JP2671412B2 - 圧電型マイクロポンプ - Google Patents
圧電型マイクロポンプInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は圧電型マイクロポンプに関する。
一般に、金属板の一方に圧電材を貼り付け、この圧電
材に電界を加えることによって、圧電材の分極方向に対
して加わる電界により、圧電材が面方向に収縮する。こ
のとき、金属板と圧電材との貼り合わせ面でこの収縮を
拘束するため、全体的には、湾曲した状態に変形させる
ことが出来る。この構成体に、例えば、可聴周波数の交
流電圧を加えれば、この湾曲方向が交互に変わり、この
構成体の一部を固定することで発音体となる。
材に電界を加えることによって、圧電材の分極方向に対
して加わる電界により、圧電材が面方向に収縮する。こ
のとき、金属板と圧電材との貼り合わせ面でこの収縮を
拘束するため、全体的には、湾曲した状態に変形させる
ことが出来る。この構成体に、例えば、可聴周波数の交
流電圧を加えれば、この湾曲方向が交互に変わり、この
構成体の一部を固定することで発音体となる。
このように、この構成体を利用すれば、発音体だけで
なく、例えば、接点を動かすリレーやアクチュエータの
利用が考えられ、これらに関する種々の応用商品が考案
されている。例えば、これらの応用例の一つとして圧電
型マイクロポンプがある。
なく、例えば、接点を動かすリレーやアクチュエータの
利用が考えられ、これらに関する種々の応用商品が考案
されている。例えば、これらの応用例の一つとして圧電
型マイクロポンプがある。
第８（ａ）〜（ｃ）は従来の圧電型マイクロポンプを
説明するための断面図である。この圧電型マイクロポン
プは、第８図（ａ）に示すように、流体路６が形成され
た板部材１の一外壁の一部に圧電バイモルフである振動
板２が取り付けられ、この板部材１の流体路６の両端に
は、供給口３及び排出口４が設けられている。また、供
給口３と排出口４には、それぞれに逆流防止弁5b及び5a
が取り付けられている。
説明するための断面図である。この圧電型マイクロポン
プは、第８図（ａ）に示すように、流体路６が形成され
た板部材１の一外壁の一部に圧電バイモルフである振動
板２が取り付けられ、この板部材１の流体路６の両端に
は、供給口３及び排出口４が設けられている。また、供
給口３と排出口４には、それぞれに逆流防止弁5b及び5a
が取り付けられている。
次に、この圧電型マイクロポンプの動作を説明する。
第８図（ａ）に示す状態は、流体が流体路６に満ちてい
る停滞状態である。まず、第８図（ｂ）に示すように、
振動板２に電極（図示せず）を介して電圧を印加する
と、振動板２が撓み、流体は矢印7a及び7cに示す方向に
流れようとする。このとき、逆流防止弁5bは流れようと
する流体圧力により閉じられ、逆流防止弁5aは流れよう
とする流体圧力で開けられ、流体は矢印7bに示す方向に
流れる。次に、振動板２に印加した電圧を開放してやる
と、第１図（ｃ）に示すように、振動板２は復元する。
この振動板２の復元力により流体に圧力を与え、供給口
３にある逆流防止弁5bが開き、他方の逆流防止弁5aは閉
じ、流体路６に流体を満たす。この動作を繰返して、流
体を一方向に供給する。
第８図（ａ）に示す状態は、流体が流体路６に満ちてい
る停滞状態である。まず、第８図（ｂ）に示すように、
振動板２に電極（図示せず）を介して電圧を印加する
と、振動板２が撓み、流体は矢印7a及び7cに示す方向に
流れようとする。このとき、逆流防止弁5bは流れようと
する流体圧力により閉じられ、逆流防止弁5aは流れよう
とする流体圧力で開けられ、流体は矢印7bに示す方向に
流れる。次に、振動板２に印加した電圧を開放してやる
と、第１図（ｃ）に示すように、振動板２は復元する。
この振動板２の復元力により流体に圧力を与え、供給口
３にある逆流防止弁5bが開き、他方の逆流防止弁5aは閉
じ、流体路６に流体を満たす。この動作を繰返して、流
体を一方向に供給する。
上述した従来の圧電型マイクロポンプでは、一方向に
流体を流すために、供給口及び排出口に逆流防止弁が必
要である。この逆流防止弁は機械的構造のものであるた
め、小型化するのに限度がある。特に、この圧電型マイ
クロポンプをセラミックで一体化して作る場合には、困
難である。
流体を流すために、供給口及び排出口に逆流防止弁が必
要である。この逆流防止弁は機械的構造のものであるた
め、小型化するのに限度がある。特に、この圧電型マイ
クロポンプをセラミックで一体化して作る場合には、困
難である。
本発明の目的は、かかる機械的な逆流防止弁を必要と
しない圧電型マイクロポンプを提供することにある。
しない圧電型マイクロポンプを提供することにある。
本発明の圧電型マイクロポンプは、少なくとも第一の
板状部材と第二の板状部材の二つの板状部材の内側面で
囲まれた流体路と、前記流体路の両端に形成された少な
くとも一組の供給口および排出口と、少なくとも前記第
二の板状部材に前記供給口側と前記排出口側とに分離し
てそれぞれに貼着された圧電部材とからなり、前記第二
の板状部材には、前記流体路の外周部分のうち、前記流
体路の前記供給口側と前記排出口側とに位置する二辺と
これら各々の二辺に隣接する二辺とにベローズ型継手が
形成されていることを特徴とする。
板状部材と第二の板状部材の二つの板状部材の内側面で
囲まれた流体路と、前記流体路の両端に形成された少な
くとも一組の供給口および排出口と、少なくとも前記第
二の板状部材に前記供給口側と前記排出口側とに分離し
てそれぞれに貼着された圧電部材とからなり、前記第二
の板状部材には、前記流体路の外周部分のうち、前記流
体路の前記供給口側と前記排出口側とに位置する二辺と
これら各々の二辺に隣接する二辺とにベローズ型継手が
形成されていることを特徴とする。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）及び（ｂ）は本発明による第１の実施例
を示す圧電型マイクロポンプの傾斜図及び断面図であ
る。この圧電型マイクロポンプは、第１図に示すよう
に、板状部材である支持体枠８の両端に供給口３及び排
出口４を設けられており、これらを継なぐ直線的な流体
路22が形成されている。この支持体８を被せるように板
状部材の支持板９が貼り付けられていて、この支持板９
の圧電板10には供給口３側と排出口４側とにそれぞれ電
極11bと電極11aが設けられている。また、この電極11b
と電極11aとの間には、これらの電極に電圧を印加する
ための端子12a、12b及び12cが形成されている。更に、
電極と圧電板とその下部の支持板とでなる圧電部材の一
辺は端子がある支持板９と連なり、他の三辺の周囲領域
には、支持板９の表裏面に複数の溝で形成されてなるベ
ローズ形継手23が設けられている。
を示す圧電型マイクロポンプの傾斜図及び断面図であ
る。この圧電型マイクロポンプは、第１図に示すよう
に、板状部材である支持体枠８の両端に供給口３及び排
出口４を設けられており、これらを継なぐ直線的な流体
路22が形成されている。この支持体８を被せるように板
状部材の支持板９が貼り付けられていて、この支持板９
の圧電板10には供給口３側と排出口４側とにそれぞれ電
極11bと電極11aが設けられている。また、この電極11b
と電極11aとの間には、これらの電極に電圧を印加する
ための端子12a、12b及び12cが形成されている。更に、
電極と圧電板とその下部の支持板とでなる圧電部材の一
辺は端子がある支持板９と連なり、他の三辺の周囲領域
には、支持板９の表裏面に複数の溝で形成されてなるベ
ローズ形継手23が設けられている。
第２図は第１図の圧電型マイクロポンプの分解斜視図
である。次に、この圧電型マイクロポンプの内部構造を
説明すると、この圧電型マイクロポンプは、支持体８と
支持板９及び圧電板10とに分解される。
である。次に、この圧電型マイクロポンプの内部構造を
説明すると、この圧電型マイクロポンプは、支持体８と
支持板９及び圧電板10とに分解される。
支持板８には供給口３を形成する第２の溝14と排出口
４を形成する溝15が形成され、また、これらの溝を継な
いで流体路となる第１の溝13が設けられている。更に、
この二つの溝の間には、圧電部材の一辺を固定する突出
部19が設けられている。
４を形成する溝15が形成され、また、これらの溝を継な
いで流体路となる第１の溝13が設けられている。更に、
この二つの溝の間には、圧電部材の一辺を固定する突出
部19が設けられている。
支持板９には、電極11a及び電極11bが取り付けられる
領域の周囲、即ち供給口あるいは排出口に面する電極の
一辺を含みその一辺の両端の辺の周囲に、前記それぞれ
の辺に平行に表側からの溝16a及び16bと裏側からの溝17
a及び17bが形成されている。この複数の溝構造を形成す
ることにより、圧電板10を接着する接着面18の領域でな
る圧電部材と、この圧電部材の周囲の支持板９の領域と
を接続する第１図（ｂ）に示すベローズ形継手23を形成
したことになる。
領域の周囲、即ち供給口あるいは排出口に面する電極の
一辺を含みその一辺の両端の辺の周囲に、前記それぞれ
の辺に平行に表側からの溝16a及び16bと裏側からの溝17
a及び17bが形成されている。この複数の溝構造を形成す
ることにより、圧電板10を接着する接着面18の領域でな
る圧電部材と、この圧電部材の周囲の支持板９の領域と
を接続する第１図（ｂ）に示すベローズ形継手23を形成
したことになる。
圧電板10には、下面に共通電極20が設けられ、上面に
は供給口側と排出側とに分離して電極11bと11aが形成さ
れている。また、共通電極20は端子12bに、電極11bは端
子12cに及び電極11aに端子12aがそれぞれ接続されてい
る。
は供給口側と排出側とに分離して電極11bと11aが形成さ
れている。また、共通電極20は端子12bに、電極11bは端
子12cに及び電極11aに端子12aがそれぞれ接続されてい
る。
これらの構成体を、まず、圧電板10の外形を支持板９
の第１の境界線21aに合せ接着する。次に、圧電板10が
接着された支持板９は、支持体８の流体路22となる第１
の溝13の側壁と支持板９の第２の境界線21bと合せ接着
する。このことにより第１図に示した圧電型マイクロポ
ンプとなる。
の第１の境界線21aに合せ接着する。次に、圧電板10が
接着された支持板９は、支持体８の流体路22となる第１
の溝13の側壁と支持板９の第２の境界線21bと合せ接着
する。このことにより第１図に示した圧電型マイクロポ
ンプとなる。
次に、この圧電型マイクロポンプの製造方法を説明す
る。圧電板10の基板は、マグネシウム・ニオブ酸鉛〔Pb
（Mg 1/3 Nb 2/3）O3〕を主成分とする電歪材料の粉末
を有機バインダとともに溶媒中に分散し、スラリー状と
する。これをドクターブレードを用いたスリップキャス
ティング法によって、厚さ100μｍ程度の均一な厚みの
圧電材グリーンシートを製作する。次に、この圧電材グ
リーンシートを規定の大きさに打ち抜き、電極11a及び1
1bと端子12a、12b及び12cをそれぞれ接続するためのス
ルーホールをポンチで開ける。次に、圧電材グリーンシ
ートにスクリーン印刷法により金属ペーストで印刷して
電極11a及び11bを形成する。次に、この圧電材グリーン
シートを金型にはめ込み、100℃前後の温度で加熱しな
がら、約250kg/cm2の圧力を加えて密度を高めた圧電材
グリーンシートにする。次に、プレスにより所定の寸法
に仕上げる。
る。圧電板10の基板は、マグネシウム・ニオブ酸鉛〔Pb
（Mg 1/3 Nb 2/3）O3〕を主成分とする電歪材料の粉末
を有機バインダとともに溶媒中に分散し、スラリー状と
する。これをドクターブレードを用いたスリップキャス
ティング法によって、厚さ100μｍ程度の均一な厚みの
圧電材グリーンシートを製作する。次に、この圧電材グ
リーンシートを規定の大きさに打ち抜き、電極11a及び1
1bと端子12a、12b及び12cをそれぞれ接続するためのス
ルーホールをポンチで開ける。次に、圧電材グリーンシ
ートにスクリーン印刷法により金属ペーストで印刷して
電極11a及び11bを形成する。次に、この圧電材グリーン
シートを金型にはめ込み、100℃前後の温度で加熱しな
がら、約250kg/cm2の圧力を加えて密度を高めた圧電材
グリーンシートにする。次に、プレスにより所定の寸法
に仕上げる。
次に、酸化雰囲気中で、温度上昇率25℃／時間でゆっ
くり上昇させ、500〜600℃程度で保持し、このシート中
の有機物を取り除き、更に、900〜1200℃で焼成して圧
電板10が完成する。
くり上昇させ、500〜600℃程度で保持し、このシート中
の有機物を取り除き、更に、900〜1200℃で焼成して圧
電板10が完成する。
次に、支持板９及び支持板８はステンレス板より製作
する。この支持体８には、通常の化学的エッチング法に
より流体路22と供給口３及び排出口４となるそれぞれの
溝を、例えば、深さ0.1〜1mm程度に形成する。また、こ
の実施例で製作した支持体の溝の寸法は、流体路22の溝
幅が20mmで、深さ0.2mmであり、供給口３及び排出口４
の溝幅は5mmで、深さ0.2mmであった。更に、二つの流体
路22の溝を継なぐ溝の幅は5mmに製作した。
する。この支持体８には、通常の化学的エッチング法に
より流体路22と供給口３及び排出口４となるそれぞれの
溝を、例えば、深さ0.1〜1mm程度に形成する。また、こ
の実施例で製作した支持体の溝の寸法は、流体路22の溝
幅が20mmで、深さ0.2mmであり、供給口３及び排出口４
の溝幅は5mmで、深さ0.2mmであった。更に、二つの流体
路22の溝を継なぐ溝の幅は5mmに製作した。
一方支持板９は厚さ0.05〜0.1mm程度のステンレス板
より製作する。この板厚を設定したら、前述の支持体８
の溝の深さは、この板厚の3/5以上の深さが必要であ
る。
より製作する。この板厚を設定したら、前述の支持体８
の溝の深さは、この板厚の3/5以上の深さが必要であ
る。
以上のようにして得た支持板９に圧電板10を絶縁性の
エポキシ形接着剤等により接着し、更に、これらの圧電
体に、分極処理として、電極11aと共通電極20、電極11b
と共通電極11bとの間にそれぞれ直流電源を接続し、1kv
/mmとなる電界を１分間与える。
エポキシ形接着剤等により接着し、更に、これらの圧電
体に、分極処理として、電極11aと共通電極20、電極11b
と共通電極11bとの間にそれぞれ直流電源を接続し、1kv
/mmとなる電界を１分間与える。
第３図及び第４図は圧電板に与えるドライブ波形図及
びドライブ回路図、第５図（ａ）〜（ｅ）は圧電型マイ
クロポンプを動作順を示す断面図である。まず、第５図
（ａ）の状態はどちらの電極にも電圧がかかっていない
状態で、流体路22の流体は停滞したままである。
びドライブ回路図、第５図（ａ）〜（ｅ）は圧電型マイ
クロポンプを動作順を示す断面図である。まず、第５図
（ａ）の状態はどちらの電極にも電圧がかかっていない
状態で、流体路22の流体は停滞したままである。
次に、第５図（ｂ）に示す状態は、第４図に示すトラ
ンジスタTr1に信号S1が入り、トラジスタTr1が動作し、
第３図に示すような電圧Ｖが、第５図（ｂ）に示す電極
11bに印加する。この電圧印加により圧電板10は撓み流
体は矢印の方向に押し出された状態になる。
ンジスタTr1に信号S1が入り、トラジスタTr1が動作し、
第３図に示すような電圧Ｖが、第５図（ｂ）に示す電極
11bに印加する。この電圧印加により圧電板10は撓み流
体は矢印の方向に押し出された状態になる。
次に、第５図（ｃ）に示す状態は、第４図に示すトラ
ジスタTr2に信号S2が入り、トランジスタTr2が動作し、
第３図に示す電圧Ｖが、第５図（ｃ）に示す電極11aに
印加する。この電圧印加により圧電板10は撓み流体の流
れは止められた状態になる。
ジスタTr2に信号S2が入り、トランジスタTr2が動作し、
第３図に示す電圧Ｖが、第５図（ｃ）に示す電極11aに
印加する。この電圧印加により圧電板10は撓み流体の流
れは止められた状態になる。
次に、第５図（ｄ）に示す状態は、第４図に示すトラ
ジスタTr3に信号S1Aが入り、トランジスタTr3が動作
し、第３図に示す電圧Ｖが抵抗R1を通して放電し、第５
図（ｄ）に示す電極11aに印加された電圧を解除する。
この電圧の解除により圧電板10は復元し、流体が、矢印
に示すように、この圧電板10の復元力により供給口３よ
り吸出された状態になる。
ジスタTr3に信号S1Aが入り、トランジスタTr3が動作
し、第３図に示す電圧Ｖが抵抗R1を通して放電し、第５
図（ｄ）に示す電極11aに印加された電圧を解除する。
この電圧の解除により圧電板10は復元し、流体が、矢印
に示すように、この圧電板10の復元力により供給口３よ
り吸出された状態になる。
次に、第５図（ｅ）に示す状態は、第４図に示すトラ
ジスタTr4に信号S2Aが入り、トランジスタTr4が動作
し、第３図に示す電圧Ｖが抵抗R2を通して放電し、第５
図（ｅ）に示す電極11aに印加された電圧を解除する。
この電圧の解除により圧電板10は復元し、流体が、矢印
に示すように、この圧電板10の復元力により供給口３よ
り吸出され、排出口４に流れる状態になる。
ジスタTr4に信号S2Aが入り、トランジスタTr4が動作
し、第３図に示す電圧Ｖが抵抗R2を通して放電し、第５
図（ｅ）に示す電極11aに印加された電圧を解除する。
この電圧の解除により圧電板10は復元し、流体が、矢印
に示すように、この圧電板10の復元力により供給口３よ
り吸出され、排出口４に流れる状態になる。
やがて、この復元力による流体の慣性力を失うと、再
び、第５図（ａ）の状態に戻る。
び、第５図（ａ）の状態に戻る。
以下同様にして、第５図（ａ）から（ｅ）といった動
作を連続的に繰返して行うことによって、ポンプ動作が
行なえ得る。なお、この動作で、供給口３側と排出口４
側との圧電板10をそれぞれ独立に時間をずらして動作す
るので、この動作自体が逆流防止弁の効果を発揮してい
る。
作を連続的に繰返して行うことによって、ポンプ動作が
行なえ得る。なお、この動作で、供給口３側と排出口４
側との圧電板10をそれぞれ独立に時間をずらして動作す
るので、この動作自体が逆流防止弁の効果を発揮してい
る。
第６図は本発明の第２の実施例を示す圧電型マイクロ
ポンプの断面図である。この実施例は、支持板9aに溝25
を設けた以外は、第１の実施例と同じである。この溝25
を設けることにより、第１の実施例に比べ、支持板9aと
圧電板10aとの接着面積がより少なくなり、この支持板9
aがより可撓性が増し、より低い電圧で動作出来るとい
う利点がある。
ポンプの断面図である。この実施例は、支持板9aに溝25
を設けた以外は、第１の実施例と同じである。この溝25
を設けることにより、第１の実施例に比べ、支持板9aと
圧電板10aとの接着面積がより少なくなり、この支持板9
aがより可撓性が増し、より低い電圧で動作出来るとい
う利点がある。
第７図は本発明の第３の実施例を示す圧電型マイクロ
ポンプの斜視図である。この実施例は供給口３と排出口
４とが同一方向になるようにしたものである。また、電
極11a及び11bが設けられた圧電板10bも横に並べて形成
されている。この圧電板10bの下部の流体路の間は、仕
切り部24で仕切られ、流体路22bで継ながっている。そ
れ以外の構造及び動作は第１の実施例と同じである。
ポンプの斜視図である。この実施例は供給口３と排出口
４とが同一方向になるようにしたものである。また、電
極11a及び11bが設けられた圧電板10bも横に並べて形成
されている。この圧電板10bの下部の流体路の間は、仕
切り部24で仕切られ、流体路22bで継ながっている。そ
れ以外の構造及び動作は第１の実施例と同じである。
以上説明した実施例では、支持板に一枚の圧電板を貼
り付けたユニモルフ構造としたが、圧電板を２層にした
バイモルフ構造としてもよい。なお、この場合は、動作
電圧をより低くすることが出来る利点がある。また、こ
のポンプの外郭体を絶縁性樹脂で覆えば、流体のタンク
内に投げ込むような圧電形マイクロポンプが得られる。
更に、この支持体の両面に、流体路を設けて、この機構
も両面に設けることが出来る。
り付けたユニモルフ構造としたが、圧電板を２層にした
バイモルフ構造としてもよい。なお、この場合は、動作
電圧をより低くすることが出来る利点がある。また、こ
のポンプの外郭体を絶縁性樹脂で覆えば、流体のタンク
内に投げ込むような圧電形マイクロポンプが得られる。
更に、この支持体の両面に、流体路を設けて、この機構
も両面に設けることが出来る。
一方、この圧電形マイクロポンプの応用例として、例
えば、排出口をノズル状にして、電極に断続的にパルス
電圧をに印加すれば、ノズルから適状の流体が噴出し、
ドットプリンタのインクジェット等に利用出来る。
えば、排出口をノズル状にして、電極に断続的にパルス
電圧をに印加すれば、ノズルから適状の流体が噴出し、
ドットプリンタのインクジェット等に利用出来る。
以上説明したように本明は、供給口側と排出口側とに
それぞれ独立した圧電板と支持板でなる圧電部材を流体
路壁の一面に形成して設けたので、この圧電部材のそれ
ぞれに時間をずらして電圧を印加してドライブすること
により、流体を逆流することなく一方向に流すことが出
来る。従って、機械的な逆流防止弁を必要としない圧電
型マイクロポンプが得られるという効果がある。
それぞれ独立した圧電板と支持板でなる圧電部材を流体
路壁の一面に形成して設けたので、この圧電部材のそれ
ぞれに時間をずらして電圧を印加してドライブすること
により、流体を逆流することなく一方向に流すことが出
来る。従って、機械的な逆流防止弁を必要としない圧電
型マイクロポンプが得られるという効果がある。
第１図（ａ）及び（ｂ）は本発明による第１の実施例を
示す圧電型マイクロポンプの斜視図及び断面図、第２図
は第１図の圧電型マイクロポンプの分解斜視図、第３図
及び第４図は圧電板に与えるドライブ波形図及びドライ
ブ回路図、第５図（ａ）〜（ｅ）は圧電型マイクロポン
プを動作順を示す断面図、第６図は本発明の第２の実施
例を示す圧電型マイクロポンプの断面図、第７図は本発
明の第３の実施例を示す圧電型マイクロポンプの斜視
図、第８図（ａ）〜（ｃ）は従来の圧電型マイクロポン
プを説明するための断面図である。 １……板部材、２……振動板、３……供給口、４……排
出口、5a、5b……逆流防止弁、６、22……流体路、7a、
7b、7c……矢印、８、8a……支持体、９、9a、9b……支
持板、10、10a……圧電板、11a、11b……電極、12a、12
b、12c……端子、13……第１の溝、14……第２の溝、15
……第３の溝、16a、16b……表側の溝、17a、17b……裏
側の溝、18……接着面、19……突出部、20……共通電
極、21a……第１の境界線、21b……第２の境界線、23…
…ベローズ形継手、24……仕切り部、25……溝。
示す圧電型マイクロポンプの斜視図及び断面図、第２図
は第１図の圧電型マイクロポンプの分解斜視図、第３図
及び第４図は圧電板に与えるドライブ波形図及びドライ
ブ回路図、第５図（ａ）〜（ｅ）は圧電型マイクロポン
プを動作順を示す断面図、第６図は本発明の第２の実施
例を示す圧電型マイクロポンプの断面図、第７図は本発
明の第３の実施例を示す圧電型マイクロポンプの斜視
図、第８図（ａ）〜（ｃ）は従来の圧電型マイクロポン
プを説明するための断面図である。 １……板部材、２……振動板、３……供給口、４……排
出口、5a、5b……逆流防止弁、６、22……流体路、7a、
7b、7c……矢印、８、8a……支持体、９、9a、9b……支
持板、10、10a……圧電板、11a、11b……電極、12a、12
b、12c……端子、13……第１の溝、14……第２の溝、15
……第３の溝、16a、16b……表側の溝、17a、17b……裏
側の溝、18……接着面、19……突出部、20……共通電
極、21a……第１の境界線、21b……第２の境界線、23…
…ベローズ形継手、24……仕切り部、25……溝。
Claims (3)
- 【請求項１】少なくとも第一の板状部材と第二の板状部
材の二つの板状部材の内側面で囲まれた流体路と、前記
流体路の両端に形成された少なくとも一組の供給口およ
び排出口と、少なくとも前記第二の板状部材に前記供給
口側と前記排出口側とに分離してそれぞれに貼着された
圧電部材とからなり、前記第二の板状部材には、前記流
体路の外周部分のうち、前記流体路の前記供給口側と前
記排出口側とに位置する二辺とこれら各々の二辺に隣接
する二辺とにベローズ型継手が形成されていることを特
徴とする圧電型マイクロポンプ。 - 【請求項２】前記供給口側の流体路と、前記排出口側の
流体路の間に、流体路を狭くするような突出部が設けら
れていることを特徴とする請求項１記載の圧電型マイク
ロポンプ。 - 【請求項３】前記第二の板状部材の前記圧電部材の貼着
位置に溝が設けられていることを特徴とする請求項１ま
たは２記載の圧電型マイクロポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19383588A JP2671412B2 (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | 圧電型マイクロポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19383588A JP2671412B2 (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | 圧電型マイクロポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0242184A JPH0242184A (ja) | 1990-02-13 |
| JP2671412B2 true JP2671412B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=16314529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19383588A Expired - Lifetime JP2671412B2 (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | 圧電型マイクロポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2671412B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100510400C (zh) * | 2003-08-04 | 2009-07-08 | 日本电气株式会社 | 隔膜泵和具有隔膜泵的冷却系统 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06137987A (ja) * | 1992-10-27 | 1994-05-20 | Fuji Giken Kogyo Kk | 配管用気密テスト装置 |
| US6720710B1 (en) * | 1996-01-05 | 2004-04-13 | Berkeley Microinstruments, Inc. | Micropump |
| DE10238600A1 (de) * | 2002-08-22 | 2004-03-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Peristaltische Mikropumpe |
| WO2008111397A1 (ja) | 2007-03-12 | 2008-09-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 流体移送装置 |
-
1988
- 1988-08-02 JP JP19383588A patent/JP2671412B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100510400C (zh) * | 2003-08-04 | 2009-07-08 | 日本电气株式会社 | 隔膜泵和具有隔膜泵的冷却系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0242184A (ja) | 1990-02-13 |
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