CH700571A2 - Hysteresearmer Sensor. - Google Patents

Hysteresearmer Sensor. Download PDF

Info

Publication number
CH700571A2
CH700571A2 CH00318/10A CH3182010A CH700571A2 CH 700571 A2 CH700571 A2 CH 700571A2 CH 00318/10 A CH00318/10 A CH 00318/10A CH 3182010 A CH3182010 A CH 3182010A CH 700571 A2 CH700571 A2 CH 700571A2
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
sep
sensor
magnetic field
flux
soft magnetic
Prior art date
Application number
CH00318/10A
Other languages
English (en)
Other versions
CH700571B1 (de
Inventor
Dr Johannes Tenbrink
Dr Witold Pieper
Burkard Kraus
Dr Joachim Gerster
Original Assignee
Vacuumschmelze Gmbh & Co Kg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vacuumschmelze Gmbh & Co Kg filed Critical Vacuumschmelze Gmbh & Co Kg
Publication of CH700571A2 publication Critical patent/CH700571A2/de
Publication of CH700571B1 publication Critical patent/CH700571B1/de

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/003Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/10Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C19/00Alloys based on nickel or cobalt
    • C22C19/03Alloys based on nickel or cobalt based on nickel
    • C22C19/05Alloys based on nickel or cobalt based on nickel with chromium
    • C22C19/051Alloys based on nickel or cobalt based on nickel with chromium and Mo or W
    • C22C19/057Alloys based on nickel or cobalt based on nickel with chromium and Mo or W with the maximum Cr content being less 10%
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C19/00Alloys based on nickel or cobalt
    • C22C19/03Alloys based on nickel or cobalt based on nickel
    • C22C19/05Alloys based on nickel or cobalt based on nickel with chromium
    • C22C19/058Alloys based on nickel or cobalt based on nickel with chromium without Mo and W
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C30/00Alloys containing less than 50% by weight of each constituent
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C38/00Ferrous alloys, e.g. steel alloys
    • C22C38/02Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C38/00Ferrous alloys, e.g. steel alloys
    • C22C38/04Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing manganese
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C38/00Ferrous alloys, e.g. steel alloys
    • C22C38/18Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing chromium
    • C22C38/40Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing chromium with nickel
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C38/00Ferrous alloys, e.g. steel alloys
    • C22C38/18Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing chromium
    • C22C38/40Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing chromium with nickel
    • C22C38/44Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing chromium with nickel with molybdenum or tungsten
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B1/00Measuring instruments characterised by the selection of material therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R15/00Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
    • G01R15/14Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
    • G01R15/20Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices
    • G01R15/202Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices using Hall-effect devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R15/00Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
    • G01R15/14Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
    • G01R15/20Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices
    • G01R15/207Constructional details independent of the type of device used
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
    • G01R19/145Indicating the presence of current or voltage
    • G01R19/15Indicating the presence of current
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/0023Electronic aspects, e.g. circuits for stimulation, evaluation, control; Treating the measured signals; calibration
    • G01R33/0029Treating the measured signals, e.g. removing offset or noise
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/0023Electronic aspects, e.g. circuits for stimulation, evaluation, control; Treating the measured signals; calibration
    • G01R33/0035Calibration of single magnetic sensors, e.g. integrated calibration
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/063Magneto-impedance sensors; Nanocristallin sensors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/07Hall effect devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/14Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
    • H01F1/147Alloys characterised by their composition
    • H01F1/14708Fe-Ni based alloys
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/14Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
    • H01F1/147Alloys characterised by their composition
    • H01F1/153Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
    • H01F1/15308Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals based on Fe/Ni
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/14Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
    • H01F1/147Alloys characterised by their composition
    • H01F1/14708Fe-Ni based alloys
    • H01F1/14716Fe-Ni based alloys in the form of sheets

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)
  • Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
  • Transformers For Measuring Instruments (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Abstract

Ein Sensor (1) umfasst eine Magnetfeldquelle (3), zumindest ein flussführendes weichmagnetisches Element (2), der zumindest einen Luftspalt (4) aufweist, und zumindest einen Magnetfeldsensor (5), das im Luftspalt (5) angeordnet ist und eine Änderung des Magnetfelds der Magnetfeldquelle (3) misst. Das flussführende weichmagnetische Element (2) besteht aus einer Legierung, die aus 35 Gew.-% ≤ Ni ≤ 50 Gew.-%, 0 Gew.-% ≤ Co ≤ 2 Gew.-%, 0 Gew.-% ≤ Mn ≤ 1,0 Gew.-% 0 Gew.-% ≤ Si ≤ 0,5 Gew.-% sowie 0,5 Gew.-% ≤ Cr ≤ 8 Gew.-% und/oder 0,5 Gew.-% ≤ Mo ≤ 8 Gew.-%, wobei (Mo+Cr) ≤ 8 ist, Rest Eisen sowie unvermeidbaren Verunreinigungen besteht.

Description


  [0001]    Die Erfindung betrifft einen hysteresearmen Sensor, zum Beispiel einen Stromsensor und einen Positionssensor, wobei der Strom bzw. die Position durch die Änderung eines erzeugten magnetischen Felds im offenen Magnetkreis gemessen wird.

  

[0002]    Sensoren können Änderungen eines magnetischen Feldes messen, die von einem zu messenden Ereignissen erzeugt werden. Das erzeugte magnetische Feld wird mit einem oder mehreren flussführenden weichmagnetischen Elementen an eine Magnetfeldsonde konzentriert, die sich in einem Luftspalt im flussführenden weichmagnetischen Element befindet. Auf Grund des Luftspalts ist der Magnetkreis offen.

  

[0003]    Das magnetische Feld kann beispielsweise durch einen Strom oder eine Bewegung eines Dauermagneten erzeugt werden. Abhängig von der Quelle des erzeugten magnetischen Feldes kann der Sensor ein Stromsensor oder ein Positionssensor sein. Die DE 10 011 047 A1 offenbart einen Stromsensor und die DE 19825 433 A1 einen Positionssensor, die jeweils auf diesem Messprinzip basieren.

  

[0004]    Diese Art von Sensoren weisen jedoch den Nachteil auf, dass auf Grund der Werkstoffhysterese des flussführenden weichmagnetischen Elements die Genauigkeit der Messung begrenzt ist.

  

[0005]    Die DE 4 229 948 A1 offenbart einen Stromsensor, bei dem diese Hysterese vermieden wird, um die Genauigkeit der Messung zu verbessern. Dieser Stromsensor umfasst einen einzigen geschlossenen weichmagnetischen Magnetkern mit einer Primärwicklung, die vom Messstrom durchgeflossen wird, und eine Sekundärwicklung, die mit der Primärwicklung über den Magnetkern magnetisch gekoppelt ist.

  

[0006]    Der Magnetkern wird periodisch bis in die Sättigung ummagnetisiert und der Spannungsabfall abgetastet, wobei dieser Spannungsabfall der Sekundärstromstärke proportional ist. Aus dem aktuellen und dem vorhergehenden Messwert des Spannungsabfalls wird ein Mittelwert gebildet, wobei sich die Beiträge des zusätzlichen Magnetisierungsstroms gegenseitig aufheben. Durch diese periodische Ummagnetisierung des Magnetkerns bis in die Sättigung, unabhängig vom zu messenden Primärstrom, sind die magnetischen Verhältnisse bei der Abtastung unabhängig von der Vorgeschichte des Kerns. Es tritt somit keine Hysterese auf.

  

[0007]    Dieser Sensor hat jedoch den Nachteil, dass sein Aufbau sowie sein Betrieb kompliziert ist.

  

[0008]    Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher, einen Sensor anzugeben, der einen einfachen Aufbau aufweist sowie eine genauere Messung eines magnetfelderzeugenden Ereignisses, beispielsweise eines elektrischen Stroms oder der Bewegung eines Dauermagneten, ermöglicht.

  

[0009]    Gelöst wird dies mit dem Gegenstand der unabhängigen Ansprüche. Weitere vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.

  

[0010]    Erfindungsgemäss wird ein Sensor angegeben, der eine Magnetfeldquelle, zumindest ein flussführendes weichmagnetisches Element mit zumindest einem Luftspalt, und zumindest einen Magnetfeldsensor umfasst. Der Magnetfeldsensor ist im Luftspalt angeordnet und misst eine Änderung des Magnetfelds der Magnetfeldquelle. Das flussführende weichmagnetische Element besteht teilweise oder alle aus einer Legierung, die aus 35 Gew.-% <= Ni <= 50 Gew.-%, 0 Gew.-% <= Co <= 2 Gew.-%, 0 Gew.-% <= Mn <= 1,0 Gew.-% 0 Gew.-% <= Si <= 0,5 Gew.-% sowie 0,5 Gew.-% <= Cr <= 8 Gew.-% und/oder 0,5 Gew.-% <= Mo <= 8 Gew.-%, wobei (Mo+Cr) <= 8 ist, Rest Eisen sowie unvermeidbaren Verunreinigungen besteht.

  

[0011]    Die Änderung des magnetischen Flusses der Magnetquelle wird von einem zu messenden Ereignis erzeugt. Das erzeugte Magnetfeld wird mit dem flussführenden weichmagnetischen Element an den Magnetfeldsensor im Luftspalt konzentriert. Dieses zu messende Ereignis kann beispielsweise ein fliessender Strom, im Falle eines Stromsensors, oder eine Bewegung eines Dauermagneten, im Falle eines Positionssensors, sein.

  

[0012]    Für eine abnehmende Koerzitivfeldstärke wird die Werkstoffhysterese des flussführenden weichmagnetischen Elements und folglich die Sensorhysterese zunehmend reduziert. Als Folge erhöht sich die Linearität des Sensors. Eine niedrige Sensorhysterese und eine erhöhte Sensorlinearität ermöglichen eine genauere Messung des magnetischen Flusses, der beim Verschieben oder beim Drehen des Dauermagneten in Bezug auf das flussführende weichmagnetische Element bzw. beim Fliessen des Stroms entsteht. Die Genauigkeit des Sensors wird durch die Verwendung dieser Legierung für das flussführenden weichmagnetischen Element verbessert.

  

[0013]    Die Verwendung einer weichmagnetischen 80% NiFe Permalloylegierung hat den Nachteil einer sehr niedrigen Sättigung unter 0,8T und hohen Materialkosten aufgrund des hohen Ni-Gehaltes. Der erfindungsgemässe Sensor enthält mindestens in Teil mit einer Werkstoff Sättigung von grösser als 0,85 T. Um einem Abfall der Sättigung des Werkstoffs bei erhöhten Betriebstemperaturen gering zu halten, sollte die Curie Temperatur Tc nicht zu niedrig liegen.

  

[0014]    Die Curie Temperatur des flussführenden weichmagnetischen Elements im Bereich über 200[deg.]C ermöglicht den Betrieb des Sensors bei 125[deg.]C. Diese Temperatur entspricht der Obergrenze des Umgebungstemperaturbereichs von -40[deg.]C bis zu 125[deg.]C, der typischerweise bei Sensoren für Automobilanwendungen gewünscht ist.

  

[0015]    Die Legierung des flussführenden weichmagnetischen Elements weist somit eine Kombination von Eigenschaften auf, die für Sensoren wie Positionssensoren und Stromsensoren besonders geeignet ist, da die Werktoffhysterese reduziert und die Genauigkeit des Sensors erhöht wird.

  

[0016]    Die Verunreinigungen können O, N, C, S, Mg oder Ca oder Mischungen zweier oder mehrerer dieser Elemente sein, wobei die Verunreinigungen unterhalb der folgenden Grenzen liegen: Ca <= 0,0025 Gew.-%, Mg <= 0,0025 Gew.-%, S <= 0,01 Gew.-%, 0 <= 0,01 Gew.-%, N <= 0,005 Gew.-% und C <= 0,02 Gew.-%.

  

[0017]    Das Verunreinigungsniveau kann zum Beispiel durch eine Cer-Desoxidation oder VIM (Vacuum Induction Melting), VAR (Vacuum Are Remelting), ESU (Electro-Schlacke-Umschmelz-Verfahren) und oder mit anderen an sich bekannten Verfahren niedrig gehalten werden.

  

[0018]    Ein zunehmender Chromgehalt oder ein zunehmender Molybdängehalt kann erfindungsgemäss zu einer weiteren Senkung der Koerzitivfeldstärke führen. Der Effekt ist jedoch abhängig vom Nickelgehalt. Wenn der Nickelgehalt zu hoch oder zu niedrig ist, wird keine deutliche Senkung der Koerzitivfeldstärke erreicht. Folglich weist neben Eisen die erfindungsgemässe Legierung einen Nickelgehalt im Bereich von 35 bis zu 45 Gewichtsprozent und einen Chromgehalt und/oder einen Molybdängehalt von 0,5 bis zu 8 Gewichtsprozent auf.

  

[0019]    Die Summe der zwei Elemente Mo und Cr wird unterhalb von 8 Gewichtsprozent gehalten, damit die Sättigung nicht zu weit absinkt.

  

[0020]    In weiteren Ausführungsbeispielen ist der Nickelgehalt näher definiert und beträgt 38 Gew.-% <= Ni <= 45 Gew.-% oder 38 Gew.-% <= Ni <= 42 Gew.-%.

  

[0021]    In weiteren Ausführungsbeispielen ist 1 Gew.-% <= Cr <= 8 Gew.-% und/oder 1 Gew.-% <= (Cr+Mo) <= 8 Gew.-%.

  

[0022]    In einem weiteren Ausführungsbeispiel besteht die Legierung aus 35 Gew.-% <= Ni <= 45 Gew.-%, 0 Gew.-% <= Co <= 2 Gew.-%, O Gew.-% <= Mn <= 1,0 Gew.-% 0 Gew.-% <= Si <= 0,5 Gew.-% sowie 0,5 Gew.-% <= Cr <= 8 Gew.-% und/oder 0,5 Gew.-% <= Mo <= 8 Gew.-%, wobei (Mo+Cr) <= 8 ist, Rest Eisen sowie unvermeidbaren Verunreinigungen.

  

[0023]    Die Legierung kann auch Mn und/oder Si aufweisen, wobei O Gew.-% <= Mn <= 0,5 Gew.-%, 0 Gew.-% <= Si <= 0,2 Gew.-%. Mn und Si können der Desoxidation dienen und insbesondere können sie bei höheren Chromgehalten verwendet werden.

  

[0024]    In einem weiteren Ausführungsbeispiel weist die Legierung ferner Co auf, wobei 0 Gew.-% <= Co <= 0,5 Gew.-%. Co kann die Sättigung erhöhen.

  

[0025]    In einem ersten Ausführungsbeispiel weist die Magnetfeldquelle einen Gleichstrom oder einen Wechselstrom auf, der ein Magnetfeld erzeugt, wenn er durch einen Leiter fliesst. Die Grösse des erzeugten magnetischen Feldes ist proportional zu der Grösse des fliessenden Stroms. Der Sensor kann ferner zumindest eine Wicklung aufweisen, die um das flussführende weichmagnetische Element herum gewickelt ist. Der zu messende Strom fliesst durch diese Wicklung.

  

[0026]    In einem zweiten Ausführungsbeispiel weist die Magnetfeldquelle einen Dauermagneten auf, der im Bezug auf das flussführende weichmagnetische Element bewegbar ist. Die Grösse der Änderung des erzeugten magnetischen Flusses ist proportional zu der Grösse der Positionsänderung des Dauermagneten. Folglich kann die Position des Dauermagneten aus der Änderung des magnetischen Flusses bestimmt werden. Der Dauermagnet kann mit einem Gegenstand verbunden werden, dessen Position zu messen ist. Dies kann eine relative lineare oder eine Rotationsbewegung sein, die mit dem Sensor ermittelt wird.

  

[0027]    Der Dauermagnet kann eine Vielzahl von Bereichen aufweisen, die alternierende Magnetisierungsrichtungen aufweisen. Diese Bereiche können mit einer Vielzahl von Magneten vorgesehen werden, die auf einem Joch montiert sind. Alternativ kann der Dauermagnet einstückig sein und Bereiche aufweisen, die unterschiedlich magnetisiert sind.

  

[0028]    Das flussführende weichmagnetische Element kann verschiedene Gestalten aufweisen. In einem Ausführungsbeispiel wird ein einziges U flussführendes weichmagnetisches Element vorgesehen, wobei der Abstand zwischen den Armen der U-Form den Luftspalt vorsieht. In einem weiteren Ausführungsbeispiel weist das flussführende weichmagnetische Element mehrere getrennte Teile auf, wobei ein Luftspalt zwischen den Teilen entsteht. Das flussführende weichmagnetische Element kann einen oder mehrere Schlitze aufweisen, die jeweils einen Luftspalt vorsehen.

  

[0029]    In einem Ausführungsbeispiel wird der erzeugte magnetische Fluss kontaktlos mit einem Magnetfeldsensor in Form einer Hallsonde gemessen. Alternativ kann der Magnetfeldsensor einen Streifen aus amorphem weichmagnetischem Material aufweisen.

  

[0030]    Ein geeignetes Material ist kommerziell, unter dem Handelsnamen VITROVAC von der Firma Vaccumschmelze GmbH und Co KG, erhältlich. Ein Magnetsensor aus diesem Material ist in der EP 0 294 590 A2 offenbart.

  

[0031]    In einem Ausführungsbeispiel sind zwei oder drei Magnetfeldsensoren vorgesehen.

  

[0032]    Ausführungsbeispiele werden nun anhand der Zeichnungen näher beschrieben.
<tb>Fig. 1<sep>zeigt eine schematische Ansicht eines Sensors nach einem ersten Ausführungsbeispiel mit einem flussführenden weichmagnetischen Element aus einer erfindungsgemässen Legierung,


  <tb>Fig. 2<sep>zeigt eine schematische Ansicht eines Sensors nach einem zweiten Ausführungsbeispiel mit einem flussführenden weichmagnetischen Element aus einer erfindungsgemässen Legierung,


  <tb>Fig. 3<sep>zeigt das gemessene Koerzitivitätsfeld für Legierungen mit 47 Gew.-% oder 37 Gew.-% Ni und verschiedenen Chromgehalten,


  <tb>Fig. 4<sep>zeigt das gemessene Koerzitivitätsfeld für Legierungen mit 40 Gew.-% Ni und verschiedenen Chrom- oder Molybdängehalten, und


  <tb>Fig. 5<sep>zeigt das gemessene Koerzitivitätsfeld für weitere erfindungsgemässe Legierungen.

  

[0033]    Die Fig. 1 und 2 zeigen zwei Sensoren 1 und 1, die jeweils ein flussführendes weichmagnetisches Element 2 aus einer weichmagnetischen Legierung aufweisen, die eine Koerzivitätsfeldstärke von weniger als 100 mA/Cm aufweist.

  

[0034]    Fig. 1 zeigt einen Sensor 1 nach einem ersten Ausführungsbeispiel, der als Stromsensor ausgebildet ist. Fig. 2zeigt einen Sensor 1 nach einem zweiten Ausführungsbeispiel, der als Positionssensor ausgebildet ist. Beide Sensoren 1, 1 weisen die folgenden Teile auf.

  

[0035]    Die Sensoren 1 und 1 umfassen jeweils eine Magnetfeldquelle 3, ein flussführendes weichmagnetisches Element 2 mit einem Luftspalt 4 und einen Magnetfeldsensor 5, der im Luftspalt 4 angeordnet ist und eine Änderung des Magnetflusses der Magnetfeldquelle 3 misst. Der Magnetfeldsensor 5 kann zum Beispiel eine Hallsonde sein. Die zwei Sensoren 1 und 1 unterscheiden sich durch die Quelle des Magnetfeldes.

  

[0036]    Im Sensor 1 des ersten Ausführungsbeispiels wird ein Magnetfeld von einem Strom 6 erzeugt, der durch einen elektrisch leitenden Kreis fliesst, der durch einen Draht oder ein Kabel gebildet wird. Dieses Magnetfeld wird mit dem flussführenden weichmagnetischen Element 2 geführt und am Magnetfeldsensor 5 konzentriert, der im Luftspalt 4 angeordnet ist. Das erzeugte Magnetfeld hängt von der Stromstärke ab, so dass die Stromstärke aus dem gemessenen erzeugten Magnetfeld ermittelt werden kann. Der Sensor 1 nach dem ersten Ausführungsbeispiel, ist somit ein Stromsensor.

  

[0037]    Im Sensor 1, nach dem zweiten Ausführungsbeispiel, wird das Magnetfeld von einem Dauermagneten 7 erzeugt. Der Dauermagnet 7 weist eine Vielzahl von Bereichen 8 auf, die alternierende Magnetisierungsrichtungen 9 aufweisen. Die Magnetisierungsrichtung 9 ist mit den Magnetpolen Nord (N) und Süd (S) in Fig. 2 dargestellt.

  

[0038]    Im Sensor 1 des zweiten Ausführungsbeispiels wird der Dauermagnet 7 von einem nicht dargestellten Gegenstand bewegt. In Fig. 2 ist damit eine lineare oder rotatorische Bewegung möglich.

  

[0039]    Die Bewegung des Dauermagneten 7 erzeugt ein geändertes Magnetfeld, das mit dem flussführenden weichmagnetischen Element 2 auf den Magnetfeldsensor 5 im Luftspalt 4 konzentriert wird. Die Grösse der Änderungen des Magnetfeldes hängen vom Umfang der Bewegungen des Dauermagneten 7 ab. Die Position des Gegenstandes, der mit dem Dauermagnet 7 verbunden ist, kann aus diesem gemessenen Magnetfeld ermittelt werden. Der Sensor 1 ist, nach dem zweiten Ausführungsbeispiel, somit einen Positionssensor.

  

[0040]    Das flussführende weichmagnetische Element 2 des Stromsensors 1 sowie des Positionssensors 1 besteht aus einer Legierung mit einer Zusammensetzung, die mit der folgenden Formel 35 Gew.-% <= Ni <= 45 Gew.-%, O Gew.-% <= Co <= 2 Gew.-%, O Gew.-% <= Mn <= 0,5 Gew.-% O Gew.-% <= Si <= 0,2 Gew.-% sowie 0,5 Gew.-% <= Cr <= 8 Gew.-% und/oder 0,5 Gew.-% <= Mo <= 8 Gew.-%, wobei (Mo+Cr) <= 8 ist, Rest Eisen sowie unvermeidbaren Verunreinigungen beschrieben wird.

  

[0041]    Diese Legierung ist eine Eisen-Nickel basierte Legierung mit Chrom und/oder Molybdän. Die Elemente Chrom und Molybdän können die Koerzivitätsfeldstärke deutlich gegenüber der reinen NiFe-Legierung reduzieren, während die Sättigung oberhalb von 0,85 T liegt und damit höher, als bei dem 80% NiFe Permalloy Legierungen ist. Diese Kombination der Eigenschaften führt zu einer reduzierten Werkstoffhysterese. Folglich kann ein Sensor 1 bzw. 1 hergestellt werden, der eine reduzierte Sensorhysterese und eine erhöhte Sensorlinearität aufweist. Die Genauigkeit des Sensors 1 bzw. 1 wird somit erhöht.

  

[0042]    Fig. 3 zeigt die gemessene Koerzitivitätsfeldstärke für Legierungen mit 47 Gew.-% und 37 Gew.-% Ni und einem Chromgehalt von 1 Gew.-% bis zum 6,65 Gew.-%.

  

[0043]    Die Zusammensetzungen, das gemessene Koerzivitätsfeld und die Induktion, bei H = 10 A/cm (B(10)) dieser Legierungen sind in der Tabelle 1 und 2 zusammengefasst. Die Zusammensetzungen sind jeweils in Gewichtsprozent angegeben.
<tb><sep><sep><sep><sep>1150[deg.]C/H2<sep>


  <tb><sep>Fe<sep>Ni<sep>Cr<sep>Hc (mA/cm)<sep>Bio (T)


  <tb>93/4759<sep>Rest<sep>47,4<sep>0,96<sep>24<sep>1,39


  <tb>93/4760<sep>Rest<sep>47,45<sep>1,67<sep>26<sep>1,33


  <tb>93/4867<sep>Rest<sep>47,4<sep>2,17<sep>35<sep>1,31


  <tb>93/4868<sep>Rest<sep>47,4<sep>3,14<sep>28<sep>1,228


  <tb>93/4869<sep>Rest<sep>47,4<sep>4, 10<sep>34<sep>1,146


  <tb>93/4870<sep>Rest<sep>47,4<sep>5, 05<sep>46<sep>1,08


  <tb>93/4525<sep>Rest<sep>47,6<sep>6, 04<sep>31<sep>0, 99Tabelle 1
<tb><sep><sep><sep><sep><sep><sep>1150[deg.]C/H2<sep>


  <tb><sep>Fe<sep>Ni<sep>Cr<sep>Mn<sep>Si<sep>Hc (mA/cm)<sep>Bio(T)


  <tb>93/4444<sep>Rest<sep>36,95<sep>2,10<sep>0,50<sep>0,21<sep>72<sep>1,17


  <tb>93/4443<sep>Rest<sep>36,95<sep>4,15<sep>0,5<sep>0,2<sep>60<sep>1


  <tb>93/4442<sep>Rest<sep>36,95<sep>6,65<sep>0,5<sep>0,22<sep>42<sep>0,81Tabelle 2

  

[0044]    Im Vergleichsbeispiel der Tabelle 1 weist die Legierung ungefähr 47 Gew.-% Ni auf. Bei diesem Nickelgehalt zeigt sich kein Zusammenhang zwischen dem Chromgehalt und dem Koerzivitätsfeld. Bei einem niedrigeren Nickelgehalt von ungefähr 37 Gew.-% sinkt das Koerzitivitätsfeld bei zunehmendem Chromgehalt von über 70 mA/cm auf ungefähr 40 mA/cm ab.

  

[0045]    Fig. 4 zeigt zwei Ausführungsbeispiele einer Legierung für das flussführende weichmagnetische Element 2 des Sensors 1 bzw. 1, die jeweils 40 Gew.-% Nickel aufweisen. Bei dem ersten Ausführungsbeispiel wird 2 Gew.-% und 4 Gew.-% Chrom und bei dem zweiten Ausführungsbeispiel 2 Gew.-% und 4 Gew.-% Mo zugefügt. In beiden Ausführungsbeispielen sinkt die Koerzivitätsfeldstärke bei zunehmenden Chrom- und Molybdängehalt ab.

  

[0046]    Tabelle 3 fasst die Zusammensetzungen sowie die Werte von B10, Hc und Tc (die Curie Temperatur) für weitere Legierungen zusammen, aus denen das flussführende weichmagnetische Element 2 des Sensors 1 bzw. 1 bestehen kann. Die Werte der Koerzivitätsfeldstärke Hc dieser Legierungen sind auch in Fig. 5 graphisch dargestellt.
<tb>Fe<sep>Ni<sep>Cr<sep>Mo<sep>Bio<sep>Hc<sep>Tc


  <tb><sep>(Gew.-%)<sep>(Gew.-%)<sep>(Gew.-%)<sep>(T)<sep>(mA/cm)<sep>([deg.]C)


  <tb>Rest<sep>36,1<sep>2,1<sep><sep>1,05<sep>72,9<sep>164


  <tb>Rest<sep>38,0<sep>3,3<sep><sep>1,10<sep>59,3<sep>184


  <tb>Rest<sep>40,1<sep>2,1<sep><sep>1,33<sep>51<sep>248


  <tb>Rest<sep>40,0<sep>4,5<sep><sep>1,09<sep>37,4<sep>208


  <tb>Rest<sep>40,0<sep>5, 8<sep><sep>0,99<sep>32<sep>187


  <tb>Rest<sep>40,0<sep>7,1<sep><sep>0,87<sep>30,2<sep>164


  <tb>Rest<sep>43,0<sep>5,8<sep><sep>1,02<sep>31,1<sep>248


  <tb>Rest<sep>44,0<sep>4,5<sep><sep>1,15<sep>32, 6<sep>291


  <tb>Rest<sep>44,0<sep>5,8<sep><sep>1,05<sep>35,5<sep>270


  <tb>Rest<sep>44,0<sep>7,1<sep><sep>0, 95<sep>38,7<sep>248


  <tb>Rest<sep>40,0<sep><sep>1,9<sep>1,30<sep>36,5<sep>279


  <tb>Rest<sep>39,9<sep><sep>4,3<sep>1,15<sep>31,5<sep>277


  <tb>Rest<sep>41,7<sep><sep>5,5<sep>1,12<sep>36,5<sep>316


  <tb>Rest<sep>40,0<sep>2,2<sep>2, 1<sep>1,12<sep>30,6<sep>243Tabelle 3

  

[0047]    Der Luftspalt 4 im flussführenden weichmagnetischen Element 2 führt zu einer Scherung des magnetischen Kreises, d. h. die am flussführenden weichmagnetischen Element 2 gemessene Hystereseschleife wird flacher je breiter der Luftspalt 4 ist.

  

[0048]    Die Koerzitivfeldstärke Hc des weichmagnetischen Werkstoffs bestimmt die Remanenz der Schleife im offenen Magnetkreis. Die Remanenz geht direkt in die Hysterese und damit die Genauigkeit des Sensors 1 bzw. 1 ein. Durch die Verwendung eines er-findungsgemässen FeNiCr-Werkstoffs mit niedriger Koerzitivfeldstärke lässt sich die Sensorhysterese reduzieren.

  

[0049]    In Sensoranwendungen dienen weichmagnetische Werkstoffe z. B. als flussführende weichmagnetische Elemente oder Flusskonzentratoren. Sensoren sollen in der Regel einen Eingangswert möglichst linear in ein Sensorsignal abbilden. Für den weichmagnetischen Werkstoff bedeutet das eine niedrige Koerzitivfeldstärke und damit eine schwache Hysterese.

  

[0050]    Durch die Umgebungstemperaturen der Sensoranwendung, z. B. für Automobilsensoren von -40 bis 125[deg.]C, sollte die Sättigung zwischen Raumtemperatur und Maximaltemperatur nicht mehr als um 30% abfallen.

Bezugszeichenliste

  

[0051]    
<tb>1<sep>Stromsensor


  <tb>1<sep>Positionssensor


  <tb>2<sep>Flussführendes weichmagnetisches Element


  <tb>3<sep>Magnetfeldquelle


  <tb>4<sep>Luftspalt


  <tb>5<sep>Magnetfeldsensor


  <tb>6<sep>Strom


  <tb>7<sep>Dauermagnet


  <tb>8<sep>Bereich des Dauermagnets


  <tb>9<sep>Magnetisierungsrichtung

Claims (16)

1. Sensor (1; 1) umfassend:
eine Magnetfeldquelle (3), zumindest ein flussführendes weichmagnetisches Element (2), das zumindest einen Luftspalt (4) aufweist, und zumindest einen Magnetfeldsensor (5), der im Luftspalt (5) angeordnet ist und eine Änderung des Magnetfeldes der Magnetfeldquelle (3) misst, dadurch gekennzeichnet, dass das flussführende weichmagnetische Element (2) aus 35 Gew.-% <= Ni <= 50 Gew.-%, O Gew.-% <= Co <= 2 Gew.-%, O Gew.-% <= Mn <= 1,0 Gew.-% O Gew.-% <= Si <= 0,5 Gew.-% sowie 0,5 Gew.-% <= Cr <= 8 Gew.-% und/oder 0,5 Gew.-% <= Mo <= 8 Gew.-%, wobei (Mo+Cr) <= 8 ist, Rest Eisen sowie unvermeidbaren Verunreinigungen besteht.
2. Sensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetfeldquelle (3) einen Gleichstrom (6) oder einen Wechselstrom aufweist, der ein Magnetfeld erzeugt.
3. Sensor (1) nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor ferner zumindest eine Wicklung (6) aufweist, die um das flussführende weichmagnetische Element (2) herum gewickelt ist.
4. Sensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor (1) ein Stromsensor ist.
5. Sensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetfeldquelle (3) einen Dauermagnet (7) aufweist, der in Bezug auf das flussführende weichmagnetische Element (2) bewegbar ist.
6. Sensor (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Dauermagnet (7) an einem Stab befestigt ist.
7. Sensor (1) nach Anspruch 5 oder Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Dauermagnet (7) eine Vielzahl von Bereichen (8) umfasst, die alternierende Magnetisierungsrichtungen (9) aufweisen.
8. Sensor (1) nach einem der Ansprüche 1, und 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor (1) ein Positionssensor ist.
9. Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das flussführende weichmagnetische Element (2) einen magnetischen Kreis mit mindestens einem Luftspalt bildet.
10. Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Flussleiter (2) einen oder mehrere Schlitze aufweist, die jeweils einen Luftspalt (4) vorsehen.
11. Sensor (1; 1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch 38 Gew.-% <= Ni <= 45 Gew.-%.
12. Sensor (1; 1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch 1 Gew.-% <= (Cr+Mo) <= 8 Gew.-%.
13. Sensor (1; 1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch O Gew.-% <= Co <= 0,5 Gew.-%.
14. Sensor (1; 1) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Magnetfeldsensor einen Streifen aus amorphen weichmagnetischem material aufweist.
15. Sensor (1; 1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Magnetfeldsensor (5) eine Hallsonde ist.
16. Sensor (1; 1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwei oder drei Magnetfeldsensoren (5) vorgesehen sind.
CH00318/10A 2009-03-13 2010-03-09 Hysteresearmer Sensor. CH700571B1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009012794A DE102009012794B3 (de) 2009-03-13 2009-03-13 Hysteresearmer Sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CH700571A2 true CH700571A2 (de) 2010-09-15
CH700571B1 CH700571B1 (de) 2014-09-30

Family

ID=42261439

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH00318/10A CH700571B1 (de) 2009-03-13 2010-03-09 Hysteresearmer Sensor.

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8405391B2 (de)
JP (1) JP5649831B2 (de)
KR (1) KR101105985B1 (de)
CH (1) CH700571B1 (de)
DE (1) DE102009012794B3 (de)
GB (1) GB2468755B (de)
HK (1) HK1146552A1 (de)
SG (1) SG165250A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107658325A (zh) * 2016-07-26 2018-02-02 迈来芯电子科技有限公司 具有含减小的矫顽力的软磁合金的传感器器件及制造方法

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011001488B4 (de) * 2010-09-10 2014-07-10 Vacuumschmelze Gmbh & Co. Kg Verwendung einer weichmagnetischen Legierung in einem Rotor oder Stator eines Elektromotors
GB2484568B (en) * 2010-09-10 2014-01-01 Vacuumschmelze Gmbh & Co Kg Electric motor and process for manufacturing a rotor or a stator of an electric motor
DE102012201995A1 (de) * 2012-02-10 2013-08-14 Siemens Aktiengesellschaft Schaltgerät, insbesondere Leistungsschalter
US9772200B2 (en) * 2013-03-15 2017-09-26 Bourns, Inc. Position measurement using angled collectors
US9574906B2 (en) * 2013-10-28 2017-02-21 Hitachi Metals, Ltd. Magnetic medium for magnetic encoder, magnetic encoder and method for manufacturing magnetic medium
KR102226367B1 (ko) 2014-01-02 2021-03-12 삼성전자주식회사 불휘발성 메모리 장치 및 그것을 포함하는 불휘발성 메모리 시스템
AT519637A1 (de) * 2017-01-27 2018-08-15 Hirtenberger Eng Surfaces Gmbh Magnetischer kraftsensor
KR102322894B1 (ko) * 2017-10-16 2021-11-05 한국전기연구원 영구자석을 이용한 자기이력곡선 연속 측정장치
KR102297540B1 (ko) * 2017-10-16 2021-09-02 한국전기연구원 영구자석을 이용한 조성경사형 박막의 자기이력곡선 연속 측정장치 및 측정방법
US11163024B2 (en) 2018-04-05 2021-11-02 Mando Corporation Non-contact linear position sensor utilizing magnetic fields

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19825433A1 (de) * 1997-07-23 1999-01-28 Mannesmann Vdo Ag Magnetischer Positionssensor
DE3718857A1 (de) 1987-06-05 1988-12-22 Vacuumschmelze Gmbh Stromsensor nach dem kompensationsprinzip
JPH0320448A (ja) * 1989-06-17 1991-01-29 Aichi Steel Works Ltd 冷間鍛造用高電気抵抗軟磁性合金
JP2711574B2 (ja) 1989-09-04 1998-02-10 日新製鋼株式会社 磁気シールド部材用Ni―Fe―Cr軟質磁性合金
JPH03191041A (ja) * 1989-12-20 1991-08-21 Nisshin Steel Co Ltd Fe―Ni―Cr系軟質磁性合金
JP2646277B2 (ja) 1990-03-27 1997-08-27 日新製鋼株式会社 鉄心部材用Ni―Fe―Cr軟質磁性合金
EP0505595A1 (de) 1991-03-28 1992-09-30 Vacuumschmelze GmbH Schrittmotor für Uhren
DE4113496A1 (de) 1991-04-25 1992-10-29 Vacuumschmelze Gmbh Magnetkern fuer einen stromsensor nach dem kompensationsprinzip
DE4212461A1 (de) 1992-04-14 1993-10-21 Vacuumschmelze Gmbh Direktabbildender Stromsensor
DE4229948A1 (de) * 1992-09-08 1994-03-10 Vacuumschmelze Gmbh Hysteresefreier Stromsensor
JPH06186253A (ja) * 1992-12-17 1994-07-08 Tokin Corp 電流検出器
FR2703467B1 (fr) 1993-03-29 1995-06-30 Mecagis Capteur de courant à effet Hall à flux nul destiné en particulier aux véhicules automobiles et scooters électriques.
DE4328421A1 (de) 1993-08-24 1995-03-02 Vacuumschmelze Gmbh Schrittmotor für eine elektrische Uhr
DE19628139C1 (de) 1996-07-12 1997-11-20 Krupp Vdm Gmbh Verwendung einer korrosionsbeständigen weichmagnetischen Eisen-Nickel-Chrom-Legierung für Joche und Anker von elektromagnetischen Relais
FR2753017B1 (fr) 1996-08-29 1998-10-16 Imphy Sa Moteur pas a pas pour horlogerie dont le stator est constitue d'un alliage magnetique doux et alliage magnetique doux
EP0960342B1 (de) 1997-02-14 2003-01-22 Vacuumschmelze GmbH Stromsensor mit selbstschwingender generatorschaltung
DE19705768A1 (de) 1997-02-14 1998-08-20 Vacuumschmelze Gmbh Stromsensor nach dem Kompensationsprinzip
JPH112646A (ja) * 1997-03-28 1999-01-06 Sumitomo Special Metals Co Ltd 直流電流センサーと直流電流流出防止方法
JP3501625B2 (ja) * 1997-06-24 2004-03-02 太陽鉄工株式会社 検知装置及びそれを用いたシリンダ装置
FR2765724B1 (fr) 1997-07-04 1999-08-13 Imphy Sa Alliage magnetique doux du type fe-ni-cr-ti pour circuit magnetique d'un relais a haute sensibilite
US6011475A (en) * 1997-11-12 2000-01-04 Vacuumschmelze Gmbh Method of annealing amorphous ribbons and marker for electronic article surveillance
DE19803598C1 (de) 1998-01-30 1999-04-29 Krupp Vdm Gmbh Weichmagnetische Nickel-Eisen-Legierung mit kleiner Koerzitivfeldstärke, hoher Permeabilität und verbesserter Korrosionsbeständigkeit
FR2791704B1 (fr) 1999-04-02 2001-05-25 Imphy Ugine Precision Alliage magnetique doux pour horlogerie
DE19932473A1 (de) 1999-07-12 2001-01-25 Vacuumschmelze Gmbh Korrosionsfreie Eisen-Nickel-Legierung für Fehlerstromschutzschalter
US6380735B1 (en) * 1999-04-30 2002-04-30 Sumitomo Special Metals Co., Ltd. Orthogonal flux-gate type magnetic sensor
DE29923913U1 (de) 1999-09-02 2001-06-28 Siemens AG, 80333 München Verbesserungen an einem mit Magnetfeld-Sonde arbeitenden Magnetfeldsensor
DE10011047B4 (de) * 2000-03-07 2010-04-15 Vacuumschmelze Gmbh Direktabbildender Stromsensor
FR2821668B1 (fr) 2001-03-02 2003-05-02 Moving Magnet Tech Capteur de position, notamment destine a la detection de la torsion d'une colonne de direction
KR100441062B1 (ko) * 2001-08-07 2004-07-19 주식회사 디씨엔 Fe-Si 연자성 포트코아, 그 제조방법 및 이를 이용한 리액터
WO2003038452A1 (fr) 2001-11-01 2003-05-08 Asahi Kasei Emd Corporation Capteur de courant et procede de fabrication associe
JP2003329751A (ja) * 2002-05-15 2003-11-19 Kayaba Ind Co Ltd 磁束検出器
JP4118755B2 (ja) * 2003-01-14 2008-07-16 株式会社日本自動車部品総合研究所 回転角センサ及びこの回転角センサを具備した回転角検出装置
EP1498739B1 (de) 2003-07-12 2006-04-05 Liaisons Electroniques-Mecaniques Lem S.A. Stromsensor mit einem einen Luftspalt aufweisenden Magnetkern und damit ausgerüstete Energieversorgungsschaltung
FR2872896B1 (fr) 2004-07-09 2008-01-11 Moving Magnet Tech Capteur de position, notamment destine a la mesure de la torsion d'une colonne de direction
FR2882140B1 (fr) 2005-02-11 2007-05-11 Electricfil Automotive Soc Par Capteur de position a poles magnetiques compenses
JP4675647B2 (ja) * 2005-03-03 2011-04-27 株式会社ダイヤメット ステータ、回転機用コア及び回転機

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107658325A (zh) * 2016-07-26 2018-02-02 迈来芯电子科技有限公司 具有含减小的矫顽力的软磁合金的传感器器件及制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE102009012794B3 (de) 2010-11-11
GB201004083D0 (en) 2010-04-28
KR101105985B1 (ko) 2012-01-18
HK1146552A1 (en) 2011-06-17
CH700571B1 (de) 2014-09-30
JP2010230658A (ja) 2010-10-14
US20100231204A1 (en) 2010-09-16
GB2468755A (en) 2010-09-22
US8405391B2 (en) 2013-03-26
JP5649831B2 (ja) 2015-01-07
GB2468755B (en) 2011-06-22
SG165250A1 (en) 2010-10-28
KR20100103403A (ko) 2010-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102009012794B3 (de) Hysteresearmer Sensor
DE112010005280B4 (de) Magnetische Positionserfassungsvorrichtung
DE102006024722B4 (de) Magnetfelddetektor sowie Verfahren zu seiner Herstellung
EP2564164B1 (de) Magnetisches längenmesssystem, längenmessverfahren sowie herstellungsverfahren eines magnetischen längenmesssystems
EP1950574B1 (de) Vorrichtung zur Messung eines durch einen elektrischen Leiter fliessenden elektrischen Stroms
EP0238922A1 (de) Magnetischer Wegsensor
WO1994017426A1 (de) Vorrichtung zum erfassen einer winkelposition eines objektes
DE202005022087U1 (de) Nanokristalliner Kern für Stromsensoren, ein- und zweistufige Energiezähler und diese integrierende Stromsonden
DE102004057909A1 (de) Linearer Positionssensor
DE102018118207A1 (de) Samariumhaltige weichmagnetische Legierungen
DE102007025505A1 (de) Anordnung zur Messung eines in einem elektrischen Leiter fließenden Stroms
DE102012213802B4 (de) Magnetisches Modul für einen Stromsensor
DE3008581C2 (de)
EP1129459B1 (de) Verwendung eines magnetkerns für einen stromwandler, verfahren zur herstellung eines magnetkerns und stromwandler mit einem magnetkern
DE102020116428A1 (de) Sensor, Schutzschalter, Ladekabel und Ladestation
DE4238863C2 (de) Vorrichtung zur Messung mechanischer Spannungszustände in Bauteilen
WO2004070321A1 (de) Sensoranordnung
DE3933627A1 (de) Sensor mit einem beweglichen permanentmagnetsystem zur bestimmung einer bewegungsabhaengigen groesse
DE102017004349A1 (de) Magnetfeldkompensationseinrichtung
DE102012216554B4 (de) Gleichstrommessung
DE102011002254A1 (de) Positionsgeber insbesondere zur Bestimmung der Position eines Läufers eines planaren Direktantriebs
DE1287204B (de) Drehspulinstrument mit Scheibenanker
DE102013202891A1 (de) Positionssensor
EP0578172A1 (de) Mikroschalter mit einem Magnetfeld-Sensor
DE535379C (de) Schaltungsanordnung fuer Kreuzspuleninstrumente