CN100510400C

CN100510400C - 隔膜泵和具有隔膜泵的冷却系统

Info

Publication number: CN100510400C
Application number: CNB2004800222872A
Authority: CN
Inventors: 山本满; 佐佐木康弘; 越智笃; 北城荣
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 2003-08-04
Filing date: 2004-07-21
Publication date: 2009-07-08
Anticipated expiration: 2024-07-21
Also published as: WO2005012729A1; US20070065308A1; TW200508489A; TWI255886B; CN1833105A; JPWO2005012729A1

Abstract

一种隔膜泵，包括：压力室，形成为扁平状并填充满液体；吸入侧流道和排出侧流道，设置在压力室的两端以使它们的轴线相互准直并与压力室相连；至少一个凹槽，所述凹槽形成在压力室的周壁上，所述凹槽在以排出侧流道的入口附近的点设定为中心的径向方向上延伸，用于加速液体在流向上向下游的流动；和至少一个隔膜，设置在压力室上表面和下表面的至少其中一个表面上，并且对于振荡而使压力室的容量是可变的。

Description

隔膜泵和具有隔膜泵的冷却系统

技术领域

本发明涉及一种冷却系统等中使用的隔膜泵，特别是，涉及一种能够有效地排放液体的细长隔膜泵。而且，本发明涉及一种在冷却电子设备等中使用的具有隔膜泵的冷却系统。

背景技术

随着电子设备性能的变高和处理速度的加快，电子元件如CPU的功耗也在增加。结果是，电子元件中的热值也变高，绝对需要一种技术能够有效地散发电子设备中产生的热和根据保证电子设备的可靠操作而保持在电子设备内部。

作为代替空气冷却系统的制冷系统的、用于如笔记本电脑之类的便携式个人电脑的冷却技术，现在已经提出一种通过泵循环液体而提供制冷的水冷制冷系统(例如，参见日本专利公开出版号No.2002-232174)。该水冷制冷系统设有能与发热元件，如电子元件形成热接触的密闭结构的流道，和在流道内循环液体的泵。冷却系统通过用泵对由加热元件加热过的液体进行循环而散热，以能对加热元件提供冷却。

作为用于冷却系统的泵，经常使用压电泵，这是一种隔膜泵，非常精致并能够产生高放电压。压电泵通常设有具有吸入口和排出气口的压力室，设置在压力室壁上的压电振荡器，和与吸入口和排出口相连的流道。在压电泵中，压电振荡器用作隔膜泵中的隔膜。压电振荡器设有由金属等制成的弹性板和与弹性板连接的压电元件。在电压作用于压电元件上时，弹性板(振荡器本身)弯曲并移位。在压电泵中，通过振荡压电振荡器，在压力室中产生作用于液体上的压力。而且，吸入口和排出口设有止回阀以防止液体回流，从而限制液体从吸入口流向排出口。

图10表示常用压电泵的一个例子。图10所示的压电泵设有压电振荡器130，压电振荡器130的分布要能形成压力室150的上表面。在压力室150的底表面上，设有吸入口121a以能吸入液体，并设有排出口121b以能排出液体。将液体提供给吸入口121a的吸入侧流道170a形成在压力室下，并与吸入口121a相连。排放侧流道170b，液体从排出口121b排出的流道形成在压力室下，并与排出口121b相连。由于具有这种结构，压电泵100中的液体流道是通过吸入口121a、压力室150和排出口121b从吸入侧流道170a到排放侧流道170b依次形成。

吸入口121a和排出口121b分别设有吸入阀120a和排出阀120b。吸入阀120a和排出阀120b是由弹性件，如硅橡胶制成的，分别控制吸入口121a和排出口121b的开和闭。

如上述分布的压电泵的工作过程如下。在压电振荡器130向上移位并且压力室150的容量增大时，就会在压力室150中产生负压。对于这种工作过程，吸入阀120a就会打开，液体从吸入侧流道170a提供给压力室150。此时，通过排出阀120b的动作，液体就不会从排出侧流道170b回流到压力室150。然后压电振荡器130在相反的方向上移位，压力室150的容量减少。接着，由于压力室150中的压力升高，排出阀120b就会被打开，液体排放到排放侧流道170b。此时，由于吸入阀120a工作，液体就不会从压力室150回流到吸入侧流道170a。压电泵100通过重复上述的操作而用作一种泵，液体能够在一个方向上流动。

但是，在常用的泵中，从吸入侧流道通过压力室到排出侧流道的通道是弯曲形成的。例如，在图10所示的压电泵100中，吸入侧流道170a和排出侧流道170b在压力室150下面形成，分别与分布在压力室150底表面上的吸入口121a和排出口121b相连接。因此，在压电泵100工作和液体沿着流道流动时，液体的流向在液体从吸入侧流道170a流向压力室150的点是弯曲的。一旦在液体从压力室150流到排出侧流道170b的情况下，已经通过压力室150的液体流向会再次弯曲。这样，在液体的流动发生迅速改变时，液体压力就会损失很多。结果是，通过流道的液体流量会减少，因此，泵的效率就会降低。泵的效率降低表明冷却系统中的冷却效率下降。而且，在压电泵100中，吸入口121a、排出口121b和相应的流道170a、170b定位在压力室150的底表面上/下。因此，通过增加压力室150的厚度和流道170a、170b的厚度获得的厚度意味着泵的厚度相当大。泵包含在电子设备如便携式个人电脑中，因此，为了减小电子设备的厚度，希望泵的厚度较薄。

发明内容

本发明的目的就是提供一种通过减少液体压力损失而能够提高泵效率并能够减少厚度的隔膜泵。而且，本发明还有一个目的是提供一种通过设有隔膜泵而能够提高冷却效率的冷却系统。

为了实现上述目的，根据本发明的隔膜泵，包括：

压力室，形成为扁平状并填充满液体；

吸入侧流道和排出侧流道，设置在压力室的两端以使它们的轴线相互准直并与压力室相连；

至少一个凹槽，所述凹槽形成在压力室的周壁上，所述凹槽在以排出侧流道的入口附近的点设定为中心的径向方向上延伸，用于加速液体在流向上向下游的流动；和

至少一个隔膜，设置在压力室上表面和下表面的至少其中一个表面上，并且对于振荡而使压力室的容量是可变的。

根据本发明，吸入侧流道和排出侧流道设置在压力室的两端以使压力室夹在流道之间，并且流道与压力室相连。吸入侧流道和排出侧流道在相同的方向上延伸以使其轴线相互准直。因此，包括各自的流道和压力室的用于泵的流道以直线形成而不会产生弯曲，因此，液体的压力损失降低，液体流动效率提高。此外，由于压力室形成为扁平形状，并且由于吸入侧流道和排出侧流道设置在压力室的两端，因此泵的总厚度减小。隔膜分布在压力室上表面和下表面的至少其中一个表面上以能在扁平形状压力室的具有较大面积的表面上操作，因此由于隔膜的振荡能够有效地传输给压力室。因此，驱动源的尺寸减小，又省功，而且泵的体积也就减小了。槽在面对压力室的上表面上设有具有开口的部分，液体流进该部分，还设有一个开口开向压力室周壁表面的侧部分，液体从该侧部分在流向上向下游排出。而且，槽可在径向上延伸，而排出侧流道的入口附近的点设定为中心。通过分布该槽，在压力通过隔膜作用于压力室时，液体就从在侧下游上具有开口的部分排出，并加速液体的流动。

每个流道的形成为使其轴线位于垂直于该轴线的表面上的压力室的截面中心上。因此，压力室中的液体流动完全地绕轴线进行。由于具有这种结构，由于各自流道的轴线大致穿过压力室的中心，因此压力室中的空间相对于轴线来说基本上是对称的。因而，液体的流道相对于轴线来说基本上是对称的，所以压力室中的液体压力损失降低。

流道和压力室的每个截面形状大致是矩形的。在此情况下，这些都是通过切削工艺等形成的，因此制造过程简单。特别是，流道和压力室的底表面形成在相同的表面上，制造比较简单。而且，由于流道的形成是平坦的，因此液体就能得到有效地循环。为了进一步减小液体的压力损失，从垂直于轴线的方向上的上表面来看，压力室的长度可以连续地缩短至吸入侧流道或排出侧流道。而且，压力室的高度可以连续地降低至吸入侧流道或排出侧流道。在这两种情况下，这部分的压力室对各自的流道是连续变小的，因此压力室中的液体压力损失减小。

而且，根据本发明的隔膜泵可包括止回阀，止回阀分别设置在进入侧流道和排出侧流道上，至少其中一个止回阀相对于轴线的方向是倾斜的。虽然设置了止回阀，但是止回阀安装成相对于流道的轴线方向，即液体流向倾斜，因此，压力损失的增加相对来说是减小的。

隔膜泵可包括：至少一个开向吸入侧流道的上表面的吸入口，并用于引入混合在液体中的气泡；和与吸入口相连的密封空间，并用于收集所引入的气泡。该吸入口相对于止回阀设置在吸入侧流道上游。类似这样的气泡收集器就以这样的方式进行分布，因此，混合在液体中的气泡能被收集，并避免进入压力室。这样，通过去除流道和压力室中的气泡，液体的压力损失进一步减小。吸入口相对于止回阀设置在吸入侧流道上游，因此，气泡能被有效地防止进入压力室。

隔膜泵是所谓的其中的驱动源是一种压电元件的压电泵。压电元件能够减小泵的体积和厚度。

而且，上述隔膜泵可用于冷却系统，该冷却系统具有封闭结构的流道，该流道用于循环在隔膜泵中从排出侧流道排出的液体，并用于将液体返回至吸入侧流道。冷却系统有效地冷却电子设备。特别是，具有气泡收集器的泵的冷却系统能够长时间地有效循环液体，因为流道中的气泡已经被收集。

此外，在本说明书中，“扁平”压力室是一种在高度方向上压力室长度比从轴线方向的上表面观看的压力室最大长度的一半还短，并比垂直于轴线方向上的最大长度的一半还短。

根据本发明，通过增加隔膜泵结构的思想，液体的压力损失就减小了，泵的效率提高了，厚度也减小了。而且，该冷却系统设有隔膜泵，因此冷却系统的冷却效率提高了，厚度减小了。

附图说明

图1表示根据本发明第一实施例的设有压电泵的冷却系统的大致视图；

图1(a)是冷却系统中液体流道的平面视图；

图1(b)是沿图1(a)中线X-X的截面视图；

图2表示第一实施例的压电泵，图2(a)是侧截面图，和图2(b)是从上表面侧看的纵向截面图；

图3表示第二实施例的压电泵，图3(a)是侧截面图，和图3(b)是从上表面侧看的纵向截面图；

图4表示一个返回槽和液体流向的放大透视图；

图5表示改进型返回槽的局部放大视图；

图6表示压力室改进型的截面图；

图7表示根据第三实施例的压电泵的一个例子；

图8表示根据第三实施例的压电泵的另一个例子；

图9表示根据第三实施例的压电泵的又一个例子；

图10表示常用压电泵的截面图。

具体实施方式

在下文中，参考附图解释本发明的实施例。

(第一实施例)

图1表示根据本发明第一实施例的设有压电泵的冷却系统的大致视图，图1(a)是冷却系统中液体流道的平面视图，而图1(b)是沿图1(a)中线X-X的截面视图。

图1所示的冷却系统10是水冷的冷却装置，最好用于给电子设备，如便携式个人电脑提供冷却。该冷却系统10大致设有流道单元60，该冷却系统10中形成循环流道60a和与流道单元60相连的压电泵1，并且用于循环流道中的液体。流道单元60和压电泵1提供封闭结构的流道。在流道内部，填充满循环的液体。

在流道单元60中，循环流道60a以预定的图案形成。对循环流道60a的截面形状没有特别的限制，可以是矩形或圆形。在如第一实施例中流道单元60具有扁平形状的情况下，循环流道60a的截面最好是矩形的。由于扁平形流道单元60的截面形状是一种其内的板件被覆盖的形状，因此循环流道60a的截面是矩形的，例如，槽型形成在一个板件上，并与另一个板件连接，以此容易地形成循环流道60a。压电泵1连接循环流道60a的两端，因此在一个与循环流道60a相连的封闭结构流道中形成。冷却系统10影响压电泵1的操作以使液体在循环流道60a中循环，从而散发已经被加热元件加热过的液体所产生的热。

在下文中，参考图2详细地解释压电泵1。图2表示第一实施例的压电泵，图2(a)是侧截面图，而图2(b)是从上表面侧看的纵向截面图。

压电泵1设有压力室50，其中部件是由压电振荡器30形成，吸入口21a和排出口21b分别连接压力室50。吸入阀20a和排出阀20b分别分布在吸入口21a和排出口21b附近。在压电振荡器30产生振荡时，压力室50中的压力就会发生变化，液体就会在图2中箭头所示的方向上从吸入口21a流向排出口21b。

压力室50分布在提供了用于压电泵1盒的底板11和顶板12之间。压力室50形成具有矩形底表面的扁平形状。在压力室50的一端，形成液体流入的吸入口21a，在其另一端，形成液体流出的排出口21b。吸入口21a和排出口21b设置在压力室50的纵向方向上的中心线上，压力室50从上表面来看是矩形。

与图1中所示的循环流道60a相连的吸入侧流道70a的形成要使它能够连接吸入口21a，同样与循环流道60a相连的排出侧流道70b的形成要使它能够连接排出口21b。吸入侧流道70a和排出侧流道70b在中心线上直线分布，并在相同的方向上延伸，而压力室50设置在这些流道之间。吸入侧流道70a和排出侧流道70b形成为具有相同的形状，其截面都是矩形。由于吸入侧流道70a和排出侧流道70b的截面都是矩形，因此它们通过切削工艺或挤压工艺能够容易地形成。

压力室50的高度大致与吸入侧流道70a的高度相同。而且，压电泵1中的流道通过将压力室50的底表面和吸入侧流道70a和排出侧流道70b的底表面设置在相同的平面上而形成扁平形状。

压电振荡器30是作为隔膜准备的，其中振荡板(未图示)放置在粘接在一起的两个压电元件(未图示)之间，其分布成能在扁平形状的压力室50的上表面上进行操作。而且，形成将电压作用于压电元件的电极(未图示)。通过将交流电压作用于以这种方式形成的压电振荡器30上，压电振荡器30就会在板的厚度方向上产生弯曲和振荡。

例如，锆钛酸铅陶瓷材料可以用作压电元件。振荡板和压电元件根据振荡板的材料用不同的工艺粘接在一起。例如，当陶瓷或硅用作振荡板时，压电元件通过印刷烧结方法、溅射方法、溶胶凝胶方法或化学气相方法与振荡板一体形成。顺便提及，在第一实施例中，压电元件用作驱动源来振荡隔膜，但是，驱动源并不局限于压电元件，可以是任何能够振荡隔膜的其它元件。

在吸入侧流道70a和排出侧流道70b中，分别设置由薄金属板，如，铝形成的吸入阀20a和排出阀20b。阀20a、20b的分布成能够对角地相交液体的流向。至于两个阀20a、20b，流向上的上游端通过悬臂支撑，下游端是邻接流道70a、70b侧壁上的自由端，没有水负载。因此，在压力室50中产生负压力时，吸入阀20a就会打开吸入侧流道70a，在压力室50中产生正压力时，吸入阀20a就会关闭流道70a。另一方面，在压力室50中产生负压力时，排出阀20b就会关闭流道70b，在压力室50中产生正压力时，排出阀20b就会关闭流道70b。

此外，吸入侧流道70a和排出侧流道70b的截面形状可以是圆形的，或者是所谓的D型，其中一部分圆形进行直线切割。但是，正如第一实施例所述，吸入侧流道70a和排出侧流道70b的截面是矩形的，以此形成简单形状的阀20a、20b。而且，阀20a、20b通过相对容易地方法，例如，将阀门件的一端与流道中的一个壁面相粘结而进行固定。

下面，将解释如上所述而构成的压电泵1的操作。

首先，预定极性的电压作用于压电振荡器30上，而且压电振荡器30的移位要能够具有图2中所示的上凸的方向。然后，压力室50的容量就会增加。对于这样的操作，吸入阀20a就会移位，而且吸入口21a打开，液体就通过吸入侧流道70a和吸入阀21a流进压力室50。此时，排出阀20b阻挡排出口21b，液体不会流出排出口21b。

与上述极性相反的电压持续地作用于压电振荡器30上，压电振荡器30就会产生移位以能具有图2所示的下凸方向。对于这样的操作，压力室50的容量就会减小。排出阀20b移位，排出口21b打开，液体就通过排出侧流道70b从压力室50排出。此时，吸入阀20a阻挡吸入侧流道70a，而且液体不会流进或从吸入口21a排出。

通过重复上述操作，吸入口21a的液体进入和排出口21b的液体排出交替地重复进行，液体产生脉动。因此，液体通过压电泵1的操作在图1(a)所示的箭头方向上经过循环流道60a进行循环。

在第一实施例中，压电泵1中的流道形成为扁平形状，而不会在压电泵的厚度方向上产生弯曲。具体的说，所有吸入侧流道70a、压力室50和排出侧流道70b在底板11上形成。吸入侧流道70a和排出侧流道70b在直线上形成，并在相同的方向上延伸以使压力室50设置在通道之间。结果是，压电泵1的流道形成扁平形状，并在直线上形成。因此，与常用的流道是弯曲的压电泵相比，压电泵1能够减小由于液体流向变化而产生的压力损失和能够有效地循环液体。而且，在压电泵1中，吸吸入阀20a和排出阀20b相对于液体的流向进行倾斜安装。因此，与正交于流向分布的阀门相比，吸入阀20a和排出阀20b使用较小的力就能移位，而且液体的压力损失就能够进一步地减小。如上所述，与常用的压电泵相比，压电泵1的泵效率得到提高，冷却系统10(参见图1)随着泵效率的提高，其冷却效率也得到提高。顺便提及，在第一实施例中，吸入阀20a和排出阀20b相对于流向是倾斜的，但是，仅倾斜一个排出阀也是可能的。

而且，在第一实施例中，吸入侧流道70a和排出侧流道70b设置在压力室50的两端上，流道形成为扁平形状，并且整个压电泵1的厚度减小了。而且，由于压电振荡器30的分布要成能够在压力室50具有较大面积的一个表面上进行操作，压力室50形成扁平矩形的平行六面体形状，压电振荡器30的弯曲位移能够有效地传输给压力室50。因此，相对较小的压电振荡器30能够获得充足的流量，而且结果是压电泵1的尺寸减小了。此外，在第一实施例中，一个压电振荡器30分布在压力室50的上表面上，但是，压电振荡器的数量和其形状并不受限制。例如，两个压电振荡器分布在压力室50的上、下表面上。

如上所述，使用压电泵1的冷却系统10能够有效地循环液体，其中压电泵10的厚度减小而且泵效率提高。而且，例如，通过分布对流道单元60直接加热或在其附近加热的部件，从部件产生的热能被有效地散发。

(第二实施例)

在第一实施例中，压力室形成矩形的平行六面体形状，但是，压力室可被形成为其截面积逐渐地发生变化以便减小液体的阻力。

图3表示根据本发明的第二实施例的压电泵。图3中所示的压电泵2被形成为使压力室50’形成为流线型形状。在压力室50’的周壁上，分布用于加速液体流动的构件(返回槽11a)。其它结构与图2中所示的压电泵1的结构相同，相同的参考标号应用于具有相同功能的构件，并且省略了对其所作的解释。

图3(b)所示的压力室50’设有从上表面上来看的大致是流线型的周壁表面11e。周壁表面11e垂直于压力室50’的底部11b分布。而且，周壁表面11e分别连接吸入口21a和排出口21b，并以弧形向外弯曲。顺便提及，根据液体类型或压电振荡器30的特性，如果合适，弧形形状是较佳地设定，以便液体的阻力尽可能地减小。

在压力室50’的周壁上形成许多返回槽11a以能打开周壁表面11e。在第二实施例中，以预定的间隔分布5个返回槽以能具有相同的槽宽。而且，相应的返回槽11a在径向上在排出口21b附近从作为中心的点(未图示)进行延伸。换句话说，返回槽11a的打开部分在排出口21b附近指向该点。优选的是，该点设置在排出口21b的中心上。

参考图4解释返回槽11a的详细形状。图4表示一个返回槽11a和返回槽11a周围的液体流向的放大透视图。如图4所示，返回槽11a开口于上端表面11c、周壁的上表面和周壁表面11e。而且，返回槽11a逐渐向一端(周壁表面11e的侧端)变深。

在上端表面11c的周壁上，形成相对于上端表面11c具有预定高度的凸件11d。在第二实施例中，压电振荡器30(参考图3(a))设置在凸件11a的上表面上。因此，在上端表面11c和压电振荡器30之间形成预定的空间，该空间是压力室50’的一部分。由于具有这样的结构，在压电振荡器30产生移位以能具有向下凸的方向时，液体就会流入位于返回槽11a的上表面侧的开口部中，并穿过返回槽11a，从周壁表面11e的开口部排出。

在如上所述结构的压电泵2中，压力室50’中的周壁表面11e形成流线型，其截面积连续向吸入侧流道70a和排出侧流道70b变小。因此，液体和周壁表面11e之间的阻力变小，而且压力室50’中的压力进一步减小。而且，在压电振荡器30产生位移而且液体从排出侧流道70b(参考图3)排出时，返回槽11a中的液体就从排出口21b排出。因此，压力室50’中液体的流动就被加速了，压电泵2的泵效率进一步提高了。特别是，由于每个返回槽11a开向排出口21b，因此从返回槽11a排出的液体更加有效地加速了液体的流动。

顺便提及，根据液体的类型活排出口20b的形状，如果合适，对返回槽11a的数量和其形状、及凸出件11d的高度进行较佳地设定。例如，根据压力室的形状和排出口的位置，仅形成一个返回槽11a。但是，与第二实施例一样，在相对于流道70a和70b的轴线对称形成的压力室50’中，如图3(b)所示，返回槽11a最好是相对于轴线对称地形成。由于具有这样的结构，液体就能够相对于轴线对称地流动。

至于返回槽11a的形状，如图5所示，返回槽11a’的宽度可以向压力室50’逐渐变细，而且返回槽11a’中的液体可以高速地从返回槽11a’的顶端排出。由于具有这样的结构，液体的流动被进一步加速，泵的效率进一步提高。

而且，在图3所示的压电泵2中，在压力室50’的高度保持不变的同时，周壁表面11e进行弯曲以使正交于流道70a、70b轴线的长度向流道70a、70b连续变短，而且压力室50’的截面积向吸入口21a和排出口21b逐渐变小。但是，压力室的形状并不局限于这样所述的结构，只要截面积连续地变小即可。

例如，如图6所示，在压力室50”的端角部设置尖锥体12a。换句话说，压力室50”的高度向吸入口21a或排出口21b连续地降低以使其截面积变小。由于具有这样的结构，因此穿过压力室50”的液体阻力减小，液体的压力损失减小了。

(第三实施例)

通常，图1中所示的冷却系统10中的封闭结构流道填充满液体以变不会存留气泡。但是，例如，存在在溶解的氧气变化为气泡和气泡混合到液体中的情况。在压电泵中，流道内部中气泡的存在会使泵的效率降低。而且，封闭结构流道内部中气泡的存在会使冷却系统10的冷却效率降低。

所以，为了进一步提高泵的效率，除了上述两种实施例外，压电泵可设有收集混合在液体中的气泡的器件。

图7至图9中所示的相应压电泵3、3’、3”设有气体室35、35’、35”。图7(a)、8(a)和9(a)是压电泵3、3’、3”的侧截面图，图7(b)、8(b)和9(b)是气体室35、35’、35”的纵向截面图。

图7所示的压电泵3在压电振荡器30上设有气体室35。其它结构与图2中所示的压电泵的结构相同。相同的参考标号应用于具有与图2相同功能的结构部件，省略了其解释。

气体室35通过压电振荡器30和压电泵3的盒而形成，并覆盖吸入侧流道70a和排出侧流道70b。

在吸入阀20a的稍微上游侧，设置将气泡引入气体室35的一个进入口35a。进入口35a是一个连接吸入侧流道70a和气体室35的孔，并位于吸入侧流道70a的上表面上。

在压电泵3作用于图1所示的冷却系统时，封闭结构的流道通过冷却系统10中的流道和气体室35形成。然后，流道完全地填充有将被循环的液体。换句话说，在冷却系统10的起始状态下，气体压力室35也填充满液体。

在类似这样结构的冷却系统10中，在液体中产生气泡时，气泡通过液体流动移动过循环流道60(参考图1)。然后，已经沿着吸入侧流道70a的上壁移动的气泡进入进入口35a，并向上漂浮。与此同时，气体室35中的液体通过气泡从进入口35a排出，而且气泡被收集在气体室35中。由于具有这样的操作，在压电泵3中，能够从冷却系统10中的流道内去除气泡，液体能被循环而不会降低泵的效率。

顺便提及，在第三实施例中，如图7(b)所示，进入口35a中开口的打开形状形成圆形。进入口35a的形状并不局限于此，只要能够收集气泡即可，例如，可以形成在吸入侧流道70a宽度方向上延伸的椭圆孔(未图示)。由于具有这样的结构，就能够有效地收集沿着流道70a上壁移动的气泡。而且，在分布两个进入口时，气泡就通过其中一个进入口进入气体室35，而液体就从另一个进入口排出。这样，就能够平稳地执行改变气泡和液体的操作。而且，无须多说，为了有效地收集气泡，进入口35a相对于流道70a要能够分布得较高些。并可形成已被成型为用于引导气泡进入进入口35a的槽和部件。

此外，根据第三实施例的压电泵可以如图8和9所示不同地进行改变。在图8的压电泵3’中，压电振荡器30分布在压力室50的底表面上。在图9的压电泵3”中，气体室35”分布在回路区域中。压电泵3’、3”实质上没有与压电泵3不同，气体室35、35’、35”功能相似。

如上所述，根据第三实施例，压电泵3设有气体室35，能够收集液体中产生的气泡。因此，压电泵3能够提高泵效率。而且，能够长期地维持冷却系统10中的高冷却效率。此外，在第三实施例中解释的具有压电泵3、3’、3”的冷却系统10中，在通过改变环境温度等进行液体膨胀时，容量变化通过气体室35、35’、35”进行吸收。因此，能够防止冷却系统中电泵3、3’、3”和流道的损坏。

上面已经描述了具有代表性的实施例，但是，每个实施例中解释的元件可以尽可能地进行自由组合。

Claims

1.一种隔膜泵，包括：

压力室，形成为扁平状并填充满液体；

2.如权利要求1所述的隔膜泵，其中该凹槽在面对压力室上表面的表面上设有具有开口的、液体从该开口流进所述凹槽内部的部分；该凹槽还设有一个开口开向压力室周壁表面的侧部分，液体从该侧部分在流向上向下游排出。

3.如权利要求1或2所述的隔膜泵，其中所述轴线设置在与该轴线正交的表面中、压力室的横截面形状的中心处。

4.如权利要求1或2所述的隔膜泵，其中与轴线正交的表面中的压力室、吸入侧流道和排出侧流道的每个截面形状大致为矩形。

5.如权利要求4所述的隔膜泵，其中压力室的底表面、吸入侧流道和排出侧流道的底表面在相同的表面上形成。

6.如权利要求1、2或5所述的隔膜泵，其中在垂直于轴线的方向上，从压力室的上表面来看，压力室的长度向吸入侧流道或排出侧流道连续地缩短。

7.如权利要求1、2或5所述的隔膜泵，其中压力室的高度向吸入侧流道或排出侧流道连续地降低。

8.如权利要求1、2或5所述的隔膜泵，还包括：

止回阀，所述止回阀分别设置在吸入侧流道和排出侧流道上，至少其中一个止回阀相对于轴线的方向是倾斜的。

9.如权利要求1、2或5所述的隔膜泵，还包括：

至少一个开向吸入侧流道的上表面并用于引入混合在液体中的气泡的进入口；和

与进入口相连并用于收集所引入的气泡的密封空间。

10.如权利要求9所述的隔膜泵，其中该进入口相对于止回阀设置在吸入侧流道上游。

11.如权利要求1、2或5所述的隔膜泵，其中隔膜泵是一种由压电元件驱动的压电振荡器。

12.一种冷却系统，包括：

根据权利要求1、2、5或11中任一项所述的隔膜泵；和

封闭结构流道，用于循环从隔膜泵中的排出侧流道排出的液体，并用于将液体返回到吸入侧流道中。