CH288438A - Verfahren zum Aufbringen von Metallüberzügen auf langgestrecktes Arbeitsgut, sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens. - Google Patents
Verfahren zum Aufbringen von Metallüberzügen auf langgestrecktes Arbeitsgut, sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens.Info
- Publication number
- CH288438A CH288438A CH288438DA CH288438A CH 288438 A CH288438 A CH 288438A CH 288438D A CH288438D A CH 288438DA CH 288438 A CH288438 A CH 288438A
- Authority
- CH
- Switzerland
- Prior art keywords
- work
- work item
- vessel
- steaming
- metal
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Verfahren zum Aufbringen von Metallüberzügen auf langgestreektes Arbeitsgut, sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens. Die vorliegende Erfindung betrifft. ein Verfahren zum Aufbringen von Metallüber zügen auf langgestrecktes Arbeitsgut, wie Drähte und Bänder, sowie eine Einrichtung zur Durchführalng des Verfahrens. Das erfindungsgemässe Verfahren besteht darin, dass das Arbeitsgut. in stetigem Arbeits- gang- durch einen Behandlungsraum durch geführt wird, in dem das zur Belegung des Arbeitsgutes dienende Metall verdampft. wird, während gleichzeitig die den Behandlungs raum. begrenzenden Flächen über die Ver- clampfungstemperatur des 1letalles aufgeheizt werden. Die Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens zeichnet sich dadurch aus, dass im Hohlraum eines nach aussen abgeschlossenen Behälters ein den Behandlungsraum einschlie. I-)endes Gefäss mit Öffnungen zur Durchfüh rung von Arbeitsgut, Mittel zur Arbeits.gut- bewegung, Verdampfungseinrichtungen für das aufzubringende Metall und eine Wärme quelle zur Aufheizung mindestens der innern Oberfläche des Gefässes bis über den Ver- dampfungspunkt des aufzubringenden Metal- les angeordnet sind. In der Zeichnung ist schematisch ein Aus führungsbeispiel der Einrichtung veranschau licht. In Verbindung mit der Schilderung die ses Beispiels wird auch ein Ausführungsbei spiel des Verfahrens beschrieben. Mit strichpunktierten Linien ist ein nach aussen abgeschlossener Behälter 1 dargestellt, der evakuiert werden kann. Im Hohlraum des Behälters 1 befindet sich ein geschlossenes Ge fäss, das aus zwei im wesentlichen zylindri schen Teilen 2 und 3 besteht, welche mittels der Flansche 4 und 5 aneinanderliegen und durch nicht gezeichnete Verbindungsmittel miteinander verbunden sind. An zwei einan der diametral gegenüberliegenden Stellen sind Ausnehmungen 6 und 7 derart in das Gefäss eingearbeitet, dass sie an die Trennfläche zwi schen den Flanschen 4 und 5 angrenzen. Über diese Ausnehmungen 6 und 7 wird mit einem metallischen Überzug zu versehendes Arbeits gut 8 langgestreckter Form und geringen Querschnittes, beispielsweise Draht oder Band, in das Innere des Gefässes 2, 3 hinein- und aus ihm wieder herausgeführt. Das Arbeits gut 8 läuft hierzu von einer ebenfalls im In nern des Behälters 1 angeordneten Spule 9 ab und wird nach Belegung auf eine Spule 10 aufgewickelt, die sich auch im Hohlraum des Behälters 1 befindet und die mit Hilfe einer nicht dargestellten Vorrichtung angetrieben ist. Im Gefäss 2, 3 ist eine bestimmte Menge desjenigen Metalles 11, das als Überzug auf das Arbeitsgut 8 aufgebracht werden soll, an gesammelt. Das Aufbringen geschieht durch Verdampfen des Materials 11 und durch Kon densation des gebildeten Metalldampfes auf dem Arbeitsgut B. Um das zu ermöglichen, be steht das Bedampfungsgefäss 2, 3 beispiels weise aus Graphit. Das Schmelzen und Ver- dampfen des Metalles 11 geschieht durch Er wärmung des Bedampfungsgefässes 2, 3; im Falle die Ausführungsbeispiele erfolgt das mit tels elektrischen Stromdurchganges durch das Gefäss. An den Enden der Gefässteile 2 und 3 sind zu diesem Zwecke Anseblussklemmen 12 bzw. 13 befestigt, zu denen elektrische Lei tungen 14 und 1ä führen. Die Beheizung des Bedampfungsgefässes könnte aber auch mittel bar erfolgen, sei es durch Widerstandskörper oder mittels hochfrequenten Wechselstromes, wobei die beiden Gefässteile 2 und 3 getrennt beheizbar sein können. In dien Fällen kann das Gefäss 2, 3 auch aiis nichtleitenden Werk stoffen bestehen, beispielsweise aus Quarzglas oder einem Oxyd, dessen Schmelzpunkt höher ist als der Verdampfungspunkt des aufzutra genden Metalles. Die Wirkungsweise der bisher besehriebe- nen Einrichtung ist wie folgt.: Das mit einem Metallüberzug zu ver- sehende Arbeitsgut, z. B. ein Draht 8, wird durch Antreiben der Aufwickelspule 10 durch das Bedampfungsgefäss 2, 3 hindurchgezogen, in welchem sich das aufzutragende Metall 11 mindestens teilweise in der Form von Dampf befindet. Auf dem im Vergleich zum Gefäss 2, <B>3 3</B> kalten Draht 8 schlägt sich der Dampf nie- der und bildet dabei den gewünschten zusam menhängenden Überzug. Der Draht 8 wird mit einer bestimmten Geschwindigkeit durch das Bedampfungsgefäss gezogen, so dass eine stetige Belegung des Drahtes erfolgt. Zur Erzielung eines einwandfreien und gleichmässigen Überzuges ist es unerlässlich, dass die gesamte innere Oberfläche des Be- dampfungsgefässes 2, 3 bis über den V er- dampfungspunkt des aufzubringenden Metal ler erwärmt wird, damit sieh kein Nieder schlag an den Gefässwandungen bildet, der auf den zu belegenden Draht. abtropfen könnte. Im Vergleich zum gesamten Rauminhalt des evakuierten Behälters 1 ist der Bedamp- fungsraum im Innern des Gefässes 2, 3 klein. Daraus ergibt. sich zunächst eine Einsparung an zu verdampfendem Material und weiteres an Energie, die zur Verdampfung des Me taller und zur Erwärmung der Gefässwandun- gen erforderlich ist. Die Durchtrittsausneh- mungen 6 und 7 für das zu belegende Arbeits gut 8 sind dem Querschnitt desselben ange- passt, damit der Metalldampf nicht. aus dem Innern des Bedampfnngsgefässes ?, 3 in den Vakuumraum 1 hinaus entweicht ; dass Spiel zwischen Arbeitsgut und den die Durchtritts- a.usnehmungen begrenzenden Flächen ist- grö ssenordnungsmässig höchstens gleich der Dicke des Überzuges. Zwischen der Abwiekelspule 9 und dem Bedampfungsgefäss '', 3 können im Hohlraum des Behälters Mittel zum Reinigen des zu be legenden Arbeitsgutes 8 unmittelbar vor des sen Belegung angeordnet sein. Beim darge stellten Ausführungsbeispiel erfolgt diese Reinigung thermiseli, indem das Arbeitsgut 8 eine elektrische Spule 16 durchläuft, die mit hochfrequentem Wechselstrom gespeist ist, und das durchlaufende Arbeitsgut vorübergehend stark erhitzt. Bei dieser Massnahme findet gleichzeitig eine Vorwärmung des Arbeits- gutes statt. Die Reinigung könnte aber auch rein mechanisch erfolgen oder durch Bombar dierung des zu belegenden. Arbeitsgutes mit Ionen oder Elektronen von hoher kinetiseher Energie oder mit beiden. Eine gute Haftfestigkeit des erzeugten Metallüberzuges auf dem Arbeitsgut 8 erreicht man durch eine thermische Naehbehandlung des Arbeitsgutes, bei welcher der Überzug teil weise in das Arbeitsgut diffundiert. Hierzu ist zwischen dem Bedampfungsgefäss 2, 3 und der Aufwickelspule 10 eine elektrische Spule 17 vorhanden, durch welche das bedampfte Arbeitsgut hindurchläuft. Zur Erzielung einer bestimmten gewünsch ten Stärke des aufgebrachten lletalliiber- znges kann das Arbeitsgut 8 auch im wieder holten Arbeitsgang durch das Bedampfungs- gefäss hindurchgeführt werden, bis die erfor derliche Schielitdicke erreicht. ist. In gewissen Fällen ist es angezeigt, da, Verfahren nicht im Vakuum, sondern in einer Schutzgasatmosphä.re durehzuführen; in die sem Falle wird das Sehutzgas in den vorher entlüfteten Behälter 1 eingebracht. Auf die beschriebene Weise lassen sich Drähte und Bänder, vor allem sehr geringen Querschnittes, mit einem Metallüberzug ver- .@ehen, sei es zur Erhöhung der elektrischen Leitfähigkeit, zur Erhöhung der Korrosions beständigkeit oder zu irgendwelchen andern Zwecken. Das Verfahren eignet sieh vor allem für die Verdampfung von Edelmetallen, da die bisher bekannten Verfahren zu sehr gro ssen Verlusten an diesen, abgesehen von der hiii",eitigkeit der Bedampfung, führten. Da her können nach dem Verfahren beispielsweise (loldüberzüge auf feinsten --#Tolybdändrähten mit. dem Erfolg erzeu-t werden, dass minde stens die Hälfte des verdampften Goldes zur Kondensation zu bringen ist; Drähte dieser Art finden Verwendung zur Herstellung von ('zittern in Elektronenröhren.
Claims (1)
- PATENTANSPRU CII I : Verfahren zur Aufbringung von Metall überzügen auf langgestrecktes Arbeitsgut, da durch gekennzeichnet, dass das Arbeitsgut in stetigem Arbeitsgang durch einen Behand- lungsraum durchgeführt wird, in dem das zur Bele-üng des Arbeitsgutes dienende Metall verdampft wird, während gleichzeitig die den Behandlungsraum begrenzenden Flächen über die Verdampfungstemperatur des Metaller aufgeheizt werden. UNTERANSPRÜCHE 1.Verfahren nach Patentanspruch I, da durch gekennzeichnet, dass sowohl der Be handlungsraum als auch das Arbeitsgut einem Vakuum unterworfen werden. '?. Verfahren nach Patentanspruch I, da durch gekennzeichnet, dass sowohl der Behand lungsraum als auch das Arbeitsgut mit einer Sehutzgasatmosphäre umhüllt werden. 3. Verfahren nach Patentanspruch I, da- durell gekennzeichnet, dass das Arbeitsgut. wiederholt durch den Behandlungsraum hin durchgeführt wird.4-. Verfahren nach Patentanspruch I, da durch gekennzeichnet, dass das Arbeitsgut un mittelbar vor dem Bedampfen einer Reini- f-ung unterworfen wird. 5. Verfahren nach Patentanspruch I und Unteranspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Arbeitsgut mechanisch gereinigt wird. 6. Verfahren nach Patentanspruch I und Unteranspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Arbeitsgut thermisch gereinigt wird. 7.. Verfahren nach Patentanspruch I und Unteranspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Arbeitsgut mittels eines Ionenbom- bardementes gereinigt wird.B. Verfahren nach Patentanspruch I und Unteranspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Arbeitsgut mittels eines Elektronen- bombardementes gereinigt wird. 9. Verfahren nach Patentanspruch I, da durch gekennzeichnet, dass das Arbeitsgut nach Durchführung durch den Behandlungs raum unter Diffusion des Überzuges in das Arbeitsgut selbst thermisch nachbehandelt wird.PATENTANSPRUCH II: Einrichtung zur Durchführung des Ver fahrens nach dem Patentanspruch I, dadurch gekennzeichnet, dass im Hohlraum eines nach aussen abgeschlossenen Behälters ein den Be handlungsraum einschliessendes Gefäss mit Öffnungen zur Durchführung von Arbeits gut, Mittel zur Arbeitsgutbewegung, Ver- dampfungseinrichtungen für das aufzubrin gende Metall und eine Wärmequelle zur Ruf heizung mindestens der innern Oberfläche des Gefässes bis über den Verdampfungspunkt des aufzubringenden Metaller angeordnet sind.UNTERANSPRÜCHE: l0. Einrichtung nach Patentanspruch II, dadurch gekennzeichnet, dass das Bedamp- fungsgefäss aus Quarzglas besteht. 11. Einrichtung nach Patentanspruch II, dadurch gekennzeichnet, dass das Bedamp- fungsgeläss aus Graphit besteht. 12.Einrichtung nach Patentanspruch II, dadurch gekennzeichnet, dass das Bedamp- fungsgeläss aus einem Oxyd besteht, dessen Schmelzpunkt höher als der Verdampfungs- punkt des aufzutragenden Metaller liegt. 13. Einrichtung nach Patentanspruch I1, dadurch gekennzeichnet, dass das Bedamp- finzgsgefäss als Widerstand in einem Strom kreis angeordnet ist. 14.Einrichtung nach Patentanspruch II, dadurch gekennzeichnet, dass Vorrichtungen zur mittelbaren Beheizung des Bedampfungs- gefä.sses vorgesehen sind. 7.5. Einrichtung nach Patentanspruch II, dadurch gekennzeichnet, dass die Gefässbehei- zung als MTärmequelle für die Metallver- dampfungseinrichtung ausgebildet ist. 16.Einrichtung nach Patentanspruch <B>11,</B> dadurch gekennzeichnet, dass im Hohlraum des Behälters Mittel zur Vorwärmung des Ar beitsgutes vor der Durchführung durch das Bedampfungsgefäss vorgesehen sind. 17. Einrichtung nach Patentanspruch II, dadurch gekennzeichnet, dass im Hohlraum des Behälters Mittel zur Reinigung des Ar beitsgutes vor der Durchführung durch das Bedampfungsgefäss angeordnet. sind. 1$.Einrichtung nach Patentanspruch 1I, dadurch gekennzeichnet, dass im Hohlraum de's Behälters Mittel zur Diffusion des L\ber- zuges in das Arbeitsgut angeordnet sind. 19. Einrichtung nach Patentansprueh 1I, dadurch gekennzeiehnet, dass im. Hohlraum des Behälters umlaufende Träger zum Ab rollen des zu belegenden und zum Aufwickeln des belegten Arbeitsgutes angeordnet sind. 20. Einrichtung nach Patentansprueh 1I, dadurch gekennzeichnet, dass das Bedamp- fungsgefäss mehrteilig ist. 21.Einrichtung nach Patentanspruch<B>11</B> und Unteransprueh 20, dadurch gekennzeich net, dass die zur Durehführung des Arbeits gutes dienenden Ausnehmungen an die Trennfläche der Teile des Bedampfungsgefdi- sses angrenzen. 22. Einrichtung nach Patentanspruch 1I und Unteranspruch 20, dadurch gekennzeielr- net, dass für die Einzelteile des Bedampfungs- mefä.sses besondere Beheizungen vorgeseben sind.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH288438T | 1950-10-23 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CH288438A true CH288438A (de) | 1953-01-31 |
Family
ID=4486228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CH288438D CH288438A (de) | 1950-10-23 | 1950-10-23 | Verfahren zum Aufbringen von Metallüberzügen auf langgestrecktes Arbeitsgut, sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CH (1) | CH288438A (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3086889A (en) * | 1960-03-21 | 1963-04-23 | Stokes F J Corp | Method and apparatus for coating a continuous sheet of material |
DE1279425B (de) * | 1964-03-17 | 1968-10-03 | Gen Precision Inc | Vorrichtung zum lonenbeschuss und zur Vakuumbedampfung von Oberflaechen |
DE1282411B (de) * | 1964-12-28 | 1968-11-07 | Hermsdorf Keramik Veb | Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung und Bearbeitung von Bauelementen der Elektronik unter Vakuum, insbesondere zum Aufdampfen von Schichten |
EP0155643A2 (de) * | 1984-03-19 | 1985-09-25 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Vorrichtung zur Bedampfung |
-
1950
- 1950-10-23 CH CH288438D patent/CH288438A/de unknown
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3086889A (en) * | 1960-03-21 | 1963-04-23 | Stokes F J Corp | Method and apparatus for coating a continuous sheet of material |
DE1279425B (de) * | 1964-03-17 | 1968-10-03 | Gen Precision Inc | Vorrichtung zum lonenbeschuss und zur Vakuumbedampfung von Oberflaechen |
DE1282411B (de) * | 1964-12-28 | 1968-11-07 | Hermsdorf Keramik Veb | Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung und Bearbeitung von Bauelementen der Elektronik unter Vakuum, insbesondere zum Aufdampfen von Schichten |
EP0155643A2 (de) * | 1984-03-19 | 1985-09-25 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Vorrichtung zur Bedampfung |
EP0155643A3 (en) * | 1984-03-19 | 1987-11-25 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Vacuum evaporation equipment |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2754801A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung eines - insbesondere blattartigen - materials aus nicht oxydierbarem stahl | |
DE2657077A1 (de) | Nitrieranlage | |
CH288438A (de) | Verfahren zum Aufbringen von Metallüberzügen auf langgestrecktes Arbeitsgut, sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens. | |
EP0282540A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum metallisieren von folienoberflächen. | |
DE628900C (de) | Verfahren zum Herstellen von hochemittierenden Kathoden in Mehrsystemroehren | |
DE10066005A1 (de) | Verfahren zum Sintern von Aluminium-basierten Sinterteilen | |
AT365027B (de) | Verfahren zur thermischen oberflaechenbehandlung von insbesondere draht- oder bandfoermigen traegern aus ferromagnetischem material | |
DE1207179B (de) | Oxydkeramischer Tiegel zum Vakuum-Aufdampfen von Metallen | |
DE482718C (de) | Vorrichtung zur ununterbrochenen thermischen Behandlung von metallischen Werkstuecken | |
DE10030514C1 (de) | Vorrichtung zum Sintern von aluminiumbasierten Sinterteilen | |
DE1608365C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Aufsintern von Metallpulver auf ein Metallband | |
DE3038976C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Verbesserung der Eigenschaften eines auf einen Keramikkörper aufgebrachten Kupferfilms | |
DE902287C (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Trocknung ummantelter Lichtbogenschweisselektroden | |
DE1072052B (de) | Verfahren zur Herstellung von elektrisch leitenden und durchsichtigen Schichten auf Glaskörpern | |
DE709181C (de) | Verfahren zum Vorbehandeln von Metallkoerpern vor dem schmelzfluessigen UEberziehen mit anderen Metallen | |
CH402033A (de) | Einrichtung zum induktiven Härten von Zahnstangen | |
DE874888C (de) | Verfahren zur Herstellung von Schweisselektroden | |
DE1608365C3 (de) | ||
DE1157743B (de) | Verfahren zur kontinuierlichen Herstellung von Halbzeug | |
DE2141663C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Stahlbändern mit Aluminium | |
DE1040872B (de) | Verfahren zum Aufbringen metallischer Schichten auf nichtleitende Unterlagen | |
DE1446241C (de) | Thermoelement mit Schenkeln aus Halb leitermaterial, die mit gut lotbaren Kon taktbelagen versehen sind | |
CH494281A (de) | Verfahren zum Ausglühen von Metallband mittels Induktionsheizung | |
AT222240B (de) | Gefäß, insbesondere Entladungsgefäß, mit Elektroden | |
AT214877B (de) | Hohler metallischer Tragkörper zur Herstellung von Bekleidungsstücken |