BRPI0214684B1 - dispositivo para aplicar, em uso, radiação de microondas eletromagnética em uma cavidade de plasma, e, aparelho e método para depositar, uma ou mais camadas de vidro sobre o lado interno de um tubo de vidro oco disposto na cavidade de plasma do dispositivo - Google Patents
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Abstract
"dispositivo para aplicar, em uso, radiação de microondas eletromagnética em uma cavidade de plasma, e, aparelho e método para depositar, uma ou mais camadas de vidro sobre o lado interno de um tubo de vidro oco disposto na cavidade de plasma do dispositivo". a invenção relaciona-se a um dispositivo para aplicar, em uso, radiação de microondas eletromagnética em uma cavidade de plasma, qual cavidade de plasma está presente dentro de um alojamento, sendo substancialmente simétrica cilindricamente sobre um primeiro eixo, e que inclui uma parede cilíndrica provida com uma fenda circunferencial, dita cavidade de plasma estando em comunicação, por dita fenda, com uma primeira extremidade de um guia de microondas alongado tendo um segundo eixo longitudinalmente se estendendo, dito dispositivo estando em comunicação em uso com meio de geração de microondas pela outra extremidade de dito guia de microoondas, no qual a radiação de microondas eletromagnética sendo gerada pode incluir vários modos. o objetivo da invenção é prover um aplicador de microoondas como referido na introdução, por meio do qual um plasma estável tendo as propriedades geométricas vantajosas acima mencionadas pode ser gerado e mantido por um lado, e que além disso não tem qualquer restrição com respeito às suas dimensões de construção. a fim de realizar este objetivo, o aplicador de microondas é caracterizado pelo fato de que o dispositivo inclui meio que, em uso, gera a radiação de microondas na fenda, qual radiação de microondas tem só uma distribuição de campo eletromagnético pelo menos em uma direção perpendicularmente à direção de propagação. como as propriedades da radiação de microondas eletromagnética não mais constituem um fator desconhecido e imprevisível, um plasma mais estável e geometricamente homogênea é gerado na cavidade de plasma.
Description
“DISPOSITIVO PARA APLICAR, EM USO, RADIAÇÃO DE MICROONDAS ELETROMAGNÉTICA EM UMA CAVIDADE DE PLASMA, E, APARELHO E MÉTODO PARA DEPOSITAR, UMA OU MAIS CAMADAS DE VIDRO SOBRE O LADO INTERNO DE UM TUBO DE VIDRO OCO DISPOSTO NA CAVIDADE DE PLASMA DO DISPOSITIVO” DESCRIÇÃO A invenção relaciona-se a um dispositivo para aplicar, em uso, radiação de microondas eletromagnética em uma cavidade de plasma, qual cavidade de plasma está presente dentro de um alojamento, sendo substancialmente simétrico cilindricamente sobre um primeiro eixo, e que inclui uma parede cilíndrica provida com uma fenda circunferencial, dita cavidade de plasma estando em comunicação, por dita fenda, com uma primeira extremidade de um guia de microondas alongado tendo um segundo eixo se estendendo longitudinalmente, dito dispositivo estando em comunicação em uso com meio de geração de microondas pela outra extremidade de dito guia de microondas, no qual a radiação de microondas eletromagnética sendo gerada pode incluir vários modos. A invenção também relaciona-se a um aparelho para depositar, por meio de um processo de Deposição de Vapor Químico de Plasma, uma ou mais camadas de vidro sobre o lado interno de um tubo de vidro oco disposto na cavidade de plasma do dispositivo de acordo com a invenção. A invenção além disso relaciona-se a um método para depositar, por meio de um processo de Deposição de Vapor Químico de Plasma, uma ou mais camadas de vidro sobre o lado interno de um tubo de vidro oco disposto na cavidade de plasma do dispositivo de acordo com a invenção.
Tal dispositivo, que também é referido pelo termo técnico aplicador de microondas, a fenda sendo chamada um duto de onda radial, pode ser usado em particular com um guia de 'sufra' ou um 'sufraton' para gerar um plasma na cavidade de plasma. Outra aplicação prática de um aplicador de microondas de acordo com a introdução está exposta no Pedido de Patente Internacional PCT/EP98/07798, publicado sob o N° WO 99/35304, no nome do presente Requerente. WO 99/35304 mostra um aparelho de PCVD (Deposição de Vapor Químico de Plasma), no qual um tubo de vidro cilíndrico oco está acomodado na cavidade de plasma do aplicador de microondas, por qual tubo uma mistura gasosa incluindo O2, S1CI4 e GeCl2 por exemplo, é passada. A radiação de microondas aplicada na fenda pelo aplicador de microondas gera localmente um plasma no tubo de vidro oco. Movendo o aplicador de microondas à trás à diante com respeito ao tubo de vidro - possivelmente com rotação simultaneamente do tubo - camadas de vidro, se ou não de composição diferente, podem ser depositadas no lado interno do tubo de vidro cilíndrico por meio do plasma. Deste modo, uma denominada pré-forma oca tendo uma ou mais camadas de vidro depositadas sobre o lado interno dela é obtida. A pré-forma é sujeita a um tratamento de retração assim para obter uma haste volumosa, da qual uma fibra óptica é estirada subseqüentemente, qual fibra é pretendida para propósitos de telecomunicação, por exemplo.
Na aplicação de PCVD, a radiação de microondas sendo usada ou sendo aplicada na fenda tem uma ffeqüência de 890 MHz ou 2,45 GHz e pode incluir vários modos bem conhecidos. O termo modos como usado aqui é entendido significar os modos de propagação na direção de propagação radial como também os modos que apenas foram cortados. Os modos de propagação incluem vários cruzamentos de eixo zero no campo elétrico em ambas as direções perpendicularmente à direção de propagação radial.
Se a largura da fenda de onda radial equivaler a menos que metade do comprimento de onda da radiação de microondas sendo usada, só um modo de propagação ocorrerá se a circunferência interna da fenda de onda radial tiver um comprimento igual ou menor que o comprimento de onda da radiação de microondas sendo usada, enquanto três modos de propagação ocorrerão se a circunferência interna da fenda de onda radial tiver um comprimento de 1 - 2 comprimentos de onda da radiação de microondas sendo usada. É muito difícil com as aplicações atuais determinar quais modos a radiação de microondas sendo aplicada na fenda (duto de onda radial) inclui. Se a radiação de microondas aplicada na cavidade de plasma ou no duto de onda radial incluir vários modos, as propriedades geométricas do plasma gerado na cavidade de plasma não serão conhecidas muito exatamente. Se ditos modos exibirem a mesma distribuição de campo eletromagnético, vista na direção de rotação relativa ao primeiro eixo, a propriedade geométrica da radiação de microondas aplicada e assim também do plasma gerado na direção supracitada de rotação será claramente definida. Ditas propriedades de plasma dependem, entre outras coisas, da relação de excitação dos modos, e uma pequena mudança no ambiente (temperatura, pressão, etc) pode conduzir a uma relação de excitação diferente, fazendo as propriedades geométricas do plasma mudarem. Tudo isso pode conduzir a uma geometria indesejável do plasma, entre outras coisas, ou fazer o plasma se tomar instável ou se tomar extinto completamente.
Em particular no caso de aplicações de PCVD, tais fenômenos afetam a composição e a estrutura das camadas de vidro sendo depositadas sobre o lado interno do tubo de vidro oco, como também a qualidade final da fibra óptica estirada de uma pré-forma assim obtida.
Uma solução para o problema dos modos da radiação de microondas aplicada na cavidade de plasma e das propriedades imprevisíveis do plasma gerado pode ser achada no diâmetro interno permissível máximo do duto de onda radial, no qual a circunferência interna é menor ou igual ao comprimento de onda da radiação de microondas sendo usada, isto para prevenir a ocorrência de vários modos. Porém, dita dimensão de construção máxima também limitará o diâmetro externo permissível máximo da pré-forma a ser fabricada nesse caso, como também o comprimento da fibra óptica estirada de dita pré-forma. O objetivo da invenção é evitar as desvantagens acima e prover um aplicador de microondas por meio do qual um plasma estável tendo as propriedades geométricas vantajosas supracitadas pode ser gerado e mantido por um lado, e que além disso não tem nenhuma restrição com relação às suas dimensões de construção.
Para realizar esse objetivo, o aplicador de microondas é de acordo com a invenção caracterizado pelo fato de que o dispositivo inclui meio que, em uso, gera a radiação de microondas na fenda, qual radiação de microondas tendo só uma distribuição de campo eletromagnético pelo menos em uma direção perpendicularmente à direção de propagação. Como as propriedades de distribuição de campo da radiação de microondas eletromagnética já não constituem um fator desconhecido e imprevisível, um plasma mais estável tendo propriedades geométricas desejadas na direção supracitada é assim gerado na cavidade de plasma.
Em uma concretização específica, a radiação de microondas na fenda inclui só um modo. Como só um modo existe na fenda, um plasma estável é assim gerado. Não só o aplicador de microondas assim tem uma gama de aplicações muito mais ampla, mas além disso toma possível controlar a deposição de camadas de vidro sobre o lado interno de um tubo de vidro oco muito melhor, em particular no caso de aplicações de PCVD, de forma que eventualmente uma fibra óptica de qualidade mais alta pode ser estirada da pré-forma assim obtida.
Além disso, o uso do aplicador de microondas não está mais restrito por suas dimensões de construção, como resultado de que, em particular, as dimensões da cavidade de plasma podem ser aumentadas, de forma que também pré-formas de diâmetro maior possam ser trabalhadas e obtidas no caso de aplicações de PCVD.
Mais em particular, a radiação de microondas tem só uma distribuição de campo eletromagnético específica, vista na direção de rotação relativa ao primeiro eixo ou em uma direção paralela ao primeiro eixo. Além disso, os dois eixos podem formar um plano de simetria para o dispositivo e orientar a radiação de microondas relativa ao plano de simetria do dispositivo.
Em uma concretização específica, dito meio faz parte do guia de microondas.
Em uma concretização específica do dispositivo de acordo com a invenção, o guia de microondas é para esse fim de seção transversal retangular, com as paredes curtas do guia de microondas se estendendo perpendicularmente ao plano de simetria. Do ponto de vista de simetria, pareceu que esta construção do aplicador de microondas exclui diretamente vários modos e só passa radiação de microondas de um modo.
Em outra concretização, o guia de microondas é de seção transversal circular ou de seção transversal quadrada.
Todas as concretizações podem incluir uma divisória de metal disposta no plano de simetria, qual divisória divide o guia de microondas em duas câmaras. O fato que a radiação de microondas incluindo só um modo é passada enquanto outros modos são excluídos provou ser efetiva nestas concretizações, também.
Outra concretização, na qual a radiação de microondas incluindo só um modo é gerada na cavidade de plasma, é de acordo com a invenção caracterizada pelo fato de que o guia de microondas é um guia coaxial incluindo uma porção de haste se estendendo ao longo do segundo eixo e um tubo de guia cilindricamente simétrico se estendendo ao redor de dita porção de haste.
Em uma concretização específica, para obter controle simétrico da cavidade de plasma, o guia de microondas se divide próximo de sua primeira extremidade em um número par de guia de suprimento presentes dentro do alojamento, que terminam na fenda.
Para obter a excitação simultânea da cavidade de plasma, é desejável que a diferença em comprimento entre os caminhos da radiação de microondas se propagando pelos dois guias de suprimento iguale a n.l/2Ag, com n e (0, 1, 2,...} e λg sendo o comprimento de onda da radiação de microondas no guia de microondas. Em uma construção simples e barata específica, os guias de suprimento são simetricamente arranjados com respeito ao plano de simetria.
Mais em particular, cada guia de suprimento inclui uma cavidade coaxial se estendendo paralela ao primeiro eixo no alojamento e terminando na fenda, com a parede cilíndrica da cavidade coaxial possivelmente coincidindo com a parede cilíndrica externa da fenda.
Em concretizações funcionais satisfatórias do dispositivo de acordo com a invenção, a fenda na parede cilíndrica se estende ao longo de parte da circunferência ou ao longo da circunferência inteira dela. A invenção também relaciona-se a um aparelho para depositar, por meio de Deposição de Vapor Químico de Plasma, uma ou mais camadas de sílica sobre o lado interno de um tubo de vidro oco que está disposto na cavidade de plasma do dispositivo de acordo com a invenção. A invenção será explicada em mais detalhe com referência aos desenhos, em que: Figuras 1A-1C mostram uma primeira e uma segunda concretização de um aplicador de microondas de acordo com a invenção;
Figura 2 mostra outra concretização de um aplicador de microondas de acordo com a invenção;
Figura 3 mostra outra concretização de um aplicador de microondas de acordo com a invenção; e Figuras 4A-4B mostram ainda outra concretização de um aplicador de microondas de acordo com a invenção.
Nas Figuras 1A-1C, uma primeira concretização de um aplicador de microondas de acordo com a invenção é mostrada. O aplicador de microondas inclui um alojamento 1, no qual uma cavidade de plasma 2 está presente, qual cavidade de plasma 2 é simétrica circularmente sobre um primeiro eixo de simetria 4. A cavidade de plasma 2 tem uma parede cilíndrica 3, que é provida com uma fenda 5 ao longo de sua circunferência inteira nesta concretização, qual fenda funciona como um duto de onda radial. O alojamento 1 está conectado a um primeiro lado 6a de uma guia de onda alongado 7, de tal maneira que o duto de onda radial 5 esteja em comunicação com o guia de onda 7. O guia de onda 7 tem um eixo longitudinalmente se estendendo 8.
Um tubo de vidro cilíndrico oco pode ser acomodado dentro da cavidade de plasma alongada cilíndrica 2 no caso de Deposição de Vapor Químico de Plasma, por qual tubo uma mistura gasosa incluindo 02, SIC14 e GeCl2, por exemplo, pode ser passada.
Como o guia de onda alongado 7 está conectado ao meio de geração de microondas (não mostrado) com sua outra extremidade 6b, a radiação de microondas eletromagnética pode ser aplicada na cavidade de plasma 2 pelo guia de onda alongado 7 e pelo duto de onda radial 5, em qual cavidade de plasma um plasma é gerado no tubo de vidro oco. Movendo o aplicador de microondas à trás e à diante com respeito ao tubo de vidro - com possível rotação simultânea do tubo - camadas de vidro, se ou não de composição diferente, podem ser depositadas sobre o lado interno do tubo de vidro cilíndrico por meio de dito plasma. Deste modo, uma denominada pré-forma oca tendo uma ou mais camadas de vidro depositadas no lado interno dela é obtida, qual pré-forma é sujeita a um tratamento de retração assim para obter uma haste volumosa da qual uma fibra óptica é estirada, qual fibra é pretendida para propósitos de telecomunicação, por exemplo.
Como a radiação de microondas eletromagnética pode incluir vários modos com as várias distribuições de campo eletromagnético associadas, as propriedades geométricas do plasma gerado na cavidade de plasma 2 não são conhecidas muito exatamente. Desejavelmente, em particular no caso da aplicação de PCVD, o plasma gerado na cavidade de plasma 2 não é só simétrico rotacionalmente à extensão desejada, mas estável igualmente, assim para criar condições favoráveis para a deposição de camadas de vidro sobre o lado interno do tubo de vidro cilíndrico oco. O plasma que foi gerado na cavidade de plasma 2 pode se tomar instável ou até mesmo se tomar extinto completamente, em particular devido a mudanças secundárias no ambiente (temperatura, pressão, etc).
De acordo com a invenção, para gerar um plasma estável tendo a geometria desejada na cavidade de plasma 2, a radiação de microondas é gerada na fenda, qual radiação de microondas tem só uma distribuição de campo eletromagnético específica em uma direção perpendicularmente à direção de propagação.
Na concretização como mostrada nas Figuras IA e 1B, o guia de microondas alongado 7 é para esse fim retangular em forma com paredes curtas 10a e paredes longas 10b. Para obter a radiação de microondas incluindo o modo específico que é conhecido com antecedência na cavidade de plasma 2, o lado curto 10a se estende perpendicularmente ao plano de simetria 9 do dispositivo nesta concretização, qual plano de simetria 9 é formado pelo eixo longitudinal 8 do guia de onda 7 e um eixo cilíndrico 4 da cavidade de plasma 2. O plano de simetria 9 definido pelos dois eixos 4 e 8 funciona como o plano de simetria para o dispositivo inteiro. A construção retangular do guia de onda alongado 7 e a orientação dele com respeito ao plano de simetria 9 do dispositivo global orienta a radiação de microondas se propagando pelo guia de onda alongado 7, de tal maneira que a radiação de microondas na cavidade de plasma 2 inclua só uma distribuição de campo eletromagnético pelo menos em uma direção perpendicularmente à direção de propagação.
Outra concretização de tal guia de onda 7 é mostrada na Figura 1C, na qual o guia de onda é mostrado ser de seção transversal quadrada, com lados 10a de comprimento idêntico. Para orientar a radiação de microondas se propagando pelo guia de onda 7 de tal maneira que a radiação de microondas tendo só uma distribuição de campo eletromagnético seja gerada na cavidade de plasma 2 nesta concretização igualmente, o guia de onda alongado 7 é dividido em duas seções por meio de uma divisória de metal 7a, qual divisória de metal 7a está posicionada exatamente no plano de simetria 9 do dispositivo. A divisória de metal 7a funciona como uma barreira elétrica para a radiação de microondas se propagando pelo guia de onda 7, e conseqüentemente orienta dita radiação de microondas de tal maneira que a radiação na cavidade de plasma 2 tenha só uma distribuição de campo eletromagnético pelo menos em uma direção perpendicularmente à direção de propagação.
Figuras 2A e 2B mostram outra concretização do aplicador de microondas de acordo com a invenção, na qual um guia de onda coaxial é usado em lugar de um guia de onda retangular ou quadrado 7. Para esse fim, um tubo de guia cilindricamente simétrico se estendendo sobre o eixo de simetria 8 é usado como o guia de microondas, em qual caso uma porção de haste 11 é arranjada no e ao longo do eixo de simetria 8.
Perto da primeiro extremidade 6a (a transição entre o guia de onda 7 e o alojamento 1 ou a cavidade de plasma 2), o guia de onda coaxial é fendido em dois guias de suprimento 14a e 14b arranjados dentro do alojamento 1, que são preferivelmente dispostos simetricamente com respeito ao plano de simetria 9 no alojamento 1. Cada guia de suprimento 14a, 14b inclui uma cavidade coaxial respectiva 17a, 17b incluindo um tubo de guia respectivo 15 a, 15b contendo uma porção de haste alongada respectiva 16a, 16b. As duas cavidades 17a e 17b se estendem paralelas ao eixo 4, como também entre si, e elas terminam no duto de onda radial 5, como é mostrado na Figura 2B. A fim de alcançar um controle simétrico do duto de onda radial 5, assim para gerar um plasma homogêneo e simétrico na cavidade de plasma 2, a parede cilíndrica 15c de cada cavidade coaxial respectiva 17a, 17b coincide com a parede cilíndrica externa 5a (veja Figura 2B) do duto de onda radial 5.
Nesta concretização, duas reatâncias 13a e 13b podem além disso ser arranjadas no alojamento 1, quais reatâncias estão posicionadas em qualquer lado do duto de onda radial 5. O uso de reatâncias em qualquer lado do duto de onda radial 5 tem várias vantagens, entre as quais um invólucro mais eficiente do plasma gerado em uma direção paralela ao eixo cilíndrico 4 e uma redução do vazamento de radiação de microondas da cavidade de plasma 2 ao exterior, assim diminuindo qualquer periculosidade para os operadores.
Outra concretização é mostrada na Figura 3, na qual o guia de onda 7 é de seção cilíndrica. Para gerar a radiação de microondas tendo só uma distribuição de campo eletromagnético específica nesta concretização igualmente, o guia de onda cilíndrico é fendido, semelhantemente à concretização da Figura 1C, por meio de uma divisória de metal 18 que divide o guia de onda cilíndrico 7 em duas seções. A divisória de metal 18, que funciona como uma barreira elétrica para a radiação de microondas eletromagnética se propagando pelo guia de onda 7 nesta concretização, se acha no plano de simetria 9 como definido pelo eixo 8 e pelo eixo 4 na cavidade de plasma 2.
Embora só a divisão em dois guias de suprimento 14a e 14b do guia de microondas de acordo com a concretização como mostrada nas Figuras 2A e 2B é descrito aqui, esta característica técnica pode ser usada sem qualquer problema com qualquer tipo de guia de microondas, tais como guias de microondas retangulares, quadrados e até mesmo cilíndricos como mostrado nas Figuras 1A-1C e 3. Embora o guia de microondas das Figuras 2A e 2B além disso seja fendido em dois guias de suprimento, o aplicador de microondas pode ser estendido fendendo o guia de microondas em qualquer número par de guias de suprimento, em que todos terminam na fenda (duto de onda radial).
Deveria ser notado além disso que também guias de microonda elípticos podem ser usados sem qualquer problema em uma ou mais das concretizações que são descritas aqui.
Figuras 4A e 4B mostram outra concretização de um aplicador de microondas de acordo com a invenção. Esta concretização corresponde em grande medida às concretizações das Figuras 1A-1C, de forma que mesmas partes são indicadas pelo mesmo numeral de referência para um melhor entendimento da Figura.
Este aplicador de microondas, também, inclui um alojamento 1 com uma cavidade de plasma 2 presente nele, qual cavidade de plasma 2 é simétrica circularmente sobre um primeiro eixo de simetria 4. A cavidade de plasma 2 inclui uma parede cilíndrica 3 que, nesta concretização, é provida com uma fenda 5 que não se estende ao longo da circunferência inteira dela, qual fenda funciona como um duto de onda radial. A fenda circular 5 é interrompida em pelo menos um lugar, por outro lado, nesta concretização, é interrompida em dois lugares, que são indicados em 20a e 20b. Dito lugares 20a e 20b, nos quais a parede 3 da cavidade de plasma circularmente simétrica 2 normalmente continua, se acham no plano de simetria 9, assim para habilitar o dispositivo de acordo com a invenção funcionar corretamente.
REIVINDICAÇÕES
Claims (13)
1. Dispositivo para aplicar, em uso, radiação de microondas eletromagnética em uma cavidade de plasma, cavidade de plasma a qual está presente dentro de um alojamento, sendo substancialmente simétrico cilindricamente sobre um primeiro eixo, e que incluí uma parede cilíndrica provida com uma fenda circunferência], dita cavidade de plasma estando em comunicação, por dita fenda, com uma primeira extremidade de um guia de microondas alongado tendo um segundo eixo longitudinalmente se estendendo, dito dispositivo estando em comunicação em uso com meio de geração de microondas pela outra extremidade de dito guia de microondas, no qual a radiação de microondas eletromagnética sendo gerada pode incluir vários modos, caracterizado por incluir meio que, em uso, gera a radiação de microondas na fenda, radiação de microondas a qual tem só uma distribuição de campo eletromagnético pelo menos em uma direção perpendicularmente à direção de propagação, meios os quais fazem parte do guia de micro-ondas de seção transversal retangular, com as paredes curtas do guia de microondas se estendendo perpendiculamiente ao plano de simetria definido pelo primeiro eixo e o segundo eixo, de tal forma que o guia de micro-ondas orienta a radiação de microondas relativa ao plano de simetria.
2. Dispositivo, de acordo com reivindicação 1, caracterizado pela radiação de microondas ter só uma distribuição de campo eletromagnético específica, vista na direção de rotação relativa ao primeiro eixo.
3. Dispositivo, de acordo com reivindicação 1 ou 2, caracterizado pela radiação de microondas ter só uma distribuição de campo eletromagnético específica, vista em uma direção paralela ao primeiro eixo.
4. Dispositivo, de acordo com reivindicação 1, caracterizado por uma divisória de metal estar disposta no plano de simetria, divisória a qual divide o guia de microondas em duas câmaras.
5. Dispositivo, de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 4, caracterizado pelo guia de microondas se dividir perto da primeira extremidade em um número par de guia de suprimento presentes dentro do alojamento, que terminam na fenda.
6. Dispositivo, de acordo com reivindicação 5, caracterizado pela diferença em comprimento entre os caminhos da radiação de microondas se propagando pelos dois guia de suprimento iguala a n./4Ag, com n e {0, 1, 2,...} e λg sendo o comprimento de onda da radiação de microondas no guia de microondas.
7. Dispositivo, de acordo com reivindicação 5 ou 6, caracterizado pelos guias de suprimento serem arranjados simetricamente com respeito ao plano de simetria.
8. Dispositivo, de acordo com reivindicação 5 ou 6, caracterizado por cada guia de suprimento incluir uma cavidade coaxial se estendendo paralela ao primeiro eixo no alojamento e terminando na fenda.
9. Dispositivo, de acordo com reivindicação 8, caracterizado pela parede cilíndrica da cavidade coaxial coincidir com a parede cilíndrica externa da fenda.
10. Dispositivo, de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 9, caracterizado pela dita fenda se estender ao longo de parte da circunferência da parede cilíndrica.
11. Dispositivo, de acordo com qualquer uma das reivindicações 1 a 9, caracterizado pela dita fenda se estender ao longo da circunferência inteira da parede cilíndrica.
12. Aparelho para depositar, uma ou mais camadas de vidro sobre o lado interno de um tubo de vidro oco disposto na cavidade de plasma do dispositivo conforme definido em qualquer uma das reivindicações 1 a 11, caracterizado por ser por meio de um processo de Deposição de Vapor Químico de Plasma.
13. Método para depositar uma ou mais camadas de vidro sobre o lado interno de um tubo de vidro oco disposto na cavidade de plasma do dispositivo conforme definido em qualquer uma das reivindicações 1 a 11, caracterizado por ser por meio de um processo de Deposição de Vapor Químico de Plasma.
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