到对耐热性的贡献,另外,若y大于30原子%或者小于5原子%,则尺寸精度、表面平滑性显著降低,故不理想。
在本发明中,特别是在制造组成分为Fe的精密齿轮时,通过用Co及Ni取代一部分Fe,发现熔点的降低和熔融金属的粘度的降低,虽然硬度和强度稍微有所降低,但明确了能够得到尺寸精度和表面平滑性更优秀的精密齿轮。
用Co及Ni取代主成分Fe时,由(Fe1-a(Co,Ni)a)100-x-yM3xM4y构成,Fe和Co及Ni的混合比a为0.1以上0.7以下,优选0.2以上0.6以下。当不足0.1时,添加Co及Ni而产生的熔点的降低效果几乎没有,若超过0.7,则得不到Fe对强度起到的作用。
进一步,在本发明的金属制精密齿轮中,尤其是M4由含有Si,B的元素群构成的情况下,实际试验明确了以Fe为主成分的精密齿轮以及用Co及Ni取代了一部分Fe的精密齿轮,不仅价格便宜,这些准金属成分的存在更显著地抑制了对负荷的弹性变形,这表明是担心模数0.2以下的薄壁齿轮在啮合前后产生的齿的弯曲在本发明精密齿轮中为最小的理想的齿轮。
另外,表明了表面平滑性也极其良好,且在本发明的金属制精密齿轮中也有利于更小型化。此时,优选Fe,Co,Ni的含量的总和为70原子%以上,M3的含量为2原子%以上10原子%以下,当M3的含量不足2原子%或者超过10原子%时,很难得到优秀的精度及表面平滑性,故不理想。
在本发明中,主成分为Zr或Hf的精密齿轮,在本发明的齿轮中,过冷却液体温度区域宽,冷却速度比较低,具有容易得到复杂形状的特征,判断出能够得到尺寸精度和表面平滑性更优秀的精密齿轮。
以Zr或Hf为主成分的精密齿轮由(Zr,Hf)aM5bM6c(但是M5是3,5,6族以及铁族、白金族、贵金属(11族)、Ti、Mn中的任意一种或两种以上的元素,M6由Be、Zn、Al、Ga、B、C、N中的任意一种或两种以上的元素构成,a为30原子%以上70原子%以下,b为15原子%以上65原子%以下,c为1原子%以上30原子%以下)构成,表面硬度约为Hv500,在至今为止的精密齿轮中最低,但是在主成分中具有耐腐蚀性高的元素(Zr,Hf),所以能够在屋外或腐蚀环境等中使用,在本发明齿轮中,可以由生物体毒性最低的元素形成齿轮,故有望在医疗用途中使用。
若a不足30原子%,则优秀的耐腐蚀性会丧失,若超过85原子%,则无法得到尺寸精度以及表面平滑性,故不理想。另外若b和c超出规定的值,则容易在齿部产生填充不良,对耐久性有影响,故不理想。
在本发明中,主成分为Ti的精密齿轮,相继以Fe族为主成分的精密齿轮,具有高的强度,另外,因为Ti的比重低,所以在本发明的齿轮中变得更轻,表明能够得到启动时扭矩损失最低的齿轮机构。进而,判断为对在形成偏心了的齿轮机构时随着重心摆动产生的震动的抑制起到重要的作用的齿轮。
上述以Ti为主成分的精密齿轮由Ti100-i-j-kCuiM7jM8k(但是、M7为由Zr、Hf、铁族、白金族构成的过渡金属元素中的一种以上元素,M8为3,5,6族以及Al,Sn,Ge,Si,B,Be中的两种以上元素,i为5原子%以上35原子%以下,j为10原子%以上35原子%以下,k为1原子%以上20原子%以下)构成。
若i,j不足规定的最小原子%,则难以得到优秀的表面平滑性,若超过最大原子%,则由于比重的增加,以Ti为主成分的优越性消失,故不理想。另外,若k不足1原子%,或者大于20原子%,则很难得到齿轮形状本身,故不理想。
一般来说,在玻璃质中具有结晶的金属组织中,玻璃质金属材料所具有的所谓高强度的机械性质变得降低。但是,只要玻璃质金属的体积比为50%以上,则几乎看不到机械性质的变化。另外,就算结晶的体积比超过50%以上,在结晶尺寸小的情况下,具体地说就算存在100nm的结晶粒,也几乎看不到机械性质的变化。
已知在具有优秀的韧性和延展性的结晶粒混合存在于玻璃质金属的基质时,可提高机械性质,此时的结晶尺寸优选为20nm以下。若超过100nm,则对齿轮的表面粗糙度产生不良影响。因此,混合存在于玻璃质金属的基质中的结晶粒优选为100mm以下。
另外,硬度越高,越发现显著的脆化,对点蚀等的齿轮表面疲劳的耐性产生极坏影响是即知的事实。尽管如此,本发明的精密齿轮具有杨氏模量低的性质,因此尽管其大部分都具有高的硬度,但是对点蚀等的齿轮表面疲劳的耐性也很优秀。
为了显著地发现该效果,齿轮材料中含有的非金属元素的量优选为30原子%以下,在25原子%以下的情况下,表明了在以更硬质的Fe为主成分的齿轮中,到屈服或者破断为止的弯曲度为1.5%以上,判断能够形成柔韧的精密齿轮。
如以上所述,只要是本发明的精密齿轮,与以往公知的齿轮相比,尺寸精度、表面平滑性以及机械性质优秀,能够得到可以简单的工序形成的模数为0.2以下的精密齿轮。
在此,在形成本发明所述模数0.2以下的精密齿轮时,与该无序结构的稳定性无关,为了抑制来自液体的体积收缩,至少需要300℃/秒以上的冷却速度,通过满足该条件,能够引出本发明精密齿轮的性质。优选冷却速度为104℃/秒以上。但是,在铸造成形中,若冷却速度达到107℃/秒以上,则在齿轮的形成中有被固化的现象,而很难填充到铸型中,其结果,表面粗糙度和尺寸精度显著降低。
根据本发明,能够得到兼具有高硬度、高强度、高表面平滑性,且加工性优良的高精度金属制精密齿轮以及齿轮机构,作为行星齿轮减速机具有与以往的工具钢同等程度以上的一般特性,能够实现消音性优异的产品。另外,根据本发明的精密齿轮对外部应力具有强的结构,因此难以产生裂纹、缺口,进而形状精度优越,故信赖性高,作为产品的耐久寿命,有望大范围地提高。进而根据本发明,没有了各部件的组装工序,而能够一体成形,故能够减少图2所示的工序数,进而无需组装精度的研究。
附图说明
图1是本发明所述行星齿轮的分解立体图。
图2是表示以往和本发明行星齿轮的工序的说明图。
图3是使用了加压铸造成形装置的恒星轮的制作概略图。
图4是热循环流程图。
图5是本发明的恒星轮的放大侧面照片。
具体实施方式
在本发明所述齿轮的制作对象中,作为加工性以及机械性质、动态特性优异的机械部件之一例,选择了在行星齿轮减速机中具有复杂形状的精密齿轮结构体的一例的模数0.04的恒星轮。
图1表示安装了由本发明形成的恒星轮的行星齿轮减速机的分解图。在这里,1为齿轮箱,在内周面形成有内齿轮。2为轴承,固定在齿轮箱1上,可自由旋转地轴支撑输出轴轮3。4为小齿轮,被固定在未图示的电动机的轴上。
通过未图示的电动机的驱动,小齿轮4旋转,可自由旋转地插入到恒星轮5a的轴上的3个行星齿轮6a旋转。该行星齿轮与齿轮箱1的内齿轮同时啮合,恒星轮5a在与小齿轮4相同的方向上一边减速一边旋转。
接着,通过恒星轮5a的恒星齿轮的旋转,可自由旋转地插入到恒星轮5b的轴上的3个行星齿轮6b旋转。该行星齿轮与齿轮箱1的内齿轮同时啮合,恒星轮5b一边进一步减速,一边旋转。同样地依次传递动力,最终输出轴轮3旋转。
在实施本发明之际,因考虑了大量的生产,所以选择了加压铸造成形装置。图3表示了该制造装置的概略图。为了更简明地表示本发明所需的机构,在概略图中省去了所谓水冷却机构和真空排气系统以及切断工具的复杂机构。
在11的套筒外周面具有高频线圈12,套筒11中的金属通过高频介质加热变成熔融金属13。在装置中设置有观察熔融金属13的窗口,熔融金属13的温度可以通过目视或者放射温度计来进行测量。可以在装置上隔着套筒11设置热电偶,来更准确地测量温度,但是在此次的实施中,采用了放射温度计,而没有采用热电偶。
在熔融金属的下方保持熔融金属的挤压头14和套筒11在射出时以最大4m/秒的速度共同上升,将熔融金属13经由铸型15中的流道输送到内腔部16中。内腔16被金属板17充分固定,通过将熔融金属填充到被形成为产品形状的内腔部16,来使之精密地成形。
熔融金属通过充分冷却至常温的铸型以及内腔以103~104℃/秒左右的速度迅速冷却凝固。在铸型以及内腔中使用热作工具钢(SKD-1),根据需要,可以在内腔部16实施平滑的简易涂覆,另外,内腔可以相互分解,是充分考虑了离形的结构。正在迅速冷却凝固中的压力根据挤压头的油压不同,但是设定成产品表面的压力为1MPa左右。
在制作内腔部16之际,实施电火花加工、滚磨以及化学抛光加工,将恒星齿轮部的齿面粗糙度控制在1μmRy以下,将轴部的表面粗糙度控制在0.5μmRy以下。铸型的表面粗糙度可以采用非接触式的测量来进行调查,该测量采用具有表面粗糙度测量功能的广角共焦显微镜来进行确认。
作为比较例,在表1中表示了对由本发明得到的上述齿轮结构体和以往的齿轮结构体进行试验评价的结果。尺寸误差是通过工具显微镜测量了齿轮内周直径的尺寸误差。齿面粗糙度采用非接触式粗糙度测量方法进行测量,表面硬度采用显微维氏硬度计以100g~1kg的负荷进行了测量。进一步,抗拉强度是使用附属有分析功能的台式抗拉试验仪,以0.2mm的宽度固定厚度为相当于齿的壁厚的60μm、宽度为50μm的箔体来进行测量的。
进一步,将使用了上述恒星轮的行星齿轮减速机安装到φ2mm无刷电动机,考虑到实际使用环境,在图4的条件中增加了热循环,进行48小时的连续运转试验,调查有无变形或动作异常。有无变形可以通过在工具显微镜中对照投影图案图面和齿轮来进行判断,偏出到标准形状外的判断为有变形。
表1中的XRD图案采用微小X线衍射装置进行测量,判断出有表示卤原子图案(halo pattern)的(G)、在卤原子图案中混合存在有峰值的(G+C)、完全显示结晶的图案的(C)。其中,(G)为表示非晶质的标记,(C)为表示结晶的标记。
表1
Figure C20048002523100141
实施例A~G是形成主成分为Fe,Co的精密齿轮的例子。特别是在Fe100-x-yM3xM4y中,M4由Si,B构成的实施例A在本发明的齿轮中硬度最高,另外,尺寸精度和表面粗糙度也非常良好。进而,通过用Co和Ni取代了实施例A中的一部分Fe,且使作为M3元素的Nb量适当化了的实施例B、C,能够形成大大改善了形状精度及表面粗糙度的高效率且低磨损性的齿轮。具有白金族的实施例D能够形成弯曲应变极限大,且改善了截至破断为止的耐破坏性被的齿轮。
实施例A~G中的任意一个均能形成Hv1000、抗拉强度为3000MPa左右、延伸率为1.6%以上、非常硬且强度高、且相对应力的弯曲应变量小的难以产生弹性变形的精密齿轮,其结果,在使用了本发明的齿轮的超精密齿轮机构中,能够得到具有最理想的动态特性的齿轮机构。
实施例H、I是形成了以Ni为主成分,且所有的构成元素由过渡金属元素构成的精密齿轮的例子。若与已知的金属齿轮的诸多性质进行对比,即使与以Fe,Co为主成分的精密齿轮相比,具有完全不逊色的硬度和强度,能够形成弯曲应变极限大的精密齿轮。
利用Ni-Nb系材料所具有的优异的耐腐蚀性,尝试了在无法使用润滑油的海水中的适用,在过饱和地添加了食盐的水温40℃的食盐水中,追加进行了行星齿轮减速机的耐久动作试验,但是,试验前后,完全没有发现诸多特性的变化,另外,所有的齿轮均没有发生变化,能够得到可适用于海水中的齿轮机构。
实施例J,K是形成了以Ti为主成分的精密齿轮的例子。使用了这种以Ti为主成分的齿轮的齿轮机构在启动时,扭矩的损失小,所以齿轮机构整体的反应速度提高了5%左右,能够得到反应良好的齿轮机构。
实施例L,M是形成了以Cu为主成分的精密齿轮的例子。在本发明中,显示了最大的延伸率,能够形成具有超过以往材料的1500MPa的均达到1850MPa以上的抗拉强度的精密齿轮。特别是实施例L的延伸率极限达到了3.9%非常大,得到了在本发明中耐破坏性最优秀的精密齿轮。其结果,能够得到对破坏性动作缺陷的信赖性极高的齿轮机构。图5是由扫描型电子显微镜得到的一体型恒星轮L的侧面放大照片。7是恒星齿轮,8是托盘,9是3根轴。
实施例N,O,P是形成了以Zr,Hf为主成分的精密齿轮的例子。其在本发明中均为易加工性最优异的精密齿轮,能够形成以对表面粗糙度、尺寸误差以及酸的耐性强且生体适应性高的成分为中心的精密齿轮,进而能够形成使用了该精密齿轮的齿轮机构。
如上所述,本发明的精密齿轮具有各种优异的特征,通过组合利用这些优异的性质,能够得到更优良的齿轮机构。
比较例1a~1c是形成了以Fe,Co为主成分的本发明对象以外的精密齿轮的例子。准金属元素量比30原子%多的例1a在离形时的阶段无法成形,在M100-nTMn中,n不足50原子%的比较例1b以及1c(进而,在比较例1b的Fe100-x-yM3xM4y中x超过20原子%)在离形时受损,无法得到目的齿轮。
比较例2d~2f是形成了以Ni为主成分的本发明对象以外的精密齿轮的例子。在Ni100-s-t-uNbs(Zr,Hf)tM2u中,s不足10原子%的比较例2d在离形时受损,无法得到目的齿轮。另外,虽然s超过25原子%的比较例2e为玻璃质且形成了接近于齿轮的形状,但是无法得到2μmRy以下的优异的表面平滑性,另外,无法填充到齿预,而无法得到标准的齿形,因此,无法插入到齿轮中,使之动作。
进而,在Ni100-s-t-uNbs(Zr,Hf)tM2u中,虽然t和u之和为35原子%以上的比较例2f也为玻璃质且能够形成接近于齿轮的形状,但是无法得到2μmRy以下的优异的表面平滑性,另外,无法填充到齿顶,而无法得到标准的齿形,因此,无法插入到齿轮中,使之动作。
比较例3g是形成了以Ti为主成分的本发明对象以外的精密齿轮的例子。在Ti100-i-j-kCuiM7jM8k中,k为20原子%以上的例3g在离形时受损,无法得到目的齿轮。另外,虽然i不足5原子%的例3h和j不足10原子%的例3i也为玻璃质且能够形成接近于齿轮的形状,但是无法得到2μmRy以下的优异的表面平滑性,另外,无法填充到齿顶,而无法得到标准的齿形,因此,无法插入到齿轮中,使之动作。
比较例4j,4k是形成了以Cu为主成分的本发明对象以外的精密齿轮的例子。在CupTiqM1100-p-q中,虽然q不足2原子%的比较例4j为玻璃质且表面平滑性也非常良好,但是离形时部分齿受损,无法得到目的齿轮。p超过65原子%的例4k在离形时也会有部分齿受损,而无法得到目的齿轮。
比较例5l是形成了以Zr为主成分的本发明对象以外的精密齿轮的例子。在(Zr,Hf)aM5bM6c中,虽然b不足15原子%的比较例5l为玻璃质且形成接近于齿轮的形状,但是无法得到2μmRy以下的优异的表面平滑性,另外,无法填充到齿顶,而无法得到标准的齿形,因此,无法插入到齿轮中,使之动作。
比较例6m,6n是关于以La,Pd为主成分且制造方法已被公开的精密齿轮的例子。其均能够得到易加工性,良好的尺寸精度以及表面粗糙度。
但是,以La为主成分的比较例6m在安装试验后,产生视为因软化引起的变形的显著的齿形变形,还产生动作异常,事实上无法应用于精密齿轮中。以Pd为主成分的比较例6n也产生齿形变形,但是与比较例6m不同,其特征是产生摩擦了黏土那样的齿形变形。对尺寸精度的影响相比于比较例6n小,但是在啮合时,因变形而产生卡住的现象,而不适用于施加高负荷的精密齿轮。
比较例7o,7p是由主成分为通过烧结得到的Fe的玻璃质金属构成的精密齿轮的例子。如事先预料到的那样,相比于经迅速冷却凝固熔融金属得到的本发明的精密齿轮,强度明显小,多处发现视为崩刃的崩齿现象,很难适用于实用材料。
比较例8q,8r是使用了已有的铸造用结晶金属材料的例子。用Fe系结晶合金的比较例8q尝试了成形,但无法填充到铸型中,无法得到目的齿轮。另外作为Al系的压铸结晶合金的比较例8r在离形时变形,无法得到目的齿轮。
比较例9s,9t是由树脂材料形成的例子。由常用的树脂材料构成的例9s的齿轮和由玻璃纤维强化树脂构成的例9t的齿轮均出现了齿形的变形,作为用途,被限定在低负荷的环境中。
比较例10u,10v是将一般的Fe系金属材料用现行的恒星轮的制造方法制造了的例子。在具有代表性的不锈钢的比较例10u中,确认出现了因强度不足引起的视为塑性变形的齿的压垮现象,到底不及本发明的齿轮。作为一般工具的比较例10v是与现行齿轮中采用的材料最接近的材料。
在表2中表示了在经过上述流程制造的恒星轮中,表面复制性最良好的本发明例的恒星轮B和通过工具钢的切削加工进行组装的以往产品(相当于比较例10v)的组装试验前的表面粗糙度的比较结果。表面粗糙度通过共焦显微镜测量相同的个数,括号外的数值表示实测值的平均值,括号内的数值表示最大值和最小值之差。
表2
Figure C20048002523100181
进一步,将使用了上述恒星轮的行星齿轮减速机安装到φ2mm无刷电动机上。φ2mm电动机的电路电压为4V,电动机驱动电压为3V,端子间电阻为110.6Ω,行星齿轮减速机的齿轮比为18∶1。在表3中表示了通过安装试验得到的特性数据。通过将本发明精密齿轮中的一例的恒星轮适用于行星齿轮减速机,能够得到与现行的行星齿轮减速机相同程度以上的一般特性。另外,也能够减轻齿轮彼此啮合时产生的特有的金属音。
表3
  启动扭矩Ts[mNm]   无负荷转数N<sub>0</sub>[rpm]   无负荷电流I<sub>0</sub>[mA]   金属音
  本发明产品   0.064   3650   9   听不到
  以往产品   0.058   2900   12   稍有
产业上的可利用性
本发明的齿轮比原有齿轮更小型,且能够适用于要求强度、耐磨损性、润滑性的结构部件

Claims (6)

1、一种精密齿轮,其特征在于由模数0.2以下的齿轮构成,该齿轮由体积比为50%以上的玻璃质金属组织形成,由(Zr,Hf)aM5bM6c构成,但是,M5为3、5、6族以及铁族、白金族、11族的贵金属、Ti、Mn中的任意一种或者两种以上的元素,M6由Be、Zn、Al、Ga、B、C、N中的任意一种或两种以上元素构成,a为30原子%以上70原子%以下,b为15原子%以上65原子%以下,c为1原子%以上30原子%以下。
2、如权利要求1所述的精密齿轮,其特征在于由具有维氏硬度为Hv 500以上、抗拉强度为1500MPa以上中的至少一个性质的齿轮构成。
3、如权利要求1所述的精密齿轮,其特征在于其为用于行星齿轮减速机且由恒星齿轮和托盘构成的恒星轮。
4、如权利要求1所述的精密齿轮,其特征在于其以300℃/秒以上107℃/秒以下的冷却速度形成。
5、一种精密齿轮的制造方法,其特征在于通过以压铸法为代表的熔融金属的射出成形,来形成权利要求1所述的精密齿轮。
6、一种精密齿轮的制造方法,其特征在于在粘性流动温度区域,通过超塑性锻造成形,来形成权利要求1所述的精密齿轮。
CN200480025231A 2003-09-02 2004-09-01 精密齿轮及精密齿轮的制造方法 Expired - Fee Related CN100582529C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003310153 2003-09-02
JP310153/2003 2003-09-02

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2009102261842A Division CN101929537B (zh) 2003-09-02 2004-09-01 精密齿轮及精密齿轮的制造方法
CN2009102261838A Division CN101709773B (zh) 2003-09-02 2004-09-01 精密齿轮及精密齿轮的制造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1846085A CN1846085A (zh) 2006-10-11
CN100582529C true CN100582529C (zh) 2010-01-20

Family

ID=34269638

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200480025231A Expired - Fee Related CN100582529C (zh) 2003-09-02 2004-09-01 精密齿轮及精密齿轮的制造方法
CN2009102261838A Expired - Fee Related CN101709773B (zh) 2003-09-02 2004-09-01 精密齿轮及精密齿轮的制造方法
CN2009102261842A Expired - Fee Related CN101929537B (zh) 2003-09-02 2004-09-01 精密齿轮及精密齿轮的制造方法

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2009102261838A Expired - Fee Related CN101709773B (zh) 2003-09-02 2004-09-01 精密齿轮及精密齿轮的制造方法
CN2009102261842A Expired - Fee Related CN101929537B (zh) 2003-09-02 2004-09-01 精密齿轮及精密齿轮的制造方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20070034304A1 (zh)
EP (1) EP1696153B1 (zh)
JP (1) JP4801800B2 (zh)
KR (4) KR101507261B1 (zh)
CN (3) CN100582529C (zh)
WO (1) WO2005024274A1 (zh)

Families Citing this family (58)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4789279B2 (ja) * 2005-04-28 2011-10-12 並木精密宝石株式会社 マイクロモータ用のモータシャフト及びマイクロモータ
WO2009069716A1 (ja) 2007-11-27 2009-06-04 Tohoku University 内歯車の製造方法および金属ガラス製の内歯車
JP4450080B2 (ja) * 2008-02-01 2010-04-14 セイコーエプソン株式会社 腕時計用歯車及び腕時計用歯車の製造方法
US20090223052A1 (en) * 2008-03-04 2009-09-10 Chaudhry Zaffir A Gearbox gear and nacelle arrangement
US8613816B2 (en) 2008-03-21 2013-12-24 California Institute Of Technology Forming of ferromagnetic metallic glass by rapid capacitor discharge
US8613814B2 (en) 2008-03-21 2013-12-24 California Institute Of Technology Forming of metallic glass by rapid capacitor discharge forging
CN104313265B (zh) 2008-03-21 2018-07-13 加利福尼亚技术学院 通过快速电容器放电形成金属玻璃
EP2180385A1 (fr) * 2008-10-21 2010-04-28 The Swatch Group Research and Development Ltd. Procédé de fabrication d'une platine de montre
JP2010256337A (ja) * 2009-04-01 2010-11-11 Seiko Epson Corp 時計
AU2013205177B2 (en) * 2010-04-08 2015-01-15 California Institute Of Technology Electromagnetic forming of metallic glasses using a capacitive discharge and magnetic field
AU2011237361B2 (en) * 2010-04-08 2015-01-22 California Institute Of Technology Electromagnetic forming of metallic glasses using a capacitive discharge and magnetic field
EP2400353A1 (fr) * 2010-06-22 2011-12-28 The Swatch Group Research and Development Ltd. Aiguille de pièce d'horlogerie
JP5657106B2 (ja) 2010-06-22 2015-01-21 ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド 時計の衝撃吸収軸受
EP2400352A1 (fr) * 2010-06-22 2011-12-28 The Swatch Group Research and Development Ltd. Système d'échappement pour pièce d'horlogerie
EP2655681A4 (en) 2010-12-23 2015-03-04 California Inst Of Techn SHAPING A METALLIC GLASS SHEET BY RAPID DISCHARGE OF A CAPACITOR
WO2012112656A2 (en) 2011-02-16 2012-08-23 California Institute Of Technology Injection molding of metallic glass by rapid capacitor discharge
CN102563006B (zh) * 2011-12-15 2016-09-07 比亚迪股份有限公司 齿轮
WO2014004704A1 (en) * 2012-06-26 2014-01-03 California Institute Of Technology Systems and methods for implementing bulk metallic glass-based macroscale gears
US9783877B2 (en) 2012-07-17 2017-10-10 California Institute Of Technology Systems and methods for implementing bulk metallic glass-based macroscale compliant mechanisms
US8833432B2 (en) 2012-09-27 2014-09-16 Apple Inc. Injection compression molding of amorphous alloys
JP5819913B2 (ja) 2012-11-15 2015-11-24 グラッシメタル テクノロジー インコーポレイテッド 金属ガラスの自動急速放電形成
US9211564B2 (en) 2012-11-16 2015-12-15 California Institute Of Technology Methods of fabricating a layer of metallic glass-based material using immersion and pouring techniques
US9579718B2 (en) 2013-01-24 2017-02-28 California Institute Of Technology Systems and methods for fabricating objects including amorphous metal using techniques akin to additive manufacturing
US9328813B2 (en) 2013-02-11 2016-05-03 California Institute Of Technology Systems and methods for implementing bulk metallic glass-based strain wave gears and strain wave gear components
WO2014145747A1 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Glassimetal Technology, Inc. Methods for shaping high aspect ratio articles from metallic glass alloys using rapid capacitive discharge and metallic glass feedstock for use in such methods
US20140342179A1 (en) 2013-04-12 2014-11-20 California Institute Of Technology Systems and methods for shaping sheet materials that include metallic glass-based materials
US9610650B2 (en) 2013-04-23 2017-04-04 California Institute Of Technology Systems and methods for fabricating structures including metallic glass-based materials using ultrasonic welding
US10081136B2 (en) 2013-07-15 2018-09-25 California Institute Of Technology Systems and methods for additive manufacturing processes that strategically buildup objects
CN104416141B (zh) * 2013-08-28 2017-05-03 比亚迪股份有限公司 一种非晶合金齿轮成型方法及所用模具
US9868150B2 (en) 2013-09-19 2018-01-16 California Institute Of Technology Systems and methods for fabricating structures including metallic glass-based materials using low pressure casting
US10273568B2 (en) 2013-09-30 2019-04-30 Glassimetal Technology, Inc. Cellulosic and synthetic polymeric feedstock barrel for use in rapid discharge forming of metallic glasses
JP5916827B2 (ja) 2013-10-03 2016-05-11 グラッシメタル テクノロジー インコーポレイテッド 金属ガラスを急速放電形成するための絶縁フィルムで被覆された原料バレル
WO2015102732A2 (en) * 2013-10-25 2015-07-09 Golden Intellectual Property, Llc Amorphous alloy containing feedstock for powder injection molding
EP2881488B1 (fr) * 2013-12-06 2017-04-19 The Swatch Group Research and Development Ltd. Alliage amorphe massif à base de zirconium sans béryllium
WO2015156797A1 (en) * 2014-04-09 2015-10-15 California Institute Of Technology Systems and methods for implementing bulk metallic glass-based strain wave gears and strain wave gear components
US10029304B2 (en) 2014-06-18 2018-07-24 Glassimetal Technology, Inc. Rapid discharge heating and forming of metallic glasses using separate heating and forming feedstock chambers
US10022779B2 (en) 2014-07-08 2018-07-17 Glassimetal Technology, Inc. Mechanically tuned rapid discharge forming of metallic glasses
US10487934B2 (en) 2014-12-17 2019-11-26 California Institute Of Technology Systems and methods for implementing robust gearbox housings
US10151377B2 (en) 2015-03-05 2018-12-11 California Institute Of Technology Systems and methods for implementing tailored metallic glass-based strain wave gears and strain wave gear components
US10174780B2 (en) 2015-03-11 2019-01-08 California Institute Of Technology Systems and methods for structurally interrelating components using inserts made from metallic glass-based materials
US10155412B2 (en) 2015-03-12 2018-12-18 California Institute Of Technology Systems and methods for implementing flexible members including integrated tools made from metallic glass-based materials
US10968527B2 (en) 2015-11-12 2021-04-06 California Institute Of Technology Method for embedding inserts, fasteners and features into metal core truss panels
US10682694B2 (en) 2016-01-14 2020-06-16 Glassimetal Technology, Inc. Feedback-assisted rapid discharge heating and forming of metallic glasses
US10632529B2 (en) 2016-09-06 2020-04-28 Glassimetal Technology, Inc. Durable electrodes for rapid discharge heating and forming of metallic glasses
DE102016216884A1 (de) * 2016-09-06 2018-03-08 Brose Fahrzeugteile Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft, Bamberg Antriebsvorrichtung mit akustischer Entkopplung für einen Fensterheber
WO2018165662A1 (en) 2017-03-10 2018-09-13 California Institute Of Technology Methods for fabricating strain wave gear flexsplines using metal additive manufacturing
US11185921B2 (en) 2017-05-24 2021-11-30 California Institute Of Technology Hypoeutectic amorphous metal-based materials for additive manufacturing
US11014162B2 (en) 2017-05-26 2021-05-25 California Institute Of Technology Dendrite-reinforced titanium-based metal matrix composites
US11077655B2 (en) 2017-05-31 2021-08-03 California Institute Of Technology Multi-functional textile and related methods of manufacturing
WO2018223117A2 (en) 2017-06-02 2018-12-06 California Institute Of Technology High toughness metallic glass-based composites for additive manufacturing
US11859705B2 (en) 2019-02-28 2024-01-02 California Institute Of Technology Rounded strain wave gear flexspline utilizing bulk metallic glass-based materials and methods of manufacture thereof
US11680629B2 (en) 2019-02-28 2023-06-20 California Institute Of Technology Low cost wave generators for metal strain wave gears and methods of manufacture thereof
US11400613B2 (en) 2019-03-01 2022-08-02 California Institute Of Technology Self-hammering cutting tool
US11591906B2 (en) 2019-03-07 2023-02-28 California Institute Of Technology Cutting tool with porous regions
KR102164605B1 (ko) * 2019-03-21 2020-10-12 (주)케이에이씨 모터 캐리어 및 이의 제조장치
CN110257685A (zh) * 2019-05-07 2019-09-20 徐州天太机械制造有限公司 一种高强度高耐磨齿轮及其加工工艺
CN113073273B (zh) * 2021-03-03 2022-04-19 浙江大学 一种高熵非晶合金材料及其制备方法
CN117086249B (zh) * 2023-10-20 2024-01-05 山西金正达金属制品有限公司 一种高强度锻件的加工工艺

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1191901A (zh) * 1997-02-25 1998-09-02 中国科学院金属研究所 一种块状非晶及纳米晶合金的制备方法
CN1388264A (zh) * 2001-05-25 2003-01-01 中国科学院物理研究所 大块非晶合金材料

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2247930A5 (zh) * 1973-10-10 1975-05-09 Peugeot & Renault
JPH01105039A (ja) * 1987-10-16 1989-04-21 Shiyouji Igaku 一体型非対称遊星歯車装置
JPH07122120B2 (ja) * 1989-11-17 1995-12-25 健 増本 加工性に優れた非晶質合金
JPH0647755U (ja) * 1992-12-04 1994-06-28 株式会社椿本チエイン 遊星歯車装置
JP3164949B2 (ja) 1993-10-26 2001-05-14 昭和電線電纜株式会社 自己融着性絶縁電線およびそれを用いた回転電機
US5593360A (en) * 1994-09-08 1997-01-14 Tsubakimoto Chain Co. Planetary gear system
JP3359750B2 (ja) 1994-09-09 2002-12-24 明久 井上 ジルコニウム非晶質合金棒材の製造方法及び金型で鋳造成型されたジルコニウム非晶質合金
US5980652A (en) * 1996-05-21 1999-11-09 Research Developement Corporation Of Japan Rod-shaped or tubular amorphous Zr alloy made by die casting and method for manufacturing said amorphous Zr alloy
JPH102385A (ja) * 1996-06-14 1998-01-06 Kayaba Ind Co Ltd 減速装置
JPH1030707A (ja) * 1996-07-12 1998-02-03 Honda Motor Co Ltd 高疲労強度歯車
JP3808167B2 (ja) 1997-05-01 2006-08-09 Ykk株式会社 金型で加圧鋳造成形された非晶質合金成形品の製造方法及び装置
JPH1171602A (ja) * 1997-08-29 1999-03-16 Alps Electric Co Ltd 微細な凹凸部を有する部品の製造方法
EP0899353B1 (en) * 1997-08-28 2004-05-12 Alps Electric Co., Ltd. Method of sintering an iron-based high-hardness glassy alloy
JP2000054089A (ja) 1998-07-31 2000-02-22 Kawasaki Steel Corp 表面性状と磁気特性に優れたFe基アモルファス合金
JP3761737B2 (ja) * 1998-09-25 2006-03-29 独立行政法人科学技術振興機構 高比強度Ti系非晶質合金
JP3852809B2 (ja) * 1998-10-30 2006-12-06 独立行政法人科学技術振興機構 高強度・高靭性Zr系非晶質合金
JP3880245B2 (ja) * 1999-06-09 2007-02-14 独立行政法人科学技術振興機構 高強度・高耐蝕性Ni基非晶質合金
JP4798642B2 (ja) 1999-07-29 2011-10-19 日立金属株式会社 高靱性Fe基アモルファス合金および高靱性Fe基アモルファス合金から製造されたFe基ナノ結晶合金を用いた部品
JP4515596B2 (ja) 2000-05-09 2010-08-04 株式会社東芝 バルク状非晶質合金、バルク状非晶質合金の製造方法、および高強度部材
JP4011316B2 (ja) 2000-12-27 2007-11-21 独立行政法人科学技術振興機構 Cu基非晶質合金
JP7122120B2 (ja) * 2018-02-27 2022-08-19 ヤフー株式会社 情報処理装置、情報処理方法、及び情報処理プログラム

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1191901A (zh) * 1997-02-25 1998-09-02 中国科学院金属研究所 一种块状非晶及纳米晶合金的制备方法
CN1388264A (zh) * 2001-05-25 2003-01-01 中国科学院物理研究所 大块非晶合金材料

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
微小機械部品をアモルファス合金で作る. 井上久明,早乙女康典.応用機械工学,第34卷第10期. 1993

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120045070A (ko) 2012-05-08
CN101929537A (zh) 2010-12-29
CN1846085A (zh) 2006-10-11
US20070034304A1 (en) 2007-02-15
KR20070012307A (ko) 2007-01-25
EP1696153B1 (en) 2012-12-05
KR101363134B1 (ko) 2014-02-13
JPWO2005024274A1 (ja) 2006-11-30
CN101929537B (zh) 2013-05-22
EP1696153A1 (en) 2006-08-30
CN101709773A (zh) 2010-05-19
WO2005024274A1 (ja) 2005-03-17
JP4801800B2 (ja) 2011-10-26
KR101507261B1 (ko) 2015-03-30
KR101363145B1 (ko) 2014-02-13
KR20120045069A (ko) 2012-05-08
KR20130130083A (ko) 2013-11-29
EP1696153A4 (en) 2008-08-20
CN101709773B (zh) 2012-07-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100582529C (zh) 精密齿轮及精密齿轮的制造方法
US11920668B2 (en) Systems and methods for implementing bulk metallic glass-based macroscale gears
US7300529B2 (en) High-strength beryllium-free moulded body made from zirconium alloys which may be plastically deformed at room temperature
CN103889613B (zh) 使用加压流体成形来接合块体金属玻璃片材
CN103153502B (zh) 块体金属玻璃的高纵横比部件及其制造方法
JP4567443B2 (ja) チタン合金からなる高張力で、塑性の変形可能な成形体
CN102529191B (zh) 一种非晶合金制品及其制造方法
WO1980002159A1 (en) Amorphous alloy containing iron family element and zirconium,and articles obtained therefrom
JPH08333660A (ja) Fe系金属ガラス合金
CN100398688C (zh) 一种混合稀土基的非晶态金属塑料
JP4789279B2 (ja) マイクロモータ用のモータシャフト及びマイクロモータ
CN100513623C (zh) 一种铈基非晶态金属塑料
JP2009084613A (ja) 金属ガラス合金複合体及びその製造方法
CN101496223B (zh) 大块凝固非晶态合金制成的天线结构
US9340852B2 (en) Elevated refractory alloy with ambient-temperature and low-temperature ductility and method thereof
JP2003163108A (ja) 負磁歪材料およびその製造方法
Inoue et al. Formation and applications of bulk glassy alloys in late transition metal base system
JPS61120858A (ja) 非晶質固体金属粉末を充填した合成樹脂組成物

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20140703

Address after: Tokyo, Japan, Japan

Patentee after: Namiki Precision Jewel Co., Ltd.

Patentee after: Makino Akihiro

Patentee after: Saotome Yasunori

Address before: Tokyo, Japan, Japan

Patentee before: Namiki Precision Jewel Co., Ltd.

Patentee before: YKK Co., Ltd.

Patentee before: Makino Akihiro

Patentee before: Saotome Yasunori

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20100120

Termination date: 20180901