CH520524A - Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen eines kristallinen Stabes, insbesondere Halbleiterstabes - Google Patents
Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen eines kristallinen Stabes, insbesondere HalbleiterstabesInfo
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- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
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