CH414570A - Verfahren zur Gewinnung von reinstem Halbleitermaterial, insbesondere Silizium - Google Patents

Verfahren zur Gewinnung von reinstem Halbleitermaterial, insbesondere Silizium

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CH414570A
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silicon
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CH1344360A
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Reuschel Konrad Dr Dipl-Chem
Schink Norbert Dr Dipl-Chem
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Siemens Ag
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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