JP2005247680A - Pcvd装置、及びプリフォームを製造する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】PCVD処理装置において、マイクロ波発生器からのマイクロ波は、導波管11を介してアプリケータ10に伝えられる。アプリケータ内の共振キャビティ12とスリット13によって、マイクロ波からの高周波エネルギーを、共振キャビティ12近くの基材チューブ14に存在するプラズマに結合させる。アプリケータ内にはチョーク15、16があり、該チョークは高周波エネルギーの漏洩を防ぐものである。チョークの長さlを1/4波長以下とすることによって、チョークの効果が最適化される。
【選択図】図1
Description
11 導波管
12 共振キャビティ
13 スリット
14 基材チューブ
15 チョーク
16 チョーク
30 アプリケータ
34 基材チューブ
35 チョーク
36 素子
37 チョーク
40 アプリケータ
45 チョーク
48 導波管
49 調節要素
50 加熱炉
51 導波管
52 プレート
53 プレート
54 基材チューブ
Claims (27)
- 1層又はそれ以上のドープされているか又はされていない層をガラス基材チューブの内側に蒸着させるPCVD蒸着処理を行う装置であって、内壁と、外壁と、アプリケータに通じるマイクロ波導波管を有するアプリケータを備え、該アプリケータは、円筒軸の周囲に広がり、該アプリケータには内壁に接した通路が設けられ、該アプリケータを通じてマイクロ波が出ることが可能であり、円筒軸上に前記基材チューブを配置することができる装置において、長さlと幅bを有する環状形状の少なくとも1つのチョークが前記アプリケータ内の円筒軸の中心に位置しており、前記チョークの長さlが1/4波長より小さいか、または等しく、該1/4波長は、デカルト座標系における1/4波長に相当し、前記長さlは、円筒軸に垂直方向に測定されたチョークの長さとアプリケータの内壁の半径の長さとの差として定められることを特徴とする、PCVD蒸着処理を行う装置。
- 前記装置は、1/4波長より小さいか、又は等しい長さlをそれぞれ有する少なくとも2つの別個のチョークを備え、該1/4波長はデカルト座標系における1/4波長に相当し、長さlは、円筒軸に垂直方向に測定されたチョークの長さとアプリケータの内壁の半径の長さとの差として定められることを特徴とする請求項1記載の装置。
- 前記チョークは、長さlが異なり、但し、各個別の長さlは1/4波長より小さいか、又は等しく、該1/4波長は、デカルト座標系における1/4波長に相当し、前記長さlは、円筒軸に垂直方向に測定されたチョークの長さとアプリケータの内壁の半径の長さとの差として定められることを特徴とする請求項2記載の装置。
- 前記チョークの環状形状が、該チョークが半径方向の空間と縦方向の空間を有するように構成され、環状の形状である該縦方向の空間は、円筒軸から、距離l"分の間隔を置いて配置され、かつ前記円筒軸にそって広がっており、かつ円筒軸に平行に測定された長さmを有し、かつ内壁と外壁を有しており、前記l"は、円筒軸に垂直方向に測定された内壁の半径の大きさとして定められることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の装置。
- 前記チョークの全長、すなわち、長さl"に長さmを加えたものが、1/4波長より小さいか、又は等しく、該1/4波長は、デカルト座標系における1/4波長に相当するものであることを特徴とする請求項4記載の装置。
- 円筒軸に平行方向に移動可能である素子が前記縦方向の空間に存在し、そのために、マイクロ波が該縦方向の空間内で動く距離を変動させることができることを特徴とする請求項4又は5記載の装置。
- 前記チョークの縦方向の空間は、該チョークの半径方向の空間に対して90度の角度で配置されていることを特徴とする請求項4〜6のいずれか1項に記載の装置。
- 幅bが、前記長さl又はl"より小さく、かつ該幅bは3mmより大きいことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の装置。
- 前記チョークの長さlは、少なくとも1/4波長の60%であり、該1/4波長は、デカルト座標系における1/4波長に相当することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の装置。
- 前記チョークは、ガイドを介して調節要素に連結されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の装置。
- 前記アプリケータは、円筒対称で、かつ環状の形状であり、円筒軸の周囲に円筒対称的に広がり、かつ環状形状である共振キャビティを備え、前記共振キャビティは、円筒軸の周囲に一周して広がるスリットを備え、該スリットを通して、マイクロ波導波管からのマイクロ波エネルギーが輸送されることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の装置。
- 前記マイクロ波導波管が共振キャビティに通じていることを特徴する請求項11記載の装置。
- 前記導波管は、円筒軸に対して概ね垂直に広がる縦軸を有し、該縦軸は、スリット又は通路に交差しないことを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の装置。
- 前記縦軸は、前記共振キャビティを二等分に分割しないことを特徴とする請求項11〜13のいずれか1項に記載の装置。
- 前記チョークの長さlは、値n.λ/2ずつ延長され、nは整数であり、lは使用されるマイクロ波の波長であることを特徴とする請求項1〜14のいずれか1項に記載の装置。
- 円筒軸に平行方向に測定された2つのチョークの間の間隔が最大でλであることを特徴とする請求項1〜15のいずれか1項に記載の装置。
- 前記チョークの内部に、マイクロ波を吸収する材料が充填されていることを特徴とする請求項1〜16のいずれか1項に記載の装置。
- 前記チョークの内部に、屈折率を調整できる材料が充填されていることを特徴とする請求項1〜17のいずれか1項に記載の装置。
- 電流、電圧又は磁場によって前記調整を行うことを特徴とする請求項1〜18のいずれか1項に記載の装置。
- 1層又はそれ以上のドープされているか又はされていない層をガラス基材チューブの内側に蒸着させるためにPCVD蒸着処理を行い、その後、そのようにして得られたガラス基材チューブを熱により圧潰することによって、固形のプリフォームを形成することからなる、プリフォームを製造する方法であって、PCVD蒸着処理を、請求項1〜16のいずれか1項に記載の装置を用いて行い、該装置では、該基材チューブが円筒軸上に、共振キャビティの内壁内部に配置され、該基材チューブと該共振キャビティは概ね同軸にあり、該共振キャビティは、該基材チューブの長さに沿って前後に移動することを特徴とする、プリフォームを製造する方法。
- 1層又はそれ以上のドープされているか又はされていない層をガラス基材チューブの内側に蒸着させるためにPCVD蒸着処理を行い、その後、そのようにして得られたガラス基材チューブを熱により圧潰することによって、固形のプリフォームを形成することからなる、プリフォームを製造する方法であって、前記PCVD蒸着処理を、請求項6〜10のいずれか1項に記載の装置を用いて行うことを特徴とし、チョーク内でマイクロ波が動く距離を、全蒸着処理の間、高周波エネルギーの損失が最小限になるように調整することができることを特徴とする、プリフォームを製造する方法。
- 光ファイバーを製造する方法であって、請求項20又は21記載の方法を実施することによって得られたプリフォームの一端を加熱し、その後該プリフォームから光ファイバーを引くことを特徴とする、光ファイバーを製造する方法。
- PCVD蒸着処理を行う加熱炉であって、該加熱炉に、環境への高周波エネルギーの漏洩を防ぐ金属シェルを設けたことを特徴とする、PCVD蒸着処理を行う加熱炉。
- 導波管が移動する前記加熱炉内のスリットが前記金属シェルで覆われていることを特徴とする請求項23記載の加熱炉。
- ガラス基材チューブが加熱炉を通って広がる位置が金属チューブで取り囲まれていることを特徴とする請求項23又は24記載の加熱炉。
- 前記加熱炉の内部にマイクロ波の放射を吸収する層が設けられていることを特徴とする請求項23〜25のいずれか1項に記載の加熱炉。
- PCVD蒸着処理を行う方法であって、前記PCVD蒸着処理の間、ガラス基材を800〜1300℃の温度に保持するために加熱炉を使用し、高周波エネルギーを導波管を用いてアプリケータに伝え、前記加熱炉内にスリットがあるため、該導波管は前記加熱炉内で前後に移動することが可能であり、前記スリットはプレートで覆われ、前記加熱炉内の前記スリットを通して高周波エネルギーが漏洩することを防ぐために、前記プレートに金属シェルが設けられていることを特徴とする、PCVD蒸着処理を行う方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100682507B1 (ko) | 2005-05-12 | 2007-02-15 | 주식회사 배운산업 | 무선주파수 플라즈마 반응기의 누설 소오스 전력 처리 장치 |
JP2007332460A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Draka Comteq Bv | プラズマ化学蒸着(pcvd)プロセスを実行するための装置および光ファイバを製造するための方法 |
JP2008013816A (ja) * | 2006-07-06 | 2008-01-24 | Tokyo Electron Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置及びマイクロ波プラズマ処理装置用ゲートバルブ |
CN102263000A (zh) * | 2011-06-24 | 2011-11-30 | 长飞光纤光缆有限公司 | 一种等离子体微波谐振腔 |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1025155C2 (nl) | 2003-12-30 | 2005-07-04 | Draka Fibre Technology Bv | Inrichting voor het uitvoeren van PCVD, alsmede werkwijze voor het vervaardigen van een voorvorm. |
NL1032867C2 (nl) | 2006-11-14 | 2008-05-15 | Draka Comteq Bv | Inrichting en een werkwijze voor het uitvoeren van een depositieproces van het type PCVD. |
NL1034059C2 (nl) * | 2007-06-29 | 2008-12-30 | Draka Comteq Bv | Werkwijze voor het vervaardigen van een voorvorm voor optische vezels onder toepassing van een dampdepositieproces. |
NL1037164C2 (nl) | 2009-07-30 | 2011-02-02 | Draka Comteq Bv | Werkwijze voor het vervaardigen van een primaire voorvorm voor optische vezels. |
NL1037163C2 (nl) | 2009-07-30 | 2011-02-02 | Draka Comteq Bv | Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een primaire voorvorm voor optische vezels. |
NL2004546C2 (nl) | 2010-04-13 | 2011-10-17 | Draka Comteq Bv | Inwendig dampdepositieproces. |
NL2004544C2 (nl) | 2010-04-13 | 2011-10-17 | Draka Comteq Bv | Inwendig dampdepositieproces. |
NL2004874C2 (nl) | 2010-06-11 | 2011-12-19 | Draka Comteq Bv | Werkwijze voor het vervaardigen van een primaire voorvorm. |
NL2007447C2 (nl) | 2011-09-20 | 2013-03-21 | Draka Comteq Bv | Werkwijze voor de vervaardiging van een primaire voorvorm voor optische vezels, primaire voorvorm, uiteindelijke voorvorm, optische vezel. |
NL2007448C2 (nl) * | 2011-09-20 | 2013-03-21 | Draka Comteq Bv | Werkwijze voor de vervaardiging van een primaire voorvorm voor optische vezels, primaire voorvorm, uiteindelijke voorvorm, optische vezels. |
DE102011083051A1 (de) * | 2011-09-20 | 2013-03-21 | Hauni Maschinenbau Ag | Mikrowellenresonatorgehäuse |
NL2007809C2 (en) * | 2011-11-17 | 2013-05-21 | Draka Comteq Bv | An apparatus for performing a plasma chemical vapour deposition process. |
NL2007831C2 (en) | 2011-11-21 | 2013-05-23 | Draka Comteq Bv | Apparatus and method for carrying out a pcvd deposition process. |
NL2007968C2 (en) | 2011-12-14 | 2013-06-17 | Draka Comteq Bv | An apparatus for performing a plasma chemical vapour deposition process. |
CN102569967B (zh) * | 2012-01-04 | 2015-02-11 | 西安电子科技大学 | 波导调配器中抑制电磁场泄露的方法 |
NL2011075C2 (en) * | 2013-07-01 | 2015-01-05 | Draka Comteq Bv | Pcvd process with removal of substrate tube. |
KR101666711B1 (ko) * | 2014-05-09 | 2016-10-14 | 주식회사 동부하이텍 | 반도체 소자들을 패키징하는 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 |
KR101677323B1 (ko) * | 2014-05-09 | 2016-11-17 | 주식회사 동부하이텍 | 반도체 소자들을 패키징하는 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 |
CN105244251B (zh) * | 2015-11-03 | 2017-11-17 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种大功率等离子体微波谐振腔 |
NL2017575B1 (en) | 2016-10-04 | 2018-04-13 | Draka Comteq Bv | A method and an apparatus for performing a plasma chemical vapour deposition process and a method |
CN108298810A (zh) * | 2018-03-14 | 2018-07-20 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种pcvd沉积装置 |
CN110551987A (zh) * | 2018-06-04 | 2019-12-10 | 至玥腾风科技投资集团有限公司 | 环形单晶无机非金属部件的制作方法、设备及飞轮 |
RU2732367C1 (ru) * | 2020-06-08 | 2020-09-16 | Автономная некоммерческая образовательная организация высшего образования "Сколковский институт науки и технологий" | Способ снижения переходного контактного сопротивления в конструкциях передачи электрической энергии большой мощности |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5617942A (en) * | 1979-07-19 | 1981-02-20 | Philips Nv | Method of making optical fiber |
JPS6389427A (ja) * | 1986-09-26 | 1988-04-20 | エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン | チューブの内側被覆方法及びその装置 |
JPS63139029A (ja) * | 1986-11-17 | 1988-06-10 | エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン | 管の内側にガラス層を設ける装置 |
JPH0624782A (ja) * | 1992-02-06 | 1994-02-01 | Ceramoptec Inc | 光ファイバー製造用の外面被覆ガラス体を製造する方法と装置 |
JP2002500280A (ja) * | 1997-12-31 | 2002-01-08 | プラズマ オプティカル ファイバー ベスローテン フェンノートシャップ | Pcvd装置及び光ファイバ、プレフォームロッド及びジャケットチューブを製造する方法並びにこれにより製造される光ファイバ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1589466A (en) * | 1976-07-29 | 1981-05-13 | Atomic Energy Authority Uk | Treatment of substances |
FR2584101B1 (fr) * | 1985-06-26 | 1987-08-07 | Comp Generale Electricite | Dispositif pour fabriquer un composant optique a gradient d'indice de refraction |
US5130170A (en) * | 1989-06-28 | 1992-07-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Microwave pcvd method for continuously forming a large area functional deposited film using a curved moving substrate web with microwave energy with a directivity in one direction perpendicular to the direction of microwave propagation |
EP0725164A3 (en) * | 1992-01-30 | 1996-10-09 | Hitachi Ltd | Method and apparatus for generating plasma and semiconductor processing methods |
DE19600223A1 (de) * | 1996-01-05 | 1997-07-17 | Ralf Dr Dipl Phys Spitzl | Vorrichtung zur Erzeugung von Plasmen mittels Mikrowellen |
JP3521681B2 (ja) * | 1996-08-13 | 2004-04-19 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
US6408649B1 (en) * | 2000-04-28 | 2002-06-25 | Gyrotron Technology, Inc. | Method for the rapid thermal treatment of glass and glass-like materials using microwave radiation |
CN2504276Y (zh) * | 2001-09-03 | 2002-08-07 | 浙江大学分析测试中心西溪校区分中心 | 一种电感耦合射频等离子体辅助钨丝加热制备薄膜的化学气相沉积装置 |
CN1630925B (zh) | 2001-12-04 | 2010-05-26 | 德拉卡纤维技术有限公司 | 用于将电磁微波辐射施加于等离子体腔室中的装置 |
US20030115909A1 (en) * | 2001-12-21 | 2003-06-26 | House Keith L. | Plasma chemical vapor deposition methods and apparatus |
NL1025155C2 (nl) | 2003-12-30 | 2005-07-04 | Draka Fibre Technology Bv | Inrichting voor het uitvoeren van PCVD, alsmede werkwijze voor het vervaardigen van een voorvorm. |
-
2003
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-
2004
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-
2011
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5617942A (en) * | 1979-07-19 | 1981-02-20 | Philips Nv | Method of making optical fiber |
JPS6389427A (ja) * | 1986-09-26 | 1988-04-20 | エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン | チューブの内側被覆方法及びその装置 |
JPS63139029A (ja) * | 1986-11-17 | 1988-06-10 | エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン | 管の内側にガラス層を設ける装置 |
JPH0624782A (ja) * | 1992-02-06 | 1994-02-01 | Ceramoptec Inc | 光ファイバー製造用の外面被覆ガラス体を製造する方法と装置 |
JP2002500280A (ja) * | 1997-12-31 | 2002-01-08 | プラズマ オプティカル ファイバー ベスローテン フェンノートシャップ | Pcvd装置及び光ファイバ、プレフォームロッド及びジャケットチューブを製造する方法並びにこれにより製造される光ファイバ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100682507B1 (ko) | 2005-05-12 | 2007-02-15 | 주식회사 배운산업 | 무선주파수 플라즈마 반응기의 누설 소오스 전력 처리 장치 |
JP2007332460A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Draka Comteq Bv | プラズマ化学蒸着(pcvd)プロセスを実行するための装置および光ファイバを製造するための方法 |
JP2008013816A (ja) * | 2006-07-06 | 2008-01-24 | Tokyo Electron Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置及びマイクロ波プラズマ処理装置用ゲートバルブ |
US8293067B2 (en) | 2006-07-06 | 2012-10-23 | Tokyo Electron Limited | Microwave plasma processing device and gate valve for microwave plasma processing device |
CN102263000A (zh) * | 2011-06-24 | 2011-11-30 | 长飞光纤光缆有限公司 | 一种等离子体微波谐振腔 |
US8807078B2 (en) | 2011-06-24 | 2014-08-19 | Yangze Optical Fibre And Cable Company Ltd. | Plasma microwave resonant cavity |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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