BRPI0405970B1 - "aparelho para executar o processo de deposição pcvd, e, métodos para fabricar uma pré-forma e para fabricar uma fibra ótica" - Google Patents

Description

“APARELHO PARA EXECUTAR O PROCESSO DE DEPOSIÇÃO PCVD, E, MÉTODOS PARA FABRICAR UMA PRÉ-FORMA E PARA FABRICAR UMA FIBRA ÓTICA” Campo da Invenção A presente invenção refere-se a um aparelho para executar um processo de deposição PCVD (processo de deposição de vapor de plasma químico), onde uma ou mais camadas dopadas são depositadas sobre o interior de um tubo de substrato de vidro, cujo aparelho compreende um aplicador tendo uma parede interna e externa e uma guia de onda que se abre para o aplicador, cujo aplicador de estende ao redor de um eixo cilíndrico e que é provido de uma passagem adjacente à parede interna, através da qual as microondas podem escapar, sobre cujo eixo cilíndrico o tubo de substrato pode ser posicionado, e onde pelo menos um estrangulador de forma anular, tendo um comprimento C e uma largura d, é centrado ao redor do eixo cilíndrico dentro do aplicador. A presente invenção, além disso, refere-se a um método de fabricar uma pré-forma, cujo método compreende executar um processo de deposição PCVD com a finalidade de depositar uma ou mais camadas dopadas ou não-dopadas sobre o interior de um tubo de substrato de vidro e, subseqüentemente, colapsar termalmente o tubo de substrato assim formado de modo a produzir uma pré- forma.

Antecedentes da Invenção Um modo de fabricar uma pré-forma ótica é o processo de deposição de vapor químico de plasma (PCVD), que é conhecido pela patente US 4.314.833, cedida ao titular da presente invenção. De acordo com o processo ali revelado, uma ou mais camadas vítreas dopadas são revestidas sobre o interior de um tubo de substrato de vidro, usando um plasma de baixa-pressão no tubo de substrato de vidro. Após as camadas vítreas terem sido revestidas sobre o interior do tubo de substrato de vidro, este tubo é subseqüentemente, colapsado em uma haste sólida pela aplicação de calor. Em um modo de realização especial, uma quantidade adicional de vidro pode ser extemamente revestida sobre a haste maciça, por exemplo, por meio de um processo de deposição externa de vapor ou pelo uso de um ou mais tubos de vidro pré-formados, provendo uma pré-forma de compósito. A partir da pré-forma assim obtida, fibras óticas são obtidas pelo aquecimento de uma sua extremidade.

De acordo com o pedido internacional WO 99/35.304, dos mesmos titulares da presente invenção, as microondas provenientes de um gerador de microondas são conduzidas para um aplicador via um guia de onda, cujo aplicador circunda o tubo de substrato de vidro. O aplicador faz com que energia de alta freqüência seja acoplada ao plasma. Os respectivos gases, que podem ou não ser dopados, são supridos a um lado do tubo do substrato, após o que, uma reação ocorre sob a influência do plasma, e camadas vítreas dopadas ou não- dopadas são depositadas sobre o interior do tubo de substrato. O outro lado do tubo de substrato é conectado a uma bomba de vácuo, de modo que uma pressão reduzida, geralmente uma pressão variando de 500 a 5000 Pa, é gerada no tubo de substrato. O aplicador é movido para trás e para frente na direção longitudinal do tubo de substrato, e uma camada vítrea fina é depositada sobre o interior do tubo de substrato a cada golpe do aplicador. O aplicador e o tubo de substrato são, geralmente, circundados por um forno de modo a manter o tubo de substrato a uma temperatura de 900 - 1,300°C durante o processo de deposição.

Sumário da Invenção Para aumentar a capacidade de produção do processo PCVD, é desejável aumentar a velocidade pela qual as camadas dopadas ou não-dopadas são depositadas sobre o interior do tubo de substrato de vidro. Entretanto, o aumento da velocidade de deposição exige que a energia de alta freqüência, necessária para dissociar os gases reativos vitrifícantes no plasma, aumente proporcionalmente. Foi verificado que vazamento de energia de alta freqüência se toma crescentemente problemático quando níveis de energia de alta freqüência acima de cerca de 2,5kW são usados. A conseqüência de tal vazamento é um consumo ineficiente de energia. Em adição, radiação do ambiente ocorre normalmente, o que pode interferir com a operação de equipamento eletrônico presente em sua vizinhança. Em adição a este fato, o vazamento de radiação sobre a equipe de operação é indesejável por razões médicas. Foi verificado ainda que um tal vazamento de energia de alta freqüência pode resultar na formação de uma onda estática no tubo de substrato, levando a um risco de uma interrupção senoidal na deposição das camadas vítreas ao longo do comprimento do tubo de substrato ocorrer, o que é indesejável.

Assim é objetivo da presente invenção prover um aparelho e um método para executar um processo de deposição PCVD em que os níveis de energia aumenta de 2,5 kW podem adequadamente ser usados sem que qualquer das desvantagens supramencionadas ocorram.

Outro objetivo da presente invenção é prover um aparelho para executar um processo de deposição PCVD onde, em particular, a quantidade de vazamento de radiação durante a operação de um tal aparelho de PCVD é menor do que lOOW/m , medida a uma distância de 5 cm do aparelho. A invenção referida na introdução é caracterizada pelo fato do comprimento £ do estrangulador ser menor ou igual a um quarto do comprimento de onda, cujo quarto de comprimento de onda corresponde a um quarto de comprimento de onda no sistema de sistema de coordenadas cartesiano, o comprimento C sendo definido como a diferença entre o comprimento do estrangulador e o comprimento do raio da parede interna do aplicador, ambos medidos em uma direção perpendicular ao eixo cilíndrico.

Em particular, foi verificado que o vazamento de energia de alta freqüência do aplicador durante a deposição das camadas vítreas pode ser reduzido pelo uso de um estrangulador tendo uma geometria especial e/ou escolha de materiais. Embora a presença do estrangulador seja conhecida per se, por exemplo, dos pedidos WO 99/35 304 e WO 03/049.141, pertencentes à titular da presente invenção, nenhuma quantidade, condições e/ou dimensões especiais do estrangulador é dada a conhecer por estes documentos, não sendo citando ou sugerido que tais quantidades, condições e/ou dimensões podem ser derivadas das mesmas. Pelo pedido WO 99/35304 é sabido, por exemplo, que o estrangulador pode ter a forma de uma guia de onda λ/4, onde o estrangulador é centrado sobre o eixo cilíndrico e é posicionado de modo que fique localizado bem próximo às duas extremidades da cavidade do ressonador.

Foi verificado que muita energia de alta freqüência pode escapar quando um nível de potência de cerca de 2,5kW é usado. De acordo com o que foi verificado com a presente invenção, tal escapamento depende também da espessura da camada sendo depositada no tubo de substrato, e observa-se que o efeito do “estrangulador de um quarto de onda”, conhecido da técnica anterior, diminui à medida que a espessura da camada depositada aumenta. Em outras palavras, a espessura total das camadas vítreas aumenta durante o processo de deposição, de modo que é desejável desenvolver uma configuração de obturador(es) que leve a um resultado ótimo tanto no início como no final do processo de deposição. Com base nesta constatação, foi verificado que o efeito do estrangulador pode ser otimizado pelo uso de um comprimento de estrangulador menor do que um quarto de comprimento de onda.

No termo “um quarto de elemento”, como usado aqui, é entendido significar o comprimento do sistema de coordenadas sendo usado, que corresponde a um quarto do elemento no sistema de coordenadas cartesiano. Uma vez que o estrangulador no aplicador cilíndrico usado no presente método e aparelho é um espaço cilíndrico que circunda o tubo de substrato, um sistema de coordenadas cilíndricas é usado para determinar o comprimento de onda de um quarto. Quando microondas tendo uma frequência de 2,45GHz são usadas, o comprimento de onda é de 122 mm. O comprimento do estrangulador cilíndrico de um quarto do comprimento de onda pode ser calculado por meio da seguinte equação: onde: Hv(l), Hv(2) = funções de Hankel ko = número de onda no vácuo n = índice de refração de material usado para carregar o estrangulador. f = frequência de microondas Co = velocidade da luz no vácuo a = raio da parede interna do aplicador b = raio do estrangulador Em um modo de realização especial do presente aparelho, o mesmo compreende pelo menos dois obturadores separados, cada um tendo um comprimento í que é menor ou igual ao um quarto de comprimento de onda no sistema de coordenadas cartesiano, o comprimento C sendo definido como a diferença entre o comprimento do obturador w o comprimento do raio da parede interna do aplicador, ambos medidos a partir do eixo cilíndrico. Foi verificado que a aplicação de um carregador no estrangulador terá influência sobre a absorção de microondas. Isto resultará em um melhor desempenho do estrangulador.

Em um modo de realização especial, os estranguladores podem, além disso, diferir em comprimento t, desde que cada comprimento individual C seja menor ou igual ao quarto de comprimento de onda, cujo um quarto de comprimento de onda corresponde a um quarto de comprimento de onda no sistema de coordenadas cartesiano, o comprimento C sendo definido como a diferença entre o comprimento do estrangulador e o comprimento do raio da parede interna do aplicador, ambos medidos em uma direção perpendicular ao eixo cilíndrico.

Deve ser entendido que este modo de realização não só o estrangulador pode estar presente sobre um lado do ressonador. De acordo com uma outra possibilidade, entretanto, um estrangulador está presente sobre cada lado do ressonador. Caso desejado, alguns poucos estranguladores podem estar presentes sobre um lado do ressonador, cujos estranguladores podem diferir em comprimento, em cujo caso cada comprimento £ tem que satisfazer o mencionado comprimento necessário, entretanto. De acordo com uma outra possibilidade, entretanto, alguns poucos estranguladores são posicionados sobre cada lado do ressonador, em cujo caso a exigência mencionada em relação ao comprimento £ se aplica a cada estrangulador. A intensidade do plasma no interior do tubo de substrato pode ser ainda realçada pela configuração do menor espaçamento entre dois estranguladores posicionados sobre cada lado de um aplicador, de modo que o mencionado espaçamento seja menor do que λ, onde λ é o comprimento de onda da radiação de microondas sendo usada. De acordo com um tal modo de realização, um plasma mais intenso é obtido, o que proverá uma conversão mais eficiente dos materiais de partida no presente processo PCVD.

Em um modo de realização específico, o comprimento global do estrangulador pode ser aumentado por um múltiplo de λ/2, onde é o comprimento de onda das microondas sendo usadas, sem o seu efeito ser adversamente afetado.

Foi verificado ainda que é possível projetar os assim chamados aplicadores compactos pela extensão da configuração do estrangulador na direção longitudinal, cujo estrangulador é caracterizado pelo fato da forma anular do mesmo ser configurada de modo que a compreender um espaço radial e um espaço longitudinal, cujo espaço longitudinal, anular em forma, é espaçado do eixo cilíndrico por uma distância 1”, estendendo-se ao longo do mencionado eixo cilíndrico, e que compreende uma parede interna e uma parede externa, onde 1” é definido como a dimensão do raio da parede interna medida em uma direção perpendicular ao eixo cilíndrico.

De acordo com uma tal construção especial, o comprimento global do estrangulador, a saber, o comprimento 1” (perpendicular ao eixo cilíndrico) mais o comprimento m (paralelo ao eixo cilíndrico) é, de preferência, menor ou igual ao quarto de comprimento de onda, cujo quarto de comprimento de onda corresponde a um quarto de comprimento de onda no sistema de coordenadas cartesiano.

Um outro modo de realização da presente invenção compreende a construção do assim chamado estrangulador adaptável, cujo comprimento £ pode ser variado. De acordo com uma tal construção, um dispositivo que é móvel em uma direção paralela ao eixo cilíndrico é, de preferência, presente no espaço longitudinal, onde a distância sobre a qual as microondas se movem dentro do estrangulador pode ser adaptada pela mudança da dimensão do espaço longitudinal por meio de um tal dispositivo. Um elemento de ajuste pode ser usado como o mencionado dispositivo, com o estrangulador, por exemplo, sendo conectado, via uma guia, a um dispositivo compreendendo um êmbolo móvel, que toma possível mudar a distância sobre a qual as microondas se movem dentro do dispositivo. Em adição, em um modo de realização especial da presente invenção é possível também carregar o estrangulador com um material cujo índice de refração pode ser variado devido ao campo magnético, uma corrente ou voltagem, por exemplo. Um exemplo de um tal material de carregamento é a ferrita, cujo material tem um índice de refração que pode ser mudado sob a influência do campo magnético.

Usando um tal estrangulador, é possível adaptar o comprimento do estrangulador em função do tempo durante todo o processo de deposição, minimizando, assim, o escape de energia de alta freqüência independentemente da deposição das camadas vítreas, enquanto, ao mesmo tempo, assegurando uma máxima concentração da energia de alta freqüência no plasma.

Em um modo de realização especial, o espaço radial do estrangulador é, além disso, de preferência, posicionado a um ângulo de 90 graus com respeito ao espaço longitudinal do estrangulador.

Em um modo de realização preferido, o aplicador é, de preferência, cilindricamente simétrico e anular em forma, compreendendo uma cavidade de ressonador que se estende cilindricamente de modo simétrico ao redor do eixo cilíndrico e tendo forma anular, a mencionada cavidade de ressonador compreendendo uma fenda que se estende em um círculo completo ao redor do eixo cilíndrico, através de cuja fenda a energia de microondas da guia de onda é r transportada. E particularmente desejável que a guia de onda se abra para a cavidade de ressonador. É ainda preferível, nesta conexão, que a guia de onda tenha um eixo longitudinal que se estenda substancialmente perpendicular ao eixo cilíndrico, cujo eixo cilíndrico mão intercepta a fenda ou a passagem, mais em particular, que não divida a cavidade de ressonador em duas metades iguais.

Outros modos de realização especiais da presente invenção estão discutidos com mais detalhe na descrição das figuras. A presente invenção refere-se, ainda, a um método de fabricar uma pré-forma, compreendendo a execução de um processo de deposição PCVD para depositar uma ou mais camadas dopadas ou não-dopadas sobre o interior de um tubo de substrato de vidro assim obtido, cujo método é caracterizado pelo fato do processo de deposição PCVD ser executado em um aparelho como definido acima, onde o tubo de substrato é posicionado sobre o eixo cilíndrico, dentro da parede interna da cavidade de ressonador, com o tubo de substrato e a cavidade de ressonador sendo substancialmente coaxiais, cuja cavidade de ressonador é movida para trás e para frente ao longo do comprimento do tubo de substrato.

De acordo com um tal método, as perdas da energia de alta freqüência são minimizadas durante todo o processo de deposição, resultando em um consumo mais eficiente de energia. O uso de uma pré-forma assim obtida toma possível extrair uma fibra ótica do mesmo pelo aquecimento de uma extremidade da pré-forma.

Para assegurar um efeito satisfatório dos estranguladores adaptáveis como discutido acima, é possível prover tais estranguladores com um sistema de medição e controle, onde a quantidade de energia que escapa é medida no aplicador, ou próximo ao mesmo, após o que, o estrangulador é adaptado, dependendo do mesmo. O escape de energia de alta freqüência em uma faixa na qual esta energia é usada pode ser adicionalmente minimizado pela provisão do fomo, no qual o tubo de substrato é mantido a uma temperatura de 800-1300°C durante o processo de deposição PCVD, com uma concha metálica. Os problemas especiais que ocorrem ao se usar um tal processo PCVD são, em particular, a vedação da fenda no fomo, através do qual a guia de onda para o ressonador se move, e a vedação das posições nas quais o tubo de substrato passa através do fomo. Em particular, a fenda no fomo através da qual a guia de onda que porta a energia de alta freqüência para o aplicador de move tem que ser coberta por uma concha metálica, cuja concha metálica se move juntamente com o aplicador. Para impedir vazamento de radiação do fomo nas posições nas quais o tubo de substrato se projeta do fomo, o tubo de substrato é, de preferência, circundado, nas mencionadas posições, por uma guia de onda cilíndrica tendo um elemento recortado menor do que o comprimento de microondas que está sendo usado. Um exemplo disto é um tubo metálico, para o qual se aplica que o diâmetro interno é menor do que cd/( 1,706 x f), onde cDéa velocidade da luz e f é a frequência das microondas. Com uma frequência de microondas de 2,45GHz, o diâmetro de tubo tem, assim, que ser menor do que 71,7 mm, onde um tal tubo metálico pode ser feito de duas partes opostas. Em um modo de realização especial, a mencionada guia de onda pode ser provida de um ou mais estranguladores, o que é desejável, em particular, ao se usar níveis maiores de potência acima de 5kW de modo a prevenir escape de radiação para o ambiente.

Em um modo de realização especial, a parede interna do fomo pode, além disso, ser provida com uma camada que absorve radiação de microondas, por exemplo, uma camada de carbureto de silício (SiC). A espessura de uma tal camada é preferível em acordo com λ/4 ( a uma certa geometria e índice de refração do mencionado material). Uma vantagem adicional de uma tal constmção é o fato da radiação de microondas ser convertida em calor, resultando em que menos energia precise ser suprida ao forno. A presente invenção será explicada com mais detalhe adiante com referência a diversas figuras, em cuja conexão deve ser mencionado, porém, que a presente invenção não está de modo algum limitada a estas figuras especiais.

Breve Descrição das Figuras dos Desenhos A Fig. 1A mostra esquematicamente um aplicador de acordo com a presente invenção. A Fig. 1B mostra o aplicador da Fig. 1A em vista selecionada. A Fig. 2 mostra o efeito de diversos estranguladores durante o processo de deposição em função do tempo de processo com vários valores do comprimento C. A Fig. 3 mostra esquematicamente um estrangulador adaptável de acordo com a presente invenção. A Fig. 4 mostra um modo de realização especial de um estrangulador adaptável. A Fig. 5 mostra esquematicamente um forno no qual o processo PCVD é executado.

Descrição das Formas Preferidas de Realização As Figs. 1A e 1B mostram um exemplo de um aplicador usado no presente processo PCVD. Microondas de um gerador de microondas (não mostrado) são portadas para um aplicador 10 via uma guia de onda 11. Através de uma cavidade de ressonador 12 e uma fenda 13 no aplicador, e energia de alta frequência das microondas é acoplada ao plasma que está presente no tubo de substrato 14, próximo à cavidade de ressonador 12. O aplicador tem também estranguladores 15 e 16, que impedem vazamento de energia de alta ffeqüência.

Pelo uso de um comprimento C para os estranguladores menores do que o quarto de onda, o efeito do estrangulador é otimizado. Por razões práticas, a largura d do estrangulador é, normalmente, selecionada como sendo menor do que o comprimento í do estrangulador e maior do que 3 mm. Se dois estranguladores 15, 16 forem usados, como mostrado na Fig. 1 A, o espaçamento d’ entre os dois estranguladores 15,16 é no máximo λ. A Fig. 2 mostra o efeito de estranguladores de diferentes comprimentos £ durante a deposição de camadas sobre a parede interna de um tubo de substrato de vidro. A linha cheia 1 mostra o efeito de um estrangulador convencional tendo um comprimento C de 37 mm, que corresponde a um comprimento de um estrangulador de quarto de onda, com uma radiação de microondas de 2,45GHz e um raio interno do aplicador de 19 mm (o “estrangulador de V" mostrado na técnica anterior). E aparente que um efeito satisfatório é obtido apenas no início do processo de deposição, mas essas perdas consideráveis de energia de alta freqüência ocorrem ao final do processo de deposição, cujas perdas são indesejáveis. A linha interrompida 2 mostra o efeito de um estrangulador tendo um comprimento de 30 mm (= 80% do “estrangulador de λ/4”). Neste caso, o efeito do estrangulador é aceitável no início do processo de deposição e melhor do que o estrangulador convencional ao final do processo de deposição. Um estrangulador tendo um comprimento de 33 mm (=89% do “estrangulador de λ/4”), como ilustrado por linhas pontilhadas 3, provê o melhor efeito em um ponto a meio caminho do processo de deposição. Estranguladores tendo um comprimento menor do que 20 mm (= 54% do “estrangulador de λ/4”) (não mostrado) têm um efeito global que é menos favorável do que o do “estrangulador de λ/4” convencional. O efeito de um estrangulador tendo um comprimento maior do que o quarto de comprimento de onda (não mostrado) é menor do que o do “estrangulador de λ/4” por toda a faixa de deposição. O efeito de estrangulador pode ser melhorado ainda mais pela colocação de diferentes estranguladores de um comprimento menor do que o de um quarto de comprimento de onda por trás de um outro em um aplicador. Foi verificado ainda que é possível projetar aplicadores compactos estendendo-se o espaço consistindo um estrangulador em uma direção longitudinal. Um exemplo de um tal projeto está mostrado na Fig. 3. O comprimento C do estrangulador adaptável ali mostrado compreende o comprimento de um estrangulador na direção radial mais o comprimento na direção longitudinal. De acordo com um tal projeto de estrangulador adaptável, o comprimento i pode ser adaptado durante o processo de deposição, de uma maneira tal que o escape de energia de alta freqüência seja minimizado, independentemente do estágio do processo de deposição e que uma concentração máxima de energia de alta freqüência no plasma seja efetuada. A Fig. 3 mostra esquematicamente um ressonador 30, no qual a forma anular do estrangulador 35 é configurada de modo a compreender um espaço radial e um espaço longitudinal 37, cujo espaço longitudinal 37, que é anular em forma, é espaçado do eixo cilíndrico por uma distância 1” estendendo-se ao longo do eixo cilíndrico, e que tem um comprimento m medido paralelamente ao eixo cilíndrico, e que compreende uma parede interna e uma parede externa, onde 1” é definido como a dimensão do raio da parede interna medido em uma direção perpendicular ao eixo cilíndrico. O comprimento do estrangulador 35 é adaptado movendo-se um dispositivo 36 para trás e para frente no espaço longitudinal 37. A mencionada movimentação para trás e para frente do dispositivo 36 pode ser efetuada por meio de pressão de óleo ou pressão de água, ou por meio de uma construção em parafuso. Um tubo de substrato 34 é posicionado sobre o eixo cilíndrico definido pelo ressonador 30. A Fig. 4 mostra esquematicamente um outro modo de realização de um estrangulador adaptável 45, cujo estrangulador 45 é conectado por meio de uma guia de onda 48 a um elemento de ajuste 49, cuja operação é baseada na reflexão de microondas. O efeito do estrangulador pode ser otimizado pela variação da posição na qual a mencionada reflexão ocorre ao final de uma assim chamada estrutura “coax”. A Fig. 5 mostra esquematicamente um fomo usado para manter o tubo de substrato de vidro a uma temperatura de 800-1300°C durante o processo de deposição PCYD, com uma concha metálica. Da mencionada figura segue-se que a fenda no fomo 50 através da qual a guia de onda 51 que porta a energia de alta freqüência para o aplicador se mover é coberta por uma concha metálica, cuja concha metálica se move juntamente com o aplicador. Desse modo, um aplicador que circunda o tubo de substrato 54 está presente no fomo 50. Energia de alta freqüência é portada para o aplicador por meio da guia de onda 51, cuja guia de onda 51 pode se mover para trás e para frente no fomo 50, como resultado da presença da fenda no fomo 50. O fomo 50 é provido de uma concha metálica, que impede escape da energia de alta freqüência para o ambiente. É particularmente desejável que a fenda através da qual a guia de onda se move seja coberta por placas 52, 53, cujas placas 52, 53 são, do mesmo modo, providas de uma concha metálica, de modo que o escape da energia de alta freqüência através de uma fenda no fomo não é possível. Essas placas 52, 53 asseguram que o fomo 50 seja fechado em qualquer posição do aplicador e da guia de onda 51, de tal maneira que o escape de energia de alta freqüência não seja possível.

Claims (22)

1. Aparelho para executar o processo de deposição PCVD, em que uma ou mais camadas dopadas ou não dopadas são depositadas sobre o interior de um tubo de substrato de vidro (14), cujo aparelho compreende um aplicador (10) tendo uma parede interna e externa e uma guia de onda (11) que se abre para o aplicador (10), cujo aplicador (10) de estende ao redor de um eixo cilíndrico e que é provido de uma passagem adjacente à parede interna, através da qual as microondas podem escapar, sobre cujo eixo cilíndrico o tubo de substrato de vidro (14) pode ser posicionado, e onde pelo menos um estrangulador (15, 16, 35, 45) de forma anular, tendo um comprimento C e uma largura d, é centrado ao redor do eixo cilíndrico dentro do aplicador (10), caracterizado pelo fato de que o comprimento £ do estrangulador (15, 16, 35, 45) é menor ou igual ao quarto de comprimento de onda, cujo quarto de comprimento de onda corresponde a um quarto de comprimento de onda no sistema de coordenadas cartesiano, o comprimento £ sendo definido como a diferença entre o comprimento do estrangulador (15, 16, 35, 45) e o comprimento do raio da parede interna do aplicador (10), ambos medidos em uma direção perpendicular ao eixo cilíndrico.

2. Aparelho de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de compreender pelo menos dois estranguladores (15, 16, 35, 45) separados, cada um tendo um comprimento £ que é menor ou igual ao um quarto de comprimento de onda no sistema de coordenadas cartesiano, o comprimento £ sendo definido como a diferença entre o comprimento do estrangulador (15, 16, 35, 45) e o comprimento do raio da parede interna do aplicador (10), ambos medidos em uma direção perpendicular ao eixo cilíndrico.

3. Aparelho de acordo com a reivindicação 2, caracterizado pelo fato de que os estranguladores (15, 16, 35, 45) diferem em comprimento £, desde que cada comprimento £ individual seja menor ou igual ao quarto de comprimento de onda, cujo quarto de comprimento de onda corresponde a um quarto de comprimento de onda no sistema de coordenadas cartesiano, o comprimento £ sendo definido como a diferença entre o comprimento do estrangulador (15, 16, 35, 45) e o comprimento do raio da parede interna do aplicador (10), ambos medidos em uma direção perpendicular ao eixo cilíndrico.

4. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 3, caracterizado pelo fato de que a forma anular do estrangulador (35) é configurada de modo a compreender um espaço radial e um espaço longitudinal (37), cujo espaço longitudinal (37), que é anular em forma, é espaçado do eixo cilíndrico por uma distância 1” estendendo-se ao longo do eixo cilíndrico, e que tem um comprimento m medido paralelamente ao eixo cilíndrico, e que compreende uma parede interna e uma parede externa, onde 1” é definido como a dimensão do raio da parede interna medido em uma direção perpendicular ao eixo cilíndrico.

5. Aparelho de acordo com a reivindicação 4, caracterizado pelo fato de que o comprimento global do estrangulador (35), a saber, o comprimento 1”, mais o comprimento m, é menor ou igual ao quarto de comprimento de onda, cujo quarto de comprimento de onda corresponde a um quarto de comprimento de onda no sistema de coordenadas cartesiano.

6. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 4 ou 5, caracterizado pelo fato de que um dispositivo (36) que é móvel em uma direção paralela ao eixo cilíndrico está presente no espaço longitudinal (37), resultando em que seja possível mudar a distância sobre a qual as microondas se movem dentro do espaço longitudinal.

7. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 4 a 6, caracterizado pelo fato de que o espaço longitudinal (37) do estrangulador (35) fica posicionado a um ângulo de 90 graus com respeito ao espaço radial do estrangulador (35).

8. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 7, caracterizado pelo fato de que a largura d é menor do que o comprimento í ou 1” e a largura d tem mais de 3 mm.

9. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 8, caracterizado pelo fato de que o comprimento £ do estrangulador (15, 16, 35, 45) tem pelo menos 60% do quarto de comprimento de onda, cujo quarto de comprimento de onda corresponde a um quarto de comprimento de onda no sistema de coordenadas cartesiano.

10. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 9, caracterizado pelo fato de que o estrangulador (15, 16, 35, 45) está conectado a um elemento de ajuste (49) via uma guia (48).

11. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 10, caracterizado pelo fato de que o aplicador (10) é cilindricamente simétrico e tem forma anular, compreendendo uma cavidade de ressonador (12) que se estende cilindricamente de modo simétrico ao redor do eixo cilíndrico e que é anular em forma, com a cavidade de ressonador (12) compreendendo uma fenda (13) que se estende em um círculo completo ao redor do eixo cilíndrico, através de cuja fenda (13) a energia de microondas proveniente da guia de onda (11) é transportada.

12. Aparelho de acordo com a reivindicação 11, caracterizado pelo fato de que a guia de onda (11) se abre para a cavidade do ressonador.

13. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 1- 12, caracterizado pelo fato de que a guia de onda (11) tem um eixo longitudinal que se estende substancialmente perpendicular ao eixo cilíndrico, cujo eixo longitudinal não intercepta a fenda (13) ou a passagem.

14. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 11 a 13, caracterizado pelo fato de que o eixo longitudinal não divide a cavidade de ressonador (12) em duas metades iguais.

15. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 14, caracterizado pelo fato de que o comprimento C do estrangulador (15, 16, 35, 45) é prolongado por um valor η.λ/2, onde n = um inteiro, λ = o comprimento de onda das microondas sendo usado.

16. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 15, caracterizado pelo fato de que o espaçamento entre os dois estranguladores (15, 16, 35,45), medido em uma direção paralela ao eixo cilíndrico, é no máximo λ.

17. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 16, caracterizado pelo fato de que o interior do estrangulador (15, 16, 35, 45) é preenchido com um material absorvente de microondas.

18. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 al7, caracterizado pelo fato de que o interior do estrangulador (15, 16, 35, 45) é preenchido com um material cujo índice de refração pode ser adaptado.

19. Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 18, caracterizado pelo fato de que a adaptação é executada por uma corrente elétrica, voltagem ou um campo magnético.

20. Método para fabricar uma pré-forma, compreendendo a execução de um processo de deposição PCVD para depositar uma ou mais camadas dopadas ou não-dopadas sobre o interior de um tubo de substrato de vidro (14), após o que uma pré-forma sólida é formada pelo colapso termal do tubo de substrato de vidro (14) assim obtido, caracterizado pelo fato de que o processo de deposição PCVD é executado por meio de um aparelho como definido em qualquer uma das reivindicações 1 a 16, onde o tubo de substrato de vidro (14) é posicionado sobre o eixo cilíndrico, dentro da parede interna da cavidade de ressonador (12), com o tubo de substrato de vidro (14) e a cavidade de ressonador (12) sendo substancialmente coaxiais, cuja cavidade de ressonador (12) é movida para trás e para frente ao longo do comprimento do tubo de substrato de vidro (14).

21. Método para fabricar uma pré-forma, compreendendo a execução de um processo de deposição PCVD para depositar uma ou mais camadas dopadas ou não-dopadas sobre o interior de um tubo de substrato de vidro (14), após o que uma pré-forma sólida é formada pelo colapso termal do tubo de substrato de vidro (14) assim obtido, caracterizado pelo fato de que o processo de deposição PCVD é executado por meio de um aparelho como definido em qualquer uma das reivindicações 6 a 10, onde a distância sobre a qual as microondas se movem dentro do estrangulador (15, 16, 35, 45) pode ser adaptada de tal maneira que a perda de energia de alta freqüência seja minimizada durante todo o processo de deposição.

22. Método para fabricar uma fibra ótica, caracterizado pelo fato de que uma extremidade da pré-forma obtida pela execução do método como definido em qualquer uma das reivindicações 20 ou 21 é aquecida, após o que uma fibra ótica é extraída da mesma.